JP6901379B2 - 塗布装置 - Google Patents
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- Coating Apparatus (AREA)
Description
2 塗布ユニット
11 浮上ステージ部
12 吸着保持部
50 ベース部
53 回転機構
W 基板
Claims (3)
- 基板を保持するステージユニットと、
前記ステージユニット上の基板に塗布液を塗布する塗布ユニットと、
を備え、前記ステージユニットに保持された基板と、前記塗布ユニットとを相対的に移動させつつ、前記塗布ユニットから塗布液を吐出させることにより基板上に塗布膜を形成する塗布装置であって、
前記ステージユニットは、基板を浮上させる浮上ステージ部と、
基板を吸着保持する吸着保持部とを有しており、
前記浮上ステージ部上に浮上する基板を前記吸着保持部で保持した状態で、
前記浮上ステージ部と前記吸着保持部とが一体になって、
前記塗布ユニットに対して、基板が搬入出される基板入替位置と
基板上に塗布液が塗布される塗布位置とに移動することを特徴とする塗布装置。 - 前記吸着保持部は、基板の除外領域を吸着保持することを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- 前記浮上ステージ部と前記吸着保持部とが、前記浮上ステージ部の中心を回転中心として回転することを特徴とする請求項1又は2に記載の塗布装置。
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