JP2004043119A

JP2004043119A - 基板用コンベア

Info

Publication number: JP2004043119A
Application number: JP2002203498A
Authority: JP
Inventors: Takehito Yamaguchi; 山口　岳人
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2002-07-12
Filing date: 2002-07-12
Publication date: 2004-02-12

Abstract

【課題】搬送中の汚染や帯電、たわみによる不良品の発生を防止した基板搬送用のコンベアを構成する。
【解決手段】搬送方向に直交する方向に傾斜し、表面にエアーが吹き出す多孔質プレート４を備え、θ調整機構８によって傾斜角（θ）が調整可能である傾斜台３の低い側に複数個の回転ローラ５を複数個配置し、多孔質プレート４よりクリーンエアーを吹き出して基板１を浮き上がらせて回転ローラ５により該基板１の一側辺を支持して搬送する。
【選択図】　　　　図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶素子や半導体素子の製造工程において、各工程間で基板を搬送するコンベアに関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板を移動させながら複数の工程を連続して行う液晶素子や半導体素子の製造においては、上記基板の移動に水平コロ搬送コンベアが用いられている。図４、図５に、その一例の構成概略図を示す。図中、１は基板、４１はベース、４２はコロ、４３はコロ４２のシャフト、４４はガイドローラ、４５はガイドローラ４４のシャフトであり、図４は平面図、図５は図４のＢ−Ｂ’断面図である。水平コロ搬送コンベアは、図４に示すように、基板１をベース４１に２列に取り付けたコロ４２で下方より水平に保ちながら、図中の矢印方向に搬送される。また、搬送中の基板１がコロ４２上よりずり落ちないように、基板１の側辺はガイドローラ４４によって保持される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図４、図５に示したような従来の水平コロ搬送コンベアでは、基板１の裏面にコロ４２が接するため、接触箇所にコロ４２の痕跡が残ってしまい、製品上汚染として不良品になってしまう。また、コロ４２の接触箇所では、コロ４２の接触、非接触が繰り返されるため、接触箇所が帯電しやすく、面内での不均一な帯電によって基板１の表面に形成される塗布層等被処理物質層が影響を受け、層内に特性の分布を生じてしまう場合がある。さらには、帯電によって、雰囲気中の塵埃を引き寄せて表面に付着させてしまい、製品品質に影響を及ぼしてしまう。
【０００４】
また、基板１を支持し搬送するためのコロ４２が基板１の縁近傍に配置されているので自重のために基板１がたわみ、表面に形成される塗布層が応力を受けて層内でその特性に分布を生じる場合がある。
【０００５】
具体的に、液晶素子の構成部材であるカラーフィルタの製造工程を例に挙げると、表面に塵埃が付着した箇所では必要な輝度が得られなくなる。また、帯電によって着色インクの挙動が制御不能になったり、付着した塵埃に着色インクが吸収されたり、基板１のたわみでフィルタ層内に特性分布を生じた場合には、色むらや混色の原因となっている。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決し、基板のコロによる汚染や帯電、たわみを防止し、基板搬送中の不良品の発生を防止した基板用コンベアを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、平板状の基板の搬送に用いられるコンベアであって、表面が搬送方向に直交する方向に傾斜し、表面にエアー吹き出し孔を有する傾斜台と、該エアー吹き出し孔にエアーを供給するエアー供給機構と、上記傾斜台の低い側に沿って一列に配置され、傾斜台表面に直交する方向乃至鉛直方向に回転軸を有する複数個の回転ローラと、傾斜台の傾斜角調整治具とを有することを特徴とする基板用コンベアである。
【０００８】
上記本発明の基板用コンベアにおいては、
傾斜台が搬送方向において複数個に分割され、それぞれに独立したエアー供給機構を備えた構成であること、
傾斜台より吹き出すエアーが、空気或いはＮ_２ガスであること、
傾斜台より吹き出すエアーが、クリーンエアーであること、
傾斜台より吹き出すエアーが、プラスイオン或いはマイナスイオンの少なくとも一方を含むこと、
を好ましい態様として含むものであり、カラーフィルタ用ガラス基板の搬送に好ましく適用されるものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の基板用コンベアは、基本的に、エアー吹き出し孔を備えた傾斜台と、回転ローラと、回転ローラ駆動機構と、傾斜台の傾斜角調整治具と、エアー供給機構を備えており、傾斜台上に載せた基板を、エアー吹き出し孔から吹き出したエアーによって傾斜台表面から浮かして非接触とし、傾斜台の傾斜によって低い方に滑り落ちた基板の低い側の一側辺を回転ローラで支持して搬送するものである。そのため、基板が搬送中に接触する部位は、回転ローラに接触する一側辺のみであるため、裏面の汚染が防止され、また、面内で帯電分布を生じることがない。さらに、傾斜台３の表面は平面で、基板１の裏面との間には吹き出すエアーによる薄いエアー層ができるため、基板自重による基板のたわみを生じる恐れもない。
【００１０】
図１、図２に本発明の基板用コンベアの好ましい一実施形態の構成を模式的に示す。図中、１は基板、２はベース、３は傾斜台、４は多孔質プレート、５は回転ローラ、６は回転ローラ５のシャフト、７は回転ローラ５の駆動機構、８はθ調整治具である。また、図１は平面図、図２は図１のＡ−Ａ’断面図である。
【００１１】
本発明の基板用コンベアで搬送される基板１は、表面及び裏面が平坦な平板状の基板であって、複数の工程を連続して実施して製品を製造するラインプロセスに供される基板の各工程間の搬送に用いられたり、連続乾燥炉のように基板を炉内で移動させながら処理プロセスを進めていくために用いられるものであり、特に、液晶素子等表示素子の構成部材であるカラーフィルタ製造工程において、カラーフィルタ用ガラス基板を搬送する際に好適に用いられる。
【００１２】
本発明にかかる傾斜台３は、搬送方向（図中の矢印方向）に直交する方向に傾斜しており、θ調整治具８によって傾斜角（θ）を調整することができる。傾斜角（θ）は、基板１が低い側に滑り落ち、回転ローラ５との摩擦によって確実に基板１を搬送しうる範囲で小さい方が好ましく、０．１〜３０°の範囲で選択される。
【００１３】
回転ローラ５は駆動機構７によってシャフト６を介して搬送方向に回転しており、その回転軸は傾斜台表面に直交する方向乃至鉛直方向の範囲内（図中の９）に位置するようにベース２に取り付けられている。
【００１４】
本発明にかかる傾斜台３は、基板１を浮かすためのエアー吹き出し孔を有している。本発明においては、傾斜台３表面と基板１の裏面とが非接触になるように、好ましくは１０〜５００μｍの間隙を形成するようにエアーを吹き出すことができれば、エアー吹き出し孔の形状や数は限定されない。本実施形態では、該エアー吹き出し孔として、多孔質プレート４を用いており、該多孔質プレート４は、安定したエアー層を形成することができるため好ましいが、直径が１〜２ｍｍ程度の吹き出し孔を傾斜台３に設けたものでもかまわない。また、多孔質プレート４の表面は、傾斜台３の表面と同一面となるように加工されている。
【００１５】
多孔質プレート４には不図示のエアー供給機構からエアーが供給されるが、供給されるエアーとしては、空気やＮ_２ガスなどが好ましく用いられ、適宜圧力やクリーン度を調整して供給される。例えば、カラーフィルタの製造ラインには、クリーン度の高いクリーンエアーを用いる必要がある。
【００１６】
さらに、エアーとしてプラスイオン及びマイナスイオンの少なくとも一方を含むエアーを用いることによって、基板１が回転ローラ５と接触して生じる帯電も防止することができる。
【００１７】
さらに、図３に、本発明の好ましい他の実施形態の平面図を示す。図中、３１は基板検知センサである。
【００１８】
本実施形態は、傾斜台３を搬送方向に５個に分割した形態で、各傾斜台３ａ〜３ｅにそれぞれ独立したエアー供給機構（不図示）が付設されている。本実施形態においては、基板検知センサ３１によって基板１を検知した時点で傾斜台３ａのエアーの供給が開始される。回転ローラ５は等速回転しているので、基板１が傾斜台３ｂに到達する時刻が推測されるため、当該時刻に傾斜台３ｂのエアーの供給が開始され、順次傾斜台３ｃ〜３ｅに基板１の搬送に対応してエアーが供給される。同時に、各傾斜台上を基板１が通過した時点でエアーの供給が停止される。
【００１９】
このように、必要な傾斜台のみエアーを供給することで、余分なエアーの消費を抑え、エアーの吹き出しによる乱気流の発生や塵埃の拡散を低減することができる。
【００２０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の基板用コンベアにおいては、基板搬送時に基板裏面とコンベアの傾斜台表面が非接触であるため、基板裏面の汚染が防止され、また、基板裏面にはエアー層が形成されるため、基板自重による基板のたわみも防止される。また、面内で不均一な帯電も発生せず、さらにエアーにプラス及び／またはマイナスイオンを含ませることで回転ローラによる帯電も防止されるため、当該帯電によって発生する、基板上の被処理物質の特性の分布発生や、塵埃の吸着が防止される。
【００２１】
よって、本発明によれば、基板裏面の汚染や被処理物質の特性の分布、塵埃の吸着等による不良品の発生が防止され、当該基板を用いた製品の製造歩留まりを大幅に向上させることができる。
【００２２】
特に、カラーフィルタの製造においては、搬送中の基板の帯電による着色インクの挙動の制御不能が防止され、これによる色むらや混色の発生、及び、塵埃やフィルタ層内の特性分布による色むらや混色の発生が防止され、製造歩留まりが向上することから、表示素子において製造コストの占める割合の大きいカラーフィルタの製造コスト削減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の平面図である。
【図２】図１の実施形態の断面図である。
【図３】本発明の他の実施形態の平面図である。
【図４】従来用いられていた水平コロ搬送コンベアの一例の平面図である。
【図５】図４の一例の断面図である。
【符号の説明】
１　基板
２　ベース
３　傾斜台
４　多孔質プレート
５　回転ローラ
６　シャフト
７　駆動機構
８　θ調整治具
３１　基板検知センサ
４１　ベース
４２　コロ
４３　シャフト
４４　ガイドローラ
４５　シャフト

Claims

平板状の基板の搬送に用いられるコンベアであって、表面が搬送方向に直交する方向に傾斜し、表面にエアー吹き出し孔を有する傾斜台と、該エアー吹き出し孔にエアーを供給するエアー供給機構と、上記傾斜台の低い側に沿って一列に配置され、傾斜台表面に直交する方向乃至鉛直方向に回転軸を有する複数個の回転ローラと、該回転ローラの駆動機構と、傾斜台の傾斜角調整治具とを有することを特徴とする基板用コンベア。
傾斜台が搬送方向において複数個に分割され、それぞれに独立したエアー供給機構を備えた請求項１に記載の基板用コンベア。
傾斜台より吹き出すエアーが、空気或いはＮ_２ガスである請求項１または２に記載の基板用コンベア。
傾斜台より吹き出すエアーが、クリーンエアーである請求項１〜３のいずれかに記載の基板用コンベア。
傾斜台より吹き出すエアーが、プラスイオン或いはマイナスイオンの少なくとも一方を含む請求項１〜４のいずれかに記載の基板用コンベア。
上記基板が、カラーフィルタ用ガラス基板である請求項１〜５のいずれかに記載の基板用コンベア。