KR101376470B1 - 흡착 부상 판넬 - Google Patents

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가부시키가이샤 단켄시루세코
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Abstract

본 발명은 경량으로 강도를 확보할 수 있는 흡착 부상(浮上)판넬을 제공하기 위한 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 판넬은 다공질 카본과 강도 유지용 기판과의 2중 구조를 형성하여, 강도를 확보하면서 경량화를 기하도록 하고, 특히 다공질 카본에 직접 통기관을 배설하여 통기용량의 축소를 도모함을 기본적인 특징으로 하고 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 흡착 부상 판넬에 따르면, 경량이고 또 강도를 확보할 수 있는 효과가 있다. 또한, 통기관에 의해서 카본패드의 이면에 형성된 통기홈에 직접 통기를 하게 되므로 통기용량을 작게 할 수 있으며, 대용량의 진공펌프나 콤프레셔 등을 필요로 하지 않게 된다.
흡착, 판넬, 하니콤.

Description

흡착 부상 판넬{Adsorptive floating panel}
도 1은 본 발명의 1실시형태를 나타내는 개략평면도이고,
도 2는 본 발명의 1실시형태를 나타내는 개략 부분입단면도이고,
도 3은 본 발명의 1실시형태의 카본패드(1)의 이면도이고,
도 4는 본 발명의 1실시형태의 연통관(4)의 계통도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 카본패드 3 : 통기공
4 : 연통관 5 : 패드기판
10 : 패드조각편 11 : 통기홈
15 : 경계선 19 : 고정판
50 : 하니콤부 51 : 상판(上板)
52 : 하판(下板) 53 : 측판(側板)
55 : 코머
[특허문헌 1] 일본국 특허공개 평9-117836호 공보
본 발명은 흡착 부상(浮上)판넬에 관한 것이다.
일반적으로 액정(液晶)표시용 유리 또는 필름 등의 대형의 판상체를 흡착 고정시키거나 또는 부상시키기 위하여 흡착 부상 판넬이 이용되어지고 있다.
흡착 부상 판넬은 주로 로봇트 등에 의해 지지되거나 이동되기 때문에 무게가 가벼워야 하므로, 종래에는 일본국 공개특허공보 특개평9-117836호에 개시된 바와 같이 다공질 알루미늄 합금이나 기계가공에 의해 다수의 작은 구멍을 형성한 알루미나 합금판을 하니콤(honeycomb) 판넬의 표면판으로 조립하여, 이 벌집모양의 하니콤구조를 통기로로 사용하여 판넬 상면에 개구부를 형성하고, 여기에서 급기 또는 흡인을 하도록 함으로써 부상 또는 흡착을 하도록 하는 구조가 이용되어 왔다.
그러나, 종래에 사용하던 다공질의 알루미 합금이나, 기계가공으로 다수의 작은 구멍을 뚫은 알루미 합금판을 벌집모양의 하니콤 판넬 표면판에 조립시킨 것은 무게가 무겁고, 취급에 불편하여 많은 문제점이 있었다.
또한, 하니콤 구조 자체를 통기로로 사용하기 위해서는 통기용량이 커야하고, 용량이 큰 진공펌프나 콤프레셔가 필요하게 되는 문제가 따르게 된다. 또한 리레스폰스(response)가 늦어지는 결점이 있다. 특히 근래에는 판넬이 대형화되므로 이 문제는 더욱 크게 되었다.
더욱이, 벌집모양의 하니콤구조 자체를 통기로로 이용하므로 통기의 분리가 어려워지고, 판넬을 워크싸이즈의 크기와 합쳐져서, 분할하여 사용할 수 있도록 하는 것이 아주 어려운 문제점이 있다.
본 발명은 이와 같은 종래기술의 문제점을 해결하는 것을 그 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 판넬은 다공질 카본과 강도 유지용 기판과의 2중 구조를 형성하여, 강도를 확보하면서 경량화를 기하도록 하고, 특히 다공질 카본에 직접 통기관을 배설하여 통기용량의 축소를 도모함을 기본적인 특징으로 하고 있다. 즉, 본 발명의 흡착 부상 판넬은 강도 유지용 기판과, 이 기판 위에 장착된 다공질 카본제의 카본패드를, 이 카본패드의 이면에 형성된 통기홈과, 이 통기홈에 연통하는 통기관을 갖도록 하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 의하여 설명한다.
도 1 및 도 2 에 있어서, 본 발명의 판넬 A는 패드기판(5) 위에 카본패드(1)가 장착된 구조로 되어 있다. 패드기판(5)은 알루미 합금의 벌집모양의 하니 콤(honeycomb) 판넬 구조로 되어 있어서 하니콤부(50)와 상판(51), 하판(52) 및 측판(53)으로 구성되어 있다. 패드기판(5)의 상판(51) 위에는 접착제에 의하여 카본패드(1)가 장착되어 있다. 패드기판(5)의 주위에는 측판(53)이 설치되어 있으며, 측판(53) 위에는 고정판(19)이 고정되어 카본패드(1)를 고정하도록 된 구조이다.
이상과 같이 패드기판(5)의 상부에는 카본패드(1)를 장착시킬 수 있는 이중구조로 되어있으며, 카본의 밀도가 알루미 합금의 약 2/3 이하이기 때문에 전체를 금속의 하니콤 판넬 구조로 된 종래의 것보다 무게를 경량화시킬 수 있을 뿐 아니라 패드기판(5)을 사용하였기 때문에 카본패드(1)의 강도 향상도 도모할 수 있다.
카본패드(1)는 통기성을 갖는 다공질의 카본재질로 이루어지며, 이 실시형태에서는 복수의 패드 조각편(10)을 패드기판(5) 위에 나란히 병열로 세워 설치한다. 패드의 조각편(10) 상호 간은 접착제에 의해 접속되고, 또 접착제에 의해 각 패드의 경계가 실링(sealing)된다.
카본패드(1)의 이면측, 즉 각 패드의 조각편(10)의 이면측 [상판(51)과 밀착되는 측]에는 도 3 에 도시한 바와 같이 통기홈(11)이 있다. 이 실시형태에서는 세로방향으로는 거의 평행으로 배열된 통기홈(11)이 2단으로 형성되어 있으나, 필요에 따라 여러 종류의 구성이 가능하다.
이 통기홈(11)에 공기를 공급 또는 흡인시킴으로써 다공질의 카본패드(1)의 표면 위로부터 공기를 송출 또는 흡인하여 대상물을 흡인 또는 부상시키도록 구성되어 있다.
도 2 에 도시된 것과 같이 패드기판(5)에는 코머(55)가 설치되어 있고, 이 코머(55) 내에 통기공(3)이 있다. 통기공(3)은 통기홈(11)에 개구되어 있어 통기홈(11)에 흡인 또는 송풍을 하도록 되어 있다.
통기공(3)이 형성된 코머(55)는 각 패드 조각편(10)에 각각 설치되어 있다.
이와 같은 실시예에서, 통기공(3)은, 도 4에 도시된 것과 같이 판넬 A의 하측에 3개의 계통으로 나누어져 배설된 연통관(4), (4'), (4")에 접속되어, 연통관 (4), (4'), (4")을 각기 별개의 흡인, 배기를 할 수 있도록 구성되어 있다.
이 연통관(4)의 3개의 계통에 의해, 카본패드(1)는 경계선(15)과 경계선(16)에 의해 3종류의 에리어를 사용하여 분할이 가능하게 되어 있다. 이 에리어를 사용하여 분할함으로서 싸이즈가 서로 다른 대상물을 취급할 수 있게 된다.
즉, 아주 작은 에리어는 연통관(4) 만을 가동시켜, 경계선(15)의 내측만을 사용한다. 다음 크기의 에리어는 연통관(4)과 연통관(4')을 가동시키고, 경계선(16)의 내측만을 사용한다. 또한, 연통관(4)과 연통관(4') 및 연통관(4") 모든 것을 가동시킴으로서 카본패드(1)의 전체 면을 사용할 수 있게 된다. 이상과 같은 사용방법에 의해서 대상물의 싸이즈에 따라 적절한 면적의 에리어를 사용할 수 있게 되고, 효율적인 사용이 가능하게 된다.
이상과 같은 구성의 실시형태에 있어서, 카본패드(1)와 알루미 합금의 하니콤 구조를 갖는 패드기판(5)의 이중 구조에 의해서 종래의 금속 만에 의한 판넬 보다 더욱 경량화가 이루어질 수 있으며, 대형의 판넬일수록 더욱 유리한 결과를 얻게 되는 것이다,
또한, 카본패드(1)는 흑색이기 때문에 노광검사 장치용으로 적당하고, 더욱 이 도전성이기 때문에 전기 접점으로의 기능을 갖게 된다. 또, 필름 등에 발생하는 정전기를 방전시킬 수 있으므로 대전방지 효과 있다.
특히, 통기공(3)을 이용하여 통기홈(11)을 감압시키거나 또는 가압시키므로 진공펌프나 콤프레셔의 사용을 소용량으로 끝낼 수 있고, 동시에 리스폰스도 신속히 할 수 있다. 또, 카본패드(1)를 여러 개의 패드 조각 편(10)으로 구성하고, 통기공(3)을 매 블럭마다 분리하여, 블럭마다 급기 또는 배기를 할 수 있게 되므로 제품의 싸이즈에 알맞는 사용이 가능하게 된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 흡착 부상 판넬에 따르면, 경량이고 또 강도를 확보할 수 있는 효과가 있다. 또한, 통기관에 의해서 카본패드의 이면에 형성된 통기홈에 직접 통기를 하게 되므로 통기용량을 작게 할 수 있으며, 대용량의 진공펌프나 콤프레셔 등을 필요로 하지 않게 된다.
특히, 다공질 카본제의 패드 전체에서 통기가 가능하므로 균일한 흡착 또는 부상효과를 동시에 얻을 수 있게 된다.

Claims (4)

  1. 대상물에 대하여 공기를 송출 또는 흡인하거나 또는 송출 및 흡인함에 의해 대상물을 부상 또는 흡착하는 흡착 부상 판넬에 있어서,
    강도 유지용 기판과,
    이 기판 위에 장착된 다공질 카본제의 단일의 카본패드와,
    이 카본패드의 이면에 형성된 통기홈과,
    이 통기홈에 연통된 연통관을 구비하고,
    상기 카본패드를 흡착 부상의 대상인 워크의 크기에 대응하여 에리어에 분할하고,
    상기 분할된 매 에리어에 상기 연통관을 독립적으로 배설함을 특징으로 하는 흡착 부상 판넬.
  2. 청구항 1 에 있어서,
    상기 기판이 벌집모양의 하니콤(honeycomb) 구조의 기판임을 특징으로 하는 흡착 부상 판넬.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 카본패드가 복수의 패드 조각 편을 접속함에 의해 형성됨을 특징으로 하는 흡착 부상 판넬.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 복수의 패드 조각 편을 접착제에 의해 접속하여, 각 패드의 경계가 실링(sealing)되어 지는 것을 특징으로 하는 흡착 부상 판넬.
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