JP4882726B2 - 枚葉基板搬送方法及び枚葉基板搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、製造工程間を搬送するための枚葉基板搬送方法及び枚葉基板搬送装置に関する。

従来では、基板を多様な装置へ移動させて、複数の工程を連続して製造する液晶表示装置、又は半導体装置の製造工程においては、ガラス等の枚葉基板の主な移動手段として、搬送コンベアに代表される枚葉板搬送装置が用いられている。

現状採用されている搬送コンベアは、水平コロコンベアと称される方式、又はエアー浮上搬送方式等が一般的である。前記水平コロコンベア方式は、コロの材質、運転時でのコロの停止速度を制御すること等に配慮することで、安定した板搬送が可能となる。エアー浮上搬送方式は、非接触のため傷、溌塵が発生せず、高速度搬送等の安定した板搬送が可能となる。

現状、採用されている水平コロコンベアは、複数のコロを基板搬送方向に配列し、モータによりコロが回転駆動することによる搬送であり、コロ上の基板を一方向へ搬送する。

エアー浮上搬送方式は、スリット加工、又は穿孔した平面形状のエアー噴出し面を搬送面として設け、この上に載置した基板と搬送面の隙間に噴出したエアーにより基板を浮上させ、搬送機構を介して水平駆動することによる搬送であり、搬送面上の基板を一方向へ搬送する。

コロコンベアの基板搬送では、コロと、基板との接触による基板の品質に不具合が発生する。例えば、基板のワレ、カケ、汚れ等の発生する問題がある。具体的に説明すると、コロコンベアの基板搬送では、搬送速度に上限速度、例えば２５〜３０ｍ／ｍｉｎである。上限速度は、基板の薄板化の場合には割れ易くなるため、さらに低速化する必要がある。コロコンベアの基板搬送では、基板の大型化の場合には搬送効率が低下するため、搬送方向に配置するコロ数がより増加し、設備費用の増大する。コロコンベアの基板搬送では、基板の薄板化及び大型化により、搬送時の接触の頻度が増大し、基板不良、例えば、基板ワレ、キズ、又は溌塵による異物付着が発生する。コロコンベアの基板搬送では、基板の大型化により、コロ周辺の清掃時間の増加、保守のコロ交換時間の増加等、保守メンテナンスの作業時間が増加し、関連する装置の稼働率も低下する。

エアー浮上の基板搬送では、搬送面と、基板との接触を防止するため基板の浮上量（搬送面と基板の隙間の距離、すなわちギャップ平坦度）を確保する必要がある。なお、ギャップが均一となる場合を平坦度とした。平坦度が常時確保できない場合品質不具合が発生する場合がある。例えば、基板の傷、ワレ、カケ、汚れ等の発生する問題がある。具体的に説明すると、エアー浮上の基板搬送では、搬送時、基板全面に対する平坦度を確保するため、エアー噴出する搬送面がより大型化となり設備費用が増大する。エアー浮上の基板搬送では、基板の大型化の場合には、搬送方向に配置する搬送面の面積及び噴出口の配置数がより増加し、設備費用の増大する。エアー浮上の基板搬送では、基板の薄板化及び大型化により、搬送面のスリット、孔の配置密度が増加し、設備費用の増大する。エアー浮上の基板搬送では、基板の薄板化及び大型化、平坦度により、エアーの消費量が増加し、製造コストが増大する。エアー浮上の基板搬送では、基板の薄板化及び大型化により、搬送時のエアーの噴射量が増大し、クリーンルームの清浄エアーの層流を乱し基板不良、例えば、異物付着が発生する。エアー浮上の基板搬送では、基板の大型化により、搬送面周辺の保守整備の不備、長い距離で高速度保の搬送において基板の蛇行が発生し、例えば、基板のワレ、カケ、汚れ等の発生する問題がある。エアー浮上の基板搬送では、基板の大型化により、搬送面周辺の清掃時間の増加、保守の搬送面交換時間の増加等、保守メンテナンスの作業時間が増加し、関連する装置の稼働率も低下する。

近年、基板の、例えば基板のサイズの多様化、又は大型化に伴い、水平コロコンベアは、アライメント機構が複雑化すること、又は搬送時の停止位置の搬送位置精度が低下すること等の問題があり、効率面では搬送数の効率が低下する問題があり、これらの問題は構造上では回避できない。更に、コロの回転等による発塵、基板とコロとの接触による傷の発性等でも構造上では回避できない問題がある。

以下に公知文献を記す。
特許２６８３３１９号公報

枚葉基板搬送方法、又は枚葉基板搬送装置において、複数のサイズの板を扱う基板搬送においても、薄板の大型基板を高速度で、直線搬送する場合でも、装置が複雑な機構が不要となる、装置コストが増加せず、搬送位置精度を高精度に維持し、基板を清浄に維持しながら、高速搬送、基板の蛇行がない、瞬時の停止を実現する枚葉基板搬送方法及びメンテナンス負荷を低減した枚葉基板搬送装置を提供すること。

本発明の請求項１に係る発明は、搬送ラインと、その搬送ライン上を移動させることにより、多様な装置を含む工程に枚葉の基板を連続して供給する枚葉基板搬送方法において、搬送ラインは、
搬送軸センターの装置台上に基板保持部材の浮上機能を備えた基板保持部材浮上部位と、装置台上の搬送軸センターの基板保持部材を駆動する駆動機能を備えた基板保持部材駆動部位からなり、
搬送軸センター上に枚葉基板を載置する基板保持部材であって、
基板保持部材の表面に基板を載置するための治具及び基板保持部材の一部裏面に基板保持部材浮上補助部位及び基板保持部材駆動補助部位を一体構造とした基板保持部材と、
装置台上に配置した基板保持部材浮上部位及び基板保持部材駆動部位の各々の表面に基板保持部材浮上補助部位、若しくは基板保持部材駆動補助部位を重ね合わせるように配置した部位構成を装備した基板保持部材を搬送する枚葉基板搬送方法であって、
基板保持部材の浮上機能として、基板保持部材浮上補助部位の下方に、基板保持部材浮上部位の表面よりエアーを吹き付けることで基板保持部材を浮上させることができる基板保持部材浮上部位のエアー浮上レールを装置台上に固着配置し、配列したエアー浮上レールを搬送方向に配置した基板保持部材浮上部位と、
基板保持部材の駆動機能として、基板保持部材駆動補助部位の回転子の下方に、基板保持部材駆動部位の固定子を加電することで回転子を電動させることができる基板保持部材駆動部位の駆動部位レールを装置台上に固着配置し、配列した駆動部位レールを搬送方向に配置した基板保持部材駆動部位と、
基板保持部材浮上部位のエアー浮上レールの上面と向き合うように、基板保持部材浮上補助部位の下端の裏面が配置され、基板保持部材駆動部位の固定子の駆動部位レールの上面に向き合うように、基板保持部材駆動補助部位の下端の裏面の回転子が配置され、
基板と、基板保持部材浮上補助部位及び基板保持部材駆動補助部位とを一体構造とした基板保持部材を、
装置台上に配置したエアー浮上レールの表面上に基板保持部材駆動補助部位の裏面を浮上機能により基板保持部材を浮上させて保持し、
基板保持部材駆動補助部位裏面の回転子を装置台上に配置した駆動部位レールの固定子を介して基板保持部材を駆動させ、
基板保持部材を浮上させたまま、
基板保持部材駆動補助部位の裏面と駆動部位レール表面とが非接触で、枚葉基板を載置した基板保持部材を搬送方向に高速に移動、且つ停止させることを特徴とする枚葉基板搬送方法である。

本発明の請求項２に係る発明は、前記基板保持部材浮上部位は、そのエアー浮上レールを基板保持部材の両端の直下に配置し、各々エアー浮上レール表面を外側に等角度で傾斜させた面と水平面からなる密着面を形成し、且つ各々基板保持部材浮上補助部位の裏面を内側に傾斜させた面と水平面を形成して、各々エアー浮上レール表面と基板保持部材浮上補助部位裏面とが平行にして、直線状に高速に移動させることを特徴とする請求項１記載の枚葉基板搬送方法である。

本発明の請求項３に係る発明は、搬送ラインと、その搬送ライン上を移動させることにより、多様な装置を含む工程に枚葉の基板を連続して供給するための枚葉基板搬送装置において、
搬送ラインは、
装置台の搬送軸センター上に基板保持部材の浮上機能を備えた基板保持部材浮上部位のエアー浮上レールと、
装置台の搬送軸センターの基板保持部材のエアー浮上レールのうちの固定側の外側位置に基板保持部材の駆動機能を備えた基板保持部材駆動部位の駆動部位レールからなり、
搬送軸センター上に枚葉基板を載置する基板保持部材であって、
基板保持部材の一部裏面に基板保持部材浮上補助部位及び基板保持部材駆動補助部位を一体構造とした基板保持部材を、
基板保持部材浮上部位のエアー浮上レールの上面と向き合うように、基板保持部材浮上補助部位の下端の裏面が配置され、基板保持部材駆動部位の駆動部位レールの上面と向き合うように、基板保持部材駆動補助部位の下端の裏面が配置された基板保持部材を搬送する枚葉基板搬送装置であって、
基板保持部材の浮上機能として、エアー吹き付けにより浮上するための、基板保持部材浮上補助部位の下面側に基板保持部材浮上部位のエアー浮上レールを装置台上に固着配置し
、基板保持部材の駆動機能として、加電より駆動するための、基板保持部材駆動補助部位の下面側に基板保持部材駆動部位の駆動部位レールを装置台上に固着配置した枚葉基板搬送装置であって、
基板と、基板保持部材浮上補助部位及び基板保持部材駆動補助部位を一体構造とした基板保持部材を、
基板保持部材浮上部位のエアー浮上レールの表面上に基板保持部材駆動補助部位の裏面を浮上機能により浮上させて保持し、
基板保持部材駆動補助部位の回転子と装置台上に配置した駆動部位レールの固定子を介して基板保持部材を駆動させ、
基板保持部材を浮上させたまま、
基板保持部材駆動補助部位の裏面の回転子と駆動部位レール表面の固定子とが非接触で、基板を載置した基板保持部材を搬送方向に高速に移動、且つ停止させる搬送機能を装備させたことを特徴とする枚葉基板搬送装置である。

本発明の請求項４に係る発明は、前記基板保持部材浮上部位は、そのエアー浮上レールを基板保持部材両端の直下に各々配置し、各々エアー浮上レール表面を外側に等角度で傾
斜させ、且つ各々基板保持部材浮上補助部位の裏面を内側に等角度で傾斜させ、各々表面と裏面が平行にしたことを特徴とする請求項３記載の枚葉基板搬送装置である。

本発明の枚葉基板搬送方法を用いれば、複数個を配列した多孔質パッドが基板の下面側よりエアーを吹き付けることで基板を浮上させることにより、搬送中の基板は接触せずに高速搬送される。

本発明の枚葉基板搬送方法を用いれば、エアー浮上レール面上に浮上補助部位裏面が浮上し、且つ駆動部位レールの固定子と駆動補助部位裏面の回転子とのリニア―モーター駆動によって基板保持部材を搬送することで、搬送速度を１００ｍ／ｍｉｎの高速搬送することができるため、枚葉基板の搬送効率が向上する。

本発明の枚葉基板搬送方法を用いれば、駆動部位レールの固定子と駆動補助部位裏面の回転子とのリニア―モーター駆動によって基板保持部材を搬送することで、搬送途中では駆動部位レールの固定子の配置を最少限度まで低減可能となり、設備費用も低減できる。

本発明の枚葉基板搬送方法を用いれば、装置台の搬送軸センター上にはエアー浮上レールが基板保持部材の両端に及び駆動部位レールが固定側のみに固着配置となるため、装置台の搬送軸センター上近傍での清浄空気の層流が乱流せずに、基板の清浄度が維持され、設備費用も低減できる。

本発明の基板搬送装置を用いれば、エアー浮上レールの表面が外側に傾斜させた面と水平面とを持つことにより、高速搬送、長距離でも基板の蛇行がない枚葉基板の搬送ができ、駆動部位レールの固定子と駆動補助部位裏面の回転子とのリニア―モーター駆動のため、非接触多等の発塵源若しくは乱流現象を最少限度に押さえ込んだことにより、基板の搬送でのクリーン環境が維持され、メンテナンス負荷を低減した搬送業務の効率化する効果がある。

本発明の基板搬送装置を用いれば、エアー浮上レール、駆動部位レール、基板保持部材のリターン用に高さ位置の切り替え付きベルトコンベア―を付設したことにより、装置のフットプリントを縮小させることにより、設備費用も低減できる。

本発明の枚葉基板搬送方法及び枚葉基板搬送装置を一実施形態に基づいて以下説明する。

本発明の枚葉基板搬送方法は、搬送ライン７０と、基板保持部材１０とを用いて、その基板保持部材に載置する枚葉基板１を搬送軸センター７２上で搬送する搬送方法である（図１参照）。

図１は、本発明の枚葉基板搬送方法の一実施例を説明する上面図であり、（ａ）は基板搬送先（終点部）の装置台上の基板であり、（ｂ）は、基板と移載ロボットとである。

図１（ａ）は、基板搬送先（終点）での枚葉基板１であり、搬送が終了した直後の装置台７１と、枚葉基板１を載置した基板保持部材１０の関連図であり、基板保持部材１０は、終点位置に停止された状態である。基板保持部材１０は、装置台上７１の両端に付設の基板保持部材浮上部位２１上を浮上して、固定側（図右側）のみに付設の基板保持部材駆動部位２３上を基板搬送方向７３へ搬送される。搬送時では、基板保持部材１０は、基板保持部材浮上部位２１と、基板保持部材駆動部位２３に導かれて、搬送軸センター７２上を直線搬送する。

搬送ライン７０は、搬送軸センターの装置台７１上に基板保持部材１０の浮上機能を備えた基板保持部材浮上部位２１と、装置台上の搬送軸センターの基板保持部材１０を駆動する駆動機能を備えた基板保持部材駆動部位２３からなる配置である（図１参照）。

基板保持部材１０は、搬送軸センター７２上で枚葉基板１を載置するものであって、基板保持部材１０の表面に基板を載置するための治具１４と、基板保持部材の一部裏面に浮上補助部位１１及び駆動補助部位１３とを一体構造とした基板を保持する部材である（図２参照）。

本発明の枚葉基板搬送方法は、装置台７１上に配置した基板保持部材浮上部位２１及び基板保持部材駆動部位２３の各々の表面に浮上補助部位１１、若しくは駆動補助部位１３を重ね合わせるように配置した部位構成を装備し、その装備を用いた基板保持部材を搬送する方法である（図１、図２参照）。

基板保持部材１０の浮上機能としては、基板保持部材浮上部位２１には、浮上補助部位１１の下方に、基板保持部材浮上部位２１の表面よりエアーを吹き付けることで基板保持部材１０を浮上させることができる基板保持部材浮上部位２１を装置台上に固着配置し、配列した基板保持部材浮上部位２１を基板搬送方向７３に配置した（図１参照）。

基板保持部材１０の駆動機能としては、基板保持部材駆動部位２３には、駆動補助部位の下方に、基板保持部材駆動部位２３を加電することで電動させることができる基板保持部材駆動部位２３を装置台上に固着配置し、配列した基板保持部材駆動部位２３を搬送方向に配置した（図１参照）。

装置台７１では、基板保持部材浮上部位２１の上面と向き合うように、浮上補助部位の下端の裏面１１ａが配置され、基板保持部材駆動部位２３の上面に向き合うように、駆動補助部位下端の裏面１３ａが配置され、搬送軸センター７２では、基板搬送方向７３へ枚葉基板１と、基板保持部材１０を基板搬送方向へ搬送する（図１参照）。

図１（ａ）を参照し、本発明の枚葉基板搬送方法を説明する。なお、（ａ）〜（ｆ）により基板保持部材１０及び枚葉基板１が始点から終点まで搬送時では、最初に、搬送装置は稼働状態に通電する。すなわち、エアー吹き付けによる基板保持部材の浮上と、基板保持部材駆動部位の加電をともに稼働状態にする。浮上した状態で、駆動部位の加電も維持しながら、予め指示した基板搬送元から基板搬送先までの基板を搬送する。

最初に搬送装置を稼働状態、すなわち、浮上及び加電を開始した。次いで、（ａ）、基板搬送元（始点）では、移載ロボットにより枚葉基板１を空の基板保持部材１０へ載置し、治具１４により枚葉基板１を把持し、始点位置に停止する。

（ｂ）、始点部での枚葉基板１及び基板保持部材１０は、始点位置上で基板保持部材浮上部位２１の表面よりエアーを吹き付けることで基板保持部材１０を浮上させる。

（ｃ）、次いで、基板保持部材駆動部位２３の駆動により基板保持部材１０を基板搬送方向７３に駆動させ、搬送する。

（ｄ）、次いで、基板搬送先（終点）の停止位置に枚葉基板を載置した基板保持部材１０が停止する。

（ｅ）、次いで、基板保持部材１０は、終点位置に停止された状態で、基板保持部材１０は、枚葉基板１を装置外へ搬出する準備をする。

（ｆ）、次いで、枚葉基板１を基板保持部材１０から装置外へ搬出する。

以上、（ａ）〜（ｆ）により基板保持部材１０及び枚葉基板１が始点から終点まで搬送される。

図１（ｂ）は、基板搬送先（終点）での枚葉基板１であり、搬送が終了した直後の装置台７１と、枚葉基板を載置した基板保持部材１０の関連図である。終点位置では、移載ロボットが配置されており、移載ロボットのロボットハンド４１が、基板保持部材１０と枚葉基板裏側の空間に挿入されている。ロボットハンド４１は、基板保持部材１０上より枚葉基板１のみを装置外に搬出する。空となった基板保持部材は、ベルトコンベア５０ａ、５０により、基板搬送方向７３の逆方向にリターン搬送する。装置台上７１に付設の基板保持部材浮上部位２１及び基板保持部材駆動部位２３の表面位置は固定されており、ベルトコンベア５０ａ、５０の表面位置は、下部位置に待機されており、必要時は基板保持部材浮上部位２１及び基板保持部材駆動部位２３の表面位置、すなわち上部位置まで昇降駆動部を介して上昇し、該上部位置のベルトコンベア５０ａ、５０は、空の基板保持部材をリターン搬送する。すなわち、枚葉基板の搬送中は、ベルトコンベア５０ａ、５０は下部位置に待機し、リターン搬送中は、ベルトコンベア５０ａ、５０は上部位置にあり、その高さ位置を上下する。なお、本発明の枚葉基板搬送方法では、移載用ロボットによる基板取出しが終了までの間は、浮上及び駆動の加電も維持し、その後のリターン搬送間も浮上及び駆動の加電も維持する方法である。

図１（ｂ）を参照し、そのリターン搬送方法を説明する。

（ｇ）、基板搬送先（終点）での枚葉基板１を装置外に搬出した空の基板保持部材１０は、終点位置に停止する。

（ｈ）、次いで、ベルトコンベア５０ａが上部位置まで上昇し、顎部５１を介して空の基板保持部材１０をベルトコンベア５０ａ上に載せかえる。

（ｉ）、次いで、空の基板保持部材１０は、ベルトコンベア５０ａ上からベルトコンベア５０上に載せかえながら基板搬送方向と逆方向へリターン搬送される。

（ｊ）、次いで、空の基板保持部材１０は、始点位置に停止する。最後に、基板保持部材の浮上と、基板保持部材駆動部位の加電をともに停止状態にする。

以上、（ｇ）〜（ｊ）により基板保持部材１０が終点から始点までリターン搬送される。なお、本発明の枚葉基板の搬送方法は、（ａ）〜（ｆ）により基板保持部材１０及び枚葉基板１が始点から終点までの搬送と、（ｇ）〜（ｊ）により基板保持部材１０のみが終点から始点までリターン搬送とを繰り返し実行する。上述したように、（ａ）〜（ｆ）、（ｇ）〜（ｊ）の間は、搬送装置は稼働状態、すなわち、浮上及び駆動加電を維持する。

図２は、本発明の枚葉基板搬送装置の一実施例を説明する正面断面図であり、（ａ）は基板搬送先（終点）基板と移載ロボットあり、（ｂ）は、搬送中の基板である。

本発明の枚葉基板搬送装置は、搬送ライン７０と、基材保持部材１０からなり、その搬送ライン上を移動させることのより、多様な装置を含む工程に基材保持部材に載置した枚葉基板１を連続して供給するための搬送装置である。

図２の本発明の枚葉基板搬送装置は、装置台７１上に配置したエアー浮上レール２１ａの表面上に、浮上補助部位裏面１１ａを浮上機能により浮上させて基板保持部材１０を保持する。装置台７１上には、材駆動補助部位裏面に回転子１３ｂを配置し、装置台７１上に駆動部位レールの固定子２３ｂを配置した。図２の枚葉基板搬送装置は、回転子１３ｂ及び固定子２３ｂ介して基板保持部材１０を駆動させ、基板保持部材１０を浮上させたまま、駆動補助部位裏面の回転子１３ｂと駆動部位レール表面の固定子２３ｂとが非接触で、枚葉基板１を載置した基板保持部材１０を基板搬送方向７３に高速に移動、且つ停止させる枚葉基板の搬送方法である（図１、図２参照）。

基板保持部材１０は、その表面に基板を載置するための治具１４と、一部裏面に浮上補助部位裏面１１ａ及び駆動補助部位の回転子１３ｂを付設し、一体構造とした基板保持部材である。基板は、一体構造とした基板保持部材の治具１４で把持されている。

治具１４は、基板保持部材の一部表面に付設され、該治具を介して枚葉基板、例えばガラス板と接触し、治具、例えば支持ピン、摩擦式のパッドの機能により把持する。

エアー浮上レール２１ａは、基板保持部材１０の両端の直下で、装置台上に配置した。各々エアー浮上レール表面２１ａを外側に等角度で傾斜させ面と水平面とを形成し、且つ各々浮上補助部位裏面１１ａを内側に傾斜させる面と水平面を形成して、各々エアー浮上レール表面２１ａと浮上補助部位裏面１１ａとが平行にして、直線状に高速に移動させる枚葉基板の搬送方法である（図１、図２参照）。

エアー浮上レールは、エアー浮上レール面を外側に傾斜させて、搬送方向の荷重と幅方向の荷重を同時受けするように２列配置にする方式を用いたことで、蛇行のない安定姿勢の搬送ができる。

搬送ラインは、装置台７１の搬送軸センター上に基板保持部材の浮上機能を備えたエアー浮上レール２１ａと、固定側のエアー浮上レールの外側位置に基板保持部材の駆動機能を備えた駆動部位レール２３ａが付設されている（図２（ａ）参照）。

エアー浮上レール２１ａの上面と向き合うように、浮上補助部位下端の裏面１１ａが配置され、すなわち、左右のエアー浮上レール２１ａ表面の外向き傾斜面上と、左右の浮上補助部位下端の裏面１１ａの内向き傾斜面が重なり合い、その位置で基板保持部材を安定化する状態で載置する。一方、固定側の駆動部位レールの固定子２３ｂの上面と向き合うように、駆動補助部位下端の回転子１３ｂが配置され、固定側の駆動部位レールの固定子２３ｂ表面と、駆動補助部位下端の回転子１３ｂが平面状に接触が重なり合っている。

基板保持部材の浮上機能としては、浮上補助部位下面１１ａ側にエアー浮上レール２１ａ側よりエアー吹き付けを行う。左右のエアー浮上レール２１ａ表面には、エアーを吹き付けることで基板保持部材１１を浮上させることができる多孔質パッドを配置した。左右の多孔質パッドは、エアー吹き出し用孔を内包したものであり、各々孔よりエアーを噴出する部位である。多孔質パッド表面からエアー吹き付けの場合、浮上補助部位下面１１ａがエアー浮上レール２１ａ上に浮上し、非接触となり、左右のエアー浮上レール２１ａと基板保持部材１０は非接触となる。

基板保持部材の駆動機能としては、駆動補助部位下面１３ａ側に回転子１３ｂを付設し、駆動部位レール表面２３ａに固定子２３ｂを付設し、加電より駆動するリニアーモータとした。リニアーモータが電動の場合、その機能により非接触でも駆動、固定子２３ｂの上方面で回転子１３ｂが基板搬送方向へ移動する。なお、浮上補助部位下面１１ａがエアー浮上レール２１ａ上への浮上の距離は、回転子１３ｂが固定子２３ｂ上への浮上の距離とを加減し最適化する。

本発明の枚葉基板搬送装置は、基板１を、浮上補助部位１１及び駆動補助部位１３を一体構造とした基板保持部材１０に載置し、その基板保持部材１０をエアー浮上レール２１ａ上でリニアーモータの駆動部位レールにより基板搬送方向へ搬送する。本発明の枚葉基板搬送装置は、基板保持部材１０を浮上させたまま、その裏面の回転子１３ｂと駆動部位レール表面の固定子２３ｂとが非接触で、基板１を載置した基板保持部材を搬送方向に高速に移動、且つ停止させることを特徴とする。

最初に、エアー浮上レール２１ａの表面上よりエアー吹き付けにより基板保持部材１０を浮上させて保持する。

次いで、基板保持部材１０の裏面の回転子１３ｂと駆動部位レールの固定子２３ｂとに加電によりリニアーモータ駆動介して基板保持部材１０を非接触のまま、基板保持部材１０を始点位置から終点位置の基板搬送方向へ搬送する。

始点から終点までの中間、例えば慣性力により搬送とし、省電力化とした。長距離の搬送では、固定子等の配置の費用、搬送コストを低減する。

図３は、本発明の枚葉基板搬送装置の一実施例を説明する概念図で、（ａ）は、枚葉基板の搬出部の側断面図であり、（ｂ）は、基板保持部材のリターン搬送部の側断面図である。

図３（ａ）は、本発明の基板搬送装置１の基板の搬出部の動作を説明する部分である。搬送ライン７０の終点であり、基板保持部材１０は基板搬送方向から搬送されている。基板保持部材１０は、エアー浮上レール２１ａ、駆動部位レール２３ａを介して搬送ライン上を移動させる。基板保持部材１０は、リニアーモータにより減速し、終点位置で停止する。次いで、停止位置を確認後、或いは、停止確認前から移載ロボットのロボットハンド４１を途中段階まで動かして、基板移載ロボット４０により、ロボットハンド４１を基板１の下部空間に挿入し、ロボットハンドを上昇し、ロボットハンド上に基板を載せ、装置外の所定位置に移載する。

図３（ｂ）は、空の基板保持部材のリターン搬送部の動作を説明する部分である。次いで、リターン搬送昇降駆動部６０により昇降駆動アーム６１を上昇させ、ベルトコンベア５０ａを上昇させ顎部５１を介して基板保持部材１０まで、すなわち上部位置まで上昇する。次いで、ベルトコンベア５０ａを上昇させたあと、基板保持部材１０は、ベルトコンベア５０ａと、ベルトコンベア５０ａの駆動によりリターン搬送する。次いで、昇降駆動アーム６１を降下させ、ベルトコンベア５０ａ、顎部５１を下部位置まで降下させ、待機する。すなわち、空の基板保持部材１０は、上部位置の、ベルトコンベア５０ａとベルトコンベア５０ａの駆動によりリターン搬送する。なお、ベルトコンベア５０ａでは、基板搬送時では、下部位置で待機し、リターン搬送に場合は、上部位置、すなわち基板搬送位置まで上昇する。従って、ロボット稼働中では、ベルトコンベア５０ａは下部位置まで降下した状態なので、基板下空間はクリアランスが十分あり、ロボットハンド４１の動作範囲の制限がない。

空の基板保持部材のリターン搬送では、基板搬送方向と逆方向とし、基板搬送軸センター７２とすることで、装置設置のためのフットプリントを最小限とした。

本発明の枚葉基板搬送方法の一実施例を説明する概念図で、（ａ）は、基板搬送先の上面図であり、（ｂ）は、ロボットにより基板取出の上面図である。 本発明の枚葉基板搬送装置の一実施例を説明する概念図で、（ａ）は、基板搬送先の基板と移載ロボットの正面断面基図であり、（ｂ）は、搬送中の基板の正面断面基図である。 本発明の枚葉基板搬送装置の一実施例を説明する側面断面図で、（ａ）は、基板搬送先の基板搬出中のであり、（ｂ）は、基板搬送先の空基板保持部材のリターン搬送中の側面断面図である。

符号の説明

１…枚葉基板
１０…基板保持部材
１１…基板保持部材浮上補助部位、浮上補助部位
１１ａ…基板保持部材浮上補助部位の下端の裏面、浮上補助部位の下端の裏面
１３…基板保持部材駆動補助部位、駆動補助部位
１３ａ…基板保持部材駆動補助部位の下端の裏面、駆動補助部位の下端の裏面
１３ｂ…（基板保持部材駆動補助部位下端の裏面の）回転子
１４…治具
２１…基板保持部材浮上部位
２１ａ…（基板保持部材浮上部位の）エアー浮上レール
２３…基板保持部材駆動部位
２３ａ…（基板保持部材駆動部位の）駆動部位レール
２３ｂ…（基板保持部材駆動補助部位の表面の）固定子
４０…移載用ロボット
４１…ロボットハンド
５０…ベルトコンベア
５０ａ…ベルトコンベア
５１…顎部
６０…リターン搬送昇降駆動部
６１…昇降駆動アーム
７０…搬送ライン
７１…装置台
７２…搬送軸センター
７３…基板搬送方向

Claims (4)

1. 搬送ラインと、その搬送ライン上を移動させることにより、多様な装置を含む工程に枚葉の基板を連続して供給する枚葉基板搬送方法において、
   搬送ラインは、
   搬送軸センターの装置台上に基板保持部材の浮上機能を備えた基板保持部材浮上部位と、装置台上の搬送軸センターの基板保持部材を駆動する駆動機能を備えた基板保持部材駆動部位からなり、
   搬送軸センター上に枚葉基板を載置する基板保持部材であって、
   基板保持部材の表面に基板を載置するための治具及び基板保持部材の一部裏面に浮上補助部位及び駆動補助部位を一体構造とした基板保持部材と、
   装置台上に配置した基板保持部材浮上部位及び基板保持部材駆動部位の各々の表面に浮上補助部位、若しくは駆動補助部位を重ね合わせるように配置した部位構成を装備した基板保持部材を搬送する枚葉基板搬送方法であって、
   基板保持部材の浮上機能として、浮上補助部位の下方に、基板保持部材浮上部位の表面よりエアーを吹き付けることで基板保持部材を浮上させることができる基板保持部材浮上部位のエアー浮上レールを装置台上に固着配置し、配列したエアー浮上レールを搬送方向に配置した基板保持部材浮上部位と、
   基板保持部材の駆動機能として、駆動補助部位の回転子の下方に、基板保持部材駆動部位の固定子を加電することで回転子を電動させることができる基板保持部材駆動部位の駆動部位レールを装置台上に固着配置し、配列した駆動部位レールを搬送方向に配置した基板保持部材駆動部位と、
   基板保持部材浮上部位のエアー浮上レールの上面と向き合うように、浮上補助部位の下端の裏面が配置され、基板保持部材駆動部位の固定子の駆動部位レールの上面に向き合うように、駆動補助部位の下端の裏面の回転子が配置され、
   基板と、浮上補助部位及び駆動補助部位とを一体構造とした基板保持部材を、
   装置台上に配置したエアー浮上レールの表面上に駆動補助部位の裏面を浮上機能により基板保持部材を浮上させて保持し、
   駆動補助部位裏面の回転子を装置台上に配置した駆動部位レールの固定子を介して基板保持部材を駆動させ、
   基板保持部材を浮上させたまま、
   駆動補助部位の裏面と駆動部位レール表面とが非接触で、枚葉基板を載置した基板保持部材を搬送方向に高速に移動、且つ停止させることを特徴とする枚葉基板搬送方法。
2. 前記基板保持部材浮上部位は、そのエアー浮上レールを基板保持部材の両端の直下に配
   置し、各々エアー浮上レール表面を外側に等角度で傾斜させた面と水平面からなる案内面を形成し、且つ各々浮上補助部位の裏面を内側に傾斜させた面と水平面を形成して、各々エアー浮上レール表面と浮上補助部位裏面とが平行にして、直線状に高速に移動させることを特徴とする請求項１記載の枚葉基板搬送方法。
3. 搬送ラインと、その搬送ライン上を移動させることにより、多様な装置を含む工程に枚葉の基板を連続して供給するための枚葉基板搬送装置において、
   搬送ラインは、
   装置台の搬送軸センター上に基板保持部材の浮上機能を備えた基板保持部材浮上部位のエアー浮上レールと、
   装置台の搬送軸センターの基板保持部材のエアー浮上レールのうちの固定側の外側位置に基板保持部材の駆動機能を備えた基板保持部材駆動部位の駆動部位レールからなり、
   搬送軸センター上に枚葉基板を載置する基板保持部材であって、
   基板保持部材の一部裏面に浮上補助部位及び駆動補助部位を一体構造とした基板保持部材を、
   基板保持部材浮上部位のエアー浮上レールの上面と向き合うように、浮上補助部位の下端の裏面が配置され、基板保持部材駆動部位の駆動部位レールの上面と向き合うように、駆動補助部位の下端の裏面が配置された基板保持部材を搬送する枚葉基板搬送装置であって、基板保持部材の浮上機能として、エアー吹き付けにより浮上するための、浮上補助部位の下面側に基板保持部材浮上部位のエアー浮上レールを装置台上に固着配置し、
   基板保持部材の駆動機能として、加電より駆動するための、駆動補助部位の下面側に基板保持部材駆動部位の駆動部位レールを装置台上に固着配置した枚葉基板搬送装置であって、基板と、浮上補助部位及び駆動補助部位を一体構造とした基板保持部材を、
   基板保持部材浮上部位のエアー浮上レールの表面上に駆動補助部位の裏面を浮上機能により浮上させて保持し、
   駆動補助部位の回転子と装置台上に配置した駆動部位レールの固定子を介して基板保持部材を駆動させ、
   基板保持部材を浮上させたまま、
   駆動補助部位の裏面の回転子と駆動部位レール表面の固定子とが非接触で、枚葉基板を載置した基板保持部材を搬送方向に高速に移動、且つ停止させる搬送機能を装備させたことを特徴とする枚葉基板搬送装置。
4. 前記基板保持部材浮上部位は、そのエアー浮上レールを基板保持部材両端の直下に各々配置し、各々エアー浮上レール表面を外側に等角度で傾斜させ、且つ各々浮上補助部位の裏面を内側に等角度で傾斜させ、各々表面と裏面が平行にしたことを特徴とする請求項３記載の枚葉基板搬送装置。

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