JP4681535B2

JP4681535B2 - 吸着浮上パネル

Info

Publication number: JP4681535B2
Application number: JP2006299876A
Authority: JP
Inventors: 井彌太郎永; 平清隆藤; 嶋政之豊; 鳥暢崇羽; 妻忠浩長
Original assignee: Tanken Seal Seiko Co Ltd
Current assignee: Tanken Seal Seiko Co Ltd
Priority date: 2006-11-06
Filing date: 2006-11-06
Publication date: 2011-05-11
Anticipated expiration: 2026-11-06
Also published as: JP2008117946A; KR20080041090A; KR101376470B1

Description

この発明は、吸着浮上パネルに関する。

液晶表示用のガラスやフィルムなどの大型板状体を吸着固定したり或いは浮上させたりするための、吸着浮上パネルが知られている。
この吸着浮上パネルは、ロボットなどにより保持、移動させられるため、軽量であることが求められており、従来は多孔質アルミ合金や機械加工で多数のキリ穴を開けたアルミ合金板をハニカムパネルの表面板に組み入れたものが用いられてきた。そして、該ハニカム構造自体を通気路として用い、パネルの上面に開口を設けて、ここから給気或いは吸引を行って浮上或いは吸着を行う構造になっていた。

特開平9-117836

しかし、従来使用されている多孔質アルミ合金や機械加工で多数のキリ穴を開けたアルミ合金板をハニカムパネルの表面板に組み入れたものは重く、取り扱いが不便等の問題があった。
また、ハニカム構造自体を通気路として使用するため、通気容量が大きくなり、大容量の真空ポンプやコンプレッサが必要になる問題がある。また、レスポンスが遅い欠点もある。特に近年パネルが大型化しており、この問題が大きくなってきている。
更に、ハニカム構造自体を通気路としていることから、通気の分離が難しく、パネルをワークサイズの大きさに合わせて、分割して使用できるように構成することが難しかった。
本発明は上記従来技術の問題を解決することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明のパネルは、多孔質カーボンと強度保持用の基板の２重構造として、強度を確保しつつ軽量化を図り、更に多孔質カーボンに直接通気管を配設し、通気容量の縮小を図ったことを基本的な特徴とするものである。
即ち、本発明の吸着浮上パネルは、対象物に対して気体を送出又は吸引或は送出及び吸引させることにより対象物を浮上或は吸着する吸着浮上パネルにおいて、
強度保持用の基板と、該基板上に装着された多孔質カーボン製の単一のカーボンパッドと、該カーボンパッドの裏面に形成された通気溝と、該通気溝に連通する通気管と、を備え、前記カーボンパッドを吸着浮上対象であるワークの大きさに対応してエリアに分割し、前記分割したエリア毎に、前記通気管を独立して配設した、ことを特徴とする。

本発明の吸着浮上パネルによれば、軽量であり且つ強度も確保される効果がある。また、通気管によりカーボンパッドの裏面に形成された通気溝に直接通気するため、通気容量を小さくすることができ、大容量の真空ポンプやコンプレッサなどを必要としない。更に多孔質カーボン製のパッド全体から通気できるから、均一な吸着或いは浮上効果が得られる。また、異なるサイズの対象物に対応することが可能になる。

以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２において、本発明のパネルＡはパッド基板５上にカーボンパッド１が装着された構造になっている。パッド基板５はアルミ合金のハニカムパネル構造になっており、ハニカム部５０、上板５１、下板５２及び側板５３から構成されている。パッド基板５の上板５１の上に接着剤を用いてカーボンパッド１が装着されている。
パッド基板５の周囲には側板５３が設けられており、側板５３上に固定板１９を固定してカーボンパッド１を固定する構造になっている。
以上のようにパッド基板５の上にカーボンパッド１を装着する２重構造とすることにより、カーボンの密度はアルミ合金の約２／３以下であることから、全体を金属のハニカムパネル構造とした従来のものより軽量化出来る上、パッド基板５を用いることによりカーボンパッド１の強度の向上も図れる。

カーボンパッド１は通気性のある多孔質のカーボン材からなり、この実施形態では複数のパッド小片１０をパッド基板５上に並べている。パッド小片１０相互間は接着剤により接続され、また接着剤により各パッドの境界がシールされている。
カーボンパッド１の裏面側、即ち各パッド小片１０の裏面側（上板５１と密着する側）には、図３に示すように通気溝１１が形成されている。この実施形態では縦にほぼ平行に配列された通気溝１１を２段設けているが、必要に応じて種々の構成が可能である。
該通気溝１１に空気を供給或いは吸引することにより、多孔質のカーボンパッド１の表面上から空気を送出又は吸引して、対象物を吸引或いは浮上するように構成されている。

図２に示すようにパッド基板５には、コマ５５が設けられており、このコマ５５内に通気穴３が設けられている。通気穴３は通気溝１１に開口しており、通気溝１１を吸引し或いは通気溝１１に送気するようになっている。
通気穴３の形成されたコマ５５は各パッド小片１０毎に設けられている。

この実施形態では、図３に示すように通気穴３は、パネルＡの下側に３つの系統に分けて配設された連通管４，４’、４”、に接続されており、連通管４，４’、４”、をそれぞれ別個に吸排気出来るように構成されている。
この連通管４の３つの系統により、カーボンパッド１は境界線１５と境界線１６により３種類のエリアを使い分けることが可能になっている。このエリアの使い分けにより、サイズの異なる対象物を扱うことができるようになっている。
即ち、最も小さなエリアは、連通管４のみを稼働し、境界線１５の内側のみを使用する。次の大きさのエリアは連通管４と連通管４’を稼働し、境界線１６の内側のみを使用する。更に連通管４と連通管４’及び連通管４”すべてを稼働することにより、カーボンパッド１の全面を使用可能となる。以上のような使用方法により、対象物のサイズに応じて適切な面積のエリアを使用でき、効率的な使用が可能になる。

以上の構成の実施形態においては、カーボンパッド１とアルミ合金のハニカム構造を有するパッド基板５の二重構造により、従来の金属のみよりなるパネルよりもさらに軽量化でき、大型パネルになればなるほど有利である。
また、カーボンパッド１は黒色であるため、露光検査装置用に適当であり、更に導電性があるため、電気接点として機能する。また、フィルム等に発生する静電気を放電させられることができ、帯電防止効果がある。
更に通気穴３を用い、通気溝１１を減圧または加圧するので、真空ポンプやコンプレッサの使用が小容量で済み、同時にレスポンスも速い。
またカーボンパッド１を複数のパッド小片１０で構成し、通気穴３を図３に示すようにブロック毎に分離し、該ブロックごとに給気・排気を行うようにしているため、製品サイズに合わせた使用が可能になる。

本発明の一実施形態を示す概略平面図。本発明の一実施形態を示す概略部分立断面図。本発明の一実施形態のカーボンパッド１の裏面図。本発明の一実施形態の連通管４の系統図。

符号の説明

１：カーボンパッド、３：通気穴、４：連通管、５：パッド基板、１０：パッド小片、１１：通気溝、１５：境界線、１６：境界線、１９：固定板、５０：ハニカム部、５１：上板、５２：下板、５３：側板、５５：コマ。

Claims

対象物に対して気体を送出又は吸引或は送出及び吸引させることにより対象物を浮上或は吸着する吸着浮上パネルにおいて、
強度保持用の基板と、
該基板上に装着された多孔質カーボン製の単一のカーボンパッドと、
該カーボンパッドの裏面に形成された通気溝と、
該通気溝に連通する通気管と、を備え、
前記カーボンパッドを吸着浮上対象であるワークの大きさに対応してエリアに分割し、
前記分割したエリア毎に、前記通気管を独立して配設した、
ことを特徴とする吸着浮上パネル。
前記基板がハニカム構造の基板である、
請求項１の吸着浮上パネル。
前記カーボンパッドが、複数のパッド小片を接続することにより形成される、
請求項１の吸着浮上パネル。
前記複数のパッド小片が接着剤により接続され、各パッドの境界がシールされている、
請求項３の吸着浮上パネル。