JPH10139160A - 板状物搬送装置及び非接触搬送ライン - Google Patents
板状物搬送装置及び非接触搬送ラインInfo
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- JPH10139160A JPH10139160A JP30729496A JP30729496A JPH10139160A JP H10139160 A JPH10139160 A JP H10139160A JP 30729496 A JP30729496 A JP 30729496A JP 30729496 A JP30729496 A JP 30729496A JP H10139160 A JPH10139160 A JP H10139160A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハ等の板状物の浮上搬送に好適な非接触
搬送ラインを得る。 【解決手段】 複数のセル４等が装着されている板状物
搬送装置の複数を連設して非接触搬送ラインが形成され
ている。そして、セル４は、複数の気体噴出孔を穿設し
たノズル板１３と、気体噴出孔から気体をＸ軸或いはＹ
軸方向においてその一方向へ噴出せしめたり或いは二方
向へ噴出せしめたりし得るように各気体噴出孔に対応し
てノズル板１３の上面側に装着された弁体１４とを備
え、かつ、セルフレーム３に形成されている気体供給室
６の上方に位置されて装着されている。その為、気体供
給管路２を経て供給される加圧気体を、弁体による気体
噴出孔の開閉制御により所定方向へ噴出せしめて板状物
２５を正確に浮上搬送することができる。
搬送ラインを得る。 【解決手段】 複数のセル４等が装着されている板状物
搬送装置の複数を連設して非接触搬送ラインが形成され
ている。そして、セル４は、複数の気体噴出孔を穿設し
たノズル板１３と、気体噴出孔から気体をＸ軸或いはＹ
軸方向においてその一方向へ噴出せしめたり或いは二方
向へ噴出せしめたりし得るように各気体噴出孔に対応し
てノズル板１３の上面側に装着された弁体１４とを備
え、かつ、セルフレーム３に形成されている気体供給室
６の上方に位置されて装着されている。その為、気体供
給管路２を経て供給される加圧気体を、弁体による気体
噴出孔の開閉制御により所定方向へ噴出せしめて板状物
２５を正確に浮上搬送することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、板状物搬送装置及
び非接触搬送ラインに関するものである。
び非接触搬送ラインに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、気体の噴出によりウエハ等の板状
物を浮上させて非接触状態に保ちながら所定方向へ搬送
する搬送装置は公知である。
物を浮上させて非接触状態に保ちながら所定方向へ搬送
する搬送装置は公知である。
【０００３】例えば、特開平７−２２８３４２号公報に
おいては、複数の気体噴出孔を穿設したノズル板の各気
体噴出孔に連結されている気体供給管路夫々に弁を装着
し、各弁の開閉及び気体噴出量の調節により、板状物を
浮上させて非接触状態に保ちながら所定方向へ搬送する
装置が開示されている。
おいては、複数の気体噴出孔を穿設したノズル板の各気
体噴出孔に連結されている気体供給管路夫々に弁を装着
し、各弁の開閉及び気体噴出量の調節により、板状物を
浮上させて非接触状態に保ちながら所定方向へ搬送する
装置が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この公知の搬
送装置は、気体噴出孔の穿設密度や穿設方向によって気
体の噴出状態が決定されてしまうものであるから、装置
構成上、特に寸法的な制約があり例えば、微小な板状物
を搬送する場合においてそれが顕著であった。
送装置は、気体噴出孔の穿設密度や穿設方向によって気
体の噴出状態が決定されてしまうものであるから、装置
構成上、特に寸法的な制約があり例えば、微小な板状物
を搬送する場合においてそれが顕著であった。
【０００５】すなわち、かかる気体噴出孔は、一般に
は、機械加工により穿設されるが、それでは、搬送力を
出す為の傾斜角度がつけ難く、従って、必要以上の気体
を供給しなければならないと共に、穿設ピッチ等も制限
されて微小な板状物の搬送に好適なノズル板が得られ
ず、かつ、コストも高くなるといった諸々の欠点を有し
ていた。
は、機械加工により穿設されるが、それでは、搬送力を
出す為の傾斜角度がつけ難く、従って、必要以上の気体
を供給しなければならないと共に、穿設ピッチ等も制限
されて微小な板状物の搬送に好適なノズル板が得られ
ず、かつ、コストも高くなるといった諸々の欠点を有し
ていた。
【０００６】本発明は、このような欠点に鑑みて発明さ
れたものであって、複数の気体噴出孔を穿設したノズル
板と、気体噴出孔から同一軸方向の一方向へ噴出せしめ
たり或いは二方向へ噴出せしめたりし得るように各気体
噴出孔に対応してノズル板の上面側に装着された弁体と
を備えたセルを気体供給室の上方に配した搬送装置を用
い、これを所定個数連設して所定の搬送ラインを形成す
ればよいことを見い出し、本発明を完成したものであ
る。
れたものであって、複数の気体噴出孔を穿設したノズル
板と、気体噴出孔から同一軸方向の一方向へ噴出せしめ
たり或いは二方向へ噴出せしめたりし得るように各気体
噴出孔に対応してノズル板の上面側に装着された弁体と
を備えたセルを気体供給室の上方に配した搬送装置を用
い、これを所定個数連設して所定の搬送ラインを形成す
ればよいことを見い出し、本発明を完成したものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明に係る
板状物搬送装置の一つは、請求項１に記載するように、
気体の噴出により板状物を浮上させて非接触状態に保ち
ながら所定方向へ搬送する板状物搬送装置であって、複
数の気体供給室を形成したセルフレームと、前記気体供
給室の夫々の上方に配されるように前記セルフレームに
装着された複数のセルと、前記板状物の有無を検出する
検出手段とを備えていると共に、前記セルが、複数の気
体噴出孔を穿設したノズル板と、気体供給室からの気体
を前記気体噴出孔から同一軸方向の一方向へ噴出せしめ
たり或いは二方向へ噴出せしめたりし得るように各気体
噴出孔に対応して前記ノズル板の上面側に装着された弁
体とを備えていることを特徴とするものである。
板状物搬送装置の一つは、請求項１に記載するように、
気体の噴出により板状物を浮上させて非接触状態に保ち
ながら所定方向へ搬送する板状物搬送装置であって、複
数の気体供給室を形成したセルフレームと、前記気体供
給室の夫々の上方に配されるように前記セルフレームに
装着された複数のセルと、前記板状物の有無を検出する
検出手段とを備えていると共に、前記セルが、複数の気
体噴出孔を穿設したノズル板と、気体供給室からの気体
を前記気体噴出孔から同一軸方向の一方向へ噴出せしめ
たり或いは二方向へ噴出せしめたりし得るように各気体
噴出孔に対応して前記ノズル板の上面側に装着された弁
体とを備えていることを特徴とするものである。
【０００８】また、本発明に係る板状物搬送装置の他の
一つは、請求項２に記載するように、請求項１に記載の
板状物搬送装置において、検出手段が、セルフレームに
装着されていることを特徴とするものである。
一つは、請求項２に記載するように、請求項１に記載の
板状物搬送装置において、検出手段が、セルフレームに
装着されていることを特徴とするものである。
【０００９】また、本発明に係る板状物搬送装置の他の
一つは、請求項３に記載するように、請求項１又は２に
記載の板状物搬送装置において、セルフレームが、その
上端に、弁体より上方へ突出せしめるように非浮上状態
の板状物を支持する複数のワーク受けを形成しているこ
とを特徴とするものである。
一つは、請求項３に記載するように、請求項１又は２に
記載の板状物搬送装置において、セルフレームが、その
上端に、弁体より上方へ突出せしめるように非浮上状態
の板状物を支持する複数のワーク受けを形成しているこ
とを特徴とするものである。
【００１０】また、本発明に係る板状物搬送装置の他の
一つは、請求項４に記載するように、請求項３に記載の
板状物搬送装置において、セルフレームが、少なくと
も、ワーク受けに支持されている非浮上状態の板状物を
吸引保持する為の吸気孔のみを穿設していることを特徴
とするものである。
一つは、請求項４に記載するように、請求項３に記載の
板状物搬送装置において、セルフレームが、少なくと
も、ワーク受けに支持されている非浮上状態の板状物を
吸引保持する為の吸気孔のみを穿設していることを特徴
とするものである。
【００１１】また、本発明に係る板状物搬送装置の他の
一つは、請求項５に記載するように、請求項４に記載の
板状物搬送装置において、検出手段が、吸気孔から吸気
した際の負圧の大小により板状物が存在するか否かを検
出し得るように設けられていることを特徴とするもので
ある。
一つは、請求項５に記載するように、請求項４に記載の
板状物搬送装置において、検出手段が、吸気孔から吸気
した際の負圧の大小により板状物が存在するか否かを検
出し得るように設けられていることを特徴とするもので
ある。
【００１２】また、本発明に係る板状物搬送装置の他の
一つは、請求項６に記載するように、請求項４に記載の
板状物搬送装置において、検出手段が、吸気孔とは別に
セルフレームに穿設されている検出孔から噴出される気
体の背圧の大小により板状物が存在するか否かを検出し
得るように設けられていることを特徴とするものであ
る。 また、本発明に係る板状物搬送装置の他の一つ
は、請求項７に記載するように、請求項５又は６に記載
の板状物搬送装置において、弁体群が、Ｘ軸方向に気体
を噴出し得るように装着されたものとＹ軸方向に気体を
噴出し得るように装着されたものとで構成されているこ
とを特徴とするものである。
一つは、請求項６に記載するように、請求項４に記載の
板状物搬送装置において、検出手段が、吸気孔とは別に
セルフレームに穿設されている検出孔から噴出される気
体の背圧の大小により板状物が存在するか否かを検出し
得るように設けられていることを特徴とするものであ
る。 また、本発明に係る板状物搬送装置の他の一つ
は、請求項７に記載するように、請求項５又は６に記載
の板状物搬送装置において、弁体群が、Ｘ軸方向に気体
を噴出し得るように装着されたものとＹ軸方向に気体を
噴出し得るように装着されたものとで構成されているこ
とを特徴とするものである。
【００１３】また、本発明に係る非接触搬送ラインは、
請求項８に記載するように、請求項７に記載の板状物搬
送装置を複数個連設せしめると共に、それらの板状物搬
送装置の少なくとも一つを移動し得るように装着したこ
とを特徴とするものである。
請求項８に記載するように、請求項７に記載の板状物搬
送装置を複数個連設せしめると共に、それらの板状物搬
送装置の少なくとも一つを移動し得るように装着したこ
とを特徴とするものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】平面図である図１において、この
搬送ラインは、複数の板状物搬送装置１を連設せしめて
十字状に形成されている。なお、板状物搬送装置１群中
の１ａは、その連設方向（Ｙ軸方向）へ移動し得るよう
に装着されていると共に、板状物搬送装置１群の夫々に
気体供給管路２が装着されている。
搬送ラインは、複数の板状物搬送装置１を連設せしめて
十字状に形成されている。なお、板状物搬送装置１群中
の１ａは、その連設方向（Ｙ軸方向）へ移動し得るよう
に装着されていると共に、板状物搬送装置１群の夫々に
気体供給管路２が装着されている。
【００１５】また、かかる板状物搬送装置１は、図２に
おいて、その平面視姿が拡大されて示されていると共
に、図３において図２のＡ−Ａ断面姿が、更に、図４に
おいて図２のＢ−Ｂ断面姿が夫々示されているように、
セルフレーム３に複数のセル４及び検出手段５等を装着
して構成されている。
おいて、その平面視姿が拡大されて示されていると共
に、図３において図２のＡ−Ａ断面姿が、更に、図４に
おいて図２のＢ−Ｂ断面姿が夫々示されているように、
セルフレーム３に複数のセル４及び検出手段５等を装着
して構成されている。
【００１６】なお、セルフレーム３は、隣接せしめられ
た複数の気体供給室６を形成しているが、この気体供給
室６は円形に設けられ、かつ、それらの気体供給室６の
夫々の上方にセル４が装着されている。
た複数の気体供給室６を形成しているが、この気体供給
室６は円形に設けられ、かつ、それらの気体供給室６の
夫々の上方にセル４が装着されている。
【００１７】加えて、セル４及び気体供給室６は、Ｘ，
Ｙ軸方向に複数列に配設されていると共に、Ｙ軸方向の
気体供給室６同士が通路７で連通され、そして、通路７
が連通されている気体供給ヘッダー８（図１参照）に気
体供給管路２が開口されている。
Ｙ軸方向に複数列に配設されていると共に、Ｙ軸方向の
気体供給室６同士が通路７で連通され、そして、通路７
が連通されている気体供給ヘッダー８（図１参照）に気
体供給管路２が開口されている。
【００１８】その為、気体供給管路２から供給される加
圧気体、例えば、一般には、空気が、また、必要に応じ
て窒素ガス等の不活性ガスが、通路７を経て気体供給室
６に流入し、ここからセル４の方へと流れる。その際、
セルフレーム３の室形成体９に装着されているノズル板
受け１０に穿設の複数の供給孔１１（図５参照）を経て
流れる。
圧気体、例えば、一般には、空気が、また、必要に応じ
て窒素ガス等の不活性ガスが、通路７を経て気体供給室
６に流入し、ここからセル４の方へと流れる。その際、
セルフレーム３の室形成体９に装着されているノズル板
受け１０に穿設の複数の供給孔１１（図５参照）を経て
流れる。
【００１９】なお、セルフレーム３は、ベースプレート
１２に室形成体９を固着して構成されていると共に図示
されていない移動装置（例えば、Ｙテーブル）上に所定
高さに位置されて設けられている。
１２に室形成体９を固着して構成されていると共に図示
されていない移動装置（例えば、Ｙテーブル）上に所定
高さに位置されて設けられている。
【００２０】一方、セル４は、セルフレーム３に対して
着脱し得るように装着されているが、固着してもよく、
かつ、かかるノズル板受け１０と、このノズル板受け１
０で支持されて補強されているシリコン製のノズル板１
３と、このノズル板１３の上面側に装着された弁体１４
等を備えている。
着脱し得るように装着されているが、固着してもよく、
かつ、かかるノズル板受け１０と、このノズル板受け１
０で支持されて補強されているシリコン製のノズル板１
３と、このノズル板１３の上面側に装着された弁体１４
等を備えている。
【００２１】そして、ノズル板１３には、所定ピッチに
複数の気体噴出孔１５が穿設されていると共に各気体噴
出孔１５夫々に弁体１４が装着されている。また、弁体
１４は、柔らかい有機物材であるポリイミド製のもので
あって、電極１６を内蔵しており、静電引力による変形
を介して気体噴出孔１５の開閉を行うことができるよう
に装着されている。
複数の気体噴出孔１５が穿設されていると共に各気体噴
出孔１５夫々に弁体１４が装着されている。また、弁体
１４は、柔らかい有機物材であるポリイミド製のもので
あって、電極１６を内蔵しており、静電引力による変形
を介して気体噴出孔１５の開閉を行うことができるよう
に装着されている。
【００２２】図６，７において、その為の回路１７が示
されているが、図中、１８はスイッチ、１９は電源を夫
々示している。図７においては、左側のスイッチ１８が
入れられて、静電引力により弁体１４がノズル板１３に
対して接触されて気体噴出孔１５を閉塞している姿が示
されている。
されているが、図中、１８はスイッチ、１９は電源を夫
々示している。図７においては、左側のスイッチ１８が
入れられて、静電引力により弁体１４がノズル板１３に
対して接触されて気体噴出孔１５を閉塞している姿が示
されている。
【００２３】なお、気体噴出孔１５の開閉制御は、気体
噴出孔１５を完全に閉塞せしめるように行なえることは
勿論のこと、同一軸方向（Ｘ軸方向又はＹ軸方向）の一
方向へ噴出せしめたり或いは二方向へ噴出せしめたりす
るように行うこともできる。
噴出孔１５を完全に閉塞せしめるように行なえることは
勿論のこと、同一軸方向（Ｘ軸方向又はＹ軸方向）の一
方向へ噴出せしめたり或いは二方向へ噴出せしめたりす
るように行うこともできる。
【００２４】すなわち、図８においては、Ｘ軸方向の左
右二方向へ噴出せしめている姿が示されていると共に図
９においては、Ｙ軸方向の前後二方向へ噴出せしめてい
る姿が夫々示されているが、図７において示されている
ように、Ｘ軸方向の左右二方向のうちのどちらか一方向
（右方向又は左方向）だけから噴出せしめることができ
ると共に、Ｙ軸方向の前後二方向のうちのどちらか一方
向（前方向又は後方向）だけから噴出せしめることもで
きる。
右二方向へ噴出せしめている姿が示されていると共に図
９においては、Ｙ軸方向の前後二方向へ噴出せしめてい
る姿が夫々示されているが、図７において示されている
ように、Ｘ軸方向の左右二方向のうちのどちらか一方向
（右方向又は左方向）だけから噴出せしめることができ
ると共に、Ｙ軸方向の前後二方向のうちのどちらか一方
向（前方向又は後方向）だけから噴出せしめることもで
きる。
【００２５】また、各セル４において、弁体１４群は、
図２において示されているように、Ｘ軸方向へ噴出し得
る一対の弁体１４ａとＹ軸方向へ噴出し得る一対の弁体
１４ｂとを、正方形を描く各線上であってその中間地点
に位置せしめ、これを一単位として複数単位、配設され
ている。
図２において示されているように、Ｘ軸方向へ噴出し得
る一対の弁体１４ａとＹ軸方向へ噴出し得る一対の弁体
１４ｂとを、正方形を描く各線上であってその中間地点
に位置せしめ、これを一単位として複数単位、配設され
ている。
【００２６】その為、図矢印Ｃ1 〜Ｃ4 で示されている
ように時計回りに気体を噴出することもできる。また、
隣接する各セル４の気体噴出方向を制御することによ
り、板状物２５を回転させることも可能である。いずれ
の場合においても、各気体噴出孔１５に対して、その開
口上端に接近せしめ手弁体１４を装着しているので、気
体の流路内圧力損失を小さくすることができる。
ように時計回りに気体を噴出することもできる。また、
隣接する各セル４の気体噴出方向を制御することによ
り、板状物２５を回転させることも可能である。いずれ
の場合においても、各気体噴出孔１５に対して、その開
口上端に接近せしめ手弁体１４を装着しているので、気
体の流路内圧力損失を小さくすることができる。
【００２７】なお、図５〜７において示されているよう
に、気体噴出孔１５は、ノズル板１３の下面側から上面
側に向って拡開するテーパー状に設けられていると共に
ノズル板受け１０の供給孔１１は、ノズル板受け１０の
上面側から下面側に向って拡開するテーパー状に設けら
れているが、これらの孔１１，１５は、ノズル板受け１
０の下面又はノズル板１３の上面に対して直角方向に穿
設されている為、その穿設が容易である。
に、気体噴出孔１５は、ノズル板１３の下面側から上面
側に向って拡開するテーパー状に設けられていると共に
ノズル板受け１０の供給孔１１は、ノズル板受け１０の
上面側から下面側に向って拡開するテーパー状に設けら
れているが、これらの孔１１，１５は、ノズル板受け１
０の下面又はノズル板１３の上面に対して直角方向に穿
設されている為、その穿設が容易である。
【００２８】更に、セルフレーム３に、複数のワーク受
け２１が突設されていると共に複数の吸気孔２２が穿設
されているが、ワーク受け２１は、室形成体９の上端面
２３に固着されていると共に吸気孔２２は、室形成体９
及びベースプレート１２を貫通して設けられている。
け２１が突設されていると共に複数の吸気孔２２が穿設
されているが、ワーク受け２１は、室形成体９の上端面
２３に固着されていると共に吸気孔２２は、室形成体９
及びベースプレート１２を貫通して設けられている。
【００２９】なお、ワーク受け２１の上端２４は、気体
噴出孔１５を開口せしめている状態の弁体１４、すなわ
ち、図６において示されているように、最も上方へ移動
された弁体１４よりも、少し上方に位置され、かつ、ノ
ズル板１３の上端面と室形成体９の上端面２３とが同一
レベルに設けられている。
噴出孔１５を開口せしめている状態の弁体１４、すなわ
ち、図６において示されているように、最も上方へ移動
された弁体１４よりも、少し上方に位置され、かつ、ノ
ズル板１３の上端面と室形成体９の上端面２３とが同一
レベルに設けられている。
【００３０】その為、ワーク受け２１の上端２４で板状
物２５を支持したときに、板状物２５が弁体１４に接触
するのが防止される。加えて、吸気孔２２の開口下端２
２ａに、図示されていない真空ポンプに連結されている
管路の一端が連結されていると共に、かかる管路に検出
手段５が装着されている。
物２５を支持したときに、板状物２５が弁体１４に接触
するのが防止される。加えて、吸気孔２２の開口下端２
２ａに、図示されていない真空ポンプに連結されている
管路の一端が連結されていると共に、かかる管路に検出
手段５が装着されている。
【００３１】従って、真空ポンプを運転して吸気孔２２
から吸気することにより、ワーク受け２１で支持されて
いる非浮上状態の支持板状物２５を吸引保持することが
できるが、その際、検出手段５により、板状物２５が存
在するか否かを検出することもできる。
から吸気することにより、ワーク受け２１で支持されて
いる非浮上状態の支持板状物２５を吸引保持することが
できるが、その際、検出手段５により、板状物２５が存
在するか否かを検出することもできる。
【００３２】すなわち、板状物２５がワーク受け２１で
支持されていない場合と、それが支持されている場合と
においては、吸気孔２２から吸気した際の負圧が異なる
ので、それに基いて板状物２５が存在するか否かを検出
することができ、よって、この検出信号に基いて所定位
置の弁体１４の開閉制御を行い、板状物２５を浮上せし
めて非接触状態に保ちながら所定位置へ搬送することが
できる。
支持されていない場合と、それが支持されている場合と
においては、吸気孔２２から吸気した際の負圧が異なる
ので、それに基いて板状物２５が存在するか否かを検出
することができ、よって、この検出信号に基いて所定位
置の弁体１４の開閉制御を行い、板状物２５を浮上せし
めて非接触状態に保ちながら所定位置へ搬送することが
できる。
【００３３】このように、共通の吸気孔２２を利用し
て、板状物２５の吸引保持と板状物２５の有無とを検出
し得るように設けている。しかし、板状物の検出手段
は、これ以外の形態に設けてもよい。
て、板状物２５の吸引保持と板状物２５の有無とを検出
し得るように設けている。しかし、板状物の検出手段
は、これ以外の形態に設けてもよい。
【００３４】例えば、吸気孔２２と、この吸気孔２２と
は別にセルフレーム３に複数の検出孔（図示されていな
い）を穿設し、この検出孔から噴出される気体の背圧の
大小により、板状物２５が存在するか否かを検出し得る
ように設けてもよい。
は別にセルフレーム３に複数の検出孔（図示されていな
い）を穿設し、この検出孔から噴出される気体の背圧の
大小により、板状物２５が存在するか否かを検出し得る
ように設けてもよい。
【００３５】この検出孔を利用しての検出は、浮遊状態
の板状物２５の存在及び不存在を検出する為に行う。そ
の際、検出孔から噴出される気体は、一般には、空気が
用いられるが、必要に応じて、窒素ガス等の不活性ガス
を用いることができ、かつ、それらは所定に加圧されて
供給される。
の板状物２５の存在及び不存在を検出する為に行う。そ
の際、検出孔から噴出される気体は、一般には、空気が
用いられるが、必要に応じて、窒素ガス等の不活性ガス
を用いることができ、かつ、それらは所定に加圧されて
供給される。
【００３６】また、搬送する板状物は、非常に薄い物や
微小で、しかも、汚染や損傷が生じないように搬送する
必要のある物、例えば、シリコンウエハ、ガラス基板、
生体試料片等が好適である。以上述べたように、板状物
２５の浮上及び多方向への搬送に加えて、停止、吸着も
行うことができ、更に、板状物の有無の検出を非接触に
気流のみで行うことができるので、クリーン度の保持が
容易であって、板状物を正確に搬送することができる。
微小で、しかも、汚染や損傷が生じないように搬送する
必要のある物、例えば、シリコンウエハ、ガラス基板、
生体試料片等が好適である。以上述べたように、板状物
２５の浮上及び多方向への搬送に加えて、停止、吸着も
行うことができ、更に、板状物の有無の検出を非接触に
気流のみで行うことができるので、クリーン度の保持が
容易であって、板状物を正確に搬送することができる。
【００３７】なお、図１において示されているように、
セルフレーム３の端部にワーク落下防止板２８を装着し
ているので、何らかの原因により、弁体の故障が発生し
た場合において板状物が装置外へ転落するのを防止する
ことができる。
セルフレーム３の端部にワーク落下防止板２８を装着し
ているので、何らかの原因により、弁体の故障が発生し
た場合において板状物が装置外へ転落するのを防止する
ことができる。
【００３８】また、板状物搬送装置１群中の１ａを、そ
の連設方向（Ｙ軸方向）へ移動し得るように装着してい
るのは、ここに搬送されて来た板状物を、吸着状態で静
止させたまま他の加工又は処理箇所へ移動させる為であ
る。
の連設方向（Ｙ軸方向）へ移動し得るように装着してい
るのは、ここに搬送されて来た板状物を、吸着状態で静
止させたまま他の加工又は処理箇所へ移動させる為であ
る。
【００３９】この移動装置は、Ｙテーブルに限定され
ず、必要に応じて、Ｘテーブル或いはＸＹテーブル等で
構成してもよく、更に、ねじ軸送り機構やシリンダー等
を介してセルフレーム３を移動せしめる形態に設けても
よく、かつ、必要ならば、板状物搬送装置１を上下動し
得るように設けてもよい。
ず、必要に応じて、Ｘテーブル或いはＸＹテーブル等で
構成してもよく、更に、ねじ軸送り機構やシリンダー等
を介してセルフレーム３を移動せしめる形態に設けても
よく、かつ、必要ならば、板状物搬送装置１を上下動し
得るように設けてもよい。
【００４０】
【発明の効果】上述の如く、請求項１に記載の発明によ
ると、板状物搬送装置に関し、傾斜せしめて気体噴出孔
を穿設したノズル板を用いないで、板状物を所定方向へ
浮上搬送することができ、しかも、板状物の停止、吸着
も行うことができると共に板状物の有無検出を行うこと
ができ、従って、板状物を正確に、かつ、多方向へ搬送
することができる。
ると、板状物搬送装置に関し、傾斜せしめて気体噴出孔
を穿設したノズル板を用いないで、板状物を所定方向へ
浮上搬送することができ、しかも、板状物の停止、吸着
も行うことができると共に板状物の有無検出を行うこと
ができ、従って、板状物を正確に、かつ、多方向へ搬送
することができる。
【００４１】また、請求項２に記載の発明によると、請
求項１に記載の発明による効果に加えて、装置の小型化
を図ることができる。
求項１に記載の発明による効果に加えて、装置の小型化
を図ることができる。
【００４２】また、請求項３に記載の発明によると、請
求項１又は２に記載の発明による効果に加えて、弁体に
対する板状物の接触を防止することができる。
求項１又は２に記載の発明による効果に加えて、弁体に
対する板状物の接触を防止することができる。
【００４３】また、請求項４に記載の発明によると、請
求項３に記載の発明による効果に加えて、搬送停止中の
非浮上状態の板状物が移動するのを確実に防止すること
ができる。
求項３に記載の発明による効果に加えて、搬送停止中の
非浮上状態の板状物が移動するのを確実に防止すること
ができる。
【００４４】また、請求項５，６に記載の発明による
と、請求項４に記載の発明による効果に加えて、板状物
の有無を確実に検出することができる。
と、請求項４に記載の発明による効果に加えて、板状物
の有無を確実に検出することができる。
【００４５】また、請求項７に記載の発明によると、請
求項５又は６に記載の発明による効果に加えて、板状物
をより一層、多方向へ搬送することができる。
求項５又は６に記載の発明による効果に加えて、板状物
をより一層、多方向へ搬送することができる。
【００４６】また、請求項８に記載の発明によると、非
接触搬送ラインに関し、必要に応じて各種長さの搬送ラ
インが得られると共に板状物を吸着状態で静止させたま
ま他の加工又は処理箇所へ移動させることができる。
接触搬送ラインに関し、必要に応じて各種長さの搬送ラ
インが得られると共に板状物を吸着状態で静止させたま
ま他の加工又は処理箇所へ移動させることができる。
【図１】複数の板状物搬送装置で形成した非接触搬送ラ
インの平面図である。
インの平面図である。
【図２】板状物搬送装置の平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】セルの縦断面図である。
【図６】弁体の開閉制御の一形態を示す図である。
【図７】弁体の開閉制御の他の形態を示す図である。
【図８】弁体の配設方向の一形態を示す図である。
【図９】弁体の配設方向の他の形態を示す図である。
１ 板状物搬送装置 ２ 気体供給管路 ３ セルフレーム ４ セル ５ 検出手段 ６ 気体供給室 ７ 通路 ９ 室形成体 １０ ノズル板受け １１ 供給孔 １３ ノズル板 １４，１４ａ，１４ｂ 弁体 １５ 気体噴出孔 ２２ 吸気孔 ２５ 板状物
フロントページの続き (72)発明者 遠藤 哲彦 大阪府大阪市中之島三丁目４番18号（三井 ビル２号館）東レエンジニアリング株式会 社内 (72)発明者 赤塚 武昭 大阪府大阪市中之島三丁目４番18号（三井 ビル２号館）東レエンジニアリング株式会 社内 (72)発明者 小西 聡 滋賀県草津市野路町1916 立命館大学理工 学部内 (72)発明者 藤田 博之 東京都港区六本木７丁目22番１号 東京大 学生産技術研究所内
Claims (8)
- 【請求項１】 気体の噴出により板状物を浮上させて非
接触状態に保ちながら所定方向へ搬送する板状物搬送装
置であって、複数の気体供給室を形成したセルフレーム
と、前記気体供給室の夫々の上方に配されるように前記
セルフレームに装着された複数のセルと、前記板状物の
有無を検出する検出手段とを備えていると共に、前記セ
ルが、複数の気体噴出孔を穿設したノズル板と、気体供
給室からの気体を前記気体噴出孔から同一軸方向の一方
向へ噴出せしめたり或いは二方向へ噴出せしめたりし得
るように各気体噴出孔に対応して前記ノズル板の上面側
に装着された弁体とを備えていることを特徴とする板状
物搬送装置。 - 【請求項２】 検出手段が、セルフレームに装着されて
いることを特徴とする請求項１に記載の板状物搬送装
置。 - 【請求項３】 セルフレームが、その上端に、弁体より
上方へ突出せしめるように非浮上状態の板状物を支持す
る複数のワーク受けを形成していることを特徴とする請
求項１又は２に記載の板状物搬送装置。 - 【請求項４】 セルフレームが、少なくとも、ワーク受
けに支持されている非浮上状態の板状物を吸引保持する
為の吸気孔のみを穿設していることを特徴とする請求項
３に記載の板状物搬送装置。 - 【請求項５】 検出手段が、吸気孔から吸気した際の負
圧の大小により板状物が存在するか否かを検出し得るよ
うに設けられていることを特徴とする請求項４に記載の
板状物搬送装置。 - 【請求項６】 検出手段が、吸気孔とは別にセルフレー
ムに穿設されている検出孔から噴出される気体の背圧の
大小により板状物が存在するか否かを検出し得るように
設けられていることを特徴とする請求項４に記載の板状
物搬送装置。 - 【請求項７】 弁体群が、Ｘ軸方向に気体を噴出し得る
ように装着されたものとＹ軸方向に気体を噴出し得るよ
うに装着されたものとで構成されていることを特徴とす
る請求項５又は６に記載の板状物搬送装置。 - 【請求項８】 請求項７に記載の板状物搬送装置を複数
個連設せしめると共に、それらの板状物搬送装置の少な
くとも一つを移動し得るように装着したことを特徴とす
る非接触搬送ライン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30729496A JP3718014B2 (ja) | 1996-11-01 | 1996-11-01 | 板状物搬送装置及び非接触搬送ライン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30729496A JP3718014B2 (ja) | 1996-11-01 | 1996-11-01 | 板状物搬送装置及び非接触搬送ライン |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10139160A true JPH10139160A (ja) | 1998-05-26 |
| JP3718014B2 JP3718014B2 (ja) | 2005-11-16 |
Family
ID=17967411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30729496A Expired - Fee Related JP3718014B2 (ja) | 1996-11-01 | 1996-11-01 | 板状物搬送装置及び非接触搬送ライン |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3718014B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006008350A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Motoyama:Kk | 物体浮上ユニットおよび物体浮上装置 |
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| JP2006266352A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Ckd Corp | 非接触支持装置 |
| JP2007106521A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-04-26 | Nippon Sekkei Kogyo:Kk | 薄板状材料搬送用エアテーブル及び薄板状材料搬送装置 |
| JP2008041989A (ja) * | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Nippon Sekkei Kogyo:Kk | 薄板状材料搬送用エアテーブル及び薄板状材料搬送装置 |
| NL2000203C2 (nl) * | 2006-08-29 | 2008-03-03 | Univ Delft Tech | Product-draag en -transportinrichting. |
| WO2009122595A1 (ja) * | 2008-04-02 | 2009-10-08 | 日本エレクトロセンサリデバイス株式会社 | 板状体の搬送装置及びこれを用いた板状体の検査装置 |
| KR101213991B1 (ko) * | 2005-12-16 | 2012-12-20 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판 이송 장치 및 방법 |
| JP2017022160A (ja) * | 2015-07-07 | 2017-01-26 | 東朋テクノロジー株式会社 | ガラス基板の検査装置 |
-
1996
- 1996-11-01 JP JP30729496A patent/JP3718014B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP4629007B2 (ja) * | 2006-08-08 | 2011-02-09 | 株式会社日本設計工業 | 薄板状材料搬送用エアテーブル及び薄板状材料搬送装置 |
| WO2008026924A1 (en) * | 2006-08-29 | 2008-03-06 | Technische Universiteit Delft | Apparatus for carrying and transporting a product |
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|---|---|
| JP3718014B2 (ja) | 2005-11-16 |
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