JPH088324A - 自動搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 搬入部から搬出部に対して効率良く複数の被
搬送物を搬送し得るようにする。 【構成】 複数の半導体ウエハを収容したケースは搬入
側の保管庫１１，１２に保管されていた状態から、搬送
台車２１ａ，２１ｂに載置されて搬出側の保管庫１３，
１４に向けて搬送路１５に案内されて搬送される。この
ときに、搬送路１５の上に空の搬送台車が存在した場合
には、その搬送台車を退避路２８ａ〜２８ｅに退避させ
ると、空の搬送台車を追い越して、必要な搬送台車のみ
を搬出側の保管庫１３，１４に搬送することができる。
搬送すべき搬送台車の前方に、ケースを有する搬送台車
が存在する場合でも、搬出側に搬送するための優先度に
応じて、最優先する搬送台車以外を退避路に退避させる
ようにして、効率良く必要な搬送台車を搬送することが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ等をワー
クとし、これを自動的に搬送する自動搬送装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体装置を製造する工程とし
ては、半導体ウエハ（以下、ウエハと言う）を製造する
工程と、この工程で製造されたウエハに酸化処理等の種
々の処理を施すウエハ処理工程つまり前処理工程と、処
理されたウエハを１つずつの半導体装置つまり半導体チ
ップに切断する工程等を有する組立工程とがある。

【０００３】ウエハ処理工程では、ウエハの表面に酸化
膜を形成する酸化処理、絶縁膜を形成する薄膜形成処
理、エッチング処理等がなされており、ウエハ処理工程
が終了するまでには、エッチング処理等の種々の処理が
多数回繰り返される。したがって、ウエハ処理工程つま
り前処理工程では、酸化処理装置、エッチング処理装置
等の多数の処理装置をクリーンルーム内に配置し、所定
の順序でそれぞれの処理装置にウエハを繰り返して搬送
している。クリーンルーム内における半導体製造装置の
レイアウト方式としては、例えば、工業調査会発行「電
子材料」1990年10月号別冊 1990年10月20日発行の「超
LSI 製造・試験装置」Ｐ１３７に記載されるような方式
がある。

【０００４】ウエハ処理工程を構成するエッチング処理
装置や酸化処理装置等は、それぞれの処理装置によって
処理時間が相違しており、ウエハ処理工程全体のスルー
プットを向上させるために、１つの処理装置による処理
が終了した後に次の処理が施されるまでに、ウエハを貯
留しておく必要がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明者は、
クリーンルーム内に１つの処理が終了してから次の処理
が施されるまでのウエハを集中的に保管しておき、各処
理装置における処理状況に応じて自動的にウエハを搬出
するための搬送装置について検討した。以下は、本発明
者によって検討された技術であり、その概要は次のとお
りである。

【０００６】すなわち、例えばバッチ処理により所定の
枚数のウエハが１つの処理装置により処理されたなら
ば、所定の枚数のウエハをケース内に収容した状態でそ
れを搬入側の保管庫に収納するようにし、次の処理装置
の処理状況に応じてその搬入側の保管庫から順次ケース
を搬出側の保管庫に搬送台車を用いて搬送し、この搬出
側の保管庫から順次ケースを搬出するようにした技術が
開発されている。

【０００７】しかしながら、少ない占有面積の中に複数
の搬入側の保管庫を配置するようにすると、これら複数
の搬入側の保管庫からそれぞれケースが保持された搬送
台車を搬出側の保管庫に搬送する過程で搬送台車が相互
に干渉し合うことがあり、円滑に効率良く搬送台車の搬
送を行なうことができない場合がある。

【０００８】なぜならば、複数の搬入側の保管庫と複数
の搬出側の保管庫とを共通した搬送路によって連結する
ようにし、搬送路にはそれぞれケースを搬送するための
複数の搬送台車が混在して搬送されるようにすると、搬
送路を一方通行としなければならず、搬送台車は走行中
に他の搬送台車を追い越すことは不可能である。このた
め、搬送台車の円滑なる移動を行なうには、搬送台車の
数を少なくすることが望ましいが、ウエハの処理量が増
加すると、搬送量も増え搬送台車の数を増加せざるを得
ない。

【０００９】特に、多数の搬送台車を搬送路に据え付け
るようにしておくと、搬送状況によっては、空となった
搬送台車が存在することになり、それが台車の搬送時に
邪魔となる。

【００１０】また、クリーンルーム内に設けられた搬送
路に搬送台車を搬送する場合には、搬送台車と搬送路と
の摩擦により粉塵が発生すると、高品質のウエハ処理を
行なうことが不可能であるので、搬送台車を浮かせるた
めの浮上機構としてのエアベアリングを用いて搬送台車
を搬送路に沿って搬送させるようにしている。エアベア
リングは搬送路に設けられた多数の噴出口からドライエ
アを噴出させることにより搬送台車を浮かせた状態とす
る構造であり、浮かせた状態の搬送台車に搬送路に設け
られたリニアモータにより推力を加えるようにしてい
る。

【００１１】ドライエアはクリーンルーム内を汚染させ
ないように清浄化された空気であり、このようなドライ
エアは、ウエハの処理装置内に組み込まれている空気圧
作動式のアクチュエータにも供給されており、クリーン
エア供給源からは搬送路のエアベアリングとアクチュエ
ータに分岐して供給されるようになっている。

【００１２】このため、搬送路を走行する搬送台車の数
が増加すると、クリーンエア供給源の供給能力を高める
ことが必要となる。

【００１３】本発明の目的は、搬入部から搬出部に向け
て効率良く複数のウエハを被搬送物としてこれを搬送し
得るようにすることにある。

【００１４】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１６】すなわち、本発明の自動搬送装置は、搬入
部と搬出部との間に敷設され搬入部から搬出部に被搬送
物を搬送する搬送路と、搬送路に接続して設けられ被搬
送物を退避させて他の被搬送物を搬送路上で追い越させ
る退避路とを有することを特徴とする。

【００１７】さらに本発明の自動搬送装置は、搬入部と
搬出部との間に敷設され搬入部から搬出部に被搬送物を
搬送する搬送路と、搬送路に接続して設けられ被搬送物
を退避させて他の被搬送物を搬送路上で追い越させる退
避路と、全ての被搬送物のうち優先的に搬送される優先
的被搬送物および搬送しない不使用被搬送物を指定して
不使用被搬送物を前記退避路に退避させる制御手段とを
有することを特徴とする。

【００１８】また、本発明の自動搬送装置は、エアを噴
出して被搬送物を浮かした状態で搬送する浮上機構を有
しかつ搬入部と搬出部との間に敷設され搬入部から搬出
部に被搬送物を搬送する搬送路と、搬送路に接続して設
けられ被搬送物を退避させて他の被搬送物を搬送路上で
追い越させる退避路と、エア供給源からのエアを浮上機
構およびエア使用部に案内するエア供給配管に設けら
れ、エア供給配管内のエアの圧力を検出する圧力検出手
段と、全ての被搬送物のうち優先的に搬送される優先的
被搬送物および搬送しない不使用被搬送物を、圧力検出
手段からの信号に基づいて指定して不使用被搬送物を退
避路に退避させる制御手段とを有することを特徴とす
る。

【００１９】この自動搬送装置において、被搬送物は半
導体ウエハを複数個収納したケースを支持して搬送する
搬送台車であり、搬送路は半導体ウエハの前処理工程を
構成する半導体製造装置に隣接して配置され、エア使用
部は半導体製造装置である。

【００２０】前記それぞれの自動搬送装置において、搬
送路はループ状に敷設され搬入部と搬出部とを相互に離
してそれぞれ搬送路に隣接して設けられている。

【００２１】

【作用】上記構成の自動搬送装置にあっては、搬入部か
ら搬送路に案内された搬出部に搬送される被搬送物と搬
出部との間に他の被搬送物が存在した場合には、その被
搬送物を退避路に退避させることにより、他の被搬送物
を追い越させて所望の被搬送物を搬出部に搬送すること
ができる。

【００２２】さらに、搬送路に複数の被搬送物が存在す
る場合には、それらの被搬送物のうち優先的に搬送する
必要がある優先的被搬送物と搬送しない不使用搬送物と
が制御手段により指定され、不使用搬送物は退避路に退
避されることになるので、優先的被搬送物を迅速に搬出
部に搬送させることができる。

【００２３】また、搬送路に浮上機構を有し被搬送物を
浮上させながら搬送する場合であって、この浮上機構に
エアを供給するのみならず、他のエア使用部が存在する
場合には、エアの圧力を検出することにより、搬送路を
搬送させる被搬送物の数が制御手段により演算され、エ
ア使用部に対して優先してエアを充分に供給しつつ、特
定の被搬送物のみを搬出部に向けて搬送することができ
る。

【００２４】特に、エア使用部が半導体ウエハの前処理
工程を構成する半導体製造装置であり、被搬送物が半導
体ウエハを収納したケースを搬送する搬送台車である場
合には、半導体製造装置に対するエアの供給を確保しつ
つ、搬送台車の搬送を円滑に効率良く行なうことができ
る。

【００２５】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

【００２６】図１は本発明の一実施例の自動搬送装置を
示す概略平面図であり、この自動搬送装置はウエハ処理
工程を構成する洗浄処理装置、酸化処理装置、低圧ＣＶ
Ｄ処理装置等の種々の処理装置が配置されたクリーンル
ーム内に設けられている。

【００２７】例えば、低圧ＣＶＤ装置により処理が終了
した後のウエハを次の処理工程として、例えばリソグラ
フィ処理装置に搬入する際に、ウエハを直ちに搬入する
ことなく、処理の手順のために所定の時間だけ保管ない
し処理待ちを行なうことがある。そのために、図示する
場合には、２つの搬入側の保管庫１１，１２が設けられ
ており、矢印で示すように、ある処理が終了した後のウ
エハをケース内に所定の枚数だけ収容した状態で搬入側
の保管庫１１，１２のいずれかに搬入される。それぞれ
の搬入側の保管庫１１，１２には種々の処理段階のウエ
ハを収容した多数のケースが混在して保管される。

【００２８】搬入側の保管庫１１，１２内に保管された
ウエハを次の処理に際して搬出するために、搬出側の保
管庫１３，１４が搬入側の保管庫１１，１２から離れた
位置に設けられており、それぞれの搬出側の保管庫１
３，１４からは、矢印で示すように、次の処理のために
ウエハはケース内に収容された状態で搬出される。

【００２９】搬入側の保管庫１１，１２と搬出側の保管
庫１３，１４の間には、図示するように、ループ状に搬
送路１５が敷設されている。なお、搬入側の保管庫１
１，１２は搬入部を構成し、搬出側の保管庫１３，１４
は搬出部を構成している。

【００３０】図２は搬送路１５の一部を示す図であり、
断面四辺形の搬送路本体１６内にはリニアモータ１７が
搬送方向に沿って組み込まれており、さらにエア供給孔
１８が形成されている。搬送路本体１６の表面に搬送方
向に沿って所定の間隔毎に開口部を有するエア噴出口１
９ａが搬送路本体１６内にエア供給孔１８に連通されて
設けられており、搬送路本体１６の左右両側面に搬送方
向に沿って所定の間隔毎に開口部を有するエア噴出孔１
９ｂが搬送路本体１６内にエア供給孔１８に連通されて
設けられている。

【００３１】内部に所定の枚数のウエハを収容するため
のケース２０を搬送するための搬送台車２１は、搬送路
１５に沿って搬送される被搬送物であり、搬送路１５の
上面に対応する本体部２２とこれの両側に設けられ搬送
路１５の側面に対応する側板部２３とを有し、断面がほ
ぼコの字形状となっている。したがって、エア噴出口１
９ａから噴出したドライエアは搬送台車２１の本体部２
２と搬送路１５の上面との間に入り込み、エア噴出口１
９ｂから噴出したドライエアは搬送台車２１の側板部２
３と搬送路１５の側面との間に入り込むことになり、搬
送台車２１は搬送路１５に対して非接触の状態でリニア
モータ１７により搬送駆動される。したがって、エア供
給孔１８およびエア噴出口１９ａ，１９ｂは、被搬送物
である搬送台車２１を浮かした状態で搬送する浮上機構
つまりエアベアリングを構成している。

【００３２】エア供給孔１８は搬送台車２１の搬送方向
の長さよりも長い領域毎に区分されており、搬送路１５
の全体にドライエアを常時供給することなく、搬送に要
する領域の部分にのみドライエアが供給されるようにな
っている。したがって、搬送台車２１が搬送路１５を進
行するに伴って、ドライエアを供給すべき領域が徐々に
シフトされることになる。

【００３３】図１に示すように、搬送路１５は相互に平
行な長寸の搬送路部１５ａ，１５ｂと、これらの両端部
を繋ぐ短寸の搬送路部１５ｃ，１５ｄとを有して全体的
にループ状となっており、平面上において四角形となっ
て配置されている。搬送路１５の角部には、旋回テーブ
ル２６ａ〜２６ｄが設けられ、それぞれの旋回テーブル
は図示しない空気圧作動式のロータリアクチュエータや
エアシリンダ等からなる駆動装置により回転自在となっ
ている。

【００３４】旋回テーブル２６ｂの詳細を示すと、図３
の通りであり、その他の旋回テーブル２６ａ，２６ｃ，
２６ｄも同様の構造となっている。旋回テーブル２６ｂ
には、姿勢変更用の補助搬送路２７が設けられており、
この旋回テーブル２６ｂの位置には、長寸の搬送路部１
５ｂの延長上に退避路２８ａが設けられており、短寸の
搬送路部１５ｃの延長上に退避路２８ｂが設けられてい
る。

【００３５】長寸の搬送路部１５ａと短寸の搬送路部１
５ｃとの角部に相当する旋回テーブル２６ａに隣接し
て、同様に２つの退避路２８ｃ，２８ｄが設けられてい
る。これに対して、長寸の搬送路部１５ｂと短寸の搬送
路部１５ｃとの角部に位置する旋回テーブル２６ｃの位
置には、１つの退避路２８ｅのみが設けられ、残りの角
部の旋回テーブル２６ｄの位置には退避路は設けられて
いない。ただし、全ての角部に２つずつあるいは１つず
つ退避路を設けるようにしても良く、作業性を考慮して
任意の位置に１つあるいは２つの退避路を設置すること
ができる。

【００３６】このような自動搬送装置を用いて搬入側の
保管庫１１，１２内に収容されたケース２０を搬出側の
保管庫１３，１４に搬出するには、それぞれの搬入側の
保管庫１１，１２内に収容されているケース２０内のウ
エハが多数のウエハ処理工程のうち、どの段階までの処
理が終了しているのかについてのデータは、制御部内の
メモリに格納されている。

【００３７】したがって、ウエハ処理工程の進行に伴っ
て、例えば搬入側の保管庫１２内に保管されているウエ
ハに対して次の処理がなされることが制御部から指令さ
れると、搬入側の保管庫１２内のウエハをケース２０内
に収容した状態で、例えば搬出側の保管庫１４に搬送す
べく、制御部から指令が発生される。これにより、該当
するケース２０は搬送台車２１に載置された搬送路１５
のうち、それぞれの搬送路部１５ａ，１５ｃおよび１５
ｂを通って搬出側の保管庫１４にまで搬送されることに
なる。

【００３８】このときに、搬入側の他の保管庫１１から
も搬出側の他の保管庫１３に向けてケース２０が搬送台
車２１に載置されて搬送されている場合がある。このよ
うな場合に、ウエハ処理工程における処理能率の観点か
ら搬入側の保管庫１１からのウエハよりも搬入側の保管
庫１２からのウエハを優先的に搬出側の保管庫１４に搬
送することが必要となる場合がある。このときには、先
行している搬送台車をその搬送位置に応じて最も近い退
避路に退避させることになる。

【００３９】例えば、図１に仮想線で示すように、搬入
側の保管庫１１からウエハを搬送している搬送台車２１
ａが搬送路部１５ｃの位置を移動しているときに、搬入
側の保管庫１２からのウエハを搬送台車２１ｂによって
優先的に搬出側の保管庫１４まで搬送することが指令さ
れた場合には、搬送台車２１ａを図１における左角部の
退避路２８ａ，２８ｂの一方に退避させ、この状態のも
とで搬送台車２１ｂを追い越させる。また、搬入側の保
管庫１２からウエハを搬送している搬送台車２１ｂの前
に空の搬送台車が存在する場合にも、空の搬送台車を不
使用被搬送物として退避路に退避させることにより、こ
れを追い越してウエハを搬送するための優先的被搬送物
として搬送台車２１ｂが搬送される。

【００４０】実際の自動搬送装置では、保管庫が合計１
０数個程度設置されることがあり、搬送路１５に常に７
〜８台程度の搬送台車が移動していることがある。した
がって、優先的に搬送すべき搬送台車が存在する場合に
は、数台の搬送台車を追い越させることが必要となる場
合があるが、その場合には、それぞれの退避路に搬送台
車を退避させることになる。

【００４１】このように、搬送路１５に複数の搬送台車
を同時に搬送させる場合には、ウエハ処理能率を考慮し
て搬出側の保管庫１３，１４にいずれを優先的に搬送す
ることが望ましいかを選択することができる。これによ
り、複数の搬入側の保管庫１１，１２に対してそれぞれ
ケースを搬出すべく指令が出されても、優先されるべき
ものが選択され、同時に搬送路１５を搬送されるべきも
のを、より少なくすることができる。

【００４２】ウエハを搬送しない空の搬送台車が搬送路
１５に存在すると、それは不使用搬送物として退避路に
退避されることになるが、それぞれウエハが載置されそ
れを搬送する搬送台車であっても、次のウエハ処理の手
順から、より先に搬出側の保管庫まで搬送する必要があ
る場合には、より先に搬送すべき搬送台車が優先的被搬
送物となり、後に搬送することができる搬送台車が不使
用搬送物となる。

【００４３】前述したように、搬送路１５には搬送台車
をエアベアリング機構により浮かした状態で搬送するよ
うに、ドライエアが使用される。このドライエアはウエ
ハ処理のための生産装置にも使用されており、同一のド
ライエア供給源から浮上機構と生産装置とに供給され
る。搬送路１５に対するドライエアの供給は、搬送路１
５が所定の領域毎に区分されて、それぞれの領域内に搬
送台車が搬入されると、その領域にドライエアが供給さ
れるように制御されているので、搬送路１５に多数の搬
送台車が搬送状態に置かれると、搬送路１５に供給すべ
きドライエアの量も多量なものとなる。

【００４４】そのため、ドライエアの供給源の能力を高
めることなく、搬送台車の円滑なる搬送と、生産装置に
対するドライエアの供給とのいずれをも達成するには、
生産装置に対するドライエアの供給を優先し、ウエハの
処理に支障が出ないようにして、搬送台車の搬送を行な
うことが必要となる。そのために、ドライエアの供給部
には、供給源からの配管を搬送路１５と生産装置とに分
岐させる位置の上流側に位置させて、圧力検出センサが
設けられている。生産装置に使用されるドライエアの量
が増加すると、圧力が低下したことが圧力検出センサに
より検出され、その検出値に応じて搬送すべき搬送台車
の数が設定される。

【００４５】図４は自動搬送装置の作動を制御するため
の制御回路を示すブロック図であり、自動搬送装置は、
中央演算処理装置等からなる制御部３０を有し、この制
御部３０には低圧ＣＶＤ等の生産装置の作動を管理する
生産指示装置３１からの信号が入力されるようになって
いる。さらに、前述した圧力検出センサ３２からの検出
値が制御部３０に入力され、搬送路１５上に位置する複
数の搬送台車２１のそれぞれの搬送位置を検出する位置
検出センサ３３からの検出値が入力されるようになって
いる。

【００４６】そして、この制御部３０からはリニアモー
タ１７、旋回テーブル２６ａ〜２６ｋを駆動するための
テーブル駆動手段３４、および搬送路１５に所定の長さ
毎に区分された領域に対するドライエアの供給を切り換
え制御するエア供給切換弁３５に対して制御信号がそれ
ぞれ送られるようになっている。

【００４７】図５は前述した自動搬送装置における作動
制御の手順の一例を示すフローチャートであり、生産指
示装置３１から搬送要求がステップＳ１で指令される
と、ステップＳ２では搬送要求に対して搬送指示手順が
制御部３０で作成される。ステップＳ３では、圧力検出
センサ３２により検出されたドライエアの圧力値が読み
取られ、この圧力値に基づいてステップＳ４では搬送路
１５において使用することができる搬送台車の台数が算
出される。

【００４８】例えば、圧力値がＰの場合にはｐ台の搬送
台車を使用し、圧力値Ｐよりも低い圧力値Ｑの場合には
ｑ台の搬送台車を使用し、圧力値が圧力値Ｑよも低い圧
力値Ｒの場合にはｒ台の搬送台車を使用するようにし、
圧力値が低くなったならば、使用する搬送台車の数を所
定台数ずつ減少させるようにする。つまり、ｐ＞ｑ＞ｒ
の関係に設定する。これにより、ドライエア供給源の能
力を増加させることなく、ウエハ処理のための装置にお
けるエアドライヤの供給量を所望の量に維持しつつ、優
先される搬送台車２１のみを作動させることができる。
圧力値に応じて何台ずつ使用台数を変化させるかは、１
台ずつでも数台ずつでも任意に設定することができ、そ
の圧力値も任意に設定することができる。

【００４９】ステップＳ４で搬送台車の台数が算出され
たならば、ステップＳ５では搬送が要求されている全て
の搬送台車のうち、優先的に搬送すべき搬送台車を指定
し、その搬送実行の手順が作成される。次いで、ステッ
プＳ６では退避すべき搬送台車が指定され、ステップＳ
７では搬送すべき搬送台車の搬送順序を優先順位に従っ
てスケジューリングを行ない、退避すべき台車の退避位
置と退避順序をスケジューリングする。

【００５０】スケジューリングに従って搬送台車の搬送
指示の割付がステップＳ８で実行され、搬送過程にある
搬送台車の搬送先に待機中の搬送台車が存在すること
が、ステップＳ９で判断されたならば、ステップＳ１０
では待機中の搬送台車を退避路に退避させる。待機中の
搬送台車が存在しない場合および退避が完了したことが
検出されたならば、ステップＳ１１が実行されて搬送台
車に対して搬送指令が出力される。

【００５１】図５におけるステップＳ３では、圧力検出
センサ３２からの検出圧力値に応じて、搬送する台数を
算出するようにしているが、他の方式によって搬送台車
の搬送数を算出することもできる。その算出方式として
は、図５において仮想線で示すステップＳ３ａの方式が
ある。この場合では、ステップＳ２の次にステップＳ３
ａが実行され、このステップＳ３ａでは自動搬送装置に
搭載されている全ての搬送台車のうち、ステップＳ２に
おいて作成された搬送指示に基づいて実際に使用される
搬送台車の台数を求めるようにしている。

【００５２】例えば、搬送台車の保有台数が１０台だと
し、６台のみが搬送に使用されることが指令されたなら
ば、特定の６台の搬送台車がステップＳ５で指定され、
他の４台の搬送台車は退避用の搬送台車として指定され
る。したがって、多数の搬入用および搬出用の保管庫を
有する自動搬送装置においては、搭載される搬送台車の
数も多くなるが、搬送条件によっては使用される搬送台
車の数が保有台数よりも少なくなることがある。その場
合には、実際に使用される搬送台車のみが搬送に使用さ
れることになり、その他の搬送台車は退避される。

【００５３】図６は本発明の他の実施例の自動搬送装置
を示す図であり、この場合には、前記実施例ではループ
状の搬送路１５の角部に退避路２８ａ〜２８ｅを配置し
ているのに対して、搬送路１５の途中に退避路２８ｆ，
２８ｇを設けている。この場合には、それぞれが搬送路
１５の一部を構成するとともに退避部分を構成する相互
に平行な２つの一体化された可動部２９ａ，２９ｂによ
り退避路２８ｆ，２８ｇが形成されている。したがっ
て、この場合には、一方の可動部２９ａに位置すること
になった搬送台車を退避させるには、エアシリンダ等の
駆動手段２９ｃによって、矢印で示すように、これらの
可動部２９ａ，２９ｂを一体として移動させて、他の可
動部２９ｂを搬送路１５の位置に移動させる。

【００５４】この場合には、可動部を３本あるいはそれ
以上とすれば、退避させることができる搬送台車の数を
増加させることができる。

【００５５】図７（Ａ）〜図７（Ｃ）は、それぞれ本発
明の他の実施例である自動搬送装置を示す図であり、図
７（Ａ）に示す自動搬送装置の搬送路１５は直線状とな
っており、これの一端部には搬入側の保管庫１１が配置
され、他端部には搬出用の保管庫１３が配置されてい
る。この場合には、搬送路１５の途中に旋回テーブル２
６ｅが設けられ、これに向けて退避路２８ｈ，２８ｉが
設けられている。

【００５６】図７（Ｂ）に示す自動搬送装置は、搬送路
１５が平面Ｌ字形状に形成されており、角部に旋回テー
ブル２６ｆが設けられるとともに、搬送路１５の途中に
設けられた旋回テーブル２６ｇの位置には退避路２８
ｊ，２８ｋが設けられている。

【００５７】さらに、図７（Ｃ）に示す自動搬送装置
は、コの字形状に形成された搬送路１５のうち平行とな
った搬送路の部分にバイパス路１５ｅが形成されてい
る。そして、搬送路１５の角部にそれぞれ旋回テーブル
２６ｈ，２６ｉが設けられ、バイパス路１５ｅの両端部
にも旋回テーブル２６ｊ，２６ｋが設けられている。こ
の場合には、退避路２８ｌ〜２８ｏが旋回テーブル２６
ｈ，２６ｉの部分に設けられている。

【００５８】このように、搬送路１５のレイアウトは、
半導体のウエハ処理工程のレイアウトに合わせ種々の形
状とすることができる。

【００５９】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００６０】たとえば、搬入側と搬出側の保管庫の数は
図示する場合に限られず、任意の数とすることができ
る。また、図示する場合には、搬入側の保管庫と搬出側
の保管庫との間に搬送路を設けているが、それぞれの保
管庫を有することなく、被搬送物を搬入する搬入ステー
ジと搬出する搬出ステージとの間に搬送路を設け、搬入
ステージに搬入された被搬送物を順次搬送するようにし
ても良い。

【００６１】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその利用分野である半導体ウエハの製造
装置のうちウエハ前処理工程におけるウエハ自動搬送装
置に適用した場合について説明したが、これに限定され
るものではなく、たとえば、半導体ウエハ等のワーク以
外にも、たとえばトランジスタ等の種々の電子部品の搬
送にも適用でき、電子部品をケース等に収納することな
く、しかも搬送台車を使用することなく、直接搬入側の
搬送路に投入し、搬出部から搬出するようにしても良
い。

【００６２】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００６３】(1).多数の被搬送物を用いなければならな
い自動搬送装置において、直ちに搬送に使用されない被
搬送物を退避路に退避させることにより、被搬送物を余
分に搬送させることがなくなり、搬送効率を向上させる
ことが可能となる。

【００６４】(2).半導体の処理工程を構成する半導体製
造装置と被搬送物を搬送するための浮上機構とにエア供
給源を共用している場合には、半導体製造装置に対する
エアの供給に影響を与えることなく、被搬送物の搬送を
効率良く行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である自動搬送装置を示す概
略平面図である。

【図２】（Ａ）は図１に示した搬送路の一部を示す斜視
図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）の断面図である。

【図３】図１に示した旋回テーブルと退避路を示す拡大
斜視図である。

【図４】自動搬送装置の制御回路を示すブロック図であ
る。

【図５】自動搬送装置の作動手順を示すフローチャート
である。

【図６】本発明の自動搬送装置の他の実施例を示す概略
平面図である。

【図７】（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞれ本発明のさらに他の
実施例の自動搬送装置の概略構造を示す平面図である。

【符号の説明】

１１，１２ 搬入側の保管庫（搬入部） １３，１４ 搬出側の保管庫（搬出部） １５ 搬送路 １５ａ〜１５ｄ 搬送路部 １５ｅ バイパス路 １６ 搬送路本体 １７ リニアモータ １８ エア供給孔 １９ａ，１９ｂ エア噴出口 ２０ ケース ２１，２１ａ，２１ｂ 搬送台車（被搬送物） ２２ 本体部 ２３ 側板部 ２６ａ〜２６ｋ 旋回テーブル ２７ 補助搬送路 ２８ａ〜２８ｏ 退避路 ２９ａ，２９ｂ 可動部 ２９ｃ 駆動手段 ３０ 制御部 ３１ 生産指示装置 ３２ 圧力検出センサ（圧力検出手段） ３３ 位置検出センサ ３４ テーブル駆動手段 ３５ エア供給切換弁

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬入部と搬出部との間に敷設され、前記
   搬入部から前記搬出部に被搬送物を搬送する搬送路と、
   前記搬送路に接続して設けられ被搬送物を退避させて他
   の被搬送物を前記搬送路上で追い越させる退避路とを有
   することを特徴とする自動搬送装置。
2. 【請求項２】 搬入部と搬出部との間に敷設され、前記
   搬入部から前記搬出部に被搬送物を搬送する搬送路と、
   前記搬送路に接続して設けられ被搬送物を退避させて他
   の被搬送物を前記搬送路上で追い越させる退避路と、全
   ての被搬送物のうち優先的に搬送される優先的被搬送物
   および搬送しない不使用被搬送物を指定して不使用被搬
   送物を前記退避路に退避させる制御手段とを有すること
   を特徴とする自動搬送装置。
3. 【請求項３】 エアを噴出して被搬送物を浮かした状態
   で搬送する浮上機構を有しかつ搬入部と搬出部との間に
   敷設され、前記搬入部から前記搬出部に被搬送物を搬送
   する搬送路と、前記搬送路に接続して設けられ被搬送物
   を退避させて他の被搬送物を前記搬送路上で追い越させ
   る退避路と、エア供給源からのエアを前記浮上機構およ
   びエア使用部に案内するエア供給配管に設けられ、エア
   供給配管内のエアの圧力を検出する圧力検出手段と、全
   ての被搬送物のうち優先的に搬送される優先的被搬送物
   および搬送しない不使用被搬送物を、前記圧力検出手段
   からの信号に基づいて指定して不使用被搬送物を前記退
   避路に退避させる制御手段とを有することを特徴とする
   自動搬送装置。
4. 【請求項４】 前記被搬送物は半導体ウエハを複数個収
   納したケースを支持して搬送する搬送台車であり、前記
   搬送路は半導体ウエハの前処理工程を構成する半導体製
   造装置に隣接して配置され、前記エア使用部は前記半導
   体製造装置であることを特徴とする請求項３記載の自動
   搬送装置。
5. 【請求項５】 前記搬送路はループ状に敷設され、前記
   搬入部と前記搬出部とを相互に離してそれぞれ前記搬送
   路に隣接して設けたことを特徴とする請求項１，２，３
   または４記載の自動搬送装置。