JP6005689B2 - ウエハーまたは平板ガラス露光装置のステッパーチャック - Google Patents
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Description
また、前記ドット部の高さは0.05〜0.29mmであることが好ましい。
また、前記真空ホールを形成していないドット部にも真空ホールを形成して前記ドット部全体に真空ホールを形成してもよい。
また、前記ドット部と前記ドット部との間の一部の平坦面に真空ホールを形成し、ステッパーチャックの周りに沿って突縁部を形成することが好ましい。
また、本発明によれば、前記ステッパーチャックのドット部に形成された真空ホールによりステッパーチャックとウエハーまたはガラスとの接触面積が既存のステッパーチャックのそれより一層少ないため、半導体またはLCD(PDP)工程で致命的な汚染粒子がウエハーまたはガラスにくっ付く現象を画期的に減らすことができる。
また、本発明によれば、真空によるウエハーまたはガラスの保持が前記ドット部の真空ホールによってなされることにより、ウエハーまたは平板ガラスの撓み(bending)現象がなくなる効果がある。
また、本発明によれば、前記ドット部の高さを実験によって最適な高さに限定することにより、汚染粒子がくっ付くことなく撓み程度を最小化することができる。
また、本発明によれば、前記ステッパーチャックとウエハーまたはガラスとの接触部分を最小化することにより、安定的に前記ウエハーまたはガラスを保持しながら汚染粒子による汚染が殆んどないようにし、ステッパーチャックのドット部に形成した前記真空ホールによりウエハーの撓み現象がない効果がある。
図1〜図3に示すように、本発明の第1実施例に係るウエハーまたはガラス露光装置のステッパーチャックは、基本的に、前記ステッパーチャック1の上面に陽刻で四角錐台状のドット部2を前後左右に一定間隔を保って多数形成し、多数の前記ドット部2のうち前後左右に一つ置きに前記ドット部の中心には真空通路5と連結される真空ホール3を形成したものである。すなわち、真空ホール3を形成しているドット部同士の間のドット部2には真空ホールを形成しない。
ステッパーチャック1全体の平坦度が均一となるように加工することが何よりも重要であるため、前記ステッパーチャックのドット部2の上面を前述したように研磨処理する。ステッパーチャック1の全体表面の均一度が一定でなければ真空が漏れることがあり、ウエハーまたは平板ガラスの微細撓みが発生して露光の際にパターンのいずれか一方が鮮明でなければ製品の不良につながるため、前記ステッパーチャック1の平坦度が非常に重要である。
図4に示すように、本発明の第2実施例に係るステッパーチャック1aは、真空ホール3がドット部2全体に形成されたものである。これは強力な真空が必要なときのような特別な場合に数多くの真空ホール3を形成したものであり、ドット部2全体に前記真空ホール3が形成されたことを除いては前記第1実施例のステッパーチャック1と構成および機能が同一である。
図5に示すように、本発明の第3実施例に係るウエハーまたはガラス露光装置のステッパーチャック1は、ドット部2とドット部2との間の一部の平坦面にもウエハーまたは平板ガラスを保持する真空ホール3aを形成することにより、ドット部2に形成された真空ホール3と共に真空通路5に連結することもできる。
2 ドット部
3 ドット部の上面の中心に形成した真空ホール
3a ドット部とドット部との間の平坦面に形成した真空ホール
4 突縁部
5 真空通路
Claims (2)
- 半導体のウエハー、またはLCDまたはPDPの平板ガラス露光装置のステッパーチャックにおいて、
円板状または四角状のステッパーチャックの上面に、上方に突出した四角錐台状のドット部を前後左右に一定間隔を保って多数形成し、前記多数のドット部のうち前後左右に一つおきの前記ドット部の中心に真空ホールを形成し、
前記ドット部と前記ドット部との間の一部の平坦面に真空ホールを形成し、
ステッパーチャックの周りに沿って突縁部を形成し、
前記ドット部の高さは0.05〜0.29mmであることを特徴とする、ウエハーまたはガラス露光装置のステッパーチャック。 - 前記真空ホールを形成していないドット部にも真空ホールを形成して前記ドット部全体に真空ホールを形成したことを特徴とする、請求項1に記載のウエハーまたはガラス露光装置のステッパーチャック。
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