KR101610215B1 - Conveyance device - Google Patents

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요시유키 와다
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Abstract

대상물을 기체에 의해 부상시켜 제1 방향으로 반송하기 위한 반송 장치는, 상기 기체를 분출하여 상기 대상물에 가압함으로써 상기 대상물을 부상시키는 부상부와, 상기 제1 방향으로 연장된 무단 벨트로서 상기 대상물에 접촉하기 위해 돌출된 복수의 돌기를 구비한 벨트 및 상기 제1 방향으로 회전 가능하며 상기 제1 방향으로 배열된 복수의 롤러 중, 적어도 한쪽을 구비한 반송부로서, 상기 대상물에 접촉하여 상기 제1 방향으로 구동하기 위해 구성된 반송부와, 상기 반송부를 덮고, 또는 상기 반송 장치에 인접하여 평행하게 연장되고, 상기 복수의 돌기 또는 상기 복수의 롤러의 각각 상단만이 돌출된 커버로서, 상기 대상물의 하면에 평행한 면을 구비한 커버와, 상기 커버 내에 부압을 부여하여 상기 대상물을 상기 반송부에 접촉하게 하는 흡인부를 구비한다. A conveying device for conveying the object in a first direction by lifting the object by a gas includes a floating portion for raising the object by ejecting the substrate and pressing the object against the object and an endless belt extending in the first direction, A conveyor comprising at least one of a belt having a plurality of protrusions protruded for contact and a plurality of rollers rotatable in the first direction and arranged in the first direction, A cover which covers the carry section or extends parallel to the transfer apparatus and which only protrudes from the upper ends of the plurality of projections or the plurality of rollers, And a suction unit for applying a negative pressure in the cover to bring the object into contact with the carry section Respectively.

Description

반송 장치{CONVEYANCE DEVICE}CONVEYANCE DEVICE

본 발명은, 얇은 유리와 같은 기판을 부상시켜 반송(搬送)하는 반송 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a transport apparatus for lifting and transporting a substrate such as a thin glass.

액정 디스플레이로 대표되는 평판 디스플레이의 제조에 있어서, 얇은 유리와 같은 기판을 손상시키지 않고 반송하기 위해, 기판을 부상시켜 반송하는 반송 장치가 이용되고 있다. 이와 같은 반송 장치는, 통상, 압축 공기를 분출하는 부상 장치를 구비하고, 또한 부상시킨 기판에 접촉하여 이에 구동력을 부여하는 벨트 컨베이어 또는 롤러 컨베이어를 구비한다. BACKGROUND ART [0002] In the production of a flat panel display typified by a liquid crystal display, a transport apparatus for lifting and transporting a substrate in order to transport a substrate such as a thin glass without damaging it is used. Such a conveying apparatus usually includes a float device for ejecting compressed air, and further includes a belt conveyor or a roller conveyor that contacts the floated substrate and applies a driving force thereto.

유리 기판에 부착된 먼지나 그 표면의 상흔(傷痕)은, 디스플레이의 품질에 중대한 영향을 미친다. 먼지의 부착이나 표면의 상흔의 요인 중 하나는, 유리 기판이 반송 장치 등에 접촉하는 것이다. 한편, 유리 기판은, 예를 들면, 두께 0.7㎜ 또는 그 이하로서 가요성(可撓性)을 가지므로, 반송 중에서의 접촉을 방지하기 위해서는 기판을 평탄하게 유지한 채로 반송하는 것이 중시된다. 최근 더욱 얇은 유리가 요구되어 있고, 이것을 평탄하게 유지하여 반송하는 것은 더욱 더 어려워지고 있다. Dust adhered to the glass substrate and scars on its surface have a significant influence on the quality of the display. One of the factors of attachment of dust or scratches on the surface is that the glass substrate comes into contact with a transfer device or the like. On the other hand, since the glass substrate has, for example, a thickness of 0.7 mm or less and is flexible, it is important to carry the substrate while keeping the substrate flat to prevent contact during transportation. In recent years, a thinner glass is required, and it is becoming more and more difficult to keep it flat and carry it.

특허 문헌 1은, 벨트 컨베이어를 구비한 반송 장치의 기술을 개시한다. 이러한 기술에 의하면, 벨트는 등간격(等間隔)으로 형성된 돌기를 구비하고 있고, 돌기가 부상한 유리 기판에 접함으로써, 이것을 반송한다. Patent Document 1 discloses a technique of a conveying apparatus provided with a belt conveyor. According to this technique, the belt is provided with protrusions formed at regular intervals (equidistant intervals), and the protrusions are brought into contact with the floated glass substrate and are transported.

특허 문헌 2는, 롤러 컨베이어를 구비한 반송 장치의 기술을 개시한다. 특허 문헌 2에 의하면, 「유리 기판의 패스 라인 중앙부가 크게 위쪽으로 부상하거나, 수하(垂下)하거나 하는 만곡이 현저해지는 경우가 있었다」는 것이, 기술적 과제로 인식되어 있다. 이것을 해결하기 위해, 폭 방향 중앙 위치의 에어 테이블 유닛으로부터의 에어 공급량을 조절함으로써, 유리 기판의 만곡을 억제하고 있다. Patent Document 2 discloses a technique of a conveying apparatus provided with a roller conveyor. According to Patent Document 2, it has been recognized as a technical problem that " the central portion of the pass line of the glass substrate is significantly raised upwardly, or the curvature of the glass substrate is considerably increased ". To solve this problem, curvature of the glass substrate is suppressed by adjusting the amount of air supplied from the air table unit at the center in the width direction.

일본 특허 출원 공개2008―066661호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-066661 일본 특허 출원 공개2008―260591호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-260591

전술한 바와 같은 기술은, 유리 기판을 대체로 평탄하게 유지하는 것을 가능하게 하고 있다. 그러나, 반송 방향에 대하여 선단에서의 휨과 같은, 국부적인 휨에 관하여는, 아직 기술적 과제가 남아 있다. 즉, 유리 기판이 하나의 롤러로부터 다음의 롤러로 이동할 때, 또는 하나의 반송 장치로부터 다음의 반송 장치로 이동할 때, 선단을 지지하지 않기 때문에, 선단은 자중(自重)에 의해 아래쪽으로 휘어져 버린다. 선단이 롤러, 또는 반송 장치에 충돌하기 쉬워지는 문제가 있다. The technique as described above makes it possible to keep the glass substrate substantially flat. However, with respect to local deflection such as warping at the tip with respect to the carrying direction, technical problems still remain. That is, when the glass substrate moves from one roller to the next, or from one conveying device to the next, the leading end is not supported, and therefore the leading end is bent downward by its own weight. There is a problem that the leading end is liable to collide with the roller or the conveying device.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것이다. 전술한 바와 같은 기술 상식에 반하여, 유리 기판의 폭 방향의 양단만을 평탄하게 지지하고, 유리 기판의 중앙부를 오히려 약간 휘게 함으로써, 선단의 휨이 억제되는 것을 본 발명자들은 발견하고, 본 발명에 이르렀다. The present invention has been made to solve the above-mentioned problems. The inventors of the present invention have found that, in contrast to the above-mentioned technical knowledge, only the both ends of the glass substrate in the width direction are supported flat and the center portion of the glass substrate is slightly bent.

본 발명의 일태양에 의하면, 대상물을 기체(氣體)에 의해 부상시켜 제1 방향으로 반송하기 위한 반송 장치는, 상기 기체를 분출하여 상기 대상물에 가압함으로써 상기 대상물을 부상시키는 부상부와, 상기 제1 방향으로 연장된 무단(無端) 벨트로서 상기 대상물에 접촉하기 위해 돌출된 복수의 돌기를 구비한 벨트 및 상기 제1 방향으로 회전 가능하며 상기 제1 방향으로 배열된 복수의 롤러 중, 적어도 한쪽을 구비한 반송부(搬送部)로서, 상기 대상물에 접촉하여 상기 제1 방향으로 구동하기 위해 구성된 반송부와, 상기 반송부를 덮고, 또는 상기 반송 장치에 인접하여 평행하게 연장되고, 상기 복수의 돌기 또는 상기 복수의 롤러의 각각 상단만이 돌출된 커버로서, 상기 대상물의 하면에 평행한 면을 구비한 커버와, 상기 커버 내에 부압(負壓)을 부여하여 상기 대상물을 상기 반송부에 접촉하게 하는 흡인부를 구비한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a transporting device for transporting an object by an air in a first direction, comprising: a floating portion for raising the object by ejecting the gas and pressing the object against the object; An endless belt extending in one direction, comprising: a belt having a plurality of protrusions projected to contact the object; and at least one of a plurality of rollers rotatable in the first direction and arranged in the first direction A conveying unit configured to contact the object and to be driven in the first direction; and a conveying unit configured to cover the conveying unit or extend in parallel adjacent to the conveying unit, A cover having only a top end of each of the plurality of rollers protruded, the cover having a surface parallel to the lower surface of the object; And a suction unit for bringing the object into contact with the carry section.

기판의 선단의 휨을 방지할 수 있고, 기판이 반송 장치 등에 충돌하는 것을 방지할 수 있다. It is possible to prevent the tip of the substrate from warping and to prevent the substrate from colliding with the transporting device or the like.

도 1은, 본 발명의 일실시형태에 의한 반송 장치의 일부를 나타낸 사시도이다.
도 2는, 본 실시형태에 의한 반송 장치의 3면도이다.
도 3은, 본 실시형태에 의한 반송부 및 흡인부의 횡단면도이다.
도 4는, 다른 실시형태에 의한 반송부 및 흡인부의 횡단면도이다.
도 5는, 또 다른 실시형태에 의한 흡인부 및 반송부의 횡단면도이다.
도 6은, 그리고, 또 다른 실시형태에 의한 반송 장치의 일부를 나타낸 사시도이다.
도 7은, 중앙 부근이 휘는 것에 의해 선단의 휨이 방지되는 모양을 나타낸 기판의 사시도이다.
1 is a perspective view showing a part of a transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a three-sided view of the carrying apparatus according to the present embodiment.
3 is a cross-sectional view of the carry section and the suction section according to the present embodiment.
4 is a cross-sectional view of a carry section and a suction section according to another embodiment;
5 is a cross-sectional view of a suction portion and a carry portion according to still another embodiment.
Fig. 6 is a perspective view showing a part of a transport apparatus according to still another embodiment. Fig.
Fig. 7 is a perspective view of a substrate showing a shape in which warpage of the tip end is prevented by bending in the vicinity of the center. Fig.

첨부한 도면을 참조하여 이하에 본 발명의 몇가지의 예시적인 실시형태를 설명한다. Several exemplary embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시형태에 의한 반송 장치는, 예를 들면, 청정실 내에 있어서, 유리 기판과 같은 얇은 대상물을 반송하는 데 바람직하게 이용할 수 있다. 유리 기판의 경우, 두께 0.7㎜ 정도의 것을 대상으로 할뿐 만아니라, 두께 0.1∼0.3㎜ 정도의 매우 얇은 것도 대상으로 할 수 있다. The transport apparatus according to the embodiment of the present invention can be suitably used for transporting a thin object such as a glass substrate, for example, in a clean room. In the case of a glass substrate, not only a thickness of about 0.7 mm but also an extremely thin thickness of about 0.1 to 0.3 mm can be targeted.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시형태에 의한 반송 장치(100)는, 공작물(work―object)(W)(대상물)을 부상시키는 부상부(116)와, 공작물(W)을 X방향(제1 방향)으로 구동하는 반송부(120)를 구비한다. 부상부(116)는, 기체를 분출하는 개구(116a)를 구비하고, 분출된 기체가 공작물(W)에 정압(正壓)을 부여하고, 이로써, 공작물(W)이 부상한다. 반송부(120)는, 모터 등에 의해 X방향으로 구동되는 복수의 돌기(114)를 구비하고, 돌기(114)가 공작물(W)에 접함으로써 공작물(W)이 반송된다. 반송부(120)는, 상세한 것은 후술하지만, 흡인부(128)를 구비함으로써, 돌기(114)의 주위의 기체를 흡인하여 공작물(W)을 돌기(114)에 접촉하게 한다. 부상부(116)없이 반송부(120)만에 의해 공작물(W)을 지지하여 반송해도 된다. 1, a carrying apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a lifting portion 116 for lifting a work-object W (an object), a lifting portion 116 for lifting the work W in the X direction (First direction). The floating portion 116 has an opening 116a for ejecting a gas and the ejected gas gives a positive pressure to the work W so that the work W floats. The carry section 120 is provided with a plurality of projections 114 driven by a motor or the like in the X direction and the workpiece W is carried by the projection 114 contacting the workpiece W. The carry section 120 is provided with a suction section 128 so that the workpiece W is brought into contact with the projection 114 by sucking the gas around the projection 114, The work W may be supported by the carry section 120 alone without carrying the floating section 116. [

도 2를 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 도 2의 (a)는 커버와 함께 반송 장치를 나타낸 평면도이며, 도 2의 (b), (c)는 커버를 벗긴 상태로 반송 장치를 나타낸 입면도 및 측면도이다. Will be described in more detail with reference to FIG. Fig. 2 (a) is a plan view showing the carrying device together with the cover, and Figs. 2 (b) and 2 (c) are an elevation view and a side view showing the carrying device with the cover removed.

벨트(112)와 부상부(116)는, 모두 지지대(118)에 지지되고, 지지대(118)는 지지 다리(118a)를 통하여 청정실의 바닥 또는 그레이팅(grating) 상에 설치된다. 부상부(116)는 지지대(118) 상에 배열되고, 예를 들면, X방향을 따라 복수의 부상부(116)가 배열되고, 또한 X방향과 직교하는 방향(폭 방향)으로도 복수의 부상부(116)가 배열된다. 배열의 수는 자유롭게 선택할 수 있고, 그러므로, 대상물의 크기에 따라 장치의 구성은 임의로 변경할 수 있다. 반송부(120)는, 통상, 복수의 부상부(116)의 폭 방향 양단에 배치되지만, 다른 배치도 가능하다. The belt 112 and the lifted portion 116 are both supported on a support 118 and the support 118 is installed on the floor or grating of the clean room through the support leg 118a. The floating portion 116 is arranged on the support base 118. For example, a plurality of floating portions 116 are arranged along the X direction and a plurality of floating portions 116 are arranged in the direction (width direction) A portion 116 is arranged. The number of arrays can be selected freely, and therefore the configuration of the apparatus can be arbitrarily changed depending on the size of the object. The carry section 120 is usually disposed at both ends in the width direction of the plurality of floating sections 116, but other arrangements are possible.

부상부(116)는, 그 전체가 상자형이며, 그 상면은 대체로 평탄하다. 상면은 위쪽을 향해 개구된 개구(116a)를 구비하고, 개구(116a)는 상면을 관통하여 내부의 공간과 연통되어 있다. 개구(116a)는, 예를 들면, 도 1, 도 2와 같이 원형의 슬릿이라도 되고, 직사각형이나 복수의 슬릿, 또는 다수의 작은 구멍 등, 각종 형상을 취할 수 있다. 또한, 개구(116a)는, 연직으로 상면을 관통하고 있어도 되고, 상면에 대하여 경사를 가지고 있어도 된다. 또는 부상부(116)의 상면의 일부 또는 전체가 통기성이 있는 메쉬체나 다공질체라도 된다. The floating portion 116 is entirely box-shaped, and its upper surface is generally flat. The upper surface has an opening 116a that opens upward, and the opening 116a communicates with an inner space through the upper surface. The opening 116a may be, for example, a circular slit as shown in Figs. 1 and 2, and may take various shapes such as a rectangle, a plurality of slits, or a plurality of small holes. Further, the opening 116a may penetrate the upper surface vertically, or may have an inclination with respect to the upper surface. Or a part or the whole of the upper surface of the floating portion 116 may be a breathable mesh body or a porous body.

개구(116a)와 연통되어, 외부에 기체 공급 장치가 설치되고, 공기나 질소와 같은 기체(G)가 공급되어 개구(116a)로부터 분출한다. 기체 공급 장치는, 부상부(116)에 기체(G)를 가압하여 공급하는 펌프 또는 압축기이다. 하나의 부상부(116)에 하나의 기체 공급 장치가 연결되어 있어도 되고, 복수의 부상부(116)에 단일의 기체 공급 장치가 연결되어 있어도 된다. 또한, 기체 공급 장치와 부상부(116)와의 사이에, 일정량의 압축 기체가 저류(貯留)하는 챔버가 개재되어도 된다. A gas supply device is provided outside and communicates with the opening 116a, and a gas G such as air or nitrogen is supplied and is ejected from the opening 116a. The gas supply device is a pump or a compressor that pressurizes and supplies the gas G to the floating portion 116. One gas supply device may be connected to one lifting portion 116 or a single gas supply device may be connected to the plurality of lifting portions 116. Further, a chamber in which a certain amount of compressed gas is stored may be interposed between the gas supply device and the floating portion 116.

개구(116a)로부터 분출된 기체(G)는, 공작물(W)과 부상부(116)와의 사이에 가압된 공간(P)이 생기게 하고, 이로써, 공작물(W)에 가압하여 부상력을 부여한다. 이 때, 분출된 기체(G)가 공작물(W)에 접촉되는 것에 의해 생기는 힘뿐만아니라, 부딪친 기체(G)가 주위를 향해 분산되어 가는 과정에서 생기는 정압(靜壓)도 부상력의 근원으로 된다. 그러므로, 비교적 근소한 가압력에 의해 큰 부상력을 얻을 수 있어, 에너지 효율도 우수하다. The base body G ejected from the opening 116a causes a space P pressed between the work W and the lifted portion 116 to thereby generate a lifting force by pressing against the work W . At this time, not only the force generated by the contact of the ejected base body G with the workpiece W, but also the static pressure generated in the course of the base body G being dispersed toward the periphery is also a source of the levitation force do. Therefore, a relatively large lifting force can be obtained by a relatively small pressing force, and energy efficiency is also excellent.

벨트(112)는, 대체로, 2개 이상의 휠(110) 사이를 주회(周回)하는 무단 벨트로서, 반송부(120)의 전체는 벨트 컨베이어이다. 휠(110)은 각각 프레임(102)에 의해 지지된다. 전술한 바와 같이, 반송부(120)는 복수의 부상부(116)의 폭 방향 양단에 배치되고, 그 벨트(112)가 X방향을 따라 연장되도록 향한다. The belt 112 is an endless belt that circles around two or more wheels 110. The entire conveying unit 120 is a belt conveyor. The wheels 110 are each supported by a frame 102. As described above, the carry section 120 is disposed at both ends in the width direction of the plurality of floating sections 116, and the belt 112 is oriented so as to extend along the X direction.

휠(110)에는 샤프트(110a)가 결합되어 있고, 샤프트(110a)는 프레임(102)의 지지공(102a)에 축지지됨으로써, 휠(110)은 그 주위로 회전 가능하다. 샤프트(110a)에는 기어(110b)가 결합되어 있고, 일체로 회전한다. 결합을 위해, 예를 들면, 서로 끼워맞추어지는 키와 키홈과의 조합을 채용해도 되고, 끼워맞춤 대신에, 일체의 구조라도 된다. The shaft 110a is coupled to the wheel 110 and the shaft 110a is pivotally supported on the support hole 102a of the frame 102 so that the wheel 110 is rotatable around the shaft. A gear 110b is coupled to the shaft 110a and rotates integrally. For the coupling, for example, a combination of a key and a key groove to be fitted to each other may be employed, or instead of the fitting, an integral structure may be used.

반송 장치(100)는, 또한 전동 모터와 같은 구동 장치(110c)를 구비한다. 구동 장치(110c)는, 기어(110b)와 맞물리는 기어(110d)를 구비하고, 이로써, 구동 장치(110c)의 구동에 의해 휠(110)이 회전하고, 벨트(112)가 휠(110) 사이를 주회한다. 또는 구동 장치는 휠을 직접 구동해도 되거나, 또는 적절한 기어, 피니언 장치가 더 개재되어도 된다. The transport apparatus 100 also includes a driving device 110c such as an electric motor. The driving device 110c includes a gear 110d meshing with the gear 110b so that the wheel 110 is rotated by the driving of the driving device 110c and the belt 112 is rotated by the wheel 110, . Alternatively, the drive device may drive the wheel directly, or may further include a suitable gear and pinion device.

벨트(112)는, 외측으로 돌출된 복수의 돌기(114)를 구비한다. 복수의 돌기(114)는, 또한 X방향을 따라 배열된다. 돌기(114)는 벨트(112)와 일체라도 되고, 별개로서 벨트에 걸어맞추어진 것이라도 된다. 돌기(114)는, 후술하는 바와 같이, 공작물(W)의 부상 높이보다 약간 높게 형성되어 있다. 그 형상은 원통, 직육면체, 뿔체 또는 다른 어느 쪽의 형상이라도 된다. 또한, 그 선단은, 평탄해도 되고, 또는 공작물(W)과의 접촉 면적을 감소시키기 위해 구형(球形)이나 추형(錐形) 즉 송곳형이라도 된다. 또한, 선단은 부상부(116)를 향해 하향 경사를 가지고 있어도 된다. 이 태양(態樣)에 대해서는 후술한다. The belt 112 has a plurality of protrusions 114 protruding outward. The plurality of protrusions 114 are also arranged along the X direction. The projections 114 may be integrally formed with the belt 112, or they may be separately engaged with the belt. The projection 114 is formed slightly higher than the floating height of the work W as will be described later. The shape may be a cylindrical shape, a rectangular parallelepiped shape, a horn shape, or any other shape. The tip may be flat or may have a spherical shape or a conical shape to reduce the contact area with the workpiece W. In other words, Further, the tip may have a downward inclination toward the floating portion 116. The sun will be described later.

도 3의 (a)를 참조하면, 벨트(112) 및 돌기(114)는, 바람직하게는 커버(126)에 덮힌다. 커버(126)는 그 상단에 개구(126c)를 구비하고, 돌기(114)는 그 상단만 개구(126c)로부터 위쪽으로 돌출되어 있다. 도 1로부터도 이해할 수 있는 바와 같이, 개구(126c)는 X방향으로 연장된 슬릿이며, 돌기(114)는 그 상단이 돌출된채 X방향으로 이동 가능하다. 바람직하게는 커버(126)는, 벨트(112)에 있어서 위쪽[X방향으로 이동하는 왕로(往路)]뿐만 아니라, 아래쪽[X방향과 반대 방향으로 이동하는 복로(復路)]도 덮는다. Referring to Fig. 3 (a), the belt 112 and the projection 114 are preferably covered by a cover 126. Fig. The cover 126 has an opening 126c at the upper end thereof and the projection 114 protrudes upward from the opening 126c only at the upper end thereof. As can be understood from Fig. 1, the opening 126c is a slit extending in the X direction, and the projection 114 is movable in the X direction with its top protruding. Preferably, the cover 126 covers not only the upper side (the forward route moving in the X direction) but also the lower side (the backward direction moving in the direction opposite to the X direction) on the belt 112.

반송부(120)는, 커버(126)의 내부에, 또는 커버(126)의 내부와 연통되어, 흡인부(128)를 구비한다. 흡인부(128)는 팬, 블로워(blower) 또는 펌프와 같은 흡기 수단으로서, 커버(126)의 내부를 부압으로 한다. 커버(126)의 내부는 개구(126c)를 통하여 돌기(114)의 상단의 주위의 공간과 연통되어 있고, 이러한 공간의 기체(G')를 흡인하고, 이로써, 부압 NP를 공작물(W)에 부여한다. 기체(G')는 전술한 기체(G)와 동일해도 되고, 다른 기체라도 된다. The carry section 120 is provided with a suction section 128 inside the cover 126 or in communication with the inside of the cover 126. The suction portion 128 serves as an air suction means such as a fan, a blower or a pump, and makes the inside of the cover 126 negative. The inside of the cover 126 communicates with the space around the upper end of the projection 114 through the opening 126c and sucks the gas G 'in such a space to thereby apply the negative pressure NP to the work W . The gas G 'may be the same as or different from the gas G described above.

커버(126)의 상단은, 도 3의 (b)에 나타낸 바와 같이, 위쪽을 향해 선단이 좁게 되어 있어도 되지만, 바람직하게는 도 3의 (a)와 같이, 상단은 평탄한 면(126a)을 구비하고, 더욱 바람직하게는 면(126a)은 공작물(W)의 하면에 대략 평행이다. 평행을 확보하기 위해 별개의 부재가 상단에 추가되어 있어도 된다. The upper end of the cover 126 may be narrowed toward the upper side as shown in FIG. 3 (b), but preferably the upper end has a flat surface 126a as shown in FIG. 3 (a) And more preferably, the surface 126a is substantially parallel to the lower surface of the work W. A separate member may be added at the top to ensure parallelism.

커버(126)의 면(126a)이 공작물(W)의 하면에 대략 평행한 것에 의해, 도 3의 (a)에 나타낸 바와 같이, 그 사이에 한 쌍의 유로(流路)(f)가 유지되고, 이들 유로(f)를 통하여 기체(G')가 개구(126c)를 향해 끌어당겨진다. 유로(f)는, 각각, 2개의 면에 에워싸인 비교적 좁은 유로이며, 또한 한 쌍의 유로(f)는 개구(126c) 및 돌기(114)에 대하여 거의 대칭적이다. 기체(G')가 넓은 공간으로부터 좁은 유로(f)에 유입되는 것에 의해, 베르누이의 원리에 따라, 기체(G')의 유속(流速)이 커지는 동시에 압력이 저하되고, 이로써, 부압 NP가 생긴다. 유로(f)는, 그 전체에 걸쳐 대략 일정한 폭이므로, 이 부압 NP는 유로(f)의 전체에 걸쳐 대략 일정하다. The surface 126a of the cover 126 is substantially parallel to the lower surface of the work W so that a pair of flow paths f are maintained between them as shown in Fig. And the base G 'is pulled toward the opening 126c through these flow paths f. The flow path f is a relatively narrow flow path surrounded by two surfaces and each of the pair of flow paths f is almost symmetrical with respect to the opening 126c and the projection 114. [ As the gas G 'flows into the narrow passage f from the wide space, the flow velocity of the gas G' increases and the pressure is lowered according to the Bernoulli principle, whereby the negative pressure NP is generated . Since the flow path f has a substantially constant width over its entirety, the negative pressure NP is substantially constant throughout the flow path f.

전술한 구성에 의한 효과는, 도 3의 (a)와 도 3의 (b)를 비교함으로써, 보다 명료하게 이해된다. 도 3의 (a), (b)의 각각 아래의 그래프는, 위치 D(가로축)에 대한 부압 NP의 크기(세로축)를 나타낸 그래프로서, 이해의 도움을 위해 세로축은 절대값(마이너스의 값의 부호를 역으로 한 값)에 의해 표시하고 있다. 도 3의 (b)에 나타낸 바와 같이 커버(2c)의 상단(2a)이 선단이 가늘게 되어 있고, 이에 벨트(1)와 흡인부(3)가 덮혀져 있는 경우, 부압은 개구(2b)의 중심 부근에 집중하여 생기고, 중심으로부터 이격되면 급격하게 부압은 작아진다. 개구(2b)의 중심 부근[파선(破線) a]에 있어서 부압 NP가 크지만, 개구(2b)의 중심으로부터 이격된 커버(2c)의 양 어깨 부근(파선 b, c)에 있어서는 부압 NP는 현저하게 작다. 한편, 도 3의 (a)에 나타낸 바와 같이 상단이 공작물(W)의 하면에 대략 평행한 면(126a)을 가지는 경우, 한 쌍의 유로(f)의 전체에 걸쳐 대략 일정한 부압 NP가 생기므로, 개구의 중심 부근(파선a)에서 면(126a)의 양단 부근(파선 b, c)에 걸쳐, 일정한 부압 NP가 생긴다. 즉, 공작물(W)의 단부(端部)가 평탄하게 유지되는 폭이 넓어진다. 또한, 공작물(W)에 작용하는 흡인력은, 부압 NP의 적분값이므로, 넓은 범위에서 부압 NP가 생기는 것은, 보다 큰 흡인력을 초래하는 것으로 이어진다. 그러므로, 흡인부(128)의 출력이 비교적 작아도 큰 흡인력을 얻을 수 있어 에너지 효율도 우수하다. The effect of the above-described configuration is more clearly understood by comparing FIG. 3 (a) with FIG. 3 (b). 3 (a) and 3 (b) are graphs showing the magnitude (vertical axis) of the negative pressure NP relative to the position D (abscissa). For the sake of understanding, the vertical axis indicates the absolute value (The value obtained by reversing the sign). 3 (b), when the upper end 2a of the cover 2c has a thin tip and the belt 1 and the suction portion 3 are covered with each other, It is concentrated in the vicinity of the center, and when separated from the center, the negative pressure is suddenly reduced. The negative pressure NP is large in the vicinity of the center of the opening 2b (broken line a), but in the vicinity of both shoulders (broken lines b and c) of the cover 2c spaced from the center of the opening 2b, It is remarkably small. On the other hand, when the upper end has a surface 126a substantially parallel to the lower surface of the work W as shown in Fig. 3A, a substantially constant negative pressure NP is generated throughout the pair of flow paths f A constant negative pressure NP is generated in the vicinity of the center of the opening (broken line a) and near both ends of the surface 126a (broken lines b and c). That is, the width at which the end portion of the work W is kept flat is widened. Further, since the suction force acting on the work W is the integral value of the negative pressure NP, the generation of the negative pressure NP in a wide range leads to a larger suction force. Therefore, even if the output of the suction unit 128 is relatively small, a large attractive force can be obtained and the energy efficiency is also excellent.

커버(126)의 예를 들면, 하단은, 또한 개구를 구비하고, 기체(G')는 개구로부터 외부로 배기된다. 바람직하게는 개구는 에어 필터(126f)를 구비한다. 벨트 컨베이어나 팬 또는 블로워와 같은 회전체는, 종종 청정실 내에서의 주요한 발진원이므로, 이러한 개소에 에어 필터를 설치하는 것은, 청정실의 공기의 청정도를 유지하는 데 유리하다. For example, the lower end of the cover 126 also has an opening, and the base G 'is exhausted from the opening to the outside. Preferably, the opening has an air filter 126f. BACKGROUND ART Rotors such as a belt conveyor, a fan, or a blower are often a major source of oscillation in a clean room, and therefore, providing an air filter at such a location is advantageous in maintaining air cleanliness of the clean room.

또한 부상부(116)에 기체를 공급하는 기체 공급 장치에 개구를 접속하고, 이로써, 기체(G)를 순환하게 해도 된다. 이들은 순환부를 구성한다. 기체 공급 장치에 있어서는, 유입과 유출이 조화되는 것에 의해, 에너지 효율이 높아지므로, 에너지 절약성의 점에서 유리하다. 또한, 이 경우, 흡기 수단과 기체 공급 장치의 한쪽을 생략하고, 다른 쪽에 기체를 흡인하는 수단과 기체를 가압하는 수단을 겸하게 해도 된다. Further, the opening may be connected to the gas supply device for supplying the gas to the floating portion 116, whereby the gas G may be circulated. These constitute a circulation part. In the gas supplying apparatus, the energy efficiency is enhanced by harmonizing the inflow and the outflow, which is advantageous from the viewpoint of energy saving. In this case, one of the intake means and the gas supply device may be omitted, and the means for sucking the gas to the other side and the means for pressurizing the gas may be used.

커버의 형태에 대하여, 각종 변형이 가능하다. 예를 들면, 도 4의 (a)에 나타낸 바와 같이, 커버(226)의 상단의 면(226a)은, 공작물(W)의 휨에 따라, 기울어져 있어도 된다. 구체적으로는, 공작물(W)이 그 폭 방향 중앙에 있어서 휠 때 생기는 단부의 하면의 경사에 대하여 평행하게 한다. 개구(226c)는 경사진 면(226a)에 설치된다. 면(226a)과 공작물(W)과의 평행성을 확보하는 데 유리할뿐만 아니고, 공작물(W)이 커버(226)에 접촉하는 것을 방지할 수 있다. Various modifications can be made to the shape of the cover. For example, as shown in Fig. 4A, the upper surface 226a of the cover 226 may be inclined in accordance with the bending of the work W. Fig. Concretely, the work W is made parallel to the inclination of the lower surface of the end portion of the wheel at the center in the width direction. The opening 226c is provided on the inclined surface 226a. It is not only advantageous in securing parallelism between the surface 226a and the workpiece W but also prevents the workpiece W from contacting the cover 226. [

도 4의 (b)에 나타낸 바와 같이, 커버(126)의 전체가 경사 가능해도 된다. 구체적으로는, 커버(126)는, 그 경사를 조정하기 위해 구성된 조정부(320)를 구비한다. 조정부(320)는, 커버(126)를 지지하는 지지체(320a)와, 지지체(320a)를 축지지하는 샤프트(320b)를 구비한다. 커버(126)는, 샤프트(320b)의 주위로 회동(回動) 가능하므로, 그 경사가 조정 가능하다. 샤프트(320b)에는, 전동 모터 등의 구동 수단이 결합되어 있어도 된다. 공작물(W)의 휨은, 그 종류나 두께에 따라, 또는 부상부(116)를 구동하는 조건에 따라, 여러 가지로 변할 수 있다. 도 4의 (b)와 같이 조정부(320)를 구비하면, 각종 휨에 대응하여 면(126a)과 공작물(W)과의 평행성을 확보할 수 있다. As shown in Fig. 4 (b), the entire cover 126 may be inclined. Specifically, the cover 126 is provided with an adjusting portion 320 configured to adjust the inclination. The adjustment unit 320 includes a support 320a for supporting the cover 126 and a shaft 320b for supporting the support 320a. Since the cover 126 can be rotated around the shaft 320b, its inclination can be adjusted. Drive means such as an electric motor may be coupled to the shaft 320b. The warpage of the work W may vary in various ways depending on the type and thickness thereof, or the conditions for driving the floating portion 116. [ 4 (b), the parallelism between the surface 126a and the work W can be ensured in response to various warps.

도 4의 (c)에 나타낸 바와 같이, 커버(326)의 상단의 면은, 또한 경사면(326f)을 구비해도 된다. 경사면(326f)은, 상단의 면의 어깨부로부터 시작되어, 개구(326c)로부터 이격됨에 따라 공작물(W)으로부터 이격되는 방향으로 경사져 있다. 경사면(326f)은, 도시한 바와 같이 둥근 면이라도 되고, 평면 또는 조금씩 각도를 바꾼 평면의 집합이라도 된다. 기체(G')는, 먼저 경사면(326f)의 부근을 통과한 후에 유로(f)에 유입된다. 이 때, 기체(G')는 점차로 좁아지는 유로를 통과함으로써, 유속이 점차로 커지고 압력이 점차로 작아진다. 즉 유로(f)의 입구에 있어서 압력이 급격하게 변동되지 않고, 또한 기체(G')의 흐름에 흐트러지짐도 쉽게 생기지 않는다. 이들은, 공작물(W)의 단부의 평탄성을 확보하는 데 유리하다. 또한, 압력 손실이 쉽게 생기지 않으므로, 에너지 효율의 점에서도 유리하다. As shown in Fig. 4 (c), the upper surface of the cover 326 may be provided with an inclined surface 326f. The inclined surface 326f starts from the shoulder portion of the upper surface and is inclined in a direction away from the workpiece W as spaced from the opening 326c. The sloped surface 326f may be a round surface as shown in the drawing, or may be a set of planes or angles slightly changed in angle. The gas G 'first flows into the flow path f after passing near the inclined surface 326f. At this time, the gas G 'gradually passes through the narrowing passage, so that the flow velocity gradually increases and the pressure gradually decreases. That is, the pressure at the inlet of the flow path f is not abruptly changed, and the flow of the gas G 'is not easily disturbed. These are advantageous in securing the flatness of the end portion of the work W. In addition, since the pressure loss is not easily generated, it is also advantageous in terms of energy efficiency.

도 4의 (d)에 나타낸 바와 같이, 커버(426)의 상면은, 외측을 향해 연장되는 플랜지부(426a)를 구비해도 된다. 플랜지부(426a)는, 물론, 공작물(W)의 하면에 대략 평행한 것이 바람직하다. 이와 같이 해도 플랜지부(426a)와 공작물(W)과의 하면과의 사이에 유로(f)가 형성되고, 개구(426c)로부터 유로(f)에 이르는 범위에 있어서 균일한 부압 NP가 생긴다. 균일한 부압 NP가 생기게 하는 범위를 확대하는 데 유리하고, 또한 넓은 개구(426c)를 확보할 수 있으므로, 압력 손실을 작게 할 수 있어, 에너지 효율의 점에서도 유리하다. As shown in Fig. 4 (d), the upper surface of the cover 426 may have a flange portion 426a extending outward. The flange portion 426a is, of course, preferably substantially parallel to the lower surface of the work W. The flow path f is formed between the flange portion 426a and the lower surface of the work W and a uniform negative pressure NP is generated in a range from the opening 426c to the flow path f. It is advantageous to enlarge the range in which a uniform negative pressure NP is generated and also to secure a wide opening 426c so that the pressure loss can be reduced and it is also advantageous in terms of energy efficiency.

커버의 상단의 면과 공작물(W)의 하면과의 사이의 평행성은, 반드시 엄밀하게 요구되는 것이 아니고, 도 5의 (a), (b)에 나타낸 바와 같이, 약간의 각도를 가지고 있어도 된다. 도 5의 (a)의 예에서는, 면(526a)이 공작물(W)의 중앙을 향해 기울고 있어 면(526a)과 공작물(W)의 하면이 각도를 두고 있다. 도 5의 (b)의 예에서는, 면(626a)이, 좌우 대칭으로, 중심으로부터 이격됨에 따라 기울고 있어 면(626a)과 공작물(W)의 하면이 각도를 두고 있다. 이들 각도는, 예를 들면, 10°정도라면 허용되는 것으로 하고, 후술하는 효과를 충분히 얻기 위해서는 5°이하가 더욱 바람직하다. The parallelism between the upper surface of the cover and the lower surface of the work W is not strictly required and may have a slight angle as shown in Figs. 5 (a) and 5 (b). 5A, the surface 526a is inclined toward the center of the work W, and the surface 526a and the lower surface of the work W are at an angle. In the example of FIG. 5B, the surface 626a is inclined as it is spaced apart from the center in the left-right symmetry so that the lower surface of the workpiece W and the surface 626a are at an angle. These angles are allowed to be, for example, about 10 DEG, and more preferably 5 DEG or less for sufficiently obtaining the effect described later.

벨트(112) 및 돌기(114)는, 반드시 커버에 덮히지 않아도 된다. 도 5의 (c)에 나타낸 예에 있어서는, 전술한 커버에 해당하는 부재인 흡인관(726)의 외부에 벨트(112) 및 돌기(114)가 설치된다. 바람직하게는 흡인관(726)보다 벨트(112) 및 돌기(114)는 반송 장치의 폭 방향으로 외측이다. 흡인관(726)의 상단은, 내부와 연통된 개구(726c)이다. 개구(726c)는, X방향을 따라 연장되는 슬릿이다. 또한, 개구(726c)로부터 연속하여 플랜지부(726a)가 설치된다. 플랜지부(726a)는, 물론, 공작물(W)의 하면에 대략 평행한 것이 바람직하다. 개구(726c)의 양측에 플랜지부(726a)를 설치해도 되고, 도시한 바와 같이 한쪽에만 플랜지부(726a)를 설치해도 된다. 흡인관(726)의 내부에, 또는 흡인관(726)의 내부와 연통되어, 흡인부(728)가 설치된다. 흡인부(728)와 연통되어 배기를 위한 개구가 형성되지만, 지금까지 설명한 실시형태와 마찬가지로, 이 개구에 에어 필터를 설치해도 된다. 부압은 돌기(114)에 관하여 대칭으로 되지는 않지만, 그 이외의 효과는 지금까지 설명한 실시형태와 마찬가지이다. The belt 112 and the protrusion 114 do not necessarily have to be covered with the cover. In the example shown in Fig. 5C, a belt 112 and a projection 114 are provided outside the suction pipe 726, which is a member corresponding to the above-described cover. Preferably, the belt 112 and the projections 114 are outward in the width direction of the conveying apparatus than the suction tube 726. The upper end of the suction pipe 726 is an opening 726c communicating with the inside. The opening 726c is a slit extending along the X direction. Further, a flange portion 726a is provided continuously from the opening 726c. Of course, the flange portion 726a is preferably substantially parallel to the lower surface of the work W. The flange portion 726a may be provided on both sides of the opening 726c or the flange portion 726a may be provided on only one side as shown in the figure. A suction portion 728 is provided inside the suction tube 726 or in communication with the inside of the suction tube 726. An opening for exhausting is formed by communicating with the suction portion 728, but an air filter may be provided in this opening similarly to the embodiment described so far. The negative pressure is not symmetrical with respect to the projection 114, but the other effects are the same as in the embodiments described so far.

전술한 어느 쪽의 실시형태에 의해서도, 흡인부가 개구를 통하여 공작물(W)에 부압 NP를 부여하여, 공작물(W)의 단부를 돌기에 접촉시킨다. 공작물(W)의 단부는, 돌기에 접한 상태에서, 이와 동시에 진행하고, 이로써 반송된다. 개구는 돌기를 포위하고 있고, 그 주위에 넓은 범위에서 부압 NP가 발생하므로, 공작물(W)의 단부는, 폭 방향으로 넓은 범위에서 평탄하게 유지된다. 또한, 개구는 X방향을 따라 연장되어 있으므로, 공작물(W)의 단부는, X방향을 따라 넓은 범위에서 평탄하게 유지된다. According to either of the above-described embodiments, the negative pressure NP is applied to the workpiece W through the opening of the suction unit, thereby bringing the end of the workpiece W into contact with the projection. The end portion of the workpiece W advances at the same time in a state of being in contact with the projections, and is thereby conveyed. Since the opening surrounds the projection and the negative pressure NP is generated in a wide range around the projection, the end portion of the work W is kept flat in a wide range in the width direction. Further, since the opening extends along the X direction, the end portion of the work W is held flat in a wide range along the X direction.

또한 반송부(120)에 있어서는, 개구로부터 기체(G')를 흡인하는 대신에, 기체(G')를 분출해도 된다. 공작물(W)의 하면과 커버의 상단과의 사이의 간극을, 기체(G')가 상당 정도의 유속을 가지고 유출한다. 이 때, 간극이 크게 되려고 하면 유속이 변하여, 베르누이의 원리에 의해 부압이 생긴다. 간극과 유량이 특정한 관계를 만족시키면, 공작물(W)을 흡인하는 데 충분한 부압이 발생한다. 즉, 반송부(120)는, 이른바 베르누이 척으로서 기능하여, 공작물(W)에 부압 NP를 부여한다. Further, in the carry section 120, instead of sucking the base body G 'from the opening, the base body G' may be ejected. The gap between the lower surface of the work W and the upper end of the cover flows out with a considerable flow rate of the base body G '. At this time, when the gap tends to become large, the flow velocity changes and a negative pressure is generated by the Bernoulli principle. When the gap and the flow rate satisfy a specific relationship, a sufficient negative pressure is generated to suck the work W. That is, the carry section 120 functions as a so-called Bernoulli chuck, and imparts the negative pressure NP to the work W.

공작물(W)의 단부는 일렬로 배열된 복수의 돌기(114)에 지지되고, 이와 동시에 움직이므로, 기둥에 의지한 천정과 같이 평탄한 형상이 유지된다. 도 3, 도 4에 있어서 공작물(W)이 좌측 방향을 향해 하강하도록 나타나 있으므로, 이해할 수 있는 바와 같이, 공작물(W)의 단부가 평탄하게 지지되는 한편, 공작물(W)의 중앙 부근은 자중에 의해 아래쪽으로 약간 휜다. 즉, X방향을 따라 보면, 공작물(W)은 오목형의 형상으로 될 수 있다. 또는, 공작물(W)의 중앙 부근을 휘게 하는 변형 수단을 설치해도 된다. The ends of the workpiece W are supported by a plurality of projections 114 arranged in a line, and at the same time, a flat shape like a ceiling with respect to the columns is maintained. 3 and 4, the work W is lowered toward the left. As can be understood, the end portion of the work W is supported flat, while the vicinity of the center of the work W It bends slightly downward. That is, if the work W is viewed along the X direction, it can be a concave shape. Alternatively, a deforming means for bending the center of the work W may be provided.

이와 같은 변형 수단 중 하나는, 특정한 부상 높이를 생기게 하는 기체 공급 장치이다. 기체 공급 장치가 공급하는 가압 기체에 있어서, 가압력을 적절하게 조정함으로써, 부상부(116) 상에서의 부상 높이를, 돌기(114) 상에서의 공작물(W)의 높이보다 낮게 할 수 있다. 또는, 폭 방향으로 복수 배열된 부상부(116) 중, 중앙 대략 부상부(116)만 부상력을 감소시켜도 된다. 또는, 기체 공급 장치 또는 부상부(116)에, 적절한 압력 손실 수단 또는 유량 조정 수단을 설치하여, 중앙 부근에 있어서 부상력을 감소시켜도 된다. 이러한 변형 수단에 의해, 공작물(W)에 오목형의 형상을 갖게 할 수 있다. 또는, 부상부(116)에 의한 부상력을 강하게 함으로써, 공작물(W)에 볼록형의 형상을 갖게 해도 된다. One such means of modification is a gas supply device that causes a particular lift height. The lift height on the floating portion 116 can be made lower than the height of the work W on the projection 114 by suitably adjusting the pressing force in the pressurized gas supplied by the gas supply device. Alternatively, among the floating portions 116 arranged in plural in the width direction, only the floating portion 116 at the center may reduce the floating force. Alternatively, an appropriate pressure loss means or flow rate adjusting means may be provided in the gas supply device or floating portion 116 to reduce the floating force in the vicinity of the center. By this modification, the work W can have a concave shape. Alternatively, the work W may have a convex shape by increasing the lifting force caused by the lifted portion 116.

변형 수단의 다른 하나는, 돌기(114)가, 공작물(W)을 휘게 할 수 있도록 구성되어 있는 것이다. 공작물(W)은, 부상부(116) 상에 있어서, 공작물(W)의 중량과 부상부(116)에 의한 부상력과의 관계로 정해지는 고유의 부상 높이를 가진다. 돌기(114)가 공작물(W)을 휘지 않도록 지지하는 높이에 대하여, 돌기(114)가 공작물(W)을 높은 높이에 지지하도록 형성되어 있으면, 공작물(W)에 오목형의 형상을 갖게 할 수 있다. Another modification means is that the projection 114 is configured to bend the work W. The work W has a unique floating height determined on the basis of the relationship between the weight of the work W and the floating force caused by the floating portion 116 on the floating portion 116. [ If the protrusion 114 is formed so as to support the work W at a high height with respect to the height at which the protrusion 114 supports the work W so as not to bend, the work W can have a concave shape have.

변형 수단의 또 다른 하나는, 돌기(114)의 각 선단이 부상부(116)를 향해 하향 경사를 가지는 것이다. 돌기(114)가 경사져 있으므로, 공작물(W)의 중앙 부근이 아래쪽으로 휘는 것이 촉구된다. Another one of the deforming means is that each end of the projection 114 has a downward inclination toward the floating portion 116. [ Since the projection 114 is inclined, it is urged that the center of the work W is bent downward.

전술한 실시형태에는 각종 변형이 있을 수 있다. 이하에서는 특히, 반송부 및 흡인부에 대하여, 몇가지의 변경한 실시형태를 설명한다. Various modifications may be made to the above-described embodiments. Hereinafter, some modified embodiments will be described with respect to the carry section and the suction section in particular.

벨트 컨베이어 대신에, 도 6의 (a)에 나타낸 바와 같이, 롤러 컨베이어를 채용할 수도 있다. 반송부(120B)는, 복수의 돌기(114)를 구비한 벨트(112) 대신에, X방향을 따라 배열된 복수의 롤러(314)를 구비한다. 복수의 롤러(314)가 단일의 커버(126)에 덮혀 있고, 롤러(314)의 상단이 각각 커버(126)의 개구(126c)로부터 위쪽으로 돌출되어 있다. 전술한 실시형태와 마찬가지로, 개구(126c)를 통하여 기체(G')가 흡인되어, 부압 NP가 공작물(W)에 인가된다. 부압 NP에 의해 공작물(W)의 단부가 롤러(314)에 접하여, 롤러(314)에 구동되어 공작물(W)은 X방향으로 반송된다. 개구(126c)의 주위의 면은 공작물(W)의 하면과 대략 평행하며, 그 범위에 이르는 부압 NP를 발생하고, 넓은 범위에서 공작물(W)의 단부의 평탄성이 유지된다. Instead of the belt conveyor, a roller conveyor may be employed as shown in Fig. 6 (a). The carry section 120B includes a plurality of rollers 314 arranged in the X direction instead of the belt 112 having the plurality of projections 114. [ A plurality of rollers 314 are covered by a single cover 126 and the upper end of the roller 314 protrudes upward from the opening 126c of the cover 126 respectively. The gas G 'is sucked through the opening 126c and the negative pressure NP is applied to the work W as in the above-described embodiment. The end of the work W contacts the roller 314 by the negative pressure NP and is driven by the roller 314 so that the work W is transported in the X direction. The surface around the opening 126c is substantially parallel to the lower surface of the work W and generates a negative pressure NP reaching the range and the flatness of the end portion of the work W is maintained in a wide range.

롤러 컨베이어는, 도 6의 (b)에 나타낸 바와 같이 구동 장치에 의해 구동할 수 있다. X방향을 따라 복수의 롤러(314)가 배열되어 있고, 프레임(302)에 각각 회전 가능하게 지지된다. 롤러(314)의 각 샤프트는 풀리(pully)(310b)에 결합되어 있고, 전동 모터와 같은 구동 장치(310)도 풀리(310b)에 결합되어 있다. 이들 풀리(310b)가 벨트(310e)에 의해 서로 연결되는 것에 의해, 모든 롤러(314)가 동기하여 회전한다. 구동 장치(310)의 샤프트(310c)는, 바람직하게는 반대측의 끝에까지 연장되어 반대측의 끝의 풀리(310b)를 회전하게 한다. 이로써, 양단의 롤러(314)가 동기하여 회전한다. 또는, 벨트에 의하지 않고 샤프트 및 기어 기구(機構)에 의해 구동 장치를 구성해도 된다. The roller conveyor can be driven by a driving device as shown in Fig. 6 (b). A plurality of rollers 314 are arranged along the X direction and are rotatably supported on the frame 302, respectively. Each shaft of the roller 314 is coupled to a pulley 310b and a drive 310 such as an electric motor is also coupled to the pulley 310b. By connecting these pulleys 310b to each other by the belt 310e, all the rollers 314 rotate synchronously. The shaft 310c of the drive 310 preferably extends to the opposite end to rotate the pulley 310b at the opposite end. Thereby, the rollers 314 at both ends rotate synchronously. Alternatively, the drive device may be constituted by a shaft and a gear mechanism (mechanism) not by a belt.

이와 같은 태양에 의해서도, 공작물(W)의 폭 방향 양단을 평탄하게 지지하는 한편, 공작물(W)의 중앙 부근을 약간 휘게 할 수 있다. 그러면, 공작물(W)은 오목형(또는 볼록형)의 형상을 취하여, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. Even in this manner, both ends in the width direction of the work W can be supported flatly, and the vicinity of the center of the work W can be slightly bent. Then, the work W takes a concave (or convex) shape, and the following effects can be obtained.

도 7을 참조하여, 전술한 각각의 실시형태에 의해 얻어지는 효과를 설명한다. 도 7의 (a)를 참조하면, 종래 기술과 같이 공작물(W)의 전체적인 형상을 평탄하게 유지하도록 하면 공작물(W)의 선단이 지지되어 있지 않을 때, 자중에 의해 선단은 화살표 H와 같이 아래쪽으로 휘어 버린다. 예를 들면, 공작물(W)이 하나의 롤러로부터 다음의 롤러로 이동할 때, 또는 하나의 반송 장치로부터 다음의 반송 장치로 이동할 때, 이와 같은 상태로 되어 버린다. 공작물(W)은, 아래쪽으로 휘는 것에 의해 롤러 또는 반송 장치에 충돌하기 쉽다. 한편, 본 실시형태에 의하면, 도 7의 (b)에 나타낸 바와 같이, 공작물(W)의 폭 방향 양단은 반송 X방향을 따라 평탄하고, 중앙 부근은 약간 휜다. 그러면, 공작물(W)이 폭 방향으로 물결치고 있으므로, 반송 방향 X으로는 공작물(W)은 자유롭게 변형되 지 않고, 그러므로, 공작물(W)의 선단은, 지지되어 있지 않아도, 아래쪽으로 휘지 않는다. 공작물(W)이 하나의 롤러로부터 다음의 롤러로 이동할 때, 또는 하나의 반송 장치로부터 다음의 반송 장치로 이동할 때라도, 공작물(W)의 선단이 롤러 또는 반송 장치에 충돌하는 것이 방지된다. The effect obtained by each of the above-described embodiments will be described with reference to Fig. 7A, if the overall shape of the work W is kept flat as in the prior art, when the tip of the work W is not supported, . For example, when the work W moves from one roller to the next, or from one conveying device to the next, it is in this state. The workpiece W tends to collide with the roller or the conveying device by bending downward. On the other hand, according to the present embodiment, as shown in Fig. 7 (b), both ends in the width direction of the work W are flat along the conveying X direction and slightly bent around the center. Thus, the work W is not freely deformed in the carrying direction X, and therefore, the tip end of the work W does not bend downward even if it is not supported, because the work W is waving in the width direction. The leading end of the work W is prevented from colliding with the roller or the conveying device even when the work W moves from one roller to the next roller or from one conveying device to the next conveying device.

바람직한 실시형태에 의해 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 상기 개시 내용에 기초하여, 상기 기술 분야의 통상의 기술을 가진 자가, 실시형태의 수정 내지 변형에 의해 본 발명을 행할 수 있다. Although the present invention has been described with reference to the preferred embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments. On the basis of the above-described disclosure, those skilled in the art can make the present invention by modifications and variations of the embodiments.

[산업 상의 이용 가능성][Industrial Availability]

기판의 선단의 휨을 방지할 수 있는 반송 장치가 제공된다. There is provided a transport apparatus capable of preventing warpage of the tip of the substrate.

100; 반송 장치
120, 120B; 반송부
2c, 126, 226, 326, 426; 커버
128, 728; 흡인부
114; 돌기
116; 부상부
118; 지지대
314; 롤러
X; 반송 방향
W; 공작물
G, G'; 기체
100; Conveying device
120, 120B; [0050]
2c, 126, 226, 326, 426; cover
128, 728; Suction portion
114; spin
116; Floating portion
118; support fixture
314; roller
X; Conveying direction
W; Workpiece
G, G '; gas

Claims (8)

  1. 대상물을 기체(氣體)에 의해 부상시켜 제1 방향으로 반송(搬送)하기 위한 반송 장치로서,
    상기 기체를 분출하여 상기 대상물에 가압함으로써 상기 대상물을 부상시키는 부상부;
    상기 제1 방향으로 연장된 무단(無端) 벨트로서 상기 대상물에 접촉하기 위해 돌출된 복수의 돌기를 포함하는 벨트 및 상기 제1 방향으로 회전 가능하며 상기 제1 방향으로 배열된 복수의 롤러 중, 적어도 한쪽을 구비하는 반송부로서, 상기 대상물에 접촉하여 상기 제1 방향으로 구동하기 위해 구성된 반송부;
    상기 복수의 돌기 또는 상기 복수의 롤러의 각각 상단만이 돌출된 커버로서, 상기 대상물의 하면에 평행한 면을 가지는 커버; 및
    상기 커버 내에 부압(負壓)을 부여하여 상기 대상물을 상기 반송부에 접촉하게 하는 흡인부;
    를 포함하고,
    상기 커버의 상기 면은, 상기 대상물이 그 폭 방향 중앙에 있어서 휠 때 생기는 단부(端部)의 하면의 경사에 대하여 평행인,
    반송 장치.
    A conveying device for conveying (conveying) an object in a first direction by being lifted by a body,
    A floating portion for floating the object by ejecting the gas and pressing the object against the object;
    An endless belt extending in the first direction, a belt including a plurality of protrusions protruded to contact the object, and a plurality of rollers rotatable in the first direction and arranged in the first direction, A conveying unit having one side, comprising: a conveying unit configured to contact the object and to be driven in the first direction;
    A cover protruding from only the upper end of each of the plurality of projections or the plurality of rollers, the cover having a surface parallel to the lower surface of the object; And
    A suction unit for applying a negative pressure to the cover to bring the object into contact with the carry section;
    Lt; / RTI >
    Wherein the surface of the cover is parallel to the inclination of the lower surface of the end of the object when the object is in the widthwise center of the surface,
    Conveying device.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 커버는, 상기 반송부를 덮거나, 또는 상기 반송부에 인접하여 평행하게 연장되어 있고, 또한 상기 제1 방향으로 연장되어 상기 대상물에 상기 부압이 부여될 수 있도록 구성된 슬릿을 포함하는, 반송 장치.
    The method according to claim 1,
    Wherein the cover includes a slit that covers the carry section or extends parallel to the carry section and extends in the first direction so that the negative pressure can be applied to the object.
  3. 삭제delete
  4. 제1항에 있어서,
    상기 커버의 상기 면은, 그 끝에 있어서 상기 대상물로부터 이격되는 방향으로 경사지는 경사면을 포함하는, 반송 장치.
    The method according to claim 1,
    Wherein the surface of the cover includes an inclined surface that is inclined in a direction away from the object at the end thereof.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 커버의 상단(上端)의 면(面)의 경사를 조정하기 위해 구성된 조정부를 더 포함하는, 반송 장치.
    The method according to claim 1,
    Further comprising an adjustment unit configured to adjust a tilt of a surface of the upper end of the cover.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 부상부 또는 상기 반송부는, 상기 대상물을 그 폭 방향 중앙에 있어서 휘게 할 수 있도록 구성된 변형 수단을 포함하는, 반송 장치.
    The method according to claim 1,
    Wherein the floating portion or the conveying portion includes a deforming means configured to bend the object in the widthwise center thereof.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 변형 수단은, 상기 복수의 돌기 상에서의 상기 대상물의 높이보다 낮은 부상 높이를 상기 부상부에 생기게 할 수 있도록 구성된 기체 공급 장치, 또는 상기 부상부에서의 상기 대상물의 부상 높이보다 높게 형성된 상기 복수의 돌기인, 반송 장치.
    The method according to claim 6,
    The deforming means may be configured to include a gas supply device configured to cause a floating height of the floating portion to be lower than a height of the object on the plurality of projections, Protruding, conveying device.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 흡인부는 상기 커버 내에 설치된 팬, 블로워(blower) 또는 펌프인, 반송 장치.
    The method according to claim 1,
    Wherein the suction unit is a fan, a blower, or a pump installed in the cover.
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