JP2006147859A - 処理装置及び処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ロボットハンド8がチャンバ1内に基板Wを搬入する際に、チャンバ1の搬入口1cの周囲の位置に設けられたノズル12から、ロボットハンド8及び基板Wにガス流Fを吹き付けるようにした。ガス流Fは、チャンバ1の内部から外部に向う方向の流速成分を有するため、外気やパーティクル等が基板Wと共にチャンバ1内に侵入するのを防止できる。このため、チャンバ1内を真空排気する工程が不要となる。また、チャンバ1内におけるガス濃度の変動を防止できる。
【選択図】 図1
Description
Claims (9)
- 内部に被処理物を搬入するための搬入口が形成された処理室と、
被処理物を前記搬入口を介して前記処理室内に搬入する搬入装置と、
前記搬入口の周囲に該搬入口を取り囲むように配置され、各々前記搬入装置によって前記処理室内に搬入される被処理物にガスを吹き付ける複数のノズルであって、各々の先端が前記処理室の外部に向って傾斜している複数のノズルと
を備えた処理装置。 - さらに、前記複数のノズルによって前記被処理物に吹き付けられたガスを滞留させるガス滞留空間を画定したガス滞留室と、
前記ガス滞留空間からガスを吸引し、吸引したガスからパーティクルを除去して再び前記複数のノズルから噴出させるガス再生機構とを備えた請求項1に記載の処理装置。 - さらに、前記ノズルを揺動させる揺動機構を備えた請求項1又は2に記載の処理装置。
- さらに、前記複数のノズル及び前記処理室内に共通のガスを供給するガス供給源を備えた請求項1〜3のいずれかに記載の処理装置。
- 前記ガス供給源によって前記複数のノズル及び前記処理室内に供給される共通のガスが、不活性ガスと酸素ガスとを含む混合ガスである請求項4に記載の処理装置。
- 前記処理室の壁の一部が、アニール処理用レーザ光を透過させる窓によって構成され、
さらに、前記処理室の外部から前記窓を通して、前記処理室内の被処理物に前記アニール処理用レーザ光を入射させるレーザ出射装置を備えた請求項1〜5のいずれかに記載の処理装置。 - (a)被処理物を準備する工程と、
(b)準備した被処理物を搬入口を介して処理室内に搬入する工程であって、前記搬入口の周囲の位置から、前記処理室の外部に向って傾斜した方向にガスを噴出させ、前記被処理物を清浄化させながら、該被処理物を前記処理室内に搬入する工程と
を有する被処理物の処理方法。 - 前記工程(b)が、前記被処理物を前記処理室内に搬入する前に、予め前記処理室内にガスを充満させておく工程を含み、前記被処理物に吹き付けるガスと、前記処理室に充満されるガスとが、同一のガス成分からなる請求項7に記載の処理方法。
- 前記被処理物の表面が、アモルファス半導体によって構成されており、
前記工程(b)の後に、前記処理室内に搬入された被処理物にアニール処理用レーザ光を入射させ、該アニール処理用レーザ光が入射した位置のアモルファス半導体を多結晶化させる工程を有する請求項7又は8に記載の処理方法。
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