【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶素子や半導体素子の製造工程において、各工程間で基板を搬送するコンベアに関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板を移動させながら複数の工程を連続して行う液晶素子や半導体素子の製造においては、上記基板の移動に水平コロ搬送コンベアが用いられている。図４、図５に、その一例の構成概略図を示す。図中、１は基板、４１はベース、４２はコロ、４３はコロ４２のシャフト、４４はガイドローラ、４５はガイドローラ４４のシャフトであり、図４は平面図、図５は図４のＢ−Ｂ’断面図である。水平コロ搬送コンベアは、図４に示すように、基板１をベース４１に２列に取り付けたコロ４２で下方より水平に保ちながら、図中の矢印方向に搬送される。また、搬送中の基板１がコロ４２上よりずり落ちないように、基板１の側辺はガイドローラ４４によって保持される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図４、図５に示したような従来の水平コロ搬送コンベアでは、基板１の裏面にコロ４２が接するため、接触箇所にコロ４２の痕跡が残ってしまい、製品上汚染として不良品になってしまう。また、コロ４２の接触箇所では、コロ４２の接触、非接触が繰り返されるため、接触箇所が帯電しやすく、面内での不均一な帯電によって基板１の表面に形成される塗布層等被処理物質層が影響を受け、層内に特性の分布を生じてしまう場合がある。さらには、帯電によって、雰囲気中の塵埃を引き寄せて表面に付着させてしまい、製品品質に影響を及ぼしてしまう。
【０００４】
また、基板１を支持し搬送するためのコロ４２が基板１の縁近傍に配置されているので自重のために基板１がたわみ、表面に形成される塗布層が応力を受けて層内でその特性に分布を生じる場合がある。
【０００５】
具体的に、液晶素子の構成部材であるカラーフィルタの製造工程を例に挙げると、表面に塵埃が付着した箇所では必要な輝度が得られなくなる。また、帯電によって着色インクの挙動が制御不能になったり、付着した塵埃に着色インクが吸収されたり、基板１のたわみでフィルタ層内に特性分布を生じた場合には、色むらや混色の原因となっている。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決し、基板のコロによる汚染や帯電、たわみを防止し、基板搬送中の不良品の発生を防止した基板用コンベアを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、平板状の基板の搬送に用いられるコンベアであって、表面が搬送方向に直交する方向に傾斜し、表面にエアー吹き出し孔を有する傾斜台と、該エアー吹き出し孔にエアーを供給するエアー供給機構と、上記傾斜台の低い側に沿って一列に配置され、傾斜台表面に直交する方向乃至鉛直方向に回転軸を有する複数個の回転ローラと、傾斜台の傾斜角調整治具とを有することを特徴とする基板用コンベアである。
【０００８】
上記本発明の基板用コンベアにおいては、
傾斜台が搬送方向において複数個に分割され、それぞれに独立したエアー供給機構を備えた構成であること、
傾斜台より吹き出すエアーが、空気或いはＮ２ガスであること、
傾斜台より吹き出すエアーが、クリーンエアーであること、
傾斜台より吹き出すエアーが、プラスイオン或いはマイナスイオンの少なくとも一方を含むこと、
を好ましい態様として含むものであり、カラーフィルタ用ガラス基板の搬送に好ましく適用されるものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の基板用コンベアは、基本的に、エアー吹き出し孔を備えた傾斜台と、回転ローラと、回転ローラ駆動機構と、傾斜台の傾斜角調整治具と、エアー供給機構を備えており、傾斜台上に載せた基板を、エアー吹き出し孔から吹き出したエアーによって傾斜台表面から浮かして非接触とし、傾斜台の傾斜によって低い方に滑り落ちた基板の低い側の一側辺を回転ローラで支持して搬送するものである。そのため、基板が搬送中に接触する部位は、回転ローラに接触する一側辺のみであるため、裏面の汚染が防止され、また、面内で帯電分布を生じることがない。さらに、傾斜台３の表面は平面で、基板１の裏面との間には吹き出すエアーによる薄いエアー層ができるため、基板自重による基板のたわみを生じる恐れもない。
【００１０】
図１、図２に本発明の基板用コンベアの好ましい一実施形態の構成を模式的に示す。図中、１は基板、２はベース、３は傾斜台、４は多孔質プレート、５は回転ローラ、６は回転ローラ５のシャフト、７は回転ローラ５の駆動機構、８はθ調整治具である。また、図１は平面図、図２は図１のＡ−Ａ’断面図である。
【００１１】
本発明の基板用コンベアで搬送される基板１は、表面及び裏面が平坦な平板状の基板であって、複数の工程を連続して実施して製品を製造するラインプロセスに供される基板の各工程間の搬送に用いられたり、連続乾燥炉のように基板を炉内で移動させながら処理プロセスを進めていくために用いられるものであり、特に、液晶素子等表示素子の構成部材であるカラーフィルタ製造工程において、カラーフィルタ用ガラス基板を搬送する際に好適に用いられる。
【００１２】
本発明にかかる傾斜台３は、搬送方向（図中の矢印方向）に直交する方向に傾斜しており、θ調整治具８によって傾斜角（θ）を調整することができる。傾斜角（θ）は、基板１が低い側に滑り落ち、回転ローラ５との摩擦によって確実に基板１を搬送しうる範囲で小さい方が好ましく、０．１〜３０°の範囲で選択される。
【００１３】
回転ローラ５は駆動機構７によってシャフト６を介して搬送方向に回転しており、その回転軸は傾斜台表面に直交する方向乃至鉛直方向の範囲内（図中の９）に位置するようにベース２に取り付けられている。
【００１４】
本発明にかかる傾斜台３は、基板１を浮かすためのエアー吹き出し孔を有している。本発明においては、傾斜台３表面と基板１の裏面とが非接触になるように、好ましくは１０〜５００μｍの間隙を形成するようにエアーを吹き出すことができれば、エアー吹き出し孔の形状や数は限定されない。本実施形態では、該エアー吹き出し孔として、多孔質プレート４を用いており、該多孔質プレート４は、安定したエアー層を形成することができるため好ましいが、直径が１〜２ｍｍ程度の吹き出し孔を傾斜台３に設けたものでもかまわない。また、多孔質プレート４の表面は、傾斜台３の表面と同一面となるように加工されている。
【００１５】
多孔質プレート４には不図示のエアー供給機構からエアーが供給されるが、供給されるエアーとしては、空気やＮ２ガスなどが好ましく用いられ、適宜圧力やクリーン度を調整して供給される。例えば、カラーフィルタの製造ラインには、クリーン度の高いクリーンエアーを用いる必要がある。
【００１６】
さらに、エアーとしてプラスイオン及びマイナスイオンの少なくとも一方を含むエアーを用いることによって、基板１が回転ローラ５と接触して生じる帯電も防止することができる。
【００１７】
さらに、図３に、本発明の好ましい他の実施形態の平面図を示す。図中、３１は基板検知センサである。
【００１８】
本実施形態は、傾斜台３を搬送方向に５個に分割した形態で、各傾斜台３ａ〜３ｅにそれぞれ独立したエアー供給機構（不図示）が付設されている。本実施形態においては、基板検知センサ３１によって基板１を検知した時点で傾斜台３ａのエアーの供給が開始される。回転ローラ５は等速回転しているので、基板１が傾斜台３ｂに到達する時刻が推測されるため、当該時刻に傾斜台３ｂのエアーの供給が開始され、順次傾斜台３ｃ〜３ｅに基板１の搬送に対応してエアーが供給される。同時に、各傾斜台上を基板１が通過した時点でエアーの供給が停止される。
【００１９】
このように、必要な傾斜台のみエアーを供給することで、余分なエアーの消費を抑え、エアーの吹き出しによる乱気流の発生や塵埃の拡散を低減することができる。
【００２０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の基板用コンベアにおいては、基板搬送時に基板裏面とコンベアの傾斜台表面が非接触であるため、基板裏面の汚染が防止され、また、基板裏面にはエアー層が形成されるため、基板自重による基板のたわみも防止される。また、面内で不均一な帯電も発生せず、さらにエアーにプラス及び／またはマイナスイオンを含ませることで回転ローラによる帯電も防止されるため、当該帯電によって発生する、基板上の被処理物質の特性の分布発生や、塵埃の吸着が防止される。
【００２１】
よって、本発明によれば、基板裏面の汚染や被処理物質の特性の分布、塵埃の吸着等による不良品の発生が防止され、当該基板を用いた製品の製造歩留まりを大幅に向上させることができる。
【００２２】
特に、カラーフィルタの製造においては、搬送中の基板の帯電による着色インクの挙動の制御不能が防止され、これによる色むらや混色の発生、及び、塵埃やフィルタ層内の特性分布による色むらや混色の発生が防止され、製造歩留まりが向上することから、表示素子において製造コストの占める割合の大きいカラーフィルタの製造コスト削減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の平面図である。
【図２】図１の実施形態の断面図である。
【図３】本発明の他の実施形態の平面図である。
【図４】従来用いられていた水平コロ搬送コンベアの一例の平面図である。
【図５】図４の一例の断面図である。
【符号の説明】
１ 基板
２ ベース
３ 傾斜台
４ 多孔質プレート
５ 回転ローラ
６ シャフト
７ 駆動機構
８ θ調整治具
３１ 基板検知センサ
４１ ベース
４２ コロ
４３ シャフト
４４ ガイドローラ
４５ シャフト[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a conveyor for transporting a substrate between each step in a manufacturing process of a liquid crystal element or a semiconductor element.
[0002]
[Prior art]
In the production of a liquid crystal element or a semiconductor element in which a plurality of processes are continuously performed while moving a substrate, a horizontal roller conveyor is used for moving the substrate. 4 and 5 show schematic diagrams of an example of the configuration. In the drawing, 1 is a substrate, 41 is a base, 42 is a roller, 43 is a shaft of the roller 42, 44 is a guide roller, 45 is a shaft of a guide roller 44, FIG. 4 is a plan view, and FIG. FIG. 14 is a sectional view taken along the line B-B ′. As shown in FIG. 4, the horizontal roller transport conveyor is transported in the direction of the arrow in FIG. 4 while keeping the substrate 1 horizontal from below with rollers 42 attached to the base 41 in two rows. Further, the side edges of the substrate 1 are held by guide rollers 44 so that the substrate 1 being conveyed does not slip off from the rollers 42.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional horizontal roller transport conveyor as shown in FIGS. 4 and 5, the rollers 42 contact the back surface of the substrate 1, so that traces of the rollers 42 remain at the contact points, resulting in defective products as contamination on the product. turn into. In addition, since the contact and non-contact of the roller 42 are repeated at the contact portion of the roller 42, the contact portion is easily charged, and a coating layer such as a coating layer formed on the surface of the substrate 1 by non-uniform in-plane charging. The material layer may be affected, resulting in a distribution of properties within the layer. Furthermore, the charging causes dust in the atmosphere to be attracted and adhere to the surface, thereby affecting product quality.
[0004]
Further, since the rollers 42 for supporting and transporting the substrate 1 are arranged near the edge of the substrate 1, the substrate 1 bends due to its own weight, and the coating layer formed on the surface receives stress, and There may be a distribution in the characteristics.
[0005]
Specifically, for example, in a manufacturing process of a color filter which is a constituent member of a liquid crystal element, a required luminance cannot be obtained at a portion where dust adheres to the surface. In addition, when the behavior of the colored ink becomes uncontrollable due to charging, the colored ink is absorbed by the attached dust, or the characteristic distribution occurs in the filter layer due to the deflection of the substrate 1, the cause of the color unevenness and color mixing may be caused. It has become.
[0006]
An object of the present invention is to solve the above problems and to provide a substrate conveyor that prevents contamination, electrification, and bending of the substrate by rollers, and prevents occurrence of defective products during substrate conveyance.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The present invention relates to a conveyor used for transporting a flat substrate, the surface of which is inclined in a direction perpendicular to the transport direction, and an inclined table having an air outlet on the surface, and supplying air to the air outlet. Air supply mechanism, a plurality of rotating rollers arranged in a row along the lower side of the tilt table and having a rotation axis in a direction perpendicular to the tilt table surface or in a vertical direction, a tilt angle adjusting jig of the tilt table, It is a board | substrate conveyor characterized by having.
[0008]
In the substrate conveyor of the present invention,
The inclined table is divided into a plurality of parts in the transport direction, and has a configuration provided with an independent air supply mechanism,
The air blown out from the inclined table is air or N 2 gas,
The air blown out from the ramp is clean air,
That the air blown out from the inclined table includes at least one of positive ions or negative ions,
Is a preferred embodiment, and is preferably applied to the conveyance of a glass substrate for a color filter.
[0009]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
The substrate conveyor of the present invention basically includes an inclined table having an air blowing hole, a rotating roller, a rotating roller driving mechanism, an inclination angle adjusting jig for the inclined table, and an air supply mechanism. The substrate placed on the inclined table is lifted off the surface of the inclined table by the air blown out from the air blowing holes to make it non-contact, and one side of the lower side of the substrate that slides down due to the inclination of the inclined table is rotated by a rotating roller. It is supported and transported. Therefore, the portion of the substrate contacting during transport is only one side contacting the rotating roller, so that contamination of the back surface is prevented and no charge distribution occurs in the surface. Further, since the surface of the inclined table 3 is flat and a thin air layer is formed between the back surface of the substrate 1 and the air blown out, there is no possibility that the substrate is bent by its own weight.
[0010]
1 and 2 schematically show a configuration of a preferred embodiment of the substrate conveyor of the present invention. In the figure, 1 is a substrate, 2 is a base, 3 is an inclined table, 4 is a porous plate, 5 is a rotating roller, 6 is a shaft of the rotating roller 5, 7 is a driving mechanism of the rotating roller 5, and 8 is a θ adjustment jig. It is. FIG. 1 is a plan view, and FIG. 2 is a sectional view taken along line AA ′ of FIG.
[0011]
The substrate 1 conveyed by the substrate conveyor of the present invention is a flat plate-like substrate having a flat front and back surface, and is a substrate that is subjected to a line process of manufacturing a product by continuously performing a plurality of processes. It is used for transport between each process, or used to advance a processing process while moving a substrate in a furnace like a continuous drying furnace, and is particularly a constituent member of a display element such as a liquid crystal element. In the color filter manufacturing process, it is suitably used when transferring a glass substrate for a color filter.
[0012]
The tilt base 3 according to the present invention is tilted in a direction orthogonal to the transport direction (the direction of the arrow in the figure), and the tilt angle (θ) can be adjusted by the θ adjusting jig 8. The inclination angle (θ) is preferably smaller in a range where the substrate 1 can slide down to a lower side and can surely transport the substrate 1 by friction with the rotating roller 5, and is selected in a range of 0.1 to 30 °. .
[0013]
The rotating roller 5 is rotated in the transport direction via a shaft 6 by a driving mechanism 7, and its rotation axis is set in a range perpendicular to the surface of the inclined table or in a vertical direction (9 in the figure). 2 attached.
[0014]
The inclined base 3 according to the present invention has an air blowing hole for floating the substrate 1. In the present invention, if the air can be blown out so that the surface of the inclined table 3 and the back surface of the substrate 1 are not in contact with each other, preferably to form a gap of 10 to 500 μm, the shape and number of the air blowing holes are Not limited. In the present embodiment, the porous plate 4 is used as the air blowing hole, and the porous plate 4 is preferable because a stable air layer can be formed. However, the blowing plate having a diameter of about 1 to 2 mm is preferable. May be provided on the inclined base 3. The surface of the porous plate 4 is processed so as to be flush with the surface of the inclined base 3.
[0015]
Air is supplied to the porous plate 4 from an air supply mechanism (not shown). As the supplied air, air, N 2 gas, or the like is preferably used, and the pressure and cleanliness are adjusted as appropriate. . For example, it is necessary to use clean air having high cleanliness in a color filter production line.
[0016]
Further, by using air containing at least one of positive ions and negative ions as air, it is possible to prevent charging that occurs when the substrate 1 comes into contact with the rotating roller 5.
[0017]
FIG. 3 shows a plan view of another preferred embodiment of the present invention. In the figure, 31 is a substrate detection sensor.
[0018]
In the present embodiment, the inclined table 3 is divided into five parts in the transport direction, and each of the inclined tables 3a to 3e is provided with an independent air supply mechanism (not shown). In this embodiment, when the substrate 1 is detected by the substrate detection sensor 31, the supply of air from the inclined table 3a is started. Since the rotating roller 5 is rotating at a constant speed, the time when the substrate 1 reaches the inclined table 3b is estimated. At that time, the supply of air from the inclined table 3b is started, and the substrates are sequentially transmitted to the inclined tables 3c to 3e. Air is supplied in response to the transfer of No. 1. At the same time, the supply of air is stopped when the substrate 1 passes on each inclined table.
[0019]
In this way, by supplying air only to the necessary inclined table, consumption of excess air can be suppressed, and generation of turbulence and diffusion of dust due to blowing of air can be reduced.
[0020]
【The invention's effect】
As described above, in the substrate conveyor of the present invention, since the back surface of the substrate and the surface of the inclined table of the conveyor are not in contact during the transfer of the substrate, contamination of the back surface of the substrate is prevented, and an air layer is formed on the back surface of the substrate. Since it is formed, the deflection of the substrate due to its own weight is also prevented. In addition, since non-uniform charging is not generated in the plane, and charging by the rotating roller is prevented by adding positive and / or negative ions to the air, the material to be processed on the substrate generated by the charging is also prevented. , And the adsorption of dust is prevented.
[0021]
Therefore, according to the present invention, contamination of the back surface of the substrate, distribution of characteristics of the substance to be treated, generation of defective products due to adsorption of dust and the like are prevented, and the production yield of products using the substrate can be significantly improved. it can.
[0022]
In particular, in the production of a color filter, it is possible to prevent the behavior of the colored ink from being uncontrollable due to charging of the substrate during transport, thereby causing color unevenness and color mixing, and color unevenness due to dust and characteristic distribution in the filter layer. Since the occurrence of color mixture is prevented and the manufacturing yield is improved, the manufacturing cost of a color filter having a large proportion of the manufacturing cost in the display element can be reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the embodiment of FIG.
FIG. 3 is a plan view of another embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a plan view of an example of a conventional horizontal roller conveyor.
FIG. 5 is a sectional view of an example of FIG. 4;
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Base 3 Inclined table 4 Porous plate 5 Rotary roller 6 Shaft 7 Drive mechanism 8 θ adjustment jig 31 Substrate detection sensor 41 Base 42 Roller 43 Shaft 44 Guide roller 45 Shaft
