JP4957133B2 - Substrate transport apparatus and substrate transport method - Google Patents

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Description

本発明は、例えば半導体ウエハやフラットパネルディスプレイ用ガラスプレート等の基板を枚葉搬送するための基板搬送装置及び基板搬送方法に関する。   The present invention relates to a substrate transfer apparatus and a substrate transfer method for transferring a single wafer such as a semiconductor wafer or a glass plate for a flat panel display.

半導体装置を製造する工場や、液晶装置、ＰＤＰ、ＥＬ装置等のフラットパネルディスプレイを製造する工場等に設置される基板搬送装置においては、半導体ウエハやガラスプレート等の基板を搬送し、ローダやロボットアーム等を用いて、薄膜形成装置、エッチング装置、試験装置等の各種処理装置と、搬送経路との間で基板の受け渡しが行われている。このような基板搬送装置では、基板は、基板を複数枚収容可能なカセットに収容された状態で搬送されるのが一般的である（特許文献１参照）。   In substrate transfer devices installed in factories that manufacture semiconductor devices and factories that manufacture flat panel displays such as liquid crystal devices, PDPs, and EL devices, substrates such as semiconductor wafers and glass plates are transferred to loaders and robots. An arm or the like is used to transfer a substrate between various processing apparatuses such as a thin film forming apparatus, an etching apparatus, and a test apparatus, and a transport path. In such a substrate transport apparatus, the substrate is generally transported in a state of being accommodated in a cassette that can accommodate a plurality of substrates (see Patent Document 1).

さて、近年は、液晶テレビ等のフラットパネルディスプレイの大画面化に伴って、基板が大型化している。例えば、ガラスプレートに関しては、１８７０ｍｍ×２２００ｍｍ（第７世代）から、更に大きなサイズへと大型化が進展している。このため、基板を収容するカセット等も大型化・重量化し、搬送速度が低下することで、例えば仕掛在庫の増大を招く等、効率的な搬送が困難になりつつある。
このため、基板を一枚ずつ高速に搬送する枚葉搬送が注目されている（特許文献１参照）。
特開平９−５８８４４号公報 In recent years, the size of substrates has been increased with the increase in the screen size of flat panel displays such as liquid crystal televisions. For example, regarding the glass plate, the increase in size has progressed from 1870 mm × 2200 mm (seventh generation) to a larger size. For this reason, cassettes and the like for storing substrates are also increased in size and weight, and the transfer speed is reduced, so that efficient transfer is becoming difficult, for example, causing an increase in in-process inventory.
For this reason, single-wafer conveyance that conveys substrates one by one at high speed has attracted attention (see Patent Document 1).
JP-A-9-58844

しかしながら、基板が枚葉搬送される場合には、カセットによって搬送する場合と比較して搬送する個体数が増加する。このため、従来と同等もしくはそれ以上の処理速度を実現するためには、より基板を高速搬送する必要がある。
特に、メインコンベヤと、このメインコンベヤと水平分岐する分岐コンベヤとの間における基板の受け渡し速度は、基板の高速搬送を実現させるにあたって非常に重要となってくる。このため、メインコンベヤと分岐コンベヤ間における基板の受け渡し速度を向上させる技術が望まれている。 However, when the substrate is conveyed by a single wafer, the number of individuals to be conveyed increases compared to the case where the substrate is conveyed by a cassette. For this reason, in order to realize a processing speed equal to or higher than the conventional one, it is necessary to transport the substrate at a higher speed.
In particular, the transfer speed of the substrate between the main conveyor and the branch conveyor that branches horizontally from the main conveyor is very important in realizing high-speed transfer of the substrate. For this reason, the technique which improves the delivery speed of the board | substrate between a main conveyor and a branch conveyor is desired.

また、ガラスプレートを枚葉搬送する基板搬送装置では、メインコンベヤと分岐コンベヤとの間において、進行方向に対する向きを変化させることなく基板を受け渡す必要が出てくる場合がある。
基板をカセットに収納して搬送する従来の基板搬送装置では、例えば、メインコンベヤから分岐コンベヤに、進行方向に対する向きを変化させることなく基板を受け渡す場合には、メインコンベヤ上を搬送されるカセットの搬送を一旦停止し、カセットを回動させた後に分岐コンベヤに受け渡している。
ところが、基板を枚葉搬送する基板搬送装置において、同様の方法にて基板の受け渡しを行うと、基板の搬送を停止する工程と停止された基板を分岐コンベヤに受け渡す工程とを行う必要があることから、メインコンベヤと分岐コンベヤ間における基板の受け渡しに時間がかかる。 Further, in a substrate transport apparatus that transports a glass plate one by one, it may be necessary to deliver a substrate between the main conveyor and the branch conveyor without changing the direction with respect to the traveling direction.
In a conventional substrate transport apparatus that stores and transports substrates in a cassette, for example, when a substrate is transferred from the main conveyor to the branch conveyor without changing the direction of the traveling direction, the cassette is transported on the main conveyor. Is temporarily stopped, and after the cassette is rotated, it is delivered to the branch conveyor.
However, when a substrate is transferred by the same method in a substrate transfer apparatus that transfers a substrate one by one, it is necessary to perform a step of stopping the transfer of the substrate and a step of transferring the stopped substrate to the branch conveyor. For this reason, it takes time to transfer the substrate between the main conveyor and the branch conveyor.

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、基板の進行方向を変化させることなくメインコンベヤと分岐コンベヤとの間にて基板を受け渡す場合において、メインコンベヤと分岐コンベヤ間における基板の受け渡し速度を向上させることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and in the case of transferring a substrate between the main conveyor and the branch conveyor without changing the traveling direction of the substrate, the substrate between the main conveyor and the branch conveyor. The purpose is to improve the delivery speed.

上記目的を達成するために、本発明の基板搬送装置は、基板を枚葉搬送するメインコンベヤと、上記メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤと、上記基板の進行方向に対する向きが変化しないように上記基板を水平に回動させながら、上記メインコンベヤから上記分岐コンベヤあるいは上記分岐コンベヤから上記メインコンベヤに上記基板の受け渡しを行う基板受渡部と、を備えることを特徴とする。   In order to achieve the above object, the substrate transport apparatus of the present invention is configured so that the main conveyor for transporting the substrates one by one, the branch conveyor that branches horizontally with respect to the main conveyor, and the orientation of the substrate with respect to the traveling direction do not change. And a substrate transfer section for transferring the substrate from the main conveyor to the branch conveyor or from the branch conveyor to the main conveyor while horizontally rotating the substrate.

このような特徴を有する本発明の基板搬送装置によれば、上記メインコンベヤから上記分岐コンベヤあるいは上記分岐コンベヤから上記メインコンベヤへの基板の受け渡しの際に、基板受渡部によって、基板の進行方向に対する向きが変化しないように基板が水平に回動されながら基板の受け渡しが行われる。   According to the substrate transfer device of the present invention having such a feature, the substrate transfer section can move the substrate in the traveling direction when the substrate is transferred from the main conveyor to the branch conveyor or from the branch conveyor to the main conveyor. The substrate is transferred while the substrate is rotated horizontally so that the orientation does not change.

また、本発明の基板搬送装置においては、上記基板受渡部が、上記基板の外縁を把持するヘッド部と、該ヘッド部を所定の回動軸を中心として水平に回動する駆動部と、上記ヘッド部に一端が接続されるとともに上記駆動部に他端部が接続されるアーム部と、を備えるという構成を採用することができる。   Further, in the substrate transport apparatus of the present invention, the substrate delivery unit includes a head unit that grips an outer edge of the substrate, a drive unit that rotates the head unit horizontally around a predetermined rotation axis, It is possible to employ a configuration in which one end is connected to the head portion and an arm portion is connected to the drive portion at the other end portion.

また、本発明の基板搬送装置においては、上記基板受渡部による上記基板の受け渡しの間に上記基板を下方から支持する支持手段を備えるという構成を採用することができる。   Moreover, in the board | substrate conveyance apparatus of this invention, the structure provided with the support means which supports the said board | substrate from the downward direction during the delivery of the said board | substrate by the said board | substrate delivery part is employable.

また、本発明の基板搬送装置においては、上記支持手段が、圧縮空気を用いて上記基板を浮上支持するという構成を採用することができる。   In the substrate transfer apparatus of the present invention, a configuration in which the support means floats and supports the substrate using compressed air can be employed.

次に、本発明の基板搬送方法は、基板をメインコンベヤにより枚葉搬送し、上記メインコンベヤ上の上記基板を、上記メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤに上記基板の進行方向に対する向きが変化しないように上記基板を水平に回動させながら受け渡しを行うことを特徴とする。   Next, according to the substrate transport method of the present invention, the substrate is transported in a single sheet by a main conveyor, and the substrate on the main conveyor is directed to a branching conveyor that branches horizontally with respect to the main conveyor. Delivery is performed while the substrate is rotated horizontally so as not to change.

このような特徴を有する本発明の基板搬送方法によれば、基板の進行方向に対する向きが変化しないように基板が水平に回動されながら、メインコンベヤから分岐コンベヤに受け渡される。   According to the substrate transport method of the present invention having such characteristics, the substrate is transferred from the main conveyor to the branch conveyor while being horizontally rotated so that the direction of the substrate with respect to the traveling direction does not change.

次に、本発明の基板搬送方法は、メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤの基板を、上記メインコンベヤに上記基板の進行方向に対する向きが変化しないように上記基板を水平に回動させながら受け渡しを行うことを特徴とする。   Next, in the substrate transport method of the present invention, the substrate of the branch conveyor that branches horizontally with respect to the main conveyor is rotated horizontally so that the orientation of the substrate with respect to the traveling direction of the substrate does not change on the main conveyor. It is characterized by performing delivery.

このような特徴を有する本発明の基板搬送方法によれば、基板の進行方向に対する向きが変化しないように基板が水平に回動されながら、分岐コンベヤからメインコンベヤに受け渡される。   According to the substrate transport method of the present invention having such characteristics, the substrate is transferred from the branch conveyor to the main conveyor while being horizontally rotated so that the direction of the substrate with respect to the traveling direction does not change.

本発明によれば、基板の進行方向に対する向きが変化しないように基板が水平に回動されながら、メインコンベヤから分岐コンベヤあるいは分岐コンベヤからメインコンベヤに受け渡される。このため、メインコンベヤあるいは分岐コンベヤ上において基板を停止させる必要はなく、基板の受け渡しを高速に行うことができる。
したがって、本発明によれば、基板の進行方向を変化させることなくメインコンベヤと分岐コンベヤとの間にて基板を受け渡す場合において、メインコンベヤと分岐コンベヤ間における基板の受け渡し速度を向上させることが可能となる。 According to the present invention, the substrate is transferred from the main conveyor to the branch conveyor or from the branch conveyor to the main conveyor while being horizontally rotated so that the direction of the substrate with respect to the traveling direction does not change. For this reason, it is not necessary to stop a board | substrate on a main conveyor or a branch conveyor, and delivery of a board | substrate can be performed at high speed.
Therefore, according to the present invention, when the substrate is transferred between the main conveyor and the branch conveyor without changing the traveling direction of the substrate, the transfer speed of the substrate between the main conveyor and the branch conveyor can be improved. It becomes possible.

以下、図面を参照して、本発明に係る基板搬送装置及び基板搬送方法の一実施形態について説明する。なお、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。   Hereinafter, an embodiment of a substrate transfer apparatus and a substrate transfer method according to the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the scale of each member is appropriately changed in order to make each member a recognizable size.

（第１実施形態）
図１は、本第１実施形態に係る基板搬送装置１を示す模式図である。
基板搬送装置１は、液晶装置、ＰＤＰ、ＥＬ装置等のフラットパネルディスプレイを製造する工場において、ガラスプレートＰを一枚づつ枚葉搬送する装置であって、メインコンベヤ１０と、メインコンベヤ１０に対して水平分岐する複数の分岐コンベヤ２０と、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間においてガラスプレートＰの受け渡しを行うプレート受渡部４０と、これらを統括的に制御する不図示の制御部等を備えている。 (First embodiment)
FIG. 1 is a schematic diagram showing a substrate transfer apparatus 1 according to the first embodiment.
The substrate transfer device 1 is a device that transfers glass plates P one by one in a factory that manufactures flat panel displays such as liquid crystal devices, PDPs, and EL devices. A plurality of branch conveyors 20 that branch horizontally, a plate delivery unit 40 that delivers the glass plate P between the main conveyor 10 and the branch conveyor 20, and a control unit (not shown) that comprehensively controls them. ing.

メインコンベヤ１０は、ガラスプレートＰを水平に載置しつつ、その表面沿った方向に、一定速度で搬送する装置であって、ガラスプレートＰを空気により浮上させて非接触支持するエア浮上ユニット１２（支持手段）とコンベヤ部１５等から構成される（図２及び図３参照）。このように、本実施形態においては、本発明における支持手段の機能がメインコンベヤ１０の一部に組み込まれている。
メインコンベヤ１０は、工場のクリーンルーム内の床面に略直線状に配置される。そして、メインコンベヤ１０の複数箇所には、分岐コンベヤ２０の一端がメインコンベヤ１０に対して略直交かつ水平に連結される。 The main conveyor 10 is a device that places the glass plate P horizontally and conveys the glass plate P in a direction along the surface thereof at a constant speed. The air conveyor unit 12 floats the glass plate P with air and supports it in a non-contact manner. (Support means) and the conveyor section 15 and the like (see FIGS. 2 and 3). Thus, in this embodiment, the function of the support means in the present invention is incorporated in a part of the main conveyor 10.
The main conveyor 10 is arranged substantially linearly on the floor surface in the clean room of the factory. One end of the branch conveyor 20 is connected to the main conveyor 10 at a plurality of locations substantially orthogonally and horizontally with respect to the main conveyor 10.

分岐コンベヤ２０は、メインコンベヤ１０と同様に、ガラスプレートＰを水平に載置しつつ、その表面沿った方向に一定速度で搬送する装置であって、エア浮上ユニット１２（支持手段）と、コンベヤ部１５等から構成される。このように、本実施形態においては、本発明における支持手段の機能が分岐コンベヤ２０の一部にも組み込まれている。   Similar to the main conveyor 10, the branching conveyor 20 is a device that horizontally places the glass plate P and conveys the glass plate P at a constant speed in the direction along the surface thereof, and includes an air floating unit 12 (support means), a conveyor It consists of part 15 grade. Thus, in this embodiment, the function of the support means in the present invention is also incorporated in a part of the branch conveyor 20.

分岐コンベヤ２０の他端側には、薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置が配置・連結されている。薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置には、それぞれ２つの分岐コンベヤ２０が平行配置されている。
例えば、薄膜形成装置５に連結する分岐コンベヤ２１，２２（分岐コンベヤ２０）のうち、分岐コンベヤ２１は、ガラスプレートＰを薄膜形成装置５に搬入するためのコンベヤであり、分岐コンベヤ２２は、ガラスプレートＰを薄膜形成装置５から搬出するためのコンベヤである。
同様に、分岐コンベヤ２３，２５（分岐コンベヤ２０）は、エッチング装置６、試験装置７にガラスプレートＰを搬入するためのコンベヤであり、分岐コンベヤ２４，２６（分岐コンベヤ２０）は、エッチング装置６、試験装置７からガラスプレートＰを搬出するためのコンベヤである。
なお、各種処理装置にガラスプレートＰを搬入する分岐コンベヤ２１，２３，２５は、各種処理装置からガラスプレートＰを搬出する分岐コンベヤ２２，２４，２６に対して、メインコンベヤ１０の上流側に配置される。 Various processing apparatuses such as a thin film forming apparatus 5, an etching apparatus 6, and a test apparatus 7 are arranged and connected to the other end side of the branch conveyor 20. Two branch conveyors 20 are arranged in parallel in various processing apparatuses such as the thin film forming apparatus 5, the etching apparatus 6, and the test apparatus 7.
For example, among the branch conveyors 21 and 22 (branch conveyor 20) connected to the thin film forming apparatus 5, the branch conveyor 21 is a conveyor for carrying the glass plate P into the thin film forming apparatus 5, and the branch conveyor 22 is made of glass. It is a conveyor for carrying out the plate P from the thin film forming apparatus 5.
Similarly, the branch conveyors 23 and 25 (branch conveyor 20) are conveyors for carrying the glass plate P into the etching device 6 and the test device 7, and the branch conveyors 24 and 26 (branch conveyor 20) are the etching devices 6 respectively. This is a conveyor for carrying out the glass plate P from the test apparatus 7.
The branch conveyors 21, 23, 25 that carry the glass plates P into the various processing apparatuses are arranged upstream of the main conveyor 10 with respect to the branch conveyors 22, 24, 26 that carry out the glass plates P from the various processing apparatuses. Is done.

プレート受渡部４０は、各処理装置にガラスプレートＰを搬入する分岐コンベヤ２１，２３，２５に対してメインコンベヤ１０の上流側、及び、各種処理装置からガラスプレートＰを搬出する分岐コンベヤ２２，２４，２６に対してメインコンベヤ１０の下流側の各々に設置されている。
これらのプレート受渡部４０は、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないようにガラスプレートＰを水平に回動させながら、メインコンベヤ１０から分岐コンベヤ２０あるいは分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０にガラスプレートＰの受け渡しを行うものである。 The plate delivery section 40 is provided on the upstream side of the main conveyor 10 with respect to the branch conveyors 21, 23, and 25 that carry the glass plate P into each processing apparatus, and the branch conveyors 22 and 24 that carry the glass plate P out of various processing apparatuses. , 26 on the downstream side of the main conveyor 10.
These plate delivery sections 40 are configured to turn the glass plate P horizontally from the main conveyor 10 to the branch conveyor 20 or from the branch conveyor 20 to the main conveyor 10 so that the direction of the glass plate P relative to the traveling direction does not change. P is delivered.

図２は、メインコンベヤ１０の詳細構成を示す図である。
メインコンベヤ１０は、上述したように、ガラスプレートＰを空気により浮上させつつ、水平方向の一方向に搬送する装置であり、エア浮上ユニット１２とコンベヤ部１５等を複数備えている。 FIG. 2 is a diagram illustrating a detailed configuration of the main conveyor 10.
As described above, the main conveyor 10 is a device that conveys the glass plate P in one direction in the horizontal direction while floating the glass plate P with air, and includes a plurality of air floating units 12 and a conveyor unit 15.

エア浮上ユニット１２は、平面状の上面を備えた部材であって、この上面（載置面）には圧縮空気を噴出する複数の流体噴出孔１３が略均等な配置密度で形成されている。エア浮上ユニット１２は、平面視矩形状に形成され、その長手方向がガラスプレートＰの搬送方向に一致するように設けられている。また、エア浮上ユニット１２の短手方向（幅方向）は、ガラスプレートＰの幅方向（搬送方向に直交する方向）よりもやや狭く形成されている。   The air levitation unit 12 is a member having a planar upper surface, and a plurality of fluid ejection holes 13 for ejecting compressed air are formed on the upper surface (mounting surface) with a substantially uniform arrangement density. The air levitation unit 12 is formed in a rectangular shape in plan view, and is provided so that its longitudinal direction coincides with the conveyance direction of the glass plate P. Further, the short direction (width direction) of the air levitation unit 12 is formed to be slightly narrower than the width direction of the glass plate P (direction perpendicular to the transport direction).

そして、不図示の圧縮空気供給装置からエア浮上ユニット１２に圧縮空気が供給されることにより、圧縮空気が各流体噴出孔１３から噴出するようになっている。これにより、エア浮上ユニット１２上に載置されたガラスプレートＰを各流体噴出孔１３から噴出する圧縮空気により浮上させて、非接触に支持可能となっている。   The compressed air is supplied from the compressed air supply device (not shown) to the air floating unit 12 so that the compressed air is ejected from the fluid ejection holes 13. Thus, the glass plate P placed on the air levitation unit 12 is floated by the compressed air ejected from each fluid ejection hole 13 and can be supported in a non-contact manner.

コンベヤ部１５は、複数のローラ１６と、この複数のローラ１６の周りに取り付けられたベルト１７を備えている。また、ベルト１７の表面には、複数の突起１８がベルト１７の長手方向（メインコンベヤ１０の搬送方向）に均等な間隔で設けられている。
コンベヤ部１５は、エア浮上ユニット１２の両側に、ガラスプレートＰの搬送方向に沿って配置されている。そして、一対のコンベヤ部１５の配置間隔（距離）は、ガラスプレートＰの幅方向と略同一となっている。 The conveyor unit 15 includes a plurality of rollers 16 and a belt 17 attached around the plurality of rollers 16. A plurality of protrusions 18 are provided on the surface of the belt 17 at equal intervals in the longitudinal direction of the belt 17 (conveying direction of the main conveyor 10).
The conveyor part 15 is arrange | positioned along the conveyance direction of the glass plate P on both sides of the air levitation unit 12. And the arrangement | positioning space | interval (distance) of a pair of conveyor part 15 is substantially the same as the width direction of the glass plate P. As shown in FIG.

コンベヤ部１５の各ローラ１６の上端は同一水平面に位置するように配置され、これによりベルト１７の表面に設けられた突起１８がエア浮上ユニット１２の上面よりも僅かに上方に位置するように配置される。そして、突起１８がエア浮上ユニット１２上に載置されたガラスプレートＰの下面の外縁（幅方向の両端側）に当接するようになっている。
コンベヤ部１５の各ローラ１６は、不図示のモータ等によって同一の回転速度で同一方向に回転するようになっている。これにより、ガラスプレートＰをエア浮上ユニット１２により非接触に支持しつつ、コンベヤ部１５によってエア浮上ユニット１２に沿って搬送することが可能となっている。 The upper ends of the rollers 16 of the conveyor unit 15 are arranged so as to be positioned on the same horizontal plane, so that the protrusions 18 provided on the surface of the belt 17 are positioned slightly above the upper surface of the air levitation unit 12. Is done. And the protrusion 18 contacts the outer edges (both ends in the width direction) of the lower surface of the glass plate P placed on the air levitation unit 12.
Each roller 16 of the conveyor unit 15 is rotated in the same direction at the same rotational speed by a motor (not shown) or the like. Thereby, it is possible to convey the glass plate P along the air floating unit 12 by the conveyor unit 15 while supporting the glass plate P in a non-contact manner by the air floating unit 12.

また、コンベヤ部１５は、不図示の昇降装置により、上下方向に移動可能に構成されている。
コンベヤ部１５を昇降装置により上昇させた場合には、各突起１８がエア浮上ユニット１２の上面よりも僅かに上方に位置するようになる。この場合には、コンベヤ部１５の突起１８がガラスプレートＰの下面に当接し、ガラスプレートＰを搬送できる。
一方、コンベヤ部１５を下降させた場合には、各突起１８がエア浮上ユニット１２の上面よりも下方に位置するようになる。この場合には、コンベヤ部１５（各突起１８）がガラスプレートＰから離間して、ガラスプレートＰはエア浮上ユニット１２上で完全に非接触支持された状態となる。したがって、ガラスプレートＰに外力が加わらない限り、ガラスプレートＰはエア浮上ユニット１２上で停止した状態で保持される。 Moreover, the conveyor part 15 is comprised so that an up-down direction can move by the raising / lowering apparatus not shown.
When the conveyor unit 15 is raised by the lifting device, each protrusion 18 is positioned slightly above the upper surface of the air levitation unit 12. In this case, the protrusion 18 of the conveyor unit 15 comes into contact with the lower surface of the glass plate P, and the glass plate P can be conveyed.
On the other hand, when the conveyor unit 15 is lowered, each protrusion 18 is positioned below the upper surface of the air levitation unit 12. In this case, the conveyor portion 15 (each protrusion 18) is separated from the glass plate P, and the glass plate P is completely supported in a non-contact manner on the air floating unit 12. Accordingly, unless an external force is applied to the glass plate P, the glass plate P is held in a stopped state on the air levitation unit 12.

そして、メインコンベヤ１０は、エア浮上ユニット１２とコンベヤ部１５とを、複数連結して構成されている。すなわち、各エア浮上ユニット１２と各コンベヤ部１５が互いに近接して、水平方向に並べて配置される。この際、各エア浮上ユニット１２の上面（載置面）は、同一水平面に位置するように調整される。   The main conveyor 10 is configured by connecting a plurality of air levitation units 12 and conveyor sections 15. That is, each air floating unit 12 and each conveyor unit 15 are arranged close to each other and arranged in the horizontal direction. At this time, the upper surface (mounting surface) of each air levitation unit 12 is adjusted to be positioned on the same horizontal plane.

また、分岐コンベヤ２０もメインコンベヤ１０が備えるエア浮上ユニット１２とコンベヤ部１５とによって構成されている。なお、図１に示すように、本実施形態においては、分岐コンベヤ２０は、単一のエア浮上ユニット１２と、該エア浮上ユニット１２を挟んで配置される２つのコンベヤ部１５によって構成されているが、さらに複数のエア浮上ユニット１２及びコンベヤ部１５によって構成されても良い。   Moreover, the branch conveyor 20 is also comprised by the air floating unit 12 and the conveyor part 15 with which the main conveyor 10 is provided. As shown in FIG. 1, in the present embodiment, the branch conveyor 20 is configured by a single air floating unit 12 and two conveyor units 15 arranged with the air floating unit 12 interposed therebetween. However, a plurality of air levitation units 12 and a conveyor unit 15 may be included.

図３は、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２１との分岐部分の構成を示す図である。
この図に示すように、分岐コンベヤ２１に対するメインコンベヤ１０の上流側には、プレート受渡部４０が設置されている。 FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of a branch portion between the main conveyor 10 and the branch conveyor 21.
As shown in this figure, a plate delivery section 40 is installed on the upstream side of the main conveyor 10 with respect to the branch conveyor 21.

プレート受渡部４０は、アーム部４１と、ヘッド部４２と、モータ４３（駆動部）とを備えている。
アーム部４１は、一端がヘッド部４２に接続されるとともに他端がモータ４３と接続されており、水平に設置されている。
ヘッド部４２は、ガラスプレートＰの外縁部分、具体的には、ガラスプレートＰの幅方向の一辺付近を把持可能に構成されている。ガラスプレートＰの側面を吸着保持することによってガラスプレートＰを把持してもよいし、ガラスプレートＰの上面と下面を挟持することによってガラスプレートＰを把持してもよい。
モータ４３は、鉛直な回動軸Ｌを中心としてヘッド部４２を水平に回動するものであり、アーム部４１を介してヘッド部４２を図３に示す矢印方向（及び逆矢印方向）に回動する。 The plate delivery unit 40 includes an arm unit 41, a head unit 42, and a motor 43 (drive unit).
The arm portion 41 has one end connected to the head portion 42 and the other end connected to the motor 43, and is installed horizontally.
The head portion 42 is configured to be able to grip the outer edge portion of the glass plate P, specifically, the vicinity of one side in the width direction of the glass plate P. The glass plate P may be gripped by sucking and holding the side surface of the glass plate P, or the glass plate P may be gripped by sandwiching the upper surface and the lower surface of the glass plate P.
The motor 43 rotates the head portion 42 horizontally around the vertical rotation axis L, and rotates the head portion 42 in the arrow direction (and the reverse arrow direction) shown in FIG. Move.

そして、このような構成を有するプレート受渡部４０によって、メインコンベヤ１０上のガラスプレートＰが、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないように回動しながら分岐コンベヤ２０に受け渡される。   And by the plate delivery part 40 which has such a structure, the glass plate P on the main conveyor 10 is delivered to the branch conveyor 20 while rotating so that the direction with respect to the advancing direction of the glass plate P may not change.

なお、分岐コンベヤ２３，２５に対するメインコンベヤ１０の上流側に設置されるプレート受渡部４０も同様の構成を有しており、メインコンベヤ１０上のガラスプレートＰを、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないように回動しながら分岐コンベヤ２０に受け渡す。
また、分岐コンベヤ２２，２４，２６に対するメインコンベヤ１０の下流側に設置されるプレート受渡部４０も、図３に示すプレート受渡部４０と同様の構成を有しているが、分岐コンベヤ２０上のガラスプレートＰを、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないように回動しながらメインコンベヤ１０に受け渡す点において、図３に示すプレート受渡部４０と異なる。 In addition, the plate delivery part 40 installed in the upstream of the main conveyor 10 with respect to the branch conveyors 23 and 25 also has the same structure, The direction with respect to the advancing direction of the glass plate P on the main conveyor 10 Is transferred to the branch conveyor 20 while rotating so as not to change.
Further, the plate delivery section 40 installed on the downstream side of the main conveyor 10 with respect to the branch conveyors 22, 24 and 26 has the same configuration as the plate delivery section 40 shown in FIG. The glass plate P is different from the plate delivery unit 40 shown in FIG. 3 in that the glass plate P is delivered to the main conveyor 10 while rotating so that the direction of the glass plate P with respect to the traveling direction does not change.

次に、基板搬送装置１の動作（基板搬送方法）について説明する。
図４を参照して、メインコンベヤ１０上を搬送されるガラスプレートＰを分岐コンベヤ２０に受け渡す場合（分岐コンベヤ２１，２３，２５に対してメインコンベヤ１０の上流側に設置されるプレート受渡部４０の動作）について説明する。 Next, the operation (substrate transport method) of the substrate transport apparatus 1 will be described.
Referring to FIG. 4, when the glass plate P transported on the main conveyor 10 is delivered to the branch conveyor 20 (plate delivery section installed on the upstream side of the main conveyor 10 with respect to the branch conveyors 21, 23, 25). 40 operation) will be described.

まず、メインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２０の各エア浮上ユニット１２に圧縮空気を供給して、各流体噴出孔１３から圧縮空気を噴出させる。また、コンベヤ部１５を駆動して、各ローラ１６を一定の回転速度で回転させる。この際、各コンベヤ部１５を不図示の昇降装置により上昇させておく。
そして、メインコンベヤ１０の上流側において、ガラスプレートＰを一枚づつ載置することにより、ガラスプレートＰは枚葉搬送される。 First, compressed air is supplied to each air floating unit 12 of the main conveyor 10 and the branch conveyor 20, and compressed air is ejected from each fluid ejection hole 13. Moreover, the conveyor part 15 is driven and each roller 16 is rotated at a fixed rotational speed. At this time, each conveyor unit 15 is raised by a lifting device (not shown).
Then, on the upstream side of the main conveyor 10, by placing the glass plates P one by one, the glass plates P are conveyed sheet by sheet.

そして、図４（ａ）に示すように、メインコンベヤ１０上のガラスプレートＰが、プレート受渡部４０のヘッド部４２の届く位置まで移動すると、プレート受渡部４０のヘッド部４２が分岐コンベヤ２０の一端まで移動して、メインコンベヤ１０上のガラスプレートＰの外縁を把持する。その後、メインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２０のコンベヤ部１５は、不図示の昇降装置により下降する。この際、ガラスプレートＰは、各エア浮上ユニット１２の各流体噴出孔１３から噴出される圧縮空気によって浮上支持される。
そして、図４（ｂ）及び図４（ｃ）に示すように、ガラスプレートＰを把持するヘッド部４２が、モータ４３によってアーム部４１を介して水平面内において回動されることによって、ガラスプレートＰはメインコンベヤ１０上から分岐コンベヤ２０上に搬送される。この際、ガラスプレートＰの進行方向が、メインコンベヤ１０の進行方向から、分岐コンベヤ２１，２３，２５の進行方向に変化するが、ガラスプレートＰが回動されるため、ガラスプレートＰの進行方向に対する先頭は変化しない。
すなわち、本実施形態の基板搬送装置１によれば、メインコンベヤ１０上のガラスプレートＰは、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないように水平に回動されながら分岐コンベヤ２０に受け渡される。
なお、本実施形態においては、ヘッド部４２がコンベヤ部１５の回転方向と同じ方向に移動できない構成であるため、ガラスプレートＰとコンベヤ部１５とが擦れることを防止するために、ガラスプレートＰの外縁を把持する際にコンベヤ部１５の駆動を停止した方が好ましい。しかしながら、ガラスプレートＰとコンベヤ部１５とが擦れないように出来る場合（例えば、ヘッド部４２がガラスプレートＰを把持すると同時にコンベヤ部１５を下降することができる場合、コンベヤ部１５を下降してからヘッド部４２がガラスプレートＰを把持することができる場合、ヘッド部がコンベヤ部１５の回転方向と同じ方向に移動可能な場合等）には、必ずしもガラスプレートＰの外縁を把持する際にコンベヤ部１５の駆動を停止する必要はない。 As shown in FIG. 4A, when the glass plate P on the main conveyor 10 moves to a position where the head part 42 of the plate delivery part 40 reaches, the head part 42 of the plate delivery part 40 moves to the position of the branch conveyor 20. It moves to one end and grips the outer edge of the glass plate P on the main conveyor 10. Thereafter, the conveyor section 15 of the main conveyor 10 and the branch conveyor 20 is lowered by a lifting device (not shown). At this time, the glass plate P is levitated and supported by the compressed air ejected from each fluid ejection hole 13 of each air levitation unit 12.
Then, as shown in FIGS. 4B and 4C, the head portion 42 that holds the glass plate P is rotated in the horizontal plane by the motor 43 via the arm portion 41, whereby the glass plate P is conveyed from the main conveyor 10 to the branch conveyor 20. At this time, the traveling direction of the glass plate P changes from the traveling direction of the main conveyor 10 to the traveling direction of the branch conveyors 21, 23, 25. However, since the glass plate P is rotated, the traveling direction of the glass plate P The head of for does not change.
That is, according to the substrate transfer apparatus 1 of the present embodiment, the glass plate P on the main conveyor 10 is delivered to the branch conveyor 20 while being rotated horizontally so that the direction of the glass plate P with respect to the traveling direction does not change. .
In the present embodiment, since the head portion 42 is configured to be unable to move in the same direction as the rotation direction of the conveyor portion 15, in order to prevent the glass plate P and the conveyor portion 15 from being rubbed, It is preferable to stop driving the conveyor unit 15 when gripping the outer edge. However, when the glass plate P and the conveyor unit 15 can be prevented from rubbing (for example, when the head unit 42 can lower the conveyor unit 15 at the same time as holding the glass plate P, the conveyor unit 15 is lowered. When the head portion 42 can grip the glass plate P, when the head portion can move in the same direction as the rotation direction of the conveyor portion 15), the conveyor portion is not necessarily used when gripping the outer edge of the glass plate P. It is not necessary to stop the driving of 15.

そして、図４（ｄ）に示すように、ガラスプレートＰが分岐コンベヤ２０上に搬送されると、再びメインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２０のコンベヤ部１５は、不図示の昇降装置により上昇する。その後、プレート受渡部４０のヘッド部４２によるガラスプレートＰの把持が解除されることで、ガラスプレートＰは分岐コンベヤ２０により、メインコンベヤ１０から離間する方向に搬送される。
なお、本実施形態においては、ヘッド部４２によるガラスプレートＰの把持を解除する際にも、上述したガラスプレートＰの外縁を把持する際と同様に、ガラスプレートＰとコンベヤ部１５とが擦れることを防止するために、コンベヤ部１５の駆動を停止した方が好ましい。 And as shown in FIG.4 (d), when the glass plate P is conveyed on the branch conveyor 20, the conveyor part 15 of the main conveyor 10 and the branch conveyor 20 will raise again by the raising / lowering apparatus not shown. Thereafter, the glass plate P is released from the main conveyor 10 by the branch conveyor 20 by releasing the grip of the glass plate P by the head portion 42 of the plate delivery section 40.
In the present embodiment, when the grip of the glass plate P by the head portion 42 is released, the glass plate P and the conveyor portion 15 are rubbed as in the case of gripping the outer edge of the glass plate P described above. In order to prevent this, it is preferable to stop driving the conveyor unit 15.

なお、ガラスプレートＰは、分岐コンベヤ２０により搬送されて、薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置に受け渡される。
なお、各処理装置（薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等）に受け渡されたガラスプレートＰは、各処理装置において所定の処理が施された後に、各処理装置の外部に搬出される。 In addition, the glass plate P is conveyed by the branch conveyor 20, and is delivered to various processing apparatuses, such as the thin film formation apparatus 5, the etching apparatus 6, and the test apparatus 7. FIG.
The glass plate P delivered to each processing apparatus (the thin film forming apparatus 5, the etching apparatus 6, the test apparatus 7, etc.) is carried out to the outside of each processing apparatus after a predetermined process is performed in each processing apparatus. Is done.

次に、図５を参照して、ガラスプレートＰを分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０に受け渡す場合（分岐コンベヤ２２，２４，２６に対してメインコンベヤ１０の下流側に設置されるプレート受渡部４０の動作）について説明する。
ガラスプレートＰを分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０に受け渡す動作は、ガラスプレートＰをメインコンベヤ１０から分岐コンベヤ２０に受け渡す動作を略反転させたものである。 Next, referring to FIG. 5, when the glass plate P is transferred from the branch conveyor 20 to the main conveyor 10 (the plate transfer section 40 installed on the downstream side of the main conveyor 10 with respect to the branch conveyors 22, 24, 26). Will be described.
The operation of transferring the glass plate P from the branch conveyor 20 to the main conveyor 10 is substantially the reverse of the operation of transferring the glass plate P from the main conveyor 10 to the branch conveyor 20.

まず、メインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２０の各エア浮上ユニット１２に圧縮空気を供給して、各流体噴出孔１３から圧縮空気を噴出させる。また、コンベヤ部１５を駆動して、各ローラ１６を一定の回転速度で回転させる。この際、コンベヤ部１５を不図示の昇降装置により上昇させておく。   First, compressed air is supplied to each air floating unit 12 of the main conveyor 10 and the branch conveyor 20, and compressed air is ejected from each fluid ejection hole 13. Moreover, the conveyor part 15 is driven and each roller 16 is rotated at a fixed rotational speed. At this time, the conveyor unit 15 is raised by a lifting device (not shown).

次に、ガラスプレートＰが薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置から分岐コンベヤ２０に受け渡される。ガラスプレートＰは分岐コンベヤ２０により搬送されて、プレート受渡部４０のヘッド部４２が届く位置まで移動する。そして、プレート受渡部４０のヘッド部４２が分岐コンベヤ２０上のガラスプレートＰの外縁を把持する。その後、メインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２０のコンベヤ部１５は、不図示の昇降装置により下降する。この際、ガラスプレートＰは、各エア浮上ユニット１２の各流体噴出孔１３から噴出される圧縮空気によって浮上支持される。
そして、図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示すように、ガラスプレートＰを把持するヘッド部４２が、モータ４３によってアーム部４１を介して水平面内において回動されることによって、ガラスプレートＰは分岐コンベヤ２０上からメインコンベヤ１０上に搬送される。この際、ガラスプレートＰの進行方向が、分岐コンベヤ２２，２４，２６の進行方向から、メインコンベヤ１０の進行方向に変化するが、ガラスプレートＰが回動されるため、ガラスプレートＰの進行方向に対する先頭は変化しない。
すなわち、本実施形態の基板搬送装置１によれば、分岐コンベヤ２０上のガラスプレートＰは、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないように水平に回動されながらメインコンベヤ１０に受け渡される。 Next, the glass plate P is delivered to the branch conveyor 20 from various processing apparatuses such as the thin film forming apparatus 5, the etching apparatus 6, and the test apparatus 7. The glass plate P is conveyed by the branch conveyor 20 and moves to a position where the head part 42 of the plate delivery part 40 reaches. And the head part 42 of the plate delivery part 40 grips the outer edge of the glass plate P on the branch conveyor 20. Thereafter, the conveyor section 15 of the main conveyor 10 and the branch conveyor 20 is lowered by a lifting device (not shown). At this time, the glass plate P is levitated and supported by the compressed air ejected from each fluid ejection hole 13 of each air levitation unit 12.
Then, as shown in FIGS. 5B and 5C, the head portion 42 that holds the glass plate P is rotated in the horizontal plane by the motor 43 via the arm portion 41, whereby the glass plate P is conveyed from the branch conveyor 20 to the main conveyor 10. At this time, the traveling direction of the glass plate P changes from the traveling direction of the branch conveyors 22, 24, 26 to the traveling direction of the main conveyor 10, but since the glass plate P is rotated, the traveling direction of the glass plate P The head of for does not change.
That is, according to the substrate transfer apparatus 1 of the present embodiment, the glass plate P on the branch conveyor 20 is delivered to the main conveyor 10 while being rotated horizontally so that the direction of the glass plate P with respect to the traveling direction does not change. .

以上説明したように、本実施形態に係る基板搬送装置１は、ガラスプレートＰを枚葉搬送するメインコンベヤ１０と、メインコンベヤ１０に対して水平分岐する分岐コンベヤ２０と、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないようにガラスプレートＰを水平に回動させながら、メインコンベヤ１０から分岐コンベヤ２０あるいは分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０にガラスプレートＰの受け渡しを行うプレート受渡部４０と、を備える。
このような本実施形態に係る基板搬送装置１及び基板搬送方法によれば、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないようにガラスプレートＰが水平に回動されながら、メインコンベヤ１０から分岐コンベヤ２０あるいは分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０に受け渡される。このため、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きを合わせるためにメインコンベヤ１０あるいは分岐コンベヤ２０上においてガラスプレートＰを停止させる必要はなく、ガラスプレートＰの受け渡しを高速に行うことができる。
したがって、本実施形態に係る基板搬送装置１及び基板搬送方法によれば、ガラスプレートＰの進行方向を変化させることなくメインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間にてガラスプレートＰを受け渡す場合において、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０間におけるガラスプレートＰの受け渡し速度を向上させることが可能となる。 As described above, the substrate transport apparatus 1 according to the present embodiment includes the main conveyor 10 that transports the glass plate P in a single sheet, the branch conveyor 20 that branches horizontally with respect to the main conveyor 10, and the traveling direction of the glass plate P. And a plate delivery section 40 for delivering the glass plate P from the main conveyor 10 to the main conveyor 10 while rotating the glass plate P horizontally so that the orientation of the glass plate P does not change.
According to the substrate transport apparatus 1 and the substrate transport method according to the present embodiment, the branch conveyor from the main conveyor 10 while the glass plate P is horizontally rotated so that the direction of the glass plate P with respect to the traveling direction does not change. 20 or from the branch conveyor 20 to the main conveyor 10. Therefore, it is not necessary to stop the glass plate P on the main conveyor 10 or the branch conveyor 20 in order to match the direction of the glass plate P with respect to the traveling direction, and the delivery of the glass plate P can be performed at high speed.
Therefore, according to the substrate transport apparatus 1 and the substrate transport method according to the present embodiment, when the glass plate P is transferred between the main conveyor 10 and the branch conveyor 20 without changing the traveling direction of the glass plate P. It is possible to improve the delivery speed of the glass plate P between the main conveyor 10 and the branch conveyor 20.

また、本実施形態に係る基板搬送装置１においては、圧縮空気を噴出する各エア浮上ユニット１２を用いてメインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間で受け渡されるガラスプレートＰを下方から支持した。
このように、受け渡しの際にガラスプレートＰを下方から支持することによって、ガラスプレートＰが撓むことを抑止することが可能となる。
また、圧縮空気を用いてガラスプレートＰを浮上支持することによって、ガラスプレートＰが、摩擦抵抗が無いに等しい状態で、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間において受け渡される。このため、受け渡し速度を高速化した場合であっても、衝撃が加わることによるガラスプレートＰの損傷が生じない。 Moreover, in the board | substrate conveyance apparatus 1 which concerns on this embodiment, the glass plate P delivered between the main conveyor 10 and the branch conveyor 20 was supported from the downward direction using each air floating unit 12 which ejects compressed air.
Thus, it becomes possible to suppress that the glass plate P bends by supporting the glass plate P from below at the time of delivery.
In addition, by supporting the glass plate P by using the compressed air, the glass plate P is transferred between the main conveyor 10 and the branch conveyor 20 in a state where there is no frictional resistance. For this reason, even when the delivery speed is increased, the glass plate P is not damaged by the impact.

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。なお、本第２実施形態の説明において、上記第１実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the description of the second embodiment, the description of the same parts as in the first embodiment will be omitted or simplified.

図６は、本実施形態の基板搬送装置における、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２１との分岐部分の構成を示す図である。この図に示すように、本実施形態においては、メインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２１が、上記第１実施形態におけるエア浮上ユニット１２の替わりに、球状フリーローラ３００（支持手段）が複数配列されたフリーローラユニット２００を備えて構成されている。   FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of a branch portion between the main conveyor 10 and the branch conveyor 21 in the substrate transfer apparatus of the present embodiment. As shown in this figure, in this embodiment, the main conveyor 10 and the branch conveyor 21 are free from a plurality of spherical free rollers 300 (support means) arranged in place of the air floating unit 12 in the first embodiment. A roller unit 200 is provided.

このような構成を有する本実施形態の基板搬送装置によれば、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間でガラスプレートＰの受け渡しを行う際に、ガラスプレートＰが球状フリーローラ３００によって下方から支持される。
したがって、本実施形態の基板搬送装置によっても、上記第１実施形態の基板搬送装置１と同様に、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間でガラスプレートＰの受け渡しを行う際にガラスプレートＰが撓むことを抑止することができる。 According to the substrate transport apparatus of the present embodiment having such a configuration, the glass plate P is supported from below by the spherical free roller 300 when the glass plate P is transferred between the main conveyor 10 and the branch conveyor 20. Is done.
Therefore, also in the substrate transfer apparatus of the present embodiment, when the glass plate P is transferred between the main conveyor 10 and the branch conveyor 20 as in the case of the substrate transfer apparatus 1 of the first embodiment, the glass plate P Bending can be suppressed.

なお、上述した実施の形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ、又は動作手順等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。   It should be noted that the shapes, combinations, operation procedures, and the like of the constituent members shown in the above-described embodiments are merely examples, and various changes can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention.

例えば、上記実施形態においては、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０とが直角に配置される構成について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０とが異なる角度で配置される構成に適用することもできる。   For example, in the said embodiment, the structure by which the main conveyor 10 and the branch conveyor 20 are arrange | positioned at right angle was demonstrated. However, the present invention is not limited to this, and can be applied to a configuration in which the main conveyor 10 and the branch conveyor 20 are arranged at different angles.

また、上記実施形態においては、コンベヤ部１５が、不図示の昇降装置により下降することによって、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間においてガラスプレートＰを受け渡す場合に、ガラスプレートＰがコンベヤ部１５と接触することを防止することができる構成とした。しかしながら、本発明はこれに限るものではなく、コンベヤ部１５が下降する替わりに、エア浮上ユニット１２が上昇することによって、ガラスプレートＰとコンベヤ部１５とが接触することを防止しても構わない。この場合には、受け渡し側のコンベヤのエア浮上ユニット１２上面は、上昇された後のエア浮上ユニット１２の上面と面一となるように位置されている。   Moreover, in the said embodiment, when the conveyor part 15 is lowered | hung with the raising / lowering apparatus not shown, when passing the glass plate P between the main conveyor 10 and the branch conveyor 20, glass plate P is a conveyor part. 15 to prevent contact. However, the present invention is not limited to this, and the air levitation unit 12 may be raised instead of the conveyor portion 15 being lowered to prevent the glass plate P and the conveyor portion 15 from coming into contact with each other. . In this case, the upper surface of the air floating unit 12 of the conveyor on the delivery side is positioned so as to be flush with the upper surface of the air floating unit 12 after being lifted.

上記実施形態においては、ガラスプレートＰを枚葉搬送する場合について説明したが、これに限らない。例えば、半導体ウエハ等の薄い板状部材であればよい。   In the said embodiment, although the case where the glass plate P was conveyed single sheet was demonstrated, it is not restricted to this. For example, a thin plate member such as a semiconductor wafer may be used.

上述した実施形態においては、分岐コンベヤ２０の他端側に、薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置を配置・連結する場合について説明したが、これに限らない。分岐コンベヤ２０の下流側（他端側）に、更に分岐コンベヤ２０が連結される場合であってもよい。
また、薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置の他、ガラスプレートＰ等の基板を複数一時的に保存するストッカを配置してもよい。 In the above-described embodiment, the case where various processing apparatuses such as the thin film forming apparatus 5, the etching apparatus 6, and the test apparatus 7 are arranged and connected to the other end side of the branch conveyor 20 has been described, but the present invention is not limited thereto. The branch conveyor 20 may be further connected to the downstream side (the other end side) of the branch conveyor 20.
Further, in addition to various processing apparatuses such as the thin film forming apparatus 5, the etching apparatus 6, and the test apparatus 7, a stocker for temporarily storing a plurality of substrates such as a glass plate P may be disposed.

上述した実施形態においては、薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置に、ガラスプレートＰを搬入する分岐コンベヤ２１，２３，２５とガラスプレートＰを搬出する分岐コンベヤ２２，２４，２６を配置する場合について説明したが、これに限らない。一つの分岐コンベヤ２０が、ガラスプレートＰを搬入・搬出を行う場合であってもよい。   In the above-described embodiment, the branch conveyors 21, 23, 25 that carry the glass plate P into the various processing apparatuses such as the thin film forming device 5, the etching device 6, the test device 7, and the branch conveyor 22 that carries the glass plate P out, Although the case where 24 and 26 are arrange | positioned was demonstrated, it is not restricted to this. One branch conveyor 20 may carry the glass plate P in and out.

また、上記第１実施形態においては、圧縮空気を用いてガラスプレートＰを浮上支持する場合について説明したが、これに限らない。例えば、空間を伝播する振動波をガラスプレートＰに付与することによってガラスプレートＰを浮上支持させてもよい。   Moreover, although the said 1st Embodiment demonstrated the case where the glass plate P was floated and supported using compressed air, it is not restricted to this. For example, the glass plate P may be levitated and supported by applying a vibration wave propagating through the space to the glass plate P.

本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置１を示す模式図である。It is a mimetic diagram showing substrate conveyance device 1 concerning a 1st embodiment of the present invention. メインコンベヤ１０の詳細構成を示す図である。2 is a diagram illustrating a detailed configuration of a main conveyor 10. FIG. 分岐コンベヤ２０のプレート引渡部４０との分岐部分の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a branch part with the plate delivery part of the branch conveyor. 本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置１の動作（ガラスプレートＰをメインコンベヤ１０から分岐コンベヤ２０に引き込む場合）を示す図である。It is a figure which shows operation | movement (when the glass plate P is drawn in from the main conveyor 10 to the branch conveyor 20) of the board | substrate conveying apparatus 1 which concerns on 1st Embodiment of this invention. 基本発明の第１実施形態に係る板搬送装置１の動作（ガラスプレートＰを分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０に受け渡す場合）を示す図である。It is a figure which shows operation | movement (when transferring the glass plate P from the branch conveyor 20 to the main conveyor 10) of the board conveying apparatus 1 which concerns on 1st Embodiment of basic invention. 本発明の第２実施形態に係る基板搬送装置における、分岐コンベヤ２０のプレート引渡部４０との分岐部分の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the branch part with the plate delivery part 40 of the branch conveyor 20 in the board | substrate conveyance apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

Ｐ…ガラスプレート（基板）
１…基板搬送装置
１０…メインコンベヤ
１２…エア浮上ユニット（支持手段）
１５…コンベア部
２０…分岐コンベヤ
４０…プレート引渡部（基板受渡部）
４１…アーム部
４２…ヘッド部
４３…モータ（駆動部）
２００……フリーローラユニット（支持手段） P ... Glass plate (substrate)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate conveyance apparatus 10 ... Main conveyor 12 ... Air floating unit (support means)
15 ... conveyor unit 20 ... branch conveyor 40 ... plate delivery unit (substrate delivery unit)
41 ... Arm unit 42 ... Head unit 43 ... Motor (drive unit)
200 …… Free roller unit (support means)

Claims (6)

昇降可能であると共に上昇されたときに基板の下面に当接して前記基板を搬送するコンベヤ部を有し、前記基板を枚葉搬送するメインコンベヤと、
昇降可能であると共に上昇されたときに基板の下面に当接して前記基板を搬送するコンベヤ部を有し、前記メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤと、
前記基板の進行方向に対する向きが変化しないように前記基板を昇降させることなく水平に回動させながら、前記メインコンベヤから前記分岐コンベヤあるいは前記分岐コンベヤから前記メインコンベヤに前記基板の受け渡しを行う基板受渡部と、
を備え、
前記基板受渡部によって前記基板が回動されているときに前記メインコンベヤの前記コンベヤ部と前記分岐コンベヤのコンベヤ部とが下降されていることを特徴とする基板搬送装置。 A main conveyor that can move up and down and has a conveyor unit that contacts the lower surface of the substrate when it is raised and conveys the substrate;
A branch conveyor that can move up and down and has a conveyor section that contacts the lower surface of the substrate when it is raised and conveys the substrate, and branches horizontally with respect to the main conveyor;
Substrate receiving for transferring the substrate from the main conveyor to the branch conveyor or from the branch conveyor to the main conveyor while rotating the substrate horizontally without raising and lowering so that the direction of the substrate relative to the traveling direction does not change. Watanabe,
Equipped with a,
The substrate transfer apparatus , wherein the conveyor portion of the main conveyor and the conveyor portion of the branch conveyor are lowered when the substrate is being rotated by the substrate transfer portion. 前記基板受渡部は、
前記基板の外縁を把持するヘッド部と、
該ヘッド部を所定の回動軸を中心として水平に回動する駆動部と、
前記ヘッド部に一端が接続されるとともに前記駆動部に他端部が接続されるアーム部と、
を備えることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。 The substrate delivery section is
A head portion for gripping the outer edge of the substrate;
A drive unit that rotates the head unit horizontally around a predetermined rotation axis;
An arm unit having one end connected to the head unit and the other end connected to the drive unit;
The substrate transfer apparatus according to claim 1, further comprising: 前記基板受渡部による前記基板の受け渡しの間に前記基板を下方から支持する支持手段を備えることを特徴とする請求項１または２記載の基板搬送装置。   3. The substrate transfer apparatus according to claim 1, further comprising support means for supporting the substrate from below while the substrate is transferred by the substrate transfer unit. 前記支持手段は、圧縮空気を用いて前記基板を浮上支持することを特徴とする請求項３記載の基板搬送装置。   The substrate transport apparatus according to claim 3, wherein the support means floats and supports the substrate using compressed air. 基板をメインコンベヤにより枚葉搬送し、
前記メインコンベヤ上の前記基板を、前記メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤに前記基板の進行方向に対する向きが変化しないようかつ昇降させることなく水平に回動させながら受け渡しを行い、
前記メインコンベヤに設けられ、昇降可能であると共に上昇されたときに基板の下面に当接して前記基板を搬送するコンベヤ部と、前記分岐コンベヤに設けられ、昇降可能であると共に上昇されたときに基板の下面に当接して前記基板を搬送するコンベヤ部と、が下降されているときに前記基板を回動させる
ことを特徴とする基板搬送方法。 A board is conveyed by a main conveyor.
Wherein the substrate on the main conveyor, have lines passing while horizontally rotating without orientation unchanged and the lift is with respect to the traveling direction of the said substrate in the branch conveyor that horizontally branch to said main conveyor,
A conveyor unit that is provided on the main conveyor and that can be raised and lowered and that contacts the lower surface of the substrate when it is raised and conveys the substrate, and a conveyor unit that is provided on the branch conveyor and can be elevated and raised A substrate transfer method comprising: rotating a substrate when a conveyor unit that contacts the lower surface of the substrate and transports the substrate is lowered . メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤの基板を、前記メインコンベヤに前記基板の進行方向に対する向きが変化しないようかつ昇降させることなく水平に回動させながら受け渡しを行い、
前記メインコンベヤに設けられ、昇降可能であると共に上昇されたときに基板の下面に当接して前記基板を搬送するコンベヤ部と、前記分岐コンベヤに設けられ、昇降可能であると共に上昇されたときに基板の下面に当接して前記基板を搬送するコンベヤ部と、が下降されているときに前記基板を回動させることを特徴とする基板搬送方法。 The substrate of branch conveyor that horizontally branches to the main conveyor, have lines passing while horizontally rotating without the main conveyor advancing direction and so that the direction does not change with respect to the lifting of the substrate,
A conveyor unit that is provided on the main conveyor and that can be raised and lowered and that contacts the lower surface of the substrate when it is raised and conveys the substrate, and a conveyor unit that is provided on the branch conveyor and can be elevated and raised A substrate transfer method comprising: rotating a substrate when a conveyor unit that contacts the lower surface of the substrate and transports the substrate is lowered .
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