WO2005090211A1 - Transfer device with alignment function - Google Patents

Transfer device with alignment function Download PDF

Info

Publication number
WO2005090211A1
WO2005090211A1 PCT/JP2004/003611 JP2004003611W WO2005090211A1 WO 2005090211 A1 WO2005090211 A1 WO 2005090211A1 JP 2004003611 W JP2004003611 W JP 2004003611W WO 2005090211 A1 WO2005090211 A1 WO 2005090211A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
flat panel
roller
contact support
wire
transfer
Prior art date
Application number
PCT/JP2004/003611
Other languages
French (fr)
Japanese (ja)
Inventor
Ryoji Mori
Original Assignee
Daiichi Institution Industry Co. Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daiichi Institution Industry Co. Ltd. filed Critical Daiichi Institution Industry Co. Ltd.
Priority to PCT/JP2004/003611 priority Critical patent/WO2005090211A1/en
Publication of WO2005090211A1 publication Critical patent/WO2005090211A1/en

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/062—Easels, stands or shelves, e.g. castor-shelves, supporting means on vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67721—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrates to be conveyed not being semiconductor wafers or large planar substrates, e.g. chips, lead frames
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Abstract

An alignment, a transfer method, and a transfer device with alignment function for a flat panel capable of performing alignment and minimizing the effects of contamination and static electricity on the flat panel, the transfer device comprising a conveyor apparatus for carrying the flat panel and a wire cassette vertically lifting so that the wire thereof crosses the carrying face of the conveyor apparatus. The flat panel stored in the wire cassette is received by a non-contact support part, and the floated flat panel is guided by roller devices with guide flange parts of the conveyor apparatus. After the flat panel is shifted to one of these roller devices by the other roller device, the roller devices on both sides are raised and driven.

Description

ァライメント機能付き移載装置 Transfer device with alignment function
技術分野 Technical field
本発明は、 液晶製造工場等において用いられる、 ガラス基板等のフラッ 明  The present invention relates to a method for manufacturing a glass substrate or the like,
トパネルのァライメント機能付き移載装置並びにフラットパネルのァラ ィメント及ぴ移載方法に関する。  The present invention relates to a transfer device having a top panel alignment function and a flat panel alignment and transfer method.
書 背景技術  Background art
液晶製造工場等においては、ガラス基板の搬送ラインの途中にステーシ ョン（バッファ）を設けて、 搬送処理の調整等を行う場合がある。  In a liquid crystal manufacturing plant, a station (buffer) may be provided in the middle of a glass substrate transfer line to adjust a transfer process.
例えば、 処理装置前のローダ 'アンローダにおいて、 処理装置の手前に 複数枚のガラス基板を収容できるカセッ トをバッファとして、 ロボットに より一枚ずつ取出し、 処理装置側に受け渡している。  For example, in a loader's unloader in front of a processing device, a cassette that can accommodate a plurality of glass substrates is used as a buffer in front of the processing device, and the robot takes out one by one by a robot and transfers it to the processing device side.
しかし.， ガラス基板の大型化と共に、 次のような克服すべき課題が発生 している。  However, with the increase in the size of glass substrates, the following issues have to be overcome.
その 1つは、 ガラス基板の大型化に対応させるため、 カセットとロボッ トを大型化する必要があるが、 そのためロボットの設置面積（フットプリ ント）のみならず、 ロボットの上下昇降ストロークが増大化しつつあるこ と、  One is to increase the size of the cassette and the robot in order to cope with the increase in the size of the glass substrate. However, as well as the robot installation area (footprint), the vertical movement of the robot has been increasing. That there is
その 2つは、ガラス基板の大型化に対応させるためにワイヤカセットが 用いられる場合があるが、 このワイヤカセットではロボットによるガラス 基板の出入れが出来ないこと、  The two are that a wire cassette is sometimes used to cope with an increase in the size of the glass substrate.
その 3つは、 このワイヤカセットに収容されているガラス基板の収納位 置にバラツキがあり、処理装置にかける前にァライメントを行うことが望 ましいこと、 In the three cases, the storage positions of the glass substrates housed in this wire cassette vary, and it is desirable to perform alignment before placing them in the processing equipment. Good thing,
その 4つは、 ガラス基板の出入れの際に ¾；、 ガラス基板を支持する支持 部材による汚染や、 静電気の影響を避ける必要があること等である。  Four of them are that when the glass substrate is moved in and out, it is necessary to avoid contamination by the support members that support the glass substrate and the effects of static electricity.
そこで、 本願発明は上記課題を解決するために考案されたもので、 ガラ ス基板の大型化に対応させるためにワイヤカセットが用いられる場合に、 移載装置においてフラットパネルを非接触でァライメントすることがで き、フラットパネルへの汚染や静電気の影響を極力さけることができるァ ライメント及び移載方法並びにァライメン ト機能付き移載装置を提供す ることを目的とする。 発明の開示  In view of the above, the present invention has been devised to solve the above-described problems. In a case where a wire cassette is used to cope with an increase in the size of a glass substrate, non-contact alignment of a flat panel in a transfer device is required. It is an object of the present invention to provide an alignment, a transfer method, and a transfer device with an alignment function that can minimize the effects of contamination and static electricity on a flat panel. Disclosure of the invention
上記課題を解決するため、本願発明はフラットパネルを搬送するコンペ ァ装置と、 このコンベア装置の搬送面に対し、 そのワイヤが交差するよう に上下方向に昇降するワイヤカセットからなる移載装置を用い、  In order to solve the above problems, the present invention uses a conveyor device that transports a flat panel, and a transfer device that includes a wire cassette that moves up and down in a vertical direction so that the wires cross the transport surface of the conveyor device. ,
前記ワイヤカセットに収容され、 且つ、 下降するフラッ トパネルを、 前 記コンベア装置の非接触支持部で受けると共に、非接触支持部上で浮上し ている前記フラットパネルを、前記コンベア装置のローラー装置によりガ ィ ドし、 ローラー装置の内の何れか一方のローラー装置で、 前記フラット パネルを他方のローラ一装置側に寄せた後、 前記ローラー装置を上昇させ て、 前記フラットパネルの端部を受けた後、 ローラー装置を駆動させるこ とを特徴とするァライメント及び移載方法とした。  The flat panel, which is accommodated in the wire cassette and descends, is received by the non-contact support portion of the conveyor device, and the flat panel floating on the non-contact support portion is moved by the roller device of the conveyor device. After guiding the flat panel to one roller device side with one of the roller devices, the roller device was raised to receive the end of the flat panel. Thereafter, the alignment and transfer method are characterized by driving the roller device.
上記課題を解決するため、上記発明に係る前記ローラー装置を上昇させ て前記フラットパネルの端部を受ける手順に代えて、前記コンベア装置の 非接触支持部を上下降させて、前記ローラー装置によりフラットパネルの 端部を受けた後、 ローラー装置を駆動させることを特徴とするァライメン ト及び移載方法でもよい。 上記課題を解決するため、 本願発明は、 フラットパネルを搬送するコン ベア装置と、 このコンベア装置の搬送面に対し、 そのワイヤが交差するよ うに上下方向に昇降するワイヤカセットを備えると共に、 In order to solve the above problem, instead of the procedure of raising the roller device according to the present invention and receiving the end of the flat panel, the non-contact support portion of the conveyor device is lowered and the flat device is flattened by the roller device. The alignment and transfer method may be characterized by driving the roller device after receiving the end of the panel. In order to solve the above problems, the present invention includes a conveyor device that transports a flat panel, and a wire cassette that moves up and down in a vertical direction so that the wire crosses a transport surface of the conveyor device,
前記コンベア装置は、前記ワイヤカセッ トに収容されるフラッ トパネル が下降する毎に、そのフラットパネルを非接触で支持す'る非接触支持部と、 前記搬送面の両サイ ドに配置され、 且つ、 前記非接触支持部により支持さ れるフラットパネルをガイ ドするローラー装置と、 このローラー装置を昇 降させる昇降装置と、少なくとも何れか一方のローラー装置を水平方向に 移動させる水平移動装置と、を設けたことを特徴とするァライメント機能 付き移載装置とした。  Each time the flat panel accommodated in the wire cassette descends, the conveyor device is disposed on both sides of the transport surface, and a non-contact support portion that supports the flat panel in a non-contact manner, and A roller device for guiding a flat panel supported by the non-contact support portion, an elevating device for elevating the roller device, and a horizontal moving device for moving at least one of the roller devices in the horizontal direction are provided. A transfer device with an alignment function.
上記課題を解決するため、上記発明に係るローラー装置を昇降させる昇 降装置に代えて、 非接触支持部を昇降させる昇降装置を用いてもよい。 図面の簡単な説明  In order to solve the above-mentioned problems, a lifting device that raises and lowers the non-contact support portion may be used instead of the lifting device that raises and lowers the roller device according to the invention. Brief Description of Drawings
第 1図はァライメント機能付き移載装置の斜視図、第 2図は同移載装置 の分解斜視図、第 3図は同移載装置に用いられている浮上ュニットの構成 例図、 第 4図は同移載装置のコンベア装置の要部斜視図、 第 5図は同移載 装置の動作概要図、第 6図は同移載装置に用いられている浮上ュニットの 静電気データを示すグラフである。第 7図は別例に係る移載装置の動作概 要図である。  Fig. 1 is a perspective view of a transfer device with an alignment function, Fig. 2 is an exploded perspective view of the transfer device, Fig. 3 is a configuration example of a floating unit used in the transfer device, Fig. 4 Is a perspective view of the main part of the conveyor device of the transfer device, FIG. 5 is a schematic diagram of the operation of the transfer device, and FIG. 6 is a graph showing static electricity data of a floating unit used in the transfer device. . FIG. 7 is a schematic diagram of the operation of a transfer device according to another example.
発明を実施するための最良の形態 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
第 1実施形態に係るァライメント機能付き移載装置（以下、 単に移载装 置ともレ、う） 1は、 第 1図及ぴ第 2図に示したように、 フラットパネル G を搬送する搬送面 2 0を備えたコンベア装置 2と、 この搬送面 2 0に対し、 そのワイヤ 3 1が交差するように上下方向に昇降するワイヤカセッ ト 3 からなる。 前記コンベア装置 2は、ワイヤカセット 3のワイヤ 3 1が上下方向に昇 降できるように、 ワイヤ 3 1の取付位置及び昇降位置に対応させて、 複数 のコンベアュ-ット 2 Aを所定間隔毎に、 且つ、搬送面 2 0の両サイ ドに 配置されている。 The transfer device with an alignment function according to the first embodiment (hereinafter simply referred to as transfer device) 1 has a transfer surface for transferring the flat panel G as shown in FIGS. The conveyor device 2 includes a wire cassette 3 that moves up and down in the vertical direction so that the wire 31 intersects the transfer surface 20. The conveyor device 2 moves a plurality of conveyor cutouts 2A at predetermined intervals corresponding to the mounting position and the elevating position of the wire 31 so that the wire 31 of the wire cassette 3 can be moved up and down. , And are arranged on both sides of the transfer surface 20.
各コンベアュニット 2 Aは、それぞれ前記ワイヤカセット 3にフラット パネル Gを出入れする毎に非接触で支持する非接触支持部としての浮上 ュニット 2 1と、前記浮上ュュット 2 1により浮上してレヽるフラットパネ ル Gをガイ ドするローラー装置 2 2と、 このローラー装置 2 2を昇降させ る昇降装置 2 3とを備えている。 なお、 搬送面 2 0の両サイ ドの何れか一 方のローラー装置 2 2にはローラーを水平方向に移動させる水平移動装 置 2 2 4が設けられている。  Each conveyor unit 2A is a floating unit 21 serving as a non-contact support portion for supporting the flat panel G in a non-contact manner each time the flat panel G is put in and out of the wire cassette 3, and a flat unit floating by the floating unit 21. A roller device 22 for guiding the panel G and a lifting device 23 for lifting and lowering the roller device 22 are provided. The roller device 22 on either side of the transfer surface 20 is provided with a horizontal movement device 224 for moving the roller in the horizontal direction.
浮上ュニット 2 1は、 第 3図に示したようにチャンバ一 2 1 0と、 チヤ ンバー 2 1 0の上面に固定された板状体 2 1 1と、 この板状体 2 1 1に設 けられた孔 2 1 1 aに固着された多孔質体 2 1 2と、チャンバ一 2 1 0内 にエアを送り込むホース手段 2 1 3からなる。  As shown in FIG. 3, the floating unit 21 is attached to the chamber 210, a plate 21 fixed to the upper surface of the chamber 210, and the plate 21. It comprises a porous body 2 12 fixed to the hole 2 11 a provided and a hose means 2 13 for sending air into the chamber 210.
前記板状体 2 1 1は、 例えば横が略 3 0 0 m m , 縦が略 8 0 O m m及び 厚さが略 4 m m程度のアルミ板で成形され、孔 2 1 2 aは所定間隔毎に前 記チャンバ一 2 1 0内に連通するように形成されている。 この孔 2 1 2 a には前記多孔質体 2 1 2を取付けるための段差部 2 1 2 bが形成されて いる。 なお、 板状体 2 1 1の表面の平面度は、 精度のょレヽものが望ましい 多孔質体 2 1 2は、 その形成された気孔により表面 2 1 2 cからエアを 細かく分散させて噴出させるもので、所定の気孔率を具備するものであれ ば、 その材質は問われない。  The plate-like body 211 is formed of, for example, an aluminum plate having a width of about 300 mm, a length of about 80 Omm and a thickness of about 4 mm, and the holes 211a are formed at predetermined intervals. The chamber is formed so as to communicate with the inside of the chamber 210. In this hole 2 12a, a step 2b for attaching the porous body 2 12 is formed. The flatness of the surface of the plate-like body 211 is desirably accurate. The porous body 212 is finely dispersed and ejected from the surface 211c by the formed pores. Any material can be used as long as it has a predetermined porosity.
例えばセラミック、 ガラス、 合成樹脂又は金属を素材とするもので、 そ の形状は、 略円盤状に形成されている。 この形状に限定されるものでもな く例えば四角形でもよいが、 略円盤状に成形することで、 割れ難く強固に 成形できる。 For example, it is made of ceramic, glass, synthetic resin, or metal, and has a substantially disk shape. The shape is not limited to this, and may be, for example, a square shape. Can be molded.
かかる多孔質体 2 1 2は、前記板状体 2 1 1の孔 2 1 2 aの段差部 2 1 2 bに係着され、その表面 2 1 2 cが前記板状体 2 1 1の表面に対し略同 一平面を形成するように固着される。  The porous body 2 1 2 is engaged with the step 2 2 b of the hole 2 1 2 a of the plate 2 1 1, and the surface 2 1 2 c is formed on the surface of the plate 2 2 1. Are fixed to form substantially the same plane.
このような浮上ュニット 2 1では、流体として例えば圧縮されたエアが 供給手段 （図示せず） から供給されると、 そのエアが前記多孑し質体 2 1 2 の表面 2 1 2 cから放出される。そして前記搬送面 2 0上にガラス基板等 のフラットパネル Gを配置すると、そのフラットパネル Gと前記板状体 2 1 1間にエアが滞留し気体膜が形成される。  In such a floating unit 21, for example, when compressed air is supplied as a fluid from a supply means (not shown), the air is released from the surface 211 c of the polysodium body 212. Is done. When a flat panel G such as a glass substrate is placed on the transfer surface 20, air stays between the flat panel G and the plate-like body 211 to form a gas film.
よってフラッ トパネル Gが浮上され、非接触にてそのフラッ トパネル G をァライメント可能な状態にすることができる。  Therefore, the flat panel G is levitated, and the flat panel G can be brought into a state in which it can be aligned without contact.
なお、 例えば多孔質体 2 1 2の表面 2 1 2 cが、 前記板状体 2 1 1の表 面に対し 0 . 1〜0 . 2 m m程度低くなるように配置してもてよい。  In addition, for example, the surface 2 12 c of the porous body 2 12 may be arranged so as to be about 0.1 to 0.2 mm lower than the surface of the plate-shaped body 2 11.
これは、 多孔質体表面 2 1 2 cが、 前記フラットパネル Gを擦ること がないようにするためであり、 また、 多孔質体 2 1 2の表面 2 1 2 cが 前記板状体 2 1 1の表面より上方に突出すると、 前記フラッ トパネル G を浮上させるための気体膜の容量が膨らむこととなり、 エア消費量を浪 費させることになるからである。  This is to prevent the porous body surface 211c from rubbing the flat panel G, and the surface 211c of the porous body 212 to the plate-like body 21c. If it protrudes above the surface of 1, the capacity of the gas film for floating the flat panel G will be increased, and the air consumption will be wasted.
即ち、 前記気体膜の体積は、 フラッ トパネル Gの裏面の面積と、 浮上高 さと、 フラットパネル Gの裏面の面積に対応する前記板状体 2 1 1の表面 の面積との積の値であるが、前記多孔質体表面 2 1 2 cが前言己板状体 2 1 1の表面より上方に突出すると、前記板状体 2 1 1の表面からの前記多孔 質体 2 1 2の上方突出高さ分の体積の気体膜が浪費されるこ とになる。 ローラー装置 2 2は、図 4に示したように上部取付台 2 2 1に対し出没 可能に取付けられた取付枠 2 2 2に配置され、上部取付台 2 2 1は下部取 付台 2 2 0の昇降装置 2 3により、 上下方向に昇降可能になっている。 ローラー装置 2 2は取付枠 2 2 2に収納されたモータ等の駆動源によ り駆動される駆動ローラー 2 2 3とフリーローラー 2 2 4からなる。 That is, the volume of the gas film is a product of the area of the back surface of the flat panel G, the flying height, and the area of the surface of the plate-like body 211 corresponding to the area of the back surface of the flat panel G. However, when the porous body surface 211c protrudes above the surface of the plate-like body 211, the height of the porous body 211 protruding from the surface of the plate-like body 211 is increased. A corresponding volume of gas film is wasted. As shown in FIG. 4, the roller device 22 is disposed on a mounting frame 22 that is removably mounted on the upper mounting base 221, and the upper mounting base 22 is a lower mounting base 22. The elevating device 23 can move up and down. The roller device 22 includes a driving roller 22 3 driven by a driving source such as a motor housed in the mounting frame 22 2 and a free roller 22 4.
前記 2連のローラー 2 2 3、 2 2 4は、 それぞれガイ ド鍔部 2 2 5 とフ ラットパネル Gの端部を載せて搬送する搬送部 2 2 6を備えている。 この ガイ ド鍔部 2 2 5は、 前記搬送部 2 2 6と同心円状に形成され、 フラ ット パネル Gの端部の外縁をガイ ドするものである。  Each of the two rollers 22 3 and 22 4 is provided with a guide flange portion 22 5 and a transport portion 22 6 for transporting an end of the flat panel G placed thereon. The guide flange portion 225 is formed concentrically with the transfer portion 226 and guides the outer edge of the end of the flat panel G.
前記昇降装置 2 3は、例えば油圧シリンダ、 エアシリンダ又はポーノレネ ジ等で前記上部取付台 2 2 1を昇降させるようになっている。  The elevating device 23 raises and lowers the upper mounting base 22 1 using, for example, a hydraulic cylinder, an air cylinder, or a pawn wrench.
前記水平移動装置 2 2 4は、前記取付枠 2 2 2を水平方向に移動させて、 フラットパネル Gのァライメントを行うもので、 油圧シリンダ、 エアシリ ンダ又はポールネジ等で構成されている。  The horizontal moving device 224 moves the mounting frame 222 in the horizontal direction to perform the alignment of the flat panel G, and includes a hydraulic cylinder, an air cylinder, a pole screw, or the like.
前記供給手段は、 例えばコンプレッサから供給されるエア （クリーン度 クラス 1 0程度） を供給するもので、 前記ホース手段 2 1 3に接続されて いる。  The supply means supplies, for example, air (cleanliness class: about 10) supplied from a compressor, and is connected to the hose means 21.
前記ワイヤカセッ卜 3は、 図 2に示したように、 外枠 3 0と、 外枠 3 0 の上下方向に所定間隔、 例えば略 3 c m間隔で張設されたワイヤ 3 1 と、 昇降装置 3 2からなる。  As shown in FIG. 2, the wire cassette 3 includes an outer frame 30, wires 31 stretched at predetermined intervals in the vertical direction of the outer frame 30, for example, at intervals of approximately 3 cm, and a lifting device 3 2. Consists of
このワイヤカセット 3に対し、 コンベアュニット 2 Aはワイヤカセ ット Conveyor unit 2A is a wire cassette for this wire cassette 3.
3の外枠 3 0の範囲内で、 且つ、 そのワイヤ 3 1が張られている方向に間 隔を空けて複数のュニット 2 Aで搬送面 2 0を形成するように配置され ている。 3 are arranged so as to form a transport surface 20 by a plurality of units 2A at intervals in the direction in which the wire 31 is stretched within the outer frame 30.
次に図 5に基いて、ァライメント機能付き移載装置 1の動作例を説明す る  Next, an operation example of the transfer device 1 with the alignment function will be described with reference to FIG.
まず、前記ローラー装置 2 2と前記浮上ュニット 2 1の初期位置を説明 すると、 ローラー装置 2 2の搬送部 2 2 6の上端は、 前記板状体 2 1 1の 表面に対して数ミリメートルの高さに位置している。 この状態から、ワイヤカセット 3からフラットパネル Gを処理装置側に 受け渡す場合の動作例について説明する。 First, the initial positions of the roller unit 22 and the floating unit 21 will be described. The upper end of the transfer unit 226 of the roller unit 22 has a height of several millimeters with respect to the surface of the plate-shaped body 21. It is located at. An operation example in the case where the flat panel G is transferred from the wire cassette 3 to the processing device from this state will be described.
前記ワイヤカセット 3にはワイヤ 3 1毎にフラットパネル Gが収容さ れており、フラットパネル Gを処理装置側に受け渡す毎にワイヤカセット 3が下降するようになっている。  The wire cassette 3 accommodates a flat panel G for each wire 31, and the wire cassette 3 descends every time the flat panel G is transferred to the processing device side.
そしてワイヤカセット 3が下降すると、その時点で前記浮上ュニッ ト 2 1に供給手段からエアが供給されると共に、 前記昇降装置 2 3により 、 口 一ラー装置 2 2が下降して、浮上ュニッ ト 2 1がフラットパネル Gを非接 触で受ける（第 5図（A)→( B ) )。  When the wire cassette 3 is lowered, air is supplied from the supply means to the floating unit 21 at that time, and the mouth unit 22 is lowered by the elevating device 23 to thereby raise the floating unit 2. 1 receives the flat panel G without touching it (Fig. 5 (A) → (B)).
この時、 浮上している前記フラットパネル Gは、前記ローラー装 ft 2 2 の各ローラー 2 2 3、 2 2 4のガイ ド鍔部 2 2 5でガイ ドされ、 そのガイ ド部 2 2 5間に位置しているので、 前記水平移動装置 2 2 4により、 何れ か一方のローラー装置 2 2を他方のローラー装置 2 2側に寄せて、前記フ ラットパネル Gの横方向の位置出しを行う（第 5図（B ) )。  At this time, the floating flat panel G is guided by the guide flanges 22 of the rollers 22 3 and 22 4 of the roller device ft 22, and the gap between the guides 2 25. , One of the roller devices 22 is moved toward the other roller device 22 by the horizontal movement device 224, and the flat panel G is positioned in the lateral direction ( (Fig. 5 (B)).
次に、 前記昇降装置 2 3により、 ローラー装置 2 2を上昇させて、 その 初期位置に戻し、フラットパネル Gの端部をローラー装置 2 2の搬逸部 2 2 6に載せて搬送する（第 5図（C ) )。  Next, the roller device 22 is raised by the elevating device 23 and returned to its initial position, and the end of the flat panel G is placed on the carry-out portion 226 of the roller device 22 and transported (see FIG. 5 (C)).
一方、 フラットパネル Gをワイヤカセット 3に積層する場合には、 昇降 装置 3 2によりワイヤカセッ ト 3の最上位のワイヤ 3 1を前記搬 面 2 0に略等しい位置まで下降させ、 その最上位のワイヤ 3 1から順次、 下位 のワイヤ 3 1に、 ワイヤカセット 3を上昇させつつフラットパネル Oを積 み込めばよい。  On the other hand, when the flat panel G is stacked on the wire cassette 3, the elevating device 32 lowers the uppermost wire 31 of the wire cassette 3 to a position substantially equal to the carrying surface 20 and the uppermost wire The flat panel O may be loaded into the lower wires 31 sequentially from 31 while raising the wire cassette 3.
このフラットパネル Gの積込の際にも、前記浮上ュニット 2 1を 用す ることで、 非接触でフラットパネル Gを積込むことができる。  When the flat panel G is loaded, the flat panel G can be loaded in a non-contact manner by using the floating unit 21.
以上の移載装置によれば、 次のような効果を奏する。  According to the transfer device described above, the following effects can be obtained.
第 1に、 ローラー 2 2 3、 2 2 4が接するフラットパネル Gの端咅 は、 最終製品で切り捨てられるが、端部以外のフラットパネル Gにはローラー 2 2 3、 2 2 4が接することがなく、 静電気による内面回路へのダメージ を回避することができる。 First, the terminal of the flat panel G where the rollers 2 2 3 and 2 2 4 come into contact is Although cut off in the final product, the rollers 222, 224 do not come into contact with the flat panel G other than at the end, so that damage to the internal circuit due to static electricity can be avoided.
このことは図 6に示した実験結果のグラフによっても明確に裏付けら れる。 図 6のグラフはローラーの接触領域と、 ガラス基板の中央の非接触 領域との帯電量を対比可能にプロットされており、 このグラフから明らか なように、 時間の経過と共に、 ローラーの接触領域では帯電量が増加し、 一方、ガラス基板の中央の非接触領域では帯電量が零に略等しい値がフロ ットされている。  This is clearly supported by the experimental results shown in Fig. 6. The graph in Fig. 6 plots the amount of charge between the contact area of the roller and the non-contact area at the center of the glass substrate so that it can be compared. On the other hand, the value of the charge is substantially equal to zero in the non-contact area at the center of the glass substrate.
第 2に、 ワイヤカセット 3の収納位置にバラツキがあり、 しかも浮上し ている不安定な前記フラットパネル Gであっても、前記ローラー装置 2 2 のガイド鍔部 2 2 5によりガイ ドすることができる。  Second, even if there is a variation in the storage position of the wire cassette 3 and even the unstable flat panel G which is floating, it can be guided by the guide flange portion 22 of the roller device 22. it can.
第 3に、ガラス基板の収納位置のバラツキに対応させるための方法とし て、 ローラー装置のローラー幅を大きくすることも考えられるが、 本装置 では、水平方向に移動可能なローラー装置 2 2のガイ ド鍔部 2 2 5の作用 により、 ローラー装置 2 2のローラー幅を大きくする必要もない。 よって 本装置では、 フラッ トパネル Gに大きなローラー痕をつけることはない。 第 4に、 フラットパネル Gに対する横方向の位置出しを行った後に、 枚 葉コンベアを介して、 ロボットに受け渡すことができる、 良口ち、 ァライメ ントを移載装置で行えるため、 コストを抑えることができる。  Third, as a method for coping with the variation of the storage position of the glass substrate, it is conceivable to increase the roller width of the roller device. However, in this device, the guide of the roller device 22 that can be moved in the horizontal direction is considered. Due to the action of the collar portion 222, it is not necessary to increase the roller width of the roller device 22. Therefore, in this device, no large roller mark is formed on the flat panel G. Fourth, after positioning in the horizontal direction with respect to the flat panel G, it can be transferred to the robot via the single-wafer conveyor. be able to.
第 5に、 本装置では、 ロボットは処理装置の高さに略等しい枚葉コンペ ァを介して、 ァライメント後のフラットパネル Gを受取るので、 処理装置 にフラットパネル Gを仕掛ける場合に、 ロボットの上下昇降ストロークが 増大化することはない。  Fifth, in this system, the robot receives the aligned flat panel G via a single-wafer conveyer approximately equal to the height of the processing unit. Therefore, when mounting the flat panel G on the processing unit, the robot moves up and down. The lifting stroke does not increase.
上記実施形態では、 ローラー装置 2 2を用いたが、 静電気発生の防止の 観点からベルトコンベア方式でもよい。 浮上対象物としてのフラットパネル Gは、液晶ディスプレイ （L CD) , プラズマディスプレイ (PDP) ，フィールドェミッションディスプレイ (F ED) ，電界発光ディスプレイ （E L) 等のフラッ トパネルディスプ レイ用のフラットパネルを想定している。 なお、 これらパネノレにはガラス 基板、 プラスチック等の合成樹脂基板が含まれる。 In the above embodiment, the roller device 22 is used, but a belt conveyor system may be used from the viewpoint of preventing generation of static electricity. The flat panel G as the object to be levitated is assumed to be a flat panel for flat panel displays such as liquid crystal display (LCD), plasma display (PDP), field emission display (FED), and electroluminescent display (EL). are doing. These panels include glass substrates and synthetic resin substrates such as plastics.
次ぎに、 図 7に基づき、 第 2実施形態の移載装置を説明する。  Next, a transfer device according to a second embodiment will be described with reference to FIG.
この実施形態では、第 1実施形態の移载装置の浮上ュ-ッ ト 2 1を昇降 させる点に特徴がある。その他の構成は第 1実施形態と同様であるので詳 細な構成は省略する。  This embodiment is characterized in that the levitation cut 21 of the transfer device of the first embodiment is raised and lowered. The other configuration is the same as that of the first embodiment, and thus the detailed configuration is omitted.
即ち、 図 7 (A)に示したように、 前記浮上ュニット 2 1に界降装置 2 1 1を設け、 ワイヤカセット 3が下降すると、 その時点で前記浮上ュ-ッ ト 2 1を上昇させつつ供給手段からエアを供給し、その浮上ュニット 2 1に よってフラットパネル Gを非接触で受ける（第 7図（A))。  That is, as shown in FIG. 7 (A), the lifting unit 21 is provided with a descent unit 211, and when the wire cassette 3 is lowered, the lifting unit 21 is raised at that point. Air is supplied from the supply means, and the flat panel G is received by the floating unit 21 in a non-contact manner (FIG. 7 (A)).
この時、 浮上している前記フラットパネル Gは、 前記ローラー装置 2 2 の各ローラー 22 3、 2 24のガイ ド鍔部 2 25でガイ ドされ、 そのガイ ド部 2 25間に位置しているので、 ローラー装置 2 2の何れか一方を他方 のローラー装置 22側に寄せて、前記フラットパネル Gの横方向の位置出 しを行う（第 7図（B))。  At this time, the floating flat panel G is guided by guide flanges 225 of the rollers 223 and 224 of the roller device 22 and is located between the guides 225. Therefore, one of the roller devices 22 is moved toward the other roller device 22, and the flat panel G is exposed in the horizontal direction (FIG. 7 (B)).
次に前記浮上ュニット 2 1を下降駆動して、フラットパネノレ Gの端部を ローラー装置 22の搬送部 22 6に載せて、 搬送する（第 7図（C))。 以上の実施形態においても、第 1実施形態と略同様な作用効果を奏する ことができる。  Next, the floating unit 21 is driven downward, and the end of the flat panel G is placed on the transport section 226 of the roller device 22 and transported (FIG. 7 (C)). Also in the above embodiment, substantially the same operation and effect as in the first embodiment can be obtained.

Claims

請 求 の 範 囲 The scope of the claims
1 . フラットパネルを搬送するコンベア装置と、 このコンベア装置の搬 送面に対し、そのワイヤが交差するように上下方向に昇降するワイヤカセ ットからなる移載装置を用い、 1. Using a conveyor device that transports the flat panel and a transfer device that consists of a wire cassette that moves up and down in the vertical direction so that the wires intersect with the transport surface of this conveyor device,
前記ワイヤカセットに収容され、 且つ、 下降するフラッ トパネルを、 非 接触支持部で受けると共に、その非接触支持部により浮上している前記フ ラットパネルを、 前記コンベア装置のローラー装置であって、 ガイ ド鍔部 を備え、 且つ、 前記搬送面の両サイ ドに配置されたローラー装置によりガ ィ ドし、  The flat panel, which is received in the wire cassette and descends, is received by the non-contact support section, and the flat panel floating by the non-contact support section is provided by the roller device of the conveyor device. And a guide device provided with roller units disposed on both sides of the transfer surface,
ローラー装置の内の何れか一方のローラー装置で、 前記フラットパネル を他方のローラー装置側に寄せた後、両サイ ドのローラー装置を上昇させ、 ローラー装置を駆動させることを特徴とするァライメント及ぴ移載方法。  An alignment, wherein one of the roller devices moves the flat panel toward the other roller device, and then raises the roller devices on both sides to drive the roller device. Transfer method.
2 . フラットパネルを搬送するコンベア装置と、 このコンベア装置の搬 送面に対し、そのワイヤが交差するように上下方向に昇降するワイヤカセ ットからなる移載装置を用い、 2. Using a conveyor device that transports the flat panel, and a transfer device that consists of a wire cassette that moves up and down in the vertical direction so that the wires cross the transport surface of the conveyor device,
前記ワイヤカセッ トに収容され、 且つ、 下降するフラットパネルを、 非 接触支持部で受けると共に、その非接触支持部により浮上している前記フ ラットパネルを、 前記コンベア装置のローラー装置であって、 ガイ ド鍔部 を備え、 且つ、 前記搬送面の両サイ ドに配置されたローラー装置によりガ ィ ドし、  The flat panel accommodated in the wire cassette and descending is received by a non-contact support section, and the flat panel floating by the non-contact support section is a roller device of the conveyor device, And a guide device provided with roller units disposed on both sides of the transfer surface,
ローラー装置の内の何れか一方のローラー装置で、 前記フラットパネル を他方のローラー装置側に寄せた後、非接触支持部を下降させローラー装 置を駆動させることを特徴とするァラィメント及び移載方法。 An alignment and transfer method, wherein the flat panel is moved to the other roller device side by one of the roller devices, and then the non-contact support portion is lowered to drive the roller device. .
3 . フラットパネルを搬送するコンベア装置と、 このコンベア装置の 搬送面に対し、そのワイヤが交差するように上下方向に ·降するワイヤ力 セットを備えると共に、 3. Conveyor device that transports the flat panel, and a wire force set that moves up and down in the vertical direction so that the wire intersects the transport surface of the conveyor device,
前記コンベア装置は、前記ワイヤカセットに収容されるフラットパネル が下降する毎に、そのフラットパネルを非接触で支持する非接触支持部と、 前記搬送面の両サイ ドに配置され、 且つ、 前記非接触支持部により支持さ れるフラットパネルをガイ ドするローラー装置と、 このローラー装置を昇 降させる昇降装置と、少なくとも何れか一方のローラー装置を水平方向に 移動させる水平移動装置と、を設けたことを特徴とするァライメント機能 付き移载装置。  The conveyer device is disposed on both sides of the non-contact support portion for supporting the flat panel in a non-contact manner each time the flat panel accommodated in the wire cassette descends; and A roller device for guiding the flat panel supported by the contact support portion, an elevating device for elevating the roller device, and a horizontal moving device for moving at least one of the roller devices in the horizontal direction. A mobile device with an alignment function.
4 . フラットパネルを搬送するコンベア装置と、 このコンベア装置の 搬送面に対し、そのワイヤが交差するように上下方向に昇降するワイヤ力 セットを備えると共に、 4. Conveyor device for transporting the flat panel, and a wire force set that moves up and down vertically so that the wire crosses the transport surface of the conveyor device,
前記コンベア装置は、前記ワイヤカセットに収容されるフラットパネル が下降する毎に、そのフラットパネルを非接触で支持する非接触支持部と、 前記搬送面の両サイ ドに配置され、 且つ、 前記非接触支持部により支持さ れるフラットパネルをガイ ドするローラー装置と、前記 接触支持部を昇 降させる昇降装置と、少なくとも何れか一方のローラー装置を水平方向に 移動させる水平移動装置と、 を設けたことを特徴とするァライメント機能 付き移載装置。  The conveyer device is disposed on both sides of the non-contact support portion for supporting the flat panel in a non-contact manner each time the flat panel accommodated in the wire cassette descends; and A roller device for guiding a flat panel supported by the contact support portion, an elevating device for elevating the contact support portion, and a horizontal moving device for moving at least one of the roller devices in the horizontal direction. A transfer device with an alignment function.
5 . 前記非接触支持部は空気浮上ュニットであることを特徴とする請求 項 3又は 4に記載のァライメント機能付き移載装置。 5. The transfer device with an alignment function according to claim 3, wherein the non-contact support portion is an air floating unit.
PCT/JP2004/003611 2004-03-18 2004-03-18 Transfer device with alignment function WO2005090211A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2004/003611 WO2005090211A1 (en) 2004-03-18 2004-03-18 Transfer device with alignment function

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2004/003611 WO2005090211A1 (en) 2004-03-18 2004-03-18 Transfer device with alignment function

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2005090211A1 true WO2005090211A1 (en) 2005-09-29

Family

ID=34993574

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2004/003611 WO2005090211A1 (en) 2004-03-18 2004-03-18 Transfer device with alignment function

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO2005090211A1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104797513A (en) * 2012-12-18 2015-07-22 日本电气硝子株式会社 Workpiece conveyance device, and workpiece conveyance method
CN111294476A (en) * 2018-12-10 2020-06-16 捷普电子(广州)有限公司 Scanner and automatic guide module

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0969549A (en) * 1995-08-31 1997-03-11 Shibaura Eng Works Co Ltd Loader
JPH1029709A (en) * 1996-07-12 1998-02-03 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Substrate carrying device
JPH10218353A (en) * 1997-02-07 1998-08-18 Orc Mfg Co Ltd Conveying method for thin sheet work
JP2004115137A (en) * 2002-09-24 2004-04-15 Hitachi Kiden Kogyo Ltd Sheet carrier device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0969549A (en) * 1995-08-31 1997-03-11 Shibaura Eng Works Co Ltd Loader
JPH1029709A (en) * 1996-07-12 1998-02-03 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Substrate carrying device
JPH10218353A (en) * 1997-02-07 1998-08-18 Orc Mfg Co Ltd Conveying method for thin sheet work
JP2004115137A (en) * 2002-09-24 2004-04-15 Hitachi Kiden Kogyo Ltd Sheet carrier device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104797513A (en) * 2012-12-18 2015-07-22 日本电气硝子株式会社 Workpiece conveyance device, and workpiece conveyance method
CN104797513B (en) * 2012-12-18 2016-10-05 日本电气硝子株式会社 Work transfer device and work carrying method
CN111294476A (en) * 2018-12-10 2020-06-16 捷普电子(广州)有限公司 Scanner and automatic guide module

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6039260B2 (en) Substrate transfer system
JP4904722B2 (en) Substrate transfer device
US7014415B2 (en) Substrate transfer apparatus, method for removing the substrate, and method for accommodating the substrate
JP2008166348A (en) Substrate transfer apparatus
JP4758432B2 (en) Work storage device
JP2009033214A (en) Substrate conveying device
JP5028919B2 (en) Substrate transport apparatus and substrate transport method
JP3070006B2 (en) How to transport thin work
JP2000191334A (en) Transporting device for sheet glass
KR20130017443A (en) Substrate coating apparatus, substrate conveyance apparatus having the function for floating the surface and the method of conveying floating the substrate
WO2008068845A1 (en) Pallet conveyance device and substrate inspection device
JP6595276B2 (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
WO2005090211A1 (en) Transfer device with alignment function
JP2005064431A (en) Apparatus and method for substrate transfer
JP4133489B2 (en) Substrate standby device and substrate processing apparatus having the same
JP2004298775A (en) Applicator and application method
TW200841414A (en) Substrate conveyance system
JP2007134734A (en) Liquid-crystal substrate transporting device
JP4216029B2 (en) Thin plate conveyor
CN220182115U (en) Screen conveying device and vacuum transfer structure
KR102476227B1 (en) panel adsorption transfer device
KR100521995B1 (en) Apparatus for loading a cassette
CN216354124U (en) Lifting platform used in vacuum suction of automatic silicon wafer discharging system
JP2018152447A (en) Substrate Levitation Transport Device
KR200469263Y1 (en) Glass substrate transport apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BW BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NA NI NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SK SL SY TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): BW GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Country of ref document: DE

32PN Ep: public notification in the ep bulletin as address of the adressee cannot be established

Free format text: NOTHING OF LOSS OF RIGHTS PURSUANT TO RULE 69(1)EPC DATED 07/02/07

32PN Ep: public notification in the ep bulletin as address of the adressee cannot be established

Free format text: NOTING OF LOSS OF RIGHTS PURSUANT TO RULE 69(1) EPC (EPO FORM 1205A DATED 07.02.2007 )

122 Ep: pct application non-entry in european phase