KR102380482B1 - 기판 이송장치 - Google Patents

Abstract

기판 이송장치는 기판의 배면과 결합되는 돌출부들을 포함하고, 상기 기판을 적재하는 고정 척을 포함한다. 상기 고정 척은 상기 돌출부들과 결합되어 상기 기판을 지지하고, 상기 돌출부들 중 대응되는 돌출부의 일측에 배치되는 제1 고정부 및 상기 대응되는 돌출부의 타측에 배치되는 제2 고정부를 포함하는 고정부재들을 포함한다. 상기 기판은 서로 교차하는 제1 방향 및 제2 방향으로 배열되는 다수의 셀 영역들 및 상기 셀 영역들을 제외한 더미 영역을 포함한다. 상기 돌출부들은 상기 더미 영역에 나열되어 상기 셀 영역들 각각을 에워싸며 배치되고, 상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부 각각은 고정핀을 포함하고, 상기 고정핀들 각각을 제1 번째 누르면 상기 대응되는 돌출부에 고정되고 상기 고정핀들 각각을 제2 번째 누르면 상기 대응되는 돌출부로부터 분리된다.

Description

기판 이송장치 {APPARATUS FOR TRANSPORING SUBSTRATE}

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 특히, 디스플레이장치의 제조 공정에 이용되는 기판을 이송시키기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 각종 정보를 사용자에게 표시할 때에는 디스플레이 장치가 사용되고 있으며, 최근에는 전자산업의 발달로 두께가 얇은 디스플레이 장치가 널리 보급되어 사용되고 있다. 예컨대, 상기 디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display panel), 유기 EL(Electro Luminescence) 이 널리 보급되어 사용되고 있다.

상기 디스플레이 장치들에는 그 표면에 다수의 화소들이 형성된 글라스 기판을 포함하는 데, 상기 글라스 기판의 제조 공정에 따르면, 모 기판에 대해 다수의 화소들을 형성하는 공정들을 일괄적으로 수행한 이후에, 상기 모 기판을 다수의 글라스 기판들로 절단될 수 있다.

한편, 현재 디스플레이 장치들이 대형화됨에 따라 디스플레이 장치가 포함하는 글라스의 크기도 대형화되고 있다. 상기 기판에는 다양한 패턴이 형성되도록 식각 및 세정 공정 등 여러 가지의 제조공정이 수행되는데, 이러한 각 제조 공정별로 기판을 이송 장치를 이용하여 이송하게 된다.

본 발명의 목적은 기판을 보다 안전하게 이송할 수 있는 기판 이송장치를 제공하는데 있다.

기판 이송장치에 있어서, 상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 이송장치는 돌출부들, 고정 척, 고정부재들을 포함한다.

상기 기판은, 서로 교차하는 제1 방향 및 제2 방향으로 배열되는 다수의 셀 영역들 및 상기 셀 영역들을 제외한 더미 영역을 포함하고, 상기 돌출부들은, 상기 더미 영역에 나열되어 상기 셀 영역들 각각을 에워싸며 배치된다.

본 발명의 기판 이송장치에 따르면, 기판은 고정 척의 고정부에 의해 물리적으로 고정된 상태에서 이송되므로 추락과 같은 다양한 요인들로 기판이 손상되는 것이 방지될 수 있다. 또한, 다수의 고정부재가 기판을 지지하므로 기판이 처지는 것을 방지할 수 있다.

또한, 돌출부가 기판의 배면에 부착되더라도, 상기 돌출부는 더미 영역에 제공되므로 최종 스크라이브(scribe) 공정에 의해 용이하게 제거될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 이송 장치의 분해 사시도이다.
도 2는 도 1에서 도시된 기판의 배면을 도시한 도면이다.
도 3a는 기판과 고정 척의 결합 관계 및 동작을 나타내는 도면이다.
도 3b는 도 3a에서 도시된 기판 및 고정 척의 결합 구조를 나타내는 단면도이다.

이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 상세히 살펴보기로 한다. 상기한 본 발명의 목적, 특징 및 효과는 도면과 관련된 실시 예들을 통해서 용이하게 이해될 수 있을 것이다. 다만, 본 발명은 여기서 설명되는 실시 예들에 한정되지 않고, 다양한 형태로 응용되어 변형될 수도 있다. 오히려 후술될 본 발명의 실시 예들은 본 발명에 의해 개시된 기술 사상을 보다 명확히 하고, 나아가 본 발명이 속하는 분야에서 평균적인 지식을 가진 당업자에게 본 발명의 기술 사상이 충분히 전달될 수 있도록 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명의 범위가 후술될 실시 예들에 의해 한정되는 것으로 해석되어서는 안 될 것이다. 한편, 하기 실시 예와 도면 상에 동일한 참조 번호들은 동일한 구성 요소를 나타낸다.

또한, 본 명세서에서 `제1`, `제2` 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 `위에` 또는 `상에` 있다고 할 때, 다른 부분 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 이송 장치의 분해 사시도이다.

도 2는 도 1에서 도시된 기판의 배면을 도시한 도면이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 장치(100)는 기판(300)을 이송하는 장치로, 기판 이송 장치(100)는 돌출부(330), 고정 척(400)을 포함할 수 있다.

기판 이송 장치(100)는 기판 코팅(coating a substrate) 공정을 비롯하여 소프트 베이크(soft bake) 공정, 노광(exposure) 공정 등 기타 다른 공정들에 기판(300)을 투입하는 목적으로 사용되거나, 소정의 공정이 진행된 기판(300)을 반출하는 목적으로 사용될 수 있다.

이 실시 예에서는 기판(300)은 추후 진행될 스크라이브 공정 시 여러 개로 절단되는 유리 모기판일 수 있다. 또한, 기판(300) 위에 제공된 박막 트랜지스터 기판(200)은 기판(300)의 위에 배치되고, 진공증착 등의 방법으로 형성된 박막을 이용하여 만들어진 기판일 수 있다.

기판(300)은 다수의 셀 영역(310) 및 더미 영역(320)을 포함한다. 셀 영역(310)은 다수의 영역을 포함하고, 더미 영역(320)은 다수의 셀 영역을 둘러싸도록 마련될 수 있다.

이 실시 예에서는 기판(300)에는 양산의 효율화를 위해 6매 내지 8매의 박막 트랜지스터(Thin Film transistor substrate; TFT)기판 또는 컬러 필터 기판(color filter substrate)의 셀 영역(310)이 정의될 수 있다.

기판(300)의 더미 영역(320)에는 다수의 돌출부(330)가 나열되고, 다수의 돌출부(330)는 기판(300)의 아래에 배치되는 고정 척(400)에 결합된다.

고정 척(400)은 기판(300)에 나열되는 돌출부(330)와 대응하는 고정부재(430)를 포함하고, 고정부재(430)는 각각은 제1 고정부재(410) 및 제2 고정부재(420)를 포함한다. 제1 고정부재(410) 및 제2 고정부재(420) 각각은 고정핀(440)을 포함할 수 있고, 이러한 구성은 이하, 도 3a를 참조하여 상세히 설명될 것이다.

고정 척(400)에 결합된 기판(300)은 스크라이브(Scribe) 공정 과정을 통하여 더미 영역을 절단하고, 상기 절단된 더미 영역은 다수의 셀 영역(310)과 분리할 수 있다.

즉, 기판(300)에 X축 방향 및 Y축 방향 중 어느 한 방향으로 소정의 스크라이브 라인(Scribe Line)이 정의되고, 스크라이브 라인을 따라 기판(300)이 절단됨에 따라 복수의 단위기판을 형성할 수 있다. 스크라이브 라인은 기판(300)의 배면에 결합된 다수의 돌출부가 나열됨에 따라 형성되는 라인으로 정의할 수 있다.

기판(300)을 절단하는 방법으로는, 미세한 다이아몬드가 소정 간격으로 이격되어 박혀있는 스크라이브 휠(scribe wheel)을 이용하여 절단하는 방법 및 레이저빔을 이용하여 절단하는 방법이 있다.

스크라이브 공정 과정에서 기판(300)의 더미 영역이 제거되므로, 상기 더미 영역에 제공된 다수의 돌출부(330)는 기판(300)에 결합되어 있는 돌출부(330) 및 고정 척(400)의 고정부재(430)은 제거되므로 기판(300)의 셀 영역(310)에 영향을 끼치지 않는다.

도 3a는 기판과 고정 척의 결합 관계 및 동작을 나타내는 도면이다.

도 3b는 도 3a에서 도시된 기판 및 고정 척의 결합 구조를 나타내는 단면도이다.

도 3a 및 3b를 참조하면, 기판(300)의 배면에 나열되는 돌출부(330)는 제1 폭(d1)을 갖는 헤드부(340) 및 제1 폭(d1)보다 큰 제2 폭(d2)을 갖는 연결부(350), 기판(300)의 배면에 결합되는 결합부(360)를 포함한다.

돌출부(330) 각각은 제1 고정부(410) 및 제2 고정부(420) 사이에 수직 방향으로 삽입되고, 고정부재(430)의 고정핀(440)에 결합되어 고정된다.

헤드부(340)는 제1 폭(d1)을 갖고, 고정 척(400)의 제1 바닥부(415)와 접촉되어 기판(300)을 지지하며, 연결부(350)는 헤드부(340)의 제1 폭(d1)보다 큰 제2 폭(d2)을 갖고, 양측에 제1 체결홈(370) 및 제2 체결홈(380)을 포함한다.

결합부(360)는 연결부(350)에 연장되어 기판(300)의 배면에 접촉하며, 기판(300)과 고정 척(430)은 서로 마주할 수 있다. 이에 따라, 돌출부(330) 및 고정 척(400)은 일체형으로 형성되어, 체결성을 향상시킬 수 있고, 기판 이송이 용이하게 된다.

고정 척(400)은 기판(300) 및 박막트랜지스터 기판(200)을 지지하고, 바닥부(415) 및 고정부재(430)를 포함하며, 바닥부(415)는 기판(300) 배면에 나열된 돌출부(330) 라인과 대응하여 다수의 고정부재(430)를 갖고, 상기 돌출부(330)는 상기 다수의 고정부재(430)를 지지한다.

고정부재(430)는 제1 고정부(410) 및 제2 고정부(420)를 포함하고, 제1 고정부(410)는 제1 고정핀(411) 및 제2 고정핀(412)을 갖고, 제2 고정부(420)는 제3 고정핀(413) 및 제4 고정핀(414)을 갖는다.

제1 고정부(410)의 제1 고정핀(411)은 제1 방향(D1)으로, 제2 고정부(420)의 제4 고정핀(414)은 제2 방향(D2)으로 각각 삽입되고, 제1 고정부(410)의 제2 고정핀(412) 및 제2 고정부(420)의 제3 고정핀(413)은 각각 제2 방향(D2) 및 제1 방향(D1)으로 돌출되어 고정된다.

또한, 제1 고정핀(411) 및 제4 고정핀(414)을 누르는 횟수에 따라, 제2 고정핀(412)과 제3 고정핀(413)을 삽입 및 돌출되는 것이 조절된다. 즉, 제1 고정핀(411) 및 제4 고정핀(414)은 1회 누름에 따라, 제2 고정핀(412) 및 제3 고정핀(413)의 스위치 역할을 한다. 돌출된 제2 고정핀(412) 및 제3 고정핀(413)은 각각 제1 체결홈(370) 및 제2 체결홈(380)에 삽입되어 고정되고, 제1 고정핀(411) 및 제4 고정핀(414)을 다시 1회 누름에 따라, 제1 체결홈(370) 및 제2 체결홈(380)에 삽입된 제2 고정핀(412) 및 제3 고정핀(413)은 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)으로 삽입되어 고정이 해제되어, 돌출부(330)와 고정부재(430)가 분리된다.

도시하지 않았으나, 제1 고정부재(410)에 포함되는 제1 고정핀(411) 및 제2 고정핀(412)은 일체형 형태일 수 있고, 제2 고정부재(420)에 포함되는 제3 고정핀(413) 및 제4 고정핀도 일체형 형태를 가질 수 있다. 단, 본 발명의 돌출부(330)와 고정부재(430)의 고정방법을 한정하는 것은 아니다. 예를 들면, 돌출부(330)의 연결부(350)가 갖는 제1 체결홈(370) 및 제2 체결홈(380)은 굴곡된 형태의 다른 종류의 돌출부(330)일 수 있다. 또한, 고정핀(440)의 경우 일체형이 아닌 각각의 고정핀(440) 형태일 수 있고, 별도의 스위치를 마련하여 돌출 및 삽입을 조절할 수도 있다.

따라서, 기판(300)은 고정 척(400)에 결합되므로 기판의 이송 및 로딩 시, 충격에 의한 손상을 방지할 수 있다. 또한, 돌출부(330) 및 고정부재(430)를 이용하여 고정함에 따라, 종래의 기판(300) 셀 영역(310)에 발생하는 리프트 바(Lift Bar) 자국을 방지하고, 리프트 바의 위치 및 셀 배치 영향으로 발생할 수 있는 기판(300)의 휨 현상을 해결할 수 있다.

이상 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한 본 발명에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니고, 하기의 특허 청구의 범위 및 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

100: 기판 이송 장치 200: 박막트랜지스터기판
300: 기판 310: 셀 영역
320: 더미영역 330: 돌출부
340: 헤드부 350: 연결부
360: 결합부 370: 제1 체결홈
380: 제2 체결홈 400: 고정 척
410: 제1 고정부 411: 제1 고정핀
412: 제2 고정핀 413: 제3 고정핀
414: 제4 고정핀 415: 바닥부
420: 제2 고정부 430: 고정부재
440: 고정핀 D1: 제1 방향
D2: 제2 방향 d1: 제1 폭
d2: 제2 폭

Claims (10)

1. 기판 이송장치에 있어서,
   상기 기판의 배면과 결합되는 다수의 돌출부들; 및
   상기 기판을 적재하고, 상기 돌출부들과 결합되어 상기 기판을 지지하고, 각각이 상기 돌출부들 중 대응되는 돌출부의 일측에 배치되는 제1 고정부 및 상기 대응되는 돌출부의 타측에 배치되는 제2 고정부를 포함하는 고정부재들을 포함하는 고정 척을 포함하고,
   상기 기판은 서로 교차하는 제1 방향 및 제2 방향으로 배열되는 다수의 셀 영역들 및 상기 셀 영역들을 제외한 더미 영역을 포함하고,
   상기 돌출부들은,
   상기 더미 영역에 나열되어 상기 셀 영역들 각각을 에워싸며 배치되고,
   상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부 각각은 고정핀을 포함하고, 상기 고정핀들 각각을 제1 번째 누르면 상기 대응되는 돌출부에 고정되고 상기 고정핀들 각각을 제2 번째 누르면 상기 대응되는 돌출부로부터 분리되는 기판 이송장치.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 돌출부들 각각은,
   제1 폭을 갖는 헤드부;
   상기 기판과 결합되는 결합부; 및
   상기 헤드부와 상기 결합부를 연결하고, 체결홈이 정의된 연결부를 포함하는 기판 이송장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 돌출부들은,
   상기 기판과 상기 고정 척 사이에 위치하여 상기 기판을 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부 각각의 상기 고정핀은 상기 체결홈과 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
6. 삭제
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 제1 고정부의 상기 고정핀은 제1 고정핀 및 제2 고정핀을 포함하고,
   상기 제2 고정부의 상기 고정핀은 제3 고정핀 및 제4 고정핀을 포함하며,
   상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부는, 상기 고정 척의 바닥부에 지지되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 제1 고정핀 및 상기 제4 고정핀은 상기 고정부재들 각각에 삽입 및 돌출되고,
   상기 제2 고정핀 및 상기 제3 고정핀은 상기 돌출부들 및 상기 고정부재들 각각에 삽입되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 제2 고정핀은, 상기 돌출부들 각각의 제1 체결홈에 삽입되고,
   상기 제3 고정핀은, 상기 돌출부들 각각의 제2 체결홈에 삽입되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1 고정핀을 일 방향으로 누르면 상기 제2 고정핀은 상기 일 방향으로 돌출되고, 상기 제4 고정핀을 상기 일 방향의 역 방향으로 누르면 상기 제3 고정핀이 상기 역 방향으로 돌출되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
    

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