JPH10218353A - Conveying method for thin sheet work - Google Patents

Conveying method for thin sheet work

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JPH10218353A
JPH10218353A JP2464897A JP2464897A JPH10218353A JP H10218353 A JPH10218353 A JP H10218353A JP 2464897 A JP2464897 A JP 2464897A JP 2464897 A JP2464897 A JP 2464897A JP H10218353 A JPH10218353 A JP H10218353A
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exposure
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belt conveyor
main
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Keiichi Kanbe
圭一 神部
Minoru Ujimasu
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conveying method for a thin plate work to transfer it to and from an exposing position without containing a conveying device with the upper surface of a thin sheet-from work. SOLUTION: This conveying method for a thin sheet work comprises placing the thin sheet work 22 on the upper part of a roller conveyor 21 arranged on the input side, removing it toward an exposing part 25, receiving the work 22 under removing on the upper part of a belt conveyor 23 arranged at the exposing part 25 and transferring the work 22 to a position above an exposing surface plate 24, lowering the belt conveyor 23 and transferring the work 22 on the upper surface of the exposing surface plate 24. After exposure, the belt conveyor 23 is raised and the work 22 is received on the belt conveyor 23, lifted to a position above the exposing surface plate 24, and the lifted work 22 is placed on the upper part of the belt conveyor 23 and transferred from the exposing part. The work 22 under transferring is then received on the upper part of a roller conveyor 85 arranged on the outlet side and transferred.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、薄板状ワークに
フォトリソグラフィを適用してLCD(液晶ディスプレ
イパネル)、PDP(プラズマディスプレイパネル)、
PWB(プリント配線板)および印刷製版等を製作する
際の画像形成工程において、ワークを露光装置の露光部
に搬入し、露光後、ワークを露光部から搬出するために
適用される薄板状ワークの搬送方法、特にワークの表面
に搬送装置を接触させることなく、ワークを搬送できる
薄板状ワークの搬送方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an LCD (Liquid Crystal Display Panel), a PDP (Plasma Display Panel),
In an image forming process for producing a PWB (printed wiring board) and printing plate making, etc., a work is carried into an exposure unit of an exposure apparatus, and after exposure, a thin plate-like work applied to carry out the work from the exposure unit. The present invention relates to a transfer method, and more particularly to a transfer method of a thin plate-like work capable of transferring a work without bringing a transfer device into contact with the surface of the work.

【0002】[0002]

【従来の技術】露光装置における薄板状ワークの搬送方
法については、取り扱う製品の種類によって格段の相違
がある。すなわちPWBおよび印刷製版用のワークを搬
送する手段としては、例えば図23に示すように内部を
減圧状態にした吸着箱1の下面に多数の真空チャック又
は吸着パッドを装着した2組の搬送装置2,2aが広く
使用されており、この搬送装置2は仮位置決め部4にお
いて位置決めされたワーク3を吸着して露光部5に搬送
し、また搬送装置2aは露光部5において露光されたワ
ーク3を吸着して搬出部6に搬送するようにしていた。
なお、図中の7,7aは上、下部の焼枠ガラス、8,8
aは放電灯,9,9は位置決め用ピンである。
2. Description of the Related Art The method of transporting a thin plate-like work in an exposure apparatus has remarkable differences depending on the types of products to be handled. That is, as a means for transferring the work for PWB and printing plate making, for example, as shown in FIG. 23, two sets of transfer devices 2 in which a number of vacuum chucks or suction pads are mounted on the lower surface of a suction box 1 in which the pressure is reduced. , 2a are widely used. The transfer device 2 sucks the work 3 positioned in the temporary positioning section 4 and transfers it to the exposure section 5, and the transfer apparatus 2a transfers the work 3 exposed in the exposure section 5 to the exposure section 5. The suction is carried to the carry-out section 6.
7, 7a in the figure are the upper and lower grille frames, 8, 8
a is a discharge lamp, and 9 and 9 are positioning pins.

【0003】しかし、LCDおよびPDP用のワークを
搬送する手段については、次に述べるように真空チャッ
ク等を利用してワークを吸着することが困難であるた
め、露光部へのワークの搬入操作および露光部からの搬
出操作がすべて手動で行われており、生産能率の向上が
強く望まれている。
However, as for the means for transporting the work for LCD and PDP, it is difficult to suck the work using a vacuum chuck or the like as described below. All unloading operations from the exposure unit are performed manually, and there is a strong demand for improvement in production efficiency.

【0004】真空チャック等を利用できない理由を、透
明なガラス基板上に「TFT」と呼ばれる薄膜トランジ
スタを碁盤目状に配設したアクティブマトリクス方式の
LCDについて説明すると、この種のTFT7は、例え
ば図24に示すようにゲート電極13,半導体層14,
保護膜層15,ソース電極17,ドレイン電極18およ
びリード線(図示せず)等を層状に積み重ねて構成され
ており、これらの各層は、いずれも各層ごとに、その都
度フォトリソグラフィーを適用して下方の層から上方の
層に向って順次、形成されてゆくので、加工中のワーク
の表面を真空チャック等で吸着すると、ワークの上面に
損傷を招くおそれがあるからである。
The reason why a vacuum chuck or the like cannot be used will be described with respect to an active matrix type LCD in which thin film transistors called “TFTs” are arranged in a grid pattern on a transparent glass substrate. As shown in FIG.
The protective film layer 15, the source electrode 17, the drain electrode 18, the lead wires (not shown), and the like are stacked in layers, and each of these layers is formed by applying photolithography to each layer. This is because the layers are sequentially formed from the lower layer to the upper layer, and if the surface of the work being processed is sucked by a vacuum chuck or the like, the upper surface of the work may be damaged.

【0005】更に、真空チャック等を利用できない理由
を図25に示す3電極面放電型のPDPについて説明す
ると、このPDPの背面側のガラス基板101の内側に
は、アドレス電極102,誘電体層103,隔壁104
が形成されていて、隣り合う隔壁104,104の谷間
には、三色(赤緑青)の蛍光体の薄層105が形成され
ており、前記アドレス電極の形成、隔壁の形成、蛍光体
の薄層の形成、ガラス基板の洗浄等の各工程では、その
都度、紫外線を照射するので、露光装置への搬入、搬出
操作が不可欠となるが、加工途中のパネル部分106の
上面(隔壁側)に真空チャック等を接触させることは好
ましくないからである。
Further, the reason why a vacuum chuck or the like cannot be used will be described with reference to a three-electrode surface discharge type PDP shown in FIG. 25. An address electrode 102 and a dielectric layer 103 are provided inside a glass substrate 101 on the back side of the PDP. , Partition 104
Are formed, and a thin layer 105 of a phosphor of three colors (red, green, blue) is formed between the valleys of the adjacent partitions 104, 104. The formation of the address electrodes, the formation of the partitions, and the thinning of the phosphor are performed. In each step of forming a layer, cleaning a glass substrate, etc., ultraviolet light is applied each time, so that carrying-in / out operations to the exposure apparatus are indispensable. This is because it is not preferable to make a contact with a vacuum chuck or the like.

【0006】またパネル部分106の隔壁側は、前面側
のパネル部分107と一体に貼り合わせてPDPを形成
したとき、PDPの内側に位置して、ガラス基板101
がPDPの表面側にくるので、露光のための搬送中、ガ
ラス基板101の表面にキズを発生させないように取扱
うことが重要である。
When the PDP is formed by integrally bonding the partition side of the panel portion 106 and the panel portion 107 on the front side, the glass substrate 101 is positioned inside the PDP.
Is brought to the surface side of the PDP, and it is important to handle the glass substrate 101 so as not to cause scratches during the transportation for exposure.

【0007】更に、最近の傾向であるワークの大型化
(PDPでは幅×長さ×厚みが1000mm×1300
mm×0.6mmのものがある)、ワークの厚みの極薄
化(PDPの中間材では厚みが50μmのものがあ
る)、画像パターンの微細化(前記アクティブマトリク
ス型LCDのTFTの大きさは9〜12μmで位置決め
精度は±0〜7μmである)およびワーク底面の平坦性
の向上に対する要求の高まりは、LCD,PDPに対す
る手動操作を困難にするばかりでなく、PWBおよび印
刷製版に対する従来の手段についても再検討を必要とす
る状況になっている。
[0007] Further, the recent trend is to increase the size of the work (in a PDP, the width × length × thickness is 1000 mm × 1300).
mm × 0.6 mm), ultra-thin work pieces (PDP intermediate materials have a thickness of 50 μm), and finer image patterns (the size of the TFT of the active matrix LCD is 9-12 μm and the positioning accuracy is ± 0-7 μm) and the demand for improved flatness of the work bottom not only makes manual operation for LCDs and PDPs difficult, but also for conventional means for PWB and printing plate making. Also need to be reviewed.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】この発明は前記の問題
点に鑑み、ワークの上面に搬送装置を接触させることな
く、ワークを露光位置に搬入および搬出できる薄板状ワ
ークの搬送方法を提供することを第1の課題とし、更
に、搬送中のワーク下面に引っ掻きキズ等を生じない搬
送方法を提供することを第2の課題とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and provides a method of transporting a thin plate-like work in which a work can be carried in and out of an exposure position without contacting a carrying device with an upper surface of the work. Is a first object, and a second object is to provide a conveying method that does not cause scratches or the like on the lower surface of a work being conveyed.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】前記の課題は、次に述べ
る請求項1ないし8に記載された8通りの発明によって
達成される。 (1)請求項1の発明は搬入側に設けたローラコンベア
の上部に薄板状ワークを載置して露光部に向って移送す
る工程と、移送中のワークを露光部に設けたベルトコン
ベアの上部に受け取って露光用定盤の上方に搬入する工
程と、前記ベルトコンベアを下降させて前記露光用定盤
の上面にワークを移載する工程と、露光後、前記ベルト
コンベアを上昇させてベルトコンベアの上部にワークを
受け取り、更に露光用定盤の上方に持ち上げる工程と、
持ち上げたワークを前記ベルトコンベアの上部に載置し
て露光部から搬出する工程と、搬出中のワークを搬出側
に設けたローラコンベアの上部に受け取って移送する工
程等によって構成されている。請求項1の構成による
と、全工程を通してワークは常時、その下面がローラコ
ンベア又はベルトコンベアに支持されているので、搬送
装置がワークの表面に接触することがない。
The above object can be achieved by the following eight inventions described in claims 1 to 8. (1) The invention according to claim 1 is a step of placing a thin plate-shaped work on an upper portion of a roller conveyor provided on a carry-in side and transferring the work toward an exposure unit, and a method of transferring a work being transferred to a belt conveyor provided in the exposure unit. A step of receiving the upper part and carrying it over the surface plate for exposure, a step of lowering the belt conveyor and transferring a work onto the upper surface of the surface plate for exposure, and after the exposure, raising the belt conveyor to raise the belt. A step of receiving the workpiece on the upper part of the conveyor and further lifting the workpiece above the exposure platen;
The method includes a step of placing the lifted work on the upper part of the belt conveyor and carrying out the work from the exposure unit, a step of receiving the work being carried out to the upper part of the roller conveyor provided on the carry-out side, and transferring the work. According to the configuration of the first aspect, the work is always supported on the roller conveyor or the belt conveyor at the lower surface thereof throughout the entire process, so that the transfer device does not contact the surface of the work.

【0010】請求項2の発明は、請求項1の発明に加え
て搬入および搬出側の各ローラコンベアの搬送速度をベ
ルトコンベアのそれに等しく設定したものであり、この
構成によると、隣り合う2組のコンベア間でワークの受
渡しを行う際、ローラ又はベルトが空回りしてワークの
下面に引き掻きキズを与えないという利点がある。
According to a second aspect of the present invention, in addition to the first aspect of the invention, the conveying speed of each of the roller conveyors on the carry-in and carry-out sides is set equal to that of the belt conveyor. When the work is transferred between the conveyors, there is an advantage that the roller or the belt runs idle and does not scratch the lower surface of the work.

【0011】請求項3の発明は、請求項1又は2の発明
に加えてベルトコンベアが、その上部に露光済みのワー
クを載置して露光部から搬出する際に、搬入側に設けた
ローラコンベアがその上部に次に露光すべきワークを載
置して露光部に向って移送するものであり、この構成に
よると、ワークの搬入と搬出を同時に並行して行うので
ワーク一枚当りの搬送時間を短縮することが可能にな
り、生産性を向上できるという利点がある。
According to a third aspect of the present invention, in addition to the first or second aspect, a roller provided on the carry-in side when the belt conveyor places the exposed work on the upper portion and carries it out of the exposure section. The conveyor places the work to be exposed next on the upper part and transports it to the exposure section. According to this configuration, the loading and unloading of the workpieces are performed simultaneously in parallel, so the transport per workpiece is performed. There is an advantage that time can be reduced and productivity can be improved.

【0012】請求項4の発明は、請求項1ないし3のい
ずれかの発明に加えて露光用定盤が中央の主定盤と、こ
の主定盤の搬送方向に平行な両側に密接および離隔可能
に配置した左右の補助定盤とからなり、前記ベルトコン
ベアが昇降する際、前記左右の補助定盤が主定盤の側方
に離隔するものである。この構成によると一対のコンベ
アベルトがワークを支持した際の支持スパンを大きく設
定しなくても済むので、ワークの幅方向の中央部が下方
に垂れ下ることがなく、ベルトコンベアから搬出側のロ
ーラコンベアへのワークの移載が円滑に行われるという
利点がある。
According to a fourth aspect of the present invention, in addition to any one of the first to third aspects of the present invention, the exposure platen has a central main platen and is closely and spaced apart on both sides parallel to the transport direction of the main platen. The left and right auxiliary surface plates are separated from the main surface plate when the belt conveyor moves up and down. According to this configuration, it is not necessary to set a large support span when the pair of conveyor belts support the work, so that the center portion in the width direction of the work does not hang down, and the rollers on the unloading side from the belt conveyor. There is an advantage that the work can be smoothly transferred to the conveyor.

【0013】請求項5の発明は、請求項1ないし3のい
ずれかの発明に加えて搬出側のローラコンベアが中央の
主ローラコンベアと、前記主ローラコンベアの搬送方向
に平行な両側に昇降自在に配置した左右の補助ローラと
からなり、ローラコンベアがベルトコンベアからワーク
を受け取る際、左右の補助ローラが下方の待避位置にあ
って、主ローラコンベアがワークを受け取ったのち、左
右の補助ローラが主ローラコンベアと同じレベルに上昇
するようにしたものである。
According to a fifth aspect of the present invention, in addition to any one of the first to third aspects of the present invention, the roller conveyor on the unloading side is movable up and down on the central main roller conveyor and on both sides parallel to the conveying direction of the main roller conveyor. When the roller conveyor receives the work from the belt conveyor, the left and right auxiliary rollers are in the lower retreat position, and after the main roller conveyor receives the work, the left and right auxiliary rollers are It is designed to rise to the same level as the main roller conveyor.

【0014】この構成によると、ワークの外形寸法が大
きいか、あるいはワークの板厚が薄いため、ベルトコン
ベアで支持されたワークの左右の両側部が下方に垂れ下
がっていても、ベルトコンベアから搬出側のローラコン
ベアへの移載が円滑に行われるという利点がある。
According to this configuration, since the outer dimensions of the work are large or the thickness of the work is thin, even if the left and right both sides of the work supported by the belt conveyor hang down, the discharge side from the belt conveyor. Has the advantage that transfer to the roller conveyor is performed smoothly.

【0015】請求項6の発明は、請求項1ないし3のい
ずれかの発明に加えて中央の主定盤が空気を吸引する多
数の空気孔を有していて、かつ昇降自在に構成されてお
り、露光後、ワークがマスクフィルムに焼付いた状態で
上焼枠ガラスと共に上昇した際、主定盤が上昇してワー
クを吸着し、その後、下降してワークをマスクフィルム
から離間させ、更に下降してワークをベルトコンベアに
移載するようにしたものである。この構成によると、簡
単な構成で、ワークをマスクフィルムから離間させるこ
とができるという利点がある。
According to a sixth aspect of the present invention, in addition to any one of the first to third aspects, the central main platen has a large number of air holes for sucking air and is configured to be vertically movable. After exposure, when the work rises together with the upper frame glass with the work sticking to the mask film after exposure, the main platen rises and absorbs the work, and then descends to separate the work from the mask film and further descends Then, the workpiece is transferred to a belt conveyor. According to this configuration, there is an advantage that the work can be separated from the mask film with a simple configuration.

【0016】請求項7の発明は、請求項1ないし3のい
ずれかの発明に加えて露光用定盤に冷却装置を設けたも
のであり、この構成によると、ワークの熱膨張を軽減で
きるので、ワークの外形寸法が大きくても精密な画像を
形成できるという利点がある。
According to a seventh aspect of the present invention, in addition to any one of the first to third aspects, a cooling device is provided on the exposure platen. According to this configuration, the thermal expansion of the work can be reduced. This has the advantage that a precise image can be formed even if the external dimensions of the work are large.

【0017】請求項8の発明は、請求項1ないし3のい
ずれかの発明に加えてワークを露光用定盤の上部に移載
したのち、ワークの中心が露光用定盤の中心にくるよう
にワークを仮位置決めする工程を有していて、位置決め
の際、ワークは露光用定盤に設けた多数の空気吹き出し
孔から吹き出した圧縮空気によって露光用定盤の上面に
浮上した状態で前記上面に沿って移動するものであり、
この構成によると、ワークの下面に引っ掻きキズを与え
ることなく、ワークの位置決めできるという利点があ
る。
According to an eighth aspect of the present invention, in addition to any one of the first to third aspects, after the work is transferred to an upper portion of the exposure base, the center of the work is positioned at the center of the exposure base. Has a step of temporarily positioning the work, and at the time of positioning, the work is floated on the upper surface of the exposure platen by compressed air blown out from a number of air blowing holes provided on the exposure platen, and Travel along
According to this configuration, there is an advantage that the work can be positioned without scratching the lower surface of the work.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図1は本発明の実施の形態の一例
である搬送方法の手順を示す工程図、図2は搬送装置の
斜視図、図3は図2の搬送装置を組み込んだ露光装置の
正面図、図4は図3の露光装置の切断平面図、図5はベ
ルトコンベア装置の側面図、図6は同じくベルトコンベ
ア装置の切断立面図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a process diagram showing a procedure of a transport method according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of the transport apparatus, FIG. 3 is a front view of an exposure apparatus incorporating the transport apparatus of FIG. 3 is a cut-away plan view of the exposure apparatus of FIG. 3, FIG. 5 is a side view of the belt conveyor apparatus, and FIG. 6 is a cut elevation view of the same belt conveyor apparatus.

【0019】そして、この例に示す搬送方法の主要部
は、搬入側に設けたローラコンベア21(図3参照)の
上部に薄板状ワーク22を載置して露光部25に向って
移送する工程Iと、移送中のワーク22を露光部25に
設けたベルトコンベア23,23の上部に受け取って露
光用定盤24の上方に搬入する工程IIと、前記ベルト
コンベア23,23を下降させて前記露光用定盤24の
上面にワーク22を移載する工程IIIと、露光後、前
記ベルトコンベア23を上昇させてベルトコンベア2
3,23の上部にワーク22を受け取り、更に露光用定
盤24の上方に持ち上げる工程IVと、持ち上げたワー
ク22を前記ベルトコンベア23,23の上部に載置し
て露光部20から搬出する工程Vと、搬出中のワーク2
2を搬出側に設けたローラコンベア25の上部に受け取
って移送する工程VI等によって構成されている。以
下、ワークの搬送および露光に関与する各装置の構成に
ついて説明する。
The main part of the transfer method shown in this example is a step of placing the thin plate-like work 22 on the roller conveyor 21 (see FIG. 3) provided on the carry-in side and transferring it to the exposure unit 25. I, a step II of receiving the workpiece 22 being transferred to the upper part of the belt conveyors 23 provided in the exposure unit 25 and carrying the workpiece 22 above the exposure platen 24, and lowering the belt conveyors 23, 23 Step III of transferring the work 22 onto the upper surface of the exposure platen 24, and after the exposure, the belt conveyor 23 is raised to move the belt conveyor 2
Step IV of receiving the work 22 on the upper part of the belt conveyor 23 and further lifting it above the surface plate 24 for exposure, and placing the lifted work 22 on the upper part of the belt conveyors 23 and 23 and carrying out the work 22 from the exposure part 20 V and work 2 being unloaded
2 is received by the roller conveyor 25 provided on the carry-out side, and is transferred. Hereinafter, the configuration of each device related to the transfer and exposure of the work will be described.

【0020】搬入側のローラコンベア21は図2に示す
ように、モータ31によって駆動される複数個の駆動輪
21aと、複数個の従動輪21bとからなり、各ローラ
21a,21bは矢印C方向に回転してワーク22を露
光部25に向って移送するようになっている。
As shown in FIG. 2, the roller conveyor 21 on the loading side comprises a plurality of driving wheels 21a driven by a motor 31 and a plurality of driven wheels 21b. To transfer the work 22 toward the exposure unit 25.

【0021】なお、前記モータ31は後述するベルトコ
ンベア駆動用モータ28と同期して起動および停止する
ようになっており、このようにすると、ベルトコンベア
23,23がその上部に露光済みのワークを載置して露
光部25から搬出する際に、これと並行してローラコン
ベア21が次に露光すべきワークを載置して露光部25
に移送することになる。従って、ワーク一枚当りの搬送
時間を短縮することが可能になり、生産性が向上する。
The motor 31 is started and stopped in synchronism with a belt conveyor driving motor 28 to be described later. In this case, the belt conveyors 23, 23 place the exposed work on the upper part thereof. When the work is to be placed and unloaded from the exposure unit 25, the roller conveyor 21 places a work to be exposed next and places the work to be exposed next.
Will be transferred to Therefore, it is possible to shorten the transfer time per work piece, and the productivity is improved.

【0022】露光部25は図3に示すように、露光時、
ワーク22をその下方から支持する露光用定盤24と、
左右一対からなるベルトコンベア23,23と、ワーク
22の中心が露光用定盤24の中心にくるようにワーク
22を位置決めする仮位置決め装置と、下面にマスクフ
ィルム(図示せず)を貼着した状態で上下方向および水
平方向に移動する上焼枠ガラス73と、紫外線を照射す
る放電灯87等によって構成されている。
As shown in FIG. 3, the exposure unit 25
An exposure surface plate 24 for supporting the work 22 from below,
A pair of left and right belt conveyors 23, 23, a temporary positioning device for positioning the work 22 so that the center of the work 22 is located at the center of the exposure platen 24, and a mask film (not shown) adhered to the lower surface. In this state, it is composed of an upper frame glass 73 which moves vertically and horizontally and a discharge lamp 87 which irradiates ultraviolet rays.

【0023】なお、光源装置としては、図3に示すもの
に代えて図22に示すように放物面反射鏡90,92;
フライアイレンズ93および平面反射鏡94,95,9
6を利用してワーク22に平行光97を照射するように
構成したものを使用してもよい。
As a light source device, instead of the light source device shown in FIG. 3, parabolic reflectors 90 and 92 as shown in FIG.
Fly-eye lens 93 and plane reflecting mirrors 94, 95, 9
6 may be used to irradiate the workpiece 22 with the parallel light 97.

【0024】一対のベルトコンベア23,23は図5お
よび図6に示すように、共通の支持枠27の上部に走行
可能に取り付けられており、この支持枠27に固定した
モータ28によって駆動されるようになっている。更
に、共通の支持台27は、その前後側の下面に取り付け
たシリンダ装置26,26によって昇降するように構成
されており、ベルトコンベア23,23が上限位置にあ
るとき、ベルトコンベア23,23の上面はローラコン
ベア21の上面と同じレベルにくるように、また下限位
置にあるとき、ベルトコンベア23,23の上面が露光
用定盤24の上面より低い位置にくるようにシリンダ装
置26,26のストロークが設定されている。
As shown in FIGS. 5 and 6, the pair of belt conveyors 23 are movably mounted on a common support frame 27, and are driven by a motor 28 fixed to the support frame 27. It has become. Further, the common support base 27 is configured to move up and down by cylinder devices 26, 26 attached to the lower surface on the front and rear sides, and when the belt conveyors 23, 23 are at the upper limit position, the common support base 27 is moved up and down. The cylinder devices 26, 26 are arranged so that the upper surface is at the same level as the upper surface of the roller conveyor 21 and, when in the lower limit position, the upper surface of the belt conveyors 23, 23 is lower than the upper surface of the exposure platen 24. Stroke is set.

【0025】なお、ベルトコンベアのベルトはワーク2
2の下面に引っ掻きキズを与えないように軟性の合成ゴ
ム等でつくられており、またベルトコンベア23の搬送
速度はローラコンベア21からワーク22を受け取る際
にローラコンベアの駆動輪22a又はベルト23のどち
らかが空回りしてワーク22の下面に引っ掻きキズを与
えないようにローラコンベア21の搬送速度と等しくな
るように設定されている。
The belt of the belt conveyor is the work 2
2 is made of soft synthetic rubber or the like so as not to scratch the lower surface, and the conveying speed of the belt conveyor 23 is set such that when the workpiece 22 is received from the roller conveyor 21, the driving wheel 22a of the roller conveyor or the belt 23 The transport speed of the roller conveyor 21 is set equal to that of the roller conveyor 21 so that one of the idlers does not spin and does not scratch the lower surface of the work 22.

【0026】モータ28は、搬入側のローラコンベア2
1を駆動するモータ31と同時に起動し、またワークが
露光用定盤24の真上に到達したことを検出するセンサ
30(図4参照)からの停止信号によって停止するよう
になっている。なお、停止信号を発生するセンサ30の
取付位置は、ワークの寸法によって、その都度、取付位
置を変更できるようになっている。
The motor 28 is connected to the roller conveyor 2 on the loading side.
1 is started at the same time as the motor 31 that drives the motor 1, and is stopped by a stop signal from a sensor 30 (see FIG. 4) that detects that the work has reached just above the exposure platen 24. The mounting position of the sensor 30 that generates the stop signal can be changed each time depending on the size of the work.

【0027】露光用定盤24は図7および図8に示すよ
うに、中央に位置する長方形をした主定盤32と、この
主定盤32の両側に密接および離隔可能に配置した左右
の補助定盤33,33等によって構成されており、各補
助定盤33,33の側部には、2台のシリンダ装置3
4,34が水平方向に、また主定盤32の下面には図8
に示すようにシリンダ装置35が垂直方向に配置されて
いる。
As shown in FIGS. 7 and 8, the exposure platen 24 has a rectangular main platen 32 located at the center, and left and right auxiliary plates disposed on both sides of the main platen 32 so as to be closely and separable. Each of the auxiliary surface plates 33, 33 has two cylinder devices 3 on its side.
4 and 34 are in the horizontal direction, and the lower surface of the main platen 32 is shown in FIG.
The cylinder device 35 is arranged in the vertical direction as shown in FIG.

【0028】シリンダ装置34,34は左右の補助定盤
33,33を主定盤32の側部に密接させたり、あるい
は側部から離隔させるためのもので、ベルトコンベア2
3,23が昇降動作する際、左右の補助定盤を主定盤の
側方に離隔させるようになっている。
The cylinder devices 34, 34 are used to bring the left and right auxiliary platens 33, 33 into close contact with the side of the main platen 32, or to separate them from the side.
When the members 3 and 23 move up and down, the left and right auxiliary stools are separated from the side of the main stool.

【0029】なおシリンダ装置34,35には、各ロッ
ドの伸縮状態を検出するリミットスイッチ(図示せず)
および駆動用作動媒体(空気又は油)の供給および排出
を制御するための電磁式切換弁(図示せず)等が設置さ
れており、これ等のリミットスイッチおよび電磁式切換
弁はワークの移動位置を検出するセンサ(図示せず)等
と共同してワークの搬送作業を自動的に実行するように
なっている。
The cylinder devices 34 and 35 have limit switches (not shown) for detecting the expansion and contraction of each rod.
And an electromagnetic switching valve (not shown) for controlling the supply and discharge of the driving working medium (air or oil), and the like. The work transfer operation is automatically performed in cooperation with a sensor (not shown) or the like for detecting the load.

【0030】主および補助の各定盤32,33,33
は、いずれも中空構造で、図8に示すように上方に向っ
て開口した凹所を有する台板36,37,37と各台板
36,37,37の上部に取り付けた平坦な天板38,
39,39等によって構成されており、各天板38,3
9,39には、天板を貫通して中空部40,42,42
に連通する多数の空気孔41が各天板のほぼ全面に亘っ
て開口している。
Main and auxiliary platens 32, 33, 33
Each of them has a hollow structure, as shown in FIG. 8, has base plates 36, 37, 37 having recesses opened upward, and a flat top plate 38 mounted on the top of each base plate 36, 37, 37. ,
39, 39, etc., and each top plate 38, 3
9, 39, hollow portions 40, 42, 42 penetrating the top plate
Are open over substantially the entire surface of each top plate.

【0031】また各台板36,37,37の下面には、
空気管43が取り付けられていて、この空気管43を介
して各中空部40,42,42に圧縮空気を注入した
り、あるいは各中空部40,42,42から空気を吸引
するようになっている。
On the lower surfaces of the base plates 36, 37, 37,
An air pipe 43 is attached, and compressed air is injected into each of the hollow portions 40, 42, 42 through this air pipe 43, or air is sucked from each of the hollow portions 40, 42, 42. I have.

【0032】多数の空気孔41はワークを位置決めする
際、この空気孔41から圧縮空気を吹き出してワークを
浮上させるために使用される一方、露光時、ワークを天
板に密着させるために使用される。また主定盤32の空
気孔41は、マスクフィルムに焼付いたワークをマスク
フィルムから引き剥がすためにも使用される。
A large number of air holes 41 are used to blow the compressed air out of the air holes 41 to float the work when positioning the work, while it is used to bring the work into close contact with the top plate during exposure. You. The air holes 41 of the main platen 32 are also used for peeling off the work seized on the mask film from the mask film.

【0033】各定盤の中空部40,42,42には、図
7および図8に示すように冷却液を流通するための冷却
管44が装着されている。冷却管44は各天板38,3
9,39の裏面および台板の凹所の内面に密接した状態
で中空部を蛇行している。なお、冷却管44を装着する
代わりに、図10に示すように各台板の内部に冷却流路
45を穿設したり、あるいは図11に示すように冷却管
44を台板の下面に取り付けるようにしてもよい。
As shown in FIGS. 7 and 8, a cooling pipe 44 for circulating a coolant is mounted in the hollow portions 40, 42, 42 of each platen. The cooling pipe 44 is provided for each of the top plates 38, 3
The hollow portion meanders in a state of being in close contact with the back surfaces of the base plates 9 and 39 and the inner surface of the recess of the base plate. Instead of mounting the cooling pipe 44, a cooling channel 45 is formed in each base plate as shown in FIG. 10 or the cooling pipe 44 is attached to the lower surface of the base plate as shown in FIG. You may do so.

【0034】露光用定盤24の近傍にはワークの仮位置
決め装置が配置されている。この仮位置決め装置は図1
2および図13に示すように、露光用定盤24の四周に
2個づつ配置した合計8個の摺動子46と、各摺動子4
6が、その下面を露光用定盤24の上面に当接させた状
態で露光用定盤24の中心側に水平移動するようにすべ
ての摺動子を2個づつ1組として支持する合計4組の支
持装置47,47,47,47と、対向する摺動子が同
時に動作するように各支持装置を2組づつ同時に駆動す
る2組の駆動装置48,49等によって構成されてい
る。
In the vicinity of the exposure table 24, a work temporary positioning device is disposed. This temporary positioning device is shown in FIG.
As shown in FIG. 2 and FIG. 13, a total of eight sliders 46 are arranged on each of the four circumferences of the exposure platen 24,
6 supports all the sliders as a set of two so as to horizontally move toward the center of the exposure platen 24 with its lower surface in contact with the upper surface of the exposure platen 24. It is composed of a set of supporting devices 47, 47, 47, 47, and two sets of driving devices 48, 49, etc. for simultaneously driving two sets of each supporting device so that opposing sliders operate simultaneously.

【0035】各摺動子46は図14に示すように、中心
部に軸受50を設けた円筒状のリング52と、軸受50
を介してリング52を回転自在に支承する心棒53と、
この心棒53の下端に取り付けた合成樹脂製の抜け止め
54等によって構成されており、前記抜け止め54の底
面は球面状に形成されていて、露光用定盤24の上面を
滑動するようになっている。
As shown in FIG. 14, each slider 46 has a cylindrical ring 52 provided with a bearing 50 at the center and a bearing 50.
A mandrel 53 for rotatably supporting the ring 52 via
The bottom surface of the stopper 54 is formed in a spherical shape, and slides on the upper surface of the exposure platen 24. ing.

【0036】各支持装置47は図12および図13に示
すように、摺動子46を2個づつ支持するコの字形のア
ーム55と、アーム55の下面に取り付けた支柱56
と、支柱56の下端に取り付けたベース57と、このベ
ース57を水平方向に移動可能に支持する案内機構等に
よって構成されており、この案内機構は、ベース57の
一方の端部の下面に取り付けた案内金物58と、この案
内金物58を貫通する水平な案内棒59と、ベース57
の他方の端部の下面に取り付けた走行車輪60等によっ
て構成されており、この走行車輪60は水平な走行路6
2を走行するようになっている。なお、ここには図示し
ていないが、各ベース57には、支持装置47の走行位
置を検出するセンサが取り付けられている。
As shown in FIGS. 12 and 13, each support device 47 has a U-shaped arm 55 for supporting two sliders 46, and a support 56 attached to the lower surface of the arm 55.
, A base 57 attached to the lower end of the column 56, and a guide mechanism for supporting the base 57 movably in the horizontal direction. The guide mechanism is attached to the lower surface of one end of the base 57. Guide metal 58, a horizontal guide rod 59 penetrating the guide metal 58, and a base 57.
The traveling wheels 60 are attached to the lower surface of the other end of the vehicle.
2 is run. Although not shown here, a sensor for detecting the running position of the support device 47 is attached to each base 57.

【0037】2組の駆動装置48,49は相互に直交す
るように露光用定盤24の下方に配置した2組の無端の
チエーン63,64と、この2組のチエーン63,64
を個別に正逆方向に走行駆動する2個のモータ65,6
5等によって構成されている。そして、前記4組の支持
装置47のうちの相互に対向する2組の支持装置がそれ
ぞれ1本のチエーンを共有して、チエーンの両端部に近
いところに連結されている。
The two sets of drive units 48 and 49 are provided with two sets of endless chains 63 and 64 arranged below the exposure platen 24 so as to be orthogonal to each other, and the two sets of chains 63 and 64.
Motors 65 and 6 that individually drive the motors in forward and reverse directions
5 and the like. Two of the four support devices 47, which are opposed to each other, share one chain and are connected near both ends of the chain.

【0038】対向する2組の支持装置47,47を1本
のチエーン63又は64に連結するには、図19に示す
ように一方の支持装置のベース57を、連結金物66を
介してチエーンの下側部分68に、また他方の支持装置
のベース57を、連結金物67を介してチエーンの上側
部分69に連結する。
In order to connect the two opposing support devices 47, 47 to one chain 63 or 64, the base 57 of one of the support devices is connected to the chain via a metal fitting 66 as shown in FIG. The lower part 68 and the base 57 of the other support device are connected via a connection hardware 67 to the upper part 69 of the chain.

【0039】このように支持装置をチエーンに連結する
と、モータ65を或る方向に回転したとき、対向する2
組の支持装置が相互に近接する方向に移動し、またモー
タ65を反対方向に回転したとき、対向する2組の支持
装置が相互に離反する方向に移動する。
When the support device is connected to the chain in this manner, when the motor 65 is rotated in a certain direction, the two
When the sets of support devices move toward each other and the motor 65 rotates in the opposite direction, the two opposing sets of support devices move in directions away from each other.

【0040】位置決め操作を行う際は、図14に示すよ
うに各定盤32,33,33の空気孔41から圧縮空気
を一斉に吹き出してワーク22を浮上させ、リング52
の側部をワーク22の周縁に当接させてワーク22を押
動する(矢印a)。各摺動子46は定盤24の中心に対
して対称に配置してあるので、ワーク22は、その中心
が露光用定盤24の中心に一致するように位置決めされ
る。
When performing the positioning operation, as shown in FIG. 14, compressed air is simultaneously blown out from the air holes 41 of each of the surface plates 32, 33, and 33 to lift the work 22 and lift the ring 52.
Is brought into contact with the peripheral edge of the work 22 to push the work 22 (arrow a). Since each slider 46 is symmetrically arranged with respect to the center of the surface plate 24, the work 22 is positioned so that the center thereof coincides with the center of the exposure surface plate 24.

【0041】ワークが露光用定盤上を移動する際、ワー
クは露光用定盤の上面から浮上しているので、ワークの
裏面に損傷を生ずるおそれがない。また各摺動子46の
下端が露光用定盤24の上面を滑動しながらワーク22
を押動するので、ワークの寸法の大小に拘わりなく、各
種サイズのワークを位置決めすることができる。
When the work moves on the surface plate for exposure, the work floats from the upper surface of the surface plate for exposure, so that there is no possibility that the rear surface of the work is damaged. The lower end of each slider 46 slides on the upper surface of the exposure platen 24 while the work 22
, It is possible to position workpieces of various sizes regardless of the size of the workpiece.

【0042】摺動子の変形を図15に示す。この摺動子
46aは下端にフランジ70を取り付けた円筒状のリン
グ52aと、このリング52aに遊動自在に嵌入した状
態で下端と側部に設けた空気孔から圧縮空気を吹き出す
円柱状の中空軸72によって構成されている。
FIG. 15 shows a modification of the slider. The slider 46a has a cylindrical ring 52a having a flange 70 attached to a lower end thereof, and a cylindrical hollow shaft which blows compressed air from air holes provided at the lower end and side portions of the cylindrical ring 52a while being movably fitted into the ring 52a. 72.

【0043】この摺動子46aによると、中空軸72の
下端から吹き出した圧縮空気と、露光用定盤24の空気
孔41から吹き出した圧縮空気がフランジ70を介して
リング52aを浮上させる一方、リング52aと中空軸
72の間に空気軸受が形成されるので、摺動子46aは
露光用定盤の上面に接触することなく円滑に移動する。
According to the slider 46a, the compressed air blown out from the lower end of the hollow shaft 72 and the compressed air blown out from the air holes 41 of the exposure platen 24 float the ring 52a through the flange 70, Since the air bearing is formed between the ring 52a and the hollow shaft 72, the slider 46a moves smoothly without contacting the upper surface of the exposure platen.

【0044】上焼枠ガラス73(図3参照)の下面に
は、ここには図示していないが、マスクフィルム(PW
B,印刷製版の場合)又はガラスマスク(LCD,PD
Pの場合)が貼着されており、これ等のマスクとワーク
の位置決め操作は上焼枠ガラスを水平方向に移動させて
行う。すなわち、図16および図17に示す駆動機構7
4,74,74および受止め機構75,75,75を用
いて上焼枠ガラス73をX軸方向(搬送方向)およびY
軸方向(搬送方向に直交する方向)に移動させ、マスク
フィルムに設けた整合マークをワークに設けた整合マー
クに一致させる。整合マークが完全に一致したかどうか
はテレビカメラ(図示せず)を用いて確認する。
Although not shown here, a mask film (PW) is formed on the lower surface of the upper grill frame glass 73 (see FIG. 3).
B, in case of printing plate making) or glass mask (LCD, PD
P) is affixed, and the positioning operation of these masks and the work is carried out by moving the upper frame glass horizontally. That is, the driving mechanism 7 shown in FIGS.
4, 74, 74 and the receiving mechanism 75, 75, 75, the fired frame glass 73 is moved in the X-axis direction (transport direction) and Y-direction.
The mask film is moved in the axial direction (the direction perpendicular to the transport direction) so that the alignment marks provided on the mask film match the alignment marks provided on the work. Whether or not the alignment marks completely match is confirmed using a television camera (not shown).

【0045】かくして、位置決め操作が完了すると、次
に露光を行う。露光の方法としては焼枠ガラスをワーク
に密着させる真空密着および焼枠ガラスをワークに近接
離間させて行うプロキシミティ露光の二つの方法がある
が、以下では真空密着を行う場合について説明する。な
お、図17中の符号76は土手ゴム、77は上焼枠、7
8はモータ,79はねじを利用した送り機構、80はス
ライドベースである。
When the positioning operation is completed, exposure is performed next. There are two methods of exposure, namely, vacuum contact for bringing the framed glass into close contact with the work and proximity exposure for bringing the framed glass close to and away from the work. Hereinafter, the case of performing vacuum contact will be described. In FIG. 17, reference numeral 76 is a bank rubber, 77 is a fired frame, 7
Reference numeral 8 denotes a motor, 79 denotes a feed mechanism using a screw, and 80 denotes a slide base.

【0046】搬出側のローラコンベア85はモータ88
によって駆動される中央のローラコンベア84と、この
中央のローラコンベア84の搬送方向に平行な両側に隣
接した左右の補助ローラ82,82と、この補助ローラ
82,82を昇降駆動するシリンダ装置86,86等に
よって構成されている。
The roller conveyor 85 on the unloading side includes a motor 88
Roller conveyor 84 driven by the motor, left and right auxiliary rollers 82, 82 adjacent on both sides parallel to the transport direction of the central roller conveyor 84, and cylinder devices 86, which drive the auxiliary rollers 82, 82 up and down. 86 and the like.

【0047】なお、前記モータ88は後述するように露
光後、ベルトコンベア23,23がワーク22を載置し
て上限位置に到達したことを知らせるシリンダ26から
の信号によって自動的に起動するようになっている。ま
た、ローラコンベア85の搬送速度はベルトコンベア2
3からワーク22を受け取る際にローラコンベアの駆動
輪又はベルトコンベア23のどちらかが空回りしてワー
ク22の下面に引っ掻きキズを与えないようにベルトコ
ンベア23の搬送速度と等しくなるように設定されてい
る。
After exposure, the motor 88 is automatically activated by a signal from the cylinder 26 indicating that the belt conveyors 23 and 23 have reached the upper limit position after the work 22 has been loaded, as will be described later. Has become. The conveying speed of the roller conveyor 85 is the same as that of the belt conveyor 2.
3 is set to be equal to the transport speed of the belt conveyor 23 so that either the drive wheel of the roller conveyor or the belt conveyor 23 does not run idle and scratches the lower surface of the work 22 when receiving the work 22. I have.

【0048】次に、搬送装置、露光用定盤およびこれ等
に関連する露光装置各部の作動について、図3,図18
および図19を参照して工程順に説明する。 (1)搬入側のローラコンベア21がワーク22を載置
して露光部25に向って移送すると、ベルトコンベア2
3,23がワーク22を受け取って露光用定盤24の上
方にワーク22を搬入する〔図1参照〕。 (2)両側のシリンダ装置34,34が作動して左右の
補助定盤33,33を主定盤32の側方に離隔させる
〔図18(a)参照〕。
Next, the operations of the transport device, the exposure platen, and the components of the exposure device related thereto will be described with reference to FIGS.
19 will be described in the order of steps. (1) When the roller conveyor 21 on the loading side places the work 22 and transfers it toward the exposure unit 25, the belt conveyor 2
3 and 23 receive the work 22 and carry in the work 22 above the exposure surface plate 24 (see FIG. 1). (2) The cylinder devices 34, 34 on both sides operate to separate the left and right auxiliary platens 33, 33 to the side of the main platen 32 (see FIG. 18A).

【0049】(3)ベルトコンベア23,23が下降
し、その途中でワーク22を主定盤32,補助定盤3
3,33に受け渡す〔図18(b)参照〕。 (4)両側のシリンダ装置34,34が作動して左右の
補助定盤33,33を中央の主定盤32に密接させる
〔図18(c)参照〕。 (5)仮位置決め装置が作動してワーク22の中心が主
定盤32の中心にくるようにワーク22を位置決めする
〔図18(d)参照〕。
(3) The belt conveyors 23 are lowered, and the work 22 is moved along the main platen 32 and the auxiliary platen 3
3 and 33 (see FIG. 18B). (4) The cylinder devices 34, 34 on both sides operate to bring the left and right auxiliary platens 33, 33 into close contact with the central main platen 32 (see FIG. 18C). (5) The temporary positioning device is operated to position the work 22 so that the center of the work 22 is located at the center of the main surface plate 32 (see FIG. 18D).

【0050】(6)仮位置決め装置が原位置に復帰する
と、マスクフィルムを貼着した上焼枠ガラス73が主定
盤32,補助定盤33,33の上部に降下し、次いで、
マスクフィルムとワークの位置合わせが行われる。ここ
で、土手ゴム76が取り囲む内部空間を減圧状態にして
マスクフィルムをワークに密着させ、露光を行う〔図1
9(a)参照〕。
(6) When the temporary positioning device returns to the original position, the upper grill frame glass 73 on which the mask film has been adhered falls down above the main platen 32 and the auxiliary platens 33, 33.
The alignment between the mask film and the work is performed. Here, the inner space surrounded by the bank rubber 76 is depressurized, and the mask film is brought into close contact with the workpiece to perform exposure [FIG.
9 (a)].

【0051】(7)露光後、上焼枠ガラス73が上昇し
て原位置に復帰すると、左右の補助定盤33,33が離
隔し、ベルトコンベア23,23が上昇してワーク22
を受け取り、上限位置まで上昇する〔図19(b)参
照〕。 (8)ここで、ベルトコンベア23,23が作動してワ
ーク22を露光部25から搬出する。
(7) After the exposure, when the upper frame glass 73 rises and returns to the original position, the left and right auxiliary platens 33 are separated from each other, the belt conveyors 23 rise, and the work 22
And rises to the upper limit position (see FIG. 19B). (8) Here, the belt conveyors 23 operate to carry out the work 22 from the exposure unit 25.

【0052】(9)この際、ベルトコンベア23,23
が動作を開始すると同時に搬出側のローラコンベア85
および搬入側のローラコンベア21が動作を開始する。
そして、ローラコンベア21は次に露光すべきワークを
露光部25に向って移送する一方、搬出側のローラコン
ベア85がベルトコンベア23,23からワークを受け
取り、次の工程に向ってワークを移送する。
(9) At this time, the belt conveyors 23, 23
Starts to operate at the same time as the roller conveyor 85 on the unloading side.
And the roller conveyor 21 on the loading side starts operation.
Then, the roller conveyor 21 transfers the work to be exposed next to the exposure unit 25, while the unloading roller conveyor 85 receives the work from the belt conveyors 23, and transfers the work to the next process. .

【0053】この際、ワーク22が大型で、板厚が薄い
ためワークの左右の側端部83,83が図20(a)に
示すように垂れ下がる場合は、予め搬出側の補助ローラ
82,82を降下させておいて、中央のローラコンベア
84でワークの中央部を受け止める。その後、図20
(b)に示すように補助ローラ82,82を上昇させて
垂れ下った側端部83,83を上方に持ち上げる。そし
て、補助ローラ82,82が中央のローラコンベア84
と同じレベルに到達すると、ワークの姿勢が水平になっ
て次の工程に向けて搬出される。
At this time, if the left and right side ends 83 of the work 22 hang down as shown in FIG. 20A because the work 22 is large and the plate thickness is thin, the auxiliary rollers 82 on the carry-out side are previously prepared. Is lowered, and the central portion of the work is received by the central roller conveyor 84. Then, FIG.
As shown in (b), the auxiliary rollers 82, 82 are raised to lift the hanging side end portions 83, 83 upward. Then, the auxiliary rollers 82 and 82 are moved to the roller conveyor 84 at the center.
When the workpiece reaches the same level as above, the workpiece is leveled and carried out for the next step.

【0054】次に、露光によってマスクフィルムとワー
クの間に焼付現象を生じた際のワークの離間方法につい
て図21(a)(b)(c)(d)を参照して説明す
る。 (1)上焼枠ガラス73を上昇させると、ワーク22は
マスクフィルムに貼り付いた状態で上昇する〔図21
(a)参照〕。 (2)ここで、左右の補助定盤33,33を側方に離隔
して主定盤32を上昇させ、主定盤32をワーク22の
下面に当接させる〔図21(b)参照〕。
Next, a method of separating the work when a printing phenomenon occurs between the mask film and the work due to exposure will be described with reference to FIGS. 21 (a), 21 (b), 21 (c) and 21 (d). (1) When the upper frame glass 73 is raised, the work 22 is raised in a state of being stuck to the mask film [FIG.
(A)]. (2) Here, the left and right auxiliary stools 33, 33 are laterally separated, the main stool 32 is raised, and the main stool 32 is brought into contact with the lower surface of the work 22 (see FIG. 21B). .

【0055】(3)次いで、主定盤32の中空部を減圧
状態にして主定盤をワーク22に吸着させたのち主定盤
を適宜、降下させる。この操作によって、ワーク22は
マスクフィルムから離間して主定盤32の上面に載置さ
れる〔図21(c)参照〕。 (4)ここで、ベルトコンベア23,23を上昇させて
ワーク22を受け取り、一方、ワーク22を引き渡した
主定盤32は下降して原位置に復帰する〔図21(d)
参照〕。
(3) Next, the hollow portion of the main stool 32 is depressurized, the main stool is sucked to the work 22, and the main stool is lowered as appropriate. With this operation, the work 22 is separated from the mask film and placed on the upper surface of the main platen 32 (see FIG. 21C). (4) Here, the belt conveyors 23, 23 are raised to receive the work 22, while the main platen 32 that has delivered the work 22 is lowered to return to the original position [FIG. 21 (d)].
reference〕.

【0056】なお、この発明は前記の発明の実施の形態
にのみ限定されるものではなく、例えばワークの外形寸
法が充分小さいか、あるいはワークの厚さが充分大きい
場合は、露光用定盤は分割型のものとする代りに一体の
ものとしても差支えないこと等、その他この発明の要旨
を逸脱しない範囲において種々の変更を加え得ることは
勿論である。
Note that the present invention is not limited to the above embodiment of the present invention. For example, when the external dimensions of the work are sufficiently small or the thickness of the work is sufficiently large, the exposure surface plate is not required. It goes without saying that various changes can be made without departing from the spirit of the present invention, for example, it may be an integral type instead of the split type.

【0057】[0057]

【発明の効果】以上に述べたように、この発明は次の優
れた効果を発揮する。 (1)請求項1の発明によると、ワークの上面に搬送装
置を接触させることなくワークを搬送することができ
る。 (2)請求項2の発明によると、ワークの下面に損傷を
与えることなく、ワークを搬送することができる。
As described above, the present invention has the following excellent effects. (1) According to the first aspect of the invention, the work can be transferred without bringing the transfer device into contact with the upper surface of the work. (2) According to the second aspect of the invention, the work can be transported without damaging the lower surface of the work.

【0058】(3)請求項3の発明によると、ワーク一
枚当りの搬送時間を短縮することが可能になり、搬送作
業の生産性を向上することができる。 (4)請求項4および5の発明によると、ワークの外形
寸法が大きくても、あるいはワークの板厚が薄い場合で
も、円滑な搬送を行うことができる。 (5)請求項6の発明によると、マスクフィルムに焼付
いたワークを容易にマスクフィルムから引き剥がすこと
ができる。
(3) According to the third aspect of the present invention, it is possible to shorten the transfer time per work piece, thereby improving the productivity of the transfer work. (4) According to the fourth and fifth aspects of the present invention, even if the external dimensions of the work are large or the thickness of the work is small, smooth conveyance can be performed. (5) According to the invention of claim 6, the work seized on the mask film can be easily peeled off from the mask film.

【0059】(6)請求項7の発明によると、ワークの
外形寸法が大きくても精密な画像を形成することができ
る。 (7)請求項8の発明によると、ワークの中心が露光用
定盤の中心にくるように、かつワークの下面に損傷を与
えることなくワークを仮位置決めすることができる。
(6) According to the seventh aspect of the invention, a precise image can be formed even if the external dimensions of the work are large. (7) According to the invention of claim 8, the work can be provisionally positioned so that the center of the work is located at the center of the exposure platen and without damaging the lower surface of the work.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施の形態を示す工程図である。FIG. 1 is a process chart showing an embodiment of the present invention.

【図2】この発明の方法を実行するための搬送装置の斜
視図である。
FIG. 2 is a perspective view of a transport device for performing the method of the present invention.

【図3】図2に示す搬送装置を組み込んだ露光装置の正
面図である。
FIG. 3 is a front view of an exposure apparatus incorporating the transport device shown in FIG.

【図4】図3におけるIV−IV方向からの矢視図である。FIG. 4 is a view taken in the direction of arrows IV-IV in FIG. 3;

【図5】図3に示すベルトコンベアおよび駆動装置の一
部中間部省略の側面図(図6におけるV−V方向からの
矢視図)である。
FIG. 5 is a side view of the belt conveyor and the driving device shown in FIG. 3 with a partial intermediate portion omitted (a view as seen from the direction VV in FIG. 6).

【図6】図5におけるVI−VI方向からの矢視図である。FIG. 6 is a view from arrow VI-VI in FIG. 5;

【図7】作動状態にある露光用定盤の平面図である。FIG. 7 is a plan view of the exposure platen in an operating state.

【図8】図7におけるVIII−VIII方向からの矢視図であ
る。
FIG. 8 is a view taken in the direction of arrows VIII-VIII in FIG. 7;

【図9】図7に示す冷却手段の別の例を示す平面図であ
る。
FIG. 9 is a plan view showing another example of the cooling unit shown in FIG. 7;

【図10】図9におけるX−X方向からの矢視図であ
る。
10 is a view as viewed from the direction of arrows XX in FIG. 9;

【図11】図7に示す冷却手段の更に別の例を示す平面
図である。
FIG. 11 is a plan view showing still another example of the cooling unit shown in FIG. 7;

【図12】図3に示す仮位置決め装置の平面図である。FIG. 12 is a plan view of the temporary positioning device shown in FIG.

【図13】図12におけるXIII−XIII方向からの矢視図
である。
13 is a view as seen from the direction of the arrows XIII-XIII in FIG.

【図14】仮位置決め装置の作動説明図である。FIG. 14 is an operation explanatory view of the temporary positioning device.

【図15】図14に示す摺動子の別の例を示す切断側面
図である。
FIG. 15 is a cut-away side view showing another example of the slider shown in FIG. 14;

【図16】図3に示す上焼枠ガラスの近傍を示す底面図
である。
FIG. 16 is a bottom view showing the vicinity of the fired glass shown in FIG. 3;

【図17】図16に示すXVII部の拡大切断側面図であ
る。
17 is an enlarged sectional side view of a portion XVII shown in FIG. 16;

【図18】(a)、(b)、(c)、(d)は図2に示
す搬送装置の作動説明図である。
18 (a), (b), (c), and (d) are explanatory views of the operation of the transfer device shown in FIG.

【図19】(a)、(b)は同じく図2に示す搬送装置
の作動説明図である。
FIGS. 19 (a) and (b) are explanatory views of the operation of the transport device shown in FIG. 2;

【図20】(a)、(b)は図2に示す搬出側の補助ロ
ーラの作動説明図である。
20 (a) and (b) are explanatory views of the operation of the auxiliary roller on the carry-out side shown in FIG.

【図21】(a)、(b)、(c)、(d)はワークの
離間方法の作動説明図である。
FIGS. 21 (a), (b), (c) and (d) are explanatory views of the operation of the method for separating a work.

【図22】光源装置の別の例を示す原理図である。FIG. 22 is a principle view showing another example of the light source device.

【図23】従来の搬送装置の説明図である。FIG. 23 is an explanatory diagram of a conventional transport device.

【図24】薄膜トランジスタ(TFT)の切断側面図で
ある。
FIG. 24 is a cut-away side view of a thin film transistor (TFT).

【図25】プラズマディスプレイパネルの部分を示す分
解斜視図である。
FIG. 25 is an exploded perspective view showing a part of the plasma display panel.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21,85 ローラコンベア 22 ワーク 23 ベルトコンベア 24 露光用定盤 25 露光部 26,34,35 シリンダ装置 32 主定盤 33 補助定盤 40,42 中空部 41 空気孔 44 冷却管 45 冷却流路 46 摺動子 47 支持装置 63,64 チエーン 82 補助ローラ 84 中央のローラコンベア 21, 85 Roller conveyor 22 Work 23 Belt conveyor 24 Exposure surface plate 25 Exposure unit 26, 34, 35 Cylinder device 32 Main surface plate 33 Auxiliary surface plate 40, 42 Hollow part 41 Air hole 44 Cooling pipe 45 Cooling channel 46 Slide Moving element 47 Supporting device 63, 64 Chain 82 Auxiliary roller 84 Central roller conveyor

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 搬入側に設けたローラコンベアの上部に
薄板状ワークを載置して露光部に向って移送する工程
と、 移送中のワークを露光部に設けたベルトコンベアの上部
に受け取って露光用定盤の上方に搬入する工程と、 前記ベルトコンベアを下降させて前記露光用定盤の上面
にワークを移載する工程と、 露光後、前記ベルトコンベアを上昇させてベルトコンベ
アの上部にワークを受け取り、更に露光用定盤の上方に
持ち上げる工程と、 持ち上げたワークを前記ベルトコンベアの上部に載置し
て露光部から搬出する工程と、 搬出中のワークを搬出側に設けたローラコンベアの上部
に受け取って移送する工程とからなることを特徴とする
薄板状ワークの搬送方法。
1. A step of mounting a thin plate-like work on an upper part of a roller conveyor provided on a carry-in side and transferring the work toward an exposure part, and receiving the work being transferred on an upper part of a belt conveyor provided in the exposure part. A step of carrying the work piece above the exposure surface plate; a step of lowering the belt conveyor to transfer a work onto the upper surface of the exposure surface plate; A step of receiving the work and further lifting it above the exposure platen; a step of placing the lifted work on the upper part of the belt conveyor and carrying out the work from the exposure unit; and a roller conveyor provided with the work being carried out on the carry-out side. And transferring the sheet-like work to an upper portion of the work.
【請求項2】 搬入側及び搬出側の各ローラコンベアの
搬送速度とベルトコンベアの搬送速度が等しく設定され
ている請求項1に記載の薄板状ワークの搬送方法。
2. The method according to claim 1, wherein the conveying speed of each of the roller conveyors on the carry-in side and the carry-out side is set equal to the conveying speed of the belt conveyor.
【請求項3】 ベルトコンベアが、その上部に露光済み
のワークを載置して露光部から搬出する際に、搬入側に
設けたローラコンベアが、その上部に次に露光すべきワ
ークを載置して露光部に向って移送する請求項1又は請
求項2に記載の薄板状ワークの搬送方法。
3. A roller conveyor provided on a loading side places a workpiece to be next exposed on a belt conveyor when the exposed workpiece is placed on the belt conveyor and carried out from an exposure unit. 3. The method according to claim 1, wherein the transfer is performed toward the exposure unit.
【請求項4】 露光用定盤が中央の主定盤と、前記主定
盤の搬送方向に平行な両側に密接および離隔可能に配置
した左右の補助定盤とからなり、前記ベルトコンベアが
昇降する際に、前記左右の補助定盤が主定盤の側方に離
隔する請求項1ないし3のいずれかに記載の薄板状ワー
クの搬送方法。
4. An exposure surface plate comprises a central main surface plate and left and right auxiliary surface plates which are disposed close to and separated from each other on both sides parallel to the transport direction of said main surface plate, and said belt conveyor is moved up and down. The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the left and right auxiliary platens are spaced apart from the main platen.
【請求項5】 搬出側のローラコンベアが中央の主ロー
ラコンベアと、前記主ローラコンベアの搬送方向に平行
な両側に昇降自在に配置した左右の補助ローラとからな
り、ベルトコンベアからワークを受け取る際、左右の補
助ローラが下方の待避位置にあって、主ローラコンベア
がワークを受け取ったのち、左右の補助ローラが主ロー
ラコンベアと同じレベルに上昇する請求項1ないし3の
いずれかに記載の薄板状ワークの搬送方法。
5. The roller conveyor on the carry-out side comprises a central main roller conveyor and left and right auxiliary rollers arranged on both sides parallel to the conveying direction of the main roller conveyor so as to be able to move up and down, and when receiving a work from the belt conveyor. The thin plate according to any one of claims 1 to 3, wherein the left and right auxiliary rollers are at a lower retract position, and after the main roller conveyor receives the work, the left and right auxiliary rollers rise to the same level as the main roller conveyor. Method of transporting workpieces.
【請求項6】 中央の主定盤が空気を吸引する多数の空
気孔を有していて、かつ昇降自在に構成されており、露
光後、ワークがマスクフィルムに焼付いた状態で上焼枠
ガラスと共に上昇した際、主定盤が上昇してワークを吸
着し、その後、下降してワークをマスクフィルムから離
間させ、更に下降してワークをベルトコンベアの上部に
移載する請求項1ないし3のいずれかに記載の薄板状ワ
ークの搬送方法。
6. A center firing plate glass having a large number of air holes for sucking air and being configured to be able to move up and down freely, and to expose a work to a mask film after exposure. 4. When the main platen rises and absorbs the work, the work surface is lowered to separate the work from the mask film, and further lowered to transfer the work to the upper part of the belt conveyor. The method for transporting a thin plate-shaped work according to any one of the above.
【請求項7】 主および補助の各露光用定盤に冷却装置
が設けてある請求項1ないし3のいずれかに記載の薄板
状ワークの搬送方法。
7. The method according to claim 1, wherein a cooling device is provided on each of the main and auxiliary exposure surfaces.
【請求項8】 ワークを露光用定盤の上部に移載したの
ち、ワークの中心が露光用定盤の中心にくるようにワー
クを位置決めする工程を有していて、位置決めの際、露
光用定盤に設けた多数の空気孔から圧縮空気を吹き出し
てワークを前記定盤の上面に浮上させ、その状態で前記
上面に沿ってワークを移動させる請求項1ないし3のい
ずれかに記載の薄板状ワークの搬送方法。
8. A step of positioning the work such that the center of the work is located at the center of the exposure base after transferring the work to the upper part of the exposure base. The thin plate according to any one of claims 1 to 3, wherein compressed air is blown out from a number of air holes provided on the surface plate to float the work on the upper surface of the surface plate, and the work is moved along the upper surface in that state. Method of transporting workpieces.
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