KR101213529B1 - Substrate conveying system - Google Patents

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KR101213529B1
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나카무라유조
가토히로시
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올림푸스 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 기판(3)을 비접촉 상태로 부상시키는 기판 부상 블록(1, 11, 16)과, 상기 기판 부상 블록(1, 11, 16)상에 부상된 상기 기판(3)의 단부를 지지하여 반송하는 반송 기구와, 상기 기판(3)의 반송방향(C)에 직교하는 방향의 상기 기판 부상 블록(1, 11, 16)의 양측부 또는 상기 양측부에 근접되는 위치에 설치되고, 상기 기판 부상 블록(1, 11, 16)의 양측부로부터 직행하는 방향으로 돌출되는 상기 기판(3)의 양단부를 하면측에서 지지하는 기판 지지 기구(49)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치를 제공한다. 기판 부상 블록 상에 기판을 부상시켜 반송할 때에, 기판을 기판 부상 블록에 접촉시키지 않고 수평으로 반송할 수 있도록 한다.The present invention supports the substrate floating block (1, 11, 16) for floating the substrate 3 in a non-contact state, and the end of the substrate (3) floating on the substrate floating block (1, 11, 16) It is provided in the position which is adjacent to the both sides or the both sides of the conveyance mechanism to convey and the said board | substrate floating block 1, 11, 16 of the direction orthogonal to the conveyance direction C of the said board | substrate 3, It is provided with the board | substrate conveying apparatus characterized by including the board | substrate support mechanism 49 which supports the both ends of the said board | substrate 3 which protrudes from the both sides of the floating block 1, 11, 16 on a straight line from the lower surface side. do. When floating and conveying a board | substrate on a board | substrate floating block, it can carry out horizontally, without contacting a board | substrate to a board | substrate floating block.

기판, 부상 블록, 반송, 디스플레이, 액청, 플랫 패널, 롤러, 볼, 공기 분출Board, Floating Block, Bounce, Display, Liquid Blue, Flat Panel, Roller, Ball, Air Jet

Description

기판 반송 장치 {SUBSTRATE CONVEYING SYSTEM}Board conveying device {SUBSTRATE CONVEYING SYSTEM}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 기판 반송 장치를 나타내는 개략적인 평면도이다.1 is a schematic plan view of a substrate transport apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 기판 반송 장치의 개략적인 측면도이다. FIG. 2 is a schematic side view of the substrate transport apparatus of FIG. 1.

도 3a는 도 1의 기판 반송 장치에 있어서, 복수의 롤러를 구비한 지지 유닛을 나타내는 확대 측면도이다.It is an expanded side view which shows the support unit provided with the some roller in the board | substrate conveyance apparatus of FIG.

도 3b는 도 1의 기판 반송 장치에 있어서, 복수의 롤러를 구비한 지지 유닛을 나타내는 확대 정단면도이다.FIG. 3B is an enlarged front cross-sectional view showing a support unit including a plurality of rollers in the substrate transport apparatus of FIG. 1. FIG.

도 4는 도 1의 기판 반송 장치에 있어서, 기판 탑재대 상에 유리 기판을 부상시킨 상태를 나타내는 개략적인 측면도이다.It is a schematic side view which shows the state which floated the glass substrate on the board mounting stand in the board | substrate conveyance apparatus of FIG.

도 5는 도 1의 기판 반송 장치에 있어서, 유리 기판의 에어반송 동작을 나타내는 개략적인 측면도이다.FIG. 5: is a schematic side view which shows the air conveyance operation | movement of a glass substrate in the board | substrate conveyance apparatus of FIG.

도 6은 도 1의 기판 반송 장치에 있어서, 유리 기판의 에어반송 동작을 나타내는 개략적인 측면도이다.It is a schematic side view which shows the air conveyance operation | movement of a glass substrate in the board | substrate conveyance apparatus of FIG.

도 7a는 본 발명의 다른 실시예에 관한 기판 반송 장치에 있어서, 복수의 볼을 구비한 지지 유닛을 나타내는 확대 측면도이다.It is an expanded side view which shows the support unit provided with the some ball in the board | substrate conveyance apparatus which concerns on another Example of this invention.

도 7b는 본 발명의 다른 실시예에 관한 기판 반송 장치에 있어서, 복수의 볼 을 구비한 지지 유닛을 나타내는 확대 정단면도이다.FIG. 7B is an enlarged front cross-sectional view showing a support unit having a plurality of balls in the substrate transport apparatus according to another embodiment of the present invention. FIG.

도 8a는 본 발명의 다른 실시예에 관한 기판 반송 장치에 있어서, 접촉궤도 및 순환궤도에 배치된 복수의 볼을 구비한 지지 유닛을 나타내는 확대 측단면도이다.8A is an enlarged side cross-sectional view showing a support unit having a plurality of balls arranged in a contact trajectory and a circulation trajectory in a substrate transfer device according to another embodiment of the present invention.

도 8b는 본 발명의 다른 실시예에 관한 기판 반송 장치에 있어서, 접촉궤도 및 순환궤도에 배치된 복수의 볼을 구비한 지지 유닛을 나타내는 확대 정단면도이다.8B is an enlarged front sectional view showing a support unit having a plurality of balls arranged in a contact trajectory and a circulation trajectory in the substrate transport apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 9a는 본 발명의 다른 실시예에 관한 기판 반송 장치에 있어서, 공기 분출부를 구비한 지지 유닛을 나타내는 확대 측단면도이다.9A is an enlarged side cross-sectional view showing a support unit having an air blowing part in a substrate transfer device according to another embodiment of the present invention.

도 9b는 본 발명의 다른 실시예에 관한 기판 반송 장치에 있어서, 공기 분출부를 구비한 지지 유닛을 나타내는 확대 정단면도이다.9B is an enlarged front sectional view showing a supporting unit with an air blowing part in the substrate conveying apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 대형의 기판을 부상시켜 반송하는 기판 반송 장치에 관한 것이다.This invention relates to the board | substrate conveying apparatus which floats and conveys a large sized board | substrate.

근래, 액정 디스플레이(이하, LCD라 한다)나 플라스마 디스플레이 패널(이하, PDP라 한다) 등의 플랫 패널 디스플레이(flat panel display)(이하, FPD라 한다)의 화면의 대형화에 따라, FPD에 사용하는 유리 기판의 사이즈가 해마다 대형화되는 경향에 있다.Recently, flat panel displays (hereinafter referred to as FPDs), such as liquid crystal displays (hereinafter referred to as LCDs) and plasma display panels (hereinafter referred to as PDPs), have been used for FPDs. There exists a tendency for the size of a glass substrate to enlarge year by year.

종래, FPD 제조 공정에 있어서 대형의 유리 기판을 반송하는 기판 반송 장치 로는, 공기 분출 블록(기판 부상 블록)으로부터 유리 기판의 하면에 압착에어를 분사하여, 유리 기판을 공기 분출 블록 상에 부상(浮上)시키는 것이 있다[예를 들면, 일본 특개 2000-193604호 공보(도 3, 도 4 참조.]. 이 구성의 기판 반송 장치에서는, 유리 기판의 표면을 손상시키지 않고 용이하게 반송할 수 있다.Conventionally, in a FPD manufacturing process, as a board | substrate conveying apparatus which conveys a large glass substrate, a crimping air is sprayed on the lower surface of a glass substrate from an air blowing block (substrate floating block), and a glass substrate floats on an air blowing block. (For example, see Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2000-193604 (see Figs. 3 and 4).) In the substrate conveying apparatus of this structure, it can convey easily without damaging the surface of a glass substrate.

또, 이 기판 반송 장치에는, 유리 기판의 진행방향에 직교하는 폭방향의 양단을 하면측에서 지지하는 지지 롤러 기구와, 유리 기판의 폭방향의 양단면에 접촉하는 한 쌍의 규제 롤러 기구를 구비하고 있다. 규제 롤러 기구는, 공기 분출 블록의 폭방향의 단부(측단부)부터 돌출되는 유리 기판의 폭방향 양단부를 측부에서 끼워 넣음으로써 폭방향의 위치를 규제하고 있다. 또, 지지 롤러 기구는 상기 규제 롤러 기구에 근접하여 배치되어 있다.Moreover, this board | substrate conveying apparatus is equipped with the support roller mechanism which supports the both ends of the width direction orthogonal to the advancing direction of a glass substrate on the lower surface side, and a pair of regulation roller mechanism which contacts the both end surfaces of the glass substrate in the width direction. Doing. The regulation roller mechanism regulates the position in the width direction by fitting the width direction both ends of the glass substrate projecting from the end (side end) in the width direction of the air blowing block at the side. Moreover, the support roller mechanism is arrange | positioned near the said regulation roller mechanism.

그러나, 규제 롤러 기구는 공기 분출 블록으로부터 떨어져 유리 기판의 폭방향 단부를 사이에 끼고 있기 때문에, 압착에어로 부상시킬 때는, 규제 롤러 기구에 의해 끼워져 있는 유리 기판의 폭방향 단부가, 압착에어에 의해 부상하고 있는 유리 기판면에 대하여 휘어지고, 유리 기판 전체를 수평으로 유지하여 반송할 수 없다.However, since the regulating roller mechanism is spaced apart from the air blowing block and sandwiches the widthwise end portion of the glass substrate therebetween, the widthwise end portion of the glass substrate sandwiched by the regulating roller mechanism floats by the crimping air when floating the compressed air. It bends with respect to the glass substrate surface currently being made, and cannot carry and hold the whole glass substrate horizontally.

또, 규제 롤러 기구에 의해 유리 기판을 사이에 끼고 있기 때문에, 유리 기판의 폭방향 단부에 큰 부가가 가해져, 유리 기판이 손상될 우려가 있다.Moreover, since the glass substrate is sandwiched by the regulation roller mechanism, large addition is added to the width direction edge part of a glass substrate, and there exists a possibility that a glass substrate may be damaged.

또한, 이 규제 롤러 기구에는 지지 롤러 기구가 근접하여 배치되어 있기 때문에, 공기 분출 블록의 측단부와 지지 롤러 기구의 사이에서 유리 기판이 하방으로 휘는 경우가 있다. 여기에서, 압착에어에 의한 유리 기판의 부상높이는, 예를 들면 0.2mm로 아주 작기 때문에, 전술한 유리 기판의 휘어짐이 아주 작더라도, 상기 휘어짐에 의해서 유리 기판이 공기 분출 블록의 측단부에 접촉하여 유리 기판이 손상될 우려가 있다.Moreover, since the support roller mechanism is arrange | positioned adjacent to this regulation roller mechanism, a glass substrate may bend downward between the side end part of an air blowing block, and a support roller mechanism. Here, since the floating height of the glass substrate by the crimping air is very small, for example, 0.2 mm, even if the bending of the glass substrate mentioned above is very small, the glass substrate contacts the side end part of the air blowing block by the said bending. The glass substrate may be damaged.

본 발명은 상술한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 기판을 부상시켜 반송할 때에, 기판에 대한 외적 부하를 경감하는 동시에, 기판을 공기 분출 블록에 접촉시키지 않고 수평으로 반송할 수 있는 기판 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.This invention is made | formed in view of the above-mentioned situation, When providing a board | substrate by floating and conveying, it reduces the external load on a board | substrate, and provides the board | substrate conveying apparatus which can convey a board | substrate horizontally without contacting an air blowing block. It is aimed at.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의하면, 기판을 비접촉 상태로 부상시켜 반송하는 기판 반송 장치에 있어서, 기판을 비접촉 상태로 부상시키는 기판 부상 블록과, 상기 기판 부상 블록 상에 부상된 상기 기판의 측부를 지지하여 강제적으로 반송하는 반송 기구와, 상기 기판의 반송방향과 평행한 상기 기판 부상 블록의 측부에 설치되고, 상기 기판 부상 블록의 측부로부터 외측으로 돌출되는 상기 기판의 측부를 하면측에서 지지하는 기판 지지 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치가 제공된다.In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a substrate conveying apparatus which floats and transports a substrate in a non-contact state, comprising: a substrate floating block for floating a substrate in a non-contact state, and a substrate floating on the substrate floating block. A conveyance mechanism for supporting and forcibly conveying a side portion, and a side portion of the substrate that is provided on the side of the substrate floating block parallel to the conveying direction of the substrate and protrudes outward from the side of the substrate floating block, is supported on the lower surface side. The board | substrate conveying apparatus is provided, Comprising: The board | substrate support mechanism is provided.

상기 구성의 기판 반송 장치에 의하면, 기판 지지 기구가 기판 부상 블록의 측부에 배치되고, 기판 부상 블록의 측부로부터 외측으로 돌출되는 기판의 측부를 하면측에서 지지하므로, 기판이 기판 부상 블록에 접촉하여 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또, 유리 기판이 하방측으로 휘어 있더라도 유리 기판을 수평으로 교정할 수 있다. According to the board | substrate conveying apparatus of the said structure, since a board | substrate support mechanism is arrange | positioned at the side of a board | substrate floating block, and supports the side of the board | substrate which protrudes outward from the side of a board | substrate floating block from the lower surface side, a board | substrate contacts a board | substrate floating block, It can prevent damage. Moreover, even if a glass substrate is bent downward, a glass substrate can be horizontally correct | amended.                         

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 평면 디스플레이의 제조 공정에서 유리 기판을 비접촉 상태로 부상시켜 반송하는 기판 반송 장치에 있어서, 상기 유리 기판의 폭 치수보다 작고, 또한 상기 유리 기판 상에 형성되는 패턴 영역의 가장 외측의 폭 치수와 대략 동일한 폭 치수로 설정되고, 상기 유리 기판을 비접촉 상태로 부상시키는 기판 부상 블록과, 상기 기판 부상 블록에 의해 부상된 상기 유리 기판의 상기 패턴 영역 밖의 일측 측부 또는 양측 측부를 지지하여 강제적으로 반송하는 반송 기구와, 상기 유리 기판의 반송방향과 평행한 상기 기판 부상 블록의 일측 측부 또는 양측 측부를 따라 설치되고, 상기 기판 부상 블록으로부터 돌출되는 상기 패턴 영역 밖의 상기 유리 기판의 일측 측부 또는 양측 측부를 하면측에서 지지하는 기판 지지 기구를 구비하고, 상기 기판 지지 기구에 의해 상기 기판 부상 블록의 일측 측부 또는 양측 측부로부터 돌출되는 상기 유리 기판의 일측 측부 또는 양측 측부를 수평으로 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치가 제공된다.According to another embodiment of the present invention, in a substrate transfer device for floating a glass substrate in a non-contact state in a manufacturing process of a flat panel display, the pattern region is smaller than the width dimension of the glass substrate and is formed on the glass substrate. A substrate floating block which is set to a width dimension substantially equal to the outermost width dimension of and which floats the glass substrate in a non-contact state, and one side side or both side sides outside the pattern region of the glass substrate floated by the substrate floating block. A conveyance mechanism for supporting and forcibly conveying the substrate, along one side portion or both side portions of the substrate floating block parallel to the conveying direction of the glass substrate, and the glass substrate outside the pattern region protruding from the substrate floating block. Substrate support mechanism for supporting one side or both sides from the lower surface side Ratio, and the substrate transfer device, characterized in that for supporting the substrate supported by the mechanism side one side of the glass substrate and projecting from one side or both sides of the substrate side or both sides of the block portion side in the horizontal, is provided.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 평면 디스플레이의 제조 공정에서 유리 기판을 비접촉 상태로 부상시켜 반송하는 기판 반송 장치에 있어서, 상기 유리 기판의 폭 치수보다 작고, 또한 상기 유리 기판 상에 형성되는 패턴 영역의 가장 외측의 폭 치수와 대략 동일한 폭 치수로 설정되고, 상기 유리 기판을 비접촉 상태로 부상시키는 기판 부상 블록과, 상기 기판 부상 블록의 반송방향에 평행한 일측 측부를 따라 배치되고, 상기 기판 부상 블록 상에 부상된 상기 유리 기판의 한쪽 측부의 전후 및 중간부를 지지하여 반송하는 반송 기구와, 상기 유리 기판의 반송방향과 평행한 상기 반송 기구가 배치된 반대측에 위치하는 상기 기판 부상 블록의 다른 쪽 측부를 따라 배치되고, 상기 유리 기판의 상기 패턴 영역 밖의 다른 쪽 측부를 하면측에서 지지하는 기판 지지 기구를 구비하고, 상기 반송 기구에 의해 상기 기판 부상 블록 상에 부상한 상기 유리 기판의 한쪽 측부를 수평으로 유지하여 반송하고, 상기 반송 기구와 반대측의 상기 기판 부상 블록으로부터 돌출되는 상기 유리 기판의 다른 쪽 측부를 상기 기판 지지 기구에 의해 수평으로 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치가 제공된다.According to still another embodiment of the present invention, in a substrate transfer device for floating a glass substrate in a non-contact state in a manufacturing process of a flat panel display, the substrate is smaller than the width dimension of the glass substrate and is formed on the glass substrate. It is set to the width dimension substantially the same as the outermost width dimension of an area | region, and is arrange | positioned along the side surface parallel to the conveyance direction of the board | substrate floating block which floats the said glass substrate in a non-contact state, and the said board | substrate floating block, and the said substrate floating The other side of the said board | substrate floating block located in the opposite side to which the conveyance mechanism which supports and conveys back and front and an intermediate part of the one side part of the said glass substrate floated on the block, and the said conveyance mechanism parallel to the conveyance direction of the said glass substrate is arrange | positioned It is arrange | positioned along the side part, and supports the other side part outside the said pattern area | region of the said glass substrate from a lower surface side. The glass substrate which has a board | substrate support mechanism, keeps one side part of the said glass substrate floated on the said board | substrate floating block horizontally by the said transfer mechanism, and protrudes from the said board | substrate floating block on the opposite side to the said transfer mechanism. The board | substrate conveying apparatus is provided which horizontally supports the other side part of the said board | substrate support mechanism.

바람직하게는, 상기 구성의 기판 반송 장치에 있어서, 상기 기판 지지 기구는 상기 기판 부상 블록의 측부에 설치된 복수의 회전 지지 부재를 구비하고, 상기 회전 지지 부재는 상기 기판을 상기 반송 기구에 의해 반송방향으로 이동시켰을 때에, 상기 기판의 하면상을 구름 방향으로 회전한다.Preferably, in the board | substrate conveyance apparatus of the said structure, the said board | substrate support mechanism is equipped with the some rotation support member provided in the side part of the said board | substrate floating block, The said rotation support member conveys the said board | substrate with the said transfer mechanism When moving to, the upper surface of the substrate is rotated in the cloud direction.

바람직하게는, 상기 회전 지지 부재는 상기 반송방향으로 회전 가능한, 폭이 좁은 롤러이다.Preferably, the rotation support member is a narrow roller that is rotatable in the conveying direction.

바람직하게는, 상기 회전 지지 부재는 다방향(多方向)으로 회전 가능하게 지지된 볼이다. 상기 구성의 기판 지지 기구에 의하면, 기판을 회전 지지 부재로 지지하고, 기판의 반송 시에 회전 지지 부재인 롤러나 볼이 기판의 하면상을 구르기 때문에, 롤러나 볼과 기판의 미끄러짐 마찰이 작아지고, 이 미끄러짐 마찰에 의해서 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있다.Preferably, the rotation support member is a ball rotatably supported in multiple directions. According to the board | substrate support mechanism of the said structure, since a board | substrate is supported by a rotation support member and the roller or ball which is a rotation support member rolls on the lower surface of a board | substrate at the time of conveyance of a board | substrate, the sliding friction of a roller, a ball, and a board | substrate becomes small. In addition, it is possible to prevent the substrate from being damaged by the sliding friction.

또, 상기 구성의 회전 지지 부재에 의하면, 특히 볼을 이용함으로써 기판이 반송방향에 직교하는 폭방향으로 이동했다고 해도, 볼이 기판에 접촉하여 자유롭게 회전할 수 있기 때문에, 기판에 흠이 생기는 것을 확실하게 방지할 수 있다. Moreover, according to the rotation support member of the said structure, even if a board | substrate moves to the width direction orthogonal to a conveyance direction especially by using a ball, since a ball can contact a board | substrate and can rotate freely, it is certain that a defect arises in a board | substrate. Can be prevented.                         

바람직하게는, 상기 구성의 기판 반송 장치에 있어서, 상기 기판 지지 기구는, 복수의 볼을 상기 기판의 하면에 대향하는 상기 기판 부상 블록의 반송면상에 노출시키고, 상기 기판의 하면상을 굴러 이동시키는 접촉궤도와, 상기 접촉궤도의 양단에 연결하여 상기 볼을 상기 접촉궤도로 순환시키는 순환궤도를 가지는 순환 부재를 구비한다.Preferably, in the board | substrate conveying apparatus of the said structure, the said board | substrate support mechanism exposes a some ball on the conveyance surface of the said board | substrate floating block which opposes the lower surface of the said board | substrate, and rolls and moves on the lower surface of the said board | substrate. And a circulation member having a contact trajectory and a circulation trajectory connected to both ends of the contact trajectory to circulate the ball into the contact trajectory.

상기 구성의 회전 지지 부재에 의하면, 복수의 볼을 접촉궤도 및 순환궤도에서 순환시킴으로써, 기판 사이의 구름 마찰에 의한 볼의 마모를 억제할 수 있기 때문에, 볼을 교환하지 않고 장시간 연속하여 사용할 수 있다.According to the rotation support member of the said structure, since it can suppress abrasion of the ball by rolling friction between a board | substrate by circulating a some ball by a contact track and a circulation track, it can be used continuously for a long time without replacing a ball. .

바람직하게는, 상기 기판 지지 기구는 상기 기판 부상 블록의 측부로부터 외측으로 돌출되는 상기 기판의 측부를 향하여 압착공기를 분출하는 공기 분출부이다.Preferably, the substrate support mechanism is an air blowing portion that blows compressed air toward the side of the substrate that projects outward from the side of the substrate floating block.

바람직하게는, 상기 공기 분출부는, 상기 기판을 부상시키는 상기 기판 부상 블록의 공기 공급계통과 다른 계통으로 되어 있고, 상기 기판 부상 블록의 공기압보다도 높아지도록 조정된다.Preferably, the air blowing section is of a different system from the air supply system of the substrate floating block that floats the substrate, and is adjusted to be higher than the air pressure of the substrate floating block.

바람직하게는, 상기 구성의 기판 반송 장치에 있어서, 상기 기판 지지 기구는 복수의 지지 유닛으로 이루어지고, 각 지지 유닛은 상기 기판 부상 블록에 대하여 교환 가능하도록 착탈 가능하게 설치되어 있다.Preferably, in the board | substrate conveying apparatus of the said structure, the said board | substrate support mechanism consists of a some support unit, and each support unit is attached so that attachment or detachment is possible with respect to the said board | substrate floating block.

상기 구성의 기판 지지 기구에 의하면, 기판 부상 블록에 대하여 착탈 가능한 복수의 유닛으로 함으로써, 원하는 유닛을 간단히 교환할 수 있다.According to the board | substrate support mechanism of the said structure, by setting it as the some unit detachable with respect to a board | substrate floating block, a desired unit can be replaced easily.

바람직하게는, 상기 구성의 기판 반송 장치에 있어서, 상기 기판 지지 기구 는 복수의 지지 유닛으로 이루어지고, 각 지지 유닛은 상기 기판 부상 블록에 대하여 높이 조정이 가능하도록 설치되어 있다.Preferably, in the board | substrate conveying apparatus of the said structure, the said board | substrate support mechanism consists of a some support unit, and each support unit is provided so that height adjustment is possible with respect to the said board | substrate floating block.

바람직하게는, 상기 구성의 기판 반송 장치에 있어서, 상기 기판 지지 기구는, 상기 기판 부상 블록의 측부을 따라 근접하여 배치된다.Preferably, in the board | substrate conveyance apparatus of the said structure, the said board | substrate support mechanism is arrange | positioned along the side part of the said board | substrate floating block.

바람직하게는, 상기 구성의 기판 반송 장치에 있어서, 상기 기판 부상 블록은 반송방향으로 가늘고 긴 직사각형으로 복수로 분할되어, 각 블록을 폭방향에 슬라이딩시켜 각 블록 사이의 간격을 조정하는 폭 조정 기구를 구비한다.Preferably, in the substrate conveyance apparatus of the said structure, the said board | substrate floating block is divided into multiple in the elongate rectangle in a conveyance direction, and the width | variety adjustment mechanism which adjusts the space | interval between each block by sliding each block to a width direction. Equipped.

바람직하게는, 상기 구성의 기판 반송 장치에 있어서, 상기 기판 부상 블록은, 상기 기판을 탑재하는 상면에 다수의 에어 불어올림용 공기구멍을 구비하고, 상기 상면에 상기 각 공기구멍으로부터 불어 올려진 에어에 의해 부상된 상기 기판과의 사이에 체류하는 에어를 배출하는 홈을 구비한다.Preferably, in the board | substrate conveying apparatus of the said structure, the said board | substrate floating block is equipped with many air blower air holes in the upper surface on which the said board | substrate is mounted, and the air blown up from the said each air hole in the said upper surface And a groove for discharging air remaining between the substrate floated by the substrate.

상기 구성의 기판 지지 기구에 의하면, 기판의 단부를 에어로 지지함으로써, 기판을 비접촉으로 반송할 수 있기 때문에, 기판의 하면이 손상되는 것을 확실하게 방지할 수 있다.According to the board | substrate support mechanism of the said structure, since the board | substrate can be conveyed non-contact by supporting the edge part of a board | substrate with air, it can reliably prevent that the lower surface of a board | substrate is damaged.

도 1 내지 도 6은 본 발명에 관한 일 실시예를 나타내고 있고, 여기에서 설명하는 실시예는, 본 발명을 대형의 LCD나 PDP 등의 FPD의 제조 공정에서의 인라인 검사용 유리 기판 반송 장치에 적용한 경우이다.1 to 6 show one embodiment of the present invention, and the embodiments described herein apply the present invention to a glass substrate conveying apparatus for inline inspection in a manufacturing process of an FPD such as a large LCD or a PDP. If it is.

기판 반송 장치를 구성하는 반입용 기판 탑재대(1)는, 제진대(2)상에 설치되어 있으며, 그 상면(반송면)에 반입된 유리 기판(3)(FPD를 복수매 제조하는 다면 모따기용 모유리 기판)을 탑재하는 것이다. 기판 탑재대(1)의 폭방향[유리 기판(3)의 반송방향(C)에 대한 수직방향]의 치수는, 유리 기판(3)의 폭보다도 짧게 되어 있다. 상기 기판 탑재대(1)는 그 상면에 에어 불어올림용 복수의 공기구멍(4)을 형성하여 유리 기판(3)을 에어 부상시키는 기판 부상 블록에 구성되어 있다. 공기구멍(4)은 기판 탑재대(1)의 전체면에 대략 균일하게 형성되어 있다.The board | substrate mounting base 1 for carrying in which comprises a board | substrate conveying apparatus is provided on the vibration damping stand 2, and is multifaceted chamfering which manufactures several sheets of glass substrate 3 (FPD) carried in the upper surface (carrying surface). Mother glass substrate). The dimension of the width direction (vertical direction with respect to the conveyance direction C of the glass substrate 3) of the board | substrate mounting table 1 is shorter than the width of the glass substrate 3. The said board | substrate mounting base 1 is comprised in the board | substrate floating block which forms the some air hole 4 for air blowing in the upper surface, and makes the glass substrate 3 air-float. The air hole 4 is formed substantially uniformly in the whole surface of the board | substrate mounting base 1. As shown in FIG.

또, 상기 기판 탑재대(1)의 상면에는, 2개의 홈(5)이 서로 소정의 간격을 두고 반송방향(C)을 따라 형성되어 있다. 또한, 상기 기판 탑재대(1)에는, 유리 기판(3)의 반입 시에 승강하는 복수(도시한 예에서는 9개)의 리프트 핀(6)이 설치되어 있다.Moreover, two groove | channels 5 are formed in the upper surface of the said board | substrate mounting base 1 along the conveyance direction C at predetermined intervals from each other. In addition, the board | substrate mounting stand 1 is provided with the plurality of lift pins 6 (9 in the example shown) which raise and lower at the time of carrying in the glass substrate 3 at the time of carrying in.

또, 기판 탑재대(1)는, 반송방향(C)으로 가늘고 긴 직사각형상의 블록으로 분할되고, 복수로 분할된 각 블록 사이[홈(5)]의 간격을 조정하여 각종 사이즈의 유리 기판에 맞춰 기판 탑재대(1)의 폭방향의 치수를 변화시키도록 할 수도 있다. 이 경우, 기판 탑재대(1)의 폭방향의 양단에 위치하는 각 블록을 폭방향으로 슬라이딩시키는 폭조정 기구(도시하지 않음)에 의해 기판 탑재대(1)의 폭 치수를 임의로 조정할 수 있다.Moreover, the board | substrate mounting table 1 is divided | segmented into the elongate rectangular block in the conveyance direction C, and adjusts the space | interval between each divided | segmented block (the groove | channel 5), and adjusts to the glass substrate of various sizes. The dimension of the width direction of the board | substrate mounting base 1 can also be changed. In this case, the width dimension of the board mounting stand 1 can be arbitrarily adjusted by the width adjustment mechanism (not shown) which slides each block located in the width direction both ends of the board mounting stand 1 in the width direction.

반송방향(C)에 평행한 기판 탑재대(1)의 일측의 측부[반송방향(C)의 좌측]에는, 반입용 반송로봇(7)이 설치되어 있다. 상기 반입용 반송로봇(7)은, 도시하지 않은 다관절암에 의해 2개의 핸드암(8)을 회전, 전진 및 후퇴시키면서 검사하지 않은 유리 기판(3)을 카세트로부터 인출하여 기판 탑재대(1)상에 반입한다.The carrying robot 7 for carrying in is provided in the side part (left side of the conveying direction C) of one side of the board | substrate mounting base 1 parallel to the conveying direction C. As shown in FIG. The carry-in robot 7 withdraws the uninspected glass substrate 3 from the cassette while rotating, advancing and retracting the two hand arms 8 by the articulated arm not shown in the drawing. I bring it in).

기판 탑재대(1)의 하류측에는, 반송 가대(9)가 반송방향(C)을 따라 나란히 설치되어 있다. 상기 반송 가대(9)는 유리 기판(3)의 반입측으로부터 반출측에 이르는 길이에 형성되어 있다. 상기 반송 가대(9)는 제진대(10)상에 탑재되고 있다.On the downstream side of the substrate mounting table 1, the conveyance mount 9 is provided side by side along the conveyance direction C. As shown in FIG. The said conveyance mount 9 is formed in the length from the carrying in side to the carrying out side of the glass substrate 3. The conveying mount 9 is mounted on the vibration damping table 10.

상기 반송 가대(9)의 상면에는, 반송 가대(9)의 전체 길이에 걸쳐 기판 부상 블록(검사 스테이지)(11)이 설치되어 있다. 기판 부상 블록(11)의 폭방향의 치수는, 기판 탑재대(1)와 같이, 유리 기판(3)의 폭보다도 짧게 되어 있다. 상기 기판 부상 블록(11)의 상면(반송면)에도, 기판 탑재대(1)와 같이, 에어 불어올림용 복수의 공기구멍(12)이 형성되어 있다. 이들 공기구멍(12)은 기판 부상 블록(11)의 전체면에 대략 균일하게 형성되어 있다.The board floating block (inspection stage) 11 is provided in the upper surface of the said conveyance mount 9 over the full length of the conveyance mount 9. The dimension of the width direction of the board | substrate floating block 11 is shorter than the width of the glass substrate 3 like the board | substrate mounting base 1. In the upper surface (conveying surface) of the said board | substrate floating block 11, like the board | substrate mounting base 1, the some air hole 12 for air blowing is formed. These air holes 12 are formed substantially uniformly on the entire surface of the substrate floating block 11.

또, 상기 기판 부상 블록(11)의 상면에는, 2개의 홈(13)이 서로 소정의 간격을 두고 반송방향(C)을 따라 형성되어 있다. 상기 기판 부상 블록(11)의 상면의 높이는, 기판 탑재대(1)의 상면의 높이와 대략 동일하게 되어 있다.Moreover, the two grooves 13 are formed in the upper surface of the said board | substrate floating block 11 along the conveyance direction C at predetermined intervals from each other. The height of the upper surface of the board floating block 11 is approximately equal to the height of the upper surface of the substrate mounting table 1.

또, 상기 기판 부상 블록(11)도 기판 탑재대(1)와 같이, 복수로 분할된 각 블록 사이[홈(13)]의 간격을 조정하여 기판 부상 블록(11)의 폭방향의 치수를 변화시키도록 할 수도 있다.In addition, the substrate floating block 11 also changes the dimensions in the width direction of the substrate floating block 11 by adjusting the interval between the plurality of divided blocks (grooves 13) like the substrate mounting table 1. You can also make it work.

반송방향(C)을 따라 반송 가대(9)의 대략 중간위치에는, 일정속도로 반송되는 유리 기판(3)의 각종 검사를 행하는 검사부(E)가 설치되어 있다. 상기 검사부(E)에는, 문형(門型)의 암(14), 현미경, 라인센서, CCD 카메라 등의 각종 검사용 기기(15)가 탑재되어 있다. 상기 검사부(E)에서는, 예를 들면, 폭방향으로 복수 배열된 라인센서에 의해 유리 기판(3)의 화상 데이터를 취득하고, 상기 화상 데이터에 화상처리 등을 실시하여 유리 기판(3)의 패턴검사나 결함검사 등을 행한다.In the substantially intermediate position of the conveyance mount 9 along the conveyance direction C, the inspection part E which performs various inspection of the glass substrate 3 conveyed at a constant speed is provided. The inspection unit E is equipped with various inspection devices 15 such as a door-shaped arm 14, a microscope, a line sensor, a CCD camera, and the like. In the inspection section E, for example, image data of the glass substrate 3 is acquired by a line sensor arranged in a plurality of width directions, and image processing is performed on the image data to pattern the glass substrate 3. Inspection or defect inspection is carried out.

반송 가대(9)의 하류측에는, 반출용 기판 탑재대(16)가 반송방향(C)을 따라 나란히 설치되어 있다. 상기 기판 탑재대(16)는, 제진대(17)상에 설치되어 있으며, 기판 부상 블록(11)으로부터 반송되어 있던 유리 기판(3)을 반출하기 위해서 일시적으로 탑재하는 것이다. 기판 탑재대(16)의 폭 치수는, 기판 탑재대(1) 및 기판 부상 블록(11)과 같이, 유리 기판(3)의 폭보다도 짧게 되어 있다. 기판 탑재대(16)는, 기판 탑재대(1)나 기판 부상 블록(11)과 같이, 그 상면(반송면)에 에어 불어올림용 복수의 공기구멍(18)을 형성하여 유리 기판(3)을 에어 부상시키는 기판 부상 블록에 구성되어 있다. 공기구멍(18)은 기판 탑재대(16)의 전체면에 대략 균일하게 형성되어 있다.The board | substrate mounting base 16 for carrying out is arrange | positioned along the conveyance direction C in the downstream of the conveyance mount 9 side by side. The board | substrate mounting stand 16 is temporarily mounted in order to carry out the glass substrate 3 conveyed from the board | substrate floating block 11, and is provided on the damping board 17. As shown in FIG. The width dimension of the board mounting stand 16 is shorter than the width of the glass substrate 3 like the board mounting stand 1 and the board floating block 11. The substrate mounting table 16, like the substrate mounting table 1 and the substrate floating block 11, forms a plurality of air holes 18 for air blowing on the upper surface (conveying surface) to form the glass substrate 3 It is comprised in the board | substrate flotation block which makes the air float. The air hole 18 is formed almost uniformly on the entire surface of the substrate mounting table 16.

또, 상기 기판 탑재대(16)상에는, 각 공기구멍(18)으로부터 불어올려진 에어를 배출시키는 2개의 홈(19)이 서로 소정의 간격을 두고 반송방향(C)을 따라 형성되어 있다. 또한, 상기 기판 탑재대(16)에는, 유리 기판(3)의 반출 시에 승강하는 복수(도시한 예에서는 9개)의 리프트 핀(20)이 설치되어 있다. 상기 기판 탑재대(16)의 상면의 높이는, 기판 부상 블록(11)의 상면의 높이와 대략 동일하게 되어 있다.Moreover, on the said board | substrate mounting base 16, the two groove | channel 19 which discharges the air blown out from each air hole 18 is formed along the conveyance direction C at predetermined intervals from each other. In addition, the board | substrate mounting base 16 is provided with the plurality of lift pins 20 (9 in the example shown) which raise and lower at the time of carrying out of the glass substrate 3 at the time of carrying out. The height of the upper surface of the board mounting table 16 is approximately equal to the height of the upper surface of the substrate floating block 11.

또, 상기 기판 탑재대(16)도 기판 탑재대(1)와 같이, 복수로 분할된 각 블록 사이[홈(19)]의 간격을 조정하여 기판 탑재대(16)의 폭방향의 치수를 변화시키도록 할 수도 있다.In addition, like the board mounting table 1, the board mounting table 16 also adjusts the distance between the plurality of divided blocks (grooves 19) to change the width direction of the board mounting table 16 in the width direction. You can also make it work.

반송방향(C)에 평행한 기판 탑재대(16)의 일측의 측부[반송방향(C)의 좌측]에는, 반출용 반송로봇(21)이 설치되어 있다. 상기 반출용 반송로봇(21)은, 도시 하지 않은 다관절암에 의해 2개의 핸드암(22)을 회전, 전진 및 후퇴시키면서 검사 종료된 유리 기판(3)을 카세트 내에 수납한다.The carrying robot 21 for carrying out is provided in the side part (left side of the carrying direction C) of the board | substrate mounting base 16 parallel to the carrying direction C. As shown in FIG. The transport robot 21 for carrying out accommodates the glass substrate 3 which was completed | finished test | inspection while rotating, advancing, and retracting the two hand arms 22 by the articulated arm which is not shown in figure.

반송 가대(9) 및 제진대(17)상에는, 부상된 유리 기판(3)의 일측부 또는 양측부를 지지하여 고속으로 반송하는 반송 기구가 설치되어 있다. 상기 반송 기구는, 기판 부상 블록상에 부상된 유리 기판의 일측부 또는 양측부를 지지하여 강제적으로 반송하는 반송부와, 유리 기판(3)의 반송방향(C)과 평행한 기판 부상 블록의 일측부 또는 양측을 따라 배치된 가이드로 구성된다. 반송 기구로는, 코일의 여자에 의해 직선 리니어 가이드(슬라이더) 위를 주행하는 이동자(移動子)(반송부)로 이루어지는 리니어모터를 이용하면 된다. 기판 부상 블록(11) 및 기판 탑재대(16)를 사이에 끼워 직선 리니어 가이드를 구성하는 슬라이더(23～28)가 한 쌍 1조로서 복수조 반송방향(C)을 따라 서로 평행하게 설치되어 있다.On the conveyance mount 9 and the vibration damping stand 17, the conveyance mechanism which supports one side part or both side parts of the floated glass substrate 3, and conveys it at high speed is provided. The said conveyance mechanism supports the one side part or both side parts of the glass substrate floated on the board | substrate floating block, and conveys it forcibly and the one side part of the board | substrate floating block parallel to the conveyance direction C of the glass substrate 3 Or guides disposed along both sides. As a conveyance mechanism, the linear motor which consists of a mover (carrying part) which runs on a linear linear guide (slider) by excitation of a coil may be used. Sliders 23 to 28 constituting a linear linear guide with the substrate floating block 11 and the substrate mounting table 16 interposed therebetween are provided in pairs parallel to each other along the plurality of tank conveyance directions C. .

반송방향(C)의 상류 및 하류측에 위치하는 2조의 슬라이더(23, 24, 27, 28)는, 반송방향(C)의 중간부에 위치하는 1조의 슬라이더(25, 26)보다도 폭 방향의 외측에 설치되어 있다.The two sets of sliders 23, 24, 27, 28 located on the upstream and downstream sides of the conveying direction C have a width direction greater than that of the set of sliders 25, 26 located at the middle of the conveying direction C. It is installed on the outside.

기판 탑재대(1)의 하류측으로부터 반송 가대(9)의 중간부까지의 사이에 배치된 한 쌍의 슬라이더(23, 24)에는, 유리 기판(3)을 흡착 유지하여 반송방향(C) 및 그 역방향으로 고속으로 이동시키는 반송부(29, 30)가 각각 설치되어 있다. 각 반송부(29, 30)는 연직방향으로 신축가능하며 또한 회전 가능하게 장착된 암(29a, 30a)과, 상기 암(29a, 30a)의 선단부에 설치되고, 반송방향(C)에 평행한 유리 기판(3)의 양측부의 하면을 흡착 유지하는 흡착패드(29b, 30b)와, 상기 반송부(29, 30) 에 설치되고, 암(29a, 30a)을 반송방향(C) 및 연직방향으로 이동시키는 플런저를 구비하고 있다.The glass substrate 3 is adsorbed and held on the pair of sliders 23 and 24 disposed between the downstream side of the substrate mounting table 1 and the intermediate portion of the conveying mount 9, and the conveying direction C and Carriers 29 and 30 are respectively provided to move at high speed in the reverse direction. Each conveyance part 29 and 30 is provided in the vertical direction of the arm 29a, 30a which is elastically and rotatably mounted, and is provided in the front-end | tip part of the said arm 29a, 30a, and is parallel to a conveyance direction C. As shown in FIG. Adsorption pads 29b and 30b for adsorbing and holding the lower surfaces of both side portions of the glass substrate 3 and the conveying portions 29 and 30 are provided, and the arms 29a and 30a are moved in the conveying direction C and the vertical direction. A plunger for moving is provided.

또, 반송 가대(9)의 중간부으로부터 하류측 단부까지의 사이에 배치된 한 쌍의 슬라이더(25, 26)에도, 반송방향(C) 및 그 역방향으로 이동 가능한 반송부(31, 32)가 각각 설치되어 있다. 각 반송부(31, 32)는 전술한 반송부(29, 30)와 같이, 암(31a, 32a)과 흡착패드(31b, 32b)를 구비하고 있다.Moreover, the conveyance part 31 and 32 which can move to the conveyance direction C and its reverse direction also in the pair of sliders 25 and 26 arrange | positioned between the intermediate part of the conveyance mount 9 to the downstream end part. Each is installed. Each conveyance part 31 and 32 is equipped with the arm 31a and 32a and the suction pad 31b and 32b like the conveyance part 29 and 30 mentioned above.

또한, 반송 가대(9)의 하류측 단부로부터 기판 탑재대(16)의 하류측 단부까지의 사이에 배치된 한 쌍의 슬라이더(27, 28)에도, 반송방향(C) 및 그 역방향으로 이동 가능한 반송부(33, 34)가 각각 설치되어 있다. 각 반송부(33, 34)는 전술한 반송부(29, 30)와 같이, 암(33a, 34a)과 흡착패드(33b, 34b)를 구비하고 있다.Moreover, the pair of sliders 27 and 28 arranged between the downstream end of the carrying mount 9 and the downstream end of the substrate mounting stand 16 are also movable in the carrying direction C and its reverse direction. Carriers 33 and 34 are provided respectively. Each conveyance part 33 and 34 is equipped with the arm 33a and 34a and adsorption pad 33b and 34b like the conveyance part 29 and 30 mentioned above.

또, 반송방향(C)의 상류 및 하류측에 위치하는 2조의 슬라이더(23, 24, 27, 28)는, 반송방향(C)의 중간부에 위치하는 1조의 슬라이더(25, 26)보다도 외측에 설치되어 있기 때문에, 흡착패드(29b, 30b, 33b, 34b)와 흡착패드(31b, 32b)의 폭방향의 위치가 동일하게 되도록 각 암(29a, 30a, 33a, 34a)의 길이가 설정되어 있다.In addition, the two sets of sliders 23, 24, 27, 28 located on the upstream and downstream sides of the conveying direction C are outside the set of sliders 25, 26 located in the middle of the conveying direction C. The length of each arm 29a, 30a, 33a, 34a is set so that the positions of the suction pads 29b, 30b, 33b, 34b and the suction pads 31b, 32b in the width direction are the same. have.

상기 기판 반송 장치는, 상기 구성 이외에, 압착공기 공급부(46), 진공 흡착부(47), 이동 제어부(48) 및 기판 지지 기구(49)를 구비하고 있다.The board | substrate conveying apparatus is equipped with the compressed air supply part 46, the vacuum suction part 47, the movement control part 48, and the board | substrate support mechanism 49 in addition to the said structure.

압착공기 공급부(46)는 배관을 통해서 반입용 기판 탑재대(1), 기판 부상 블록(11) 및 반출용 기판 탑재대(16)의 각 공극부에 연통되고, 각 공극부에 선택적으로 압착에어를 공급하여 각 공기구멍(4, 12, 18)으로부터 압착에어를 불어 올리게 된다. 상기 압착에어에 의해 반입용 기판 탑재대(1), 기판 부상 블록(11) 또는 반 출용 기판 탑재대(16)상에서 유리 기판(3)을 부상시킬 수 있다. 또, 상기 압착공기 공급부(46)는 각 공기구멍(4, 12, 18)으로부터 제전(除電) 효과를 가지는 에어, 예를 들면, 플러스 이온 또는 마이너스 이온으로 이온화된 에어를 불어 올리도록 할 수도 있다. 이들 공기구멍(4, 12, 18) 및 압착공기 공급부(46)에 의해 유리 기판(3)을 부상시키는 기판 부상 기구(101)가 구성되어 있다.The compressed air supply unit 46 communicates with the air gaps of the board-mounting base 1 for carrying in, the board floating block 11 and the board-mounting base 16 for carrying out through piping, and selectively compresses the air. The air is supplied to blow compressed air from each of the air holes 4, 12, and 18. By the pressurized air, the glass substrate 3 can be floated on the board | substrate mounting base 1 for carrying in, the board | substrate floating block 11, or the board | substrate mounting stand 16 for carrying out. In addition, the compressed air supply unit 46 may blow air having an antistatic effect, for example, air ionized by positive or negative ions, from each of the air holes 4, 12, and 18. . The board | substrate flotation mechanism 101 which raises the glass substrate 3 by these air holes 4, 12, 18, and the compressed air supply part 46 is comprised.

진공 흡착부(47)는 배관을 통하여 각 흡착패드(29b～34b)에 연통되고, 이들 흡착패드(29b～34b)를 선택적으로 진공 흡인하여 유리 기판(3)을 흡착 유지하는 것이다. 이동 제어부(48)는 각 슬라이더(23～28)상에서의 반송부(29～34)의 이동 제어를 행하는 것이다.The vacuum adsorption part 47 communicates with each adsorption pad 29b-34b through piping, and selectively sucks these adsorption pads 29b-34b, and adsorb | sucks and hold | maintains the glass substrate 3. The movement control part 48 performs the movement control of the conveyance parts 29-34 on each slider 23-28.

이들 슬라이더(23～28), 반송부(29～34), 진공 흡착부(47) 및 이동 제어부(48)에 의해 유리 기판(3)을 반송방향(C)으로 이동시키는 반송 기구(102)가 구성되어 있다.The conveyance mechanism 102 which moves the glass substrate 3 to a conveyance direction C by these sliders 23-28, the conveyance parts 29-34, the vacuum suction part 47, and the movement control part 48 Consists of.

기판 지지 기구(49)는 반송방향(C)에 평행한 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 양측부에, 또는 이것에 근접하여 설치되고, 유리 기판(3)의 양측부를 하면측에서 지지하는 것이다. 상기 기판 지지 기구(49)는 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 양측부에 대하여 교환 가능하도록 착탈 가능하게 장착된 복수의 지지 유닛(51)을 구비하고 있다.The board | substrate support mechanism 49 is provided in the both sides of the board | substrate bases 1 and 16 and the board | substrate floating block 11 parallel to the conveyance direction C, or near this, and the both sides of the glass substrate 3 If you do, you support from the side. The board | substrate support mechanism 49 is equipped with the several support unit 51 detachably attached so that exchange | attachment with respect to both sides of the board | substrate bases 1 and 16 and the board | substrate floating block 11 is possible.

각 지지 유닛(51)에는, 도 3a, 도 3b에 도시한 바와 같이, 회전 지지 부재로서 복수의 롤러(회전 지지 부재)(53)가 회전 가능하게 장착되어 있고, 각 롤러(53)는, 그 원주면의 일부가 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 상면으로부 터 기판 부상 높이와 대략 동일한 높이로 돌출되도록 배치되어 있다. 각 롤러(53)의 돌출길이는 압착에어에 의한 유리 기판(3)의 부상 높이로 되도록 기판 부상 블록(11)의 높이를 조정하는 높이 조정 기구를 구비하고 있다. 또, 반송방향(C)에 인접하여 정렬된 롤러(53)는, 유리 기판(3)에 접촉하는 원주면이 합성 수지 등의 유리 기판(3)보다도 부드러운 내마모성 재료로 이루어지고, 서로 접촉하지 않은 정도로 근접시켜 배치되어 있다. 이들 롤러(53)는 유리 기판(3)이 반송방향(C)으로 이동했을 때에, 유리 기판(3)의 하면을 구름 방향(J 방향)으로 회전하도록 되어 있다. 또, 롤러(53)는 유리 기판(3)에 대하여 슬립되지 않는 마찰력이 얻어지는 정도로 좁은 폭 치수를 가지고 있으면 된다.3A and 3B, a plurality of rollers (rotational support members) 53 are rotatably mounted to each of the support units 51 as the rotational support members, and each roller 53 is a member of the support unit 51. A portion of the circumferential surface is arranged so as to protrude from the upper surfaces of the substrate mounting tables 1 and 16 and the substrate floating block 11 to a height substantially equal to the substrate floating height. Protruding length of each roller 53 is provided with the height adjustment mechanism which adjusts the height of the board | substrate floating block 11 so that it may become the height of the floatation of the glass substrate 3 by a crimping air. Moreover, the roller 53 arrange | positioned adjacent to the conveyance direction C is a wear-resistant material whose circumferential surface which contacts the glass substrate 3 is softer than the glass substrate 3, such as synthetic resin, and does not contact each other. It is arrange | positioned so close. These rollers 53 rotate the lower surface of the glass substrate 3 in a rolling direction (J direction) when the glass substrate 3 moves to the conveyance direction C. As shown in FIG. Moreover, the roller 53 should just have a narrow width dimension so that the friction force which does not slip with respect to the glass substrate 3 is obtained.

또, 유리 기판(3)에는, 디스플레이를 구성하는 패턴 영역(G)이 복수(예를 들면, 4면, 6면) 형성되어 있고, 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 폭 치수는 반송방향(C)에 평행한 패턴 영역(G)의 가장 외측의 폭 치수와 대략 동일하게 되도록 설정된다. 이에 따라, 패턴 영역(G)이 형성되어 있지 않은 유리 기판(3)의 양측부가, 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 양측부로부터 돌출되게 된다. 그리고, 각 롤러(53)는 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 양측부를 따라 도 3a에 나타낸 바와 같이 조밀하게 배치되고, 유리 기판(3)의 양측부를 도 3b에 나타낸 바와 같이 하면측에서 지지하도록 되어 있다.Moreover, the glass substrate 3 is provided with the pattern area | region G which comprises a display in multiple numbers (for example, four surfaces and six surfaces), The board | substrate mounting base 1, 16 and the board | substrate floating block 11 are formed. The width dimension of is set so as to be substantially the same as the width dimension of the outermost part of the pattern area G parallel to the conveyance direction C. As shown in FIG. Thereby, the both side parts of the glass substrate 3 in which the pattern area G is not formed protrude from the both side parts of the board | substrate bases 1 and 16 and the board | substrate floating block 11. As shown in FIG. And each roller 53 is densely arrange | positioned as shown to FIG. 3A along the both sides of the board | substrate bases 1 and 16 and the board | substrate floating block 11, and the both sides of the glass substrate 3 are shown to FIG. 3B. As described above, the lower surface is supported.

다음에, 상기와 같이 구성된 기판 반송 장치의 동작에 대하여 설명한다.Next, operation | movement of the board | substrate conveyance apparatus comprised as mentioned above is demonstrated.

기판 탑재대(1)에 유리 기판(3)을 탑재할 때는, 도 1, 도 2에 도시한 바와 같이, 반입측에 위치하는 슬라이더(23, 24)상의 반송부(29, 30)를 미리 기판 탑재 대(1)측으로 이동시키고, 대기시켜 놓는다.When mounting the glass substrate 3 on the board | substrate mounting base 1, as shown to FIG. 1, FIG. 2, the conveyance parts 29 and 30 on the sliders 23 and 24 located in a carrying-in side are previously boarded. It moves to the mounting base 1 side, and is made to stand by.

이 상태로부터, 반입용 반송로봇(7)은 핸드암(8)을 회전, 전진 및 후퇴하여 검사하지 않은 유리 기판(3)을 카세트로부터 인출하고, 기판 탑재대(1)의 상방으로 반송한다. 또, 상기 반송과 동시에, 기판 탑재대(1)의 각 리프트 핀(6)이 상승한다. 이어서, 반입용 반송로봇(7)은 핸드암(8)을 하강시켜 유리 기판(3)을 각 리프트 핀(6)상에 탑재한 후에 후퇴한다. 그리고, 각 리프트 핀(6)이 하강함으로써, 유리 기판(3)이 기판 탑재대(1)상에 탑재되는 것으로 된다.From this state, the conveyance robot 7 for carrying in draws out the glass substrate 3 which was not inspected by rotating, advancing, and retracting the hand arm 8, and conveys it to the upper side of the board | substrate mounting table 1. As shown in FIG. Moreover, each lift pin 6 of the board | substrate mounting table 1 raises simultaneously with the said conveyance. Subsequently, the carry robot 7 for carrying in retreats after mounting the glass substrate 3 on each lift pin 6 by lowering the hand arm 8. And as each lift pin 6 descends, the glass substrate 3 will be mounted on the board mounting stand 1.

이 상태에 있어서는, 유리 기판(3)의 폭 치수가 기판 탑재대(1)의 폭보다도 길기 때문에, 반송방향(C)에 평행한 유리 기판(3)의 양측부가 기판 탑재대(1)의 양측부로부터 돌출된다. 또, 이 상태에 있어서는, 도 3b에 도시한 바와 같이, 패턴 영역(G)로부터 외측으로 위치하는 유리 기판(3)의 측부 하면이 롤러(53)에 접촉하는 것으로 된다.In this state, since the width dimension of the glass substrate 3 is longer than the width of the substrate mounting base 1, both sides of the glass substrate 3 parallel to the conveyance direction C are both sides of the substrate mounting base 1. It protrudes from the part. Moreover, in this state, as shown to FIG. 3B, the lower surface of the side part of the glass substrate 3 located outward from the pattern area | region G will contact the roller 53. As shown in FIG.

유리 기판(3)의 탑재가 종료되면, 반입측에 위치하는 반송부(29, 30)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 각각 암(29a, 30a)을 상승시키는 동시에, 진공 흡착부(47)에 의해 흡착패드(29b, 30b)의 진공 흡인을 행하고, 흡착패드(29b, 30b)를 유리 기판(3)의 하면에 흡착시킨다. 이들 흡착패드(29b, 30b)의 흡착위치는 전술한 롤러(53)의 접촉 위치보다도 더 유리 기판(3)의 폭방향의 외측이며, 또한, 반송방향(C)을 향하는 유리 기판(3)의 전방측이다. 이 상태에 있어서, 흡착패드(29b, 30b)는 기판 탑재대(1)의 상면 높이보다도 약간 상승되고, 유리 기판(3)과 롤러(53)의 접촉 위치(기판 부상 높이)와 대략 동일한 높이에 위치된다.When mounting of the glass substrate 3 is complete | finished, the conveyance parts 29 and 30 located in the carrying-in side raise the arms 29a and 30a, respectively, as shown in FIG. Vacuum suction of the suction pads 29b and 30b, and the suction pads 29b and 30b are adsorbed on the lower surface of the glass substrate 3, respectively. The adsorption positions of these adsorption pads 29b and 30b are outside the width direction of the glass substrate 3 more than the contact position of the roller 53 mentioned above, and of the glass substrate 3 which faces the conveyance direction C further. It is the front side. In this state, the suction pads 29b and 30b are slightly raised from the height of the upper surface of the substrate mounting table 1 and are at approximately the same height as the contact position (substrate lift height) of the glass substrate 3 and the roller 53. Is located.

상기 유리 기판(3)의 흡착과 동시에, 압착공기 공급부(46)는 배관을 통해서 반입용 기판 탑재대(1) 및 기판 부상 블록(11)의 공극부에 압착에어를 공급하고, 공기구멍(4, 12)으로부터 압착에어를 불어올린다.At the same time as the glass substrate 3 is adsorbed, the compressed air supply unit 46 supplies the compressed air to the air gaps of the board-mounting base 1 for carrying in and the substrate floating block 11 through the piping, and the air hole 4 12) Blow the compressed air from

이 때는, 기판 탑재대(1)와 유리 기판(3)의 사이에는 에어층이 형성되고, 유리 기판(3)이 기판 탑재대(1)의 상면으로부터 부상된다. 그리고, 공기구멍(4)으로부터 불어올려진 에어는, 전술한 에어층에 체류되지 않고 기판 탑재대(1)의 홈(5)을 통해서 흐른다. 이로 인하여, 유리 기판(3)은 평면도(平面度)를 유지하여 기판 탑재대(1)상에 부상하게 된다. 또, 롤러(53)는 압착에어에 의해서 부상된 유리 기판(3)의 하면의 높이와 대략 동일하게 되기 때문에, 유리 기판(3)이 하방으로 휘거나, 휘어 있더라도 유리 기판(3)의 양측부가 각 롤러(53)에 의해 수평으로 교정되고, 유리 기판(3)은 기판 탑재대(1)의 반송면에 접하지 않고 부상된다.At this time, an air layer is formed between the substrate mounting table 1 and the glass substrate 3, and the glass substrate 3 floats from the upper surface of the substrate mounting table 1. The air blown up from the air hole 4 flows through the grooves 5 of the substrate mounting table 1 without remaining in the above-described air layer. For this reason, the glass substrate 3 will float on the board | substrate mounting stand 1, maintaining a flatness. Moreover, since the roller 53 becomes substantially the same as the height of the lower surface of the glass substrate 3 floated by the crimping air, even if the glass substrate 3 bends down or bends, both sides of the glass substrate 3 will be curved. Each roller 53 is horizontally corrected, and the glass substrate 3 floats without being in contact with the carrying surface of the substrate mounting table 1.

그 후, 이동 제어부(48)는 도 5에 도시한 바와 같이, 유리 기판(3)의 하면에 흡착된 흡착패드(29b, 30b)를 가지는 2개의 반송부(29, 30)를 동일한 속도로 동기시켜 각 슬라이더(23, 24)상을 반송방향(C)으로 이동시킨다. 이에 따라, 유리 기판(3)은 각 공기구멍(4, 12)으로부터의 압착에어에 의해 기판 탑재대(1) 및 기판 부상 블록(11)의 상면으로부터 부상하여 반송부(29, 30)에 의해 기판 탑재대(1)로부터 기판 부상 블록(11)에 고속으로 반송된다. 이 때는, 기판 탑재대(1) 및 기판 부상 블록(11)에 설치된 롤러(53)가 패턴 영역(G)의 외측에 위치하는 유리 기판(3)의 양측부의 하면에 접촉하여 J방향으로 회전된다.Thereafter, as shown in FIG. 5, the movement control unit 48 synchronizes the two transfer units 29 and 30 having the adsorption pads 29b and 30b adsorbed on the lower surface of the glass substrate 3 at the same speed. The sliders 23 and 24 are moved in the conveyance direction C. Thereby, the glass substrate 3 floats from the upper surface of the board | substrate mounting base 1 and the board | substrate floating block 11 by the crimping air from each air hole 4 and 12, and is conveyed by the conveyance parts 29 and 30. FIG. It is conveyed by the board | substrate mounting block 1 to the board | substrate floating block 11 at high speed. At this time, the roller 53 provided in the board | substrate mounting stand 1 and the board | substrate floating block 11 contacts the lower surface of the both sides of the glass substrate 3 located in the outer side of the pattern area G, and rotates to J direction. .

유리 기판(3)의 기판 부상 블록(11)으로의 반송이 종료된 때는, 압착공기 공 급부(46)가 반입용 기판 탑재대(1)의 공기구멍(4)으로의 압착에어의 공급을 정지한다. 또, 이 때는, 이동 제어부(48)가 중간부에 위치하는 2개의 슬라이더(25, 26)상의 반송부(31, 32)를 반송방향과는 역방향으로 이동시킨다.When the conveyance of the glass substrate 3 to the board | substrate floating block 11 is complete | finished, the compressed air supply part 46 stops supply of the compressed air to the air hole 4 of the board | substrate mounting base 1 for carrying in. do. At this time, the movement control part 48 moves the conveyance parts 31 and 32 on the two sliders 25 and 26 located in an intermediate part to the opposite direction to a conveyance direction.

이들 반송부(31, 32)는 유리 기판(3)의 하방에 도달되면, 슬라이더(25, 26)상의 기판 주고받기 기준위치에 정지하고, 각 암(31a, 32a)을 상승시켜, 진공 흡착부(47)에 의해 흡착패드(31b, 32b)를 유리 기판(3)의 하면에 흡착시킨다. 이들 흡착패드(31b, 32b)의 흡착위치는 롤러(53)의 접촉 위치보다도 유리 기판(3)의 폭방향의 외측으로, 반송방향(C)을 향하는 유리 기판(3)의 전방측이다.When these conveyance parts 31 and 32 reach below the glass substrate 3, it stops at the board | substrate reference position on the sliders 25 and 26, raises each arm 31a, 32a, and a vacuum adsorption part Adsorption pads 31b and 32b are made to adsorb | suck to the lower surface of the glass substrate 3 by 47. The suction position of these suction pads 31b and 32b is the front side of the glass substrate 3 which faces the conveyance direction C to the outer side of the width direction of the glass substrate 3 rather than the contact position of the roller 53.

흡착패드(31b, 32b)가 유리 기판(3)에 흡착되면, 진공 흡착부(47)에 의한 반송부(29, 30)의 각 흡착패드(29b, 30b)의 흡착이 해제되고, 각 암(29a, 30a)이 하강된다. 이에 따라, 유리 기판(3)의 흡착 유지가 반송부(29, 30)로부터 반송부(31, 32)로 주고받는다. 그 후, 2개의 반송부(29, 30)는 각각의 슬라이더(23, 24)상을 반송방향(C)과는 역방향으로 이동하고, 반입용 기판 탑재대(1)의 기판 주고받기 기준위치에 정지하여 대기한다.When the adsorption pads 31b and 32b are adsorbed on the glass substrate 3, the adsorption of the adsorption pads 29b and 30b of the conveyance units 29 and 30 by the vacuum adsorption unit 47 is released, and the respective arms ( 29a, 30a) are lowered. Thereby, the adsorption holding | maintenance of the glass substrate 3 passes from the conveyance parts 29 and 30 to the conveyance parts 31 and 32. FIG. Thereafter, the two conveying units 29 and 30 move the respective sliders 23 and 24 in the reverse direction to the conveying direction C, and move the substrates to the substrate exchange reference position of the substrate mounting table 1 for loading. Stop and wait

유리 기판(3)의 주고받기가 종료되면, 유리 기판(3)을 흡착 유지한 반송부(31, 32)는 도 6에 도시한 바와 같이, 동일한 속도로 동기하여 각 슬라이더(25, 26)상을 반송방향(C)으로 고속으로 이동한다. 이 때는, 기판 부상 블록(11)의 양측부에 근접하여 설치된 롤러(53)가, 패턴 영역(G)의 외측에 위치하는 유리 기판(3)의 폭방향 양단부의 하면에 접촉하여 J방향으로 회전된다. 이에 따라, 기판 부상 블록(11)상에 부상되고 있는 유리 기판(3)은 반송부(31, 32)에 의해 끌어 당겨 지고 검사부(E)에 도달된다.When the transfer of the glass substrate 3 is complete | finished, the conveyance parts 31 and 32 which adsorb | sucked and hold | maintained the glass substrate 3 are synchronized with each other on the sliders 25 and 26 at the same speed as shown in FIG. Moves at high speed in the conveyance direction (C). At this time, the roller 53 provided in the vicinity of the both sides of the substrate floating block 11 contacts the lower surface of the width direction both ends of the glass substrate 3 located outside the pattern area G, and rotates to J direction. do. Thereby, the glass substrate 3 floating on the board | substrate floating block 11 is attracted by the conveyance parts 31 and 32, and it reaches | attains the inspection part E. FIG.

검사부(E)에서는, 유리 기판(3)을 검사에 적합한 속도로 되도록 반송부(29, 30)의 속도를 고속으로부터 저속으로 제어하고, 예를 들면, 라인센서를 구비한 검사용 기기(15)를 이용하여 유리 기판(3)의 화상 데이터를 취득하고, 상기 화상 데이터에 따라 유리 기판(3)의 패턴검사, 결함검사 등이 행하여진다.In the inspection part E, the speed | rate of the conveyance parts 29 and 30 is controlled from high speed to low speed so that the glass substrate 3 may become a speed suitable for an inspection, For example, the inspection apparatus 15 provided with a line sensor The image data of the glass substrate 3 is acquired using P, and pattern inspection, defect inspection, etc. of the glass substrate 3 are performed according to the said image data.

검사부(E)에서의 검사가 종료되면, 유리 기판(3)을 흡착 유지한 반송부(31, 32)가, 동일한 속도로 동기되어 각 슬라이더(25, 26)상을 고속 이동하여, 유리 기판(3)을 반송방향(C)으로 반송한다. 이 때는, 기판 부상 블록(11) 및 기판 탑재대(16)에 설치된 롤러(53)가, 패턴 영역(G)의 외측에 위치하는 유리 기판(3)의 양측부의 하면에 접촉하여 J방향으로 회전된다.When the test | inspection by the test | inspection part E is complete | finished, the conveyance parts 31 and 32 which adsorb | sucked and hold | maintained the glass substrate 3 are synchronized at the same speed, and move on the sliders 25 and 26 at high speed, and the glass substrate ( 3) is conveyed in the conveyance direction (C). At this time, the roller 53 provided in the board | substrate flotation block 11 and the board | substrate mounting base 16 rotates to J direction in contact with the lower surface of the both sides of the glass substrate 3 located in the outer side of the pattern area G. As shown in FIG. do.

유리 기판(3)이 기판 부상 블록(11)의 하류측에 도달되면, 유리 기판(3)의 흡착 유지가 기판 부상 블록(11)측에 위치하는 반송부(31, 32)로부터 반출용 기판 탑재대(16)측에 위치하는 반송부(33, 34)로 주고받는 동시에, 압착공기 공급부(46)가 반출용 기판 탑재대(16)의 공기구멍(18)에 압착에어를 공급한다. 이들 반송부(31, 32)로부터 반송부(33, 34)로의 유리 기판(3)의 주고받기는, 전술한 반송부(29, 30)로부터 반송부(31, 32)로의 주고받기와 같이 행하여진다.When the glass substrate 3 reaches the downstream side of the substrate floating block 11, the adsorption holding of the glass substrate 3 is carried on the substrates for carrying out from the transfer units 31 and 32 located on the substrate floating block 11 side. The compressed air supply unit 46 supplies the compressed air to the air holes 18 of the substrate mounting table 16 for carrying out at the same time as the transfer units 33 and 34 located on the base 16 side. The exchange of the glass substrate 3 from these conveyance parts 31 and 32 to the conveyance parts 33 and 34 is performed similarly to the exchange of the conveyance parts 31 and 32 from the conveyance parts 29 and 30 mentioned above. Lose.

유리 기판(3)의 주고받기가 종료되면, 반송부(33, 34)는 슬라이더(27, 28)상을 고속으로 이동하여 유리 기판(3)을 반송방향(C)으로 반송한다. 그리고, 유리 기판(3)이 반출용 기판 탑재대(16)의 상방에 도달되면, 각 반송부(33, 34)는 기판 주고받기 기준위치에 정지된다.When the sending and receiving of the glass substrate 3 is complete | finished, the conveyance parts 33 and 34 move on the slider 27 and 28 at high speed, and convey the glass substrate 3 to a conveyance direction C. As shown in FIG. And when the glass substrate 3 reaches the upper side of the board | substrate mounting base 16 for carrying out, each conveyance part 33 and 34 will stop at the board | substrate reference position.

기판 탑재대(16)에서는, 압착공기 공급부(46)가 기판 탑재대(16)의 공기구멍(18)으로의 압착에어의 공급을 정지한다. 이 때는, 진공 흡착부(47)에 의한 유리 기판(3)의 하면에 대한 흡착을 해제하고, 각 암(33a, 34a)을 하강시키는 동시에, 리프트 핀(20)을 상승시켜 유리 기판(3)을 들어 올린다. 이에 따라, 유리 기판(3)은 리프트 핀(20)상에 탑재된다. 반출용 반송로봇(21)은 핸드암(22)을 회전, 전진 및 후퇴시켜, 리프트 핀(20)상으로부터 검사 종료된 유리 기판(3)을 수취하여 카세트내에 수납한다.In the board | substrate mounting base 16, the compressed air supply part 46 stops supply of the compressed air to the air hole 18 of the board | substrate mounting base 16. As shown in FIG. At this time, the suction to the lower surface of the glass substrate 3 by the vacuum adsorption part 47 is released, each arm 33a, 34a is lowered, the lift pin 20 is raised, and the glass substrate 3 is lifted. Lift it up. Thereby, the glass substrate 3 is mounted on the lift pin 20. The conveyance robot 21 for carrying out rotates, advances, and retracts the hand arm 22, receives the glass substrate 3 which was tested on the lift pin 20, and stores it in a cassette.

이후, 복수의 유리 기판(3)에 대하여 기판 탑재대(1)로의 반입, 에어반송, 검사 및 기판 탑재대(16)로부터의 반출이 순차 반복된다.Thereafter, the plural glass substrates 3 are repeatedly loaded into the substrate mounting table 1, air transporting, inspection, and carrying out of the substrate mounting table 16.

상기와 같이, 상기 기판 반송 장치에 의하면, 롤러(53)가 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 양측부로부터 돌출되는 유리 기판(3)의 측부 하면에 접촉하여 지지되기 때문에, 유리 기판(3)을 반송할 때는, 유리 기판(3)의 양측부가 하방측으로 휘는 것을 방지할 수 있고, 또, 유리 기판(3)이 하방측으로 휘어 있더라도 유리 기판(3)을 수평으로 교정할 수 있다.As mentioned above, according to the said board | substrate conveying apparatus, the roller 53 is supported by contacting the lower surface of the side part of the glass substrate 3 which protrudes from the both sides of the board | substrate bases 1 and 16 and the board | substrate floating block 11, and is supported. Therefore, when conveying the glass substrate 3, the both sides of the glass substrate 3 can be prevented from bent downward, and even if the glass substrate 3 is bent downward, the glass substrate 3 is horizontally corrected. can do.

따라서, 유리 기판(3)의 패턴 영역(G)을 압착에어로 반송면으로부터 부상시키고, 또한 유리 기판(3)의 양측부를 롤러(53)로 지지함으로써, 유리 기판(3)의 양측부가 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)에 접하지 않고 안정되게 고속 반송될 수 있고, 또한, 유리 기판(3)이 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)에 접하여 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 유리 기판(3)의 패턴 영역(G)의 외측의 패턴 없는 양측부를 롤러(53)로 지지함으로써, 롤러(53)가 유리 기판(3)의 패턴 영역(G)과 접촉되지 않고 반송될 수 있기 때문에, 상기 패턴 영역(G)에 대응하는 유리 기판(3)의 하면이 손상되는 것도 방지할 수 있다.Therefore, by floating the pattern region G of the glass substrate 3 from a pressurized air conveyance surface, and supporting both sides of the glass substrate 3 with the roller 53, the both sides of the glass substrate 3 are board | substrate mounting tables. (1, 16) and the board | substrate floating block 11 can be conveyed stably at high speed, and also the glass substrate 3 contacts the board | substrate base 1, 16 and the board | substrate floating block 11, and is damaged. Can be prevented. In addition, by supporting both sides of the patternless side of the pattern region G of the glass substrate 3 with the roller 53, the roller 53 can be conveyed without being in contact with the pattern region G of the glass substrate 3. Since it is possible, the lower surface of the glass substrate 3 corresponding to the pattern region G can be prevented from being damaged.

또한, 유리 기판의 측부 하면을 흡착 유지함으로써, 종래와 같이, 유리 기판(3)의 양측 에지부를 규제 롤러 기구에 의해 사이에 끼우는 것에 비하여 유리 기판(3)에 대한 외적부하를 경감할 수도 있다.Moreover, by adsorb | sucking and holding the side lower surface of a glass substrate, external load with respect to the glass substrate 3 can also be reduced compared with sandwiching both edge parts of the glass substrate 3 with a regulation roller mechanism like conventionally.

또, 유리 기판(3)이 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)상을 반송방향(C)으로 이동할 때는, 롤러(53)가 유리 기판(3)의 반송방향(C)으로 굴러가도록 회전하기 때문에, 유리 기판(3)과 롤러(53)의 미끄러짐 마찰이 대단히 작아진다. 따라서, 이 미끄러짐 마찰에 의해서 유리 기판(3)이 손상되는 것도 방지할 수 있다.Moreover, when the glass substrate 3 moves on the board | substrate bases 1 and 16 and the board | substrate floating block 11 in a conveyance direction C, the roller 53 moves the conveyance direction C of the glass substrate 3 Since it rotates so that it may roll, the sliding friction of the glass substrate 3 and the roller 53 will become very small. Therefore, it can also prevent that the glass substrate 3 is damaged by this sliding friction.

또한, 롤러(53)를 교환할 때는, 복수의 롤러(53)를 장착한 복수의 지지 유닛(51)을 기판 탑재대(1, 16)나 기판 부상 블록(11)에 대하여 착탈 가능하게 함으로써, 원하는 지지 유닛(51)을 간단히 교환할 수 있고, 다수의 롤러(53)를 지지 유닛(51)마다 일괄적으로 바꿀 수 있다. 따라서, 롤러(53)의 교환을 단시간에 용이하게 행할 수 있다.In addition, when replacing the roller 53, by making the several support unit 51 which attached the some roller 53 detachable with respect to the board | substrate mounting base 1, 16 and the board | substrate floating block 11, The desired support unit 51 can be replaced easily, and many rollers 53 can be changed collectively for every support unit 51. Therefore, the roller 53 can be easily replaced in a short time.

또, 상기한 실시예에서는, 지지 유닛(51)에 반송방향(C)으로 회전하는 롤러(53)를 장착했지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 도 7a, 도 7b에 도시한 바와 같이, 다방향으로 회전 가능한 복수의 볼(55)을 지지 유닛(51)에 장착할 수도 있다.Moreover, although the roller 53 which rotates in the conveyance direction C was attached to the support unit 51 in the said Example, it is not limited to this, For example, as shown to FIG. 7A, FIG. 7B. Similarly, a plurality of balls 55 rotatable in multiple directions may be mounted on the support unit 51.

즉, 각 볼(55)은 볼 지지기(57)에 의해서 볼(55)의 중심점을 축에 회전 가능 하게 지지하고 있고, 상기 볼 지지기(57)가 지지 유닛(51)에 고정되어 있다. 또, 각 볼(55)은 롤러(53)의 경우와 같이, 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 상면으로부터 기판 부상 높이와 대략 동일 높이로 돌출되어 배치되어 있고, 유리 기판(3)의 하면에 접촉하도록 되어 있다.That is, each ball 55 supports the center point of the ball 55 rotatably by the ball support 57 on the shaft, and the ball support 57 is fixed to the support unit 51. In addition, as in the case of the roller 53, each ball 55 protrudes from the upper surface of the board | substrate bases 1 and 16 and the board | substrate floating block 11 at the height substantially equal to a board | substrate floating height, and is arrange | positioned, and glass The lower surface of the board | substrate 3 is made to contact.

이 구성에서는, 유리 기판(3)이 반송방향(C)으로 이동하는 경우뿐 아니라, 반송방향(C)에 직교하는 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 폭방향으로 이동하더라도, 유리 기판(3)과 볼(55) 사이에 슬라이딩 마찰이 발생되지 않기 때문에, 유리 기판(3)이 손상되는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 특히, 유리 기판(3)의 위치 결정[얼라이먼트(alignment)]을 행하는 경우에는, 유리 기판(3)을 에어 부상시킨 상태에서 반송방향(C)과 직교방향으로 이동시킬 때에 롤러(53)와 비교하여 슬라이딩 마찰이 작아져, 위치 결정이 용이해지는 동시에, 유리 기판(3)의 이면이 손상되는 것을 방지할 수 있다.In this structure, not only the glass substrate 3 moves in the conveyance direction C but also the width direction of the board mounting bases 1 and 16 and the board | substrate floating block 11 orthogonal to a conveyance direction C. Even if the sliding friction does not occur between the glass substrate 3 and the ball 55, the glass substrate 3 can be reliably prevented from being damaged. In particular, when positioning the glass substrate 3 (alignment), it is compared with the roller 53 when moving the glass substrate 3 in the air orthogonal direction to the conveyance direction C in the state which raised the air. As a result, the sliding friction becomes small, the positioning becomes easy, and the back surface of the glass substrate 3 can be prevented from being damaged.

또, 예를 들면, 도 8a, 도 8b에 도시한 바와 같이, 반송방향(C)을 따라 형성되고, 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 상면측으로 노출되는 접촉궤도(59)와, 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 상면측으로부터 떨어져 형성되고, 접촉궤도(59)의 형성방향의 양단을 서로 연결하는 순환궤도(61)를 가지는 순환 부재를 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)에 대하여 착탈 가능한 지지 유닛(63)에 설치하고, 이들 접촉궤도(59) 및 순환궤도(61)에 복수의 볼(55)을 배치할 수도 있다. 또, 각 볼(55)은 인접하는 다른 볼(55)에 접촉하도록 배치되는 것이 바람직하다.For example, as shown in FIGS. 8A and 8B, the contact trajectory formed along the conveying direction C and exposed to the upper surface side of the substrate mounting tables 1 and 16 and the substrate floating block 11 ( 59 and a circulation member having a circulation trajectory 61 formed apart from the upper surface side of the substrate mounting tables 1 and 16 and the substrate floating block 11 and connecting both ends in the formation direction of the contact trajectory 59 to each other. Are installed in the support unit 63 which is detachable with respect to the board mounting bases 1 and 16 and the board floating block 11, and the several ball 55 is arrange | positioned at these contact tracks 59 and the circulation track 61. FIG. You may. Moreover, it is preferable that each ball 55 is arrange | positioned so that it may contact another ball 55 which adjoins.

이 구성에서는, 유리 기판(3)을 반송방향(C)으로 이동시켰을 때에, 유리 기판(3)에 접촉하고 있는 볼(55)이 굴러 접촉궤도(59)의 일단(59a)으로부터 타단(59b)까지 이동하게 된다. 그리고, 접촉궤도(59)의 타단(59b)에 도달된 볼(55)은 유리 기판(3)으로부터 떨어진 순환궤도(61)를 통과하고, 접촉궤도(59)의 일단(59a)측으로 되돌아가게 된다.In this structure, when the glass substrate 3 is moved to the conveyance direction C, the ball 55 which contacts the glass substrate 3 rolls and the other end 59b from the one end 59a of the contact track 59. Will move to. And the ball 55 which reached the other end 59b of the contact track 59 passes through the circulation track 61 separated from the glass substrate 3, and returns to the one end 59a side of the contact track 59. .

이 구성에서는, 볼(55)이 접촉궤도(59)내 및 순환궤도(61)내를 순환하고 다방향으로 방향을 바꾸면서 전동하기 때문에, 하나의 볼(55)이 항상 유리 기판(3)에 접촉하여 한쪽만 닳지 않게 된다. 따라서, 유리 기판(3) 사이의 구름 마찰에 의하여 볼(55)의 마모를 억제할 수 있고, 볼(55)을 교환하지 않고 장시간 연속하여 사용할 수 있다.In this configuration, since the ball 55 is circulated in the contact trajectory 59 and the circulation trajectory 61 and rotates in various directions, one ball 55 always contacts the glass substrate 3. Only one side is not worn out. Therefore, the abrasion of the ball 55 can be suppressed by the rolling friction between the glass substrates 3, and it can use continuously for a long time without replacing the ball 55. FIG.

또, 패턴 영역(G)의 외측에 위치하는 유리 기판(3)의 양측부를 지지하는 기판 지지 기구로는, 롤러(53)나 볼(55)에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 도 9a, 도 9b에 도시한 바와 같이, 유리 기판(3)의 측부 하면에 압착에어를 분출하여 비접촉으로 지지할 수도 있다.Moreover, as a board | substrate support mechanism which supports both sides of the glass substrate 3 located in the outer side of the pattern area G, it is not limited to the roller 53 and the ball 55, For example, FIG. 9A, As illustrated in FIG. 9B, the compressed air may be ejected to the lower surface of the side of the glass substrate 3 to be supported in a non-contact manner.

즉, 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)에 대하여 착탈 가능한 지지 유닛(64)에는, 기판 지지 기구(65)가 형성되어 있다. 상기 기판 지지 기구(65)는 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 상면과 대략 동일 높이로 노출되고, 반송방향(C)을 따라 정렬된 복수의 공기구멍(공기 분출부)(67)과, 이들 복수의 공기구멍(67)과 압착공기 공급부(46)를 연결하는 연통로(69)를 구비하고 있다.That is, the board | substrate support mechanism 65 is formed in the support unit 64 which can be attached or detached with respect to the board | substrate bases 1 and 16 and the board | substrate floating block 11. The substrate support mechanism 65 is exposed to approximately the same height as the upper surfaces of the substrate mounting tables 1 and 16 and the substrate floating block 11, and is arranged in a plurality of air holes (air ejection portions) aligned along the conveying direction C. (67), and a communication path (69) connecting the plurality of air holes (67) and the compressed air supply unit (46).

이 구성에서는, 기판 지지 기구(65)의 각 공기구멍(67)으로부터 유리 기판 (3)의 하면을 향해서 압착에어를 분출함으로써, 유리 기판(3)의 양측부가 압착에어에 의해 상방으로 밀어 올려 지지하는 것이 가능하게 되고, 기판 탑재대(16) 및 기판 부상 블록(11)에 부상된 유리 기판(3) 전체를 비접촉으로 반송할 수 있기 때문에, 유리 기판(3)이 손상되는 것을 확실하게 방지할 수 있다.In this configuration, the compressed air is ejected from each air hole 67 of the substrate support mechanism 65 toward the lower surface of the glass substrate 3 so that both sides of the glass substrate 3 are pushed upward by the compressed air. Since the whole glass substrate 3 floated on the board | substrate mounting base 16 and the board | substrate floating block 11 can be conveyed non-contactingly, the glass substrate 3 can be prevented from being reliably prevented. Can be.

또, 복수의 지지 유닛(64)에는, 각각 압착에어를 분출하는 공기구멍(67)이 복수개 형성되어 있기 때문에, 각 지지 유닛(64)을 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)에 대하여 착탈함으로써, 원하는 지지 유닛(64)을 간단히 교환할 수 있고, 지지 유닛(64)마다 다수의 공기구멍(67)을 일괄적으로 교환할 수 있다. 따라서, 공기구멍(67)의 교환을 단시간에 용이하게 행할 수 있다.In addition, since the plurality of support units 64 are provided with a plurality of air holes 67 for ejecting the compressed air, respectively, the support units 64 are provided with the substrate mounting tables 1 and 16 and the substrate floating block 11. ), The desired support unit 64 can be easily replaced, and a plurality of air holes 67 can be replaced collectively for each support unit 64. Therefore, the air hole 67 can be replaced easily in a short time.

또, 상기와 같이, 압착에어를 이용하여 유리 기판(3)의 측부를 지지하는 경우에는, 반송방향(C)에 평행한 기판 탑재대(1, 16) 또는 기판 부상 블록(11)의 측부를 따라 유리 기판(3)의 측부를 향해서 압착에어를 분출하는 공기구멍을 직접 형성할 수도 있다.Moreover, when supporting the side part of the glass substrate 3 using a crimping air as mentioned above, the side part of the board mounting bases 1 and 16 or the board | substrate floating block 11 parallel to the conveyance direction C is carried out. Therefore, the air hole which blows compressed air toward the side part of the glass substrate 3 can also be directly formed.

이 경우, 기판 지지 기구(65)를 구성하는 공기구멍(공기 분출부)(67)은 유리 기판(3)을 반송면으로부터 부상시키는 공기구멍(4, 12, 18)과는 별도의 압착공기 공급계통으로 되어 있고, 기판 부상용 압착에어의 압력보다도 높게 설정하는 동시에, 유리 기판(3)의 휨에 따라서 압력을 조정할 수 있는 구성으로 한다.In this case, the air hole (air blowing part) 67 which comprises the board | substrate support mechanism 65 supplies compressed air separate from the air hole 4, 12, 18 which raises the glass substrate 3 from a conveyance surface. It is set as a system, and it sets it higher than the pressure of the crimping | compression-bonding air for board | substrate float, and sets it as the structure which can adjust pressure according to the curvature of the glass substrate 3.

또, 유리 기판(3)의 양측부를 지지하는 공기 분출부는, 반송방향(C)을 따라 배열된 복수의 공기구멍으로부터 분출되는 것에 한하지 않고, 예를 들면, 반송방향(C)을 따라 형성된 가늘고 긴 슬릿으로부터 분출되는 구성으로 할 수도 있다.Moreover, the air blowing part which supports both sides of the glass substrate 3 is not limited to being blown out from the some air hole arrange | positioned along the conveyance direction C, For example, it is thin formed along the conveyance direction C, for example. It can also be set as the structure ejected from a long slit.

또, 유리 기판(3)의 측부에 도달된 압착에어가 기판 탑재대(1, 16) 또는 기판 부상 블록(11)의 측부의 외측으로 빠지도록, 압착에어의 분출 방향을 경사진 외측을 향해서 설정함으로써, 공기구멍(67)으로부터 분출된 압착에어가 유리 기판(3)의 내측 방향으로 돌아가지 않게 유리 기판(3)을 안정되게 부상시켜 반송할 수 있기 때문에 바람직하다.In addition, the ejection direction of the compressed air is set toward the inclined outer side so that the compressed air reaching the side of the glass substrate 3 is released to the outside of the side of the substrate mounting tables 1 and 16 or the substrate floating block 11. Since it is possible to stably float and convey the glass substrate 3 so that the compressed air blown out from the air hole 67 may not return to the inner direction of the glass substrate 3, it is preferable.

또한, 유리 기판(3)의 측부로 분출되는 압착에어의 압력을 기판 부상용 압착에어의 압력보다도 높게 하는 것은, 유리 기판(3)의 측부를 상방으로 들어 올리고 유리 기판(3)의 양측부의 하방측으로의 휨을 수평으로 교정할 수 있기 때문에 바람직하다.In addition, making the pressure of the compressed air ejected to the side of the glass substrate 3 higher than the pressure of the compressed air for substrate floating raises the side part of the glass substrate 3 upwards, and lowers both sides of the glass substrate 3. It is preferable because the warping to the side can be corrected horizontally.

또, 단부 부상(浮上) 기구(65)의 압착에어의 압력을 유리 기판(3)의 휨 양이나 휘어짐 양에 따라서 조정할 수 있도록 하는 것은, 유리 기판(3)의 측부를 확실하게 반송면보다도 상방으로 들어 올리고 안정되게 반송할 수 있기 때문에 바람직하다.In addition, it is possible to reliably adjust the pressure of the compressed air of the end floating mechanism 65 according to the amount of warpage or the amount of warp of the glass substrate 3, so that the side of the glass substrate 3 is reliably above the transport surface. It is preferable because it can be lifted up and conveyed stably.

또, 상기한 실시예에서는, 유리 기판(3)이 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 공기구멍(4, 12, 18)으로부터 분출되는 압착에어에 의해 부상하도록 했지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 정전(靜電) 방식에 의해 부상하도록 할 수도 있다. 이 구성의 경우에는, 유리 기판에 대한 제전(除電)을 행하면 된다.In addition, in the above embodiment, the glass substrate 3 is floated by the compressed air ejected from the air holes 4, 12, 18 of the substrate mounting tables 1, 16 and the substrate floating block 11, It is not limited to this, For example, it can also be made to float by the electrostatic system. In this case, what is necessary is just to perform static electricity with respect to a glass substrate.

또, 유리 기판(3)을 반송하는 반송부(29～34)는 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 양측부에 설치된 슬라이더(23～28)상을 이동하도록 했지만, 이것 에 한정되는 것은 아니다. 즉, 예를 들면, 기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 한 쌍의 홈(5, 13, 19)에 슬라이더를 배치하고, 상기 슬라이더에 반송부를 이동 가능하게 설치할 수도 있다.Moreover, although the conveyance parts 29-34 which convey the glass substrate 3 made it move the slider 23-28 provided in the both sides of the board | substrate bases 1 and 16 and the board | substrate floating block 11, It is not limited to this. That is, for example, a slider may be disposed in the pair of grooves 5, 13, and 19 of the substrate mounting tables 1 and 16 and the substrate floating block 11, and the conveying section may be provided in the slider so as to be movable. .

또한, 각 흡착패드(29b～34b)의 흡착위치는 유리 기판(3)의 반송방향(C)과 평행한 유리 기판(3)의 양측부 전방측으로 했지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 유리 기판(3)의 후방측이나 중앙부의 어느 위치로 할 수도 있고, 이들 각 위치에 복수 배열할 수도 있다. 또, 유리 기판(3)을 왕복 반송할 때는, 유리 기판(3)의 적어도 전후 방향의 각 단부에 흡착패드를 배치함으로써, 유리 기판(3)의 왕복 이동에 의해 덜커덕거리게 하지 않고 안정되게 유리 기판(3)을 반송할 수 있기 때문에 바람직하다.In addition, although the adsorption | suction position of each adsorption pad 29b-34b was made into the both side part front side of the glass substrate 3 parallel to the conveyance direction C of the glass substrate 3, it is not limited to this, for example You may make it into any position of the back side and the center part of the glass substrate 3, and may arrange | position in multiple at each these positions. Moreover, when carrying out the reciprocating conveyance of the glass substrate 3, by arrange | positioning an adsorption pad in the at least each edge part of the front-back direction of the glass substrate 3, a glass substrate can be stably stable without making a rattling by the reciprocating movement of the glass substrate 3 It is preferable because it can convey (3).

또, 흡착패드에 의한 유리 기판(3)의 흡착 유지위치는, 패턴 영역(G)으로부터 떨어진 부분이면, 유리 기판(3)의 상면, 또는 상면 및 하면이 될 수도 있고, 흡착패드 대신에 유리 기판(3)을 상하면으로부터 끼우는 척을 사용할 수도 있다.Moreover, if the adsorption holding position of the glass substrate 3 by a suction pad is a part separated from the pattern area | region G, it may be the upper surface, upper surface, and lower surface of the glass substrate 3, and instead of a suction pad, it is a glass substrate. (3) Chuck can be used from the top and bottom.

또한, 기판 탑재대(1)로의 유리 기판(3)의 탑재나 기판 탑재대(16)로부터의 유리 기판(3)의 인출은 반송로봇(7, 21) 이외에 어떠한 기구를 사용할 수도 있고, 다른 라인으로부터 에어반송 등의 기판 부상 반송수단일수도 있다.In addition, any mechanism other than the conveyance robots 7 and 21 may be used for the mounting of the glass substrate 3 to the board | substrate mounting stand 1, or the extraction of the glass substrate 3 from the board mounting stand 16, and another line may be used. May be a substrate floating conveyance means such as air conveyance.

또, 상기한 실시예에서는, 기판 부상 블록에 의해 부상된 유리 기판의 양단 모서리부를 지지하여 반송하는 반송 기구를 기판 부상 블록의 양측부를 따라 배치한 양축(兩軸) 반송 방식으로 하여, 기판 부상 블록의 양측면부로부터 외측으로 돌출되는 유리 기판의 양측부를 기판 지지 기구에 의해 지지하도록 했지만, 이것에 한정되지 않고, 기판 부상 블록으로부터 돌출되는 유리 기판의 일측부[반송방향(C)에 평행한 한 변]의 전후와 중간부를 포함하는 전체를 지지하여 반송하는 반송 기구를 기판 부상 블록의 일측부에 배치한 방축(方軸) 반송 방식으로 하고, 이 반송 기구와 반대측에 위치하는 기판 부상 블록의 다른 측부에 유리 기판의 다른 측부를 지지하는 기판 지지 기구를 배치할 수도 있다.Moreover, in the said Example, the board | substrate floating block was made into the double-axis conveying system which arrange | positioned along the both sides of the board | substrate floating block, the conveyance mechanism which supports and conveys the edge part of the glass substrate floated by the board | substrate floating block. Although both side portions of the glass substrate protruding outward from both side portions of the substrate were supported by the substrate support mechanism, it is not limited to this, and one side of the glass substrate protruding from the substrate floating block (one side parallel to the conveying direction C) ] The conveyance mechanism which supports and conveys the whole including the front, back, and middle part, and is made into the anti-axial conveyance system arrange | positioned at one side of a board | substrate floating block, and the other side part of the board | substrate floating block located on the opposite side to this conveying mechanism. You may arrange | position the board | substrate support mechanism which supports the other side part of a glass substrate.

반송 기구를 기판 부상 블록의 한쪽에 배치한 방축반송 방식을 채용함으로써, 양축 반송 방식과 비교하여 기판 반송 장치의 폭 치수를 작게 할 수 있다. 특히, 플랫 디스플레이의 제조에 이용되는 유리 기판(모유리 기판)은 해마다 대형화되고 있고, 최근에는 2000mm을 넘는 대형 기판이 출현하고 있고, 이러한 대형 유리 기판에 대응한 기판 반송 장치를 수송할 때에 도로규제에 의해 수송하기 곤란하게 되었다. 방축 반송 방식을 채용함으로써, 기판 반송 장치의 폭 치수를 최소한으로 작게 할 수 있으므로, 상기와 같은 수송의 문제도 해결할 수 있다.By employing the anti-axial conveyance method in which the conveyance mechanism is disposed on one side of the substrate floating block, the width dimension of the substrate conveyance device can be reduced as compared with the biaxial conveyance method. In particular, glass substrates (parent glass substrates) used for the manufacture of flat displays are being enlarged year by year, and large substrates exceeding 2000 mm have emerged in recent years. It became difficult to transport by. By adopting a shrink-proof conveying method, the width dimension of the substrate conveying apparatus can be made to a minimum size, so that the above transportation problem can be solved.

또, 유리 기판의 일측부 전체를 반송 기구에 의해 수평으로 지지할 수 있으므로 한 쪽의 기판 지지 기구를 생략할 수 있는 동시에, 또한 한 쪽의 반송 기구도 생략할 수 있으므로, 비용 저감을 도모할 수 있다.Moreover, since the whole one side part of a glass substrate can be supported horizontally by a conveyance mechanism, one board | substrate support mechanism can be omitted, and also one conveyance mechanism can be omitted, and cost reduction can be aimed at. have.

이 경우에도, 지지 유닛(51)에는 롤러(53)를 회전 가능하게 장착하는 것에 한정되지 않고, 다방향으로 회전 가능한 복수의 볼(55)을 장착하도록 할 수도 있다. 또, 지지 유닛(51)에 순환 부재를 설치하고, 이것에 복수의 볼(55)을 배치하도록 할 수도 있다. 또한, 압착에어를 분출하여 지지하도록 할 수도 있다.Also in this case, the support unit 51 is not limited to mounting the roller 53 so as to be rotatable, and a plurality of balls 55 rotatable in multiple directions can also be mounted. Moreover, the circulation member can be provided in the support unit 51, and the some ball 55 can also be arrange | positioned here. In addition, the compressed air may be ejected and supported.

기판 탑재대(1, 16) 및 기판 부상 블록(11)의 폭방향의 일단부에만 지지 유 닛(51)을 설치하는 경우, 유리 기판(3)은 각 반송부(29～34)의 흡착패드(29b～34b)에 의해 흡착 지지되어 있기 때문에, 유리 기판(3)의 폭방향의 위치를 규제하기 위한 수단을 유리 기판(3)의 폭방향의 일단부 또는 양단부에 접촉하도록 설치할 필요는 없지만, 적절하게 그와 같은 수단을 설치하는 것도 가능하다.In the case where the supporting unit 51 is provided only at one end portion in the width direction of the substrate mounting tables 1 and 16 and the substrate floating block 11, the glass substrate 3 is provided with suction pads of the respective conveying portions 29 to 34. Since it is adsorbed and supported by (29b-34b), it is not necessary to provide the means for regulating the position of the width direction of the glass substrate 3 so that it may contact one end part or both ends of the width direction of the glass substrate 3, It is also possible to provide such means as appropriate.

이상, 본 발명의 실시예에 대해 도면을 참조하여 상세하게 설명했지만, 구체적인 구성은 이 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위의 설계변경 등도 포함된다.As mentioned above, although the Example of this invention was described in detail with reference to drawings, a specific structure is not limited to this Example, The design change etc. of the range which do not deviate from the summary of this invention are included.

본 발명에 따른 기판 반송 장치는 기판을 부상시켜 반송할 때에, 기판에 대한 외적 부하를 경감할 수 있고, 기판을 공기 분출 블록에 접촉시키지 않고 수평으로 반송할 수 있다.When the substrate conveyance apparatus which concerns on this invention floats and conveys a board | substrate, it can reduce external load on a board | substrate, and can convey a board | substrate horizontally, without contacting an air blowing block.

Claims (14)

기판을 비접촉 상태로 부상(浮上)시켜 반송하는 기판 반송 장치에 있어서,In the substrate transfer apparatus which floats and conveys a board | substrate in a non-contact state, 기판을 비접촉 상태로 부상시키는 기판 부상 블록,A substrate floating block which floats the substrate in a non-contact state, 상기 기판 부상 블록상에 부상된 상기 기판의 한쪽 측부를 흡착 지지하여 반송하는 반송 기구, 및A conveying mechanism for suction-supporting and conveying one side of the substrate floating on the substrate floating block; and 상기 기판 부상 블록의 측부에 설치되고, 상기 기판이 반송되는 방향인 반송 방향으로 회전 가능한 회전 지지 부재에 의해 상기 기판 부상 블록의 측부보다 외측으로 돌출되는 상기 기판의 다른 쪽 측부를 하면측에서 지지하는 기판 지지 기구A lower side side of the substrate, which is provided on the side of the substrate floating block and protrudes outward from the side of the substrate floating block by a rotational support member that is rotatable in a conveying direction that is a direction in which the substrate is conveyed. Board Support Mechanism 를 구비하는 기판 반송 장치.Substrate conveyance apparatus provided with. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 반송 기구는, 상기 기판의 한쪽 측부를 흡착 지지하는 반송부와 상기 반송 방향과 평행하게 배치되어 상기 반송부를 안내하는 가이드를 포함하고,The conveying mechanism includes a conveying unit for adsorbing and supporting one side of the substrate and a guide disposed in parallel with the conveying direction to guide the conveying unit, 상기 기판 지지 기구는, 상기 기판 부상 블록을 통해 가이드와 평행하게 되도록 상기 반송 방향으로 설치되는, 기판 반송 장치.The said board | substrate support mechanism is provided in the said conveyance direction so that it may become parallel with a guide through the said board | substrate floating block. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판 지지 기구는, 상기 기판의 하면에 접촉하는 높이가 상기 기판의 부상 높이와 거의 동일한 높이로 되도록, 상기 기판 부상 블록의 상면에 대해 돌출하여 설치되는, 기판 반송 장치.The board | substrate support mechanism is provided so that the board | substrate support mechanism may protrude with respect to the upper surface of the said board | substrate floating block so that the height which contact | connects the lower surface of the said board | substrate may become substantially the same height as the height of the said board | substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판 지지 기구는, 상기 기판의 패턴이 형성되어 있지 않은 패턴 영역 외의 하면에 접촉하여 상기 기판을 지지하는, 기판 반송 장치.The said board | substrate support mechanism is a board | substrate conveying apparatus which contacts the lower surface other than the pattern area in which the pattern of the said board | substrate is not formed, and supports the said board | substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판 지지 기구는, 상기 기판의 다른 쪽 측부의 하면에 접하는 복수의 회전 지지 부재를 가지고, 상기 회전 지지 부재가 상기 기판의 반송과 함께 상기 반송 방향으로 회전하여 상기 기판의 다른 쪽 측부를 지지하는, 기판 반송 장치.The substrate support mechanism has a plurality of rotation support members in contact with the lower surface of the other side of the substrate, and the rotation support member rotates in the conveyance direction together with the conveyance of the substrate to support the other side of the substrate. Board | substrate conveying apparatus. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 회전 지지 부재가, 상기 반송 방향으로 회전 가능한 롤러, 또는 다방향으로 회전 가능하게 지지된 볼인, 기판 반송 장치.The said board | substrate conveyance apparatus which is the said rotatable support member being the roller rotatable in the said conveyance direction, or the ball rotatably supported in many directions. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판 지지 기구는, 상기 기판의 상면 및 하면 중 적어도 하나를 흡착 지지하는 흡착 기구, 또는 상기 기판의 상하면을 파지하는 척 기구를 가지는, 기판 반송 장치.The substrate support mechanism has a suction mechanism for suction-supporting at least one of the upper and lower surfaces of the substrate, or a chuck mechanism for holding the upper and lower surfaces of the substrate. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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