CN1948107B - 薄板状材料输送用气动工作台以及薄板状材料输送装置 - Google Patents

薄板状材料输送用气动工作台以及薄板状材料输送装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种抑制无尘室内的空气紊流、并且高可靠性地获得薄板状材料的较大的上浮量的薄板状材料输送用气动工作台以及包括该气动工作台的薄板状材料输送装置。薄板状材料输送用气动工作台(14)具有外壁部(20)、隔壁部(28)、和气流均匀分配衰减器(30)；其中，外壁部(20)是上表面部(16)为大致平坦的箱状体，且在所述上表面部(16)上形成了多个给气孔(18)以对玻璃基板(12)的下表面供给气体；所述隔壁部(28)设置在该外壁部(20)内，以将该外壁部(20)的内侧分隔为用于向该外壁部(20)内导入所述气体的下侧室(22)以及与所述给气孔(18)邻接的上侧室(24)，并且，所述隔壁部(28)形成有在上下方向贯通的多个中间通气孔(26)；所述气流均匀分配衰减器(30)设置在所述上侧室(24)内，用于使从所述中间通气孔(26)到所述给气孔(18)的气流的分配均匀化，并且使该气流的速度衰减。

Description

薄板状材料输送用气动工作台以及薄板状材料输送装置
技术领域
本发明涉及非接触地支撑薄板状材料的薄板状材料输送用气动工作台以及包括该气动工作台的薄板状材料输送装置，所述薄板状材料是例如用于液晶显示屏(LCD)、等离子显示器(PDP)等的平板显示器(FPD)的大型薄玻璃基板。
背景技术
对于液晶显示器、等离子显示器等平板显示器的玻璃基板，稍微一点损伤或尘埃都会大大影响其品质，因此在这样的玻璃基板的输送过程中，要求将玻璃基板保持为近似平面的形状并且沿着预定输送面平滑地输送，以使得在玻璃基板表面不产生损伤并且不附着异物。
另一方面，在液晶显示器中，玻璃基板的尺寸日趋大型化，例如在第8代中，相对于W2200mm×L2500mm的大小，厚度约为0.5～0.7mm，是非常薄的，因此在水平输送玻璃基板时，如果仅支撑其外周端部而不支撑其更内侧部分，则中央部会严重下垂。
由此，玻璃基板输送装置正在力求尽可能均匀地支撑玻璃基板的整个平面，并且保持近似平面的形状以进行输送。
已知下述的输送装置，例如，在输送面的输送方向以及与输送方向垂直的宽度方向上以适当的间距设置多个辊子，用所述的多个辊子从下方支撑玻璃基板并驱动。
但是，在用多个辊子从下方支撑并驱动玻璃基板的输送装置中，随着玻璃基板的大型化，辊子、轴、轴承等部件的件数或装配工时数增加，因此存在制造成本增加的问题。而且，由于部件件数的增加，还存在维护费用增加的问题。此外，因为玻璃基板与辊子的接触和与辊子的分离往复进行，从而产生振动，由此引起噪音或尘埃，有时对玻璃基板的表面产生损伤，并且由于辊子的增加，存在更容易产生噪音或尘埃的问题。此外，由于轴的长度变长而导致的轴的平直度下降和弯曲量增加，从而辊子的旋转精度下降，由于这一点，也存在容易产生噪音或尘埃且玻璃基板的表面容易损伤的问题。
与此相对照，已知下述的输送装置使用在上表面部形成有多个微孔的气动工作台，使玻璃基板上浮并且借助空气的压力进行驱动从而进行非接触地输送(例如参见特开平10-139160号公报、特开平11-268830号公报、特开平11-268831号公报)。此外，由陶瓷等多孔质材料构成上表面部的气动工作台也是已知的(例如参见特开平2004-307152号公报)。
此外，已知下述这样的输送装置(例如特开2003-63643号公报、特开2005-29359号公报)，在玻璃基板的宽度方向的中央附近设置气动工作台以抑制玻璃基板的中央部的下垂，并且在玻璃基板的垂直于输送方向的宽度方向的两端附近用辊子从下方进行支撑从而驱动玻璃基板。
在用气动工作台输送玻璃基板的输送装置中，或者在玻璃基板宽度方向的中央附近设置气动工作台以抑制玻璃基板的中央部下垂、并且在玻璃基板的垂直于输送方向的宽度方向的两端附近用辊子从下方进行支撑从而驱动玻璃基板的输送装置中，由于用均匀的压力且非接触地对玻璃基板进行支撑，因而可以期待抑制由于与输送装置接触而产生的玻璃基板的振动或玻璃基板的损伤、以及抑制异物附着到玻璃基板上。
但是，实际上玻璃基板的上浮量(玻璃基板与气动工作台的上表面之间的间隙)约为0.1～0.5mm，比较小，因此难以可靠地防止玻璃基板与气动工作台的接触，从而存在可靠性的问题。另外，为了可靠地防止玻璃基板与气动工作台的接触，上浮量优选为1mm以上。此外，因为上浮量小，在并列设置多个气动工作台的情况下，必须使它们的上表面的高度以相应的高精度保持一致，从而存在设置操作复杂、设置工时数大的问题。此外，虽然玻璃基板的输送装置在无尘室内使用的情况很多，但无尘室的洁净空气的下降气流的流速约为500mm/sec，与此相对，从气动工作台喷射的空气的流速约为900～2500mm/sec，远远快于无尘室的洁净空气的下降气流，因此存在使无尘室内产生空气紊流的问题。另外，为了抑制无尘室内的空气紊流，优选将从气动工作台喷射的空气的流速限制为比无尘室的洁净空气的下降气流的流速小。此外，由于这样的空气紊流，有时尘埃等异物反而容易附着到玻璃基板上。另外，在由陶瓷等多孔质材料构成上表面部的气动工作台中，由于通风阻力大、喷出的空气流量小，因此虽然无尘室内的空气紊流得到抑制，但是存在上浮量比上述的更小的问题。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而作出的，其目的是提供薄板状材料输送用气动工作台和包括该气动工作台的薄板状材料的输送装置，所述气动工作台能抑制无尘室内的空气紊流，并且得到薄板状材料的大的上浮量的可靠性较高。
本发明通过一种薄板状材料输送用气动工作台来实现上述目的，所述气动工作台的特征在于，具有外壁部、隔壁部、和气流均匀分配衰减器；其中，所述外壁部是上表面部为大致平坦的箱状体，且在所述上表面部上形成了多个用于对薄板状材料的下表面供给气体的给气孔；所述隔壁部设置在该外壁部内，以将该外壁部的内侧分隔为用于向该外壁部内导入所述气体的下侧室以及与所述给气孔邻接的上侧室，并且，所述隔壁部形成有在上下方向贯通的多个中间通气孔；所述气流均匀分配衰减器设置在所述上侧室内，以使从所述中间通气孔到所述给气孔的气流的分配均匀化，并且使该气流的速度衰减。
在设想本发明的过程中，为了使薄板状材料的上浮量增加，发明者们试作了各种结构的气动工作台，当在实际中输送薄板状材料并对薄板状材料的上浮量进行测定时，例如通过增加压缩空气的压力等，使从气动工作台的上表面的给气孔的供给气体的流速增大，由此能够使薄板状材料的上浮量增加。但是，由于像这样增加供给气体的流速，使得无尘室内的空气紊流变大，因此发明者们反复进一步认真研究并发现，即使不增大从气动工作台的上表面的给气孔的供给气体的流速，只要使从气动工作台的上表面的给气孔的供给气体的流量增大，就可以使薄板状材料的上浮量增加。具体而言，通过降低在气动工作台内的气体流路的阻力，就可以使供给到薄板状材料的下表面的气体的流量增加，从而使薄板状材料的上浮量增加，进而发现，通过用形成有中间通气孔的隔壁部将气动工作台内分隔为用于导入气体的下侧室以及与给气孔邻接的上侧室，并且通过包括气流均匀分配衰减器，其使隔壁部中的气流的分布在一定程度上均匀化且使上侧室内从中间通气孔到给气孔的气流的分配均匀化并且使该气流的速度衰减，由此能够降低从给气孔向薄板状部件的下表面供给的气体的流速，从而抑制在无尘室内的空气紊流。
像这样，本发明是基于下述概念的发明，即抑制从气动工作台的上表面的给气孔供给到薄板状部件的下表面的气体的流速但使气体的流量增大，其完全不同于通过增大气体的流速而使薄板状材料的上浮量增加的技术。
而且所述气流均匀分配衰减器可以构建为例如具有均匀开口部件，所述均匀开口部件是网状体和形成有在厚度方向上贯通的多个衰减用通气孔的板状体中的任何一种，且开口面积比率比所述隔壁部大，并且设置为在上下方向分隔所述上侧室内。
在这种情况下，所述气流均匀分配衰减器也可以构建成在与所述隔壁部的中间通气孔的正上方相当的区域中的至少一部分具有用于阻碍所述气体从所述中间通气孔向正上方流动的障壁部。
此外，所述气流均匀分配衰减器也可以构建成具有翅片状的均匀开口部件，其是将以大致垂直的状态配置的多个薄板部件以微小的间隔大致平行地并列设置而成的。
此外，所述气流均匀分配衰减器也可以构建成具有絮状的均匀开口部件，其被设置为覆盖所述隔壁部的上侧。
在这些情况中，也可以构建成在所述外壁部的底板部的中央附近设置用于导入所述气体的导入孔，且在所述隔壁部中，周边部的所述中间通气孔的开口面积比率大于中央部。
此外，也可以在所述气流均匀分配衰减器的上侧设置用于保护所述气流均匀分配衰减器的保护部件，它是网状体和形成有多个通气孔的板状体中的任何一种，其开口面积比率大于所述隔壁部。
此外，本发明通过一种薄板状材料输送装置来实现上述目的，其特征在于包括以上任意一项记载的薄板状材料输送用气动工作台。
根据本发明，可以实现能抑制无尘室内的空气紊流、并且能高可靠性地获得薄板状材料的大的上浮量的薄板状材料输送用气动工作台以及包括该气动工作台的薄板状材料输送装置。
附图说明
图1是包括表示根据本发明的第一实施方案的薄板状输送装置的局部框图的主视图。
图2是表示该薄板材料输送装置的薄板状材料输送用气动工作台的结构的剖面图。
图3是表示根据本发明的第二实施方案的薄板状材料输送用气动工作台的结构的剖面图。
图4是表示该薄板状材料输送用气动工作台的气流均匀分配衰减器的结构的立体图。
图5是表示根据本发明的第三实施方案的薄板状材料输送用气动工作台的结构的剖面图。
具体实施方式
以下参照附图对本发明的优选实施方案进行详细的说明。
如图1所示，本发明的第一实施方案的薄板状材料输送装置10是通过薄板状材料输送用气动工作台14非接触地支撑并输送例如大型LCD用的玻璃基板(薄板状材料)12的输送装置，其特征在于薄板状材料输送用气动工作台14的结构。
如图2所示，薄板状材料输送用气动工作台14具有外壁部20、隔壁部28、和气流均匀分配衰减器30；其中，所述外壁部20是上表面部16为大致平坦的箱状体，并且在上表面部16上形成了用于对玻璃基板12的下表面供给空气(气体)的多个给气孔18；所述隔壁部28设置在外壁部20内，以将外壁部20的内侧分隔为将空气导入外壁部20内的下侧室22以及与给气孔18邻接的上侧室24，并且在所述隔壁部28上形成了在上下方向贯通的多个中间通气孔26；所述气流均匀分配衰减器30设置在上侧室24内，以使从中间通气孔26到给气孔18的气流的分配得到均匀化，并且使该气流的速度衰减。
另外，在垂直于玻璃基板12的输送方向的宽度方向上，可以包括多个(在本发明的第一实施方案中是4台)薄板状材料输送用气动工作台14。
外壁部20具有大致为长方体并且上方开口的箱体的基部32、第一框架34、第二框架36和第三框架38。这些第一框架34、第二框架36和第三框架38都与基部32的内侧面内接，并且以此顺序从基部32的底板部40开始向上侧重叠而配置。另外，第二框架36包括格子部件36A，它被设置成将上侧室24分隔成分割格子状。此外，第三框架38也包括格子部件38A，其位于与格子部件36A的正上方相当的位置。第三框架38的上端比基部32的上端更向上方突出，在此第三框架38的上端安装所述上表面部16。
上表面部16是网状体或形成有在厚度方向贯通的给气孔的板状体等，同时承担用于保护气流均匀分配衰减器30的保护部件的作用。另外，给气孔的形状可以例示为圆孔、方孔、长孔、狭缝等。此外，在基部32的底板部40的中央附近设置用于导入空气的导入孔42。导入孔42通过给气管44与鼓风机或压缩机等给气单元46以及空气过滤器48连接，使得用空气过滤器48除去了异物的空气从上表面部16的给气孔18供给到上方。
隔壁部28是与外壁部20的基部32的内侧面内接的板状体，并且被第一框架34和第二框架36夹持以保持在外壁部20的上表面部16与底板部40之间。另外，隔壁部28也可以是网状体。在本发明的第一实施方案中，隔壁部28的中间通气孔26的开口面积比率在整个面中是均匀的。
气流均匀分配衰减器30具有网状体的均匀开口部件50，其被设置为在上下方向分隔上侧室24的内部。均匀开口部件50具有多个衰减用通气孔51。均匀开口部件50被第二框架36和第三框架38夹持并保持在外部壁20的上表面部16和隔壁部28之间。另外，形成有厚度方向贯通的多个衰减用通气孔的板状体也可以用作均匀开口部件。均匀开口部件50的衰减用通气孔51的开口面积比率优选为大于隔壁部28。
此外，在气流均匀分配衰减器30中，在与隔壁部28的中间通气孔26的正上方相当的区域，具有用于阻碍气体从中间通气孔26向正上方流动的障壁部52。障壁部52是比中间通气孔26大一些的小片，其被安装在均匀开口部件50的下面。另外，作为将障壁部52安装在网状体的均匀开口部件50上而构成的气流均匀分配衰减器30的替代，也可以采用例如一体结构的气流均匀分配衰减器，它是形成有通气孔的板状体，在与隔壁部28的中间通气孔26的正上方相当的部分是不开口的障壁部。
此外，薄板状材料输送装置10包括用于在输送方向驱动玻璃基板12的驱动单元54。
驱动单元54具有与玻璃基板12的下表面接触并且在输送方向上驱动玻璃基板12的多个辊子56。这些辊子56被设置在多个并列设置的薄板状材料输送用气动工作台14的宽度方向的两侧，在输送方向上以适当间距设置数对辊子56。辊子56包括与玻璃基板12的下表面接触的辊子部56A以及比其更靠宽度方向外侧而设置的凸缘部56B，并与未图示出的旋转驱动源连接。而且，在驱动单元54中，辊子56的辊子部56A的上端被设置成比薄板状材料输送用气动工作台14的上表面部16高出约数毫米。
以下，对薄板状材料输送装置10的作用进行说明。
在薄板状材料输送装置10中，例如通过扩大薄板状材料输送用气动工作台14的上表面部16的开口面积比率等，从而降低薄板状材料输送用气动工作台14中的空气流路的阻力，由此可以得到玻璃基板12的较大的上浮量。
此外，从导入孔42导入到薄板状材料输送用气动工作台14的外壁部20内的空气，由于穿过隔壁部28的中间通气孔26，因此气流的分布在一定程度上被均匀化。而且，借助于气流均匀分配衰减器30的障壁部52，穿过中间通气孔26而上升的空气的流速被降低，并且由于穿过均匀开口部件50，使气流的分布进一步得到均匀化。由于像这样气流的分布被均匀化、流速被降低后的空气从薄板状材料输送用气动工作台14的上表面部16的给气孔18供给到玻璃基板12的下表面，因此即使增大供给气体的流量以使玻璃基板12的上浮量增加，但从给气孔18供给的空气的流速较低，从而可以抑制无尘室内的空气紊流。另外，在图2中表示气流的箭头的一部分穿过均匀开口部件50的非开口部，但是图2的均匀开口部件50的图示是示意性的，实际上气流穿过均匀开口部件50的衰减用通气孔51。
此外，由于并不增大向玻璃基板12的下表面供给的气体的流速，而是增大气体的流量以使玻璃基板12的上浮量增加，因此没有必要使用高压的压缩气体，有助于降低包含了给气单元46的装置的制造成本。
此外，在薄板状材料输送装置10中，虽然驱动单元54的多个辊子56与玻璃基板12的下表面接触并且在输送方向上驱动玻璃基板12，但是由于薄板状材料输送用气动工作台14是非接触地支撑玻璃基板12，因此在与辊子56的接触部处对玻璃基板12的作用力较小，从而可以抑制由于与辊子56接触而导致的表面损伤或异物附着。
此外，与通过空气的压力而施加驱动力的输送装置相比，本发明由于只要提供仅对玻璃基板12进行支撑的低压空气就足够了，因此，这一点也有助于降低装置的制造成本，而且，不需要对空气进行复杂控制，从而结构简单。
像这样，在薄板状材料输送装置10中，由于通过薄板状材料输送用气动工作台14以较大的上浮量非接触地支撑玻璃基板12，因此可以防止玻璃基板12与薄板状材料输送用气动工作台14的接触，而且，由于可以抑制无尘室内的空气的紊流，因此难以在玻璃基板12的表面产生损伤或附着异物，可以实现高可靠性的输送。
此外，由于获得了玻璃基板12的较大的上浮量，在并列设置多个薄板状材料输送用气动工作台14时，它们的上表面部16的高度的偏差允许值相应地增大，有助于减少设置工时数。
以下，对本发明的第二实施方案进行说明。
如图3和图4所示，本发明的第二实施方案的薄板状材料输送用气动工作台60的特征在于包括气流均匀分配衰减器64以替代第一实施方案的气流均匀分配衰减器30，所述气流均匀分配衰减器64具有将以大致垂直的状态配置的多个薄板部件62A以微小的间隔大致平行地并列设置而成的翅片状的均匀开口部件62，薄板部件62A之间的间隙部构成衰减用通气孔。
由于其它结构与上述第一实施方案相同，对于相同的结构用与图1和图2相同的附图标记，因此省略其说明。另外，在图3中，为了方便起见，隔壁部28用线绘出，但是隔壁部28与上述第一实施方案相同，可以是形成有中间通气孔26的板状体，也可以是网状体。
均匀开口部件62具有在厚度方向上贯穿多个薄板状部件62A的多个管件62B，这些管件62B的两端安装到外壁部20的基部32上。另外，在本发明的第二实施方案中，外壁部20不包括第一框架34、第二框架36和第三框架38，上表面部16被安装在基部32的上端。
薄板状材料输送用气动工作台60也与上述第一实施方案的薄板状材料输送用气动工作台14相同，在上侧室24内包括使从中间通气26到给气孔18的气流的分配均匀化并且使该气流的速度衰减的气流均匀分配衰减器64，因此，即使增大供给到玻璃基板12的下表面的空气流量以使玻璃基板12的上浮量增加，但是从给气孔18供给的空气的流速较低，从而可以抑制无尘室内的空气紊流。
另外，为了使从外壁部20的上表面部16的空气均匀地供给，隔壁部28优选构建成中间通气孔26的开口面积比率在周边部比在中央部(导入孔42的正上方)高。
以下，对本发明的第三实施方案进行说明。
如图5所示，本发明的第三实施方案薄板状材料输送用气动工作台70的特征在于包括气流均匀分配衰减器74以替代上述第一实施方案的气流均匀分配衰减器30，所述气流均匀分配衰减器74具有设置成覆盖隔壁部28的上侧的絮状的均匀开口部件72，絮状的均匀开口部件72的间隙构成衰减用通气孔。其它结构与上述第一实施方案相同，对同样的结构用与图1和图2中相同的附图标记，因此省略其说明。
均匀开口部件72铺设在隔壁部28的上表面的整个面上。此外，气流均匀分配衰减器74具有从上侧覆盖均匀开口部件72的网状部件76，通过该网状部件76可以防止絮状的均匀开口部件72的飞散。作为均匀开口部件72，可以使用例如不锈钢钢丝或非扬尘性的高分子长纤维等。
薄板状材料输送用气动工作台70也与上述第一实施方案的薄板状材料输送用气动工作台14相同，在上侧室24内包括使从中间通气孔26到给气孔18的气流的分配均匀化并且使该气流的速度衰减的气流均匀分配衰减器74，因此，即使增大供给到玻璃基板12下表面的空气流量以使玻璃基板12的上浮量增加，但是从给气孔18供给的空气的流速较低，从而可以抑制无尘室内的空气紊流。
在本发明的第三实施方案中，为了使从外壁部20的上表面部16的空气均匀地供给，隔壁部28优选构建成中间通气孔26的开口面积比率在周边部比在中央部(导入孔42的正上方)高。
另外，在上述第一至第三实施方案中，薄板状材料输送装置10构建成驱动单元54的辊子56与玻璃基板12的下表面接触并且在输送方向上驱动玻璃基板12，但是也可以构建成下述方式，即通过薄板状材料输送用气动工作台悬浮支撑玻璃基板的整个面，并且从薄板状材料输送用气动工作台在相对于输送方向倾斜的方向上朝着玻璃基板的下表面供给气体，从而在输送方向上非接触地驱动玻璃基板。
在这种情况中，由于在薄板状材料输送用气动工作台的上侧室24内也包括使从中间通气孔26到给气孔18的气流的分配均匀化并且使该气流的速度衰减的气流均匀分配衰减器，因此即使增大供给到玻璃基板12下面的空气的流量以使玻璃基板的上浮量增加，但是从给气孔18供给的气体流速也变低，从而可以抑制无尘室内的空气紊流。
另外，上述第一至第三实施方案的气流均匀分配衰减器30、64、74是本发明的示例，但是也可以在上侧室中包括其它结构的气流均匀分配衰减器，只要它可以使从隔壁部28的中间通气孔26到给气孔18的气流的分配均匀化，并且使该气流的速度衰减。
此外，在上述第一至第三实施方案中，外壁部20的上表面部16是网状体或形成有给气孔的板状体，且承担用于保护气流均匀分配衰减器的保护部件的作用，但是例如像上述第一实施方案的气流均匀分配衰减器30那样，在使用即使异物等从上方落下也难以造成损伤的气流均匀分配衰减器的情况中，也可以采用例如基部32的上端面构成上表面部且基部32的上端面的开口部构成给气孔的薄板状材料输送用气动工作台。
此外，在上述第一至第三实施方案中，从薄板状材料输送用气动工作台14、60、70供给到玻璃基板12的下表面的气体是空气，但是也可以向玻璃基板12的下表面供给例如氮气、惰性气体等其它气体。
此外，在上述第一至第三实施方案中，薄板状材料输送装置10包括在宽度方向上的4台薄板状材料输送用气动工作台14、60或70，但是根据玻璃基板12的宽度等，也可以构建成包括3台以下的薄板状材料输送用气动工作台，也可以构建成包括5台以上的薄板状材料输送用气动工作台。
此外，上述第一至第三实施方案是用于输送玻璃基板12的装置，但是本发明也可以适用于输送其它材料，只要是板的厚度相对于面积而言较薄的所谓“薄板状材料”就可以。例如，可以适用于输送金属薄板材料、树脂薄板状材料等容易产生挠曲的材料的情况。
实施例1
如上述第一实施方案那样来构建薄板状材料输送装置10，并在无尘室内输送玻璃基板12。具体条件如下。
玻璃基板12的尺寸：W1500mm×L1800mm×t0.7mm
无尘室内的下降气流的流速：约500mm/sec
薄板状材料输送用气动工作台14的外形尺寸：W300mm×L700mm×H40mm
第二框架36和第三框架38的分割格子尺寸：90mm×25mm
第二框架36和第三框架38的分割格子数：3列×23行
中间通气孔26的大小和间距：φ3.5×P15mm
隔壁部28的开口面积比率：4.2％
气流均匀分配衰减器30的均匀开口部件50的材料：金属网
气流均匀分配衰减器30的开口面积比率：37％
外壁部20的上表面部16的材料：金属网
外壁部20的上表面部16的开口面积比率：60％
在以上的条件下，测量在玻璃基板12的中央附近的上浮量，上浮量为2～6mm。
此外，测量从薄板状材料输送用气动工作台14向上方供给的空气的流速，流速最大值约为220mm/sec。
实施例2
如上述第二实施方案那样来构建薄板状材料输送装置10，并在无尘室内输送玻璃基板12。具体条件如下。
薄板状材料输送用气动工作台60的外形尺寸：W300mm×L700mm×H50mm
隔壁部28的材料：膨胀合金
隔壁部28的开口面积比率：65％
气流均匀分配衰减器64的外形尺寸：W280mm×L680mm×H22mm
薄板部件62A的材料：铝薄板
薄板部件62A的厚度×并列设置间距：T0.11mm×P22mm
另外，玻璃基板12的尺寸、无尘室的下降气流的流速、外壁部20的上表面部16的材料、开口面积比率与实施例1相同。
在以上的条件下，测量在玻璃基板12的中央附近的上浮量，上浮量为3～6mm。
此外，测量从薄板状材料输送用气动工作台60向上方供给的空气的流速，流速最大值约为140mm/sec。
实施例3
如上述第三实施方案那样来构建薄板状材料输送装置10，并在无尘室内输送玻璃基板12。具体条件如下。
薄板状材料输送用气动工作台60的外形尺寸：W300mm×L700mm×H50mm
隔壁部28的材料：膨胀合金
隔壁部28的开口面积比率：65％
气流均匀分配衰减器74的均匀开口部件72的堆积高度：18mm
气流均匀分配衰减器74的均匀开口部件72的填充率：约3重量％
另外，外壁部20的上表面部16的材料、开口面积比率、玻璃基板12的尺寸、无尘室的下降气流的流速与实施例1相同。
在以上条件下，测量在玻璃基板12的中央附近的上浮量，上浮量为2.5～5mm。
此外，测量从薄板状材料输送用气动工作台70向上方供给的空气的流速，流速最大值约为120mm/sec。
实施例1～3的测定结果在表1中进行对比表示。
表1
玻璃基板的上浮量mm 从上表面喷出的空气的流速最大值mm/sec
实施例1       2～6             220
实施例2       3～6             140
实施例3       2.5～5             120
如表1所示，在实施例1～3中，玻璃基板12的上浮量都为2mm以上，由此可以获得足够的上浮量以防止玻璃基板与薄板状材料输送用气动工作台的接触。
此外，在实施例1～3中，从薄板状材料输送用气动工作台供给的空气的流速都在220mm/sec以下，并且均是无尘室的下降气流的流速即500mm/sec的一半以下，由此可以确认充分抑制无尘室内的空气紊流的效果。
本发明能够用于输送例如用于液晶显示器、等离子显示器等平板显示器的大型薄玻璃基板那样的薄板状材料。

Claims (6)

1.一种薄板状材料输送用气动工作台，其特征在于，具有外壁部、隔壁部、和气流均匀分配衰减器；其中，所述外壁部是上表面部为大致平坦的箱状体，且在所述上表面部上形成了多个用于对薄板状材料的下表面供给气体的给气孔；所述隔壁部设置在该外壁部内，以将该外壁部的内侧分隔为用于向该外壁部内导入所述气体的下侧室以及与所述给气孔邻接的上侧室，并且，所述隔壁部形成有在上下方向贯通的多个中间通气孔；所述气流均匀分配衰减器设置在所述上侧室内，以使从所述中间通气孔到所述给气孔的气流的分配均匀化，并且使该气流的速度衰减；
所述气流均匀分配衰减器构建成具有均匀开口部件，所述均匀开口部件是网状体和形成有在厚度方向上贯通的多个衰减用通气孔的板状体中的任何一种，且开口面积比率比所述隔壁部大，并且设置为在上下方向分隔所述上侧室内；
所述气流均匀分配衰减器在所述均匀开口部件的与所述隔壁部的中间通气孔的正上方相当的区域中的至少一部分进一步具有用于阻碍所述气体从所述中间通气孔向正上方流动的障壁部。
2.一种薄板状材料输送用气动工作台，其特征在于，具有外壁部、隔壁部、和气流均匀分配衰减器；其中，所述外壁部是上表面部为大致平坦的箱状体，且在所述上表面部上形成了多个用于对薄板状材料的下表面供给气体的给气孔；所述隔壁部设置在该外壁部内，以将该外壁部的内侧分隔为用于向该外壁部内导入所述气体的下侧室以及与所述给气孔邻接的上侧室，并且，所述隔壁部形成有在上下方向贯通的多个中间通气孔；所述气流均匀分配衰减器设置在所述上侧室内，以使从所述中间通气孔到所述给气孔的气流的分配均匀化，并且使该气流的速度衰减；
所述气流均匀分配衰减器构建成具有翅片状的均匀开口部件，该均匀开口部件是将以大致垂直的状态配置的多个薄板部件以微小的间隔大致平行地并列设置而成的。
3.根据权利要求2所述的薄板状材料输送用气动工作台，其特征在于，在所述外壁部的底板部的中央附近设置有用于导入所述气体的导入孔，且在所述隔壁部中，周边部的所述中间通气孔的开口面积比率大于中央部。
4.一种薄板状材料输送用气动工作台，其特征在于，具有外壁部、隔壁部、和气流均匀分配衰减器；其中，所述外壁部是上表面部为大致平坦的箱状体，且在所述上表面部上形成了多个用于对薄板状材料的下表面供给气体的给气孔；所述隔壁部设置在该外壁部内，以将该外壁部的内侧分隔为用于向该外壁部内导入所述气体的下侧室以及与所述给气孔邻接的上侧室，并且，所述隔壁部形成有在上下方向贯通的多个中间通气孔；所述气流均匀分配衰减器设置在所述上侧室内，以使从所述中间通气孔到所述给气孔的气流的分配均匀化，并且使该气流的速度衰减；
所述气流均匀分配衰减器构建成具有絮状的均匀开口部件，该均匀开口部件被设置为覆盖所述隔壁部的上侧；
在所述外壁部的底板部的中央附近设置有用于导入所述气体的导入孔，且在所述隔壁部中，周边部的所述中间通气孔的开口面积比率大于中央部。
5.根据权利要求4所述的薄板状材料输送用气动工作台，其特征在于，在所述气流均匀分配衰减器的上侧设置有用于保护所述气流均匀分配衰减器的保护部件，该保护部件是网状体和形成有多个通气孔的板状体中的任何一种，且开口面积比率大于所述隔壁部。
6.一种薄板状材料输送装置，其特征在于包括权利要求1～5中任一项所述的薄板状材料输送用气动工作台。
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5239227B2 (ja) * 2007-06-29 2013-07-17 株式会社Ｉｈｉ 浮上ユニット及び浮上搬送装置
WO2009028279A1 (ja) * 2007-08-24 2009-03-05 Sintokogio, Ltd. エア浮上搬送装置の空気吹出し構造体及び空気吹出しユニット、ならびにそれを含むエア浮上搬送装置
JP2009149389A (ja) * 2007-12-19 2009-07-09 Myotoku Ltd 浮上ユニット及びそれを有する装置
JP4589986B2 (ja) * 2008-06-10 2010-12-01 東京エレクトロン株式会社 基板加熱装置
US8511461B2 (en) * 2008-11-25 2013-08-20 Corning Incorporated Gas-ejecting bearings for transport of glass sheets
CN102770359B (zh) * 2010-02-26 2014-11-05 康宁股份有限公司 具有空气支座和空气幕帘的传送盘设备及使用方法
JP5010019B2 (ja) * 2010-09-09 2012-08-29 東京エレクトロン株式会社 ステージ
WO2012066613A1 (ja) * 2010-11-15 2012-05-24 エヌアイシ・オートテック株式会社 通気性搬送用テーブル
CN102923480A (zh) * 2011-08-12 2013-02-13 大银微系统股份有限公司 气浮平台的管路整合构造
CN109018840A (zh) * 2018-10-20 2018-12-18 马险峰 一种光伏风机环状气垫圆管带式组合快装输送机
CN108996115A (zh) * 2018-10-20 2018-12-14 马险峰 一种环状气垫圆管带式组合快装输送机用镶套式气箱
CN109677933A (zh) * 2019-03-05 2019-04-26 长春工业大学 一种表面横条纹空气悬浮式玻璃基板搬运装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1058467C (zh) * 1995-02-28 2000-11-15 三星电子株式会社 输送引线框的设备和在线管芯键合设备及半导体芯片制造方法
CN1299331A (zh) * 1998-04-10 2001-06-13 拉法勒技术公司 通过喷吹输送物品的设备及至少限定该设备喷气腔一纵向部分的装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3718014B2 (ja) * 1996-11-01 2005-11-16 東レエンジニアリング株式会社 板状物搬送装置及び非接触搬送ライン
JPH11268830A (ja) * 1998-03-19 1999-10-05 Toray Eng Co Ltd 気流搬送セル
JPH11268831A (ja) * 1998-03-19 1999-10-05 Toray Eng Co Ltd 気流搬送セル
JP2003063643A (ja) * 2001-08-30 2003-03-05 Nippon Sekkei Kogyo:Kk 薄板の搬送方法及び装置
JP2004307152A (ja) * 2003-04-08 2004-11-04 Daiichi Shisetsu Kogyo Kk 起倒可能な非接触搬送装置
JP2004345744A (ja) * 2003-05-20 2004-12-09 Hitachi Zosen Corp 空気浮上装置および空気浮上式搬送装置
JP4217963B2 (ja) * 2003-07-08 2009-02-04 株式会社ダイフク 板状体搬送装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1058467C (zh) * 1995-02-28 2000-11-15 三星电子株式会社 输送引线框的设备和在线管芯键合设备及半导体芯片制造方法
CN1299331A (zh) * 1998-04-10 2001-06-13 拉法勒技术公司 通过喷吹输送物品的设备及至少限定该设备喷气腔一纵向部分的装置

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP特开2000-100896A 2000.04.07
JP特开2000-128346A 2000.05.09
JP特开2004-345744A 2004.12.09

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