JP2008249303A - 連続熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】塵埃の発生を抑えつつ安定した状態で長距離にわたってワークを気体浮揚搬送することが可能な連続熱処理装置を提供する。
【解決手段】連続熱処理装置10は、気体浮揚装置50、搬送手段、および規制手段を備えており、搬送手段は、気体浮揚装置50によって浮揚したワーク40に対して搬送方向の力を加えるローラーであって、当該ローラーの周面がワークの側面に当接するように配置された複数の駆動ローラ14、自由ローラ16と、炉体12の外部において駆動ローラ14、自由ローラ16をそれぞれ回転自在に支持する第1の支持部80とを有し、規制手段は、ワーク40の搬送方向への移動を規制する制止ロッド32と、炉体12の外部に配置されるとともに制止ロッド32が選択的にワーク40の搬送経路に突出するように制止ロッド32を移動自在に支持するベース部30とを有する。
【選択図】図1
【解決手段】連続熱処理装置10は、気体浮揚装置50、搬送手段、および規制手段を備えており、搬送手段は、気体浮揚装置50によって浮揚したワーク40に対して搬送方向の力を加えるローラーであって、当該ローラーの周面がワークの側面に当接するように配置された複数の駆動ローラ14、自由ローラ16と、炉体12の外部において駆動ローラ14、自由ローラ16をそれぞれ回転自在に支持する第1の支持部80とを有し、規制手段は、ワーク40の搬送方向への移動を規制する制止ロッド32と、炉体12の外部に配置されるとともに制止ロッド32が選択的にワーク40の搬送経路に突出するように制止ロッド32を移動自在に支持するベース部30とを有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、ワークを気体浮揚させつつ搬送することが可能な連続熱処理装置に関する。
連続熱処理装置におけるワークの搬送手法の1つに、気体浮揚搬送という搬送手法がある。この気体浮揚搬送は、メッシュベルト搬送やローラハース搬送に比べて、ワークの加熱のために熱エネルギーをより有効に利用できるとされている。
ところが、気体浮揚搬送では、ワークを気体によって浮揚させ、かつ気体による推力によって所望の位置までワークを搬送して停止させることになるため、その搬送制御が容易ではなかった。また、ワークの搬送が不安定になりやすいため、搬送の信頼性が十分であるとは言えなかった。
そこで、従来、気体浮遊させたワークの後端を押すために、所定方向に沿って移動するように構成された当接部材を設けた気体浮揚搬送装置が考案された(例えば、特許文献1参照)。この気体浮揚搬送装置では、ワークの両側面外側にワークの搬送方向に沿って設置された一対の無端ベルトや、一対の回転ウォーキングビームに、所定間隔ごとに当接部材を設けている。その結果、簡単な構成で確実に、複数のワークを熱処理空間内にて連続搬送できるとされていた。
特開2000−128345号公報
しかし、搬送距離が長くなると、無端ベルトやウォーキングビームの長さが長くなり、これらの撓みが発生することがあった。この撓みの発生を抑えるためには、無端ベルトやウォーキングビームの中間位置で所定間隔ごとにこれらを支持する支持部材が必要になる。その結果、無端ベルトおよびウォーキングビームと支持部材とが絶えず擦れることが原因で、熱処理空間内にしかもワークの直近で塵埃を発生させてしまう虞がある。塵埃の発生は、清浄度が要求されるワークの熱処理環境が悪化させるため好ましくない。
要するに、従来の気体浮揚搬送では、塵埃の発生を抑えつつ安定性のある搬送や長距離にわたる搬送を実現することが困難であったため、今なお実用化に至っていないのが現状である。
この発明の目的は、塵埃の発生を抑えつつ安定した状態で長距離にわたってワークを気体浮揚搬送することが可能な連続熱処理装置を提供することである。
この発明に係る連続熱処理装置は、炉体内のワークを気体浮揚搬送しつつ熱処理を行う。この連続熱処理装置は、浮揚手段、搬送手段、および規制手段を備える。浮揚手段は、気体によってワークを浮揚させる。
搬送手段は、浮揚手段によって浮揚したワークに対して搬送方向の力を加える。搬送手段は、その周面がワークの側面に当接するように配置された複数のローラと、炉体の外部において複数のローラをそれぞれ回転自在に支持する第1の支持部とを有する。複数のローラは、その周面が溶融シリカ等の無発塵性部材で構成されることが好ましい。
規制手段は、ワークの搬送方向への移動を選択的に規制する。規制手段は、ワークの前面に当接することによってワークの搬送方向への移動を規制する制止部材と、炉体の外部に配置されるとともに制止部材が選択的にワークの搬送経路に突出するように制止部材を移動自在に支持する第2の支持部とを有する。
ワークの搬送に用いるローラの設置数を増加させることにより、ワークの搬送距離が長くなるときであっても、安定してワークを搬送することが可能になる。ローラが熱処理空間外で支持されているため、ローラが回転する時に熱処理空間内に塵埃が発生しにくい。同様に、制止部材が熱処理空間外で支持されているため、制止部材が移動する時に熱処理空間内に塵埃が発生しにくい。
本発明によれば、塵埃の発生を抑えつつ安定した状態で長距離にわたってワークを気体浮揚搬送することが可能になる。
図1に示すように、本発明の実施形態に係る連続熱処理装置10は、炉体12の内部の熱処理空間においてワーク40を気体浮揚搬送するように構成される。ワーク40の例として、プラズマディスプレイ用のガラス基板や太陽電池用基板が挙げられる。以下の例では、セッターレスの搬送を説明するが、セッターを用いて搬送を行う場合にもこの発明を適用することは可能である。
炉体12の下部には、ワーク40を所望量だけ浮揚させる気体浮揚装置50が設けられる。気体浮揚装置50は内部に熱源(図示せず)を備えており、熱源にて熱せられた風をワーク40の底面に対して均一に吹き付けるように構成される。気体浮揚装置50は、ドライバ26に接続されており、ドライバ26によって駆動される。炉体12の天井部にはヒータ18が設けられる。ヒータ18は、ドライバ25に接続されており、ドライバ25によって駆動される。
炉体12には、複数の駆動ローラ14と複数の自由ローラ16とが設けられる。駆動ローラ14および自由ローラ16に用いられる素材としては、溶融シリカが好ましい。その理由は、炉体12の内部に塵埃を発生させないからである。ただし、無発塵性の性質を有するものであれば、溶融シリカ以外の素材を駆動ローラ14および自由ローラ16に用いることが可能である。
駆動ローラ14は、熱処理空間外に設けられた支持部80によって回転自在に支持される。駆動ローラ14はそれぞれモータ28によって回転力を供給されるように構成される。モータ28は、ドライバ22によって駆動される。一方、自由ローラ16は、熱処理空間外に設けられた支持部80によって回転自在に支持される。
図2に示すように、駆動ローラ14および自由ローラ16は、ワーク40の搬送経路の両側に、垂直に配置される。駆動ローラ14がワーク40を所望の方向に送り出すように回転したときにワーク40の側面が駆動ローラ14の周面に接することにより、ワーク40が搬送される。自由ローラ16は、搬送されるワーク40の側面に接触することにより、供回りする。駆動ローラ14および自由ローラ16は、その周面がワーク40にぴったりと接触している必要はなく、駆動ローラ14および自由ローラ16の周面とワーク40の側面との間に適当な間隙が設けられていても、ワーク40を適正に搬送することが可能である。
炉体12には、ワーク40の前面に当接することによって、ワーク40の搬送を所望の位置にて制止させるための制止ロッド32が設けられる。制止ロッド32は、往復移動自在になるようにベース部30に支持される。ベース部30は、熱処理空間外に配置され、ドライバ24によって駆動される。ベース部30は、制止ロッド32がワーク40の搬送経路に延び出す第1の状態、および、制止ロッド32がワーク40の搬送経路から退避する第2の状態を選択的に切り換えるように構成される。
連続熱処理装置10はさらに制御部20を備える。制御部20は、内部に格納されたプログラムによって連続熱処理装置10の動作を統括的に制御する。特に、制御部20は、上述のドライバ22、ドライバ24、ドライバ26、およびドライバ25を制御する。
図3に示すように、制御部20が気体浮揚装置50を動作させるとワーク40が略水平状態のままわずかに浮揚する。この状態で、制御部20が、駆動ローラ14を動作させることにより、ワーク40に対して搬送力が供給される。図示しないセンサがワークの前端を検知したとき、駆動ローラ14はモータ軸との係合が解かれて自由回転可能となる。さらに、制御部20が制止ロッド32を第1の状態にすることにより、ワーク40が所望の位置にて静止される。また、制止ロッド31を第2の状態にし、次にモータ軸と駆動ローラ14とが係合されることにより、ワーク40の搬送が再開される。なお、駆動ローラ14を駆動していないときは、モータ28の出力、従って入力がゼロになっていても良い。モータ入/出力頻度によりいずれかが選択される。
駆動ローラ14および自由ローラ16の数を増加させることにより、ワーク40の搬送距離が長くなるときであっても、安定してワーク40を搬送することが可能になる。駆動ローラ14および自由ローラ16は熱処理空間外で支持されているため、駆動ローラ14および自由ローラ16が回転する時に熱処理空間内に塵埃が発生しにくい。
上述の実施形態では、図4(A)に示すように、駆動ローラ14と自由ローラ16とをワークの搬送方向に沿って交互に配置した。この結果、全部のローラに駆動ローラ14を用いる場合に比較して省電力化が図られる。このとき、駆動ローラ14および自由ローラ16は、配置ピッチPがワーク40の搬送方向の寸法Dの半分以下になるように配置される。このため、駆動ローラ14と自由ローラ16とをワークの搬送方向に沿って交互に配置した場合でも、常時、ワーク40に対して搬送力を供給することが可能になる。
駆動ローラ14と自由ローラ16の配置は図4(A)に示す例に限定されるものではない。例えば、図4(B)に示すように、すべてのローラを駆動ローラ16によって構成することが可能である。図4(B)の構成では、より強い搬送力をワーク40に供給することが可能になる。また、図4(C)に示すように、ワーク40の側面が駆動ローラ14および自由ローラ16にそれぞれ挟まれるように構成することも可能である。さらに、図4(D)に示すように、一方のローラ列を他方のローラ列に対して半ピッチ程度ずらして配置することも可能である。
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
10−連続熱処理装置
14−駆動ローラ
16−自由ローラ
32−制止ロッド
50−気体浮揚装置
14−駆動ローラ
16−自由ローラ
32−制止ロッド
50−気体浮揚装置
Claims (4)
- 炉体内のワークを気体浮揚搬送しつつ熱処理を行う連続熱処理装置であって、
気体によって前記ワークを浮揚させる浮揚手段と、
前記浮揚手段によって浮揚した前記ワークに対して搬送方向の力を加える搬送手段と、
前記ワークの搬送方向への移動を選択的に規制する規制手段と、
を備え、
前記搬送手段は、その周面が前記ワークの側面に当接するように配置された複数のローラと、前記炉体の外部において前記複数のローラをそれぞれ回転自在に支持する第1の支持部とを有しており、
前記規制手段は、前記ワークの前面に当接することによって前記ワークの搬送方向への移動を規制する制止部材と、前記炉体の外部に配置されるとともに前記制止部材が選択的に前記ワークの搬送経路に突出するように前記制止部材を移動自在に支持する第2の支持部とを有する連続熱処理装置。 - 前記複数のローラの周面が、無発塵性部材で構成された請求項1に記載の連続熱処理装置。
- 前記複数のローラの配置ピッチが前記ワークの搬送方向の寸法の半分以下になるように前記複数のローラが配置された請求項1または2に記載の連続熱処理装置。
- 前記複数のローラは、モータによって駆動される駆動ローラと、モータによって駆動されない自由ローラとを前記ワークの搬送方向に沿って交互に配列して構成される請求項3に記載の連続熱処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007093677A JP2008249303A (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | 連続熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101365527B1 (ko) | 2011-12-28 | 2014-02-25 | (주)포스코 | 가열로의 스라브 이송장치 |
CN115287434A (zh) * | 2022-07-25 | 2022-11-04 | 深圳市鑫陶窑炉设备有限公司 | 防撞梁用的网带加热炉和防撞梁热处理方法 |
Citations (3)
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JPH11118357A (ja) * | 1997-08-04 | 1999-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 対象物体の加熱処理方法およびそのための装置 |
JP2004043119A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Canon Inc | 基板用コンベア |
WO2005103593A1 (ja) * | 2004-03-30 | 2005-11-03 | Koyo Thermo Systems Co., Ltd. | 連続熱処理装置および連続熱処理方法 |
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2007
- 2007-03-30 JP JP2007093677A patent/JP2008249303A/ja active Pending
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