JP2008066675A - Substrate conveying apparatus, and substrate conveying method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve a delivering speed of each of substrates between a main conveyer and a branched conveyer. <P>SOLUTION: The apparatus is provided with the main conveyer 10 for conveying the substrates P one by one, the branched conveyer 20 horizontally branched for the main conveyer 10, a supporting means 12 for supporting the substrates P so that they can float on the main conveyer 10 and on the branched conveyer 20, and a substrate delivering means 40 for delivering each of the substrates P supported to float on the supporting means 12 between the main conveyer 10 and the branched conveyer 20 without changing its posture. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば半導体ウエハやフラットパネルディスプレイ用ガラスプレート等の基板を枚葉搬送するための基板搬送装置及び基板搬送方法に関する。   The present invention relates to a substrate transfer apparatus and a substrate transfer method for transferring a single wafer such as a semiconductor wafer or a glass plate for a flat panel display.

半導体装置を製造する工場や、液晶装置、ＰＤＰ、ＥＬ装置等のフラットパネルディスプレイを製造する工場等に設置される基板搬送装置においては、半導体ウエハやガラスプレート等の基板を搬送し、ローダやロボットアーム等を用いて、薄膜形成装置、エッチング装置、試験装置等の各種処理装置と、搬送経路との間で基板の受け渡しが行われている。このような基板搬送装置では、基板は、基板を複数枚収容可能なカセットに収容された状態で搬送されるのが一般的である。   In substrate transfer devices installed in factories that manufacture semiconductor devices and factories that manufacture flat panel displays such as liquid crystal devices, PDPs, and EL devices, substrates such as semiconductor wafers and glass plates are transferred to loaders and robots. An arm or the like is used to transfer a substrate between various processing apparatuses such as a thin film forming apparatus, an etching apparatus, and a test apparatus, and a transport path. In such a substrate transport apparatus, the substrate is generally transported in a state of being accommodated in a cassette that can accommodate a plurality of substrates.

さて、近年は、液晶テレビ等のフラットパネルディスプレイの大画面化等に伴って、基板が大型化している。例えば、ガラスプレートに関しては、１８７０ｍｍ×２２００ｍｍ（第７世代）から、更に大きなサイズへと大型化が進展している。このため、基板を収容するカセット等も大型化・重量化し、搬送速度が低下することで、例えば仕掛在庫の増大を招く等、効率的な搬送が困難になりつつある。
このため、基板を一枚ずつ高速に搬送する枚葉搬送が注目されている（特許文献１参照。
特開平９−５８８４４号公報 In recent years, the size of substrates has increased with the increase in the screen size of flat panel displays such as liquid crystal televisions. For example, regarding the glass plate, the increase in size has progressed from 1870 mm × 2200 mm (seventh generation) to a larger size. For this reason, cassettes and the like for storing substrates are also increased in size and weight, and the transfer speed is reduced, so that efficient transfer is becoming difficult, for example, causing an increase in in-process inventory.
For this reason, single-wafer conveyance that conveys substrates one by one at high speed has attracted attention (see Patent Document 1).
JP-A-9-58844

しかしながら、基板が枚葉搬送される場合には、カセットによって搬送する場合と比較して搬送する個体数が増加する。このため、従来と同等もしくはそれ以上の処理速度を実現するためには、より基板を高速搬送する必要がある。
特に、メインコンベヤと、このメインコンベヤと水平分岐する分岐コンベヤとの間における基板の受け渡し速度は、基板の高速搬送を実現させるにあたって非常に重要となってくる。このため、メインコンベヤと分岐コンベヤ間における基板の受け渡し速度を向上させる技術が望まれている。 However, when the substrate is conveyed by a single wafer, the number of individuals to be conveyed increases compared to the case where the substrate is conveyed by a cassette. For this reason, in order to realize a processing speed equal to or higher than the conventional one, it is necessary to transport the substrate at a higher speed.
In particular, the transfer speed of the substrate between the main conveyor and the branch conveyor that branches horizontally from the main conveyor is very important in realizing high-speed transfer of the substrate. For this reason, the technique which improves the delivery speed of the board | substrate between a main conveyor and a branch conveyor is desired.

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、メインコンベヤと分岐コンベヤ間における基板の受け渡し速度を向上させることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to improve the substrate transfer speed between the main conveyor and the branch conveyor.

上記目的を達成するために、本発明の基板搬送装置は、基板を枚葉搬送するメインコンベヤと、上記メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤと、上記メインコンベヤ上及び上記分岐コンベヤ上において上記基板を浮上支持する支持手段と、該支持手段によって浮上支持された上記基板を、姿勢を変化させることなく上記メインコンベヤと上記分岐コンベヤとの間で受け渡しする基板受渡部と、を備えることを特徴とする。   In order to achieve the above object, the substrate transport apparatus of the present invention includes a main conveyor that transports substrates in a single sheet, a branch conveyor that branches horizontally with respect to the main conveyor, the main conveyor, and the branch conveyor. A support means for levitating and supporting the substrate; and a substrate delivery section for delivering the substrate that is levitated and supported by the support means between the main conveyor and the branch conveyor without changing the posture. And

このような本発明の基板搬送装置によれば、基板が、支持手段によってメインコンベヤ上及び分岐コンベヤ上において浮上支持され、この状態において姿勢を変化させることなく受け渡される。
したがって、基板は、摩擦抵抗が無いに等しい状態でメインコンベヤと分岐コンベヤとの間において受け渡される。 According to such a substrate transport apparatus of the present invention, the substrate is supported by the supporting means so as to float on the main conveyor and the branch conveyor, and in this state, the substrate is transferred without changing its posture.
Accordingly, the substrate is transferred between the main conveyor and the branch conveyor with no frictional resistance.

また、本発明の基板搬送装置においては、上記基板受渡部が、上記基板の外縁を把持するとともに上記分岐コンベヤにおける上記基板の搬送方向に移動可能な把持部材を有するという構成を採用することができる。   Moreover, in the board | substrate conveyance apparatus of this invention, the said board | substrate delivery part can employ | adopt the structure that it has the holding member which can move to the conveyance direction of the said board | substrate in the said branch conveyor while holding the outer edge of the said board | substrate. .

また、本発明の基板搬送装置においては、上記支持手段が、圧縮空気を用いて上記基板を浮上支持するという構成を採用することができる。   In the substrate transfer apparatus of the present invention, a configuration in which the support means floats and supports the substrate using compressed air can be employed.

次に、本発明の基板搬送方法は、基板をメインコンベヤにより枚葉搬送し、上記基板を上記メインコンベヤ上において浮上支持し、上記メインコンベヤ上において浮上支持状態の上記基板を、上記メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤに浮上支持状態を維持しつつかつ姿勢を変化させることなく受け渡すことを特徴とする。   Next, in the substrate transfer method of the present invention, the substrate is transferred by a main conveyor, the substrate is levitated and supported on the main conveyor, and the substrate in the levitating support state on the main conveyor is transferred to the main conveyor. On the other hand, it is characterized in that it is delivered to a branching conveyor that branches horizontally without changing the posture while maintaining a floating support state.

このような特徴を有する本発明の基板搬送方法によれば、基板がメインコンベヤ上において浮上支持され、この状態を維持しつつかつ姿勢を変化させることなく分岐コンベヤに受け渡される。
したがって、基板は、摩擦抵抗が無いに等しい状態でメインコンベヤから分岐コンベヤに受け渡される。 According to the substrate transport method of the present invention having such a feature, the substrate is supported and floated on the main conveyor, and is transferred to the branch conveyor without changing the posture while maintaining this state.
Accordingly, the substrate is transferred from the main conveyor to the branch conveyor in a state where there is no frictional resistance.

次に、本発明の基板搬送方法は、メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤ上において基板を浮上支持し、上記分岐コンベヤ上において浮上状態の上記基板を、浮上支持状態を維持しつつかつ姿勢を変化させることなく上記メインコンベヤに受け渡すことを特徴とする。   Next, the substrate transfer method of the present invention floats and supports the substrate on a branch conveyor that branches horizontally with respect to the main conveyor, and maintains the floating support state and posture of the substrate that is floating on the branch conveyor. Is transferred to the main conveyor without changing the length.

このような特徴を有する本発明の基板搬送方法によれば、基板が分岐コンベヤ上において浮上支持され、この状態を維持しつつかつ姿勢を変化させることなくメインコンベヤに受け渡される。
したがって、基板は、摩擦抵抗が無いに等しい状態で分岐コンベヤからメインコンベヤに受け渡される。 According to the substrate transport method of the present invention having such a feature, the substrate is supported and floated on the branch conveyor, and is transferred to the main conveyor while maintaining this state and without changing the posture.
Accordingly, the substrate is transferred from the branching conveyor to the main conveyor in a state where there is no frictional resistance.

本発明によれば、基板が、摩擦抵抗が無いに等しい状態で、メインコンベヤと分岐コンベヤとの間において受け渡される。このため、受け渡し速度を高速化した場合であっても、衝撃が加わることによる基板の損傷が生じない。
したがって、本発明によれば、メインコンベヤと分岐コンベヤ間における基板の受け渡し速度を向上させることが可能となる。 According to the present invention, the substrate is transferred between the main conveyor and the branch conveyor with no frictional resistance. For this reason, even when the delivery speed is increased, the substrate is not damaged by the impact.
Therefore, according to this invention, it becomes possible to improve the delivery speed of the board | substrate between a main conveyor and a branch conveyor.

以下、図面を参照して、本発明に係る基板搬送装置及び基板搬送方法の一実施形態について説明する。なお、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。   Hereinafter, an embodiment of a substrate transfer apparatus and a substrate transfer method according to the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the scale of each member is appropriately changed in order to make each member a recognizable size.

図１は、本実施形態に係る基板搬送装置１を示す模式図である。
基板搬送装置１は、液晶装置、ＰＤＰ、ＥＬ装置等のフラットパネルディスプレイを製造する工場において、ガラスプレートＰを一枚づつ枚葉搬送する装置であって、メインコンベヤ１０と、メインコンベヤ１０に対して水平分岐する複数の分岐コンベヤ２０と、これらを統括的に制御する不図示の制御部等を備えている。 FIG. 1 is a schematic diagram showing a substrate transfer apparatus 1 according to this embodiment.
The substrate transfer device 1 is a device that transfers glass plates P one by one in a factory that manufactures flat panel displays such as liquid crystal devices, PDPs, and EL devices. And a plurality of branch conveyors 20 that branch horizontally, and a control unit (not shown) that controls them centrally.

メインコンベヤ１０は、ガラスプレートＰを水平に載置しつつ、その表面に沿った方向に、一定速度で搬送する装置であって、ガラスプレートＰを空気により浮上させて非接触支持するエア浮上ユニット１２（支持手段）とコンベヤ部１５等から構成される（図２及び図３参照）。すなわち、本実施形態においては、本発明における支持手段の機能がメインコンベヤ１０の一部に組み込まれている。
メインコンベヤ１０は、工場のクリーンルーム内の床面に略直線状に配置される。そして、メインコンベヤ１０の複数箇所には、分岐コンベヤ２０の一端がメインコンベヤ１０に対して略直交かつ水平に連結される。 The main conveyor 10 is a device that places the glass plate P horizontally and conveys it at a constant speed in the direction along the surface thereof. The air floating unit floats the glass plate P with air and supports it in a non-contact manner. 12 (supporting means), a conveyor section 15 and the like (see FIGS. 2 and 3). That is, in this embodiment, the function of the support means in the present invention is incorporated in a part of the main conveyor 10.
The main conveyor 10 is arranged substantially linearly on the floor surface in the clean room of the factory. One end of the branch conveyor 20 is connected to the main conveyor 10 at a plurality of locations substantially orthogonally and horizontally with respect to the main conveyor 10.

分岐コンベヤ２０は、メインコンベヤ１０と同様に、ガラスプレートＰを水平に載置しつつ、その表面沿った方向に一定速度で搬送する装置であって、エア浮上ユニット１２と、コンベヤ部１５等から構成される。すなわち、本実施形態においては、本発明における支持手段の機能が分岐コンベヤ１０の一部にも組み込まれている。
更に、分岐コンベヤ２０は、メインコンベヤ１０上を搬送されるガラスプレートＰを分岐コンベヤ２０に受け入れたり、逆に分岐コンベヤ２０上を搬送されるガラスプレートＰをメインコンベヤ１０に受け渡したりするために、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間でガラスプレートＰの受け渡しを行うプレート受渡部４０（基板受渡部）を備えている。 Similar to the main conveyor 10, the branching conveyor 20 is a device that horizontally places the glass plate P and conveys it at a constant speed in the direction along the surface thereof. From the air levitation unit 12, the conveyor unit 15, and the like Composed. That is, in this embodiment, the function of the support means in the present invention is also incorporated into a part of the branch conveyor 10.
Further, the branch conveyor 20 receives the glass plate P conveyed on the main conveyor 10 into the branch conveyor 20, and conversely transfers the glass plate P conveyed on the branch conveyor 20 to the main conveyor 10. A plate delivery section 40 (substrate delivery section) for delivering the glass plate P between the main conveyor 10 and the branch conveyor 20 is provided.

分岐コンベヤ２０の他端側には、薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置が配置・連結されている。薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置には、それぞれ２つの分岐コンベヤ２０が平行配置されている。
例えば、薄膜形成装置５に連結する分岐コンベヤ２１，２２（分岐コンベヤ２０）のうち、分岐コンベヤ２１は、ガラスプレートＰを薄膜形成装置５に搬入するためのコンベヤであり、分岐コンベヤ２２は、ガラスプレートＰを薄膜形成装置５から搬出するためのコンベヤである。
同様に、分岐コンベヤ２３，２５（分岐コンベヤ２０）は、エッチング装置６、試験装置７にガラスプレートＰを搬入するためのコンベヤであり、分岐コンベヤ２４，２６（分岐コンベヤ２０）は、エッチング装置６、試験装置７からガラスプレートＰを搬出するためのコンベヤである。
なお、各種処理装置にガラスプレートＰを搬入する分岐コンベヤ２１，２３，２５は、
ガラスプレートＰを搬出する分岐コンベヤ２２，２４，２６に対して、メインコンベヤ１０の上流側に配置される。 Various processing apparatuses such as a thin film forming apparatus 5, an etching apparatus 6, and a test apparatus 7 are arranged and connected to the other end side of the branch conveyor 20. Two branch conveyors 20 are arranged in parallel in various processing apparatuses such as the thin film forming apparatus 5, the etching apparatus 6, and the test apparatus 7.
For example, among the branch conveyors 21 and 22 (branch conveyor 20) connected to the thin film forming apparatus 5, the branch conveyor 21 is a conveyor for carrying the glass plate P into the thin film forming apparatus 5, and the branch conveyor 22 is made of glass. It is a conveyor for carrying out the plate P from the thin film forming apparatus 5.
Similarly, the branch conveyors 23 and 25 (branch conveyor 20) are conveyors for carrying the glass plate P into the etching device 6 and the test device 7, and the branch conveyors 24 and 26 (branch conveyor 20) are the etching devices 6 respectively. This is a conveyor for carrying out the glass plate P from the test apparatus 7.
The branch conveyors 21, 23, 25 that carry the glass plate P into various processing apparatuses are
With respect to the branch conveyors 22, 24, and 26 that carry out the glass plate P, they are arranged on the upstream side of the main conveyor 10.

図２は、メインコンベヤ１０の詳細構成を示す図である。
メインコンベヤ１０は、上述したように、ガラスプレートＰを空気により浮上させつつ、水平方向の一方向に搬送する装置であり、エア浮上ユニット１２とコンベヤ部１５等を複数備えている。 FIG. 2 is a diagram illustrating a detailed configuration of the main conveyor 10.
As described above, the main conveyor 10 is a device that conveys the glass plate P in one direction in the horizontal direction while floating the glass plate P with air, and includes a plurality of air floating units 12 and a conveyor unit 15.

エア浮上ユニット１２は、平面状の上面を備えた部材であって、この上面（載置面）には圧縮空気を噴出する複数の流体噴出孔１３が略均等な配置密度で形成されている。エア浮上ユニット１２は、平面視矩形状に形成され、その長手方向がガラスプレートＰの搬送方向に一致するように設けられている。また、エア浮上ユニット１２の短手方向（幅方向）は、ガラスプレートＰの幅方向（搬送方向に直交する方向）よりもやや狭く形成されている。   The air levitation unit 12 is a member having a planar upper surface, and a plurality of fluid ejection holes 13 for ejecting compressed air are formed on the upper surface (mounting surface) with a substantially uniform arrangement density. The air levitation unit 12 is formed in a rectangular shape in plan view, and is provided so that its longitudinal direction coincides with the conveyance direction of the glass plate P. Further, the short direction (width direction) of the air levitation unit 12 is formed to be slightly narrower than the width direction of the glass plate P (direction perpendicular to the transport direction).

そして、不図示の圧縮空気供給装置からエア浮上ユニット１２に圧縮空気が供給されることにより、圧縮空気が各流体噴出孔１３から噴出するようになっている。これにより、エア浮上ユニット１２上に載置されたガラスプレートＰを各流体噴出孔１３から噴出する圧縮空気により浮上させて、非接触に支持可能となっている。   The compressed air is supplied from the compressed air supply device (not shown) to the air floating unit 12 so that the compressed air is ejected from the fluid ejection holes 13. Thus, the glass plate P placed on the air levitation unit 12 is floated by the compressed air ejected from each fluid ejection hole 13 and can be supported in a non-contact manner.

コンベヤ部１５は、複数のローラ１６と、この複数のローラ１６の周りに取り付けられたベルト１７を備えている。また、ベルト１７の表面には、複数の突起１８がベルト１７の長手方向（メインコンベヤ１０の搬送方向）に均等な間隔で設けられている。
コンベヤ部１５は、エア浮上ユニット１２の両側に、ガラスプレートＰの搬送方向に沿って配置されている。そして、一対のコンベヤ部１５の配置間隔（距離）は、ガラスプレートＰの幅方向と略同一となっている。 The conveyor unit 15 includes a plurality of rollers 16 and a belt 17 attached around the plurality of rollers 16. A plurality of protrusions 18 are provided on the surface of the belt 17 at equal intervals in the longitudinal direction of the belt 17 (conveying direction of the main conveyor 10).
The conveyor part 15 is arrange | positioned along the conveyance direction of the glass plate P on both sides of the air levitation unit 12. And the arrangement | positioning space | interval (distance) of a pair of conveyor part 15 is substantially the same as the width direction of the glass plate P. As shown in FIG.

コンベヤ部１５の各ローラ１６の上端は同一水平面に位置するように配置され、これによりベルト１７の表面に設けられた突起１８がエア浮上ユニット１２の上面よりも僅かに上方に位置するように配置される。そして、突起１８がエア浮上ユニット１２上に載置されたガラスプレートＰの下面の外縁（幅方向の両端側）に当接するようになっている。
コンベヤ部１５の各ローラ１６は、不図示のモータ等によって同一の回転速度で同一方向に回転するようになっている。これにより、ガラスプレートＰをエア浮上ユニット１２により非接触に支持しつつ、コンベヤ部１５によってエア浮上ユニット１２に沿って搬送することが可能となっている。 The upper ends of the rollers 16 of the conveyor unit 15 are arranged so as to be positioned on the same horizontal plane, so that the protrusions 18 provided on the surface of the belt 17 are positioned slightly above the upper surface of the air levitation unit 12. Is done. And the protrusion 18 contacts the outer edges (both ends in the width direction) of the lower surface of the glass plate P placed on the air levitation unit 12.
Each roller 16 of the conveyor unit 15 is rotated in the same direction at the same rotational speed by a motor (not shown) or the like. Thereby, it is possible to convey the glass plate P along the air floating unit 12 by the conveyor unit 15 while supporting the glass plate P in a non-contact manner by the air floating unit 12.

また、コンベヤ部１５は、不図示の昇降装置により、上下方向に移動可能に構成されている。
コンベヤ部１５を昇降装置により上昇させた場合には、各突起１８がエア浮上ユニット１２の上面よりも僅かに上方に位置するようになる。この場合には、コンベヤ部１５の突起１８がガラスプレートＰの下面に当接し、ガラスプレートＰを搬送できる。
一方、コンベヤ部１５を下降させた場合には、各突起１８がエア浮上ユニット１２の上面よりも下方に位置するようになる。この場合には、コンベヤ部１５（各突起１８）がガラスプレートＰから離間して、ガラスプレートＰはエア浮上ユニット１２上で完全に非接触支持された状態となる。したがって、ガラスプレートＰ外力が加わらない限り、ガラスプレートＰはエア浮上ユニット１２上で停止した状態で保持される。 Moreover, the conveyor part 15 is comprised so that an up-down direction can move by the raising / lowering apparatus not shown.
When the conveyor unit 15 is raised by the lifting device, each protrusion 18 is positioned slightly above the upper surface of the air levitation unit 12. In this case, the protrusion 18 of the conveyor unit 15 comes into contact with the lower surface of the glass plate P, and the glass plate P can be conveyed.
On the other hand, when the conveyor unit 15 is lowered, each protrusion 18 is positioned below the upper surface of the air levitation unit 12. In this case, the conveyor portion 15 (each protrusion 18) is separated from the glass plate P, and the glass plate P is completely supported in a non-contact manner on the air floating unit 12. Therefore, the glass plate P is held in a stopped state on the air levitation unit 12 unless an external force is applied to the glass plate P.

そして、メインコンベヤ１０は、エア浮上ユニット１２とコンベヤ部１５とを、複数連結して構成されている。すなわち、各エア浮上ユニット１２と各コンベヤ部１５が互いに近接して、水平方向に並べて配置される。この際、各エア浮上ユニット１２の上面（載置面）は、同一水平面に位置するように調整される。   The main conveyor 10 is configured by connecting a plurality of air levitation units 12 and conveyor sections 15. That is, each air floating unit 12 and each conveyor unit 15 are arranged close to each other and arranged in the horizontal direction. At this time, the upper surface (mounting surface) of each air levitation unit 12 is adjusted to be positioned on the same horizontal plane.

図３は、分岐コンベヤ２０の構成を示す図である。
この図に示すように、分岐コンベヤ２０は、メインコンベヤ１０と同様にエア浮上ユニット１２とコンベヤ部１５を備えるとともに、上述したように、ガラスプレートＰをメインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間で受け渡すプレート受渡部４０を備えている。
プレート受渡部４０は、一対のリニアアクチュエータ４２と、各リニアアクチュエータ４２に連結駆動されて往復移動する把持部材４４等から構成される。一対のリニアアクチュエータ４２は、分岐コンベヤ２０のエア浮上ユニット１２とコンベヤ部１５との間に、コンベヤ部１５に沿って平行に配置される。また、プレート受渡部４０は、各把持部材４４が、分岐コンベヤ２０のエア浮上ユニット１２の上面と略同一高さの水平面において、分岐コンベヤ２０の一端から他端側に向けて、ガラスプレートＰの幅方向と同一長さ分だけ、分岐コンベヤ２０におけるガラスプレートＰの搬送方向（ガラスプレートＰの幅方向）に移動可能となっている。
そして、一対の把持部材４４は、分岐コンベヤ２０のエア浮上ユニット１２の長手方向（ガラスプレートＰの搬送方向）において、常に同一位置にあるように制御される。 FIG. 3 is a diagram showing the configuration of the branch conveyor 20.
As shown in this figure, the branch conveyor 20 includes an air floating unit 12 and a conveyor unit 15 as in the case of the main conveyor 10, and the glass plate P is placed between the main conveyor 10 and the branch conveyor 20 as described above. A plate delivery section 40 for delivery is provided.
The plate delivery section 40 includes a pair of linear actuators 42 and a gripping member 44 that is connected to each linear actuator 42 and reciprocates. The pair of linear actuators 42 are arranged in parallel along the conveyor unit 15 between the air floating unit 12 of the branch conveyor 20 and the conveyor unit 15. Further, the plate delivery unit 40 is configured so that each gripping member 44 is formed on the glass plate P from one end to the other end side of the branch conveyor 20 on a horizontal plane substantially the same height as the upper surface of the air floating unit 12 of the branch conveyor 20. The glass plate P can be moved in the branch conveyor 20 in the conveyance direction (the width direction of the glass plate P) by the same length as the width direction.
And a pair of holding member 44 is controlled so that it may always exist in the same position in the longitudinal direction (conveyance direction of the glass plate P) of the air floating unit 12 of the branch conveyor 20. FIG.

把持部材４４は、ガラスプレートＰの外縁部分、具体的には、ガラスプレートＰの幅方向の一辺付近を把持可能に構成されている。ガラスプレートＰの側面を吸着保持することによってガラスプレートＰを把持してもよいし、ガラスプレートＰの上面と下面を挟持することによってガラスプレートＰを把持してもよい。
このような構成により、プレート受渡部４０は、一対の把持部材４４によりガラスプレートＰの外縁を把持しつつ、分岐コンベヤ２０の一端付近で往復移動することにより、姿勢を変化させることなくガラスプレートＰをメインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間で受け渡すことが可能となっている。
このように、本実施形態においては、本発明の基板受渡部（プレート受渡部４０）が、分岐コンベヤ２０に組み込まれている。 The holding member 44 is configured to be able to hold the outer edge portion of the glass plate P, specifically, the vicinity of one side in the width direction of the glass plate P. The glass plate P may be gripped by sucking and holding the side surface of the glass plate P, or the glass plate P may be gripped by sandwiching the upper surface and the lower surface of the glass plate P.
With such a configuration, the plate delivery section 40 reciprocates near one end of the branch conveyor 20 while gripping the outer edge of the glass plate P by the pair of gripping members 44, so that the glass plate P does not change its posture. Can be transferred between the main conveyor 10 and the branch conveyor 20.
Thus, in this embodiment, the board | substrate delivery part (plate delivery part 40) of this invention is integrated in the branch conveyor 20. FIG.

次に、基板搬送装置１の動作（基板搬送方法）について説明する。
メインコンベヤ１０上を搬送されるガラスプレートＰを分岐コンベヤ２０に受け渡す場合（分岐コンベヤ２１，２３，２５の動作）について説明する。 Next, the operation (substrate transport method) of the substrate transport apparatus 1 will be described.
The case where the glass plate P conveyed on the main conveyor 10 is delivered to the branch conveyor 20 (operation of the branch conveyors 21, 23, 25) will be described.

まず、メインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２０の各エア浮上ユニット１２に圧縮空気を供給して、各流体噴出孔１３から圧縮空気を噴出させる。また、コンベヤ部１５を駆動して、各ローラ１６を一定の回転速度で回転させる。この際、各コンベヤ部１５を不図示の昇降装置により上昇させておく。
そして、メインコンベヤ１０の上流側において、ガラスプレートＰを一枚づつ載置することにより、ガラスプレートＰは枚葉搬送される。なお、ガラスプレートＰは、例えば、その長手方向が搬送方向に一致するように、メインコンベヤ１０上に載置される。 First, compressed air is supplied to each air floating unit 12 of the main conveyor 10 and the branch conveyor 20, and compressed air is ejected from each fluid ejection hole 13. Moreover, the conveyor part 15 is driven and each roller 16 is rotated at a fixed rotational speed. At this time, each conveyor unit 15 is raised by a lifting device (not shown).
Then, on the upstream side of the main conveyor 10, by placing the glass plates P one by one, the glass plates P are conveyed sheet by sheet. In addition, the glass plate P is mounted on the main conveyor 10 so that the longitudinal direction may correspond with a conveyance direction, for example.

そして、メインコンベヤ１０上のガラスプレートＰが分岐コンベヤ２０との分岐部分まで移動すると、プレート受渡部４０の把持部材４４が分岐コンベヤ２０の一端まで移動して、メインコンベヤ１０上のガラスプレートＰの外縁を把持する。これと同時に、メインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２０のコンベヤ部１５は、不図示の昇降装置により下降する。
そして、把持部材４４を分岐コンベヤ２０に沿って移動させることで、ガラスプレートＰはメインコンベヤ１０上から分岐コンベヤ２０上に搬送される。 And if the glass plate P on the main conveyor 10 moves to the branching part with the branch conveyor 20, the holding member 44 of the plate delivery part 40 will move to one end of the branch conveyor 20, and the glass plate P on the main conveyor 10 Grab the outer edge. At the same time, the conveyor section 15 of the main conveyor 10 and the branch conveyor 20 is lowered by a lifting device (not shown).
And the glass plate P is conveyed on the branch conveyor 20 from the main conveyor 10 by moving the holding member 44 along the branch conveyor 20.

ガラスプレートＰが分岐コンベヤ２０上に搬送されると、再びメインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２０のコンベヤ部１５は、不図示の昇降装置により上昇する。これと同時に、プレート受渡部４０の把持部材４４によるガラスプレートＰの把持が解除されることで、ガラスプレートＰは分岐コンベヤ２０により、メインコンベヤ１０から離間する方向に搬送される。   When the glass plate P is transported onto the branch conveyor 20, the main conveyor 10 and the conveyor portion 15 of the branch conveyor 20 are again raised by an elevator device (not shown). At the same time, the glass plate P is released from the main conveyor 10 by the branch conveyor 20 by releasing the holding of the glass plate P by the holding member 44 of the plate delivery unit 40.

そして、ガラスプレートＰは、分岐コンベヤ２０により搬送されて、薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置に受け渡される。
なお、各処理装置（薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等）に受け渡されたガラスプレートＰは、各処理装置において所定の処理が施された後に、各処理装置の外部に搬出される。 And the glass plate P is conveyed by the branch conveyor 20, and is delivered to various processing apparatuses, such as the thin film formation apparatus 5, the etching apparatus 6, and the test apparatus 7. FIG.
The glass plate P delivered to each processing apparatus (the thin film forming apparatus 5, the etching apparatus 6, the test apparatus 7, etc.) is carried out to the outside of each processing apparatus after a predetermined process is performed in each processing apparatus. Is done.

このように、メインコンベヤ１０上を搬送されるガラスプレートＰを分岐コンベヤ２０に受け渡す場合には、ガラスプレートＰが、メインコンベヤ１０上において浮上支持され、この状態を維持しつつかつ姿勢を変化させることなく分岐コンベヤ２０に受け渡される。
したがって、ガラスプレートＰは、摩擦抵抗が無いに等しい状態でメインコンベヤ１０から分岐コンベヤ２０に受け渡される。 As described above, when the glass plate P conveyed on the main conveyor 10 is delivered to the branch conveyor 20, the glass plate P is supported by floating on the main conveyor 10, and the posture is changed while maintaining this state. It is handed over to the branch conveyor 20 without making it.
Accordingly, the glass plate P is transferred from the main conveyor 10 to the branch conveyor 20 in a state where there is no frictional resistance.

次に、ガラスプレートＰを分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０に受け渡す場合（分岐コンベヤ２２，２４，２６の動作）について説明する。
ガラスプレートＰを分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０に受け渡す動作は、ガラスプレートＰをメインコンベヤ１０から分岐コンベヤ２０に受け渡す動作を略反転させたものである。 Next, a case where the glass plate P is transferred from the branch conveyor 20 to the main conveyor 10 (operation of the branch conveyors 22, 24, 26) will be described.
The operation of transferring the glass plate P from the branch conveyor 20 to the main conveyor 10 is substantially the reverse of the operation of transferring the glass plate P from the main conveyor 10 to the branch conveyor 20.

まず、メインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２０の各エア浮上ユニット１２に圧縮空気を供給して、各流体噴出孔１３から圧縮空気を噴出させる。また、コンベヤ部１５を駆動して、各ローラ１６を一定の回転速度で回転させる。この際、コンベヤ部１５を不図示の昇降装置により上昇させておく。   First, compressed air is supplied to each air floating unit 12 of the main conveyor 10 and the branch conveyor 20, and compressed air is ejected from each fluid ejection hole 13. Moreover, the conveyor part 15 is driven and each roller 16 is rotated at a fixed rotational speed. At this time, the conveyor unit 15 is raised by a lifting device (not shown).

次に、ガラスプレートＰが薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置から分岐コンベヤ２０に受け渡される。ガラスプレートＰは分岐コンベヤ２０により搬送されて、分岐コンベヤ２０の端部まで移動する。これと同時に、プレート受渡部４０の把持部材４４が分岐コンベヤ２０上のガラスプレートＰの外縁（搬送方向とは逆側の側面付近）を把持する。   Next, the glass plate P is delivered to the branch conveyor 20 from various processing apparatuses such as the thin film forming apparatus 5, the etching apparatus 6, and the test apparatus 7. The glass plate P is conveyed by the branch conveyor 20 and moves to the end of the branch conveyor 20. At the same time, the gripping member 44 of the plate delivery section 40 grips the outer edge (near the side surface opposite to the transport direction) of the glass plate P on the branch conveyor 20.

次に、把持部材４４を分岐コンベヤ２０に沿って移動し、分岐コンベヤ２０の一端まで移動することで、ガラスプレートＰは分岐コンベヤ２０上からメインコンベヤ１０上に搬送される。
そして、把持部材４４によるガラスプレートＰの把持を解除する。これと同時に、メインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２０のコンベヤ部１５は、不図示の昇降装置により上昇する。
これにより、メインコンベヤ１０のコンベヤ部１５の突起１８がガラスプレートＰの下面の幅方向両端に当接して、ガラスプレートＰがメインコンベヤ１０に受け渡され、枚葉搬送される。 Next, the glass plate P is transported from the branch conveyor 20 to the main conveyor 10 by moving the gripping member 44 along the branch conveyor 20 and moving to one end of the branch conveyor 20.
Then, the holding of the glass plate P by the holding member 44 is released. At the same time, the conveyor section 15 of the main conveyor 10 and the branch conveyor 20 is lifted by a lifting device (not shown).
Thereby, the protrusion 18 of the conveyor part 15 of the main conveyor 10 contacts both ends of the lower surface of the glass plate P in the width direction, and the glass plate P is transferred to the main conveyor 10 and conveyed by a single sheet.

このように、ガラスプレートＰを分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０に受け渡す場合には、ガラスプレートＰが、分岐コンベヤ２０上において浮上支持され、この状態を維持しつつかつ姿勢を変化させることなくメインコンベヤ１０に受け渡される。
したがって、ガラスプレートＰは、摩擦抵抗が無いに等しい状態で分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０に受け渡される。 As described above, when the glass plate P is transferred from the branch conveyor 20 to the main conveyor 10, the glass plate P is supported by floating on the branch conveyor 20, and the main state is maintained without changing the posture while maintaining this state. Delivered to the conveyor 10.
Therefore, the glass plate P is transferred from the branch conveyor 20 to the main conveyor 10 in a state where there is no frictional resistance.

以上説明したように、本実施形態に係る基板搬送装置１は、ガラスプレートＰを枚葉搬送するメインコンベヤ１０と、該メインコンベヤ１０に対して水平分岐する分岐コンベヤ２０と、メインコンベヤ１０上及び分岐コンベヤ２０上においてガラスプレートＰを浮上支持するエア浮上ユニット１２と、該エア浮上ユニット１２によって浮上支持されたガラスプレートＰを、姿勢を変化させることなくメインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間で受け渡しするプレート受渡部４０と、を備える。
このような本実施形態に係る基板搬送装置１によれば、ガラスプレートＰが、摩擦抵抗が無いに等しい状態で、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間において受け渡される。このため、受け渡し速度を高速化した場合であっても、衝撃が加わることによるガラスプレートＰの損傷が生じない。
したがって、本実施形態の基板搬送装置１によれば、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０間におけるガラスプレートＰの受け渡し速度を向上させることが可能となる。 As described above, the substrate transport apparatus 1 according to the present embodiment includes the main conveyor 10 that transports the glass plate P one by one, the branch conveyor 20 that branches horizontally with respect to the main conveyor 10, the main conveyor 10 and the like. The air levitation unit 12 that floats and supports the glass plate P on the branch conveyor 20, and the glass plate P that is floated and supported by the air floating unit 12 between the main conveyor 10 and the branch conveyor 20 without changing the posture. And a plate delivery section 40 for delivery.
According to such a substrate transport apparatus 1 according to the present embodiment, the glass plate P is transferred between the main conveyor 10 and the branch conveyor 20 in a state equal to no frictional resistance. For this reason, even when the delivery speed is increased, the glass plate P is not damaged by the impact.
Therefore, according to the substrate transfer apparatus 1 of the present embodiment, it is possible to improve the delivery speed of the glass plate P between the main conveyor 10 and the branch conveyor 20.

なお、上述した実施の形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ、又は動作手順等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。   It should be noted that the shapes, combinations, operation procedures, and the like of the constituent members shown in the above-described embodiments are merely examples, and various changes can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention.

例えば、上記実施形態においては、圧縮空気を用いてガラスプレートＰを浮上支持する場合について説明したが、これに限らない。例えば、空間を伝播する振動波をガラスプレートＰに付与することによってガラスプレートＰを浮上支持させてもよい。   For example, in the said embodiment, although the case where the glass plate P was floated and supported using compressed air was demonstrated, it is not restricted to this. For example, the glass plate P may be levitated and supported by applying a vibration wave propagating through the space to the glass plate P.

また、上記実施形態においては、コンベヤ部１５が、不図示の昇降装置により下降することによって、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間においてガラスプレートＰを受け渡す場合に、ガラスプレートＰがコンベヤ部１５と接触することを防止することができる構成とした。しかしながら、本発明はこれに限るものではなく、コンベヤ部１５が下降する替わりに、エア浮上ユニット１２が上昇することによって、ガラスプレートＰとコンベヤ部１５とが接触することを防止しても構わない。この場合には、受け渡し側のコンベヤのエア浮上ユニット１２上面は、上昇された後のエア浮上ユニット１２の上面と面一となるように位置されている。   Moreover, in the said embodiment, when the conveyor part 15 is lowered | hung with the raising / lowering apparatus not shown, when passing the glass plate P between the main conveyor 10 and the branch conveyor 20, glass plate P is a conveyor part. 15 to prevent contact. However, the present invention is not limited to this, and the air levitation unit 12 may be raised instead of the conveyor portion 15 being lowered to prevent the glass plate P and the conveyor portion 15 from coming into contact with each other. . In this case, the upper surface of the air floating unit 12 of the conveyor on the delivery side is positioned so as to be flush with the upper surface of the air floating unit 12 after being lifted.

上記実施形態においては、ガラスプレートＰを枚葉搬送する場合について説明したが、これに限らない。例えば、半導体ウエハ等の薄い板状部材であればよい。   In the said embodiment, although the case where the glass plate P was conveyed single sheet was demonstrated, it is not restricted to this. For example, a thin plate member such as a semiconductor wafer may be used.

上述した実施形態においては、分岐コンベヤ２０の他端側に、薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置を配置・連結する場合について説明したが、これに限らない。分岐コンベヤ２０の下流側（他端側）に、更に分岐コンベヤ２０が連結される場合であってもよい。
また、薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置の他、ガラスプレートＰ等の基板を複数一時的に保存するストッカを配置してもよい。 In the above-described embodiment, the case where various processing apparatuses such as the thin film forming apparatus 5, the etching apparatus 6, and the test apparatus 7 are arranged and connected to the other end side of the branch conveyor 20 has been described, but the present invention is not limited thereto. The branch conveyor 20 may be further connected to the downstream side (the other end side) of the branch conveyor 20.
Further, in addition to various processing apparatuses such as the thin film forming apparatus 5, the etching apparatus 6, and the test apparatus 7, a stocker for temporarily storing a plurality of substrates such as a glass plate P may be disposed.

上述した実施形態においては、薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置に、ガラスプレートＰを搬入する分岐コンベヤ２１，２３，２５とガラスプレートＰを搬出する分岐コンベヤ２２，２４，２６を配置する場合について説明したが、これに限らない。一つの分岐コンベヤ２０が、ガラスプレートＰを搬入・搬出を行う場合であってもよい。   In the above-described embodiment, the branch conveyors 21, 23, 25 that carry the glass plate P into the various processing apparatuses such as the thin film forming device 5, the etching device 6, the test device 7, and the branch conveyor 22 that carries the glass plate P out, Although the case where 24 and 26 are arrange | positioned was demonstrated, it is not restricted to this. One branch conveyor 20 may carry the glass plate P in and out.

本発明の一実施形態に係る基板搬送装置１を示す模式図である。It is a mimetic diagram showing substrate conveyance device 1 concerning one embodiment of the present invention. メインコンベヤ１０の詳細構成を示す図である。2 is a diagram illustrating a detailed configuration of a main conveyor 10. FIG. 分岐コンベヤ２０のプレート引渡部４０の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the plate delivery part 40 of the branch conveyor.

符号の説明Explanation of symbols

Ｐ…ガラスプレート（基板）
１…基板搬送装置
１０…メインコンベヤ
１２…エア浮上ユニット（支持手段）
１５…コンベア部
２０…分岐コンベヤ
４０…プレート引渡部（基板受渡部）
４４…把持部材 P ... Glass plate (substrate)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate conveyance apparatus 10 ... Main conveyor 12 ... Air floating unit (support means)
15 ... conveyor unit 20 ... branch conveyor 40 ... plate delivery unit (substrate delivery unit)
44. Holding member

Claims (5)

基板を枚葉搬送するメインコンベヤと、
前記メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤと、
前記メインコンベヤ上及び前記分岐コンベヤ上において前記基板を浮上支持する支持手段と、
該支持手段によって浮上支持された前記基板を、姿勢を変化させることなく前記メインコンベヤと前記分岐コンベヤとの間で受け渡しする基板受渡部と、
を備えることを特徴とする基板搬送装置。 A main conveyor that transports substrates one by one,
A branching conveyor that branches horizontally with respect to the main conveyor;
Support means for levitating and supporting the substrate on the main conveyor and the branch conveyor;
A substrate delivery section for delivering the substrate supported and levitated by the support means between the main conveyor and the branch conveyor without changing the posture;
The board | substrate conveyance apparatus characterized by the above-mentioned. 前記基板受渡部は、前記基板の外縁を把持するとともに前記分岐コンベヤにおける前記基板の搬送方向に移動可能な把持部材を有することを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。   The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein the substrate transfer unit includes a holding member that holds an outer edge of the substrate and is movable in the transfer direction of the substrate in the branch conveyor. 前記支持手段は、圧縮空気を用いて前記基板を浮上支持することを特徴とする請求項１または２記載の基板搬送装置。   The substrate transport apparatus according to claim 1, wherein the support means floats and supports the substrate using compressed air. 基板をメインコンベヤにより枚葉搬送し、
前記基板を前記メインコンベヤ上において浮上支持し、
前記メインコンベヤ上において浮上支持状態の前記基板を、前記メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤに浮上支持状態を維持しつつかつ姿勢を変化させることなく受け渡す
ことを特徴とする基板搬送方法。 A board is conveyed by a main conveyor.
The substrate is levitated and supported on the main conveyor,
A substrate transfer method, wherein the substrate in a floating support state on the main conveyor is delivered to a branching conveyor that branches horizontally with respect to the main conveyor without changing the posture while maintaining the floating support state. メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤ上において基板を浮上支持し、
前記分岐コンベヤ上において浮上状態の前記基板を、浮上支持状態を維持しつつかつ姿勢を変化させることなく前記メインコンベヤに受け渡す
ことを特徴とする基板搬送方法。
Supports the substrate floating on the branch conveyor that branches horizontally to the main conveyor,
A substrate transfer method, wherein the substrate in a floating state on the branch conveyor is transferred to the main conveyor without changing the posture while maintaining a floating support state.
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