KR200437868Y1 - 필름대면측 제진장치노즐의 형상 - Google Patents
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- B08B5/04—Cleaning by suction, with or without auxiliary action
- B08B5/043—Cleaning travelling work
Abstract
Description
Claims (1)
- 광학 필름 및 일반 필름 등의 표면에 묻어있는 미세먼지를 제거하기 위하여 롤러에 의해 필림의 이동방향이 꺾임 이동하는 제진장치의 공기 토출 및 흡입구가 구비된 제진장치노즐에 있어서,필름(20)이 감겨 이송되는 롤러(10)의 상측으로 롤러의 외주연에 노즐(30)의 하부면이 밀착 구성될 수 있도록, 노즐(30)의 하부면를 롤러(10)의 외주연과 동일한 형태의 곡면으로 구성하는 것을 포함하는 필름대면측 제진장치노즐의 형상
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR2020060030936U KR200437868Y1 (ko) | 2006-12-04 | 2006-12-04 | 필름대면측 제진장치노즐의 형상 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR2020060030936U KR200437868Y1 (ko) | 2006-12-04 | 2006-12-04 | 필름대면측 제진장치노즐의 형상 |
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Publication Number | Publication Date |
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KR200437868Y1 true KR200437868Y1 (ko) | 2008-01-03 |
Family
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR2020060030936U KR200437868Y1 (ko) | 2006-12-04 | 2006-12-04 | 필름대면측 제진장치노즐의 형상 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR200437868Y1 (ko) |
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- 2006-12-04 KR KR2020060030936U patent/KR200437868Y1/ko not_active IP Right Cessation
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A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
REGI | Registration of establishment | ||
J204 | Request for invalidation trial [patent] | ||
J301 | Trial decision |
Free format text: TRIAL DECISION FOR INVALIDATION REQUESTED 20120314 Effective date: 20120921 |
|
J2X1 | Appeal (before the patent court) |
Free format text: INVALIDATION |
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J302 | Written judgement (patent court) |
Free format text: JUDGMENT (PATENT COURT) FOR INVALIDATION REQUESTED 20121120 Effective date: 20130404 |
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J2X2 | Appeal (before the supreme court) |
Free format text: APPEAL BEFORE THE SUPREME COURT FOR INVALIDATION |
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J221 | Remand (intellectual property tribunal) |
Free format text: REMAND (INTELLECTUAL PROPERTY TRIBUNAL) FOR INVALIDATION |
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J303 | Written judgement (supreme court) |
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J301 | Trial decision |
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