JPH1022360A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 接触支持部材と支持本体とを分離して洗浄す
ることができる基板搬送装置を提供する。 【解決手段】 基板９を接触支持する複数の接触支持部
材２１と接触支持部材２１を脱着自在な状態で固定する
支持本体２２とから構成される支持手段に基板９を載置
して搬送する基板搬送装置において、接触支持部材２１
を中央に開口を有する板バネ２３を介して支持本体２２
上に固定する。すなわち、支持本体２２に側面Ｇｓの上
方が接触支持部材２１側へ傾いた溝部Ｇを設け、この溝
部Ｇに上に凸となるように板バネ２３を挟み込み、板バ
ネ２３の中央の開口から接触支持部材２１の上端が突出
するようにして接触支持部材２１を脱着自在な状態で固
定する。これにより、接触支持部材と支持本体とを分離
してそれぞれの使用条件や材質に適した洗浄が可能とな
り、装置の維持費の低減を図ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体基板や液
晶表示器などに用いられるガラス基板などを搬送する基
板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体基板や液晶表示器などに用いられ
るガラス基板など（以下、「基板」という。）の製造で
は、多くの工程があるとともに、取扱対象である基板が
非常に精密なものであるためにそれぞれの工程において
慎重な取扱が要求される。したがって、これらの様々な
処理を施す装置間において基板を搬送するに際してもそ
の取扱には多くの注意を払う必要がある。

【０００３】精密な構造を有する基板ではその汚染対策
が重要な課題の一つであり、基板の搬送においては従来
より基板が搬送される際に載置されるロボットハンド
（支持手段）の材質を汚染物質が発生しにくい石英で作
成する手法が用いられてきた。しかし、石英は脆い材質
であるため、例えば、搬送のティーチングなどの保持作
業中に誤操作をしてしまったり、運転中に誤動作が生じ
てしまった際に他の装置と衝突して破損する可能性が高
いという問題を有していた。

【０００４】そこで、この対策として基板と接触する部
分は石英で作成し、他の部分は丈夫な金属を用いること
により、基板の汚染を防止しつつも破損しにくいロボッ
トハンドが開発されている。図９は、このような基板の
汚染防止とロボットハンドの破損防止とを兼ね備えたロ
ボットハンドの基板１０９が載置される部分の形状の一
例を示した図であり、図１０は図９中のＡ−Ａ断面であ
る基板１０９を接触支持する部分の断面図である。基板
１０９を接触支持する円錐台形の接触支持部材１０１は
石英で形成されており、この接触支持部材１０１はロボ
ットハンドの支持本体１０２に接触支持部材１０１の側
面に合わせて設けられた円錐状の穴に挿入されている。
接触支持部材１０１は、接触支持部材１０１の側面と支
持本体１０２の穴の周縁とが接することにより接触支持
部材１０１が基板１０９側に抜けないようになってお
り、さらに、接触支持部材１０１の下底面側では蓋部材
１２１が支持本体１０２の穴を塞ぐように溶接されて
（あるいは圧着されて）接触支持部材１０１が下底面側
にも抜けないように固定されている。

【０００５】このように、石英で形成された接触支持部
材１０１を金属からなる支持本体１０２に設けることに
より、破損しにくいロボットハンドを用いて基板を汚染
することなく基板を搬送することが実現されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】以上説明してきたよう
に、基板が載置されるロボットハンドにおいては図１０
に示すように接触支持部材１０１を支持本体１０２に固
定することにより、基板の汚染を防止するとともにロボ
ットハンドの破損の防止も図られている。しかし、この
ように接触支持部材１０１と支持本体１０２を図１０に
示すように分離不可能な構造とすると、ロボットハンド
の洗浄などといったメンテナンスの際にはそれぞれの使
用条件や材質に合わせた適切な処置が施せないという問
題を有している。したがって、ロボットハンドが汚れた
場合には接触支持部材１０１が固定された支持本体１０
２の洗浄作業が煩雑となり、場合によっては支持本体１
０２全体を交換して対処しなければならない。その結
果、このようなロボットハンドを有する基板搬送装置の
維持費が高くなってしまうという問題を有している。

【０００７】そこで、この発明は、上記課題に鑑みなさ
れたもので、接触支持部材１０１を支持本体１０２から
脱着自在な構造とすることにより、ロボットハンドの洗
浄を容易に可能とし、その結果、維持費の低減を図るこ
とができる基板搬送装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、基板
を下方より支持して搬送する基板搬送装置であって、前
記基板が載置される支持手段と、前記基板支持手段を移
動させることにより前記基板を搬送する移動手段とを備
え、前記支持手段が、前記基板を接触支持する接触支持
部材と、前記接触支持部材が設けられる支持本体とを有
し、前記接触支持部材が前記支持本体から脱着自在であ
る。

【０００９】請求項２の発明は、請求項１記載の基板処
理装置であって、前記支持手段が、前記接触支持部材と
前記支持本体との位置ずれを防止する位置ずれ防止部材
をさらに有する。

【００１０】請求項３の発明は、請求項２記載の基板搬
送装置であって、前記位置ずれ防止部材が、中央に開口
部を有する板バネであり、前記支持本体上面に設けられ
た溝部に上に凸となるように湾曲してはめ込まれ、前記
開口部において前記接触支持部材の前記基板との接触部
を上方に突出させるとともに前記接触支持部材を前記開
口部の周縁部と前記溝部の底面とに挟んで位置ずれを防
止する。

【００１１】請求項４の発明は、請求項１ないし３のい
ずれかに記載の基板搬送装置であって、前記接触支持部
材と前記支持本体とが異なる材質の素材により形成され
ている。

【００１２】請求項５の発明は、請求項４記載の基板搬
送装置であって、前記接触支持部材が石英により形成さ
れており、前記支持本体がモリブデンにより形成されて
いる。

【００１３】

【発明の実施の形態】

＜１．第１の実施の形態＞図１はこの発明に係る第１の
実施の形態である基板搬送装置１の全体を示す図であ
る。この基板搬送装置１は基板処理装置８１と基板処理
装置８２との間において基板９を搬送する装置であり、
内部に回転駆動手段（図示せず）を有する基台４、回転
駆動手段により回転されるスライド駆動手段３、およ
び、スライド駆動手段３に取り付けられた基板支持手段
２とから構成される。

【００１４】スライド駆動手段３はスライドガイド３２
に沿ってスライド部３１がスライドするようになってお
り、これにより、スライド部３１の先端に設けられた基
板支持手段２が矢印Ｓに沿って図中２ａに示す位置へ移
動するようになっている。また、スライド駆動手段３は
基台４に設けられた回転駆動手段により回転されるよう
になっているので、基板支持手段２は矢印Ｒに沿って回
転して図中２ｂに示す位置まで移動可能となっている。
これにより、基板支持手段２は基板処理装置８１に基板
を搬出入するとともに回転移動して基板処理装置８２に
おいてもスライド駆動手段３を用いて基板を搬出入でき
るロボットハンドとなっている。

【００１５】図２は基板支持手段２の先端部の拡大図で
あり、図３は基板９と接触する部分（支持部）のうちの
１つ（図中Ｂで示す部分）の拡大図であり、図４は図３
に示すＣ−Ｃ断面を示す図である。

【００１６】図２に示すように、この装置では基板９が
３つの接触支持部材２１により接触支持されるようにな
っており、この接触支持部材２１が設けられる支持部は
図３および図４に示すように基板９を接触支持する円錐
台形の接触支持部材２１、接触支持部材２１が設けられ
る支持本体２２、および、支持本体２２に設けられた溝
部Ｇにはめ込まれた板バネ２３から構成されている。板
バネ２３には中央に開口部が設けられており、この開口
部から接触支持部材２１の上底面が上方に突出して基板
９を接触支持するようになっている。また、板バネ２３
は支持本体２２にＣ−Ｃ断面と垂直な方向に延びるよう
に形成された溝部Ｇに上に凸となるように湾曲してはめ
込まれ、開口部において接触支持部材２１の側面に接し
て接触支持部材２１に下方に力を加えている。これによ
り、接触支持部材２１は板バネ２３の弾性力を利用して
板バネ２３と溝部Ｇの底面Ｇｄとに挟まれるようにして
脱着可能な状態で固定されることとなる。なお、溝部Ｇ
の側面Ｇｓは板バネ２３が外れないように上方が接触支
持部材２１側に傾いて設けられている。

【００１７】このような構造により図２に示すように接
触支持部材２１の位置ずれの防止が施されており、支持
本体２２上に脱着自在な状態で固定されている。なお、
図２においては、最先端の２箇所の支持部に対して９０
゜回転した方向に他の１つの支持部の溝部Ｇが延びるよ
うに形成されている。また、接触支持部材２１の装着方
法は、溝部底面Ｇｄ上に接触支持部材２１を配置してか
ら板バネ２３を溝部Ｇにはめ込むようにしてもよいし、
板バネ２３に接触支持部材２１を挿入してから板バネ２
３を溝部Ｇに沿って差し込むようにしてもよい。

【００１８】以上のように、板バネを介して支持本体上
にて接触支持部材の位置ずれの防止を施すことにより、
接触支持部材は支持本体から脱着自在となる。これによ
り、接触支持部材と支持本体とがそれぞれに要求される
条件（例えば、汚染物質の付着の度合い）に応じた洗浄
が可能となり、その結果、装置の維持費の低減を図るこ
とができる。特に、接触支持部材が石英などの基板と接
触しても基板を汚染しない材質の素材で形成され、支持
本体をモリブデンなどの高融点の金属により形成される
場合であるときは、上記効果に加え、それぞれの材質に
適した洗浄も可能となり、さらに、装置の維持費の低減
を図ることができる。

【００１９】＜２．第２の実施の形態＞図５はこの発明
に係る第２の実施の形態である基板搬送装置の基板と支
持手段との接触する部分（支持部）の拡大図である。支
持本体２２の形状はおおむね第１の実施の形態と同様で
あり、第１の実施の形態と異なる点は板バネ２３に換え
て固定ブロック２４を用いて接触支持部材２１を支持本
体２２に脱着自在な状態で固定する点である。

【００２０】この実施の形態においても支持本体２２に
形成する溝部Ｇは第１の実施の形態と同様に溝部Ｇの底
面の幅が最も広く、側面が固定された接触支持部材２１
側に傾くように傾斜している。なお、この実施の形態で
は第１の実施の形態で示した図３と溝部Ｇの延びる方向
が９０゜異なっており、また、この溝部Ｇは先端が広が
ったエンドミルなどを用いて形成するため、溝部Ｇの終
端部Ｇｅは円錐台の側面の形状となっている。

【００２１】固定ブロック２４は支持本体２２の溝部Ｇ
の形状に合わせて形成されており、また、この固定ブロ
ック２４の中央には接触支持部材２１の形状に合わせて
側面が円錐台の側面の形状である開口部が形成されてい
る。この開口部に接触支持部材２１を挿入し、さらに、
この固定ブロック２４を溝部Ｇにはめ込むことにより接
触支持部材２１が支持本体２２に脱着自在に固定される
こととなり、位置ずれの防止が施されることとなる。な
お、この場合、溝部Ｇの側面とこれに接する固定ブロッ
ク２４の側面とはしまりばめの状態となるように加工さ
れており、これは支持本体２２を金属、固定ブロック２
４を樹脂で構成することにより実現されている。

【００２２】以上のようにこの実施の形態においても接
触支持部材２１が支持本体２２から脱着自在となってい
るので、第１の実施の形態と同様、分離洗浄可能であ
り、装置の維持費の低減を図ることができる。

【００２３】＜３．第３の実施の形態＞図６はこの発明
に係る第３の実施の形態である基板搬送装置の基板を接
触支持する接触支持部の断面図であり、この断面図は第
１の実施の形態における図４に示す支持部の断面図に対
応する位置での断面を示している。

【００２４】この実施の形態では、溝部Ｇの側面Ｇｓは
円錐台の側面の形状をしており、この形状を形成するた
めに、下方より円錐状の工具にて穴を開けた後、下方の
開口部を蓋部材２７により塞いでいる。また、蓋部材２
７の中央には、開口部２７ａが設けられている。この溝
部Ｇに弾性体であるＯリング２６をはめ込み、さらに、
Ｏリング２６の中に円錐台形の接触支持部材２１をはめ
込む。これにより、Ｏリング２６は溝部Ｇの側面Ｇｓと
接触支持部材２１の側面とに挟まれるようになり、接触
支持部材２１はＯリング２６から圧力を受けて固定され
ることとなる。また、この接触支持部材２１は下方の蓋
部材２７に設けられた開口部２７ａから矢印Ｐに沿って
棒などを用いて突くことにより、取り外し可能となって
いる。

【００２５】以上のように、この実施の形態ではＯリン
グ２６を用いて接触支持部材２１の位置ずれを防止して
いるので、接触支持部材２１は支持本体２２から脱着自
在となっている。これにより、第１の実施の形態と同
様、分離洗浄可能となり、装置の維持費の低減を図るこ
とができる。

【００２６】＜４．変形例＞以上この発明に係る基板搬
送装置の実施の形態について説明してきたが、この発明
は上記実施の形態に限定されるものではない。以下、こ
の発明に係る他の様々な形態について説明する。

【００２７】図７および図８は他の実施の形態における
基板搬送装置の支持部を示す図である。

【００２８】図７では接触支持部材２１ａが円錐台の下
底面に円柱を接続した形状をしており、この円柱部を支
持本体２２に設けた穴部Ｈに挿入することにより、支持
本体２２と接触支持部材２１ａの円錐台部の下底面とが
係合する形態となっている。基板と接触支持部材とが密
着するおそれがない場合には接触支持部材は上下方向に
位置ずれを防止する必要がないため、この形態を用いる
ことにより簡易な構造にて脱着自在な構造が実現できる
こととなる。

【００２９】また、図７に示す接触支持部の変形とし
て、穴部Ｈを大きくし、接触支持部材２１ａの円柱部の
側面と穴部Ｈとの間に合成樹脂など弾性体を挟み込むよ
うにして接触支持部材２１ａを上下方向にも位置ずれの
防止を施すようにしてもよい。

【００３０】また、図８は対向する２つの円弧状の接触
支持部材２１ｂにより基板９を支持する形態を示す図で
あり、この形態ではこれらの接触支持部材２１ｂを支持
本体２２に設けた溝部Ｇｂにはめ込むようになってい
る。この形態においても基板９と接触支持部材２１ｂと
が密着するおそれなないのであるならば単にはめ込むだ
けでよく、また、密着するおそれがあるならば、接触支
持部材２１ｂと溝部Ｇｂの側面との間に合成樹脂などの
弾性体などを挟み込むようにしてもよい。

【００３１】また、図８に示すように接触支持部材２１
ｂを溝部Ｇｂにはめ込む形態の変形として、例えば、図
８に示す円弧状の接触支持部材の下方に円柱の形状をし
た部分を複数追加し、支持本体にこれらの円柱部に対応
した穴部を設けることにより、円柱部と穴部とを嵌合し
て接触支持部材を支持本体上に設けるようにしてもよ
い。さらに、穴部の大きさを大きくして円柱部と穴部と
の間に合成樹脂などの弾性体を挟み込んで円弧状の接触
支持部材を上下方向にも位置ずれの防止を施すようにし
てもよい。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明では、接触支持部材が支持本体から脱着自在であるた
め、支持手段の洗浄の際に接触支持部材および支持本体
のそれぞれの使用に要求される条件に適した洗浄が可能
となり、その結果、装置の維持費の低減を図ることがで
きる。

【００３３】また、請求項２記載の発明では、位置ずれ
防止部材を用いることにより支持本体上において接触支
持部材の位置ずれの防止を施すことができるので、基板
と接触支持部材との密着を考慮することなく接触支持部
材が支持本体から脱着自在とすることができる。これに
より、請求項１記載の発明と同様、分離洗浄による装置
の維持費の低減を図ることができる。

【００３４】また、請求項３記載の発明では、位置ずれ
防止部材として板バネを用いることにより接触支持部材
の位置ずれを防止することができるとともに接触支持部
材を支持本体から脱着自在とすることができ、これによ
り、請求項２記載の効果と同様、分離洗浄による装置の
維持費の低減を図ることができる。

【００３５】また、請求項４記載の発明では、接触支持
部材と支持本体とが異なる材質の素材により形成される
ので、それぞれの使用に要求される条件に適した素材を
用いることができるとともに、分離して洗浄することが
できるので、それぞれの使用に要求される条件に適し、
かつ、それぞれの素材に適した洗浄が可能となる。その
結果、装置の維持費をさらに低減することができる。

【００３６】さらに、請求項５記載の発明では、接触支
持部材を石英を用いて形成し、支持本体をモリブデンを
用いて形成するので、基板を汚染することなく、かつ、
破損しにくい支持手段とすることができる。また、接触
支持部材を支持本体から脱着自在であるので、それぞれ
の仕様に要求される条件および素材に適した洗浄が可能
となり、装置の維持費の低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係る基板搬送装置の全体を示す斜視
図である。

【図２】基板支持手段を示す斜視図である。

【図３】基板支持部を示す斜視図である。

【図４】基板支持部を示す断面図である。

【図５】基板支持部を示す斜視図である。

【図６】基板支持部を示す断面図である。

【図７】基板支持部を示す断面図である。

【図８】基板支持部を示す斜視図である。

【図９】従来の基板支持部を示す斜視図である。

【図１０】従来の基板支持部を示す断面図である。

【符号の説明】

１ 基板搬送装置 ２ 支持手段 ３ スライド駆動手段 ９ 基板 ２１ 接触支持部材 ２２ 支持本体 ２３ 板バネ Ｇ 溝部

フロントページの続き (72)発明者 中島 敏博 京都市伏見区羽束師古川町322番地 大日 本スクリーン製造株式会社洛西事業所内 (72)発明者 増田 充弘 京都市伏見区羽束師古川町322番地 大日 本スクリーン製造株式会社洛西事業所内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を下方より支持して搬送する基板搬
   送装置であって、 前記基板が載置される支持手段と、 前記基板支持手段を移動させることにより前記基板を搬
   送する移動手段と、を備え、 前記支持手段が、 前記基板を接触支持する接触支持部材と、 前記接触支持部材が設けられる支持本体と、を有し、 前記接触支持部材が前記支持本体から脱着自在であるこ
   と特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の基板処理装置であって、 前記支持手段が、 前記接触支持部材と前記支持本体との位置ずれを防止す
   る位置ずれ防止部材、をさらに有することを特徴とする
   基板搬送装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載の基板搬送装置であって、 前記位置ずれ防止部材が、中央に開口部を有する板バネ
   であり、前記支持本体上面に設けられた溝部に上に凸と
   なるように湾曲してはめ込まれ、前記開口部において前
   記接触支持部材の前記基板との接触部を上方に突出させ
   るとともに前記接触支持部材を前記開口部の周縁部と前
   記溝部の底面とに挟んで位置ずれを防止することを特徴
   とする基板搬送装置。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の基
   板搬送装置であって、 前記接触支持部材と前記支持本体とが異なる材質の素材
   により形成されていることを特徴とする基板搬送装置。
5. 【請求項５】 請求項４記載の基板搬送装置であって、 前記接触支持部材が石英により形成されており、前記支
   持本体がモリブデンにより形成されていることを特徴と
   する基板搬送装置。