JP2005156924A - 検査装置用ホルダー - Google Patents

Abstract

【課題】汎用のハンドリング冶具を使用して、ガラス基板、マスクブランクス、フォトマスク等の被検査体を載置でき、かつ載置した状態で被検査体の周辺部まで透過光検査ができる検査装置用ホルダーを提供することを目的とする。
【解決手段】検査装置用ホルダー１００は、平面状の支持基材１１上の所定位置に支持部材２１と位置決め部材３１とからなる固定部材４０が設けられたもので、支持基材１１は、透明なガラス基板、プラスチック板等からなり、固定部材４０は被検査体のＸ、Ｙ方向の位置決めをし、保持するためのもので、固定部材４０の位置決め部材３１の上面はテーパー形状を有し、弾力性に富んだ材料からなる。
【選択図】図１

Description

本発明は、光学的に検査するために、ガラス基板、マスクブランクス及びフォトマスク等の被検査体を載置、保持するための検査装置用ホルダーに関する。

最近の半導体の高速化、高密度化により、半導体プロセスに用いられるフォトマスクに形成されるパターンも益々微細化し、低欠陥のフォトマスクが要求されている。

カラー液晶ディスプレイ用のカラーフィルター及びＴＦＴ等の半導体素子を形成するためのフォトマスクは益々大型化し、そこに形成されるパターンも微細化し、低欠陥、もしくは無欠陥のフォトマスクの要求が高まっている。

これら低欠陥、もしくは無欠陥のフォトマスクを作製するためには、ガラス基板、マスクブランクス、フォトマスク製造工程等の各工程での品質状態（パターン形状、欠陥等）を光学検査で確認することが一般的に行われている。

これらガラス基板、マスクブランクス、フォトマスク等の光学検査は、ガラス基板、マスクブランクス、フォトマスク等の被検査体を検査装置用ホルダーに載置、保持した状態で行われ、これらの検査装置用ホルダーとしてはいくつかのものが提案されている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。

図３に従来の検査装置用ホルダーの一例を示す。

図３（ａ）は、検査装置用ホルダー３００の上面図を、図３（ｂ）は、検査装置用ホルダー３００の上面図をＡ−Ａ’線で切断した断面図を、図３（ｃ）は、検査装置用ホルダー３００の支持枠部５１ａに被検査体６０を載置した状態を模式的に示す断面図をそれぞれ示す。

検査装置用ホルダー３００は、支持基材５１と、支持枠部５１ａと、開口部領域５２と、切り込み部５３及び載置ピン５４とから構成されており、被検査体６０は支持枠部５１ａ上の載置ピン５４に載置、保持された状態で検査装置に取り付けられ、開口部領域５２の被検査体が光学的に検査される。

検査装置用ホルダー３００の支持基材５１はプラスチック板、金属板等が用いられ、機械加工して支持枠部５１ａ、開口部領域５２、切り込み５３が作製され、載置ピン５４を埋め込んで作製されるのが一般的で、最近の被検査体６０が大型化しているため、重量、取り扱いの点からプラスチック板を機械加工したものが用いられている。

ガラス基板、マスクブランクス、フォトマスク等の被検査体６０は、通常は人手により、検査装置用ホルダー５０の支持枠５０ａの載置ピン５４上に落とし込んで、光学検査装置の検査台にセットし、被検査体６０の光学検査が行われる。

被検査体６０を検査装置用ホルダー３００に載置する際現状人手で行っているため被検査体６０の膜面端部及び検査面側の一部に汚れが付着するという問題がある。

光学検査の際、現状の検査装置用ホルダー３００に載置された被検査体６０は、支持枠部５１ａ上が透過光の影になり、被検査体６０の外周部の透過検査ができない。

被検査体６０がガラス基板、マスクブランクスの透過光検査では問題である。
また、載置ピン５４が金属でできているため、ガラス基板、マスクブランクス、フォトマスク等の被検査体６０に傷が付きやすいという問題を有している。
実開平０２−８１５１７号公報 特開平１１―５２５５２号公報

本発明は、上記問題点に鑑み鋭意検討した結果考案されたもので、汎用のハンドリング冶具を使用して、ガラス基板、マスクブランクス、フォトマスク等の被検査体を載置でき、かつ載置した状態で被検査体の周辺部まで透過光検査ができる検査装置用ホルダーを提供することを目的とする。

本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、光学的に検査するために被検査体を載置するためのホルダーであって、平面状の支持基材と、前記支持基材上の所定位置に前記被検査体を位置決めし、保持する固定部材とで構成されていることを特徴とする検査装置用ホルダーとしたものである。

また、請求項２においては、前記支持基材及び前記固定部材が透明な材料からなることを特徴とする請求項１に記載の検査装置用ホルダーとしたものである。

また、請求項３においては、前記固定部材が支持部材と、位置決め部材とで構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置用ホルダーとしたものである。

また、請求項４においては、前記位置決め部材の上面は、テーパー形状を有していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の検査装置用ホルダーとしたものである。

さらにまた、請求項５においては、前記位置決め部材は、弾力性に富んだ材料からなることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の検査装置用ホルダーとしたものである。

本発明の検査装置用ホルダーに被検査体を載置し透過光検査を行うことにより、被検査体の端縁の近傍の部分まで確実に検査することが可能となる。

本発明の検査装置用ホルダーの固定部材４０の位置決め部材３１の上面は、支持体よりも高い位置に設けられているので、汎用のハンドリング治具を使用して、被検査体を把持して、位置決め部材上に載置でき、支持基材の上面を傷つけて塵埃等の異物を発生させることがない。

また、位置決め部材は弾力性に富んだ材料で、かつテーパー形状を有しているので、被検査体の位置決め部材に接触する箇所に傷等の損傷を与えることを防止でき、被検査体は安定した状態で検査装置用ホルダーに保持される。

以下、本発明の実施の形態につき説明する。

図１に本発明の検査装置用ホルダーの一実施例を示す。

図１（ａ）は、本発明の検査装置用ホルダー１００の上面図を、図１（ｂ）は、本発明の検査装置用ホルダー１００をＡ−Ａ’線で切断した模式構成断面図を、図１（ｃ）は、本発明の検査装置用ホルダー１００に被検査体６０を載置した状態を示す模式構成断面図をそれぞれ示す。

本発明の検査装置用ホルダー１００は、平面状の支持基材１１上の所定位置に支持部材２１と位置決め部材３１とからなる固定部材４０が設けられたものである（図１（ａ）及び（ｂ）参照）。

支持基材１１は、透明なガラス基板、プラスチック板等が使用でき、基本的には透明な平面状の材料であれば、あらゆる材料が使用できる。

ここで、支持基材１１の表面を導電処理することにより、静電気によるゴミ等の付着を防止することができる。

固定部材４０は被検査体のＸ、Ｙ方向の位置決めをし、保持するために、支持基材１１上の被検査体の４角に相当する位置にそれぞれ２個、合計８個配置されている。

固定部材４０の支持部材２１は透明なプラスチック材等の機械加工、レーザー加工もしくは型成型にて作製され、接着剤等で支持基材１１上に固定される。

固定部材４０の位置決め部材３１は、被検査体のエッジが直接接触するため、弾力性に富んだ材料、例えば、透明なポリプロピレン樹脂、シリコン樹脂、ウレタン樹脂等を機械加工、レーザー加工もしくは型成型して作製され、支持部材２１に嵌合するように接着剤等で固定されている。

また、位置決め部材３１の上面はテーパー形状を有しており、被検査体を載置した際、位置決め部材３１の上面部のテーパー形状により、被検査体を中心部に移動させようとする力が４方向よりそれぞれ作用し、バランスして、被検査体の位置決めと保持状態が安定するようになっている。

被検査体６０を本発明の検査装置用ホルダー１００に載置、保持した状態を図１（ｃ）に示す。

図２に本発明の検査装置用ホルダーの他の実施例を示す。

図２（ａ）は、本発明の検査装置用ホルダー２００の上面図を、図２（ｂ）は、本発明の検査装置用ホルダー２００をＡ−Ａ’線で切断した模式構成断面図を、図２（ｃ）は、本発明の検査装置用ホルダー２００に被検査体６０を載置した状態を示す模式構成断面図をそれぞれ示す。

本発明の検査装置用ホルダー２００は、抜き加工して透過領域部１３を有する平面状の支持基材１２上の所定位置に支持部材２１と位置決め部材３１とからなる固定部材４０が設けられたもので、支持基材１２のほぼ被検査体の大きさに相当する中央部領域を抜き加工して、光学検査時の支持基材１２の影響を極力なくすようにしたものである（図２（ａ）及び（ｂ）参照）。

支持基材１２は、ガラス基板、プラスチック板等が使用でき、基本的には平面状の透明な材料で加工適性のある材料であれば、あらゆる材料が使用できる。

固定部材４０は被検査体のＸ、Ｙ方向の位置決めをし、保持するために、支持基材１１上の被検査体の４角に相当する位置にそれぞれ２個、合計８個配置されている。
固定部材４０の支持部材２１は透明なプラスチック材等の機械加工、レーザー加工もしくは型成型にて作製され、接着剤等で支持基材１１上に固定される。

固定部材４０の位置決め部材３１は、被検査体のエッジが直接接触するため、弾力性に富んだ材料、例えば、透明なポリプロピレン樹脂、シリコン樹脂、ウレタン樹脂等を機械加工、レーザー加工もしくは型成型して作製され、支持部材２１に嵌合するように接着剤等で固定されている。

また、位置決め部材３１の上面はテーパー形状を有しており、被検査体を載置した際、位置決め部材３１の上面部のテーパー形状により、被検査体を中心部に移動させようとする力が４方向より作用し、バランスして、被検査体の位置決めと保持状態が安定するようになっている。

被検査体６０を本発明の検査装置用ホルダー２００に載置、保持した状態を図２（ｃ）に示す。

上記本発明の検査装置用ホルダー１００及び２００は、ガラス基板、マスクブランクス、フォトマスク等の被検査体６０が支持基材１１上の固定部材４０のテーパー形状を有する位置決め部材３１上に保持されるので、検査中に被検査体６０が動いて、位置ずれ等の支障をきたすことがない。

本発明の検査装置用ホルダー１００及び２００の支持基材１１及び１２は、透明な材料からなるので、被検査体６０の端縁の近傍の部分を確実に検査することが可能である。

本発明の検査装置用ホルダー１００及び２００の支持基材１１及び１２の固定部材４０の位置決め部材３１の上面は、支持基材１１及び１２よりも高い位置に設けられているので、汎用のハンドリング治具を使用して、被検査体６０を把持して、位置決め部材３１上に載置でき、支持基材１１及び１２の上面を傷つけて塵埃等の異物を発生させることがない。

また、本発明の検査装置用ホルダー１００及び２００の固定部材４０の位置決め部材３１は、弾力性に富んだ材料で、かつテーパー形状を有しているので、被検査体６０の位置決め部材３１に接触する箇所に傷等の損傷を与えることを防止でき、被検査体６０は安定した状態で検査装置用ホルダーに保持される。

まず、透明なＡＢＣ樹脂（アクリロニトリル・ブタジエン・塩素化ポリエチレン共重合樹脂）板を所定形状に加工して支持基材１１及び支持部材２１を作製し、さらに、ポリプロピレン樹脂を機械加工してテーパー形状を有する位置決め部材３１を作製し、支持部材２１上に位置決め部材３１を固定して、８個の固定部材４０を作製した。

次に、支持基材１１上の所定位置に固定部材４０を固定し、本発明の検査装置用ホルダー１００を作製した（図１（ａ）及び（ｂ）参照）。

汎用のハンドリング治具を用いてマスクブランクからなる被検査体６０を把持し、本発明の検査装置用ホルダー１００の固定部材４０の位置決め部材３１上に載置し、検査装置にセットし、透過濃度測定を行った結果被検査体６０は、搬送移動、測定中にも安定して検査装置用ホルダー１００に保持され、位置ずれ等もなく測定、検査を行うことができた（図１（ｃ）参照）。

まず、透明なＡＢＣ樹脂（アクリロニトリル・ブタジエン・塩素化ポリエチレン共重合樹脂）板を中抜き、形状加工して支持基材１２を、所定形状に加工して支持部材２１を作製し、さらに、ポリプロピレン樹脂を機械加工してテーパー形状を有する位置決め部材３１を作製し、支持部材２１上に位置決め部材３１を固定して、８個の固定部材４０を作製した。

次に、支持基材１２上の所定位置に固定部材４０を固定し、本発明の検査装置用ホルダー２００を作製した（図２（ａ）及び（ｂ）参照）。

汎用のハンドリング治具を用いてマスクブランクからなる被検査体６０を把持し、本発明の検査装置用ホルダー２００の固定部材４０の位置決め部材３１上に載置し、検査装置にセットし、透過濃度測定を行った結果被検査体６０は、搬送移動、測定中にも安定して検査装置用ホルダー２００に保持され、位置ずれ等もなく測定、検査を行うことができた（図２（ｃ）参照）。

本発明の検査装置用ホルダーの一実施例を示し、 （ａ）は、本発明の検査装置用ホルダー１００の上面図である。

（ｂ）は、本発明の検査装置用ホルダー１００をＡ−Ａ’線で切断した模式構成断面図である。

（ｃ）は、本発明の検査装置用ホルダー１００に被検査体６０を載置した状態を示す模式構成断面図である。
本発明の検査装置用ホルダーの他の実施例を示し、 （ａ）は、本発明の検査装置用ホルダー２００の上面図である。

（ｂ）は、本発明の検査装置用ホルダー２００をＡ−Ａ’線で切断した模式構成断面図である。

（ｃ）は、本発明の検査装置用ホルダー２００に被検査体６０を載置した状態を示す模式構成断面図である。
従来の検査装置用ホルダーの一例を示し、 （ａ）は、検査装置用ホルダー３００の上面図である。

（ｂ）は、検査装置用ホルダー３００をＡ−Ａ’線で切断した模式構成断面図である。

（ｃ）は、検査装置用ホルダー３００に被検査体６０を載置した状態を示す模式構成断面図である。

符号の説明

１１、１２、５１……支持基材
１３、５２……開口部領域
２１……支持部材
３１……位置決め部材
４０……固定部材
５１ａ……支持枠部
５３……切り込み
５４……載置ピン
６０……被検査体
１００、２００、３００……検査装置用ホルダー

Claims (5)

1. 光学的に検査するために被検査体を載置するためのホルダーであって、
   平面状の支持基材と、前記支持基材上の所定位置に前記被検査体を位置決めし、保持する固定部材とで構成されていることを特徴とする検査装置用ホルダー。
2. 前記支持基材及び前記固定部材が透明な材料からなることを特徴とする請求項１に記載の検査装置用ホルダー。
3. 前記固定部材が支持部材と、位置決め部材とで構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置用ホルダー。
4. 前記位置決め部材の上面は、テーパー形状を有していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の検査装置用ホルダー。
5. 前記位置決め部材は、弾力性に富んだ材料からなることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の検査装置用ホルダー。

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