CN111330917B - 微电子器件编带的除尘装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供的一种微电子器件编带的除尘装置,主体为圆环型结构,能够让编带从圆环的内部穿越,自左下向右上移动。编带输送机构在除尘装左下方,绕卷机构在除尘装置的右上方。圆环内侧具有压缩空气出气孔,让压缩空气能够吹落编带两侧的灰尘。优选出气孔的出气方向朝向斜下方,与编带所在的铅垂面具有倾斜30‑60°的倾斜角度。本发明的编带两侧面均能除尘,而且两侧面均不与圆环直接接触,编带行走通过时几乎没有摩擦阻力。

Description

微电子器件编带的除尘装置
技术领域
本发明涉及一种除尘装置。
背景技术
电容、电阻、三极管、芯片等微电子器件的体积很小,通常采用编带进行包装。编带在车间生产时容易吸附灰尘,如采用毛刷刷灰容易导致编带表面摩擦痕迹或者顺坏微电子器件。
申请号:2015105476663申请涉及轨道运输技术领域,特别是涉及编带机轨道的防堵塞装置,包括依次连接的吸气机构、吸管和设置于编带机轨道上的装置主体;装置主体包括支撑座、与支撑座连接的压接台、以及与支撑座连接吸管连接件;吸管连接件与吸管连通;压接台开设有吸尘通道,吸尘通道的两端分别开设有第一吸尘口和第二吸尘口;吸尘通道与吸管连接件连通。在实际生产的过程中,编带的左右两侧不能同时或者同等地除去灰尘。
发明内容
发明目的:
提供一种双面除尘、几乎没有摩擦阻力的微电子器件编带的除尘装置/
技术方案:
本发明提供的一种微电子器件编带的除尘装置,配套有编带输送结构和绕卷机构,除尘装置为圆环型结构(包括椭圆环形或方形带内倒圆角结构),水平设置(圆环轴心铅垂设置),能够让编带从圆环的内部穿越,自左下而向右上移动。编带输送结构在除尘装左下方,绕卷机构在除尘装置的右上方,编带的转向由一只或多只罗拉调节。
圆环外表面具有压缩空气的吹气孔(或吹气口,优选在相对的左侧和右侧分别具有一个或一组微孔);在圆环内表面具有压缩空气的出气孔(或出气口,优选在相对的左侧和右侧分别具有一个或一组微孔)。压缩空气由空压机或者储气罐提供,每侧压缩空气的吹气孔与出气孔相通,两侧的压缩空气能够分别吹落编带两侧的灰尘。
优选出气孔的出气方向朝向斜下方,以便与编带行驶方向(由下而上)基本相反,使得灰尘朝下丢落,灰尘既不易粘附编带,同时便于在侧下方收集灰尘,下方或设置有吸尘机械收集丢落的灰尘。两出气孔(或两组)基本在编带行驶路线的同一水平面附近,两出气孔吹出的空气压力较大,使得编带被吹离不与圆环内测接触摩擦,减小摩擦阻力和摩擦损伤。
优选出气方向与编带所在的铅垂面(或者圆环中轴线所在的平面)具有倾斜30-45°的倾斜角度,使得编带前段的灰尘吹落时,基本不会丢落在编带后段,而是直接吹落在编带的侧边(优选向圆环的同一侧边倾斜,便于收纳灰尘),避免吹落的灰尘对编带后段的刮擦,编带的表面基本不会受损伤。
进一步优选,右侧出气孔的孔径大于左侧出气孔的孔径,使得右侧的出气量大于左侧,右侧出气孔产生的推力大于左侧约0.707倍重力(穿越圆环部位的编带重力)的压力,以便差不多抵消倾斜的编带重力所带来的偏移量;或者,两侧的出气压力(两侧的吹气孔联通压力不同的空压机)不同,孔径相同,产生的压力差抵消编带的重力所带来的偏移量。保证两侧编带与圆环均有基本相同的间隙,阻力一致,灰尘均容易掉落,也不会不粘附在圆环上,编带两面的除尘效果一致。
有益效果:
本发明的装置能够对编带进行双面除尘,灰尘容易收集,车间环境好,由于考虑了重力带来的偏移,编带的两侧面均不予除尘装置直接接触,几乎没有摩擦阻力。
附图说明
图1是本发明的一种部件连接与位置关系示意图;
图中,1-输送结构;2-储气罐A;3-吹气孔A;4-编带;5-罗拉;6-绕卷机构;7-除尘装置;8-吹气孔B;9-储气罐B。
具体实施方式
如图1所示的微电子器件编带的除尘装置,配套有编带释放盘和绕卷盘,除尘装置为圆环型结构,水平设置,能够让编带从圆环的内部穿越,自左下而向右上移动;编带输送结构在除尘装左下方,绕卷机构在除尘装置的右上方;圆环内表面相对的左侧和右侧分别具有压缩空气出气孔,圆环外表面上的左侧和右侧分别另有压缩空气进气孔,每侧压缩空气进气孔与该侧出气孔相通,能够吹落编带两侧的灰尘。两出气孔吹出的空气压力较大,使得编带被吹离圆环,不与圆环内表面接触。
出气孔的出气方向朝向斜下方,与编带所在的铅垂面具有倾斜30-60°的倾斜角度。
实施例一:
上述的右侧出气孔的孔径大于左侧出气孔的孔径,使得右侧的出气量大于左侧,右侧出气孔产生的推力大于左侧,以便抵消向右上方倾斜的编带的重力所带来的偏移量,使得编带穿越时与圆环的两侧的间距基本相等。
实施例二:
上述两侧的吹气孔的孔径相同,左侧与右侧的进气孔分别联通压力不同的储气罐A与出气罐B,两侧出气孔产生的推力不同,产生的压力差抵消编带的重力所带来的偏移量,保证编带两侧与圆环的内表面有基本相同的间隙。

Claims (3)

1.一种微电子器件编带的除尘装置,配套有编带释放盘和绕卷盘,编带释放盘在除尘装左下方,绕卷盘在除尘装置的右上方;其特征在于:另有水平设置的圆环型结构,能够让编带从圆环的内部穿越,自左下而向右上移动;
在圆环内表面相对的左侧和右侧分别具有一个出气孔,在圆环外表面的左侧和右侧分别另有压缩空气进气孔,一侧的压缩空气进气孔与该侧的出气孔相通;压缩空气从左侧和右侧的出气孔出来后,能够吹落编带两侧的灰尘;
两侧出气孔在编带行驶路线的同一水平面附近,而且右侧出气孔的压力大于左侧出气孔的压力,两侧所产生的压力差能够抵消倾斜穿越的编带由于自身重力所带来的偏移量,保证编带两侧与圆环内表面的左侧和右侧具有基本相同的间隙;
两侧出气孔的出气方向与编带所在的铅垂面具有30-45°的倾斜角度,而且是朝向编带同一侧边的斜下方。
2.如权利要求1所述的微电子器件编带的除尘装置,其特征在于:两侧的出气孔分别联通压力不同的空压机或者储气罐,右侧空压机或者储气罐的压力大于左侧的。
3.如权利要求1或2所述的微电子器件编带的除尘装置,其特征在于:右侧出气孔的孔径大于左侧出气孔的孔径,使得右侧的出气量大于左侧,使得右侧出气孔产生的推力大于左侧0.707倍重力的压力;所述的重力为穿越圆环部位的编带重力。
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Citations (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1357530A (en) * 1970-09-08 1974-06-26 Coal Industry Patents Ltd Treatment of fibres
US5661872A (en) * 1994-07-21 1997-09-02 Durr Gmbh Process and apparatus for cleaning workpieces by means of a jet of compressed air
EP0810413A1 (de) * 1996-05-31 1997-12-03 Brückner Trockentechnik GmbH & Co. KG Trocken-und/oder Fixiervorrichtung
RU2139378C1 (ru) * 1995-01-31 1999-10-10 Курт Мюллер Др. Способ сушки и усадки текстильного изделия и устройство для его осуществления
JP2001237283A (ja) * 2000-02-24 2001-08-31 Nec Kansai Ltd テープ状部材のクリーニング装置
JP2002361191A (ja) * 2001-06-11 2002-12-17 Takushoo:Kk 枚葉ワークの異物除去装置
JP2003047922A (ja) * 2001-08-08 2003-02-18 Kokusai Gijutsu Kaihatsu Co Ltd シート部材の塵除去装置、及びシート部材検査装置
KR200337996Y1 (ko) * 2003-09-23 2004-01-07 전한병 직물원단 먼지 제거장치
JP2005109112A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Hitachi Chem Co Ltd テープ状部材の洗浄方法及び洗浄装置
CN1672818A (zh) * 2004-03-26 2005-09-28 应用菲林股份有限两合公司 用压力变化来使真空设备工作的方法
KR20060013614A (ko) * 2004-08-07 2006-02-13 유원테크 주식회사 액정표시장치 백라이트용 1차조립체의 회전이송 및클리닝장치
KR200437868Y1 (ko) * 2006-12-04 2008-01-03 씨티에스(주) 필름대면측 제진장치노즐의 형상
EP1895048A1 (de) * 2006-08-30 2008-03-05 Voith Patent GmbH Trocknungsanordnung
JP2008302300A (ja) * 2007-06-07 2008-12-18 Toppan Printing Co Ltd 塗布膜の乾燥装置および乾燥方法、それらを用いた塗布物の製造装置および製造方法
JP2010062455A (ja) * 2008-09-05 2010-03-18 Sharp Corp 異物除去装置
JP2010258035A (ja) * 2009-04-21 2010-11-11 Shibaura Mechatronics Corp 基板の処理装置
CN201868388U (zh) * 2010-11-03 2011-06-15 颀中科技(苏州)有限公司 一种微粒外物清除装置
EP2465800A1 (en) * 2010-12-20 2012-06-20 Savio Macchine Tessili S.p.A. Individual cleaning system for winding units
DE202013008513U1 (de) * 2013-09-25 2014-01-14 Apparate- und Behälterbau Weller GmbH Vorrichtung zur Reinigung von Bauteilen/Werkstücken mit Blasluft
CN104624558A (zh) * 2014-12-30 2015-05-20 昆山恩都照明有限公司 自动吹气除尘装置
CN105083923A (zh) * 2015-08-31 2015-11-25 木林森股份有限公司 编带机轨道的防堵塞装置
CN105417457A (zh) * 2015-12-08 2016-03-23 乳山市环宇化工有限公司 自动组盖机除尘装置
CN207498633U (zh) * 2017-10-12 2018-06-15 天津鑫众塑料包装制品有限公司 一种编织布自动清洗烘干设备
CN207527991U (zh) * 2017-11-05 2018-06-22 扬州市中闵工贸有限公司 一种纺织业用布匹烘干箱
CN207914252U (zh) * 2017-12-21 2018-09-28 上海芯湃电子科技有限公司 载带除静电清洁装置
EP3430191A1 (en) * 2016-03-15 2019-01-23 Lafer S.p.A. Process for washing fabrics
CN109332299A (zh) * 2018-11-14 2019-02-15 广州市高浦特光电科技有限公司 一种扩散膜片加工用基材除尘装置
CN109746204A (zh) * 2018-12-24 2019-05-14 郑智鹏 一种拔河绳除尘机
CN109807115A (zh) * 2019-04-02 2019-05-28 广东基泰智能设备有限公司 一种除尘机构
CN110201200A (zh) * 2019-06-12 2019-09-06 苏州花之皇纺织整理有限公司 一种自动化纺织机械用布料杀菌装置
CN110379733A (zh) * 2019-06-03 2019-10-25 厦门通富微电子有限公司 剥离晶圆上光刻胶的清洗装置
DE102018110666A1 (de) * 2018-05-03 2019-11-07 Apparate- und Behälterbau Weller GmbH Reinigungsvorrichtung für Werkstücke mit schräg verlaufenden Schlitzdüsen
CN110496805A (zh) * 2019-09-09 2019-11-26 湖州华龙智能科技有限公司 一种工业用的通讯电缆的除尘装置
CN110683118A (zh) * 2019-10-14 2020-01-14 芯盟科技有限公司 晶圆重组芯片运输方法以及运输装置
CN110721961A (zh) * 2019-10-14 2020-01-24 中航锂电科技有限公司 一种除尘装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007066524A1 (ja) * 2005-12-06 2007-06-14 Konica Minolta Opto, Inc. 製造方法、搬送装置及びハードコート層を有する機能性フィルムと反射防止層を有する機能性フィルム
JP4700633B2 (ja) * 2007-02-15 2011-06-15 株式会社新川 ワイヤ洗浄ガイド
EP2481830A1 (en) * 2011-01-31 2012-08-01 Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Apparatus for atomic layer deposition.
US9630220B2 (en) * 2013-07-05 2017-04-25 Juin-Ping KUAN Air-wiping device opening and closing in one level plane
DE112013007364T5 (de) * 2013-08-26 2016-05-12 Fuji Shoji Co., Ltd. Schmutzentfernungsvorrichtung und Schmutzentfernungsverfahren
JP6276446B1 (ja) * 2017-03-24 2018-02-07 中外炉工業株式会社 蛇行修正可能な帯状材の搬送装置

Patent Citations (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1357530A (en) * 1970-09-08 1974-06-26 Coal Industry Patents Ltd Treatment of fibres
US5661872A (en) * 1994-07-21 1997-09-02 Durr Gmbh Process and apparatus for cleaning workpieces by means of a jet of compressed air
RU2139378C1 (ru) * 1995-01-31 1999-10-10 Курт Мюллер Др. Способ сушки и усадки текстильного изделия и устройство для его осуществления
EP0810413A1 (de) * 1996-05-31 1997-12-03 Brückner Trockentechnik GmbH & Co. KG Trocken-und/oder Fixiervorrichtung
DE19622000A1 (de) * 1996-05-31 1997-12-04 Brueckner Trockentechnik Gmbh Trocken- und/oder Fixiervorrichtung
JP2001237283A (ja) * 2000-02-24 2001-08-31 Nec Kansai Ltd テープ状部材のクリーニング装置
JP2002361191A (ja) * 2001-06-11 2002-12-17 Takushoo:Kk 枚葉ワークの異物除去装置
JP2003047922A (ja) * 2001-08-08 2003-02-18 Kokusai Gijutsu Kaihatsu Co Ltd シート部材の塵除去装置、及びシート部材検査装置
KR200337996Y1 (ko) * 2003-09-23 2004-01-07 전한병 직물원단 먼지 제거장치
JP2005109112A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Hitachi Chem Co Ltd テープ状部材の洗浄方法及び洗浄装置
CN1672818A (zh) * 2004-03-26 2005-09-28 应用菲林股份有限两合公司 用压力变化来使真空设备工作的方法
KR20060013614A (ko) * 2004-08-07 2006-02-13 유원테크 주식회사 액정표시장치 백라이트용 1차조립체의 회전이송 및클리닝장치
EP1895048A1 (de) * 2006-08-30 2008-03-05 Voith Patent GmbH Trocknungsanordnung
KR200437868Y1 (ko) * 2006-12-04 2008-01-03 씨티에스(주) 필름대면측 제진장치노즐의 형상
JP2008302300A (ja) * 2007-06-07 2008-12-18 Toppan Printing Co Ltd 塗布膜の乾燥装置および乾燥方法、それらを用いた塗布物の製造装置および製造方法
JP2010062455A (ja) * 2008-09-05 2010-03-18 Sharp Corp 異物除去装置
JP2010258035A (ja) * 2009-04-21 2010-11-11 Shibaura Mechatronics Corp 基板の処理装置
CN201868388U (zh) * 2010-11-03 2011-06-15 颀中科技(苏州)有限公司 一种微粒外物清除装置
EP2465800A1 (en) * 2010-12-20 2012-06-20 Savio Macchine Tessili S.p.A. Individual cleaning system for winding units
DE202013008513U1 (de) * 2013-09-25 2014-01-14 Apparate- und Behälterbau Weller GmbH Vorrichtung zur Reinigung von Bauteilen/Werkstücken mit Blasluft
CN104624558A (zh) * 2014-12-30 2015-05-20 昆山恩都照明有限公司 自动吹气除尘装置
CN105083923A (zh) * 2015-08-31 2015-11-25 木林森股份有限公司 编带机轨道的防堵塞装置
CN105417457A (zh) * 2015-12-08 2016-03-23 乳山市环宇化工有限公司 自动组盖机除尘装置
EP3430191A1 (en) * 2016-03-15 2019-01-23 Lafer S.p.A. Process for washing fabrics
CN207498633U (zh) * 2017-10-12 2018-06-15 天津鑫众塑料包装制品有限公司 一种编织布自动清洗烘干设备
CN207527991U (zh) * 2017-11-05 2018-06-22 扬州市中闵工贸有限公司 一种纺织业用布匹烘干箱
CN207914252U (zh) * 2017-12-21 2018-09-28 上海芯湃电子科技有限公司 载带除静电清洁装置
DE102018110666A1 (de) * 2018-05-03 2019-11-07 Apparate- und Behälterbau Weller GmbH Reinigungsvorrichtung für Werkstücke mit schräg verlaufenden Schlitzdüsen
CN109332299A (zh) * 2018-11-14 2019-02-15 广州市高浦特光电科技有限公司 一种扩散膜片加工用基材除尘装置
CN109746204A (zh) * 2018-12-24 2019-05-14 郑智鹏 一种拔河绳除尘机
CN109807115A (zh) * 2019-04-02 2019-05-28 广东基泰智能设备有限公司 一种除尘机构
CN110379733A (zh) * 2019-06-03 2019-10-25 厦门通富微电子有限公司 剥离晶圆上光刻胶的清洗装置
CN110201200A (zh) * 2019-06-12 2019-09-06 苏州花之皇纺织整理有限公司 一种自动化纺织机械用布料杀菌装置
CN110496805A (zh) * 2019-09-09 2019-11-26 湖州华龙智能科技有限公司 一种工业用的通讯电缆的除尘装置
CN110683118A (zh) * 2019-10-14 2020-01-14 芯盟科技有限公司 晶圆重组芯片运输方法以及运输装置
CN110721961A (zh) * 2019-10-14 2020-01-24 中航锂电科技有限公司 一种除尘装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
陈建武、刘宝龙主编.《船舶制造业职业病危害防护技术船舶制造业职业病危害防护技术》.煤炭工业出版社,2018,(第1版),第73-75页. *

Also Published As

Publication number Publication date
CN111330917A (zh) 2020-06-26

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