JP2014508221A - 原子層成膜のための装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 成膜空間
3 成膜空間
4 前駆体供給部
40 反応物質供給部
5 基板表面
6 前駆体排出部
7 ガスベアリング
8 ベアリングガス導入部
9 基板
10 支持部
11 流動制限表面
13 圧力制御部
15 搬入領域
16 稼働領域
17 搬出領域
18 駆動部
18A 第1の駆動部
18B 第2の駆動部
18.1、18.2 壁部
19 壁部
19A 頂部壁部
19B 底部壁部
29 キャビティ
30 前駆体排出部
31 処理領域
32 受容要素
34、34A、34B 駆動ポケット
36 ガス流動の方向
42 可動ピン
48A、48B 心出しエアベアリング
49A、49B 基板の側面
60 排出部
62.i 圧力解放切欠き部
64 ベアリング圧力構成部
72.i.j 装置
90 基板端部
91 基板側部
181 吸入部
182 放出部
183 ガス流動
185 制限部
190 スリット状の放出部
191 くさび
192 ガス流動供給部
193 ガス流動
194 収集チャンバー
195 粒子
560 心出しエアベアリング
561 心出しベアリングガス供給部
562 凹部空間
Claims (15)
- 前駆体供給部及び前駆体排出部が提供される成膜空間及びガスベアリングを備える導入ヘッドであって、前記供給部及び前記排出部が、前記前駆体供給部から前記成膜空間を介して前記前駆体排出部へ前駆体ガス流動を提供するように配置され、使用時には前記成膜空間が前記導入ヘッド及び基板表面によって画定され、前記ガスベアリングが、前記導入ヘッドと前記基板表面との間に、ガスベアリングを形成するベアリングガスを導入するように構成されたベアリングガス導入部を備える、導入ヘッド;
前記導入ヘッドと対向して配置され、搬送平面内に導入ヘッドガスベアリング圧力に対抗するガスベアリング圧力構成を提供するように構成された支持部であって、前記基板が、前記導入ヘッドと前記支持部との間で前記ガスベアリング圧力構成によって、支持されることなく均衡される、支持部;並びに
搬入領域(15)及び駆動部(18)を備える搬送システムであって、前記駆動部が、前記基板が搬送される搬送平面を形成する前記基板の平面に沿った前記基板及び前記導入ヘッドの相対移動を提供するように配置された搬送要素を備え、前記搬入領域が、前記搬送平面に対して対称的に配置され前記駆動部の方へ向かう第1の搬送方向における前記搬送平面上の稼働高さを減少させるように構築された勾配を有する壁部を備え、スリット状の放出部が前記勾配を有する壁部と前記駆動部とを橋渡しして配置され、前記スリット状の放出部が、前記第1の搬送方向を横切って前記搬入領域に渡って延設し、前記基板に沿って前記スリット状の放出部の外にガス流動を提供するガス流動供給部が、前記第1の搬送方向に対向する高衝撃粒子除去ガス流動を提供する搬送システムを備える、薄板状の基板の表面上への原子層成膜のための装置。 - 前記成膜空間が、前記基板表面に対して成膜空間高さD2を画定し;前記ガスベアリングが、前記基板に対して、前記成膜空間高さD2よりも小さな空隙間隔D1を画定する、請求項1に記載の装置。
- 前記前駆体排出部が、前記前駆体供給部に隣接して提供され、前記基板の搬送方向と平行な前駆体ガス流動を画定し;及び/または、使用時には、前記前駆体排出部及び前記前駆体供給部が、共に基板表面に対向する、請求項1または2に記載の装置。
- 前記導入ヘッドが、前記前駆体供給部;排出部及び/または前記ガス導入部のいずれかを、基板の存在に依存して切り替えるための圧力制御部を備える、請求項1から3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記支持部が、前駆体排出部に対向する排出部を備え、前記排出部が、前記成膜空間内の基板の存在に依存して切り替え可能であり、基板端部が前記前駆体排出部を通過すると、前駆体流動が、前記支持部に対向する前記基板表面から離れるように提供される、請求項4に記載の装置。
- 前記導入ヘッドが、反応物質供給部が提供される追加的な成膜空間を備え、使用時には、前記追加的な成膜空間が、流動障壁によって画定され、前記装置が、好適には反応物質ガス、プラズマ、レーザー誘起放射及び紫外線放射のうち少なくとも1つを、前記追加的な成膜空間内に提供して、前記基板表面の少なくとも一部の上に前記前駆体ガスを付与した後に前記前駆体を反応させるように構成された、請求項1から5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記搬送システムが搬入領域;及び前記搬入領域に隣接し前記搬送平面に対して位置合わせされた稼働領域を備え;前記導入ヘッドが前記可動領域内に提供され、薄板状の基板が前記搬入領域内に挿入可能である、請求項1から6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記搬入領域が、可動であり稼働高さを設定する頂部壁部を有する、請求項7に記載の装置。
- 前記導入ヘッドが前記搬送平面に向かうように及び前記搬送方向から離れるように可動である、請求項1に記載の装置。
- 前記搬送システムが、ガス吸入部及び放出部の対が交互に配置されて提供される搬送要素を備え;ガスベアリング圧力及び前記搬送平面に沿ったガス流動を提供し、前記ガス流動を制御することによって前記基板の移動を提供するように構成されたガス流動制御システムを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記ガス放出部及び吸入部の対が、前記搬送平面に対向するポケット内に提供されて、前記ポケット内に前記搬送平面に沿って放出部から吸入部への流動を提供し、前記ガス放出部が、異方性エアベアリングを提供する流動制限部を有して提供される、請求項10に記載の装置。
- 基板を心出しするための第1の心出しエアベアリング及び第2の心出しエアベアリングを有して提供され、前記搬入領域と前記搬出領域との間の中心線に沿って前記基板を移動させる、請求項1から11のいずれか一項に記載の装置。
- 導入ヘッドを含む装置を用いた基板表面上への原子層成膜の方法であって、前記導入ヘッドが、前駆体供給部及びベアリングガス導入部で提供されるガスベアリングを有して提供される成膜空間を備え、
a)前記前駆体供給部から前記成膜空間内に前駆体ガスを供給して前記基板表面に接触させ、前記成膜空間が、前記基板表面に対する成膜空間高さD2を画定する段階;
b)前記導入ヘッドと前記基板表面との間にガスベアリングを形成するベアリングガスを導入する段階;
c)前記成膜空間と前記基板との間に、前記基板表面の平面での相対的な運動を確立する段階;及び
d)搬送平面内の前記導入ヘッドガスベアリングに均衡するガスベアリング圧力の構成を提供し、前記導入ヘッドと前記支持部との間の前記ガスベアリング圧力構成によって前記基板を支持することなしに保持させる段階;
e)前記搬送平面に対して対称的に配置された勾配を有する壁部を備える搬入領域によって前記駆動部に向かう第1の搬送方向における前記搬送平面上の稼働高さを減少させ、前記第1の搬送方向に対向する高衝撃粒子除去ガス流動を提供する前記基板に沿ったガス流動を提供し、前記ガス流動が前記勾配を有する壁部と前記駆動部とを橋渡しして配置され、前記第1の搬送方向を横切って前記搬入領域に渡って延設するスリット状の放出部の外部に提供される段階、を備える、方法。 - 前記装置が反応空間を備え、前記前駆体を前記反応物質ガスと反応させる前記反応空間内に、前記基板表面の少なくとも一部に前記前駆体ガスを付与した後、反応物質ガス、プラズマ、レーザー誘起放射及び紫外線放射のうち少なくとも1つを提供して、前記基板表面の少なくとも一部に原子層を得る段階を備える、請求項13に記載の方法。
- ガスベアリング圧力及び前記搬送平面に沿ったガス流動を提供し、ガス流動システムの制御に対して前記基板の選択的な運動を提供して前記導入ヘッドに対する前記基板の往復移動を提供するように構成されたガス流動を提供する段階をさらに備える、請求項13に記載の方法。
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Families Citing this family (25)
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---|---|---|---|---|
EP2159304A1 (en) * | 2008-08-27 | 2010-03-03 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Apparatus and method for atomic layer deposition |
EP2281921A1 (en) * | 2009-07-30 | 2011-02-09 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Apparatus and method for atomic layer deposition. |
EP2481833A1 (en) * | 2011-01-31 | 2012-08-01 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Apparatus for atomic layer deposition |
EP2481832A1 (en) * | 2011-01-31 | 2012-08-01 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Apparatus for atomic layer deposition |
NL2008592C2 (en) * | 2012-04-03 | 2013-10-07 | Solaytec B V | Method for producing a photocell. |
DE102012213095A1 (de) * | 2012-07-25 | 2014-01-30 | Roth & Rau Ag | Gasseparation |
TWI624560B (zh) * | 2013-02-18 | 2018-05-21 | 應用材料股份有限公司 | 用於原子層沉積的氣體分配板及原子層沉積系統 |
US9583337B2 (en) | 2014-03-26 | 2017-02-28 | Ultratech, Inc. | Oxygen radical enhanced atomic-layer deposition using ozone plasma |
JP6305314B2 (ja) * | 2014-10-29 | 2018-04-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置およびシャワーヘッド |
EP3307426A4 (en) * | 2015-06-15 | 2018-12-19 | ALD Nanosolutions, Inc. | Continuous spatial atomic layer deposition process and apparatus for applying films on particles |
CN107949656B (zh) * | 2015-09-02 | 2020-07-03 | Beneq有限公司 | 用于向基材的表面提供涂覆层的设备和方法 |
US10364497B2 (en) * | 2016-02-11 | 2019-07-30 | Intermolecular, Inc. | Vapor based site-isolated processing systems and methods |
CN106048561B (zh) * | 2016-08-17 | 2019-02-12 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种原子层沉积装置及方法 |
US11251019B2 (en) * | 2016-12-15 | 2022-02-15 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Plasma device |
US10400332B2 (en) * | 2017-03-14 | 2019-09-03 | Eastman Kodak Company | Deposition system with interlocking deposition heads |
US10422038B2 (en) * | 2017-03-14 | 2019-09-24 | Eastman Kodak Company | Dual gas bearing substrate positioning system |
US10851457B2 (en) | 2017-08-31 | 2020-12-01 | Lam Research Corporation | PECVD deposition system for deposition on selective side of the substrate |
JP6863199B2 (ja) | 2017-09-25 | 2021-04-21 | トヨタ自動車株式会社 | プラズマ処理装置 |
US20190283063A1 (en) * | 2018-03-14 | 2019-09-19 | Adam Zax | Method and apparatus for inline coating of substrates |
FI130416B (en) * | 2019-06-28 | 2023-08-21 | Beneq Oy | Precursor source arrangement and atomic layer growth apparatus |
CN110331383B (zh) * | 2019-07-29 | 2024-03-01 | 陕西煤业化工技术研究院有限责任公司 | 一种材料表面处理气体喷射装置 |
KR20230156441A (ko) * | 2019-08-16 | 2023-11-14 | 램 리써치 코포레이션 | 웨이퍼 내에서 차동 보우를 보상하기 위한 공간적으로 튜닝 가능한 증착 |
EP3822389A1 (en) * | 2019-11-13 | 2021-05-19 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | Area selective atomic layer depostion method and tool |
JP7098677B2 (ja) * | 2020-03-25 | 2022-07-11 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
CN111330917B (zh) * | 2020-04-21 | 2024-01-02 | 南通芯盟测试研究院运营管理有限公司 | 微电子器件编带的除尘装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59501727A (ja) * | 1982-08-24 | 1984-10-11 | ボツク,エドワ−ド | 基板処理用装置 |
JP2003109993A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-11 | Applied Materials Inc | 基板処理装置 |
JP2006147859A (ja) * | 2004-11-19 | 2006-06-08 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 処理装置及び処理方法 |
JP2007514528A (ja) * | 2003-12-15 | 2007-06-07 | コアフロー サイエンティフィック ソリューションズ リミテッド | 表面洗浄装置および方法 |
US20090081885A1 (en) * | 2007-09-26 | 2009-03-26 | Levy David H | Deposition system for thin film formation |
JP2011521468A (ja) * | 2008-05-20 | 2011-07-21 | エーエスエム インターナショナル エヌ. ヴェー. | 高スループットの電子層堆積のための装置および方法 |
US20110268879A1 (en) * | 2008-05-20 | 2011-11-03 | Granneman Ernst H A | Apparatus and method for high-throughput atomic layer deposition |
JP2012501537A (ja) * | 2008-08-27 | 2012-01-19 | ネーデルランツ オルガニサティー フォール トゥーゲパストナトゥールヴェテンシャッペリーク オンデルズーク テーエンオー | 原子層堆積のための装置および方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7789961B2 (en) | 2007-01-08 | 2010-09-07 | Eastman Kodak Company | Delivery device comprising gas diffuser for thin film deposition |
US7851380B2 (en) * | 2007-09-26 | 2010-12-14 | Eastman Kodak Company | Process for atomic layer deposition |
KR101341013B1 (ko) * | 2008-09-04 | 2013-12-13 | 엘지디스플레이 주식회사 | 세정 장치 |
-
2011
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59501727A (ja) * | 1982-08-24 | 1984-10-11 | ボツク,エドワ−ド | 基板処理用装置 |
JP2003109993A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-11 | Applied Materials Inc | 基板処理装置 |
JP2007514528A (ja) * | 2003-12-15 | 2007-06-07 | コアフロー サイエンティフィック ソリューションズ リミテッド | 表面洗浄装置および方法 |
JP2006147859A (ja) * | 2004-11-19 | 2006-06-08 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 処理装置及び処理方法 |
US20090081885A1 (en) * | 2007-09-26 | 2009-03-26 | Levy David H | Deposition system for thin film formation |
JP2010541236A (ja) * | 2007-09-26 | 2010-12-24 | イーストマン コダック カンパニー | 反応性ガスを空間的に分離するガス配送ヘッドを用い、配送ヘッドを通過する基板の移動を伴う、薄膜形成のための方法及び堆積装置 |
JP2011521468A (ja) * | 2008-05-20 | 2011-07-21 | エーエスエム インターナショナル エヌ. ヴェー. | 高スループットの電子層堆積のための装置および方法 |
US20110268879A1 (en) * | 2008-05-20 | 2011-11-03 | Granneman Ernst H A | Apparatus and method for high-throughput atomic layer deposition |
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