JP4972618B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
図1は、プラズマ処理装置に組み込まれた、この発明の実施の形態1における基板搬送装置の一部切欠斜視図である。図2は、図1に示された基板搬送装置を構成する第2ガイドプレートおよび第3ガイドプレートの斜視図である。図3〜図7は、この発明の実施の形態1における基板搬送装置の搬送の各段階を説明する構成説明図である。
図8〜図11にはそれぞれ、実施の形態1における基板搬送装置Dを構成する第2ガイドプレートおよび第3ガイドプレートに代わって設けられた別の第2ガイドプレートおよび第3ガイドプレート(変形例1〜4)が示されている。
図8に示された、実施の形態1における変形例1の第2ガイドプレート36は、基板載置面36aを有する本体部と、この本体部における第3ガイドプレート37を臨む端部(対向側端部)に設けられ、基板4を第3ガイドプレート37における基板載置面37aから第2ガイドプレート36における基板載置面36aへ誘導するための誘導部としての誘導板36bとからなっている。この誘導板36bは、本体部の基板載置面36aにおける対向側端部に取り付けられたものであり、基板載置面36aから下方へゆるやかに傾斜する凸状湾曲面を有している。
図9に示された、実施の形態1における変形例2の第2ガイドプレート46は、基板載置面46aを有する本体部と、この本体部における第3ガイドプレート47を臨む端部(対向側端部)に設けられ、基板4を第3ガイドプレート47における基板載置面47aから第2ガイドプレート46における基板載置面46aへ誘導するための誘導部としての誘導板46bとからなっている。この誘導板46bは、本体部の基板載置面46aにおける対向側端部に取り付けられたものであり、基板載置面46aから下方へゆるやかに傾斜する凸状湾曲面と、この凸状湾曲面に連なる凹状湾曲面とを有している。そして、この凹状湾曲面はパーティクルを受けるための凹状のパーティクル受部46cにされている。
図10に示された、実施の形態1における変形例3の第2ガイドプレート56は、基板載置面56aを有する本体部と、この本体部における第3ガイドプレート57を臨む端部(対向側端部)に設けられ、基板4を第3ガイドプレート57における基板載置面57aから第2ガイドプレート56における基板載置面56aへ誘導するための誘導部としての搬送補助ローラ56bとからなっている。
図11に示された、実施の形態1における変形例4の第2ガイドプレート66は、基板載置面66aを有する本体部と、この本体部における第3ガイドプレート67を臨む端部(対向側端部)に設けられ、基板4を第3ガイドプレート67における基板載置面67aから第2ガイドプレート66における基板載置面66aへ誘導するための誘導部としての搬送補助ローラ66bとからなっている。
図12は、プラズマ処理装置に組み込まれた、この発明の実施の形態2における基板搬送装置の一部切欠斜視図である。図13は、実施の形態2における基板搬送装置を構成する基板搭載用トレーの平面図である。
2・・・第2真空室(プロセスチャンバー)
3・・・ゲートバルブ
4・・・基板
5・・・第1ガイドプレート
5a・・基板載置面
6・・・第2ガイドプレート
6a・・基板載置面
6b・・誘導部
7・・・第3ガイドプレート
7a・・基板載置面
7b・・誘導部
8・・・ガス噴出孔
9・・・ガス噴出孔群
10・・・ガス供給管
13・・・真空ポンプ
14・・・基板搬入・搬出用扉
15・・・圧力調整バルブ
19・・・アノード電極
20・・・カソード電極
22・・・整合回路
23・・・高周波電源
24・・・搬送用アーム
24a・・ベース部
24b・・ガイド部
24c・・アーム部
24d・・内方突出状端
24e・・内方突出状端
24f・・ギア
25・・・プーリ
26・・・ワイヤー
27・・・モータ
28・・・レール
29・・・スプリング
30・・・搬送機能部
35・・・トレー
35a・・本体部
35b・・第1張出部
35c・・第2張出部
35d・・第3張出部
35e・・テーパー部分
36・・・第2ガイドプレート
36a・・基板載置面
36b・・誘導部
37・・・第3ガイドプレート
37a・・基板載置面
37b・・誘導部
45・・・昇降機構
46・・・第2ガイドプレート
46a・・基板載置面
46b・・誘導部
46c・・パーティクル受部
47・・・第3ガイドプレート
47a・・基板載置面
47b・・誘導部
47c・・パーティクル受部
56・・・第2ガイドプレート
56a・・基板載置面
56b・・誘導部
57・・・第3ガイドプレート
57a・・基板載置面
57b・・誘導部
60・・・ガス供給管
66・・・第2ガイドプレート
66a・・基板載置面
66b・・誘導部
67・・・第3ガイドプレート
67a・・基板載置面
67b・・誘導部
Claims (5)
- 基板が載置される基板載置面と基板を浮上させるための複数の浮上用ガス噴出孔とを有し、互いに離間した状態に隣接して配置された複数の浮上搬送用ガイドプレートと、
それぞれのガイドプレートへ浮上用ガスを供給するガス供給源と、
浮上した基板を搬送元のガイドプレートから隣接する搬送先のガイドプレートへ搬送するための搬送用アームと
を備えてなり、
搬送先のガイドプレートにおける基板載置面の高さが、搬送元のガイドプレートにおける基板載置面の高さよりも低くされ、
搬送先のガイドプレートにおける搬送元のガイドプレートを臨む端部に、搬送される基板を搬送元のガイドプレートにおける基板載置面から搬送先のガイドプレートにおける基板載置面へ誘導するための誘導部が設けられ、
誘導部は、搬送先のガイドプレートにおける基板載置面から端部にかけて下方に傾斜する傾斜面を有しており、
誘導部が設けられたガイドプレート端部には、パーティクルを受けるための凹状のパーティクル受部がさらに設けられている、
ことを特徴とする基板搬送装置。 - 誘導部は、搬送補助ローラからなっている、請求項1に記載の基板搬送装置。
- 搬送補助ローラは、搬送方向と垂直な方向に間隔を置いて複数設けられている、請求項2に記載の基板搬送装置。
- 搬送元のガイドプレートおよび搬送先のガイドプレートのうち少なくとも一方は、昇降機構により昇降し、それによって、同ガイドプレートにおける基板載置面の高さを変更することができるように設けられている、請求項1〜3のいずれか1つに記載の基板搬送装置。
- 基板が搭載され、浮上用ガスにより浮上されるトレーをさらに備え、
トレーは、搬送先のガイドプレートを臨む端部に、搬送方向に向かって厚さが徐々に薄くなるテーパー部分を有している、請求項1〜4のいずれか1つに記載の基板搬送装置。
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