JP7471106B2 - 部品運搬装置 - Google Patents
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Description
[処理システム10の構成]
図1は、本開示の一実施形態における処理システム10の一例を示すシステム構成図である。一実施形態において、処理システム10は、制御装置20と、複数の処理グループ30と、複数の部品運搬装置50とを備える。制御装置20は、それぞれの処理グループ30およびそれぞれの部品運搬装置50と通信し、それぞれの処理グループ30およびそれぞれの部品運搬装置50を制御する。
図2は、第1の実施形態における処理装置40の一例を示す図である。本実施形態において、処理装置40は、チャンバ41、ガス供給部44、RF(Radio Frequency)電力供給部45、および排気システム46を備える。
図9は、第1の実施形態における部品運搬装置50の一例を示す図である。部品運搬装置50は、容器51と、カセット52と、複数のロボットアーム53a~53bと、移動機構54とを備える。容器51は、処理装置40に接続される開口部511と、開口部511を開閉するゲートバルブ512と、蓋部510とを有する。容器51は、カセット52と、複数のロボットアーム53a~53bとを収容する。ゲートバルブ512は、開閉弁の一例である。なお、以下では、複数のロボットアーム53a~53bのそれぞれを区別することなく総称する場合にロボットアーム53と記載する。
図11および図12は、第1の実施形態における処理装置40と部品運搬装置50との接続部分の一例を示す拡大断面図である。本実施形態において、部品運搬装置50が接続される処理装置40のチャンバ41の側面には、凸部410が設けられている。また、処理装置40が接続される部品運搬装置50の容器51の側面には、凸部410に対応する形状の凹部513が設けられている。凸部410および凹部513は、処理装置40と部品運搬装置50とが接続される場合に、例えば図12に示されるように嵌合することにより、処理装置40と部品運搬装置50との位置合わせをサポートする。
図13は、制御装置20の一例を示すブロック図である。制御装置20は、記憶部21、制御部22、無線通信部23、および有線通信部24を備える。無線通信部23は、例えば無線通信回路であり、アンテナ25を介してそれぞれの部品運搬装置50と無線通信を行う。有線通信部24は、例えばNIC(Network Interface Card)等であり、それぞれの処理グループ30と通信を行う。なお、制御装置20は、それぞれの処理グループ30と無線通信を行ってもよい。
図15は、エッジリング423の交換タイミングの一例を説明するための図である。制御装置20の制御部22は、それぞれのエッジリング423の交換時期t1を推定し、推定された交換時期t1を、予約テーブル210内の「次の交換時期」の欄に登録する。エッジリング423が交換された後、基板Wに対する処理がまだ行われていない場合には、制御装置20は、エッジリング423の「交換日時」から推定される標準的な交換時期t1を「次の交換時期」の欄に登録する。
図16は、消耗部品の交換対象の処理装置40の位置へ部品運搬装置50を移動させる際の制御装置20の処理の一例を示すフローチャートである。図16に示される処理は、制御装置20の制御部22が記憶部21から読み出されたプログラムを実行することにより実現される。制御装置20は、複数の処理装置40および部品運搬装置50を制御する。
図18は、部品運搬装置50の処理の一例を示すフローチャートである。図18に示される処理は、制御部551が記憶部552から読み出されたプログラムを実行することにより実現される。なお、図18に例示された処理とは別に、制御部551は、通信部550を介して交換指示を受信し、受信した交換指示を記憶部552に格納する。
第1の実施形態では、部品運搬装置50内に排気装置554が設けられ、部品運搬装置50内のガスが排気装置554によって部品運搬装置50の外部に排気されることにより、部品運搬装置50内が減圧された。これに対し本実施形態では、部品運搬装置50内のガスは、部品運搬装置50が処理装置40に接続された際に、処理装置40の排気システム46によって排気される。これにより、部品運搬装置50内に排気装置554が不要となり、部品運搬装置50を小型化することができる。なお、本実施形態における処理システム10のシステム構成は、図1を用いて説明された第1の実施形態における処理システム10のシステム構成と同様であるため、説明を省略する。
図19は、第2の実施形態における処理装置40の一例を示す図である。なお、以下に説明する点を除き、図19において、図2と同じ符号を付した構成は、図2における構成と同一または同様の機能を有するため説明を省略する。
図20は、第2の実施形態における部品運搬装置50の一例を示す図である。なお、以下に説明する点を除き、図20において、図9と同じ符号を付した構成は、図9における構成と同一または同様の機能を有するため説明を省略する。
図21は、第2の実施形態における処理装置40と部品運搬装置50との接続部分の一例を示す拡大断面図である。なお、以下に説明する点を除き、図21において、図11と同じ符号を付した構成は、図11における構成と同一または同様の機能を有するため説明を省略する。
第1および第2の実施形態における部品運搬装置50は、1種類の消耗部品であるエッジリング423を交換する。これに対し、本実施形態における部品運搬装置50は、複数種類の消耗部品を交換する。複数種類の消耗部品としては、例えばエッジリング423および上部電極43e等が考えられる。
第1から第3の実施形態における部品運搬装置50は、消耗部品の交換が必要な処理装置40に接続し、当該処理装置40内の消耗部品を交換する。これに対し、本実施形態における部品運搬装置50は、複数の処理装置40において、消耗部品の交換時期が近い場合には、1台の処理装置40に接続したままで、真空搬送室31を介して、他の処理装置40内の消耗部品の交換を行う。これにより、消耗部品の交換に伴う処理システム10の停止期間を短くすることができる。
第1から第4の実施形態における部品運搬装置50では、消耗部品の交換が行われる際、カセット52およびロボットアーム53が収容される容器51内のガスが排気され減圧される。これに対し、本実施形態では、容器51内において、ロボットアーム53が収容される空間と、カセット52が収容される空間とがゲートバルブによって気密に仕切られ、ロボットアーム53が収容される空間内のガスが排気される。これにより、消耗部品の交換時に減圧される空間を小さくすることができ、予め定められた圧力まで減圧するのに要する時間を短縮することができる。
なお、本願に開示された技術は、上記した実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
10 処理システム
20 制御装置
210 予約テーブル
30 処理グループ
31 真空搬送室
32 ロードロック室
33 大気搬送室
40 処理装置
41 チャンバ
42 支持部
421 下部電極
4214 凸部
422 静電チャック
423 エッジリング
4230 凹部
43 上部電極シャワーヘッドアセンブリ
44 ガス供給部
45 RF電力供給部
46 排気システム
50 部品運搬装置
51 容器
52 カセット
53 ロボットアーム
530 エンドエフェクタ
54 移動機構
553 センサ
554 排気装置
56 クリーニングユニット
57 位置ずれ検出センサ
Claims (14)
- 消耗部品を運搬する部品運搬装置であって、
使用前の消耗部品および使用後の消耗部品を収容する部品収容部と、
処理装置に接続される開口部と前記開口部を開閉するゲートバルブとを有し、前記部品収容部を収容する容器と、
前記容器内に設けられ、先端に2つのエンドエフェクタを有し、前記処理装置から前記開口部を介して前記使用後の消耗部品を搬出して前記部品収容部内に収容し、前記使用前の消耗部品を前記部品収容部から取り出して前記開口部を介して前記処理装置内に搬入するロボットアームであって、一方の前記エンドエフェクタは、前記使用前の消耗部品の搬送に用いられ、他方の前記エンドエフェクタは、前記使用後の消耗部品の搬送に用いられる前記ロボットアームと、
前記容器内に設けられ、他方の前記エンドエフェクタをクリーニングするクリーニングユニットと、
他方の前記エンドエフェクタをパージによりクリーニングするためのパージガスを前記クリーニングユニットに導入するための配管であって、前記部品運搬装置が前記処理装置に接続された場合に、前記処理装置のガス供給部に接続される配管と、
動力源を有し、前記部品運搬装置を移動させる移動機構と
を備える部品運搬装置。 - 前記消耗部品は、エッジリングであり、
他方の前記エンドエフェクタは、使用後の前記エッジリングの下面を支持することにより前記エッジリングを搬送する請求項1に記載の部品運搬装置。 - 消耗部品を運搬する部品運搬装置であって、
使用前の消耗部品および使用後の消耗部品を収容する部品収容部と、
処理装置に接続される開口部と前記開口部を開閉するゲートバルブとを有し、前記部品収容部を収容する容器と、
前記容器内に設けられ、先端にエンドエフェクタを有し、前記処理装置から前記開口部を介して前記使用後の消耗部品を搬出して前記部品収容部内に収容し、前記使用前の消耗部品を前記部品収容部から取り出して前記開口部を介して前記処理装置内に搬入するロボットアームと、
前記容器内に設けられた、前記ロボットアームを収容するロードロック室と、
前記ロードロック室内のガスを排気する排気装置と、
動力源を有し、前記部品運搬装置を移動させる移動機構と
を備える部品運搬装置。 - 消耗部品を運搬する部品運搬装置であって、
使用前の消耗部品および使用後の消耗部品を収容する部品収容部と、
処理装置に接続される開口部と前記開口部を開閉するゲートバルブとを有し、前記部品収容部を収容する容器と、
前記容器内に設けられ、先端にエンドエフェクタを有し、前記処理装置から前記開口部を介して前記使用後の消耗部品を搬出して前記部品収容部内に収容し、前記使用前の消耗部品を前記部品収容部から取り出して前記開口部を介して前記処理装置内に搬入するロボットアームと、
前記容器内のガスを排気するための排気ポートであって、前記部品運搬装置が前記処理装置に接続された場合に、前記処理装置の排気システムに接続される排気ポートと、
動力源を有し、前記部品運搬装置を移動させる移動機構と
を備える部品運搬装置。 - 前記容器内には、前記ロボットアームを収容するロードロック室が設けられ、
前記排気ポートは、前記ロードロック室内のガスを排気する請求項4に記載の部品運搬装置。 - 前記ロボットアームの先端には、2つの前記エンドエフェクタが設けられており、
一方の前記エンドエフェクタは、前記使用前の消耗部品の搬送に用いられ、
他方の前記エンドエフェクタは、前記使用後の消耗部品の搬送に用いられる請求項3から5のいずれか一項に記載の部品運搬装置。 - 前記消耗部品は、エッジリングであり、
他方の前記エンドエフェクタは、使用後の前記エッジリングの下面を支持することにより前記エッジリングを搬送する請求項3から6のいずれか一項に記載の部品運搬装置。 - 前記容器内には、他方の前記エンドエフェクタをクリーニングするクリーニングユニットが設けられている請求項6または7に記載の部品運搬装置。
- 他方の前記エンドエフェクタをパージによりクリーニングするためのパージガスを前記クリーニングユニットに導入するための配管であって、前記部品運搬装置が前記処理装置に接続された場合に、前記処理装置のガス供給部に接続される配管を備える請求項8に記載の部品運搬装置。
- 前記部品運搬装置を制御する制御装置と無線通信を行う通信部と、
前記部品運搬装置の周囲をセンシングする第1のセンサと、
前記第1のセンサによるセンシング結果を用いて前記移動機構を制御することにより、前記制御装置から指示された前記処理装置の位置まで前記部品運搬装置を移動させる制御部と
を備える請求項1から9のいずれか一項に記載の部品運搬装置。 - 前記部品収容部には、前記使用前の消耗部品および前記使用後の消耗部品が上下方向に並べて収容され、
前記使用後の消耗部品は、前記使用前の消耗部品よりも下方に収容される請求項1から10のいずれか一項に記載の部品運搬装置。 - 前記部品収容部には、異なる種類の前記消耗部品が収容され、
前記部品収容部内では、前記消耗部品の種類毎に前記消耗部品が収容される空間が仕切られている請求項11に記載の部品運搬装置。 - 前記部品収容部は、前記消耗部品を収容したまま前記容器内から取り出し可能である請求項1から12のいずれか一項に記載の部品運搬装置。
- 前記開口部には、前記使用前の消耗部品が前記開口部を通過する際に前記使用前の消耗部品の位置のずれを検出する第2のセンサが設けられており、
前記ロボットアームは、
前記第2のセンサによって検出された前記使用前の消耗部品の位置のずれを補正するように、前記使用前の消耗部品を前記処理装置内に搬入する請求項1から13のいずれか一項に記載の部品運搬装置。
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