JP4826466B2 - 露光機のワークステージを用いた露光方法 - Google Patents
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Description
図1に示すように、この露光機は、薄板状ワーク6を保持するワークステージ9と、所定のパターンが形成されたフォトマスク3を保持するマスクホルダ4と、アライメント用の顕微鏡10と、露光用の光源である高圧水銀ランプ11とを含んでいる。
(1)露光機内のワークステージ9の支持部7に表裏両面加工に付される薄板状ワーク6を乗せる。真空吸引孔7bから環状凹溝7a内の空気を排出し、薄板状ワーク6の周縁部6bを支持部7の環状凹溝7a上に吸着し固定する。
(2)露光機内でワークステージ9を上昇させ、支持部7に吸着された薄板状ワーク6をフォトマスク3に接近させる。
(3)図1に示す顕微鏡10で薄板状ワーク6とフォトマスク3との重畳体を観察しながらアライメントを行う。アライメントが終わると顕微鏡10をフォトマスク3上から退避させる。
(4)再度ワークステージ9を上昇させ、図1及び図3に示すごとく支持部7に吸着された薄板状ワーク6をフォトマスク3に、両者間に透き間(プロキシミティギャップ)δが生じる程度に接近させる。
(5)図3に示すように、支持部7の内側に形成される空洞部8内に導入孔13から清浄な空気を導入する。この導入空気の圧力により、支持部7に吸着された薄板状ワーク6がフォトマスク3側に均一に押圧される。これにより、薄板状ワーク6の撓みが解消する。また、薄板状ワーク6の裏面に対しワークステージ9は非接触であるから、薄板状ワーク6の裏面の傷付き、汚染が防止される。
(6)水銀ランプ11が点灯され、フォトマスク3上から薄板状ワーク6に対し光が照射される。これにより、薄板状ワーク6のレジスト膜にフォトマスク3のパターンが潜像として形成される。その後、レジスト膜が現像され、その全面にパターンが現れる。上述したように薄板状ワーク6はその全面にわたり撓みが解消しているので、パターンは薄板状ワーク6の全面にわたり均一に形成される。
図4及び図5に示すように、この実施の形態2における露光機のワークステージ14では、流体である空気を導入孔13から空洞部8内に導き、排出孔15から空洞部8外に排出しながら、薄板状ワーク6の中央部6aを空洞部8側からフォトマスク3側に非接触で押圧するようになっている。排出孔15はワークステージ14の基部9bに、薄板状ワーク6の周縁部6bに対向するように形成される。
図6及び図7に示すように、この実施の形態3における露光機のワークステージ16では、撓み矯正手段として、シリコンゴム等の軟質材からなる凸状のスペーサ17が用いられる。この凸状のスペーサ17が支持片17aに支持されて空洞部8内の所望の位置に配置され、粘着テープ等により基部9bにおける空洞部8の底面に固定される。この実施の形態3ではスペーサ17は複数箇所にわたって設けられる。また、薄板状ワーク6の押圧する箇所を適宜選別してスペーサ17を配置する。この場合は薄板状ワーク6の非加工部にスペーサ17が対峙するようにしたり、薄板状ワーク6の加工済みの箇所にスペーサ17が当たらないようにしたりすることができる。
6…薄板状ワーク
6a…薄板状ワークの中央部
6b…薄板状ワークの周縁部
7…支持部
8…空洞部
13…導入孔
15…排出孔
17…スペーサ
Claims (1)
- 裏面が露光加工済の薄板状ワークの周縁部を露光機のワークステージの支持部で支持する支持工程と、
支持部に支持された薄板状ワークをその表面とフォトマスクとの間に透き間が生じるように配置する配置工程と、
支持部の内側に形成される空洞部内に配置した軟質材からなる先細りの凸状のスペーサであって、上記薄板状ワーク裏面の露光加工済みの箇所を避け非加工部に対峙するように選別して設けられたスペーサにより、支持部に支持された薄板状ワークの中央部をフォトマスク側に押圧して撓みを矯正する押圧工程と、
フォトマスク上から薄板状ワークに対し露光するプロキシミティ露光工程とを包含してなることを特徴とする露光方法。
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