WO2009122595A1

WO2009122595A1 - 板状体の搬送装置及びこれを用いた板状体の検査装置

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Publication number: WO2009122595A1
Application number: PCT/JP2008/056962
Authority: WO
Inventors: 難波貞二; 望月均
Original assignee: 日本エレクトロセンサリデバイス株式会社
Priority date: 2008-04-02
Filing date: 2008-04-02
Publication date: 2009-10-08

Abstract

板状体（１）を所定の搬送方向に搬送する搬送装置は、前記搬送方向に延びる搬送路を構成し、かつ、前記搬送路の幅方向に傾斜する上面（２ａ）と、前記上面（２ａ）から流体を噴出する複数の第１の流体噴出口（４）とを有するフロートステージ（２）と、前記フロートステージ（２）の前記上面（２ａ）が傾斜している側に、かつ、前記フロートステージ（２）と平行に配置され、前記搬送路に向けて流体を噴出する複数の第２の流体噴出口（６）を有するサイドガイド（５）と、を備え、前記板状体（１）が前記複数の第１及び第２の流体噴出口(４、６）から噴出される流体から受ける力が前記板状体（１）の自重と釣り合う。

Description

明細書板状体の腿装 ¾¾びこれを用レ、た板状体の置鎌分野

本発明は、太陽電池用ゥエーハ等の板状体を ^状態でする置、さらには、これを用いた板状体の置に関する。背景鎌

太陽鼋删ゥエーハ（以下、「ゥエーハ」という。 ) は、厚さ力 S約 2 0 0 mと非常に薄く、 ^^中で! ¾1することが多かつ近午、ゥエーハのさらなる薄厚ィ匕が進められおり、歩留まり向上のため、ゥエーハを纖さ ^rfに腿できる腿装置が要望されている。

この点に関し、 JP51-7667A、 JP2004-331395Aは、搬送路に形成される多数の孔力らエアを噴出して搬 3¾¾ ^物と腿路の間にエアの層を形成し、このエアの層によって搬^ 物を路から浮上させ、この状態で «¾m ^物をする i¾i装置（以下、「空気浮上装置」という。 ) を開示している。

このような空気浮上^^装置をゥエーハの腿に用レヽれば、ゥエーハを腿路に纖させることなく βすることが可能である。発明の開示

しかしながら、上記空気浮上装置を用いたとしても、物を完全に ■虫状態ですることはできなレ、。

これは、物を単に搬送路から浮上させただけでは、腿時の ¾¾¾ ^物の姿勢、移動方向が安定しないからである。このため、 JP51- 7667Aでは、対象物の ¾にベルトを激虫させて ^物のを安定させ、このベルトを fg»J することで物を所定の腿方向に移動させている。また、 JP2004- 331395A では、搬 ϋ¾ ^物の下面に職ローラの繊面を嫌させて物を移動させるとともに、搬^)の端面をローラの ^^に ¾ ^させて^^物の^^向の移動を規制している。

本発明は、このような鎌を鑑みてなされたもので、腿物を^^ 状態かつ安定した向に腿することのできる腿装置、 ·及び、これを ^^物の搬送に用いた^ ¾置を ¾Wすることを目的とする。

本発明のある纖によれば、板状体を所定の搬送方向に腿する¾¾置であつて、嫌方向に延びる腿路を構成し、力、嫌 ¾¾路の幅方向に傲斜する上面と、編 2±面から流体を噴出する複数の第 1の流 ί«出口とを有するフロートステージと、 tiff己フロートステージの ΙίΠΒ±面カ^斗している側に、つ、 Ml己フロートステージと ¥ffに配置され、嫌纖に向けて流体を噴出する複数の第 2 の流鍾出口を有するサイドガイドと、を備え、嫌 E¾状体が蘭己複数の第 1及び第 2の流出口から噴出される流体から受ける力が ¾1 状体の自重と釣り合う腿装置が搬される。

また、本発明の別の鎌によれば、上装置と、廳己讓装置の腿路途中に配置される撮離置と、を備える板状体の検置が徹される。

本発明によれば、腿纖物、検物である板状体を、フロートステージ、サイドガイドいずれにも激虫させることなく、力、安定した^^、向を維持したまま搬送することができ、板状体の損傷を可能な限り防止することができる。図面の簡単な説明

図 1は、第1の実¾¾¾態に係るゥェ ^»¾置の平面図でぁる。

図 2は、第 1の実態に係るゥハ検^ ¾置の正面図である。

図 3は、第 1の実態に係るゥハ検置の側面図である。

図 4は、ゥハに作用する力を示した図である。

図 5は、用ノズルとゥェ (^立置,を示した図である。

図 6 A 6 Bは、ゥハの回^)作を説明するための図である。

図 7は、第 2の実態に係るゥハ検置の平面図である。発明を実施するための最良の开態

以下、謝図面を参照しながら本発明の態について説明する。

—第 1の¾^態—

図 1〜図 3は太陽鼋翻ゥハ（以下、「ゥハ」という。）置の概瞧成を示している。ゥハ 1は、例えば、十数 c m角の略正方形で、厚さ f¾ 2 0 Ο μ πιである。

；難置は、ゥハ 1のエッジ（4方の辺) に欠け、割れ、縛の欠陥がないかをゥハ 1の¾ ^中に検査する装置である。図示しなレ、ハンドリング樹冓によりゥエーハ 1が図示しないカセットからフロートステージ 2上に搬入されると、ゥエーハ 1はフロートステージ 2上を図 1中右方向に移動し、この間にゥエーハ 1の全エッジがラインスキャンカメラ 3 a〜3 hによって撮像される。ラインスキャンカメラ 3 a〜3 hは C CDィメージセンサ素子を一列に配置した力メラであり、カメラの視野内を横切るゥエーハ 1をに撮像する。なお、図 1〜図 3にはラインスキャンカメラ 3 a〜3 hの照明装置が図示されていないが、ラインスキヤンカメラ 3 a〜3 hそれぞれに対してハロゲンランプ及びライトガイドからなる照明装置力 S配置される。

ラインスキャンカメラ 3 a〜3 hによって撮像された画像は、図示しない画^]; 3¾置に^ ί言され、画^ ®S置は撮像された画像を画^理することによりゥェーハ 1のエッジに欠陥がある力 ^l ffTる。欠陥の有無は画^] 置のディスプレィに表示される撮像画像から目視により判るようにしてもよい。

フロートステージ 2はゥエーハ 1の搬向に延びてレ、る。ゥエーハ 1の ¾^ を構成するフロートステージ上面 2 aには、フロートステージ上面 2 aからエアを上方に噴出するの第 1のエア噴出口 4が設けられている。第 1のエア噴出口 4 から噴出されるエアにより、ゥエーハ 1とフロートステージ上面 2 aの間にはエアの層カ形成され、このエアの層によってゥエーノヽ 1がフロートステージ上面 2 aから浮上する。

フロートステージ上面 2 aは、図 3に示すように、水平面 Hに対して搬送路の幅方向 (腿方向に対して直角な方向）に僅かに惧斜している。フロートステージ上面 2 aの傾斜角 0は、例えば、 0 . 3 6 ° に設定される。なお、この図ではフロ一トステージ 2全体を斜させてフロートステージ上面 2 aをィ斜させているが、フロートステージ上面 2 aのみ ft斜させてもよい。 , フロートステージ 2のフロートステージ上面 2 aが傾斜する側には、フロートステージ 2と ¥ffにサイドガイド 5カ設けられている。サイドガイド 5の腿則の面には第 2のエア噴出口 6を構成するの多孔質セラミックスプレート 7カ、¾¾ 方向に並んで取り付けられており、第 2のエア噴出口 6力、ら路に向けてエアが噴出される。

ゥエーハ 1は、第 1、第 2のエア噴出口 4、 6力ら噴出されるエアからカを受け、これにより、ゥエーハ 1は、フロートステージ 2上に浮上するだけでなく、サィドガイド 5からも離間する。ゥエーハ 1のフロートステージ 2からの浮上量は、例えば、 4 0 /z mであり、サイドガイド 5からの離間量は、例えば、 6 0〜： L 0 0 μ mである。

さらに、ゥエーノヽ 1が第 1、第 2のエア噴出口 4、 6力、ら噴出されるエアから受ける力が、ゥエーハ 1の自重と釣り合うように第 1、第 2のエア噴出口 4、 6から噴出されるエアの流量が調節され、これにより、ゥエーハ 1の搬送路の幅方向位置力 ¾¾¾路の幅方向中央で安定する。

これは、ゥエーハ 1力 S搬送路の幅方向中央からサイドガイド 5に近づく方向にずれると、第 2のエア噴出口 6から噴出されるエアから受ける力力 ¾t大してゥエーノヽ 1力 S腿路の幅方向中央に押し戻され、逆に、ゥエーハ 1力 ^の幅方向中央からサイドガイド 5から遠ざかる方向にずれると、第 2のエア噴出口 6から噴出されるエアから受ける力力減少し、ゥエーハ 1の自重によってゥエーノヽ 1が路の幅方向中央まで戻されるからである。

また、ゥエーハ 1は、レ、ずれかのエッジがサイドガイド 5と亍となるで安定する。これは、いずれかのエッジがサイドガイド 5と亍となる錢からゥエーノヽ 1が回転しょうとすると、サイドガイド 5に近づく立が第 2のエア噴出口 6から嘖出されるエアから受ける力力増大し、ゥエーハ 1の回転を PJjhする逆のモーメントがゥエーノヽ iに作用するからである。

図 4はゥエーハ 1に作用する力を示した図である。なお、図 4は説明用にフロートステージ上面 2 aの斜を誇張して大きく描いてある。

ゥエーハ 1の自重を W、第 1のエア噴出口 4から噴出されるエアから受ける力 (ゥエーハ 1の下面に作用する力の合力）を Fい第 2のエア噴出口 6から噴出されるエアから受ける力（ゥエーハ 1の上面に作用する力の合力）を F ₂とし、 W、 F ₂のゥエーハ 1に対して平行な成分をそれぞれ W_x、 F _{2 x}、直角な成分をそれぞれ W_y、 F _{2 y}とすると、ゥエーハ 1に作用する力の間には、次の、式：

F ₁ =W_y + F _{2 y}

W_x = F _{2 y}

が成立する。第 1、第 2のエア噴出口 4、 6から噴出されるエアの流量は、この関係式が満たされるように調節する。

なお、ゥエーハ 1に作用する力は、フロートステージ上面 2 aの傾斜角 0、第 1、第 2のエア噴出口 4、 6からのエアの噴出方向の影響も受けるので、これらのパラメータを調節することで、上記醒式が満たされるようにすることも可能である。

図 1〜3に戻り、さらに^^置の構成について説明を続けると、置は、大きく分けて、ゥエーハ 1の四方のエッジのうちフロートステージ 2搬入当初にサイドガイド 5に対して亍となるエッジ（以下、「0° エッジ」という。）の撮像をゥエーハ 1の中に行う第 1の腿撮像部 1 1と、第 1の搬送撮像部 1 1の下流に接続し、ゥハ 1を図 1中反時計回りに 9 0° 回転させながら搬送するゥヽ回 1 2と、ゥ回^ 15 1 2の下流に纖し、ゥハ 1の四方のェッジのうち 0 ° エツジに対して直角なェッジ（以下、「9 0° エッジ」という。）の撮像をゥハ 1の中に行う第 2の腿撮像部 1 3と、で構成される。以下、各 ¾ί立の構成について説明する。

1の腿撮像部]

第 1の搬送撮像部 1 1には、雲用ノズル 8 a 0° エッジの表面を撮像する一対のラインスキャンカメラ 3 a 3 b 0° エッジの裏面を撮像する一対のラインスキャンカメラ 3 c 3 dを備える。

纖用ノスンレ 8 aは、第 1の腿撮像部 1 1の最上流側、力つ、腿路の幅方向中央に配置され、ゥエーハ 1の表面にエアを吹き付けることでゥエーハ 1

向の推力を与える。なお、ゥエーハ 1カ十分な初速を有しているときや、フロートステージ上面 2 aを腿方向にィ麟させてゥハ 1が自重により腿されるようにしたときは、この ίϋΐ用ノズル 8 aは不要である。

図 5は、纖用ノズル 8 aとゥハ 1の位置隱を示している。猶用ノズル

8 aは、ゥハ表面に対する角度 αがなるベく小さくなるように、また、その噴口がゥハ表面のなるべく近くに配置される。

ゥエーハ表面に ¾ "る角度をなるベく小さくするのは、噴出されるエアによりゥ 1に作用する力の搬送方向の分力がなるべく大きくなるようにするためである。また、噴ロをゥハ表面のなるべく近くに配置するのは、噴出されるエアを最大限ゥエーハ 1の漏に利用し、無駄なエアの消費を抑えるためである。なお、後财る纖用ノズル 8 a以外のノズル 8 b 8 hとゥハ 1の位置 P も同様である。

また、 0° エッジの表面の撮像用のラインスキャンカメラ 3 a、 3 bは、搬送路の両側に配置される。ラインスキャンカメラ 3 a、 3 bは、上を移動するゥエーハ 1の 0° エッジの表面を真上から撮像するように、力つ、 C C Dィメージセンサ素子が向に対し直角な方向に並ぶように配置される。

これに対し、ゥエーハの 0° エッジの裏面を撮像するラインスキャンカメラ 3 c、 3 dは、 i¾ ^が途切れた部分（以下、「スリット部」という。） 9に配置されている。ラインスキャンカメラ 3 c、 3 dは、腿路上を移動するゥエーハ 1の 0° エッジの裏面をスリット部 9を介して真下から撮像するように、力つ、 C C Dィメージセンサ素子が向に対し直角な方向に並ぶように配置される。なお、スリット部 9では第 1のエア噴出口 4力らエア力 S供給されず、スリット部 9を通過するゥエーハ 1はフロートステージ上面 2 aに向けて下降するが、スリツト部 9の幅は十く設定されているため、ゥエーハ 1がフロートステージ上面 2 aにすることはない。

[ゥエーハ回 ]

ゥエーハ回^^ 1 2は、偏向用ノズノレ 8 b、回^ fflノズノレ 8 c、 8 d、回^止用ノズノレ 8 e、 8 f を備える。また、サイドガイド 5は回止用ノズ、ノレ 8 e、 8 fが配置される下流側の立のみに配置される。

偏向用ノズル 8 bは、ゥエーハ回^ 1 2の最上流側、力つ、フロートステージ 2 f謹している側の脇に配置される。ゥエー/、 1は、偏向用ノズル 8 bから噴出されるエアから受ける力により、フロートステージ上面 2 aの傲斜に抗して ¾¾路の幅方向（図 1中下方向）に移動する。回^ fflノズノレ 8 c、 8 dは、偏向用ノズル 8 bの下流側に配置される。回^ fflノズノレ 8 c、 8 dは、ゥエーハ 1の表面のうち、ゥエーハ 1の重心を左手に見る立にエアを吹き付け、これにより、ゥエーハ 1に図 1中反時計回りのモーメントを作用させ、ゥエーハ 1をその方向に回転させる。上記の通り、回ノズル 8 c、 8 d力 ¾E置される位置の近傍にはサイドガイド 5は設けられてレヽな!/ヽので、回転するゥエーハ 1がサイドガイド 5と^ Tることはない。

回^ 用ノズノレ 8 e、 8 fは、ゥエーハ回^ 15 1 2の最下流側に配置される。回止用ノズル 8 e、 8 fのうち一方は、 ^向と亍に配置され、 toはフロートステージ 2 f辭斗している側の脇、つ、 ^^向と直角に配置される。回 ¾^止用ノズル 8 e、 8 fは、ゥエーハ表面のうち、ゥエーハ 1の重心を右手に見る部位にエアを吹き付け、これにより、ゥエーハ 1に図 1中時計回りのモーメントを作用させ、ゥエーハ 1の回転を停止させる。

ここで、回止用ノズル 8 e、 8 f の一方を腿方向に対し亍とし、を腿方向に対し直角に配置したのは、に配 »Τると、ゥエーハ 1により長い時間エアを当てることができるので、少ないエア流量でゥエーハ 1の回転を^¹かに停止させることができるからである。また、垂直に配 Wると、噴射されるエアを専らゥエーノヽ 1の回転の停止とゥエーハ 1とサイドガイド 5との誰防止〖 IJ用することができ、ゥエーハ 1の^^方向の移動力 S低下するのを抑えることができる力らである。

つまり、回^ 止用ノズ /レ 8 e、 8 fをこのような配置とすることで、ゥエーハ

1の方向の移動速度をなるベくしつつ、ゥエーハ 1の回転をかに停止させることができる。図 6 A、 6 Bは、ゥエーノヽ回 1 2においてゥエーハ 1が回転する軒を示したものである。

図 6 A (a ) はゥエーノヽ回転部 1 2に進入する直前のゥエーノヽ 1を示している。ゥエーハ 1が回転する様子をわかりやすくするために、平面図にはゥエーハ 1の四隅に A〜Dの符号を言 ΕΛしてある。この状態では A—D間のエッジ、 C— B間のェッジ（0。エッジ）がサイドガイド 5に対して平行になっている。

ウェークヽ 1がゥエーノヽ回^ 1 2に進入すると、まず、偏向用ノズル 8 からのエアによって、ゥエーハ 1がフロートステージ上面 2 aの ί辭斗に抗して路の幅方向に移動する（図 6 Α (b) ) 。

次に、回^ fflノズノレ 8 c、 8 dからのエアにより、ゥェーハ 1が反時計回りに回転する（図 6 A ( c) )。回転を付与されたゥエーハ 1は、回転しながらフロートステージ 2上を^^向に移動する（図 6 A (d) ) 。

フロートステージ上面 2 aが ί辭斗しているため、ゥエーハ 1は、徐々にゥエーハ回^ 151 2の下流に配置されるサイドガイド 5に近づきつつ、回 ^^止用ノズノレ 8 e、 8 f力 ¾Β置されている位置までtむ（図 6 B (e ) ) 。

そして、回^^止用ノズル 8 e、 8 fからのエアによりゥエーノ、 1の回転が停止し、ゥエーハ 1の D— B間のエッジ、 A—C間のエッジ（9 0° エッジ）がサイドガイド 5に対して平行になる（図 6 B ( f ) ) 。

その後、ゥェーハ 1は第 2の像部 1 3に進入する力搬送方向の移動が落ちているため、用ノズル 8 gからのエアにより方向の ¾Λが再えられる。

このように、ゥエーハ回^ 1 2においては、ゥエーハ 1を他の謝立に撤虫させることなく、力つ、ゥエーハ 1の腿方向の移動を停止させることなく、ゥエーハ 1を 9 0° 回転させることが可能である。

の像部]

第 2の ^撮像部 1 3は、図 1、図 2に示すように、 ¾31用ノズル 8 aに代えて再，用ノス、ノレ 8 g、移薛止用ノス、ノレ 8 hを備えることを除き、第 1の拥撮像部 1 1と略同様の構成である。ゥエーハ回^ 1 2においてゥエーハ 1力 S 9 0° 回転されているので、第 2の^^撮像部 1 3のラインスキャンカメラ 3 f 〜3 gによって撮像される立はゥエーハ 1の 0° エッジに対して直角な 9 0° エッジの表面と裏面となる。

|¾«用ノズ、ノレ 8 gは、第 2の^ 撮像部 1 3の最上流值 IJ、力つ、の幅方向中央に配置され、搬送方向の移動速度が落ちたゥエーハ 1に対し再び推力を与え、向の移動を補助する。

移 » 止用ノズ、ノレ 8 1ιは、第 2の撮像部 1 3の最下流佃』、力つ、の幅方向中央に配置され、ゥエーハ 1の i¾ ^向の移動を停止させる。停止したゥエーハ 1は図示しないノヽンドリンクにより図示しないカセットに,される。続いて、上言满成による作用効果について説明する。

上記構成によれば、ゥエーハ 1をフロートステージ 2、サイドガイド 5いずれにもさせることなく、つ、安定した、方向を,したまますることができる。つまり、上曾 S†誠によれば、ゥエーハ 1の完全 ^虫状態での腿が可能であり、ゥエーハ 1の損傷を可能な限り防止することができる。

また、第 1の像部 1 1と第 2の¾¾像部 1 3の間にゥエーハ回 2 を配置したことにより、ゥエーハ 1の全エッジを検查することができる。ゥエーハ回^ 1 2では、ゥエーノヽ 1に¾^ることなくゥエーハ 1を回転させるので、ゥエーハ 1を回転させる際にもゥエーハ 1に損傷を与えることがない。また、ゥエーハ 1を停止させることなく回転させるので、腿、赚に要する時間を »Tることができる。

一第 2の難形態一

図 7〖林発明の第 2の¾6^態を示している。第 1の態と同一の構成には同じ参照符号を付して説明を省略し、以下、第 1の ¾ ^態と相 ¾1 "る部分を中心に説明する。

第 2の ¾6©f態は、第 1の撮像部 1 1と第 2の^ 撮像部 1 3をそれらの搬送方向が直角になるように配置し、その間にゥエーハ回 1 2に代えて L の方向鎌部 1 4を配置した点力第 1の¾¾^態と相る。

[^向繊部]

方向転換部 1 4は、 L のフロートステージ 1 5、そのコーナ^ 15に配置される移 « 止用ノス、ノレ 8 i、及ぴ、用ノズル 8 jを備える。フロートステージ 1 5の構成はフロートステージ上面 1 5 aが L字型になってレ、る点以外、フロートステージ 2と同じである。

第 1の像部 1 1からゥエーハ 1が方向繊部 1 4に進入すると、まず、移 S 止用ノズル 8 iからのエアによりゥエーハ 1の移動力 S停止される。そして、再推進用ノズノレ 8 jからのエアによりゥエーハ 1がこれまでの搬送方向と 9 0° をなす方向の ¾Λが与えられ、ゥエーハ 1は第 2の腿撮像部 1 3へと送られる。この構成によっても、ゥエーハ 1はフロートステージ 2、 1 5、サイドガイド 5 レ、ずれにも撤虫することがなく i ^され、ゥエーハ 1の損傷を可能な限り抑えることができる。

また、ゥエーハ表面にエアを吹き付けるノズル 8 a、 8 h、 8 i、 8 jの向き力レ、ずれも ^方向と同じないし直角な方向になるので、第 1の ¾6 ^態のよう. にゥエーハ 1の回^ ffl及び回^止用のノズルの位置をする必要がなく、第 1の^^態に比 ^^置設計が容易になるという利点がある。

以上、本発明の態について説明したが、上記態発明の趣旨を逸脱しなレ、範囲で種々の改変が可能である。

例えば、上記態のゥエーハ^ g置は、ゥエーハ 1のエッジを纖することを目的としているが、ゥエーハ 1の表面、内部を »するためのカメラ及び照明装置を、追加あるいはラインスキャンカメラ 3 a〜3 hに代えて配 m "ることで、ゥエーハ 1の表面、内部を^ ¾することも可能である。

また、ゥエーハ 1を撮像するカメラとしてラインスキャンカメラ 3 a〜 3 hを用いているが、ラインスキャンカメラ 3 a〜3 hの代わりに C CDイメージセンサ素子を二次元に配置したエリアセンサカメラを用いることも可能である。

また、フロートステージ上面 2 aを腿方向に it通させ、ゥエーハ 1が自重により摘されるようにレてもよく、この^ 8\ ■用ノズンレ 8 a、再 ¾it用ノスンレ 8 gが不要になる。産の利用可

本発明は、太陽戆删ゥエーハに限らず、薄い板状体の腿装置、置に広く利用することができる。

Claims

請求の範囲

1. 板状体 (1) を所定の搬送方向に腿する置であって、

廳¾ ^方向に延びる腿路を構成し、かつ、膽^ ¾路の幅方向に ί 斗する上面（2 a) と、前記上面（2 a) から流体を噴出する複数の第 1の流体噴出口 (4) とを有するフロートステージ（2) と、

廳己フロートステージ（2) の廳让面 (2 a) 力 ^斜している側に、かつ、前記フロートステージ（2) とに配置され、歯己に向けて流体を噴出する複数の第 2の流出口（6) を有するサイドガイド（5) と、

を備え、膽状体 (1) が廳己複数の第 1及び第 2の流体噴出口（4、 6) から噴出される流体から受ける力が廳状体 (1) の自重と釣り合うことをとする ^氍

2. 板状体 (1) の^常置であって、.

請求項 1にの装置と、

歸¾ ^装置の β路途中に配置される撮難置（3 a〜3h) と、

を備えることを «とする^

3. 請求項 2に纖の^ ¾置であって、

歸己撮蝶置（3 a〜3h) 力 Ι5¾状体 (1) のエッジ、表面あるいは内部を撮像するカメラである、

ことを mとする検 ¾¾

4. 板状体 (1) の »g置であって、

請求項 1に纖の搬難置とその腿路途中に配置される第 1の撮離置 (3 a 〜3 d) からなる第 1の腿撮像部（11) と、

請求項 1に雄の腿装置とその腿路途中に配置される第 2の撮離置 (3 e 〜3h) からなり、 tiltS¾状体 (1) の搬送方向が歯己第 1の腿撮像部（11) における ttifS^状体 (1) の i ^方向と同一となるように配置される第 2の »撮像部 (13) と、

l己第 1の搬送撮像部 (1 1) と Ιίίΐ己第 2の搬送撮像部 (13) の間に配置され、 firtS¾状体 (1) を 90° 回転させる回^ 15 (12) と、

を備えることを糊数とする

5. 請求項 4に纖の^^置であって、

膽己第 1及び第 2の撮^ ¾置（3 a〜3h) が識2¾状体 (1) のエッジ、表面あるいは内部を撮像するカメラである、

ことを赚とする

6. 請求項 4に言 Bttの^ ¾置において、

鍵己回 (12) は、

廳¾ ^方向に延びる搬送路を構成し、かつ、肅送路の幅方向にィ麟する上面 (2 a) と、嫌 B±面 (2 a) から流体を噴出する複数の流 ί«出口（4) とを有するフロートステージ（2) と、廳反状体 (1) に流体を吹き付けることで tmii面 (2 a) f 斜に抗して歸 B¾状体 (1) を廳¾¾路の幅方向に移動させる偏向用ノズル (8b) と、

Ml己偏向用ノズル (8b) の下流側に配置され、 rfE¾状体 (1) に流体を吹き付けることで嫌 ΰ¾状体 (1) を回転させる回 fefflノズル（8 c、 8 d) と、膽己回ノズル（8 c、 8 d) の下流側に配置され、歸¾5状体（1)に流体を吹き付けることで廳2¾状体 (1) の回転を停止させる回^止用ノズル (8 e、 8 f ) と、

を備えることを赚とする

7. 板状体 (1) の^常置であって、

請求項 1に «の腿装置とその腿路途中に配置される第 1の撮離置 (3 a 〜3 d) 力らなる第 1の腿纖部（11) と、

請求項 1に纖の ^置とその腿路途中に配置される第 2の撮^ ¾置 ( 3 e 〜3h) からなり、嫌 S¾状体 (1) の向が嫌己第 1の腿撮像部 (11) における歸5¾状体 (1) の搬送方向と直角になるように配置される第 2の撮像部 (13) と、

IS第 1の搬送撮像部 (1 1) と Ml己第 2の搬送撮像部 (13) の間に配置され、歸状体 (1) の進行方向を 90° 回転させる方向部 (14) と、を備えることをとする

8. 請求項 7に記載の検¾¾置であって、

藤己第 1及び第 2の撮離置（3 a〜3h) カ^ ilfS†反状体 (1) のエッジ、表面あるいは内部を撮像するカメラである、

ことをとする

9. 請求項 7に言 Ξ¾の^ 置において、

肅向 ^部 (14) は、

L の上面 (15 a) を有し、力つ、己 L の上面 (15 a) から流体を噴出する複数の流出口（4) を藤己 L の上面（15 a) に有するしのフロートステージ（15) と、

觸 2¾状体 (1) に流体を吹き付けることで鍵 S¾状体 (1) を膽己 L のフロートステージ（15) のコーナー部に停止させる移動停止用ノズル (8 i) と、

膽己コーナ^ 15に停止した歸状体 (1) に流体を吹き付けることで請 B¾ 状体 (1) をそれまでの進行方向と直角な方向に移動させる再推進用ノズル (8 j) と、

を備えることを纖とする^ ¾ o