JP2004352375A - 非接触浮上ユニット - Google Patents
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Abstract
【課題】非接触搬送装置において、気体等の流体の消費量を低く抑えることができる等の利点を備えた非接触浮上ユニットを提供する。
【解決手段】非接触浮上ユニット１は、板状材２０に複数の孔３，３，３・・・が形成されてベース２が構成されており、これらの各孔３に、その表面４０が前記ベース２の表面２１と略同一の高さとなる多孔質体４，４，４・・・が取付けられ、これら多孔質体４の裏面４１側に筒状の圧力調整筒部が取付けられている。そして、流体として例えば圧縮されたエアが供給手段から供給され、前記圧力調整筒部を介して、前記多孔質体４の表面から噴出し、フラットパネルと前記ベース２間にエアが滞留し、広範囲に気体膜６が形成される。
【選択図】 図１
【解決手段】非接触浮上ユニット１は、板状材２０に複数の孔３，３，３・・・が形成されてベース２が構成されており、これらの各孔３に、その表面４０が前記ベース２の表面２１と略同一の高さとなる多孔質体４，４，４・・・が取付けられ、これら多孔質体４の裏面４１側に筒状の圧力調整筒部が取付けられている。そして、流体として例えば圧縮されたエアが供給手段から供給され、前記圧力調整筒部を介して、前記多孔質体４の表面から噴出し、フラットパネルと前記ベース２間にエアが滞留し、広範囲に気体膜６が形成される。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
【０００２】
本発明は、ＬＣＤ，ＰＤＰ等のフラットパネルを非接触で浮上させる非接触浮上ユニットに関する。
【０００３】
【従来の技術】
出願人は、従来からガラス基板等の搬送方法の１つである流体搬送の技術開発に力点をおき、各種非接触搬送装置を開発、製造し、社会に提供している（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−６２９５０号公報（図１）
【０００５】
この非接触搬送装置は、非接触で板状基板を搬送できることから、基板の防塵、基板の撓みの低減化及び撓みが原因となる破損の防止を図ることができ、基板の大型化、薄板化にも対応できるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の第１の課題は、上記非接触搬送装置のメリットに加え、気体等の流体の消費量を低く抑えることができ、レスポンス性を高めることができ、また製造コストを抑えることができ、さらに各種非接触搬送ラインを組立て易い非接触浮上ユニットを提供することである。
また第２の課題は、万が一ガラス基板等が破損した場合に、その破損物を搬送面から速やかに除去できる非接触浮上ユニットを提供することである。
さらに第３の課題は、清浄度の高いクリーン領域の局所化が可能な非接触浮上ユニットを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記第１の課題を解決するため、ユニット化された所定サイズの板状材に、複数の孔が形成されたベースと、前記ベースの各孔に対し、その表面が前記ベースの表面と略同一平面を形成するように取付けられた多孔質体と、前記多孔質体毎に、その裏面を囲うように取付けられ、且つ、供給手段から供給される気体又は液体の圧力を前記裏面に対し略均一化させる圧力調整筒部を備えたことを特徴とする非接触浮上ユニットとした（請求項１に記載の発明）。
【０００８】
前記ベ−スは、浮上対象物の搬送路となるもので、ベースの各孔に臨むように配置された各多孔質体から気体又は液体（以下、単に流体ともいう）が連続的に噴出されると、前記浮上対象物及び前記ベース間に流体が滞留し、広範囲な流体膜が形成される。
よって、浮上対象物がベース上で浮上され、その浮上対象物に搬送方向の力を与えることで、非接触にて浮上対象物を搬送できる。
また、前記多孔質体毎に圧力調整筒部が取付けられているので、各多孔質体に対する流体の供給のタイミングの調整、流体の圧力の調整、流体の供給量の調整も行い易い。
従って、広範囲な流体膜が形成されることから、流体の消費量を低く抑えることができる。
また、各多孔質体に対する流体の供給のタイミングの調整が容易であることから、ユニットのレスポンス性を高めることができる。
また、各多孔質体に対する流体の圧力の調整が容易であることから、各多孔質体に対する圧縮流体の圧力のムラを抑えることができる。
また、各多孔質体に対する流体の供給量の調整が容易であることから、浮上対象物の浮上高さの調整も容易となる。
また、流体の消費量を低く抑えることが可能な点は、多孔質体がベースに占める割合を少なくできることを意味し、その分の多孔質体の製作費用コストを抑えることができる。
さらに、ユニット単位で非接触浮上ユニットを連結し、組立てることで、浮上対象物の搬送路が完成するので、組立の柔軟性、作業の容易性に優れている。
【０００９】
上記発明において、前記多孔質体は、セラミック、ガラス、合成樹脂又は金属であることを特徴とする（請求項２に記載の発明）。
多孔質体は、所定の気孔率を具備するものであれば、その材質は問われないが、典型的には、セラミック、ガラス、合成樹脂又は金属からなる。
【００１０】
上記発明において、前記孔及び多孔質体は、略円形に形成されていることを特徴とする（請求項３に記載の発明）。
多孔質体の形状及びこれに対応する孔の形状は問われないが、円形であることで、製造が容易であること、強固であることなどのメリットがある。
【００１１】
上記発明において、前記ベースの略中央部分に配置される孔数を、その他の部分の孔数よりも少なくしてもよい（請求項４に記載の発明）。
浮上対象物及び前記ベース間に流体が滞留して形成される広範囲な流体膜では浮上対象物の中央の流体圧が、その端部より大きくなることが判明している。
そこで、浮上対象物の中央部分の直下に位置する孔、即ち、前記ベースの略中央部分に配置される孔数を、その他の部分の孔数よりも少なくすることで、浮上対象物の中央の流体圧を下げることができる。
なお、前記ベースの中央部分に配置された多孔質体に供給される気体又は液体の供給量を、その他の部分の多孔質体に供給される気体又は液体の供給量よりも少なくしてもよい。ベースの中央部分の孔数を少なくしなくても、同様の効果を得ることができる。
【００１２】
上記第１の課題を解決するため、複数の孔が形成された第１、第２板状材からなり、第１と第２板状材で平面を構成すると共に、第１板状材に対し、第２板状材が上下方向又は左右方向に移動することで分割可能なベースと、前記ベースの各孔に対し、その表面が前記ベースの表面と略同一平面を形成するように取付けられた多孔質体と、前記多孔質体毎に、その裏面を囲うように取付けられ、且つ、供給手段から供給される気体又は液体の圧力を前記裏面に対し略均一化させる圧力調整筒部とを備えたことを特徴とする非接触浮上ユニットとした（請求項５に記載の発明）。
この発明によれば、上記各発明と同様な作用効果を得ることができる浮上対象物に対する移載装置を提供できる。
【００１３】
上記第２の課題を解決するため、上記非接触浮上ユニットにおいて、そのベースの少なくとも一側に沿って、破損物を受け入れる破損物受部を設けた（請求項６に記載の発明）。
ここで、破損物は、典型的にはフラットパネルであるガラス基板が割れた場合に前記ベース上に落ちる破片である。
前記ベースの少なくとも一側に沿って取付けた破損物受部に、ガラス破片等の破損物を収容することで、搬送面からガラス破片等を速やかに除去できる。
【００１４】
上記発明において、前記破損物受部は、その一端を中心に回動可能に配置されていることを特徴とする（請求項７に記載の発明）。
前記破損物受部に集められた破損物は、前記破損物受部を回動させることで、下方に落下させて廃棄できる。
【００１５】
上記第３の課題を解決するため、前記ベースをファンフィルタユニットが取付けられたカバーにより覆うと共に、前記ベースの両側部の近辺に隙間を設けた非接触浮上ユニットとする（請求項８に記載の発明）。
前記カバーにより略密閉された空間に、ファンフィルタユニットからクリーンエアを流し、隙間からカバー外部に流出させることで、その空間を正圧にする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
上記各発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
図１は実施形態に係る非接触浮上ユニットの斜視図、図２は同ユニットの平面図、図３は同ユニットの側面図及び要部拡大図、図４は同ユニットの要部分解斜視図、図５は同ユニットの作用説明図である。
これらの各図及び後述の各図において、同一の構成については、同一の符号を付して、重複した説明を省略する。
また、以下の説明では、浮上対象物として液晶ディスプレイ（ＬＣＤ），プラズマディスプレイ（ＰＤＰ），フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ），電界発光ディスプレイ（ＥＬ）等のフラットパネルディスプレイ用のフラットパネルを想定している。なお、これらパネルにはガラス基板、プラスチック等の合成樹脂基板が含まれる。
【００１７】
実施形態に係る非接触浮上ユニット１は、図１〜図３に示したように、板状材２０に複数の孔３，３，３・・・が形成されてベース２が構成されており、これらの各孔３に、その表面４０が前記ベース２の表面２１と略同一の高さとなる多孔質体４，４，４・・・が取付けられ、これら多孔質体４の裏面４１側に筒状の圧力調整筒部５が取付けられている。
そして、流体として例えば圧縮されたエアが供給手段（図示せず）から供給され、前記圧力調整筒部５を介して、前記多孔質体４の表面４０から噴出する。
前記ベース２上にガラス基板等のフラットパネルＦＰを配置すると、そのフラットパネルＦＰと前記ベース２間にエアが滞留し、広範囲に気体膜６（図５等参照）が形成される。
よってフラットパネルＦＰがベース２上で浮上され、そのフラットパネルＦＰに搬送方向の力を与えることで、非接触にて搬送できる。
【００１８】
前記ベース２は、フラットパネルＦＰとの間で前記気体膜６を形成すると共に、フラットパネルＦＰの搬送路を構成するもので、ベース表面２１の平面度は、精度のよいものが望ましい。
フラットパネルＦＰの浮上高さは、ベース表面２１から略０．１〜０．２ｍｍ程度にすると、前記ベース２の平面度に問題があれば、フラットパネルＦＰがベース２に接触するおそれがあるからである。
【００１９】
前記ベース２の縦寸法Ｌ及び横寸法Ｍの具体的なサイズは、浮上及び搬送対象となるフットパネルＦＰのサイズに対応させればよい。
この場合、前記ベース２の平面度の観点から、例えば縦Ｌ略１０００〜１２００ｍｍ、横Ｍ略１０００〜１５００ｍｍ程度が望ましい。勿論、それ以下のサイズにしても良いし、フラットパネルＦＰのサイズに合せて連結させてもよい。
なお、前記板状材２０は、金属、例えばステンレス、アルミ等の板状材を用いる。また、前記板状材２０を樹脂材とすることで、フットパネルＦＰが板状材に万が一、接触しても、そのフットパネルＦＰに傷をつけないようにすることもできる。静電気対策にも有効である。
【００２０】
前記板状材２０に形成されている孔３の形状は略円形とし、これに取付ける前記多孔質体４も略円形に成形している。
これは前記多孔質体４を略円形（円盤状）に成形することで、割れ難く強固に成形できること、製造コストが安いことによる。
なお、前記孔３及び前記多孔質体４は、円形に限定されるものではなく、三角形、四角形、長方形、多角形、楕円形、その他どのような形状でもよい。
【００２１】
前記孔３の大きさ（孔の径）、孔３の配置等は、フラットパネルＦＰのサイズに対し前記浮上高さを得ることができるように決定すれば良い。
この実施形態では、搬送面方向Ｘに平行させて、第１〜第４列とし、第１と第３列に６個の孔３を、それぞれ同一のパターンで形成し、第２と第４列に６個の孔３を、それぞれ同一のパターンで形成している。
即ち、第１列Ｌ１と第３列Ｌ３の孔３は、同一ピッチＰ１で５個の孔３を、ピッチＰ２で１個の孔３を配置し、第２列Ｌ２と第４列Ｌ４の孔３は、前記配置パターンを逆転させている。
なお、各孔３の径は、略４０〜５０ｍｍ程度である。
【００２２】
前記板状材２０の外周及び裏面には構造材２３，２４が取付けられており、搬送路を組立てる場合の１ユニットとなっている。
【００２３】
前記多孔質体４は、その形成された気孔により、表面４０からエアを細かく分散させて噴出させるもので、気孔率が略３０％の多孔質燒結体の通気性セラミックを用いる。
前記多孔質体４は、前記孔３の形に合せて成形され、厚さが略４ｍｍ程度の円盤状に成形されている。
前記多孔質体４の材質は、通気性セラミックに限定されるものではなく、多孔質ガラス、プラスチック等の多孔性樹脂等の合成樹脂、金属等でもよい。
また気孔率も上記略３０％に限定されるものでもなく、２０〜６０％でもよい。
【００２４】
前記圧力調整筒部５は、供給手段から供給されるエアの圧力を前記多孔質体４の裏面４１全面に対し略均一化させるもので、前記各多孔質体４に対応させて、有低の略円筒状に形成されている。
即ち、図４のように、前記多孔質体４の裏面４１を臨ませるための開口５０、円筒部５１及び底部５２からなり、縦断面が略Ｕ字状に成形されている。その底部５２には、前記供給手段を構成するエアホース等を取付ける継手用のネジ孔５３が設けられている。
このように構成された圧力調整筒部５は、例えば塩化ビニル等の合成樹脂で安価に製造できる。
【００２５】
次に、図４等に基づいて、前記ベース２に対する前記多孔質体４と前記圧力調整筒部５の取付構造を説明する。
前記多孔質体４の表面４０は、前記ベース表面２１に対し略同一平面を形成するように配置する。
より好ましくは、前記ベース表面２１に対し若干低くするように配置する。例えば前記ベース表面２１に対し、多孔質体４の表面４０を０．１〜０．２ｍｍ程度低くする。
これは、多孔質体表面４０が、前記フラットパネルＦＰを擦ることがないようにするためであり、また、多孔質体表面４０が前記ベース表面２１より上方に突出すると、前記フラットパネルＦＰを浮上させるための前記気体膜６の容量が膨らむこととなり、エア消費量を浪費させることになるからである。
即ち、前記気体膜６の体積は、フラットパネルＦＰの裏面の面積と、浮上高さと、フラットパネルＦＰの裏面の面積に対応する前記ベース２の表面２１の面積との積の値であればよい。
しかし、前記多孔質体表面４０が前記ベース表面２１より上方に突出すると、前記ベース表面２１からの前記多孔質体４の上方突出高さ分の体積の気体膜が浪費されることになる。
【００２６】
前記多孔質体４の裏面４１の外縁は、前記圧力調整筒部５の開口を形成する円形頂面５４に載せられるように配置されている。
そして、前記圧力調整筒部５の円形頂面５４は、ベース２の孔３の段差３０に固着される。
なお、前記多孔質体４の表面４０の縁部と、前記ベース２の孔３の縁部は、例えば空気中の水分を吸収することで硬化するシーリング材（コーキング材）を用いる。
その結果、多孔質体４の表面４０の縁部や前記ベース２の孔の縁部間からの塵等の発生を防ぐことができる。
【００２７】
前記供給手段は、例えばコンプレッサから供給されるエア（クリーン度クラス１０程度）を前記圧力調整筒部５に供給するエアホースを備えている。
エアは前記圧力調整筒部５毎に個別に供給されることから、各多孔質体３へのエア供給量、供給タイミングも各多孔質体毎に制御できる。また、各多孔質体４へのエア供給の時間的な立上げも迅速にできる。
【００２８】
以上のように構成された非接触浮上ユニットの作用効果を図５等に基づいて説明する。
各圧力調整筒部５から各孔質体４に供給されたエアは均圧化され、各多孔質体４の各表面４０から分散され、拡散され、前記ベース２とフラットパネルＦＰとの間に、気体膜６を形成する。この気体膜６を構成するエアは、前記フラットパネルＦＰの左右、上下方向の端部から排出されるのが、それまでの間滞留する。
そして、前記多孔質体４の上方のみらならず、前記ベース２と前記フラットパネルＦＰ間でも気体膜６を形成することで、エアの消費量を抑えることができる。
そして前記気体膜６により、フラットパネルＦＰを略０．１〜０．２ｍｍ程度、浮上させることができる。
【００２９】
以上の非接触浮上ユニット１によれば、第１に、フラットパネルＦＰに、搬送痕・キズ等を作ることなく、搬送できる。
第２に、フラットパネルＦＰの自重による撓みを抑制することで、フラットパネルＦＰの破損を防ぐことができる。
第３に、前記ベース２と前記フラットパネルＦＰ間でエアが逃げずに所定時間滞留し、気体膜６が形成されるため、エアの浪費を抑えることでエア消費量を抑え、ランニングコストの低減化につなげることができる。
第４に、一台のチャンバ−に複数の多孔質体を取付ける場合には、各多孔質体に与えられる圧縮エアの圧力がバラける場合があるが、上記実施形態のように、前記多孔質体４にエアを供給する圧力調整筒部５が、多孔質体４毎にエアを供給することで、各多孔質体４へのエア圧力を略同一にすることも可能である。
第５に、多孔質体４毎にエアが供給されるので、多孔質体４毎にエア供給量を調整することができる。
第６に、一台のチャンバ−に複数の多孔質体を取付ける場合には、チャンバ−の両端に配置した各多孔質体のエア噴出タイミングの調整が難しい場合がある。
上記実施形態のように、各多孔質体４毎にエアを供給することで、各多孔質体４のエア噴出タイミングを取り、エアの立上げを迅速に行うことができる。
第７に、多孔質体４を小型化することで、多孔質体４のコストを低減化させることができ、また前記圧力調整筒部５も安価に、且つ、軽量化できる。
【００３０】
なお、上記実施形態の前記気体膜６は、フラットパネルＦＰの中央に集まる傾向が観察され、前記搬送面方向Ｘ及びその直交する方向から見ると、前記フラットパネルＦＰが恰もなだらかな山状になっていることが観測されている。
そこで、前記ベース２上のフラットパネルＦＰに対し、ベース２の搬送面方向Ｘの中央部分の孔数及び多孔質体４を少なくしてもよい。例えば、中央のライン（Ｌ２，Ｌ３）に位置する孔数を、その他の部分（Ｌ１．Ｌ４）の孔数よりも少なくしもよい。
また、前記ベース２上のフラットパネルＦＰに対し、前記中央部分の直下に位置（Ｌ２，Ｌ３）する多孔質体に供給されるエアの供給量を、その他の部分（Ｌ１．Ｌ４）の多孔質体に供給されるエアの供給量よりも少なくしてもよい。
よって、搬送されるフラットパネルＦＰの浮上高さが統一され、フラットパネルＦＰの平面度を出すことできる。
【００３１】
なお、上記実施形態では、流体としてクリーン度高い空気を用いているが、工程に応じて不活性ガスでもよいし、純水等の液体でもよい。
【００３２】
上記構成の非接触浮上ユニット１を、図６に示したような移載装置１Ａに応用することができる。
この移載装置１Ａは、複数の多孔質体４及び圧力調整筒部５が設けられた第１板状材２５と、同様に複数の多孔質体４及び圧力調整筒部５が設けられた第２板状材２６からなる。
前記第１、第２板状材２５，２６は、櫛状に形成され、第２板状材２６はロボットアーム（図示せず）に連接させている。
よって、前記第１、第２板状材２５，２６は相互に噛合った状態では搬送路となり、第２板状材２６によりフラットパネルＦＰを取出すときにはロボットハンドとなって、フラットパネルＦＰを非接触で移載できる。
【００３３】
次に上記非接触浮上ユニット１により構成される搬送路を図７〜図１０に例示する。
各ユニット１間は、図９に示したように各構造材２３が取付補強材２７により連結されており、またベース２の平面度を維持するため、各構造材２３には補強構造材２４が固着されている。
この搬送路において、「ＦＰ」は前記フラットパネルとしてのガラス基板、「７」は前記ガラス基板ＦＰの縁部を鋏んで移動させる搬送ローラ、「７０」はローラカバー、「７１」はＦＦＵ、「７２」は減速位置検出センサ、「７３」は停止位置検出センサである。
この場合、前記各孔質体４から噴出されるエアの速度（風速）は、前記ＦＦＵ７１からのダウンフローの速度（例えば０．３メートル毎秒）により遅いことから、その一方向性を妨げない。
【００３４】
この搬送路によれば、上記非接触浮上ユニット１の作用効果に加え、搬送路の設計、設置、変更、維持管理の手間を軽減させることができ、柔軟性に優れている。なお、その搬送路の途中において、前記移載装置１Ａを配置してもよい。
【００３５】
なお、上記実施形態では、前記非接触浮上ユニット１を横方向（水平方向）に配置していたが、前記ベースを立てて、縦方向に配置してもよい。
また、上記実施形態では、浮上対象物としてガラス基板等のフラットパネルを用いたが、各種薄板、ウエハー、アクリル板、各種フィルム基板、フレキシブルディスク、回路基板でもよい。
【００３６】
次に、上記のように構成された非接触浮上ユニットにおいて、図１１に図示したように、前記ベース２の搬送面方向Ｘに沿って、両側に破損物を受け入れる破損物受部８を設けてもよい。
この破損物受部８は、例えばフラットパネルであるガラス基板が割れて、前記ベース２上に破片等の破損物が散乱した場合に、その破片等を一時的に収容するもので、樋状に形成されている。
【００３７】
前記破損物受部８の自由端の一方８０はヒンジ構造として、前記ベース２の一端に取付け、前記破損物受部８の自由端の他方８１は、搬送ローラ取付板７００に係止させる。
これとは逆に、前記ベース２の一端側に前記破損物受部８の自由端の一方８０を係止させ、前記搬送ローラ取付板７００側に前記破損物受部８の自由端の他方８１をヒンジ構造にしてもよい。
そして、ヒンジを中心にして前記破損物受部８を回動させることで、その破損物受部８に収容されている破損物を下方に落下させて、廃棄できるようにしている。
以上のように構成された非接触浮上ユニット１Ａは、その他の構成において上記実施形態の非接触浮上ユニット１と同一であり、同一の作用効果を奏する。
【００３８】
なお、前記ベース２と搬送ローラ取付板７００に係合Ｕ部を設け、これらと対応する係合逆Ｕ部を前記破損物受部８の各自由端８０，８１に設けるようにしてもよい。
また、この実施形態では、前記ベース２の両端に前記破損物受部８を取付けているが、ベース２の何れか一端側のみでもよい。
また、前記非接触浮上ユニット１以外の非接触浮上装置に前記破損物受部８を設けてもよい。
【００３９】
次に、図１２で図示したように、上記構成の非接触浮上ユニット１又は１Ａにおいて、前記ベース２の上方をカバー９で覆い、その中心部分にファンフィルタユニット７１を取付けるようにしてもよい。
前記カバー９は、例えば樹脂板で形成され、その両端はそれぞれ前記搬送ローラ取付板７００まで延在されており、中央にファンフィルタユニット７１の配置用の孔９０が形成されている。
【００４０】
前記ファンフィルタユニット７１にはＨＥＰＡフィルタが取付けられている。また、前記破損物受部８には、前記ファンフィルタユニット７１の稼働時に、前記カバー９と前記ベース２間の空間９１を正圧に維持できるように（詳細は後述）、所定の開口面積の隙間９２を設ける。
また、カバー９とフラットパネル（図示せず）の高さ幅Ｇは、略５０ミリメートルとする。
【００４１】
以上のように構成された非接触浮上ユニット１Ｂでは、前記ファンフィルタユニット７１が送出するクリーンエアが、前記隙間９２から外部に流出される際に、抵抗をうけることで、前記空間９１が正圧に維持される。
よって加圧充満式のクリーン局所化を図ることができ、また前記ファンフィルタユニット７１の風量をセイブできる。
前記空間９１内の圧力をＰｂとし、外部の圧力をＰａとすると、概ねＰｂ−Ｐａ＝０．３ｍｍＡｇ以上になるように、前記ファンフィルタユニット７１の風量、前記隙間９２の開口面積を設計すればよい。
よって前記非接触浮上ユニット１Ｂによれば、外部のクリーン度がクラス１，０００〜１０，０００であっても、前記空間９１内をクリーン度クラス１０程度に保たせることができる。
【００４２】
前記隙間は、前記ベース２の両側部の近辺に設けられれば、どのような構成でもよい。例えば、図１３に示したように、樋状の前記破損物受部８をブラケット９３に取付けることで、前記ベース２と前記破損物受部８間に隙間９２を形成する。なお、この場合、前記ブラケット９３の自由端の一端と前記ベース２をヒンジ構成にし、前記ブラケット９３の自由端の他端を取付板７００との係合構成として、ヒンジを中心に回動可能とする。
その他の構成は、上記各実施形態と同一であり、同一の作用効果を奏する。
【００４３】
【発明の効果】
本願発明によれば、広範囲な流体膜が形成されることから、流体の消費量を低く抑えることができる。また、各多孔質体に対する流体の供給のタイミングの調整が容易であることから、ユニットのレスポンス性を高めることができる。また、各多孔質体に対する流体の圧力の調整が容易であることから、各多孔質体に対する圧縮流体の圧力のムラを抑えることができる。また、各多孔質体に対する流体の供給量の調整が容易であることから、浮上対象物の浮上高さの調整も容易となる。また、流体の消費量を低く抑えることが可能な点は、多孔質体がベースに占める割合を少なくできることを意味し、その分の多孔質体の製作費用コストを抑えることができる。さらに、ユニット単位で非接触浮上ユニットを連結し、組立てることで、浮上対象物の搬送路が完成するので、組立の柔軟性、作業の容易性に優れている。
【００４４】
特に、請求項４に記載の発明によれば、浮上対象物の中央の流体圧を下げることで、その浮上高さを略均一にさせることができる。
【００４５】
特に、請求項５に記載の発明によれば、非接触で浮上対象物を移載する移載装置を提供できる。
【００４６】
特に、請求項６，７に記載の各発明によれば、破損物受部にガラス破片等の破損物を収容することで、搬送面からガラス破片等を速やかに除去できる。
【００４７】
特に、請求項８に記載の発明によれば、カバー内部の正圧を維持して、カバー内部をクリーン度クラス１０程度に保たせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係る非接触浮上ユニットの斜視図、
【図２】同ユニットの平面図、
【図３】同ユニットの側面図、
【図４】同ユニットの要部分解斜視図、
【図５】同ユニットの作用説明図、
【図６】同ユニットを応用した移載装置の斜視図、
【図７】非接触浮上ユニットを連結した搬送路の平面図、
【図８】同搬送路の側面図、
【図９】同搬送路のＡ−Ａ断面図、
【図１０】同搬送路のＢ−Ｂ断面図、
【図１１】破損物受部の樋をつけた非接触浮上ユニットの斜視図、
【図１２】ＦＦＵ付きカバーを配置した非接触浮上ユニットの断面図、
【図１３】ＦＦＵ付きカバーを配置した非接触浮上ユニットの要部斜視図。
【符号の説明】
ＦＰ フラットパネル
１ １Ａ １Ｂ 非接触浮上ユニット
１Ａ 移載装置
２ ベース ２０ 板状材
２１ ベースの表面 ２３，２４ 構造材
２５ 第１板状材
２６ 第２板状材
２７ 取付補強材
３ 孔 ３０ 段差
４ 多孔質体 ４０ 表面
４１ 多孔質体の裏面
５ 圧力調整筒部 ５０ 開口
５１ 円筒部 ５２ 底部
５３ ネジ孔 ５４ 円形頂面
６ 気体膜 ７ 搬送ローラ
７０ ローラカバー ７１ ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）
７２ 減速位置検出センサ ７３ 停止位置検出センサ
７００ 搬送ローラ取付板
８ 破損物受部 ８０ ８１ 自由端
９ カバー ９０ 孔
９１ 空間 ９２ 隙間
９３ ブラケット
【発明の属する技術分野】
【０００２】
本発明は、ＬＣＤ，ＰＤＰ等のフラットパネルを非接触で浮上させる非接触浮上ユニットに関する。
【０００３】
【従来の技術】
出願人は、従来からガラス基板等の搬送方法の１つである流体搬送の技術開発に力点をおき、各種非接触搬送装置を開発、製造し、社会に提供している（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−６２９５０号公報（図１）
【０００５】
この非接触搬送装置は、非接触で板状基板を搬送できることから、基板の防塵、基板の撓みの低減化及び撓みが原因となる破損の防止を図ることができ、基板の大型化、薄板化にも対応できるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の第１の課題は、上記非接触搬送装置のメリットに加え、気体等の流体の消費量を低く抑えることができ、レスポンス性を高めることができ、また製造コストを抑えることができ、さらに各種非接触搬送ラインを組立て易い非接触浮上ユニットを提供することである。
また第２の課題は、万が一ガラス基板等が破損した場合に、その破損物を搬送面から速やかに除去できる非接触浮上ユニットを提供することである。
さらに第３の課題は、清浄度の高いクリーン領域の局所化が可能な非接触浮上ユニットを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記第１の課題を解決するため、ユニット化された所定サイズの板状材に、複数の孔が形成されたベースと、前記ベースの各孔に対し、その表面が前記ベースの表面と略同一平面を形成するように取付けられた多孔質体と、前記多孔質体毎に、その裏面を囲うように取付けられ、且つ、供給手段から供給される気体又は液体の圧力を前記裏面に対し略均一化させる圧力調整筒部を備えたことを特徴とする非接触浮上ユニットとした（請求項１に記載の発明）。
【０００８】
前記ベ−スは、浮上対象物の搬送路となるもので、ベースの各孔に臨むように配置された各多孔質体から気体又は液体（以下、単に流体ともいう）が連続的に噴出されると、前記浮上対象物及び前記ベース間に流体が滞留し、広範囲な流体膜が形成される。
よって、浮上対象物がベース上で浮上され、その浮上対象物に搬送方向の力を与えることで、非接触にて浮上対象物を搬送できる。
また、前記多孔質体毎に圧力調整筒部が取付けられているので、各多孔質体に対する流体の供給のタイミングの調整、流体の圧力の調整、流体の供給量の調整も行い易い。
従って、広範囲な流体膜が形成されることから、流体の消費量を低く抑えることができる。
また、各多孔質体に対する流体の供給のタイミングの調整が容易であることから、ユニットのレスポンス性を高めることができる。
また、各多孔質体に対する流体の圧力の調整が容易であることから、各多孔質体に対する圧縮流体の圧力のムラを抑えることができる。
また、各多孔質体に対する流体の供給量の調整が容易であることから、浮上対象物の浮上高さの調整も容易となる。
また、流体の消費量を低く抑えることが可能な点は、多孔質体がベースに占める割合を少なくできることを意味し、その分の多孔質体の製作費用コストを抑えることができる。
さらに、ユニット単位で非接触浮上ユニットを連結し、組立てることで、浮上対象物の搬送路が完成するので、組立の柔軟性、作業の容易性に優れている。
【０００９】
上記発明において、前記多孔質体は、セラミック、ガラス、合成樹脂又は金属であることを特徴とする（請求項２に記載の発明）。
多孔質体は、所定の気孔率を具備するものであれば、その材質は問われないが、典型的には、セラミック、ガラス、合成樹脂又は金属からなる。
【００１０】
上記発明において、前記孔及び多孔質体は、略円形に形成されていることを特徴とする（請求項３に記載の発明）。
多孔質体の形状及びこれに対応する孔の形状は問われないが、円形であることで、製造が容易であること、強固であることなどのメリットがある。
【００１１】
上記発明において、前記ベースの略中央部分に配置される孔数を、その他の部分の孔数よりも少なくしてもよい（請求項４に記載の発明）。
浮上対象物及び前記ベース間に流体が滞留して形成される広範囲な流体膜では浮上対象物の中央の流体圧が、その端部より大きくなることが判明している。
そこで、浮上対象物の中央部分の直下に位置する孔、即ち、前記ベースの略中央部分に配置される孔数を、その他の部分の孔数よりも少なくすることで、浮上対象物の中央の流体圧を下げることができる。
なお、前記ベースの中央部分に配置された多孔質体に供給される気体又は液体の供給量を、その他の部分の多孔質体に供給される気体又は液体の供給量よりも少なくしてもよい。ベースの中央部分の孔数を少なくしなくても、同様の効果を得ることができる。
【００１２】
上記第１の課題を解決するため、複数の孔が形成された第１、第２板状材からなり、第１と第２板状材で平面を構成すると共に、第１板状材に対し、第２板状材が上下方向又は左右方向に移動することで分割可能なベースと、前記ベースの各孔に対し、その表面が前記ベースの表面と略同一平面を形成するように取付けられた多孔質体と、前記多孔質体毎に、その裏面を囲うように取付けられ、且つ、供給手段から供給される気体又は液体の圧力を前記裏面に対し略均一化させる圧力調整筒部とを備えたことを特徴とする非接触浮上ユニットとした（請求項５に記載の発明）。
この発明によれば、上記各発明と同様な作用効果を得ることができる浮上対象物に対する移載装置を提供できる。
【００１３】
上記第２の課題を解決するため、上記非接触浮上ユニットにおいて、そのベースの少なくとも一側に沿って、破損物を受け入れる破損物受部を設けた（請求項６に記載の発明）。
ここで、破損物は、典型的にはフラットパネルであるガラス基板が割れた場合に前記ベース上に落ちる破片である。
前記ベースの少なくとも一側に沿って取付けた破損物受部に、ガラス破片等の破損物を収容することで、搬送面からガラス破片等を速やかに除去できる。
【００１４】
上記発明において、前記破損物受部は、その一端を中心に回動可能に配置されていることを特徴とする（請求項７に記載の発明）。
前記破損物受部に集められた破損物は、前記破損物受部を回動させることで、下方に落下させて廃棄できる。
【００１５】
上記第３の課題を解決するため、前記ベースをファンフィルタユニットが取付けられたカバーにより覆うと共に、前記ベースの両側部の近辺に隙間を設けた非接触浮上ユニットとする（請求項８に記載の発明）。
前記カバーにより略密閉された空間に、ファンフィルタユニットからクリーンエアを流し、隙間からカバー外部に流出させることで、その空間を正圧にする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
上記各発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
図１は実施形態に係る非接触浮上ユニットの斜視図、図２は同ユニットの平面図、図３は同ユニットの側面図及び要部拡大図、図４は同ユニットの要部分解斜視図、図５は同ユニットの作用説明図である。
これらの各図及び後述の各図において、同一の構成については、同一の符号を付して、重複した説明を省略する。
また、以下の説明では、浮上対象物として液晶ディスプレイ（ＬＣＤ），プラズマディスプレイ（ＰＤＰ），フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ），電界発光ディスプレイ（ＥＬ）等のフラットパネルディスプレイ用のフラットパネルを想定している。なお、これらパネルにはガラス基板、プラスチック等の合成樹脂基板が含まれる。
【００１７】
実施形態に係る非接触浮上ユニット１は、図１〜図３に示したように、板状材２０に複数の孔３，３，３・・・が形成されてベース２が構成されており、これらの各孔３に、その表面４０が前記ベース２の表面２１と略同一の高さとなる多孔質体４，４，４・・・が取付けられ、これら多孔質体４の裏面４１側に筒状の圧力調整筒部５が取付けられている。
そして、流体として例えば圧縮されたエアが供給手段（図示せず）から供給され、前記圧力調整筒部５を介して、前記多孔質体４の表面４０から噴出する。
前記ベース２上にガラス基板等のフラットパネルＦＰを配置すると、そのフラットパネルＦＰと前記ベース２間にエアが滞留し、広範囲に気体膜６（図５等参照）が形成される。
よってフラットパネルＦＰがベース２上で浮上され、そのフラットパネルＦＰに搬送方向の力を与えることで、非接触にて搬送できる。
【００１８】
前記ベース２は、フラットパネルＦＰとの間で前記気体膜６を形成すると共に、フラットパネルＦＰの搬送路を構成するもので、ベース表面２１の平面度は、精度のよいものが望ましい。
フラットパネルＦＰの浮上高さは、ベース表面２１から略０．１〜０．２ｍｍ程度にすると、前記ベース２の平面度に問題があれば、フラットパネルＦＰがベース２に接触するおそれがあるからである。
【００１９】
前記ベース２の縦寸法Ｌ及び横寸法Ｍの具体的なサイズは、浮上及び搬送対象となるフットパネルＦＰのサイズに対応させればよい。
この場合、前記ベース２の平面度の観点から、例えば縦Ｌ略１０００〜１２００ｍｍ、横Ｍ略１０００〜１５００ｍｍ程度が望ましい。勿論、それ以下のサイズにしても良いし、フラットパネルＦＰのサイズに合せて連結させてもよい。
なお、前記板状材２０は、金属、例えばステンレス、アルミ等の板状材を用いる。また、前記板状材２０を樹脂材とすることで、フットパネルＦＰが板状材に万が一、接触しても、そのフットパネルＦＰに傷をつけないようにすることもできる。静電気対策にも有効である。
【００２０】
前記板状材２０に形成されている孔３の形状は略円形とし、これに取付ける前記多孔質体４も略円形に成形している。
これは前記多孔質体４を略円形（円盤状）に成形することで、割れ難く強固に成形できること、製造コストが安いことによる。
なお、前記孔３及び前記多孔質体４は、円形に限定されるものではなく、三角形、四角形、長方形、多角形、楕円形、その他どのような形状でもよい。
【００２１】
前記孔３の大きさ（孔の径）、孔３の配置等は、フラットパネルＦＰのサイズに対し前記浮上高さを得ることができるように決定すれば良い。
この実施形態では、搬送面方向Ｘに平行させて、第１〜第４列とし、第１と第３列に６個の孔３を、それぞれ同一のパターンで形成し、第２と第４列に６個の孔３を、それぞれ同一のパターンで形成している。
即ち、第１列Ｌ１と第３列Ｌ３の孔３は、同一ピッチＰ１で５個の孔３を、ピッチＰ２で１個の孔３を配置し、第２列Ｌ２と第４列Ｌ４の孔３は、前記配置パターンを逆転させている。
なお、各孔３の径は、略４０〜５０ｍｍ程度である。
【００２２】
前記板状材２０の外周及び裏面には構造材２３，２４が取付けられており、搬送路を組立てる場合の１ユニットとなっている。
【００２３】
前記多孔質体４は、その形成された気孔により、表面４０からエアを細かく分散させて噴出させるもので、気孔率が略３０％の多孔質燒結体の通気性セラミックを用いる。
前記多孔質体４は、前記孔３の形に合せて成形され、厚さが略４ｍｍ程度の円盤状に成形されている。
前記多孔質体４の材質は、通気性セラミックに限定されるものではなく、多孔質ガラス、プラスチック等の多孔性樹脂等の合成樹脂、金属等でもよい。
また気孔率も上記略３０％に限定されるものでもなく、２０〜６０％でもよい。
【００２４】
前記圧力調整筒部５は、供給手段から供給されるエアの圧力を前記多孔質体４の裏面４１全面に対し略均一化させるもので、前記各多孔質体４に対応させて、有低の略円筒状に形成されている。
即ち、図４のように、前記多孔質体４の裏面４１を臨ませるための開口５０、円筒部５１及び底部５２からなり、縦断面が略Ｕ字状に成形されている。その底部５２には、前記供給手段を構成するエアホース等を取付ける継手用のネジ孔５３が設けられている。
このように構成された圧力調整筒部５は、例えば塩化ビニル等の合成樹脂で安価に製造できる。
【００２５】
次に、図４等に基づいて、前記ベース２に対する前記多孔質体４と前記圧力調整筒部５の取付構造を説明する。
前記多孔質体４の表面４０は、前記ベース表面２１に対し略同一平面を形成するように配置する。
より好ましくは、前記ベース表面２１に対し若干低くするように配置する。例えば前記ベース表面２１に対し、多孔質体４の表面４０を０．１〜０．２ｍｍ程度低くする。
これは、多孔質体表面４０が、前記フラットパネルＦＰを擦ることがないようにするためであり、また、多孔質体表面４０が前記ベース表面２１より上方に突出すると、前記フラットパネルＦＰを浮上させるための前記気体膜６の容量が膨らむこととなり、エア消費量を浪費させることになるからである。
即ち、前記気体膜６の体積は、フラットパネルＦＰの裏面の面積と、浮上高さと、フラットパネルＦＰの裏面の面積に対応する前記ベース２の表面２１の面積との積の値であればよい。
しかし、前記多孔質体表面４０が前記ベース表面２１より上方に突出すると、前記ベース表面２１からの前記多孔質体４の上方突出高さ分の体積の気体膜が浪費されることになる。
【００２６】
前記多孔質体４の裏面４１の外縁は、前記圧力調整筒部５の開口を形成する円形頂面５４に載せられるように配置されている。
そして、前記圧力調整筒部５の円形頂面５４は、ベース２の孔３の段差３０に固着される。
なお、前記多孔質体４の表面４０の縁部と、前記ベース２の孔３の縁部は、例えば空気中の水分を吸収することで硬化するシーリング材（コーキング材）を用いる。
その結果、多孔質体４の表面４０の縁部や前記ベース２の孔の縁部間からの塵等の発生を防ぐことができる。
【００２７】
前記供給手段は、例えばコンプレッサから供給されるエア（クリーン度クラス１０程度）を前記圧力調整筒部５に供給するエアホースを備えている。
エアは前記圧力調整筒部５毎に個別に供給されることから、各多孔質体３へのエア供給量、供給タイミングも各多孔質体毎に制御できる。また、各多孔質体４へのエア供給の時間的な立上げも迅速にできる。
【００２８】
以上のように構成された非接触浮上ユニットの作用効果を図５等に基づいて説明する。
各圧力調整筒部５から各孔質体４に供給されたエアは均圧化され、各多孔質体４の各表面４０から分散され、拡散され、前記ベース２とフラットパネルＦＰとの間に、気体膜６を形成する。この気体膜６を構成するエアは、前記フラットパネルＦＰの左右、上下方向の端部から排出されるのが、それまでの間滞留する。
そして、前記多孔質体４の上方のみらならず、前記ベース２と前記フラットパネルＦＰ間でも気体膜６を形成することで、エアの消費量を抑えることができる。
そして前記気体膜６により、フラットパネルＦＰを略０．１〜０．２ｍｍ程度、浮上させることができる。
【００２９】
以上の非接触浮上ユニット１によれば、第１に、フラットパネルＦＰに、搬送痕・キズ等を作ることなく、搬送できる。
第２に、フラットパネルＦＰの自重による撓みを抑制することで、フラットパネルＦＰの破損を防ぐことができる。
第３に、前記ベース２と前記フラットパネルＦＰ間でエアが逃げずに所定時間滞留し、気体膜６が形成されるため、エアの浪費を抑えることでエア消費量を抑え、ランニングコストの低減化につなげることができる。
第４に、一台のチャンバ−に複数の多孔質体を取付ける場合には、各多孔質体に与えられる圧縮エアの圧力がバラける場合があるが、上記実施形態のように、前記多孔質体４にエアを供給する圧力調整筒部５が、多孔質体４毎にエアを供給することで、各多孔質体４へのエア圧力を略同一にすることも可能である。
第５に、多孔質体４毎にエアが供給されるので、多孔質体４毎にエア供給量を調整することができる。
第６に、一台のチャンバ−に複数の多孔質体を取付ける場合には、チャンバ−の両端に配置した各多孔質体のエア噴出タイミングの調整が難しい場合がある。
上記実施形態のように、各多孔質体４毎にエアを供給することで、各多孔質体４のエア噴出タイミングを取り、エアの立上げを迅速に行うことができる。
第７に、多孔質体４を小型化することで、多孔質体４のコストを低減化させることができ、また前記圧力調整筒部５も安価に、且つ、軽量化できる。
【００３０】
なお、上記実施形態の前記気体膜６は、フラットパネルＦＰの中央に集まる傾向が観察され、前記搬送面方向Ｘ及びその直交する方向から見ると、前記フラットパネルＦＰが恰もなだらかな山状になっていることが観測されている。
そこで、前記ベース２上のフラットパネルＦＰに対し、ベース２の搬送面方向Ｘの中央部分の孔数及び多孔質体４を少なくしてもよい。例えば、中央のライン（Ｌ２，Ｌ３）に位置する孔数を、その他の部分（Ｌ１．Ｌ４）の孔数よりも少なくしもよい。
また、前記ベース２上のフラットパネルＦＰに対し、前記中央部分の直下に位置（Ｌ２，Ｌ３）する多孔質体に供給されるエアの供給量を、その他の部分（Ｌ１．Ｌ４）の多孔質体に供給されるエアの供給量よりも少なくしてもよい。
よって、搬送されるフラットパネルＦＰの浮上高さが統一され、フラットパネルＦＰの平面度を出すことできる。
【００３１】
なお、上記実施形態では、流体としてクリーン度高い空気を用いているが、工程に応じて不活性ガスでもよいし、純水等の液体でもよい。
【００３２】
上記構成の非接触浮上ユニット１を、図６に示したような移載装置１Ａに応用することができる。
この移載装置１Ａは、複数の多孔質体４及び圧力調整筒部５が設けられた第１板状材２５と、同様に複数の多孔質体４及び圧力調整筒部５が設けられた第２板状材２６からなる。
前記第１、第２板状材２５，２６は、櫛状に形成され、第２板状材２６はロボットアーム（図示せず）に連接させている。
よって、前記第１、第２板状材２５，２６は相互に噛合った状態では搬送路となり、第２板状材２６によりフラットパネルＦＰを取出すときにはロボットハンドとなって、フラットパネルＦＰを非接触で移載できる。
【００３３】
次に上記非接触浮上ユニット１により構成される搬送路を図７〜図１０に例示する。
各ユニット１間は、図９に示したように各構造材２３が取付補強材２７により連結されており、またベース２の平面度を維持するため、各構造材２３には補強構造材２４が固着されている。
この搬送路において、「ＦＰ」は前記フラットパネルとしてのガラス基板、「７」は前記ガラス基板ＦＰの縁部を鋏んで移動させる搬送ローラ、「７０」はローラカバー、「７１」はＦＦＵ、「７２」は減速位置検出センサ、「７３」は停止位置検出センサである。
この場合、前記各孔質体４から噴出されるエアの速度（風速）は、前記ＦＦＵ７１からのダウンフローの速度（例えば０．３メートル毎秒）により遅いことから、その一方向性を妨げない。
【００３４】
この搬送路によれば、上記非接触浮上ユニット１の作用効果に加え、搬送路の設計、設置、変更、維持管理の手間を軽減させることができ、柔軟性に優れている。なお、その搬送路の途中において、前記移載装置１Ａを配置してもよい。
【００３５】
なお、上記実施形態では、前記非接触浮上ユニット１を横方向（水平方向）に配置していたが、前記ベースを立てて、縦方向に配置してもよい。
また、上記実施形態では、浮上対象物としてガラス基板等のフラットパネルを用いたが、各種薄板、ウエハー、アクリル板、各種フィルム基板、フレキシブルディスク、回路基板でもよい。
【００３６】
次に、上記のように構成された非接触浮上ユニットにおいて、図１１に図示したように、前記ベース２の搬送面方向Ｘに沿って、両側に破損物を受け入れる破損物受部８を設けてもよい。
この破損物受部８は、例えばフラットパネルであるガラス基板が割れて、前記ベース２上に破片等の破損物が散乱した場合に、その破片等を一時的に収容するもので、樋状に形成されている。
【００３７】
前記破損物受部８の自由端の一方８０はヒンジ構造として、前記ベース２の一端に取付け、前記破損物受部８の自由端の他方８１は、搬送ローラ取付板７００に係止させる。
これとは逆に、前記ベース２の一端側に前記破損物受部８の自由端の一方８０を係止させ、前記搬送ローラ取付板７００側に前記破損物受部８の自由端の他方８１をヒンジ構造にしてもよい。
そして、ヒンジを中心にして前記破損物受部８を回動させることで、その破損物受部８に収容されている破損物を下方に落下させて、廃棄できるようにしている。
以上のように構成された非接触浮上ユニット１Ａは、その他の構成において上記実施形態の非接触浮上ユニット１と同一であり、同一の作用効果を奏する。
【００３８】
なお、前記ベース２と搬送ローラ取付板７００に係合Ｕ部を設け、これらと対応する係合逆Ｕ部を前記破損物受部８の各自由端８０，８１に設けるようにしてもよい。
また、この実施形態では、前記ベース２の両端に前記破損物受部８を取付けているが、ベース２の何れか一端側のみでもよい。
また、前記非接触浮上ユニット１以外の非接触浮上装置に前記破損物受部８を設けてもよい。
【００３９】
次に、図１２で図示したように、上記構成の非接触浮上ユニット１又は１Ａにおいて、前記ベース２の上方をカバー９で覆い、その中心部分にファンフィルタユニット７１を取付けるようにしてもよい。
前記カバー９は、例えば樹脂板で形成され、その両端はそれぞれ前記搬送ローラ取付板７００まで延在されており、中央にファンフィルタユニット７１の配置用の孔９０が形成されている。
【００４０】
前記ファンフィルタユニット７１にはＨＥＰＡフィルタが取付けられている。また、前記破損物受部８には、前記ファンフィルタユニット７１の稼働時に、前記カバー９と前記ベース２間の空間９１を正圧に維持できるように（詳細は後述）、所定の開口面積の隙間９２を設ける。
また、カバー９とフラットパネル（図示せず）の高さ幅Ｇは、略５０ミリメートルとする。
【００４１】
以上のように構成された非接触浮上ユニット１Ｂでは、前記ファンフィルタユニット７１が送出するクリーンエアが、前記隙間９２から外部に流出される際に、抵抗をうけることで、前記空間９１が正圧に維持される。
よって加圧充満式のクリーン局所化を図ることができ、また前記ファンフィルタユニット７１の風量をセイブできる。
前記空間９１内の圧力をＰｂとし、外部の圧力をＰａとすると、概ねＰｂ−Ｐａ＝０．３ｍｍＡｇ以上になるように、前記ファンフィルタユニット７１の風量、前記隙間９２の開口面積を設計すればよい。
よって前記非接触浮上ユニット１Ｂによれば、外部のクリーン度がクラス１，０００〜１０，０００であっても、前記空間９１内をクリーン度クラス１０程度に保たせることができる。
【００４２】
前記隙間は、前記ベース２の両側部の近辺に設けられれば、どのような構成でもよい。例えば、図１３に示したように、樋状の前記破損物受部８をブラケット９３に取付けることで、前記ベース２と前記破損物受部８間に隙間９２を形成する。なお、この場合、前記ブラケット９３の自由端の一端と前記ベース２をヒンジ構成にし、前記ブラケット９３の自由端の他端を取付板７００との係合構成として、ヒンジを中心に回動可能とする。
その他の構成は、上記各実施形態と同一であり、同一の作用効果を奏する。
【００４３】
【発明の効果】
本願発明によれば、広範囲な流体膜が形成されることから、流体の消費量を低く抑えることができる。また、各多孔質体に対する流体の供給のタイミングの調整が容易であることから、ユニットのレスポンス性を高めることができる。また、各多孔質体に対する流体の圧力の調整が容易であることから、各多孔質体に対する圧縮流体の圧力のムラを抑えることができる。また、各多孔質体に対する流体の供給量の調整が容易であることから、浮上対象物の浮上高さの調整も容易となる。また、流体の消費量を低く抑えることが可能な点は、多孔質体がベースに占める割合を少なくできることを意味し、その分の多孔質体の製作費用コストを抑えることができる。さらに、ユニット単位で非接触浮上ユニットを連結し、組立てることで、浮上対象物の搬送路が完成するので、組立の柔軟性、作業の容易性に優れている。
【００４４】
特に、請求項４に記載の発明によれば、浮上対象物の中央の流体圧を下げることで、その浮上高さを略均一にさせることができる。
【００４５】
特に、請求項５に記載の発明によれば、非接触で浮上対象物を移載する移載装置を提供できる。
【００４６】
特に、請求項６，７に記載の各発明によれば、破損物受部にガラス破片等の破損物を収容することで、搬送面からガラス破片等を速やかに除去できる。
【００４７】
特に、請求項８に記載の発明によれば、カバー内部の正圧を維持して、カバー内部をクリーン度クラス１０程度に保たせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係る非接触浮上ユニットの斜視図、
【図２】同ユニットの平面図、
【図３】同ユニットの側面図、
【図４】同ユニットの要部分解斜視図、
【図５】同ユニットの作用説明図、
【図６】同ユニットを応用した移載装置の斜視図、
【図７】非接触浮上ユニットを連結した搬送路の平面図、
【図８】同搬送路の側面図、
【図９】同搬送路のＡ−Ａ断面図、
【図１０】同搬送路のＢ−Ｂ断面図、
【図１１】破損物受部の樋をつけた非接触浮上ユニットの斜視図、
【図１２】ＦＦＵ付きカバーを配置した非接触浮上ユニットの断面図、
【図１３】ＦＦＵ付きカバーを配置した非接触浮上ユニットの要部斜視図。
【符号の説明】
ＦＰ フラットパネル
１ １Ａ １Ｂ 非接触浮上ユニット
１Ａ 移載装置
２ ベース ２０ 板状材
２１ ベースの表面 ２３，２４ 構造材
２５ 第１板状材
２６ 第２板状材
２７ 取付補強材
３ 孔 ３０ 段差
４ 多孔質体 ４０ 表面
４１ 多孔質体の裏面
５ 圧力調整筒部 ５０ 開口
５１ 円筒部 ５２ 底部
５３ ネジ孔 ５４ 円形頂面
６ 気体膜 ７ 搬送ローラ
７０ ローラカバー ７１ ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）
７２ 減速位置検出センサ ７３ 停止位置検出センサ
７００ 搬送ローラ取付板
８ 破損物受部 ８０ ８１ 自由端
９ カバー ９０ 孔
９１ 空間 ９２ 隙間
９３ ブラケット
Claims (8)
- ユニット化された所定サイズの板状材に、複数の孔が形成されたベースと、
前記ベースの各孔に対し、その表面が前記ベースの表面と略同一平面を形成するように取付けられた多孔質体と、
前記多孔質体毎に、その裏面を囲うように取付けられ、且つ、供給手段から供給される気体又は液体の圧力を前記裏面に対し略均一化させる圧力調整筒部を備えたことを特徴とする非接触浮上ユニット。 - 前記多孔質体は、セラミック、ガラス、合成樹脂又は金属からなることを特徴とする請求項１に記載の非接触浮上ユニット。
- 前記孔及び多孔質体は、略円形に形成されていることを特徴とする請求項１又は２の非接触搬送浮上ユニット。
- 前記ベースの略中央部分に配置される孔数を、その他の部分の孔数よりも少なくしたことを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の非接触浮上ユニット。
- 複数の孔が形成された第１、第２板状材からなり、第１と第２板状材で平面を構成すると共に、第１板状材に対し、第２板状材が上下方向又は左右方向に移動することで分割可能なベースと、
前記ベースの各孔に対し、その表面が前記ベースの表面と略同一平面を形成するように取付けられた多孔質体と、
前記多孔質体毎に、その裏面を囲うように取付けられ、且つ、供給手段から供給される気体又は液体の圧力を前記裏面に対し略均一化させる圧力調整筒部とを備えたことを特徴とする非接触浮上ユニット。 - 前記ベースの少なくとも一側部に沿って、破損物を受け入れる破損物受部を設けたことを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の非接触浮上ユニット。
- 前記破損物受部は、その一端を中心に回動可能に配置されていることを特徴とする請求項６に記載の非接触浮上ユニット。
- 前記ベースをファンフィルタユニットが取付けられたカバーにより覆うと共に、前記ベースの両側部の近辺に隙間を設けたことを特徴とする請求項１、６又は７の何れかに記載の非接触浮上ユニット。
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