JP2002310639A - 板材検査システム - Google Patents
板材検査システムInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】設置床面積を広く必要としないようにする。検
査機構の設備に制約がないようにする。板材の全ての検
査を短時間で完了する。 【解決手段】搬送方向に沿って配置され搬送される板材
Ｐに流体を噴射して板材Ｐを起立させる流体噴射機構１
１と流体噴射機構１１の下方に配置され板材Ｐを下端面
で下支えしながら搬送方向へ移動させる移動機構１２と
を備えた搬送ユニット１と、板材Ｐを検査する検査機構
２とからなる。搬送ユニット１は、搬送方向へ複数台が
連結されている。検査機構２は、種類の異なる検査を行
うものが搬送ユニット１ごとに設備されている。
査機構の設備に制約がないようにする。板材の全ての検
査を短時間で完了する。 【解決手段】搬送方向に沿って配置され搬送される板材
Ｐに流体を噴射して板材Ｐを起立させる流体噴射機構１
１と流体噴射機構１１の下方に配置され板材Ｐを下端面
で下支えしながら搬送方向へ移動させる移動機構１２と
を備えた搬送ユニット１と、板材Ｐを検査する検査機構
２とからなる。搬送ユニット１は、搬送方向へ複数台が
連結されている。検査機構２は、種類の異なる検査を行
うものが搬送ユニット１ごとに設備されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、液晶ガラス基板
等の脆弱性の板材の欠陥を検査する板材検査システムに
係る技術分野に属する。
等の脆弱性の板材の欠陥を検査する板材検査システムに
係る技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】 一般に、クリーンルームの内部で行わ
れる液晶ガラス基板からなる板材の検査では、板材の内
部の欠陥の検査、板材のエッジ（端縁）の欠陥の検査、
板材の表面（裏面）の欠陥の検査等が連続的に行われて
いる。
れる液晶ガラス基板からなる板材の検査では、板材の内
部の欠陥の検査、板材のエッジ（端縁）の欠陥の検査、
板材の表面（裏面）の欠陥の検査等が連続的に行われて
いる。
【０００３】従来、板材の検査技術としては、例えば、
板材を専用カセットに収容して各検査工程の間を搬送
し、各検査工程で板材を専用カセットから取出して作業
員が板材を手に持って検査作業を実施することが知られ
ている。
板材を専用カセットに収容して各検査工程の間を搬送
し、各検査工程で板材を専用カセットから取出して作業
員が板材を手に持って検査作業を実施することが知られ
ている。
【０００４】この従来の板材の検査技術によると、各検
査工程の間を搬送される板材の脆弱性が専用カセットで
保護されるため、検査のための搬送途中での板材の損
傷，破損が防止されるという利点がある。
査工程の間を搬送される板材の脆弱性が専用カセットで
保護されるため、検査のための搬送途中での板材の損
傷，破損が防止されるという利点がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】 前述の従来の板材の
検査技術では、専用カセットに対して板材の収容，取出
しを行わなければならず、しかも各検査工程で作業員が
板材を手に持って検査作業を実施するため、板材の全て
の検査を完了するのにかなり時間が掛かるという問題点
がある。
検査技術では、専用カセットに対して板材の収容，取出
しを行わなければならず、しかも各検査工程で作業員が
板材を手に持って検査作業を実施するため、板材の全て
の検査を完了するのにかなり時間が掛かるという問題点
がある。
【０００６】なお、板材の検査の時間を短縮するには、
例えば、特開２０００−６２９５０号公報に記載の搬送
技術を利用することが考えられる。
例えば、特開２０００−６２９５０号公報に記載の搬送
技術を利用することが考えられる。
【０００７】この搬送技術は、浮上装置によって下方と
側方とから空気を噴射して板材を定位置で水平状態に浮
上させておき、板材を浮上させた浮上装置をレールに沿
って搬送方向へ移動させるものである。従って、この搬
送技術の搬送ラインの途中に各検査工程で使用される検
査機構を設備することによって、板材の全ての検査を完
了するのに掛かる時間を短縮することができるはずであ
る。
側方とから空気を噴射して板材を定位置で水平状態に浮
上させておき、板材を浮上させた浮上装置をレールに沿
って搬送方向へ移動させるものである。従って、この搬
送技術の搬送ラインの途中に各検査工程で使用される検
査機構を設備することによって、板材の全ての検査を完
了するのに掛かる時間を短縮することができるはずであ
る。
【０００８】然しながら、この搬送技術では、板材を水
平に浮上させる浮上装置の設置床面積が広く必要になる
ため、板材が大型化すると設置が困難になるという問題
点がある。また、浮上装置の複数方向の多数箇所から空
気を噴射しないと、浮上した板材が撓んだり水平方向へ
滑動してしまうため、板材の裏面，側端面の周囲が空気
を噴射するノズル等で覆われて検査機構の設備が不能に
なってしまうという問題点がある。
平に浮上させる浮上装置の設置床面積が広く必要になる
ため、板材が大型化すると設置が困難になるという問題
点がある。また、浮上装置の複数方向の多数箇所から空
気を噴射しないと、浮上した板材が撓んだり水平方向へ
滑動してしまうため、板材の裏面，側端面の周囲が空気
を噴射するノズル等で覆われて検査機構の設備が不能に
なってしまうという問題点がある。
【０００９】本発明は、このような問題点を考慮してな
されたもので、設置床面積を広く必要とせず、検査機構
の設備に制約がなく、板材の全ての検査を短時間で完了
することのできる板材検査システムを提供することを課
題とする。
されたもので、設置床面積を広く必要とせず、検査機構
の設備に制約がなく、板材の全ての検査を短時間で完了
することのできる板材検査システムを提供することを課
題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】 前述の課題を解決する
ため、本発明に係る板材検査システムは、次のような手
段を採用する。
ため、本発明に係る板材検査システムは、次のような手
段を採用する。
【００１１】即ち、請求項１では、搬送方向に沿って配
置され搬送される板材に流体を噴射して板材を起立させ
る流体噴射機構と流体噴射機構の下方に配置され板材を
下端面で下支えしながら搬送方向へ移動させる移動機構
とを備えた搬送ユニットと、板材を検査する検査機構と
からなり、搬送ユニットは搬送方向へ複数台が連結さ
れ、検査機構は種類の異なる検査を行うものが搬送ユニ
ットごとに設備されている。
置され搬送される板材に流体を噴射して板材を起立させ
る流体噴射機構と流体噴射機構の下方に配置され板材を
下端面で下支えしながら搬送方向へ移動させる移動機構
とを備えた搬送ユニットと、板材を検査する検査機構と
からなり、搬送ユニットは搬送方向へ複数台が連結さ
れ、検査機構は種類の異なる検査を行うものが搬送ユニ
ットごとに設備されている。
【００１２】この手段では、板材を起立状態で搬送する
ことで設置床面積を狭くし、板材に流体噴射機構のみを
対面させることで板材の周囲を広く開放して検査機構の
設備を容易にし、搬送ユニット，検査機構を搬送方向へ
並設することで板材を連続的に検査可能にする。
ことで設置床面積を狭くし、板材に流体噴射機構のみを
対面させることで板材の周囲を広く開放して検査機構の
設備を容易にし、搬送ユニット，検査機構を搬送方向へ
並設することで板材を連続的に検査可能にする。
【００１３】また、請求項２では、請求項１の板材検査
システムにおいて、連結の最前部の搬送ユニットは板材
が供給される供給側から板材を受取る専用台とされ、連
結の最後部の搬送ユニットは板材が回収される回収側へ
板材を渡す専用台とされ、連結の最前部の搬送ユニット
と供給側との間に板材の受渡しを行う供給受渡機構が配
置され、連結の最後部の搬送ユニットと回収側との間に
板材の受渡しを行う回収受渡機構が配置されていること
を特徴とする。
システムにおいて、連結の最前部の搬送ユニットは板材
が供給される供給側から板材を受取る専用台とされ、連
結の最後部の搬送ユニットは板材が回収される回収側へ
板材を渡す専用台とされ、連結の最前部の搬送ユニット
と供給側との間に板材の受渡しを行う供給受渡機構が配
置され、連結の最後部の搬送ユニットと回収側との間に
板材の受渡しを行う回収受渡機構が配置されていること
を特徴とする。
【００１４】この手段では、供給受渡機構，回収受渡機
構により板材を供給，回収する。
構により板材を供給，回収する。
【００１５】また、請求項３では、請求項１または２の
板材検査システムにおいて、検査機構は隣接する搬送ユ
ニットの間に設備されていることを特徴とする。
板材検査システムにおいて、検査機構は隣接する搬送ユ
ニットの間に設備されていることを特徴とする。
【００１６】この手段では、検査機構が搬送ユニットの
間のスペースを利用して設備される。
間のスペースを利用して設備される。
【００１７】また、請求項４では、請求項１〜３のいず
れかの板材検査システムにおいて、少なくとも２台の搬
送ユニットの流体噴射機構の上下位置を異ならせたこと
を特徴とする。
れかの板材検査システムにおいて、少なくとも２台の搬
送ユニットの流体噴射機構の上下位置を異ならせたこと
を特徴とする。
【００１８】この手段では、板材に対する流体噴射機構
の対面位置の異なる搬送ユニットが連結される。
の対面位置の異なる搬送ユニットが連結される。
【００１９】
【発明の実施の形態】 以下、本発明に係る板材検査シ
ステムの実施の形態を図面に基づいて説明する。
ステムの実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２０】図１〜図９は、本発明に係る板材検査シス
テムの実施の形態（１）を示すものである。
テムの実施の形態（１）を示すものである。
【００２１】この実施の形態では、液晶ガラス基板から
なる板材Ｐをクリーンルームの内部で検査するものを示
してある。
なる板材Ｐをクリーンルームの内部で検査するものを示
してある。
【００２２】この実施の形態は、図１に示すように、搬
送ユニット１，検査機構２で構成されている。
送ユニット１，検査機構２で構成されている。
【００２３】搬送ユニット１は、図２〜図５に詳細に示
されるように、流体Ａを板材Ｐに噴射する流体噴射機構
１１と、板材Ｐの下端面を下支えして板材Ｐを移動させ
る移動機構１２とを主要部として構成されている。
されるように、流体Ａを板材Ｐに噴射する流体噴射機構
１１と、板材Ｐの下端面を下支えして板材Ｐを移動させ
る移動機構１２とを主要部として構成されている。
【００２４】流体噴射機構１１は、加圧された流体Ａが
流通する角筒形の本体部１１ａの１つの面に一定間隔を
介して流体Ａが噴射される流体噴射孔１ｂが複数列に多
数設けられている。本体部１１ａには、ホース１１ｃ，
フィルターを介して流体Ａの供給源であるエアブロアー
１１ｄが接続されている。
流通する角筒形の本体部１１ａの１つの面に一定間隔を
介して流体Ａが噴射される流体噴射孔１ｂが複数列に多
数設けられている。本体部１１ａには、ホース１１ｃ，
フィルターを介して流体Ａの供給源であるエアブロアー
１１ｄが接続されている。
【００２５】この流体噴射機構１１は、方形のフレーム
部材１３の上下のほぼ中央部に取付ブラケット１４で取
付けられ、搬送方向（横方向）に沿って一部がフレーム
部材１３から突出して配置されている。フレーム部材１
３は、設置床面Ｆに設置されるフレーム構造の架台１５
に約５度の傾斜した角度ａを形成して支持されている。
なお、流体噴射機構１１のエアブロアー１１ｄは、架台
１５に設置されている。
部材１３の上下のほぼ中央部に取付ブラケット１４で取
付けられ、搬送方向（横方向）に沿って一部がフレーム
部材１３から突出して配置されている。フレーム部材１
３は、設置床面Ｆに設置されるフレーム構造の架台１５
に約５度の傾斜した角度ａを形成して支持されている。
なお、流体噴射機構１１のエアブロアー１１ｄは、架台
１５に設置されている。
【００２６】移動機構１２は、モータ１２ａによって回
転駆動される駆動プーリ１２ｂと駆動プーリ１２ｂから
離れた従動プーリ１２ｃとの間に搬送ベルト１２ｄがエ
ンドレスに掛渡されている。搬送ベルト１２ｄの表面の
長さ方向には、板材Ｐの下端面の滑落を阻止するための
溝１２ｅが刻設されている。駆動プーリ１２ｂ，従動プ
ーリ１２ｃ，搬送ベルト１２ｄの間には、搬送ベルト２
ｄの撓みを防止するガイド１２ｆが設けられている。
転駆動される駆動プーリ１２ｂと駆動プーリ１２ｂから
離れた従動プーリ１２ｃとの間に搬送ベルト１２ｄがエ
ンドレスに掛渡されている。搬送ベルト１２ｄの表面の
長さ方向には、板材Ｐの下端面の滑落を阻止するための
溝１２ｅが刻設されている。駆動プーリ１２ｂ，従動プ
ーリ１２ｃ，搬送ベルト１２ｄの間には、搬送ベルト２
ｄの撓みを防止するガイド１２ｆが設けられている。
【００２７】この移動機構１２は、前述のフレーム部材
１３の下端部付近に取付ブラケット１６で取付けられ、
搬送方向（横方向）に沿って一部がフレーム部材１３か
ら突出（流体噴射機構１１とほぼ同長）して配置されて
いる。
１３の下端部付近に取付ブラケット１６で取付けられ、
搬送方向（横方向）に沿って一部がフレーム部材１３か
ら突出（流体噴射機構１１とほぼ同長）して配置されて
いる。
【００２８】この搬送ユニット１は、図１に示すよう
に、架台１５の間に連結ブラケット１７を取付けて少し
のスペースを介して搬送方向に複数台が連結され、板材
Ｐを長距離搬送することのできる検査のための搬送ライ
ン（検査ライン）が構成される。なお、隣接する搬送ユ
ニット１の流体噴射機構１１同士，移動機構１２同士の
間にもスペースが確保されている。また、構成された搬
送ラインの４番目の搬送ユニット１と５番目の搬送ユニ
ット１とは、流体噴射機構１１の上下位置が異なってい
る。
に、架台１５の間に連結ブラケット１７を取付けて少し
のスペースを介して搬送方向に複数台が連結され、板材
Ｐを長距離搬送することのできる検査のための搬送ライ
ン（検査ライン）が構成される。なお、隣接する搬送ユ
ニット１の流体噴射機構１１同士，移動機構１２同士の
間にもスペースが確保されている。また、構成された搬
送ラインの４番目の搬送ユニット１と５番目の搬送ユニ
ット１とは、流体噴射機構１１の上下位置が異なってい
る。
【００２９】なお、搬送ラインの連結の最前部の搬送ユ
ニット１は、図６に示すように、板材Ｐが供給される供
給側３から搬送ラインに板材Ｐを受取る専用台とされて
いる。搬送ラインの連結の最後部の搬送ユニット１は、
図７に示すように、搬送ラインから板材Ｐが回収される
回収側４へ板材Ｐを渡す専用台とされている。搬送ライ
ンの連結の最前部の搬送ユニット１と供給側３との間に
は、図８に示すように、板材Ｐの受渡しを行う多軸ロボ
ットからなる供給受渡機構５が配置されている。搬送ラ
インの連結の最後部の搬送ユニット１と回収側４との間
には、図８に示すように、板材Ｐの受渡しを行う回収受
渡機構６が配置されている。
ニット１は、図６に示すように、板材Ｐが供給される供
給側３から搬送ラインに板材Ｐを受取る専用台とされて
いる。搬送ラインの連結の最後部の搬送ユニット１は、
図７に示すように、搬送ラインから板材Ｐが回収される
回収側４へ板材Ｐを渡す専用台とされている。搬送ライ
ンの連結の最前部の搬送ユニット１と供給側３との間に
は、図８に示すように、板材Ｐの受渡しを行う多軸ロボ
ットからなる供給受渡機構５が配置されている。搬送ラ
インの連結の最後部の搬送ユニット１と回収側４との間
には、図８に示すように、板材Ｐの受渡しを行う回収受
渡機構６が配置されている。
【００３０】検査機構２は、内部検査機構２１，エッジ
検査機構２２，表面検査機構２３の３種類で構成されて
いる。
検査機構２２，表面検査機構２３の３種類で構成されて
いる。
【００３１】内部検査機構２１は、板材Ｐの内部の欠陥
の検査を行うもので、板材Ｐに光を透過させるキセノン
ランプ２１ａと、板材Ｐを透過した光により板材Ｐの像
を投影するスクリーン２１ｂと、スクリーン２１に投影
された板材Ｐの像を撮像するカメラ２１ｃとを備えてい
る。
の検査を行うもので、板材Ｐに光を透過させるキセノン
ランプ２１ａと、板材Ｐを透過した光により板材Ｐの像
を投影するスクリーン２１ｂと、スクリーン２１に投影
された板材Ｐの像を撮像するカメラ２１ｃとを備えてい
る。
【００３２】この内部検査機構２１は、板材Ｐが搬送ユ
ニット１（流体噴射機構１１同士，移動機構１２同士）
の間を搬送され板材Ｐの周囲に障害物の存在しない位置
で板材Ｐに光を透過する。
ニット１（流体噴射機構１１同士，移動機構１２同士）
の間を搬送され板材Ｐの周囲に障害物の存在しない位置
で板材Ｐに光を透過する。
【００３３】エッジ検査機構２２は、板材Ｐのエッジ
（端縁）の欠陥の検査を行うもので、搬送される板材Ｐ
の搬送方向のエッジに固定位置からレーザ光を照射して
検査する第１検査機構２２ａと、搬送の停止された板材
Ｐの搬送方向と直交するエッジに板材Ｐの搬送方向と直
交する方向に走行しながらレーザ光を照射して検査する
第２検査機構２２ｂとを備えている。
（端縁）の欠陥の検査を行うもので、搬送される板材Ｐ
の搬送方向のエッジに固定位置からレーザ光を照射して
検査する第１検査機構２２ａと、搬送の停止された板材
Ｐの搬送方向と直交するエッジに板材Ｐの搬送方向と直
交する方向に走行しながらレーザ光を照射して検査する
第２検査機構２２ｂとを備えている。
【００３４】このエッジ検査機構２２は、搬送ユニット
１の間のスペースを利用して設備されている。従って、
エッジ検査機構２２の設備によって板材Ｐの搬送を阻害
することがない。
１の間のスペースを利用して設備されている。従って、
エッジ検査機構２２の設備によって板材Ｐの搬送を阻害
することがない。
【００３５】表面検査機構２３は、板材Ｐの表面（裏
面）の欠陥の検査を行うもので、板材Ｐの表面（裏面）
に光を照射するハロゲンランプ２３ａと、ハロゲンラン
プ２３を板材Ｐに対して移動させる移動部２３ｂと、移
動部２３ｂ掴んで操作する取手２３ｃとを備えている。
面）の欠陥の検査を行うもので、板材Ｐの表面（裏面）
に光を照射するハロゲンランプ２３ａと、ハロゲンラン
プ２３を板材Ｐに対して移動させる移動部２３ｂと、移
動部２３ｂ掴んで操作する取手２３ｃとを備えている。
【００３６】この表面検査機構２３は、ハロゲンランプ
２３ａを作業員の手作業により移動させて目視による検
査を行うもので、流体噴射機構１１の上下位置が異なっ
ている搬送ラインの４番目，５番目の搬送ユニット１に
設備されている（図９参照）。搬送ラインの４番目，５
番目の搬送ユニット１では、表面検査機構２３で異なる
領域Ｘ，Ｙを分担して検査し、検査する領域Ｘ，Ｙから
流体噴射機構１１を排除して目視の邪魔にならないよう
にしている。なお、この搬送ラインの４番目，５番目の
搬送ユニット１には、先の内部検査機構２１，エッジ検
査機構２２で欠陥が発見された板材Ｐについての無用の
検査作業を避けるため、作業員に視覚的，聴覚的に告知
するための表示部７が備えられている。
２３ａを作業員の手作業により移動させて目視による検
査を行うもので、流体噴射機構１１の上下位置が異なっ
ている搬送ラインの４番目，５番目の搬送ユニット１に
設備されている（図９参照）。搬送ラインの４番目，５
番目の搬送ユニット１では、表面検査機構２３で異なる
領域Ｘ，Ｙを分担して検査し、検査する領域Ｘ，Ｙから
流体噴射機構１１を排除して目視の邪魔にならないよう
にしている。なお、この搬送ラインの４番目，５番目の
搬送ユニット１には、先の内部検査機構２１，エッジ検
査機構２２で欠陥が発見された板材Ｐについての無用の
検査作業を避けるため、作業員に視覚的，聴覚的に告知
するための表示部７が備えられている。
【００３７】この実施の形態によると、搬送ユニット１
がフレーム構造等からなるため、安価，軽量に製造する
ことができるとともに、検査機構２の設備のための取付
構造が簡素化される。また、搬送ユニット１が少しのス
ペースを介して連結され板材Ｐに対して流体噴射機構１
１のみが対面する構造であるため、検査機構２の設備に
制約がなくなる。
がフレーム構造等からなるため、安価，軽量に製造する
ことができるとともに、検査機構２の設備のための取付
構造が簡素化される。また、搬送ユニット１が少しのス
ペースを介して連結され板材Ｐに対して流体噴射機構１
１のみが対面する構造であるため、検査機構２の設備に
制約がなくなる。
【００３８】この実施の形態では、供給側３から供給さ
れた板材Ｐが供給受渡機構５によって搬送ラインの最前
部の搬送ユニット１に載せられ、板材Ｐが搬送ユニット
１で構成される搬送ラインを搬送される間に検査機構２
によって検査され、検査の完了した板材Ｐが搬送ライン
の最後部の搬送ユニット１から回収受渡機構６によって
回収側４に回収される。従って、搬送ラインで板材Ｐを
搬送しながら（一時的な停止はあるが）、板材Ｐについ
て種類の異なる検査を連続的に実行することができ、板
材Ｐの全ての検査を短時間で完了することができる。
れた板材Ｐが供給受渡機構５によって搬送ラインの最前
部の搬送ユニット１に載せられ、板材Ｐが搬送ユニット
１で構成される搬送ラインを搬送される間に検査機構２
によって検査され、検査の完了した板材Ｐが搬送ライン
の最後部の搬送ユニット１から回収受渡機構６によって
回収側４に回収される。従って、搬送ラインで板材Ｐを
搬送しながら（一時的な停止はあるが）、板材Ｐについ
て種類の異なる検査を連続的に実行することができ、板
材Ｐの全ての検査を短時間で完了することができる。
【００３９】搬送ラインでは、搬送ユニット１の移動機
構１２の搬送ベルト１２ｄに載せられた板材Ｐが流体噴
射機構１１の流体噴射孔１１ｂから噴射される流体Ａに
よって転倒を阻止されながら搬送されることになる。従
って、板材Ｐが起立状態で搬送されるため、設置床面積
を狭くすることができ、板材Ｐが大型化しても設置が困
難になることはない。また、搬送される板材Ｐは、下端
面で荷重の大部分が下支えされ裏面で流体Ａの噴射圧力
で荷重の一部分（転倒力）が側支えされるため、板材Ｐ
の撓み，転倒が防止される。従って、流体Ａの噴射圧力
を単に板材Ｐの転倒が阻止されるように調整するだけで
よく、流体Ａの噴射圧力を精密に調整しなくてもすむた
め、板材Ｐの大きさに対応する運転調整が容易になる。
なお、板材Ｐが下端面を支持する周囲部材以外と非接触
となるため、搬送途中での板材Ｐの損傷，破損が防止さ
れる。
構１２の搬送ベルト１２ｄに載せられた板材Ｐが流体噴
射機構１１の流体噴射孔１１ｂから噴射される流体Ａに
よって転倒を阻止されながら搬送されることになる。従
って、板材Ｐが起立状態で搬送されるため、設置床面積
を狭くすることができ、板材Ｐが大型化しても設置が困
難になることはない。また、搬送される板材Ｐは、下端
面で荷重の大部分が下支えされ裏面で流体Ａの噴射圧力
で荷重の一部分（転倒力）が側支えされるため、板材Ｐ
の撓み，転倒が防止される。従って、流体Ａの噴射圧力
を単に板材Ｐの転倒が阻止されるように調整するだけで
よく、流体Ａの噴射圧力を精密に調整しなくてもすむた
め、板材Ｐの大きさに対応する運転調整が容易になる。
なお、板材Ｐが下端面を支持する周囲部材以外と非接触
となるため、搬送途中での板材Ｐの損傷，破損が防止さ
れる。
【００４０】図１０は、本発明に係る板材検査システム
の実施の形態（２）を示すものである。
の実施の形態（２）を示すものである。
【００４１】この実施の形態は、搬送ユニット１の流体
噴射機構１１，フレーム部材１３を水平方向へ相対して
配置した構成になっている。なお、搬送ユニット１の移
動機構１２は、一方のフレーム部材１３に取付けられて
いる。また、搬送ユニット１の架台１５は、背高の低い
台車型に形成されている。
噴射機構１１，フレーム部材１３を水平方向へ相対して
配置した構成になっている。なお、搬送ユニット１の移
動機構１２は、一方のフレーム部材１３に取付けられて
いる。また、搬送ユニット１の架台１５は、背高の低い
台車型に形成されている。
【００４２】この実施の形態によると、板材Ｐの表面，
裏面の両面に流体Ａをほぼ直交する角度で噴射して、板
材Ｐを垂直の起立状態に維持しておき、起立した板材Ｐ
を下端面で下支えしながら移動させることになる。従っ
て、板材Ｐの表面，裏面の両面側に流体Ａの噴射圧力が
掛かって垂直の起立状態が強力に維持されるため、搬送
中の板材Ｐがクリーンルームの空調の気流等によってぶ
れ等を生ずることがなくなる。
裏面の両面に流体Ａをほぼ直交する角度で噴射して、板
材Ｐを垂直の起立状態に維持しておき、起立した板材Ｐ
を下端面で下支えしながら移動させることになる。従っ
て、板材Ｐの表面，裏面の両面側に流体Ａの噴射圧力が
掛かって垂直の起立状態が強力に維持されるため、搬送
中の板材Ｐがクリーンルームの空調の気流等によってぶ
れ等を生ずることがなくなる。
【００４３】以上、図示した実施の形態の外に、液晶ガ
ラス基板以外の材質からなる板材Ｐの搬送に適用するこ
とも可能である。
ラス基板以外の材質からなる板材Ｐの搬送に適用するこ
とも可能である。
【００４４】さらに、板材Ｐの材質に対応して噴射され
る流体Ａを不活性ガス等の他の気体や水等の液体とする
ことも可能である。
る流体Ａを不活性ガス等の他の気体や水等の液体とする
ことも可能である。
【００４５】
【発明の効果】 以上のように、本発明に係る板材検査
システムは、板材を起立状態で搬送するため、設置床面
積が狭くなる効果がある。また、この効果により、板材
が大型化しても設置が困難になることがない効果が生ず
る。
システムは、板材を起立状態で搬送するため、設置床面
積が狭くなる効果がある。また、この効果により、板材
が大型化しても設置が困難になることがない効果が生ず
る。
【００４６】また、搬送される板材に搬送ユニットの流
体噴射機構のみを対面させて板材の周囲を広く開放して
いるため、検査機構の設備の制約がなくなる効果があ
る。
体噴射機構のみを対面させて板材の周囲を広く開放して
いるため、検査機構の設備の制約がなくなる効果があ
る。
【００４７】また、搬送ユニット，検査機構を搬送方向
へ並設して板材を連続的に検査できるようにしたため、
板材の全ての検査を短時間で完了することができる効果
がある。
へ並設して板材を連続的に検査できるようにしたため、
板材の全ての検査を短時間で完了することができる効果
がある。
【００４８】また、起立した板材の荷重を下支えし板材
の転倒を流体の噴射圧力で阻止するため、精密な調整を
行うことなく搬送される板材の撓み，滑動が防止される
効果がある。また、この効果により、板材の大きさに対
応する運転調整が容易になる効果が生ずる。
の転倒を流体の噴射圧力で阻止するため、精密な調整を
行うことなく搬送される板材の撓み，滑動が防止される
効果がある。また、この効果により、板材の大きさに対
応する運転調整が容易になる効果が生ずる。
【００４９】さらに、請求項２として、供給受渡機構，
回収受渡機構により板材を供給，回収するため、板材を
供給，回収段階を含めて板材の全ての検査を短時間で完
了することができる効果がある。
回収受渡機構により板材を供給，回収するため、板材を
供給，回収段階を含めて板材の全ての検査を短時間で完
了することができる効果がある。
【００５０】さらに、請求項３として、検査機構が搬送
ユニットの間のスペースを利用して設備されるため、板
材の搬送を阻害することなく検査機構を設備することが
できる効果がある。
ユニットの間のスペースを利用して設備されるため、板
材の搬送を阻害することなく検査機構を設備することが
できる効果がある。
【００５１】さらに、請求項４として、板材に対する流
体噴射機構の対面位置の異なる搬送ユニットが連結され
るため、検査の領域を分担することで流体噴射機構が検
査の邪魔にならなくなる効果がある。
体噴射機構の対面位置の異なる搬送ユニットが連結され
るため、検査の領域を分担することで流体噴射機構が検
査の邪魔にならなくなる効果がある。
【図１】 本発明に係る板材検査システムの実施の形態
（１）を示す正面図である。
（１）を示す正面図である。
【図２】 図１の拡大側面図である。
【図３】 図２の要部の拡大図である。
【図４】 図２の他の要部の拡大断面図である。
【図５】 図２の正面図である。
【図６】 図１への板材の供給例を示す側面図である。
【図７】 図１からの板材の回収例を示す側面図であ
る。
る。
【図８】 図６，図７の平面図である。
【図９】 図１の要部の拡大図である。
【図１０】 本発明に係る板材検査システムの実施の形
態（２）を示す側面図である。
態（２）を示す側面図である。
１ 搬送ユニット １１ 流体噴射機構 １２ 移動機構 ２ 検査機構 ３ 供給側 ４ 回収側 ５ 供給受渡機構 ６ 回収受渡機構 Ａ 流体 Ｐ 板材
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１３年４月１９日（２００１．４．１
９）
９）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 板材検査システム
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、液晶ガラス基板
等の脆弱性の板材の欠陥を検査する板材検査システムに
係る技術分野に属する。
等の脆弱性の板材の欠陥を検査する板材検査システムに
係る技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】 一般に、クリーンルームの内部で行わ
れる液晶ガラス基板からなる板材の検査では、板材の内
部の欠陥の検査、板材のエッジ（端縁）の欠陥の検査、
板材の表面（裏面）の欠陥の検査等が連続的に行われて
いる。
れる液晶ガラス基板からなる板材の検査では、板材の内
部の欠陥の検査、板材のエッジ（端縁）の欠陥の検査、
板材の表面（裏面）の欠陥の検査等が連続的に行われて
いる。
【０００３】従来、板材の検査技術としては、例えば、
板材を専用カセットに収容して各検査工程の間を搬送
し、各検査工程で板材を専用カセットから取出して作業
員が板材を手に持って検査作業を実施することが知られ
ている。
板材を専用カセットに収容して各検査工程の間を搬送
し、各検査工程で板材を専用カセットから取出して作業
員が板材を手に持って検査作業を実施することが知られ
ている。
【０００４】この従来の板材の検査技術によると、各検
査工程の間を搬送される板材の脆弱性が専用カセットで
保護されるため、検査のための搬送途中での板材の損
傷，破損が防止されるという利点がある。
査工程の間を搬送される板材の脆弱性が専用カセットで
保護されるため、検査のための搬送途中での板材の損
傷，破損が防止されるという利点がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】 前述の従来の板材の
検査技術では、専用カセットに対して板材の収容，取出
しを行わなければならず、しかも各検査工程で作業員が
板材を手に持って検査作業を実施するため、板材の全て
の検査を完了するのにかなり時間が掛かるという問題点
がある。
検査技術では、専用カセットに対して板材の収容，取出
しを行わなければならず、しかも各検査工程で作業員が
板材を手に持って検査作業を実施するため、板材の全て
の検査を完了するのにかなり時間が掛かるという問題点
がある。
【０００６】なお、板材の検査の時間を短縮するには、
例えば、特開２０００−６２９５０号公報に記載の搬送
技術を利用することが考えられる。
例えば、特開２０００−６２９５０号公報に記載の搬送
技術を利用することが考えられる。
【０００７】この搬送技術は、浮上装置によって下方と
側方とから空気を噴射して板材を定位置で水平状態に浮
上させておき、板材を浮上させた浮上装置をレールに沿
って搬送方向へ移動させるものである。従って、この搬
送技術の搬送ラインの途中に各検査工程で使用される検
査機構を設備することによって、板材の全ての検査を完
了するのに掛かる時間を短縮することができるはずであ
る。
側方とから空気を噴射して板材を定位置で水平状態に浮
上させておき、板材を浮上させた浮上装置をレールに沿
って搬送方向へ移動させるものである。従って、この搬
送技術の搬送ラインの途中に各検査工程で使用される検
査機構を設備することによって、板材の全ての検査を完
了するのに掛かる時間を短縮することができるはずであ
る。
【０００８】然しながら、この搬送技術では、板材を水
平に浮上させる浮上装置の設置床面積が広く必要になる
ため、板材が大型化すると設置が困難になるという問題
点がある。また、浮上装置の複数方向の多数箇所から空
気を噴射しないと、浮上した板材が撓んだり水平方向へ
滑動してしまうため、板材の裏面，側端面の周囲が空気
を噴射するノズル等で覆われて検査機構の設備が不能に
なってしまうという問題点がある。
平に浮上させる浮上装置の設置床面積が広く必要になる
ため、板材が大型化すると設置が困難になるという問題
点がある。また、浮上装置の複数方向の多数箇所から空
気を噴射しないと、浮上した板材が撓んだり水平方向へ
滑動してしまうため、板材の裏面，側端面の周囲が空気
を噴射するノズル等で覆われて検査機構の設備が不能に
なってしまうという問題点がある。
【０００９】本発明は、このような問題点を考慮してな
されたもので、設置床面積を広く必要とせず、検査機構
の設備に制約がなく、板材の全ての検査を短時間で完了
することのできる板材検査システムを提供することを課
題とする。
されたもので、設置床面積を広く必要とせず、検査機構
の設備に制約がなく、板材の全ての検査を短時間で完了
することのできる板材検査システムを提供することを課
題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】 前述の課題を解決する
ため、本発明に係る板材検査システムは、次のような手
段を採用する。
ため、本発明に係る板材検査システムは、次のような手
段を採用する。
【００１１】即ち、請求項１では、搬送方向に沿って配
置され搬送される板材に流体を噴射して板材を起立させ
る流体噴射機構と流体噴射機構の下方に配置され板材を
下端面で下支えしながら搬送方向へ移動させる移動機構
とを備えた搬送ユニットと、板材を検査する検査機構と
からなり、搬送ユニットは搬送方向へ複数台が連結さ
れ、検査機構は種類の異なる検査を行うものが搬送ユニ
ットごとに設備されている。
置され搬送される板材に流体を噴射して板材を起立させ
る流体噴射機構と流体噴射機構の下方に配置され板材を
下端面で下支えしながら搬送方向へ移動させる移動機構
とを備えた搬送ユニットと、板材を検査する検査機構と
からなり、搬送ユニットは搬送方向へ複数台が連結さ
れ、検査機構は種類の異なる検査を行うものが搬送ユニ
ットごとに設備されている。
【００１２】この手段では、板材を起立状態で搬送する
ことで設置床面積を狭くし、板材に流体噴射機構のみを
対面させることで板材の周囲を広く開放して検査機構の
設備を容易にし、搬送ユニット，検査機構を搬送方向へ
並設することで板材を連続的に検査可能にする。
ことで設置床面積を狭くし、板材に流体噴射機構のみを
対面させることで板材の周囲を広く開放して検査機構の
設備を容易にし、搬送ユニット，検査機構を搬送方向へ
並設することで板材を連続的に検査可能にする。
【００１３】また、請求項２では、請求項１の板材検査
システムにおいて、連結の最前部の搬送ユニットは板材
が供給される供給側から板材を受取る専用台とされ、連
結の最後部の搬送ユニットは板材が回収される回収側へ
板材を渡す専用台とされ、連結の最前部の搬送ユニット
と供給側との間に板材の受渡しを行う供給受渡機構が配
置され、連結の最後部の搬送ユニットと回収側との間に
板材の受渡しを行う回収受渡機構が配置されていること
を特徴とする。
システムにおいて、連結の最前部の搬送ユニットは板材
が供給される供給側から板材を受取る専用台とされ、連
結の最後部の搬送ユニットは板材が回収される回収側へ
板材を渡す専用台とされ、連結の最前部の搬送ユニット
と供給側との間に板材の受渡しを行う供給受渡機構が配
置され、連結の最後部の搬送ユニットと回収側との間に
板材の受渡しを行う回収受渡機構が配置されていること
を特徴とする。
【００１４】この手段では、供給受渡機構，回収受渡機
構により板材を供給，回収する。
構により板材を供給，回収する。
【００１５】また、請求項３では、請求項１または２の
板材検査システムにおいて、検査機構は隣接する搬送ユ
ニットの間に設備されていることを特徴とする。
板材検査システムにおいて、検査機構は隣接する搬送ユ
ニットの間に設備されていることを特徴とする。
【００１６】この手段では、検査機構が搬送ユニットの
間のスペースを利用して設備される。
間のスペースを利用して設備される。
【００１７】また、請求項４では、請求項１〜３のいず
れかの板材検査システムにおいて、少なくとも２台の搬
送ユニットの流体噴射機構の上下位置を異ならせたこと
を特徴とする。
れかの板材検査システムにおいて、少なくとも２台の搬
送ユニットの流体噴射機構の上下位置を異ならせたこと
を特徴とする。
【００１８】この手段では、板材に対する流体噴射機構
の対面位置の異なる搬送ユニットが連結される。
の対面位置の異なる搬送ユニットが連結される。
【００１９】
【発明の実施の形態】 以下、本発明に係る板材検査シ
ステムの実施の形態を図面に基づいて説明する。
ステムの実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２０】図１〜図９は、本発明に係る板材検査シス
テムの実施の形態（１）を示すものである。
テムの実施の形態（１）を示すものである。
【００２１】この実施の形態では、液晶ガラス基板から
なる板材Ｐをクリーンルームの内部で検査するものを示
してある。
なる板材Ｐをクリーンルームの内部で検査するものを示
してある。
【００２２】この実施の形態は、図１に示すように、搬
送ユニット１，検査機構２で構成されている。
送ユニット１，検査機構２で構成されている。
【００２３】搬送ユニット１は、図２〜図５に詳細に示
されるように、流体Ａを板材Ｐに噴射する流体噴射機構
１１と、板材Ｐの下端面を下支えして板材Ｐを移動させ
る移動機構１２とを主要部として構成されている。
されるように、流体Ａを板材Ｐに噴射する流体噴射機構
１１と、板材Ｐの下端面を下支えして板材Ｐを移動させ
る移動機構１２とを主要部として構成されている。
【００２４】流体噴射機構１１は、加圧された流体Ａが
流通する角筒形の本体部１１ａの１つの面に一定間隔を
介して流体Ａが噴射される流体噴射孔１ｂが複数列に多
数設けられている。本体部１１ａには、ホース１１ｃ，
フィルター１１ｄを介して流体Ａの供給源であるエアブ
ロアー１１ｅが接続されている。
流通する角筒形の本体部１１ａの１つの面に一定間隔を
介して流体Ａが噴射される流体噴射孔１ｂが複数列に多
数設けられている。本体部１１ａには、ホース１１ｃ，
フィルター１１ｄを介して流体Ａの供給源であるエアブ
ロアー１１ｅが接続されている。
【００２５】この流体噴射機構１１は、方形のフレーム
部材１３の上下のほぼ中央部に取付ブラケット１４で取
付けられ、搬送方向（横方向）に沿って一部がフレーム
部材１３から突出して配置されている。フレーム部材１
３は、設置床面Ｆに設置されるフレーム構造の架台１５
に約５度の傾斜した角度ａを形成して支持されている。
なお、流体噴射機構１１のエアブロアー１１ｅは、架台
１５に設置されている。
部材１３の上下のほぼ中央部に取付ブラケット１４で取
付けられ、搬送方向（横方向）に沿って一部がフレーム
部材１３から突出して配置されている。フレーム部材１
３は、設置床面Ｆに設置されるフレーム構造の架台１５
に約５度の傾斜した角度ａを形成して支持されている。
なお、流体噴射機構１１のエアブロアー１１ｅは、架台
１５に設置されている。
【００２６】移動機構１２は、モータ１２ａによって回
転駆動される駆動プーリ１２ｂと駆動プーリ１２ｂから
離れた従動プーリ１２ｃとの間に搬送ベルト１２ｄがエ
ンドレスに掛渡されている。搬送ベルト１２ｄの表面の
長さ方向には、板材Ｐの下端面の滑落を阻止するための
溝１２ｅが刻設されている。駆動プーリ１２ｂ，従動プ
ーリ１２ｃ，搬送ベルト１２ｄの間には、搬送ベルト２
ｄの撓みを防止するガイド１２ｆが設けられている。
転駆動される駆動プーリ１２ｂと駆動プーリ１２ｂから
離れた従動プーリ１２ｃとの間に搬送ベルト１２ｄがエ
ンドレスに掛渡されている。搬送ベルト１２ｄの表面の
長さ方向には、板材Ｐの下端面の滑落を阻止するための
溝１２ｅが刻設されている。駆動プーリ１２ｂ，従動プ
ーリ１２ｃ，搬送ベルト１２ｄの間には、搬送ベルト２
ｄの撓みを防止するガイド１２ｆが設けられている。
【００２７】この移動機構１２は、前述のフレーム部材
１３の下端部付近に取付ブラケット１６で取付けられ、
搬送方向（横方向）に沿って一部がフレーム部材１３か
ら突出（流体噴射機構１１とほぼ同長）して配置されて
いる。
１３の下端部付近に取付ブラケット１６で取付けられ、
搬送方向（横方向）に沿って一部がフレーム部材１３か
ら突出（流体噴射機構１１とほぼ同長）して配置されて
いる。
【００２８】この搬送ユニット１は、図１に示すよう
に、架台１５の間に連結ブラケット１７を取付けて少し
のスペースを介して搬送方向に複数台が連結され、板材
Ｐを長距離搬送することのできる検査のための搬送ライ
ン（検査ライン）が構成される。なお、隣接する搬送ユ
ニット１の流体噴射機構１１同士，移動機構１２同士の
間にもスペースが確保されている。また、構成された搬
送ラインの４番目の搬送ユニット１と５番目の搬送ユニ
ット１とは、流体噴射機構１１の上下位置が異なってい
る。
に、架台１５の間に連結ブラケット１７を取付けて少し
のスペースを介して搬送方向に複数台が連結され、板材
Ｐを長距離搬送することのできる検査のための搬送ライ
ン（検査ライン）が構成される。なお、隣接する搬送ユ
ニット１の流体噴射機構１１同士，移動機構１２同士の
間にもスペースが確保されている。また、構成された搬
送ラインの４番目の搬送ユニット１と５番目の搬送ユニ
ット１とは、流体噴射機構１１の上下位置が異なってい
る。
【００２９】なお、搬送ラインの連結の最前部の搬送ユ
ニット１は、図６に示すように、板材Ｐが供給される供
給側３から搬送ラインに板材Ｐを受取る専用台とされて
いる。搬送ラインの連結の最後部の搬送ユニット１は、
図７に示すように、搬送ラインから板材Ｐが回収される
回収側４へ板材Ｐを渡す専用台とされている。搬送ライ
ンの連結の最前部の搬送ユニット１と供給側３との間に
は、図８に示すように、板材Ｐの受渡しを行う多軸ロボ
ットからなる供給受渡機構５が配置されている。搬送ラ
インの連結の最後部の搬送ユニット１と回収側４との間
には、図８に示すように、板材Ｐの受渡しを行う回収受
渡機構６が配置されている。
ニット１は、図６に示すように、板材Ｐが供給される供
給側３から搬送ラインに板材Ｐを受取る専用台とされて
いる。搬送ラインの連結の最後部の搬送ユニット１は、
図７に示すように、搬送ラインから板材Ｐが回収される
回収側４へ板材Ｐを渡す専用台とされている。搬送ライ
ンの連結の最前部の搬送ユニット１と供給側３との間に
は、図８に示すように、板材Ｐの受渡しを行う多軸ロボ
ットからなる供給受渡機構５が配置されている。搬送ラ
インの連結の最後部の搬送ユニット１と回収側４との間
には、図８に示すように、板材Ｐの受渡しを行う回収受
渡機構６が配置されている。
【００３０】検査機構２は、内部検査機構２１，エッジ
検査機構２２，表面検査機構２３の３種類で構成されて
いる。
検査機構２２，表面検査機構２３の３種類で構成されて
いる。
【００３１】内部検査機構２１は、板材Ｐの内部の欠陥
の検査を行うもので、板材Ｐに光を透過させるキセノン
ランプ２１ａと、板材Ｐを透過した光により板材Ｐの像
を投影するスクリーン２１ｂと、スクリーン２１に投影
された板材Ｐの像を撮像するカメラ２１ｃとを備えてい
る。
の検査を行うもので、板材Ｐに光を透過させるキセノン
ランプ２１ａと、板材Ｐを透過した光により板材Ｐの像
を投影するスクリーン２１ｂと、スクリーン２１に投影
された板材Ｐの像を撮像するカメラ２１ｃとを備えてい
る。
【００３２】この内部検査機構２１は、板材Ｐが搬送ユ
ニット１（流体噴射機構１１同士，移動機構１２同士）
の間を搬送され板材Ｐの周囲に障害物の存在しない位置
で板材Ｐに光を透過する。
ニット１（流体噴射機構１１同士，移動機構１２同士）
の間を搬送され板材Ｐの周囲に障害物の存在しない位置
で板材Ｐに光を透過する。
【００３３】エッジ検査機構２２は、板材Ｐのエッジ
（端縁）の欠陥の検査を行うもので、搬送される板材Ｐ
の搬送方向のエッジに固定位置からレーザ光を照射して
検査する第１検査機構２２ａと、搬送の停止された板材
Ｐの搬送方向と直交するエッジに板材Ｐの搬送方向と直
交する方向に走行しながらレーザ光を照射して検査する
第２検査機構２２ｂとを備えている。
（端縁）の欠陥の検査を行うもので、搬送される板材Ｐ
の搬送方向のエッジに固定位置からレーザ光を照射して
検査する第１検査機構２２ａと、搬送の停止された板材
Ｐの搬送方向と直交するエッジに板材Ｐの搬送方向と直
交する方向に走行しながらレーザ光を照射して検査する
第２検査機構２２ｂとを備えている。
【００３４】このエッジ検査機構２２は、搬送ユニット
１の間のスペースを利用して設備されている。従って、
エッジ検査機構２２の設備によって板材Ｐの搬送を阻害
することがない。
１の間のスペースを利用して設備されている。従って、
エッジ検査機構２２の設備によって板材Ｐの搬送を阻害
することがない。
【００３５】表面検査機構２３は、板材Ｐの表面（裏
面）の欠陥の検査を行うもので、板材Ｐの表面（裏面）
に光を照射するハロゲンランプ２３ａと、ハロゲンラン
プ２３を板材Ｐに対して移動させる移動部２３ｂと、移
動部２３ｂ掴んで操作する取手２３ｃとを備えている。
面）の欠陥の検査を行うもので、板材Ｐの表面（裏面）
に光を照射するハロゲンランプ２３ａと、ハロゲンラン
プ２３を板材Ｐに対して移動させる移動部２３ｂと、移
動部２３ｂ掴んで操作する取手２３ｃとを備えている。
【００３６】この表面検査機構２３は、ハロゲンランプ
２３ａを作業員の手作業により移動させて目視による検
査を行うもので、流体噴射機構１１の上下位置が異なっ
ている搬送ラインの４番目，５番目の搬送ユニット１に
設備されている（図９参照）。搬送ラインの４番目，５
番目の搬送ユニット１では、表面検査機構２３で異なる
領域Ｘ，Ｙを分担して検査し、検査する領域Ｘ，Ｙから
流体噴射機構１１を排除して目視の邪魔にならないよう
にしている。なお、この搬送ラインの４番目，５番目の
搬送ユニット１には、先の内部検査機構２１，エッジ検
査機構２２で欠陥が発見された板材Ｐについての無用の
検査作業を避けるため、作業員に視覚的，聴覚的に告知
するための表示部７が備えられている。
２３ａを作業員の手作業により移動させて目視による検
査を行うもので、流体噴射機構１１の上下位置が異なっ
ている搬送ラインの４番目，５番目の搬送ユニット１に
設備されている（図９参照）。搬送ラインの４番目，５
番目の搬送ユニット１では、表面検査機構２３で異なる
領域Ｘ，Ｙを分担して検査し、検査する領域Ｘ，Ｙから
流体噴射機構１１を排除して目視の邪魔にならないよう
にしている。なお、この搬送ラインの４番目，５番目の
搬送ユニット１には、先の内部検査機構２１，エッジ検
査機構２２で欠陥が発見された板材Ｐについての無用の
検査作業を避けるため、作業員に視覚的，聴覚的に告知
するための表示部７が備えられている。
【００３７】この実施の形態によると、搬送ユニット１
がフレーム構造等からなるため、安価，軽量に製造する
ことができるとともに、検査機構２の設備のための取付
構造が簡素化される。また、搬送ユニット１が少しのス
ペースを介して連結され板材Ｐに対して流体噴射機構１
１のみが対面する構造であるため、検査機構２の設備に
制約がなくなる。
がフレーム構造等からなるため、安価，軽量に製造する
ことができるとともに、検査機構２の設備のための取付
構造が簡素化される。また、搬送ユニット１が少しのス
ペースを介して連結され板材Ｐに対して流体噴射機構１
１のみが対面する構造であるため、検査機構２の設備に
制約がなくなる。
【００３８】この実施の形態では、供給側３から供給さ
れた板材Ｐが供給受渡機構５によって搬送ラインの最前
部の搬送ユニット１に載せられ、板材Ｐが搬送ユニット
１で構成される搬送ラインを搬送される間に検査機構２
によって検査され、検査の完了した板材Ｐが搬送ライン
の最後部の搬送ユニット１から回収受渡機構６によって
回収側４に回収される。従って、搬送ラインで板材Ｐを
搬送しながら（一時的な停止はあるが）、板材Ｐについ
て種類の異なる検査を連続的に実行することができ、板
材Ｐの全ての検査を短時間で完了することができる。
れた板材Ｐが供給受渡機構５によって搬送ラインの最前
部の搬送ユニット１に載せられ、板材Ｐが搬送ユニット
１で構成される搬送ラインを搬送される間に検査機構２
によって検査され、検査の完了した板材Ｐが搬送ライン
の最後部の搬送ユニット１から回収受渡機構６によって
回収側４に回収される。従って、搬送ラインで板材Ｐを
搬送しながら（一時的な停止はあるが）、板材Ｐについ
て種類の異なる検査を連続的に実行することができ、板
材Ｐの全ての検査を短時間で完了することができる。
【００３９】搬送ラインでは、搬送ユニット１の移動機
構１２の搬送ベルト１２ｄに載せられた板材Ｐが流体噴
射機構１１の流体噴射孔１１ｂから噴射される流体Ａに
よって転倒を阻止されながら搬送されることになる。従
って、板材Ｐが起立状態で搬送されるため、設置床面積
を狭くすることができ、板材Ｐが大型化しても設置が困
難になることはない。また、搬送される板材Ｐは、下端
面で荷重の大部分が下支えされ裏面で流体Ａの噴射圧力
で荷重の一部分（転倒力）が側支えされるため、板材Ｐ
の撓み，転倒が防止される。従って、流体Ａの噴射圧力
を単に板材Ｐの転倒が阻止されるように調整するだけで
よく、流体Ａの噴射圧力を精密に調整しなくてもすむた
め、板材Ｐの大きさに対応する運転調整が容易になる。
なお、板材Ｐが下端面を支持する周囲部材以外と非接触
となるため、搬送途中での板材Ｐの損傷，破損が防止さ
れる。
構１２の搬送ベルト１２ｄに載せられた板材Ｐが流体噴
射機構１１の流体噴射孔１１ｂから噴射される流体Ａに
よって転倒を阻止されながら搬送されることになる。従
って、板材Ｐが起立状態で搬送されるため、設置床面積
を狭くすることができ、板材Ｐが大型化しても設置が困
難になることはない。また、搬送される板材Ｐは、下端
面で荷重の大部分が下支えされ裏面で流体Ａの噴射圧力
で荷重の一部分（転倒力）が側支えされるため、板材Ｐ
の撓み，転倒が防止される。従って、流体Ａの噴射圧力
を単に板材Ｐの転倒が阻止されるように調整するだけで
よく、流体Ａの噴射圧力を精密に調整しなくてもすむた
め、板材Ｐの大きさに対応する運転調整が容易になる。
なお、板材Ｐが下端面を支持する周囲部材以外と非接触
となるため、搬送途中での板材Ｐの損傷，破損が防止さ
れる。
【００４０】図１０は、本発明に係る板材検査システム
の実施の形態（２）を示すものである。
の実施の形態（２）を示すものである。
【００４１】この実施の形態は、搬送ユニット１の流体
噴射機構１１，フレーム部材１３を水平方向へ相対して
配置した構成になっている。なお、搬送ユニット１の移
動機構１２は、一方のフレーム部材１３に取付けられて
いる。また、搬送ユニット１の架台１５は、背高の低い
台車型に形成されている。
噴射機構１１，フレーム部材１３を水平方向へ相対して
配置した構成になっている。なお、搬送ユニット１の移
動機構１２は、一方のフレーム部材１３に取付けられて
いる。また、搬送ユニット１の架台１５は、背高の低い
台車型に形成されている。
【００４２】この実施の形態によると、板材Ｐの表面，
裏面の両面に流体Ａをほぼ直交する角度で噴射して、板
材Ｐを垂直の起立状態に維持しておき、起立した板材Ｐ
を下端面で下支えしながら移動させることになる。従っ
て、板材Ｐの表面，裏面の両面側に流体Ａの噴射圧力が
掛かって垂直の起立状態が強力に維持されるため、搬送
中の板材Ｐがクリーンルームの空調の気流等によってぶ
れ等を生ずることがなくなる。
裏面の両面に流体Ａをほぼ直交する角度で噴射して、板
材Ｐを垂直の起立状態に維持しておき、起立した板材Ｐ
を下端面で下支えしながら移動させることになる。従っ
て、板材Ｐの表面，裏面の両面側に流体Ａの噴射圧力が
掛かって垂直の起立状態が強力に維持されるため、搬送
中の板材Ｐがクリーンルームの空調の気流等によってぶ
れ等を生ずることがなくなる。
【００４３】以上、図示した実施の形態の外に、液晶ガ
ラス基板以外の材質からなる板材Ｐの搬送に適用するこ
とも可能である。
ラス基板以外の材質からなる板材Ｐの搬送に適用するこ
とも可能である。
【００４４】さらに、板材Ｐの材質に対応して噴射され
る流体Ａを不活性ガス等の他の気体や水等の液体とする
ことも可能である。
る流体Ａを不活性ガス等の他の気体や水等の液体とする
ことも可能である。
【００４５】
【発明の効果】 以上のように、本発明に係る板材検査
システムは、板材を起立状態で搬送するため、設置床面
積が狭くなる効果がある。また、この効果により、板材
が大型化しても設置が困難になることがない効果が生ず
る。
システムは、板材を起立状態で搬送するため、設置床面
積が狭くなる効果がある。また、この効果により、板材
が大型化しても設置が困難になることがない効果が生ず
る。
【００４６】また、搬送される板材に搬送ユニットの流
体噴射機構のみを対面させて板材の周囲を広く開放して
いるため、検査機構の設備の制約がなくなる効果があ
る。
体噴射機構のみを対面させて板材の周囲を広く開放して
いるため、検査機構の設備の制約がなくなる効果があ
る。
【００４７】また、搬送ユニット，検査機構を搬送方向
へ並設して板材を連続的に検査できるようにしたため、
板材の全ての検査を短時間で完了することができる効果
がある。
へ並設して板材を連続的に検査できるようにしたため、
板材の全ての検査を短時間で完了することができる効果
がある。
【００４８】また、起立した板材の荷重を下支えし板材
の転倒を流体の噴射圧力で阻止するため、精密な調整を
行うことなく搬送される板材の撓み，滑動が防止される
効果がある。また、この効果により、板材の大きさに対
応する運転調整が容易になる効果が生ずる。
の転倒を流体の噴射圧力で阻止するため、精密な調整を
行うことなく搬送される板材の撓み，滑動が防止される
効果がある。また、この効果により、板材の大きさに対
応する運転調整が容易になる効果が生ずる。
【００４９】さらに、請求項２として、供給受渡機構，
回収受渡機構により板材を供給，回収するため、板材を
供給，回収段階を含めて板材の全ての検査を短時間で完
了することができる効果がある。
回収受渡機構により板材を供給，回収するため、板材を
供給，回収段階を含めて板材の全ての検査を短時間で完
了することができる効果がある。
【００５０】さらに、請求項３として、検査機構が搬送
ユニットの間のスペースを利用して設備されるため、板
材の搬送を阻害することなく検査機構を設備することが
できる効果がある。
ユニットの間のスペースを利用して設備されるため、板
材の搬送を阻害することなく検査機構を設備することが
できる効果がある。
【００５１】さらに、請求項４として、板材に対する流
体噴射機構の対面位置の異なる搬送ユニットが連結され
るため、検査の領域を分担することで流体噴射機構が検
査の邪魔にならなくなる効果がある。
体噴射機構の対面位置の異なる搬送ユニットが連結され
るため、検査の領域を分担することで流体噴射機構が検
査の邪魔にならなくなる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る板材検査システムの実施の形態
（１）を示す正面図である。
（１）を示す正面図である。
【図２】 図１の拡大側面図である。
【図３】 図２の要部の拡大図である。
【図４】 図２の他の要部の拡大断面図である。
【図５】 図２の正面図である。
【図６】 図１への板材の供給例を示す側面図である。
【図７】 図１からの板材の回収例を示す側面図であ
る。
る。
【図８】 図６，図７の平面図である。
【図９】 図１の要部の拡大図である。
【図１０】 本発明に係る板材検査システムの実施の形
態（２）を示す側面図である。
態（２）を示す側面図である。
【符号の説明】 １ 搬送ユニット １１ 流体噴射機構 １２ 移動機構 ２ 検査機構 ３ 供給側 ４ 回収側 ５ 供給受渡機構 ６ 回収受渡機構 Ａ 流体 Ｐ 板材
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ (72)発明者 鈴木 陸夫 静岡県小笠郡大須賀町大渕12117 コーニ ングジャパン株式会社静岡工場内 (72)発明者 新海 正幸 静岡県小笠郡大須賀町大渕12117 コーニ ングジャパン株式会社静岡工場内 (72)発明者 穴田 正幸 静岡県小笠郡大須賀町大渕12117 コーニ ングジャパン株式会社静岡工場内 (72)発明者 桜井 修 静岡県小笠郡大須賀町大渕12117 コーニ ングジャパン株式会社静岡工場内 (72)発明者 筑間 剛志 千葉県松戸市飛台504番地 株式会社筑間 鉄工所内 Ｆターム(参考） 2F065 AA49 BB13 BB22 CC25 DD06 FF02 FF04 GG02 GG03 GG04 JJ12 JJ14 JJ19 JJ26 MM07 PP11 SS11 2F069 AA60 BB13 CC06 DD15 GG04 GG07 JJ06 JJ13 JJ19 MM02 MM31 RR01 5F031 CA05 FA02 FA12 FA15 FA18 GA15 GA24 GA30 GA45 GA51 GA63 JA40 LA13 MA03 MA09 MA33 NA02
Claims (4)
- 【請求項１】 搬送方向に沿って配置され搬送される板
材に流体を噴射して板材を起立させる流体噴射機構と流
体噴射機構の下方に配置され板材を下端面で下支えしな
がら搬送方向へ移動させる移動機構とを備えた搬送ユニ
ットと、板材を検査する検査機構とからなり、搬送ユニ
ットは搬送方向へ複数台が連結され、検査機構は種類の
異なる検査を行うものが搬送ユニットごとに設備されて
いる板材検査システム。 - 【請求項２】 請求項１の板材検査システムにおいて、
連結の最前部の搬送ユニットは板材が供給される供給側
から板材を受取る専用台とされ、連結の最後部の搬送ユ
ニットは板材が回収される回収側へ板材を渡す専用台と
され、連結の最前部の搬送ユニットと供給側との間に板
材の受渡しを行う供給受渡機構が配置され、連結の最後
部の搬送ユニットと回収側との間に板材の受渡しを行う
回収受渡機構が配置されていることを特徴とする板材検
査システム。 - 【請求項３】 請求項１または２の板材検査システムに
おいて、検査機構は隣接する搬送ユニットの間に設備さ
れていることを特徴とする板材検査システム。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかの板材検査シス
テムにおいて、少なくとも２台の搬送ユニットの流体噴
射機構の上下位置を異ならせたことを特徴とする板材検
査システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001119731A JP2002310639A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 板材検査システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001119731A JP2002310639A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 板材検査システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002310639A true JP2002310639A (ja) | 2002-10-23 |
Family
ID=18969902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001119731A Pending JP2002310639A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 板材検査システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002310639A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004168496A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-06-17 | Kawaju Plant Kk | 板材の縦型搬送装置 |
| JP2006327819A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Central Glass Co Ltd | ガラス板の移載装置および移載方法 |
| JP2007238224A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Amagasaki Kosakusho:Kk | ガラス板搬送装置 |
| JP2007246287A (ja) * | 2007-05-28 | 2007-09-27 | Kawasaki Plant Systems Ltd | 板材の縦型搬送装置 |
| WO2009122595A1 (ja) * | 2008-04-02 | 2009-10-08 | 日本エレクトロセンサリデバイス株式会社 | 板状体の搬送装置及びこれを用いた板状体の検査装置 |
| JP2010126319A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Ckd Corp | 平板状部材の搬送装置 |
| KR101112509B1 (ko) * | 2003-08-21 | 2012-02-24 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 반송 시스템 |
-
2001
- 2001-04-18 JP JP2001119731A patent/JP2002310639A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004168496A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-06-17 | Kawaju Plant Kk | 板材の縦型搬送装置 |
| KR101112509B1 (ko) * | 2003-08-21 | 2012-02-24 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 반송 시스템 |
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| JP4590570B2 (ja) * | 2007-05-28 | 2010-12-01 | カワサキプラントシステムズ株式会社 | 板材の縦型搬送装置 |
| WO2009122595A1 (ja) * | 2008-04-02 | 2009-10-08 | 日本エレクトロセンサリデバイス株式会社 | 板状体の搬送装置及びこれを用いた板状体の検査装置 |
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