JPH1111631A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板搬送の安定性を確保すると共に、基板サ
イズ変更時の作業性を改善することができる基板搬送装
置を提供する。 【解決手段】 搬送ローラ１０が基板Ｓを裏面から支持
する一方、基板傾斜方向ＩＤにおける両端縁側（基板の
幅方向端縁）を下方および上方端縁支持ローラ２２、３
２が基板表面および基板側面を支持する。このように、
基板Ｓを上方、下方および側面から支持した状態で搬送
することができ、基板搬送の安定性を向上させることが
できる。また、基板サイズを変更する際にも、搬送ロー
ラ１０を交換することなく、上方および下方端縁支持ロ
ーラ３２、２２のうち少なくとも一方を再配置すること
で相互に異なる基板サイズの基板Ｓを搬送することがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体基
板、ＬＣＤ（液晶表示装置）用ガラス基板、ＰＤＰ（プ
ラズマディスプレイパネル）用ガラス基板、プリント基
板などの板状基板（以下、単に「基板」という）を水平
方向に対して傾斜させた状態で、所定の基板搬送方向に
搬送する基板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の基板搬送装置としては、
例えば特開平７−２８３１８５号公報や実開平６−８７
３３８号公報に記載されたものがある。これらのうち前
者（特開平７−２８３１８５号公報）には、サイドガイ
ドローラ方式の基板搬送装置によって基板を傾斜状態で
搬送しながら当該基板を洗浄処理する基板洗浄装置が記
載されている。すなわち、この基板搬送装置では、回転
軸の長手方向を水平方向に対して所定角度傾斜させた状
態でその回転軸に搬送ローラを所定間隔毎に配設してい
る搬送ローラ部材が基板の搬送方向に複数並設されてい
る。そして、搬送ローラによって基板の裏面を支持する
とともに、基板の傾斜方向における下方端縁側の基板側
面を基板端面支持板に突き当てることで基板を支持して
いる。また、これら搬送ローラ部材および基板端面支持
板は回転駆動機構と連結されている。したがって、この
ように構成された基板搬送装置では、各搬送ローラ部材
および基板端面支持板を回転駆動させることにより、傾
斜状態で支持された基板が搬送方向に搬送される。

【０００３】また、もう一方の公報（実開平６−８７３
３８号公報）には、裏面鍔付きローラと押えローラとで
基板端縁を支持しながら基板を傾斜状態で搬送する技術
が記載されている。すなわち、この基板搬送装置は、搬
送軸と、鍔部を外側、ローラ部を内側にそれぞれ向けた
状態で搬送軸の両側にそれぞれ配設された鍔付搬送ロー
ラと、これら両鍔付搬送ローラの上方に配設された押え
ローラ軸と、この押えローラ軸の両側にそれぞれ配設さ
れ、両鍔付搬送ローラの各ローラ部上に載置された基板
の両端縁を上側からそれぞれ押える押えローラとを備え
ている。また、これらが水平面に対して傾斜させた状態
で配置されており、基板の両端縁を上下から挟持した状
態で搬送するようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記サイド
ガイドローラ方式の基板搬送装置（特開平７−２８３１
８５号公報記載の基板搬送装置）では、基板の裏面は搬
送ローラによって支持され、傾斜方向における下方端縁
側での基板側面は基板端面支持板で支持しているが、基
板表面は全く保持されていない。そのため、例えば、ブ
ラシ洗浄や高圧水洗浄などの物理力を利用した水洗手段
などを用いて表面処理する場合には、基板搬送方向に対
して直角な上下方向の力が基板に作用することになっ
て、基板保持力が不足して安定な基板搬送ができないと
問題がある。また、上記基板搬送装置によって搬送され
る基板に対してブラシ洗浄処理や薬液処理などを施す場
合、少なくとも基板の下方端縁を上方向からも確実に保
持しないと基板と搬送ローラがスリップして基板搬送に
支障を来たす虞がある。このように、従来のサイドガイ
ドローラ方式の基板搬送装置では、基板搬送を安定して
行うことができないという重大な問題があった。

【０００５】これに対し、上記従来の裏面鍔付きローラ
方式の基板搬送装置（実開平６−８７３３８号公報記載
の基板搬送装置）では、搬送ローラと押えローラによっ
て基板両端縁を支持しながら、基板搬送を行っているた
め、基板搬送を安定して行うことができる。しかしなが
ら、多種の基板サイズに対応するために、その都度、基
板の幅方向（基板傾斜方向）における押えローラ間の設
置距離と、同方向における搬送ローラ間の設置距離とを
順次変更しなければならず、多大な労力を必要として作
業性が悪いという問題を有していた。また、基板の表面
側に押えローラ軸が存在するため、例えば基板搬送装置
によって搬送されている基板に対して上面側より純水や
薬剤などの処理液を供給して基板処理する場合、処理液
の一部が押えローラ軸に当たり、処理液が基板表面に均
一に供給されず、その結果、処理ムラが生じるおそれが
ある。

【０００６】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
で、基板搬送の安定性を確保すると共に、基板サイズ変
更時の作業性を改善することができる基板搬送装置を提
供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、基板
を水平方向に対して傾斜させた状態で、所定の基板搬送
方向に搬送する基板搬送装置であって、上記目的を達成
するため、基板を裏面から支持して搬送可能な搬送ロー
ラと、前記基板搬送方向に沿って相互に離隔配置されな
がら、各々が基板の傾斜方向における下方端縁側で、し
かも当該基板傾斜方向に対して鋭角をなすように立設さ
れた複数の下方端縁支持軸と、各下方端縁支持軸の先端
部に回転自在に取り付けられ、前記基板傾斜方向におけ
る下方端縁側で基板表面および基板側面を支持する複数
の下方端縁支持ローラと、を備えている。

【０００８】この発明では、搬送ローラが基板を裏面か
ら支持する一方、複数の下方端縁支持ローラが基板傾斜
方向における下方端縁側で基板表面および基板側面を支
持する。そして、このように搬送ローラおよび下方端縁
支持ローラで基板が上方、下方および側面から支持され
た状態で搬送され、基板搬送の安定性が向上される。ま
た、基板傾斜方向においては下方端縁側のみが複数の下
方端縁支持ローラで支持されているため、基板サイズを
変更したとしても、搬送ローラおよび下方端縁支持ロー
ラのいずれも変更することなく、相互に異なる基板サイ
ズの基板が搬送ローラおよび下方端縁支持ローラで上
方、下方および側面から支持され、上記したように安定
して搬送される。

【０００９】請求項２の発明は、前記下方端縁支持ロー
ラが前記基板表面と当接する第１当接部と、前記下方端
縁支持ローラが前記基板側面と当接する第２当接部との
少なくとも一方にＯリングを取り付けている。

【００１０】この発明では、下方端縁支持ローラの第１
および第２当接部の少なくとも一方にＯリングが取り付
けられており、Ｏリングが取り付けられた側での基板と
の接触面積が小さくなり、発塵が抑制される。

【００１１】請求項３の発明は、前記基板搬送方向に沿
って相互に離隔配置されながら、各々が前記基板傾斜方
向における上方端縁側で、しかも当該基板傾斜方向に対
して鋭角をなすように横設された複数の上方端縁支持軸
と、各上方端縁支持軸の先端部に回転自在に取り付けら
れ、前記基板傾斜方向における上方端縁側で基板表面お
よび基板側面を支持する複数の上方端縁支持ローラとを
さらに備えている。

【００１２】この発明では、基板傾斜方向における下方
端縁側のみならず、上方端縁側にも基板表面および基板
側面を支持する複数のローラ、つまり上方端縁支持ロー
ラが設けられている。したがって、基板傾斜方向におけ
る基板の両端縁が上方および下方端縁支持ローラによっ
て支持され、基板搬送の安定性がさらに高められる。ま
た、基板サイズを変更する際にも、搬送ローラを交換す
ることなく、上方および下方端縁支持ローラのうち少な
くとも一方を交換することで相互に異なる基板サイズの
基板が搬送ローラ、上方および下方端縁支持ローラで上
方、下方および側面から支持され、上記したように安定
して搬送される。

【００１３】請求項４の発明は、前記下方端縁支持ロー
ラが前記基板表面と当接する第１当接部と、前記下方端
縁支持ローラが前記基板側面と当接する第２当接部と、
前記上方端縁支持ローラが前記基板表面と当接する第３
当接部と、前記上方端縁支持ローラが前記基板側面と当
接する第４当接部とのうち少なくとも１つ以上の当接部
にＯリングを取り付けている。

【００１４】この発明では、下方端縁支持ローラの第１
および第２当接部と、上方端縁支持ローラの第３および
第４当接部とのうち少なくとも１つ以上の当接部にＯリ
ングが取り付けられており、Ｏリングが取り付けられた
側での基板との接触面積が小さくなり、発塵が抑制され
る。

【００１５】請求項５の発明は、前記上方および下方端
縁支持軸の少なくとも一方を基板の傾斜方向と平行にス
ライド自在に設けている。

【００１６】この発明では、上方および下方端縁支持軸
の少なくとも一方が基板の傾斜方向と平行にスライド自
在となっており、基板サイズを変更する際にも、搬送ロ
ーラを交換することなく、上方および下方端縁支持軸の
うちスライド自在となっているものを基板サイズに応じ
てスライドさせることで相互に異なる基板サイズの基板
が搬送ローラ、上方および下方端縁支持ローラで上方、
下方および側面から支持され、上記したように安定して
搬送される。

【００１７】請求項６の発明は、前記下方端縁支持ロー
ラを基板傾斜方向における基板のスライド移動に応じて
揺動自在に設け、当該基板が前記第２当接部に当接しな
がら基板傾斜方向にスライド移動すると、前記下方端縁
支持ローラが揺動して前記第１当接部が当該基板の表面
に当接するように構成している。

【００１８】この発明では、基板がその自重によって基
板傾斜方向にスライド移動すると、まず第２当接部に当
接し、さらにスライド移動することで下方端縁支持ロー
ラが揺動して第１当接部が当該基板の表面に当接する。

【００１９】

【発明の実施の形態】図１は、この発明にかかる基板搬
送装置の一の実施の形態を示す斜視図である。図２は図
１の基板搬送装置の部分拡大断面図であり、特に同図
(b)および(c)はそれぞれ同図(a)の２点鎖線領域Ａ、Ｂ
の拡大図である。この基板搬送装置は基板Ｓを水平方向
ＨＤに対して所定角度θだけ傾斜させた状態で基板搬送
方向ＴＤに搬送する装置であり、傾斜状態で基板Ｓを下
方から支持して搬送する搬送ローラ１０が複数個、基板
搬送方向ＴＤに沿って互いに所定間隔だけ離隔しながら
配置されている。各搬送ローラ１０は、図２(a)に示す
ように、その長手方向が基板傾斜方向ＩＤと平行となる
ように延設されたローラ軸１１と、基板傾斜方向ＩＤに
おける上方（＋ＩＤ）側および下方（−ＩＤ）側でそれ
ぞれローラ軸１１に取り付けられた上方および下方ロー
ラ１２，１３とを備えている。これら上方および下方ロ
ーラ１２，１３はともに同一の径を有しており、しかも
両者の対向間隔は最小サイズの基板Ｓの幅寸法よりも短
く設定されており、後述するように基板サイズを変更し
たとしても、如何なるサイズの基板Ｓも上方および下方
ローラ１２、１３上に架橋状態で載置し得るようになっ
ている。

【００２０】また、各ローラ１２、１３には、ゴムや合
成樹脂などの柔軟性材料からなる摩擦係数の大きなＯリ
ング１２ａ、１３ａが外嵌されており、その結果、基板
ＳはＯリング１２ａ，１３ａ上に載置される。このた
め、この基板搬送装置では、ローラ軸１１を回転駆動機
構（図示省略）によって回転駆動すると、ローラ１２と
Ｏリング１２ａとが、またローラ１３とＯリング１３ａ
とが一体的に回転して基板Ｓが基板搬送方向ＴＤに搬送
される。なお、この実施の形態では、摩擦係数の大きな
Ｏリング１２ａ，１３ａが直接基板Ｓの裏面と接触し、
基板Ｓを基板搬送方向ＴＤに搬送するように構成してい
るため、基板Ｓが各ローラ１２、１３上で滑るのが防止
されて搬送の安定性が図られている。

【００２１】この基板搬送装置では、上記のように搬送
ローラ１０が駆動ローラとして機能し、基板Ｓを基板搬
送方向ＴＤに搬送する一方、次のように構成された複数
の端縁支持ローラが従動ローラとして傾斜方向ＩＤにお
ける両端縁側での基板表面および基板側面を支持してい
る。

【００２２】すなわち、複数の下方端縁支持軸２１が基
板搬送方向ＴＤに沿って相互に離隔配置されている（図
１参照）。各下方端縁支持軸２１は、図２(a)に示すよ
うに、基板傾斜方向ＩＤにおける下方端縁側（−ＩＤ
側；同図(a)の右下側）で、しかも当該基板傾斜方向Ｉ
Ｄに対して鋭角α（０゜＜α＜９０゜；例えば、４５
゜）をなすように立設されている。そして、各下方端縁
支持軸２１の先端部に下方端縁支持ローラ２２が回転自
在に取り付けられている。各下方端縁支持ローラ２２
は、そろばん玉を２個上下方向に重ね合わせたような形
状を有しており、基板傾斜方向ＩＤにおける基板Ｓの下
方端縁側において、上方側の環状突設部２２１が基板表
面と当接するとともに、下方側の環状突設部２２２が基
板側面と当接している。したがって、この実施の形態で
は、上記のように搬送ローラ１０によって基板搬送方向
ＴＤに搬送される基板Ｓの下方端縁において表面側が環
状突設部２２１で押え付けられるとともに、側面側が環
状突設部２２２に押し付けられた状態で支持されてい
る。つまり、この実施の形態では、環状突設部２２１が
第１当接部として機能するとともに、環状突設部２２２
が第２当接部として機能しながら、基板Ｓの下方端縁
（−ＩＤ）側を上方および側方から支持している。

【００２３】また、基板傾斜方向ＩＤにおける上方端縁
側（＋ＩＤ側；同図(a)の左上側）については、図１に
示すように、複数の上方端縁支持軸３１が基板搬送方向
ＴＤに沿って相互に離隔配置されている。そして、各上
方端縁支持軸３１は、図２に示すように、基板傾斜方向
ＩＤにおける上方端縁（＋ＩＤ）側で、しかも当該基板
傾斜方向ＩＤに対して鋭角β（０゜＜α＜９０゜；例え
ば、４５゜）をなすように横設されている。さらに、各
上方端縁支持軸３１の先端部に、下方端縁支持ローラ２
２と同一形状の上方端縁支持ローラ３２が回転自在に取
り付けられている。したがって、この実施の形態では、
上記のように搬送ローラ１０によって基板搬送方向ＴＤ
に搬送される基板Ｓの上方端縁において表面側が環状突
設部３２１で押え付けられるとともに、側面側が環状突
設部３２２に押し付けられた状態で支持されている。つ
まり、この実施の形態では、環状突設部３２１が第３当
接部として機能するとともに、環状突設部３２２が第４
当接部として機能しながら、基板Ｓの上方端縁側を上方
および側方から支持している。

【００２４】したがって、この基板搬送装置では、搬送
ローラ１０が基板Ｓを下方から支持する一方、基板傾斜
方向ＩＤにおける両端縁側（基板の幅方向端縁）を下方
および上方端縁支持ローラ２２、３２が基板表面および
基板側面を支持するように構成しているので、基板Ｓを
上方、下方および側面から支持した状態で搬送すること
ができ、基板搬送の安定性を向上させることができる。
特に、ブラシ洗浄や高圧水洗浄などの物理力を利用した
水洗手段などを用いて表面処理する基板処理装置におい
て基板を搬送する場合、「発明が解決しようとする課
題」の項で説明したように、基板搬送方向に対して直角
な上下方向に作用する力や搬送ローラのスリップなどに
よって基板搬送の安定性が損なわれるという問題がある
が、この基板搬送装置では基板Ｓを上方からも支持した
状態で搬送しているため、かかる問題を効果的に解消す
ることができる。

【００２５】また、基板サイズを変更する際にも、搬送
ローラ１０を交換することなく、上方および下方端縁支
持ローラ３２、２２のうち少なくとも一方を再配置する
ことで相互に異なる基板サイズの基板Ｓを搬送すること
ができる。例えば、図２の基板サイズＷ1から基板サイ
ズＷ2（＜Ｗ1）に変更する場合、上方端縁支持軸３１お
よび上方端縁支持ローラ３２を一体的に取外し、図３に
示すように基板サイズＷ2に応じた位置に配置し直すこ
とで基板サイズＷ2の大型基板Ｓを、基板サイズＷ1の基
板Ｓと同様に、搬送ローラ１０、上方および下方端縁支
持ローラ３２、２２で上方、下方および側面から支持し
ながら安定して搬送することができる。なお、上方端縁
支持ローラ３２の代わりに下方端縁支持ローラ２２を再
配置したり、両端縁支持ローラ２２、３２を再配置する
ようにしてもよい。

【００２６】このように、この実施の形態にかかる基板
搬送装置によれば、この基板搬送の安定性を確保すると
共に、基板サイズ変更時の作業性を改善することができ
る。

【００２７】また、従来の裏面鍔付きローラ方式の基板
搬送装置（実開平６−８７３３８号公報記載の基板搬送
装置）では、「発明が解決しようとする課題」の項で説
明したように、基板両端縁を上方より支持するために基
板の上面側に押えローラ軸を設ける必要があるために、
基板に処理液を供給して基板処理する基板処理装置に適
用した場合、基板の上面側から供給される処理液の一部
が押えローラ軸に当たり、処理液が基板表面に均一に供
給されず、処理ムラを引き起こすおそれがある。これに
対し、この実施の形態にかかる基板搬送装置では、基板
の上面側にローラ軸などの構成要素を配設することな
く、基板傾斜方向ＩＤにおける基板Ｓの両端縁を上方よ
り支持することができるように構成されているため、基
板に対して上面より処理液を均一に供給することがで
き、基板を安定して搬送しながら当該基板に対して優れ
た均一性で基板処理を行うことができる。

【００２８】以上、実施の形態に即してこの発明を説明
したが、この発明は上記実施の形態に限定されるもので
はなく、例えば、以下のように変形することができる。

【００２９】(1) 上記実施の形態では、基板サイズの変
更に伴って上方および下方端縁支持ローラ３２、２２の
うち少なくとも一方を再配置することで相互に異なる基
板サイズの基板Ｓを搬送可能に構成しているが、図４に
示すように、上方および下方端縁支持軸３１、２１を、
基板傾斜方向ＩＤと平行に延設されたガイドレール３
３、２３に沿ってスライド自在に構成し、基板サイズの
変更が必要となった際に、上方および下方端縁支持軸３
１、２１の少なくとも一方を基板サイズに応じて端縁支
持ローラとともにスライドさせて位置決めするようにし
てもよい。なお、２つのガイドレール３３、２３のうち
一方のみを設け、上方（＋ＩＤ）側あるいは下方（−Ｉ
Ｄ）側でのみ端縁支持軸をスライドさせることで基板サ
イズに対応することも可能である。

【００３０】(2) また、上記実施の形態では、基板傾斜
方向ＩＤにおける基板Ｓの上方および下方端縁を上方お
よび下方端縁支持ローラ３２、２２で支持するように構
成しているが、下方端縁（−ＩＤ）側でのみ下方端縁支
持ローラ２２によって基板Ｓを支持するように構成して
も同様の効果が得られる。また、この場合、基板サイズ
を変更する際に、搬送ローラ１０および下方端縁支持ロ
ーラ２２のいずれも変更することなく、相互に異なる基
板サイズの基板Ｓを搬送ローラ１０および下方端縁支持
ローラ２２で上方、下方および側面から支持しながら安
定して搬送することができ、基板サイズ変更時の作業性
をより一層改善することができる。

【００３１】(3) また、上方および下方端縁支持ローラ
３２、２２の形状は上記実施の形態のものに限定される
ものではなく、基板傾斜方向ＩＤにおける両端縁側で基
板表面および基板側面を支持することができる限り任意
であり、例えば図５に示すように、２つの円錐台を突き
合わせた滑車形状に仕上げた端縁支持ローラ４０を用い
ることもできる。この場合、傾斜面４１、４２が基板傾
斜方向ＩＤにおける基板端縁の基板表面および基板側面
とそれぞれ当接し、当接部として機能する。

【００３２】(4) また、上記実施の形態では、第１ない
し第４当接部に相当する環状突設部２２１、２２２、３
２１、３２２が直接基板Ｓと接触するように構成してい
るが、環状突設部２２１、２２２、３２１、３２２の少
なくとも一部にＯリング５０を外嵌してもよく（図６参
照）、この場合、基板Ｓとの接触面積が小さくなり、基
板Ｓと支持ローラとの摩擦による発塵を低減することが
できる。なお、図５に示す端縁支持ローラ４０について
も、当接部に相当する傾斜面４１、４２の少なくとも一
方にＯリング５０を外嵌することで同様の効果が得られ
る（図７参照）。

【００３３】(5) また、上記実施の形態では、下方端縁
支持ローラ２２を下方端縁支持軸２１に対して回転自在
に取り付けているが、図８に示すように、下方端縁支持
軸２１の先端部に球体２４を固着し、この球体２４によ
りスカート状の下方端縁支持ローラ２５を軸支すること
で、当該下方端縁支持ローラ２５を下方端縁支持軸２１
に対して回転自在に設けるのみらなず、球体２４を中心
として揺動自在に設けるようにしてもよい。このように
回転のみならず揺動可能に構成することで、基板Ｓの自
重を利用して基板傾斜方向ＩＤにおける下方端縁側で基
板表面および基板側面を押え付けることができる。すな
わち、基板Ｓの下方端縁が基板傾斜方向ＩＤに沿って下
方端縁側（−ＩＤ）にスライドしてくると、図９に示す
ように、基板Ｓの下方端縁が下方端縁支持ローラ２５の
スカート部（第２当接部）２５２を突き当たり、基板Ｓ
の自重に相当する力Ｆが与えられる。この基板Ｓの自重
を受けて下方端縁支持ローラ２５が球体２４を中心とし
て揺動方向γに揺動する。そして、所定角度だけ揺動す
ると、図１０に示すように、下方端縁支持ローラ２５の
環状突設部（第１当接部）２５１が基板表面を押し付
け、これによって基板傾斜方向ＩＤにおける下方端縁側
で基板表面および基板側面が下方端縁支持ローラ２５で
支持される。このように、この実施の形態によれば、下
方端縁支持ローラ２５の細かな位置調整を行う必要がな
くなり、作業性を向上させることができる。しかも、基
板Ｓの自重を利用して下方端縁支持ローラ２５によって
基板Ｓを支持しているので、より確実に基板を支持する
ことができる。

【００３４】(6) また、上記実施の形態では、搬送ロー
ラ１０は基板Ｓの裏面の一部を支持するように構成して
いるが、基板Ｓの裏面全体を支持しながら搬送するよう
に構成してもよい。

【００３５】(7) さらに、上記実施の形態では、下方端
縁支持ローラ２２を従動ローラとして機能させている
が、回転駆動力を与えて駆動ローラとして機能させても
よい。

【００３６】

【発明の効果】以上のように、請求項１の発明によれ
ば、搬送ローラが基板を裏面から支持する一方、複数の
下方端縁支持ローラが基板傾斜方向における下方端縁側
で基板表面および基板側面を支持するように構成してい
るので、搬送ローラおよび下方端縁支持ローラによって
基板を上方、下方および側面から支持された状態で搬送
することができ、基板搬送の安定性を向上することがで
きる。また、基板傾斜方向においては下方端縁側のみが
複数の下方端縁支持ローラで支持されているため、基板
サイズを変更したとしても、搬送ローラおよび下方端縁
支持ローラのいずれも変更することなく、相互に異なる
基板サイズの基板を搬送することができる。このよう
に、基板搬送の安定性の確保と、基板サイズ変更時の作
業性の改善とを同時に達成することができる。

【００３７】また、請求項２の発明によれば、下方端縁
支持ローラの第１および第２当接部の少なくとも一方に
Ｏリングを取り付けているので、Ｏリングが取り付けら
れた側での基板との接触面積が小さくなり、発塵を抑制
することができる。

【００３８】請求項３の発明によれば、基板傾斜方向に
おける下方端縁側のみならず、上方端縁側にも基板表面
および基板側面を支持する複数のローラ、つまり上方端
縁支持ローラを設けているので、基板傾斜方向における
基板の両端縁を上方および下方端縁支持ローラによって
支持しており、基板搬送の安定性をさらに高めることが
できる。

【００３９】請求項４の発明によれば、下方端縁支持ロ
ーラの第１および第２当接部と、上方端縁支持ローラの
第３および第４当接部とのうち少なくとも１つ以上の当
接部にＯリングを取り付けており、Ｏリングが取り付け
られた側での基板との接触面積を小さくして、発塵を抑
制することができる。

【００４０】請求項５の発明によれば、上方および下方
端縁支持軸の少なくとも一方が基板の傾斜方向と平行に
スライド自在に構成しているので、基板サイズを変更す
る際にも、搬送ローラを交換することなく、上方および
下方端縁支持軸のうちスライド自在となっているものを
基板サイズに応じてスライドさせることで相互に異なる
基板サイズの基板を搬送することができ、基板サイズ変
更時の作業性を改善することができる。

【００４１】請求項６の発明によれば、基板がその自重
によって基板傾斜方向にスライド移動すると、まず第２
当接部に当接し、さらにスライド移動することで下方端
縁支持ローラが揺動して第１当接部が当該基板の表面に
当接するように構成しているので、基板の自重を利用し
て基板表面および基板側面を支持することができ、より
確実に基板を支持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明にかかる基板搬送装置の一の実施の形
態を示す斜視図である。

【図２】図１の基板搬送装置の部分拡大断面図である。

【図３】図２の基板サイズと異なる基板サイズの基板を
搬送する時の基板搬送装置の部分拡大断面図である。

【図４】この発明にかかる基板搬送装置の他の実施の形
態を示す斜視図である。

【図５】支持ローラの他の形態を示す支持ローラの拡大
図である。

【図６】Ｏリングによって基板を支持する場合の一の実
施の形態を示す支持ローラの拡大図である。

【図７】Ｏリングによって基板を支持する場合の他の実
施の形態を示す支持ローラの拡大図である。

【図８】下方端縁支持ローラの別の形態を示す支持ロー
ラの拡大図である。

【図９】図８の下方端縁支持ローラによる基板支持動作
を示す下方端縁支持ローラの拡大図である。

【図１０】図８の下方端縁支持ローラによる基板支持動
作を示す下方端縁支持ローラの拡大図である。

【符号の説明】

１０ 搬送ローラ ２１ 下方端縁支持軸 ２２，２５ 下方端縁支持ローラ ３１ 上方端縁支持軸 ３２ 上方端縁支持ローラ ４０ 端縁支持ローラ ４１，４２ 傾斜面（当接部） ５０ Ｏリング ２２１ 環状突設部（第１当接部） ２２２ 環状突設部（第２当接部） ３２１ 環状突設部（第３当接部） ３２２ 環状突設部（第４当接部） ＨＤ 水平方向 ＩＤ 基板傾斜方向 Ｓ 基板 ＴＤ 基板搬送方向 Ｗ1，Ｗ2 基板サイズ α 鋭角 β 鋭角 γ 揺動方向 θ 傾斜角度

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を水平方向に対して傾斜させた状態
   で、所定の基板搬送方向に搬送する基板搬送装置におい
   て、 基板を裏面から支持して搬送可能な搬送ローラと、 前記基板搬送方向に沿って相互に離隔配置されながら、
   各々が基板の傾斜方向における下方端縁側で、しかも当
   該基板傾斜方向に対して鋭角をなすように立設された複
   数の下方端縁支持軸と、 各下方端縁支持軸の先端部に回転自在に取り付けられ、
   前記基板傾斜方向における下方端縁側で基板表面および
   基板側面を支持する複数の下方端縁支持ローラと、を備
   えたことを特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】 前記下方端縁支持ローラが前記基板表面
   と当接する第１当接部と、前記下方端縁支持ローラが前
   記基板側面と当接する第２当接部との少なくとも一方に
   Ｏリングが取り付けられた請求項１記載の基板搬送装
   置。
3. 【請求項３】 前記基板搬送方向に沿って相互に離隔配
   置されながら、各々が前記基板傾斜方向における上方端
   縁側で、しかも当該基板傾斜方向に対して鋭角をなすよ
   うに横設された複数の上方端縁支持軸と、 各上方端縁支持軸の先端部に回転自在に取り付けられ、
   前記基板傾斜方向における上方端縁側で基板表面および
   基板側面を支持する複数の上方端縁支持ローラとをさら
   に備えた請求項１記載の基板搬送装置。
4. 【請求項４】 前記下方端縁支持ローラが前記基板表面
   と当接する第１当接部と、前記下方端縁支持ローラが前
   記基板側面と当接する第２当接部と、前記上方端縁支持
   ローラが前記基板表面と当接する第３当接部と、前記上
   方端縁支持ローラが前記基板側面と当接する第４当接部
   とのうち少なくとも１つ以上の当接部にＯリングが取り
   付けられた請求項３記載の基板搬送装置。
5. 【請求項５】 前記上方および下方端縁支持軸の少なく
   とも一方が基板の傾斜方向と平行にスライド自在に設け
   られた請求項３または４記載の基板搬送装置。
6. 【請求項６】 前記下方端縁支持ローラが基板傾斜方向
   における基板のスライド移動に応じて揺動自在に設けら
   れ、当該基板が前記第２当接部に当接しながら基板傾斜
   方向にスライド移動すると、前記下方端縁支持ローラが
   揺動して前記第１当接部が当該基板の表面に当接する請
   求項２記載の基板搬送装置。