TWI385115B - A pneumatic table for conveying a sheet-like material, and a sheet-like material transport device - Google Patents

A pneumatic table for conveying a sheet-like material, and a sheet-like material transport device Download PDF

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TWI385115B TW095137369A TW95137369A TWI385115B TW I385115 B TWI385115 B TW I385115B TW 095137369 A TW095137369 A TW 095137369A TW 95137369 A TW95137369 A TW 95137369A TW I385115 B TWI385115 B TW I385115B
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Noriyuki Nagura
Ryomyo Hamanaka
Setsuji Yumiba
Noriyuki Toriyama
Tsutomu Oguri
Tsutomu Makino
Joji Fukuda
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Nihon Sekkei Kogyo Co Ltd
Shibaura Mechatronics Corp
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Description

薄板狀材料運送用氣動工作台以及薄板狀材料運送裝置
本發明為：以非接觸的方式，支承用於液晶顯示器(LCD)面板、電漿顯示器(PDP)等平板顯示器(FPD)的大型薄玻璃基板之類的薄板狀材料的薄板狀材料搬送用氣動工作台、及具備上述薄板狀材料搬送用氣動工作台的薄板狀材料搬送裝置。
液晶顯示器、電漿顯示器等平板顯示器的玻璃基板，即使是些微的傷痕或塵埃也會對品質產生極大的影響，故在上述玻璃基板的搬送中，為了避免在玻璃基板的表面形成損傷或附著異物，而必須在玻璃基板保持呈趨近於平面之形狀的狀態下，沿著特定的搬送面而平滑地搬送。
一方面，液晶顯示器之玻璃基板的尺寸也愈趨大型化，舉例來說，第8代的面板中，相較於W2200mm×L2500mm的尺寸，厚度則為0.5~0.7mm左右，由於非常的薄，因此在水平地搬送玻璃基板時，不僅是玻璃基板的外周端部而已，倘若較上述外周端部更內側的部分也未加以支承的話，將導致中央部大量的下垂。
因此，玻璃基板的搬送裝置，必須儘可能全面平均地支承玻璃基板，並保持成趨近於平面的形狀而搬送。
譬如，在搬送面的搬送方向、以及搬送方向上之垂直的寬度方向，以適當的間距設置複數個滾子，並利用該複數個滾子從下方支承玻璃基板而形成驅動的搬送裝置，而這樣的搬送裝置早為大眾所熟知。
然而，利用複數個滾子從下方支承玻璃基板並加以驅動的搬送裝置，由於隨著玻璃基板的大型化，導致滾子、軸、軸承等構件數量及組立步驟增加，而具有製造成本増大的問題。不僅如此，更具有因構件數量的增加而導致維修保養的成本大增的問題。此外，由於玻璃基板重複地與滾子形成接觸與分離因而產生振動，因此產生噪音及塵埃，有使將導致玻璃基板的表面受損，因此具有：因滾子的增加而容易更進一步產生噪音及塵埃的問題。此外，由於軸的長形化所衍生的軸之真直度的降低及撓曲量的變大，將導致滾子的迴轉精度降低，這點將容易導致噪音及塵埃的產生，而具有容易導致玻璃基板表面受損的問題。
有鑑於上述的問題，一種採用於上表面部形成大量細孔的氣動工作台一邊使玻璃基板形成上浮，並一邊利用氣體的壓力形成驅動而以非接觸的方式搬送的搬送裝置也為大眾所熟知(譬如：請參考日本特開平10－139160號公報、日本特開平11－268830號公報、日本特開平11－268831號公報)。此外，採用陶瓷等多孔質材料構成上表面部的氣動工作台也為大眾所熟知(譬如：請參考日本特開2004－307152號公報)。
此外，在玻璃基板之寬度方向的中央附近設置氣動工作台，以便於抑制玻璃基板之中央部的下垂，利用滾子從下方支承位於玻璃基板之搬送方向上的垂直寬度方向的兩端附近並驅動玻璃基板的搬送裝置也為大眾所熟知(譬如：請參考日本特開2003－63643號公報、日本特開2005－29359號公報)。
利用氣動工作台搬送玻璃基板的搬送裝置、或「在玻璃基板之寬度方向的中央附近設置氣動工作台，以便於抑制玻璃基板之中央部的下垂，利用滾子從下方支承位於玻璃基板之搬送方向上的垂直寬度方向的兩端附近並驅動玻璃基板」的搬送裝置，由於是以平均的壓力、且以非接觸的方式支承玻璃基板，因此期待可抑制：因與搬送裝置的接觸而衍生之玻璃基板的振動、或玻璃基板的破損、及對玻璃基板的異物附著。
然而，實際上由於玻璃基板的上浮量(玻璃基板與氣動工作台的上表面之間的間隙)為0.1~0.5mm程度的細微，因此很難確實地防止玻璃基板與氣動工作台之間的接觸，就可靠性這一點而言是有其問題的存在。再者，為了確實地防止玻璃基板與氣動工作台之間的接觸，上浮量最好為1mm以上。此外，由於上浮量極小，因此在並列設置複數台氣動工作台的場合中，必須以準確的精度使上述氣動工作台之上表面的形成一致，而具有設置作業繁瑣且設置程序多的問題。此外，雖然玻璃基板的搬送裝置多半是用於無塵室內，但相對於無塵室之清淨空氣的下降氣流流速為500mm/sec程度，由氣動工作台所噴射之空氣的流速則為900~2500mm/sec程度，由於流速較無塵室之清淨空氣的下降氣流更快，而具有產生無塵室內之空氣亂流的問題。再者，為了抑制無塵室內空氣的亂流，最好是將由氣動工作台所噴射之空氣的流速抑制成低於無塵室之清淨空氣的下降氣流的流速。此外，有時有於上述空氣的亂流，反而容易使塵埃等異物附著於玻璃基板。而利用陶瓷等多孔質材料構成上表面部的氣動工作台，雖然因為通氣阻抗大而使所噴出之空氣流量變小，而可抑制無塵室內之空氣的亂流，但卻具有上浮量較上述情形更小的問題。
本發明是有鑑於上述問題所研發的發明，本發明的目的是提供一種：可在抑制無塵室內之空氣亂流的狀態下，獲得薄板狀材料之大量上浮量、且可靠性高的薄板狀材料搬送用氣動工作台、及具備該薄板狀材料搬送用氣動工作台的薄板狀材料搬送裝置。
本發明可藉具備以下特徵的薄板狀材料搬送用氣動工作台來達成上述的目的，本發明的薄板狀材料搬送用氣動工作台具備：外壁部，該外壁部係呈上表面部略平坦的箱狀體，並在該上表面部形成複數個用來對薄板狀材料之下面供給氣體的供氣孔；和隔壁部，該隔壁部被設置於該外壁部內，而將該外壁部的內側分隔成用來將上述氣體導入該外壁部內的下側腔室、及鄰接於上述供氣孔的上側腔室，並且形成有複數個貫穿上下方向的中間通氣孔；及氣流平均分配衰減器，該氣流平均分配衰減器被設置在上述上側腔室內，而可促使從上述中間通氣孔朝上述供氣孔之氣流的分配平均化，並可使該氣流的速度衰減。
在研發出本發明的過程中，本發明團隊為了增加薄板狀材料的上浮量而嘗試製作各種結構的氣動工作台，並實際地搬送薄板狀材料以測量薄板狀材料的上浮量，舉例來說，藉由利用增加壓縮空氣的壓力等，來提高從氣動工作台之上表面的供氣孔所供給之氣體的流速，進而達成薄板狀材料之上浮量的增加。但是，利用上述的方式來增加所供給之氣體的流速，卻導致無塵室內之空氣的亂流變大。因此本發明團隊不斷重複地深入探討的結果，發現即使不增加從氣動工作台之上表面的供氣孔所提供之氣體的流速，只要增加從氣動工作台之上表面的供氣孔所供給之氣體的流量，便可增大薄板狀材料之上浮量的發明。具體地說，藉由降低氣動工作台內之氣體的流路阻抗，可促使供給至薄板狀構件下面之氣體的流量增加進而增大薄板狀材料的上浮量，不僅如此，並發現可利用形成有中間通氣孔的隔壁部將氣動工作台內分隔成：用來導入氣體的下側腔室及鄰接於供氣孔的上側腔室，可在隔壁部中使氣流的分布形成一定程度的平均化，並可藉由在上側腔室內具備「可促使從上述中間通氣孔朝上述供氣孔之氣流的分配平均化，並可使該氣流的速度衰減」的氣流平均分配衰減器，來降低由供氣孔供給至薄板狀構件下面之氣體的流速並抑制無塵室內之空氣的亂流。
如此一來，本發明可在抑制由氣動工作台之上表面的供氣孔供給至薄板狀構件下面之氣體的流速的狀態下增加氣體的流量，本發明是基於與「藉由增加氣體的流速來增加薄板狀材料之上浮量的技術」截然不同的概念所研發而成的發明。
而上述的氣流平均分配衰減器亦可具有平均開口構件，舉例來說，該平均開口構件可採用：由網狀體、或形成有複數個貫穿厚度方向之衰減用通氣孔的板狀體中的任一種所構成，且開口面積比率大於上述的隔壁部，並在上述上側腔室內設置成分隔上下方向的構造。
在該場合中，上述的氣流平均分配衰減器亦可構成：在相當於上述隔壁部的中間通氣孔正上方之範圍的至少一部分，具有用來妨礙上述氣體從上述中間通氣孔朝正上方之流動的障壁部。
此外，上述氣流平均分配衰減器亦可構成：將以略垂直的姿勢配置的複數個薄板構件，以細微間隔略平行地併設之鰭片狀的平均開口構件。
此外，上述氣流平均分配衰減器亦可構成：具有配設成覆蓋上述隔壁部之上側的綿狀的平均開口構件。
在以上的場合中亦可構成：在上述外壁部之底板部的中央附近設置用來導入上述氣體的導入孔，上述隔壁部之上述中間通氣孔的開口面積比率，是周邊部較中央部更高。
此外，亦可採用：由網狀體、或形成複數個通氣孔的板狀體中的任一個所構成，且開口面積比率大於上述隔壁部之將用來保護上述氣流平均分配衰減器的保護構件，設置於上述氣流平均分配衰減器的上側。
此外，本發明可藉由具備上述所記載之任何一種薄板狀材料搬送用氣動工作台的薄板狀材料搬送裝置，來達成上述的目的。
根據本發明可實現：既可抑制無塵室內之空氣的亂流，又可獲得大量之薄板狀材料的上浮量且可靠性高的薄板狀材料搬送用氣動工作台、及具備該薄板狀材料搬送用氣動工作台的薄板狀材料搬送裝置。
以下參考圖面對本發明較佳的實施形態進行詳細的說明。
如第1圖所示，本發明第1實施形態的薄板狀材料搬送裝置10，是利用薄板狀材料搬送用氣動工作台14並以非接觸的方式，搬送譬如大型LCD用玻璃基板(薄板狀材料)12的裝置，而薄板狀材料搬送用氣動工作台14的構造中具有以上的特徵。
如第2圖所示，薄板狀材料搬送用氣動工作台14具有：外壁部20，該外壁部20係呈上表面部16略平坦的箱狀體，並在該上表面部16形成複數個用來對玻璃基板12的下面供給空氣(氣體)的供氣孔18；和隔壁部28，該隔壁部28被設置於外壁部20內，而將外壁部20的內側分隔成用來將空氣導入外壁部20內的下側腔室22、及鄰接於供氣孔18的上側腔室24，且該隔壁部28形成有複數個貫穿上下方向的中間通氣孔26；及氣流平均分配衰減器30，該氣流平均分配衰減器30被設置於上側腔室24內，可使從中間通氣孔26朝供氣孔18之氣流的分配平均化，並使該氣流的速度衰減。
而薄板狀材料搬送用氣動工作台14，是在面對玻璃基板12之搬送方向的垂直寬度方向上具備複數台(在本第1實施形態中為4台)。
外壁部20具有：基部32，該基部32是略呈矩形體且在上方形成開口的箱體；和第1框體34；和第2框體36；及第3框體38。上述的第1框體34、第2框體36及第3框體38均內接於基部32的內側面，並配置成依照上述的順序從基部32的底板部40起重疊至上側。而第2框體36具備：被設置成可將上側腔室24分隔成網眼格子狀的格子構件36 A。而第3框體38也在相當於格子構件36 A之正上方的位置具備格子構件38 A。第3框體38的上端較基部32的上端更朝上方突出，並在該第3框體38的上端安裝有上述上表面部16。
上表面部16為網狀體或形成有貫穿厚度方向之供氣孔的板狀體等，並具備用來保護氣流平均分配衰減器30之保護構件的功能。而供氣孔的形狀，譬如可為圓孔、角孔、長孔、細縫等。在基部32之底板部40的中央附近設有用來導入空氣的導入孔42。鼓風機或空氣壓縮機之類的供氣單元46及氣體過濾器48是通過供氣管44而連結於導入孔42，而形成經氣體過濾器48去除異物的空氣，從上表面部16的供氣孔18而供給至上方。
隔壁部28為內接於外壁部20之基部32內側面的板狀體，並受到第1框體34與第2框體36的挾持而被保持在外壁部20的上表面部16與底板部40之間。而隔壁部28亦可為網狀體。在本第1實施形態中，隔壁部28之中間通氣孔26的開口面積比率，在整個面中為平均。
氣流平均分配衰減器30具有被設置成將上側腔室24內分隔成上下方向之網狀體的平均開口構件50。平均開口構件50具有複數個衰減用通氣孔51。平均開口構件50受到第2框體36與第3框體38的挾持而被保持在外壁部20的上表面部16與隔壁部28之間。亦可採用形成有複數個貫穿厚度方向之衰減用通氣孔的板狀體來作為平均開口構件。平均開口構件50之衰減用通氣孔51的開口面積比率最好大於隔壁部28。
氣流平均分配衰減器30，在相當於隔壁部28之中間通氣孔26正上方的範圍，具有用來妨礙氣體從中間通氣孔26朝正上方流動的障壁部52。障壁部52是略大於中間通氣孔26的小片體，並被安裝於平均開口構件50的下面。舉例來說，亦可採用「以形成有通氣孔的板狀體，在相當於隔壁部52之中間通氣孔26正上方的部分，一體形成非開放之障壁部」構造的氣體平均分配衰減器，來取代具有「在網狀體的平均開口構件50安裝障壁部52」之構造的氣流平均分配衰減器30。
而薄板狀材料搬送裝置10具備：用來將玻璃基板12朝搬送方向驅動的驅動單元54。
驅動單元54具有複數個滾子56，該複數個滾子56抵接於玻璃基板12的下面而朝搬送方向驅動玻璃基板12。上述的滾子被配置在：被配置成複數台並列之薄板狀材料搬送用氣動工作台14的寬度方向兩側，且複數對的滾子56是以適當的間距設置在搬送方向上。滾子56具備：抵接於玻璃基板12下面的滾子部56A；及設置在較滾子部56A更位於寬度方向外側的凸緣部56B，且滾子56連接於圖面中未顯示的迴轉驅動源。而驅動單元54被設置成：滾子56的滾子部56A上端較薄板狀材料搬送用氣動工作台14的上表面部16高數mm程度的高度。
其次，針對薄板狀材料搬送裝置10的作用進行說明。
薄板狀材料搬送裝置10，譬如可藉由擴大薄板狀材料搬送用氣動工作台14之上表面部16的開口面積比率等，來降低位於薄板狀材料搬送用氣動工作台14之空氣流路的阻抗，而獲得玻璃基板12大量上浮量。
又，從導入孔42導入薄板狀材料搬送用氣動工作台14之外壁部20內的空氣，是藉由通過隔壁部28之中間通氣孔26的方式，而使氣流的分布形成一定程度的平均化。不僅如此，通過中間通氣孔26而上昇空氣，可利用氣流平均分配衰減器30的障壁部52降低流速，並藉由通過平均開口構件50的方式，促使氣流的分布更平均化。藉由上述方式使氣流的分布平均化，而使被降低流速的空氣從薄板狀材料搬送用氣動工作台14之上表面部16的供氣孔18供給至玻璃基板12的下面，可增加所供給之氣體的流量，即使玻璃基板12的上浮量增加，也能降低由供氣孔18所供給之空氣的流速，並抑制無塵室內之空氣的亂流。雖然在第2圖所顯示的內容中，代表氣流之箭頭的一部分是通過平均開口構件50的非開口部，但第2圖中平均開口構件50的圖示為示意性質的圖示，實際上氣流是通過平均開口構件50的衰減用通氣孔51。
又由於可在不必增加供給至玻璃基板12下面之氣體的流速的狀態下，增大氣體的流量而提高玻璃基板12的上浮量，因此不必使用高壓的壓縮氣體，而有助於降低包含供氣單元46之裝置的製造成本。
雖然薄板狀材料搬送裝置10，是使驅動單元54的複數個滾子56接觸於玻璃基板12的下面而將玻璃基板12朝搬送方向驅動，但由於薄板狀材料搬送用氣動工作台14是以非接觸的方式支承玻璃基板12，因此在與滾子56的接觸部，降低作用於玻璃基板12的作用力，進而抑制因與滾子56的接觸所產生的表面受損或異物的附著。
相較於利用空氣的壓力來作用驅動力的搬送裝置，由於只需供給支承玻璃基板12所需之低壓的空氣，這點也有助於降低裝置的製造成本，不僅如此，由於不需要對氣體作複雜的控制，故構造簡單。
如此一來，由於薄板狀材料搬送裝置10可藉由薄板狀材料搬送用氣動工作台14而以大量的上浮量且非接觸的方式支承玻璃基板12，故能防止玻璃基板12與薄板狀材料搬送用氣動工作台14之間的接觸，不僅如此，由於可抑制無塵室內之空氣的亂流，故玻璃基板12的表面不易受損或者附著異物，因使可實現可靠性高的搬送。
又由於可獲得玻璃基板12的大量上浮量，故當並列設置複數台薄板狀材料搬送用氣動工作台14之際，其上表面部16之高度偏差的許容值如此的寬鬆，因此有助於減少設置步驟。
接著，針對本發明的第2實施形態進行說明。
本第2實施形態的薄板狀材料搬送用氣動工作台60，其特徵如第3圖及第4圖所示，是具備氣流平均分配衰減器64來取代上述第1實施形態的氣流平均分配衰減器30，上述的氣流平均分配衰減器64具有：將以略垂直的姿勢所配置的複數個薄板構件62 A，採細微的間隔併設成略平行之鰭片狀平均開口構件62，且薄板構件62 A之間的間隙部構成衰減用通氣孔。
由於其他的構造與上述第1實施形態相同，因此相同的部分標示與第1圖及第2圖相同的符號並省略其說明。而在第3圖中，雖然為了方便而採用線來描繪隔壁部28，但隔壁部28亦可與上述第1實施形態相同，採用形成有中間通氣孔26的板狀體，亦可為網狀體。
平均開口構件62具有：複數個薄板構件62 A；及複數個貫穿厚度方向的管構件62 B，並在上述管構件62 B的兩端安裝有外壁部20的基部32。在本第2實施形態中，外壁部20並不具備：第1框體34、第2框體36及第3框體38，上表面部16是安裝於基部32的上端。
薄板狀材料搬送用氣動工作台60也與上述第1實施形態的薄板狀材料搬送用氣動工作台14相同，由於在上側腔室24內具有「可平均化分配從中間通氣孔26朝供氣孔18的氣流，並可促使該氣流的速度衰減」的氣流平均分配衰減器64，故即使增加供給至玻璃基板12下面之空氣的流量，而促使玻璃基板12的上浮量增加，也能降低由供氣孔18所供給之空氣的流速，並抑制無塵室內之空氣的亂流。
為了平均地由外壁部20的上表面部16供給空氣，隔壁部28最好是構成：中間通氣孔26的開口面積比率是周邊部高於中央部(導入孔42的正上方)。
接著，針對本發明的第3實施形態進行說明。
本第3實施形態的薄板狀材料搬送用氣動工作台70，其特徵為如第5圖所示是具備氣流平均分配衰減器74，來取代上述第1實施形態的氣流平均分配衰減器30，上述氣流平均分配衰減器74具有配設成覆蓋隔壁部28上側的綿狀平均開口構件72，且綿狀平均開口構件72的間隙構成衰減用通氣孔。由於其他的構造與上述第1實施形態相同，因此相同的部分是標示與第1圖及第2圖相同的符號，並省略其說明。
平均開口構件72，是鋪設於隔壁部28的整個上表面。而氣流平均分配衰減器74具有：從上側覆蓋平均開口構件72的網狀構件76，並由該網狀構件76來防止綿狀平均開口構件72的飛散。平均開口構件72，譬如可採用不鏽鋼絲絨(Stainless Steel Wool)或非發塵性的高分子長纖維等。
薄板狀材料搬送用氣動工作台70也與上述第1實施形態的薄板狀材料搬送用氣動工作台14相同，由於在上側腔室24內具有「可平均化分配從中間通氣孔26朝供氣孔18的氣流，並可促使該氣流的速度衰減」的氣流平均分配衰減器74，故即使增加供給至玻璃基板12下面之空氣的流量，而促使玻璃基板12的上浮量增加，也能降低由供氣孔18所供給之空氣的流速，並抑制無塵室內之空氣的亂流。
在本第3實施形態中，為了平均地由外壁部20的上表面部16供給空氣，隔壁部28也最好是構成：中間通氣孔26的開口面積比率是周邊部高於中央部(導入孔42的正上方)。
雖然在上記第1~第3實施形態中，薄板狀材料搬送裝置10構成：驅動單元54的滾子56接觸於玻璃基板12的下面而將玻璃基板12朝搬送方向驅動，但亦可構成：利用薄板狀材料搬送用氣動工作台將使玻璃基板支承為全面上浮，並以面向玻璃基板的下面且朝搬送方向傾斜的方式，從薄板狀材料搬送用氣動工作台供給氣體，而以非接觸的方式朝搬送方向驅動玻璃基板。
在該場合中，由於在薄板狀材料搬送用氣動工作台的上側腔室24內也在具有「可平均化分配從中間通氣孔26朝供氣孔18的氣流，並可促使該氣流的速度衰減」的氣流平均分配衰減器，故即使增加供給至玻璃基板12下面之空氣的流量，而促使玻璃基板12的上浮量增加，也能降低由供氣孔18所供給之空氣的流速，並抑制無塵室內之空氣的亂流。
而上述第1~第3實施形態的氣流平均分配衰減器30、64、74為本發明的範例，只要是可以平均化分配從隔壁部28的中間通氣孔26朝供氣孔18的氣流，且促使該氣流的速度衰減的話，亦可以在上側腔室具備其他構造的氣流平均分配衰減器。
此外，在上述的第1~第3實施形態中，雖然外壁部20的上表面部16為網狀體或者形成有供氣孔的板狀體，且具有保護氣流平均分配衰減器之保護構件的功能，但在如同上述第1實施形態的氣流平均分配衰減器30「採用即使異物等從上部落下也不易受損之氣流平均分配衰減器」的場合中，舉例來說，亦可由基部32的上端面來構成上表面部，而將基部32之上端面的開口部作為形成有供氣孔的薄板狀材料搬送用氣動工作台。
此外，在上記的第1~第3實施形態中，雖然從薄板狀材料搬送用氣動工作台14、60、70所供給至玻璃基板12下面的氣體為空氣，但亦可將譬如氮氣、稀有氣體之類的其他氣體供給至玻璃基板12的下面。
此外，在上述第1~第3實施形態中，雖然薄板狀材料搬送裝置10在寬度方向上具備4台薄板狀材料搬送用氣動工作台14、60、70，但亦可構成：對應於玻璃基板12的寬度等而具備3台以下的薄板狀材料搬送用氣動工作台，或亦可構成具備5台以上的薄板狀材料搬送用氣動工作台。
此外，雖然上記第1~第3實施形態是用來搬送玻璃基板12的範例，但只要是相較於面積而板厚較薄，也就是所謂的薄板狀材料的話，本發明也能適用於其他材料的搬送。舉例來說，也能適用於金屬薄板狀材料、樹脂的薄板狀材料等容易產生撓曲之材料的搬送場合。
[實施例1]
根據上記第1實施形態的內容，構成薄板狀材料搬送裝置10，並在無塵室內搬送玻璃基板12。具體的條件如以下。
玻璃基板12的尺寸：W1500mm×L1800mm×t0.7mm無塵室內之下降氣流的流速：約500mm/sec薄板狀材料搬送用氣動工作台14的外形尺寸：W300mm×L700mm×H40mm第2框體36及第3框體38之網眼格子的尺寸：90mm×25mm第2框體36及第3框體38的網眼格子的數量：3列×23行中間通氣孔26的尺寸及間距：Φ 3.5×P15mm隔壁部28的開口面積比率：4.2%氣流平均分配衰減器30之平均開口構件50的材料：金屬絲網氣流平均分配衰減器30的開口面積比率：37%外壁部20之上表面部16的材料：金屬絲網外壁部20之上表面部16的開口面積比率：60%
根據以上的條件，經測量在玻璃基板12的中央附近的上浮量的結果，上浮量為2~6mm。
此外，經測量由薄板狀材料搬送用氣動工作台14供給至上方之空氣流速的結果，流速的最大值約為220mm/sec。
[實施例2]
根據上記第2實施形態的內容，構成薄板狀材料搬送裝置10，並在無塵室內搬送玻璃基板12。具體的條件如下。
薄板狀材料搬送用氣動工作台60的外形尺寸：W300 mm×L700mm×H50mm隔壁部28的材料：有孔金屬(expanded metal)隔壁部28的開口面積比率：65%氣流平均分配衰減器64的外形尺寸：W280mm×L680mm×H22mm薄板構件62 A的材料：鋁薄板薄板構件62 A的厚度×併設間距：T0.11mm×P22mm
而玻璃基板12的尺寸、無塵室之下降氣流的流速、外壁部20之上表面部16的材料、、開口面積比率則與實施例1相同。
根據以上的條件，經測量在玻璃基板12之中央近傍的上浮量的結果，上浮量為3~6mm。
此外，經測量由薄板狀材料搬送用氣動工作台60供給至上方之空氣流速的結果，流速的最大值約為140mm/sec。
[實施例3]
根據上記第3實施形態的內容，構成薄板狀材料搬送裝置10，並在無塵室內搬送玻璃基板12。具體的條件如下。
薄板狀材料搬送用氣動工作台70的外形尺寸：W300mm×L700mm×H50mm隔壁部28的材料：有孔金屬隔壁部28的開口面積比率：65%氣流平均分配衰減器74之平均開口構件72的堆積高度：18mm氣流平均分配衰減器74之平均開口構件72的充填率：約3重量%
而外壁部20之上表面部16的材料、開口面積比率、玻璃基板12的尺寸、無塵室之下降氣流的流速則與實施例1相同。
根據以上的條件，經測量在玻璃基板12之中央近傍的上浮量的結果，上浮量為2.5~5mm。
此外，經測量由薄板狀材料搬送用氣動工作台70供給至上方之空氣流速的結果，流速的最大值約為120mm/sec。
實施例1~3之測量結果的對比如表1所示。
如表1所示，實施例1~3之玻璃基板12的上浮量均為2mm以上，且均獲得可防止玻璃基板與薄板狀材料搬送用氣動工作台間之接觸的充分上浮量。
此外，實施例1~3中，由薄板狀材料搬送用氣動工作台所供給之空氣的流速均為220mm/sec，且均為無塵室之下降氣流的流速500mm/sec的一半以下，可確認皆具有充分抑制無塵室內之空氣亂流的効果。
[產業上的利用性]
本發明可用於：如同液晶顯示器、電漿顯示器等平板顯示器所採用之大型薄玻璃基板等薄板狀材料的搬送。
10．．．薄板狀材料搬送裝置
12．．．玻璃基板
14．．．薄板狀材料搬送用氣動工作台
16．．．上表面部
18．．．供氣孔
20．．．外壁部
22．．．下側腔室
24．．．上側腔室
26．．．中間通氣孔
28．．．隔壁部
30．．．氣流平均分配衰減器
32．．．基部
34．．．第1框體
36．．．第2框體
36A．．．格子構件3
38．．．第3框體
38A．．．格子構件3
40．．．底板部
42．．．導入孔
44．．．供氣管
46．．．供氣單元
48．．．氣體過濾器
50．．．平均開口構件
51．．．衰減用通氣孔
52．．．障壁部
54．．．驅動單元
56．．．滾子
56A．．．滾子部
56B．．．凸緣部
60．．．薄板狀材料搬送用氣動工作台
62．．．鰭片狀平均開口構件
62A．．．薄板構件
62B．．．管構件
64．．．氣流平均分配衰減器
70．．．薄板狀材料搬送用氣動工作台
72．．．綿狀平均開口構件
74．．．氣流平均分配衰減器
76．．．網狀構件
第1圖：顯示本發明之第1實施形態的薄板狀材料搬送裝置，為包含局部塊狀圖的前面圖。
第2圖：為顯示第1圖中薄板狀材料搬送裝置之薄板狀材料搬送用氣動工作台構造的剖面圖。
第3圖：為顯示本發明第2實施形態之薄板狀材料搬送用氣動工作台構造的剖面圖。
第4圖：為顯示第3圖中薄板狀材料搬送用氣動工作台的氣流平均分配衰減器之構造的立體圖。
第5圖：為顯示本發明第3實施形態之薄板狀材料搬送用氣動工作台構造的剖面圖。
16．．．上表面部
18．．．供氣孔
20．．．外壁部
22．．．下側腔室
24．．．上側腔室
26．．．中間通氣孔
28．．．隔壁部
30．．．氣流平均分配衰減器
32．．．基部
34．．．第1框體
36．．．第2框體
36A．．．格子構件
38．．．第3框體
38A．．．格子構件
40．．．底板部
42．．．導入孔
44．．．供氣管
50．．．平均開口構件
51．．．衰減用通氣孔
52．．．障壁部

Claims (7)

  1. 一種薄板狀材料搬送用氣動工作台，其特徵為：具備：外壁部，該外壁部係呈上表面部略平坦的箱狀體，並在該上表面部形成複數個用來對薄板狀材料之下面供給氣體的供氣孔；和隔壁部，該隔壁部形成有複數個貫穿上下方向的中間通氣孔，並被設置於該外壁部內，而將該外壁部的內側分隔成用來將上述氣體導入該外壁部內的下側腔室、及鄰接於上述供氣孔的上側腔室；及氣流平均分配衰減器，該氣流平均分配衰減器被設置在上述上側腔室內，而可促使從上述中間通氣孔朝上述供氣孔之氣流的分配平均化，並可使該氣流的速度衰減，上述的氣流平均分配衰減器是具有平均開口構件所構成，該平均開口構件係採用網狀體、或形成有複數個貫穿厚度方向之衰減用通氣孔的板狀體中的任一種，且使開口面積比率大於上述的隔壁部，並被設置成將上述上側腔室內分隔成上下方向，更進一步地在相當於上述隔壁部的中間通氣孔正上方之範圍的至少一部分，具有用來妨礙上述氣體從上述中間通氣孔朝正上方之流動的障壁部。
  2. 一種薄板狀材料搬送用氣動工作台，其特徵為： 具備：外壁部，該外壁部係呈上表面部略平坦的箱狀體，並在該上表面部形成複數個用來對薄板狀材料之下面供給氣體的供氣孔；和隔壁部，該隔壁部形成有複數個貫穿上下方向的中間通氣孔，並被設置於該外壁部內，而將該外壁部的內側分隔成用來將上述氣體導入該外壁部內的下側腔室、及鄰接於上述供氣孔的上側腔室；及氣流平均分配衰減器，該氣流平均分配衰減器被設置在上述上側腔室內，而可促使從上述中間通氣孔朝上述供氣孔之氣流的分配平均化，並可使該氣流的速度衰減，上述氣流平均分配衰減器係具有：將以略垂直的姿勢配置的複數個薄板構件，以細微間隔略平行地併設之鰭片狀的平均開口構件而構成的。
  3. 一種薄板狀材料搬送用氣動工作台，其特徵為：具備：外壁部，該外壁部係呈上表面部略平坦的箱狀體，並在該上表面部形成複數個用來對薄板狀材料之下面供給氣體的供氣孔；和隔壁部，該隔壁部形成有複數個貫穿上下方向的中間通氣孔，並被設置於該外壁部內，而將該外壁部的內側分隔成用來將上述氣體導入該外壁部內的下側腔室、及鄰接於上述供氣孔的上側腔室；及氣流平均分配衰減器，該氣流平均分配衰減器被設置 在上述上側腔室內，而可促使從上述中間通氣孔朝上述供氣孔之氣流的分配平均化，並可使該氣流的速度衰減，上述氣流平均分配衰減器係具有：配設成覆蓋上述隔壁部之上側的綿狀的平均開口構件而構成的。
  4. 如申請專利範圍第2項所記載的薄板狀材料搬送用氣動工作台，其中在上述外壁部之底板部的中央附近設置用來導入上述氣體的導入孔，上述隔壁部之上述中間通氣孔的開口面積比率，是周邊部較中央部更高。
  5. 如申請專利範圍第3項所記載的薄板狀材料搬送用氣動工作台，其中在上述外壁部之底板部的中央附近設置用來導入上述氣體的導入孔，上述隔壁部之上述中間通氣孔的開口面積比率，是周邊部較中央部更高。
  6. 如申請專利範圍第1、2、3、4或5項所記載的薄板狀材料搬送用氣動工作台，其中係將由網狀體、或形成複數個通氣孔的板狀體中的任一個所構成，且開口面積比率大於上述隔壁部之用來保護上述氣流平均分配衰減器的保護構件，設置於上述氣流平均分配衰減器的上側。
  7. 一種薄板狀材料搬送裝置，其特徵為：具備申請專利範圍第1、2、3、4或5項所記載的薄板狀材料搬送用氣動工作台。
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