JP6518891B2

JP6518891B2 - 搬送装置

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Publication number: JP6518891B2
Application number: JP2014157905A
Authority: JP
Inventors: 隆徳松本
Original assignee: V Technology Co Ltd
Current assignee: V Technology Co Ltd
Priority date: 2014-08-01
Filing date: 2014-08-01
Publication date: 2019-05-29
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Description

本発明は、搬送装置に関する。

特許文献１には、気体が吸引される負圧室を備えたチャンバーと、チャンバーの天井壁に形成され、チャンバー長手方向に沿って延びる縦溝と縦溝に交差する横溝とを有する溝部と、溝部の溝底を貫通する気体供給路と、天井壁を貫通し負圧室と連通するように配設された吸気孔と、天井壁に固定され、吸気孔と連通する吸引孔を有すると共に、気体供給路から溝部を経由して進入した気体を噴出する多孔質板と、を備え、横溝の終端が他の溝に繋がっていない浮上ユニットが開示されている。

特開２０１０−２６０７１５号公報

特許文献１に記載の発明では、多孔質板の端には溝が形成されておらず、吸気孔のみが設けられている。したがって、特許文献１に記載の発明では、多孔質板の中央領域に比べて、多孔質板の外周領域の正圧が低くなる、すなわち多孔質板からのワーク（板状体）の浮上高さが低くなる。このような現象は、ワークの厚さが、通常の場合（例えば、略０．７ｍｍ程度）と比べて薄い場合（例えば、略０．２〜０．５ｍｍ程度）に顕著である。

一般的に、多孔質板は、組み立て誤差により、高さ方向に取付誤差が生じる。したがって、特許文献１に記載の発明のように、多孔質板の中央領域に比べて、多孔質板の外周領域におけるワークの浮上高さが低くなる場合には、隣接する多孔質板の高さにばらつきにより、ワークが多孔質板に当接する恐れがある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、支持部材の高さにばらつきがあったとしても、安定して薄い板状体を搬送することができる搬送装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明に係る搬送装置は、例えば、略矩形形状の板状の支持部材が搬送方向に沿って複数設けられた搬送装置であって、前記支持部材の上面から板状体を浮上させて前記搬送方向に沿って前記板状体を搬送させる搬送部であって、前記支持部材に設けられた複数の吹出構造と、前記吹出構造を介して前記支持部材の下面から上面に向けて空気を吹き出す吹出部と、前記支持部材に設けられた複数の吸引孔と、前記吸引孔を介して前記支持部材の上面の空気を前記支持部材の下面に向けて吸引する吸引部と、を有する搬送部を備え、前記支持部材は、多数の微細な空孔を有する焼結体により形成され、前記吹出構造は、前記搬送方向に略平行な複数の第１溝であって、そのうちの両端の２本が前記支持部材の搬送方向と略平行な辺にそれぞれ略沿って延設されている第１溝と、前記搬送方向と略直交する複数の第２溝とを有する正圧溝を有し、前記第１溝と前記第２溝とが連結されることで、前記正圧溝は、前記支持部材を上から見たときに前記支持部材の略全面に張り巡らされており、前記正圧溝から吹き出した空気は、前記空孔を通って前記支持部材全体に広がり、前記支持部材の前記搬送方向に略直交する辺である第１の辺の近傍の領域である第１の領域又は前記第１の辺と略平行な第２の辺の近傍の領域である第２の領域において前記板状体が前記支持部材の方へ吸引される力と、前記支持部材の前記第１の領域及び前記第２の領域以外の領域である第３の領域において前記板状体が前記支持部材の方へ吸引される力とが異なることを特徴とする。

本発明に係る搬送装置によれば、略矩形形状の板状の支持部材の上面から板状体を浮上させて、搬送方向に沿って板状体を搬送させるときに、支持部材の搬送方向に略直交する辺である第１の辺の近傍の領域である第１の領域又は第１の辺と略平行な第２の辺の近傍の領域である第２の領域において板状体が前記支持部材の方へ吸引される力と、支持部材の第１の領域及び第２の領域以外の領域である第３の領域において板状体が支持部材の方へ吸引される力とが異なる。これにより、支持部材の高さにばらつきがあったとしても、安定して薄い板状体を搬送することができる。

ここで、前記吸引孔は、前記第１の領域に形成された第１の吸引孔と、前記第２の領域に形成された第２の吸引孔と、前記第３の領域に形成された第３の吸引孔と、を有し、前記吸引部は、前記第１の吸引孔を介して空気を吸引する第１の吸引部と、前記第２の吸引孔を介して空気を吸引する第２の吸引部と、前記第３の吸引孔を介して空気を吸引する第３の吸引部と、を有し、前記第１の吸引部が空気を吸引する吸引力又は前記第２の吸引部が空気を吸引する吸引力と、前記第３の吸引部が空気を吸引する吸引力と、が異なってもよい。これにより、吸引孔の数、配置位置等が従来と同じ場合にもいても、安定して薄い板状体を搬送することができる。

ここで、前記吹出構造は、前記第１の領域に形成された第１の吹出構造と、前記第２の領域に形成された第２の吹出構造と、前記第３の領域に形成された第３の吹出構造と、を有し、前記吸引孔は、前記第１の領域に形成された第１の吸引孔と、前記第２の領域に形成された第２の吸引孔と、前記第３の領域に形成された第３の吸引孔と、を有し、前記第１の吹出構造の数に対する前記第１の吸引孔の数の比又は前記第２の吹出構造の数に対する前記第２の吸引孔の数の比と、前記第３の吹出構造の数に対する前記第３の吸引孔の数の比とが異なってもよいし、前記第１の吹出構造の面積に対する前記第１の吸引孔の面積の比又は前記第２の吹出構造の面積に対する前記第２の吸引孔の面積の比と、前記第３の吹出構造の面積に対する前記第３の吸引孔の面積の比とが異なってもよい。これにより、制御系を従来の構造と変えることなく、安定して薄い板状体を搬送することができる。

ここで、前記吸引孔又は前記吹出構造は、前記支持部材の前記搬送方向に直交する複数の第１列にそれぞれ設けられ、前記第１列のうちの前記支持部材の前記搬送方向に直交する辺に最も近い２つの第２列には、それぞれ、前記搬送方向と略直交する第３溝がそれぞれ１本ずつ設けられ、前記第１列のうちの前記第２列以外の複数の第３列には、それぞれ、前記第２溝及び前記吸引孔が設けられ、前記支持部材を上から見たときに、２本の前記第３溝と、複数の前記第１溝のうちの両端の２本の溝は、前記支持部材の４つの辺に沿った略矩形形状をなし、１本の前記第３溝の面積は、任意の前記第３列上に設けられた前記第２溝の面積と略同じであってもよい。

本発明によれば、支持部材の高さにばらつきがあったとしても、安定して薄い板状体を搬送することができる。

第１の実施の形態に係る露光装置１の概略を示す正面図である。（Ａ）は、板状体搬送機構１０の平面図（上（＋ｚ方向）から見た図）であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。支持部材１１及び搬送部１２の詳細を示す模式図である。支持部材１１における正圧溝１３及び負圧孔１５の配置を示す模式図である。支持部材１１における領域１１ｆ、１１ｇ、１１ｈの位置を説明するための模式図である。上面１１ａの高さ方向がばらついたときの、板状体Ｗの挙動を説明するための図である。（Ａ）は、移動元の支持部材１１αの上面１１ａより移動先の支持部材１１βの上面１１ａが高い場合を示し、（Ｂ）は、移動元の支持部材１１αの上面１１ａより移動先の支持部材１１βの上面１１ａが低い場合を示す。変形例に係る支持部材１１Ａの模式図である。第２の実施の形態に係る露光装置２の支持部材１１Ｂ及び搬送部１２Ａの詳細を示す模式図である。支持部材１１Ｂにおける正圧溝１３及び負圧孔１５Ａの配置を示す模式図である。変形例に係る支持部材１１Ｃの模式図である。変形例に係る支持部材１１Ｄの模式図である。

以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。

＜第１の実施の形態＞
図１は第１の実施の形態に係る露光装置１の概略を示す正面図である。露光装置１は、感光性物質を塗布した板状体（例えば、基板）に対してフォトマスクを介して露光光を照射して、所定の露光パターンを形成するものである。

露光装置１は、主として、板状体搬送機構１０と、露光部２０と、マスク保持部３０と、を備える。

板状体搬送機構１０は、ガラスの板状体Ｗ（例えば、ガラス基板）を一定量（例えば、設計値であるＨ１）浮上させて保持すると共に、所定方向（例えば、ｘ方向）に搬送する。板状体搬送機構１０は、主として、支持部材１１と、支持部材１１の上面から板状体を浮上させて搬送方向に沿って前記板状体を搬送させる搬送部１２（図１では図示せず、図３参照）とを備える。

支持部材１１は、多数の微細な空孔を有する直方体状の焼結体により形成される。支持部材１１は、略矩形形状の板状の部材である。図２（Ａ）は、板状体搬送機構１０の平面図（＋ｚ方向から見た図）である。図２（Ａ）に示すように、板状体搬送機構１０は、ｘ方向及びｙ方向に沿って設けられた複数の支持部材１１を有する。支持部材１１は、長手方向が搬送方向（ｘ方向）と略平行となるように、隣接する支持部材１１と所定の距離だけ離して設けられる。

図２（Ｂ）は、図２（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。図２（Ｂ）に示すように、支持部材１１は、上面１１ａの高さが一定となるように組み立てられる。しかしながら、組み立て誤差により、上面１１ａの高さ（ｚ方向の位置）は、支持部材１１ごとに微小なばらつきＨ２（例えば、約１０μｍ程度）を有する。本実施の形態における板状体搬送機構１０は、後に詳述するように、組み立て誤差がある場合にも安定して板状体Ｗを搬送可能である。

図３は、支持部材１１及び搬送部１２の詳細を示す模式図である。なお、図３は、図１の一部（特に、板状体搬送機構１０の一部）を拡大した図である。搬送部１２は、主として、支持部材１１に設けられた正圧溝１３と、正圧溝１３を介して支持部材１１の下面から上面に向けて空気を吹き出す吹出部１４と、支持部材１１を貫通するように設けられた複数の負圧孔１５（１５ａ、１５ｂ、１５ｃ）と、負圧孔１５を介して支持部材１１の上面１１ａ近傍の空気を支持部材１１の下面１１ｂに向けて吸引する複数の吸引部１６（１６ａ、１６ｂ、１６ｃ）と、を有する。

板状体Ｗは、吹出部１４により正圧溝１３から吹き出された空気と、吸引部１６により負圧孔１５から吸引された空気と、により形成される空気流によって、支持部材１１の上面１１ａから浮上する。そして、板状体Ｗは、浮上したまま搬送方向（ｘ方向）に搬送される。

図４は、支持部材１１における正圧溝１３及び負圧孔１５の配置を示す模式図である。図４は、１つの支持部材１１を上（＋ｚ方向）から見た図である。ただし、図面の簡略化のために、図４においては、正圧溝１３と、吹出部１４と、負圧孔１５と、吸引部１６との一部は省略して示している。

正圧溝１３は、支持部材１１の略全面に張り巡らされている。正圧溝１３は、複数の溝１３ａと、複数の溝１３ｂとを有する。溝１３ａと溝１３ｂとの各々は、他の溝１３ａ及び他の溝１３ｂの少なくとも一方と連結されている。溝１３ａの各々は、支持部材１１の搬送方向に直交する辺１１ｃ、１１ｄと平行である。溝１３ｂの各々は、支持部材１１の搬送方向に平行な辺１１ｅと平行である。溝１３ａと溝１３ｂとにより略矩形の領域が形成され、この領域の内部に負圧孔１５が形成される。

負圧孔１５は、支持部材１１の搬送方向に直交する辺１１ｃ、１１ｄと略平行な線上に設けられる。また、負圧孔１５は、支持部材１１の搬送方向に平行な辺１１ｅと略平行な線上に設けられる。図４に示す例では、辺１１ｃ、１１ｄと略平行な線上に設けられた溝１３ａ及び負圧孔１５の列は列Ｌである。列Ｌは−ｘ方向から列Ｌ１、Ｌ２・・・Ｌ２７であり、辺１１ｃに最も近い列は列Ｌ１であり、辺１１ｄに最も近い列は列Ｌ２７である。また、辺１１ｅと略平行な線上に設けられた溝１３ａ及び負圧孔１５の列は列Ｋであり、列Ｋは−ｙ方向から列Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３、Ｋ４である。なお、列Ｌ、列Ｋを示す線は、実際に支持部材１１に形成されているものではないため、図中１点鎖線で表示している。

なお、列Ｋと列Ｋとの間には、溝１３ｂが設けられる。これは、溝１３ａを連結して１つの正圧溝１３とするためであり、溝１３ｂは必須ではない。また、正圧溝１３としては、様々な形態の吹出構造を採用することができる。例えば、溝１３ａは、リブ状でなくてもよく、例えば溝１３ａを連結して１つの正圧溝１３とされていない場合には、負圧孔１５と同様の貫通孔でもよい。また、負圧孔１５は、支持部材１１を貫通する貫通孔であれば、丸孔に限定されない。

列Ｌ１、Ｌ２・・・Ｌ２７において、溝１３ａは少なくとも１つの負圧孔１５と隣接するよう配置される。本実施の形態では、溝１３ａ及び負圧孔１５がそれぞれ、同じ数だけ設けられる。例えば、列Ｌ１、列Ｌ１５、列Ｌ２７は、辺１１ｅに近い位置に溝１３ａが２つ設けられ、中央部に負圧孔１５が２つ設けられる。また、例えば、列Ｌ２０は、辺１１ｅに近い位置に負圧孔１５が２つ設けられ、中央部に溝１３ａが２つ設けられる。

このように、列Ｌ１、Ｌ２・・・Ｌ２７に、溝１３ａ及び負圧孔１５を両方設けることで、搬送方向に直交する方向に沿って板状体Ｗが湾曲したり、波打ったりすることを防止することができる。また、列Ｋ１〜Ｋ４には、正圧溝１３及び負圧孔１５が交互に設けられるため、搬送方向に沿って板状体Ｗが湾曲したり、波打ったりすることを防止することができる。

図３の説明に戻る。吹出部１４は、主として、供給管１４ａと、図示しない送気ブロワと、を有する。正圧溝１３は、一本の供給管１４ａに連結される。供給管１４ａは、正圧溝１３に例えば圧縮空気を供給するものであり、一端が正圧溝１３に接続され、他端が送気ブロワに接続されている。

供給管１４ａを介して供給された空気は、正圧溝１３から支持部材１１の上面に向けて吹き出される。正圧溝１３から吹き出した空気は、支持部材１１の内部にある多数の微細な空孔を通って支持部材１１全体に広がる。これにより、支持部材１１の略全面から略均等な圧力で空気が噴出される。

負圧孔１５のうちの負圧孔１５ａ、１５ｃは、それぞれ、支持部材１１の搬送方向に直交する２つの辺１１ｃ、１１ｄの近傍の領域１１ｆ、１１ｇに設けられる。また、負圧孔１５のうちの負圧孔１５ｂは、支持部材１１の領域１１ｆ、１１ｇ以外の領域１１ｈ（ここでは、支持部材１１の中央部の領域）に設けられる。なお、領域１１ｆ、１１ｇは、辺１１ｃ、１１ｄを含んでいてもよいし、含んでいなくてもよい。

図５は、支持部材１１における領域１１ｆ、１１ｇ、１１ｈの位置を説明するための模式図である。領域１１ｆ、１１ｇ、１１ｈは、それぞれ、支持部材１１の搬送方向に直交する短手方向に沿った帯状の領域である。なお、領域１１ｆ、１１ｇ、１１ｈを示す線は、実際に支持部材に形成されているものではないため、図中１点鎖線で表示している。

領域１１ｆ、１１ｇには、板状体Ｗの浮上高さが安定する最低限の列Ｌの数を含むように設定される。この最低限の列Ｌの数は、例えば２〜５列程度である。本実施の形態では、領域１１ｆには、列Ｌ１〜Ｌ３の３列が含まれ、領域１１ｇには、列Ｌ２５〜Ｌ２７の３列が含まれる。

領域１１ｆに含まれる負圧孔１５を負圧孔１５ａとし、領域１１ｈに含まれる負圧孔１５を負圧孔１５ｂとし、領域１１ｇに含まれる負圧孔１５を負圧孔１５ｃとしている。

図３の説明に戻る。吸引部１６は、主として、排気管１６ａ、１６ｂ、１６ｃと、図示しない吸気ブロワとを有する。負圧孔１５ａには排気管１６ａの一端が接続され、負圧孔１５ｂには排気管１６ｂの一端が接続され、負圧孔１５ｃには排気管１６ｃの一端が接続されている。排気管１６ａ、１６ｂ、１６ｃの他端は、それぞれ吸気ブロワに接続されている。

排気管１６ａ、１６ｂ、１６ｃにそれぞれ接続された吸気ブロワは、それぞれ負圧孔１５ａ、１５ｂ、１５ｃを介して支持部材１１の上面１１ａから吸引された空気を、下面１０ｂに向けて排気する。

排気管１６ａ、１６ｂ、１６ｃの途中には、それぞれバルブ１７ａ、１７ｂ、１７ｃが設けられる。バルブ１７ａ、１７ｂ、１７ｃは、排気流量を調整すると共に外気を導入可能とするものであり、例えば電気信号に応じて開閉する電磁バルブである。

排気管１６ａ、１６ｂ、１６ｃの内部には、それぞれ圧力センサ１８ａ、１８ｂ、１８ｃが設けられる。圧力センサ１８ａ、１８ｂ、１８ｃは、それぞれ、排気管１６ａ、１６ｂ、１６ｃの内部の圧力を検出する。

バルブ１７ａ、１７ｂ、１７ｃ及び圧力センサ１８ａ、１８ｂ、１８ｃには、圧力調整ユニット１９が電気的に接続されている。圧力調整ユニット１９は、バルブ１７ａ、１７ｂ、１７ｃをそれぞれ制御して外気の導入量を調整し、負圧孔１５ａ、１５ｂ、１５ｃの内部の圧力を所定の圧力に維持するものである。圧力調整ユニット１９は、主として、メモリ１９ａと、演算部１９ｂと、駆動部１９ｃと、を有する。

メモリ１９ａは、設定すべき圧力の値（目標値）を記憶する。また、メモリ１９ａは、上面１１ａと板状体Ｗとの間の間隔を測定した測定値ｈ（以下、測定値ｈという）と、圧力との関係を記憶する。

演算部１９ｂは、圧力センサ１８ａ、１８ｂ、１８ｃの出力値と、露光装置１の外部に設けられた外気圧を検出する圧力センサ（図示せず）の出力値とを取得し、これらの差圧をそれぞれ算出する。また、演算部１９ｂは、算出された差圧と、メモリ１９ａから読み出した目標値とのずれ量を演算し、バルブ１７ａ、１７ｂ、１７ｃの開閉のタイミング及び開閉量を決定する。また、演算部１９ｂは、図示しないカメラやセンサ等を用いて、測定値ｈを測定する。

演算部１９ｂは、測定した測定値ｈと、メモリ１９ａに記憶された測定値ｈと圧力との関係に基づいて、負圧孔１５ａ、１５ｂ、１５ｃの内部の圧力をそれぞれ決定する。そして、演算部１９ｂは、決定した圧力に基づいて、バルブ１７ａ、１７ｂ、１７ｃの開閉のタイミング及び開閉量を決定する。当該処理の詳細については、後に詳述する。

駆動部１９ｃは、演算部１９ｂの演算結果に基づいて、バルブ１７ａ、１７ｂ、１７ｃをそれぞれ開閉駆動する。なお、所定の範囲は、板状体Ｗの大きさや剛性によって任意に設定することができる。

メモリ１９ａは、すでに公知の様々な種類の記憶装置を用いることができる。また、演算部１９ｂ、駆動部１９ｃは、すでに公知の様々な技術を用いてこれらの処理を行うことができる。

このように、本実施の形態では、排気管１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、それぞれ別の吸気ブロワに接続され、またそれぞれ別々に制御されるので、負圧孔１５ａ、１５ｂ、１５ｃからはそれぞれ異なる圧力で空気を吸引することができる。

なお、図３〜５における、正圧溝１３、吹出部１４、負圧孔１５、及び吸引部１６の数及び位置は、例示であり、図示された形態に限定されるものではない。

図１の説明に戻る。支持部材１１の上方（＋ｚ方向）には、露光部２０と、マスク保持部３０とが設けられる。

露光部２０は、フォトマスク（図示せず）を介して板状体Ｗに露光光を照射する。露光部２０は、主として、光源２１と、ミラー２２と、オプチカルインテグレータ（図示せず）と、シャッター（図示せず）とを有する。光源２１としては、例えば超高圧水銀ランプ、キセノンランプ又は紫外線発光レーザが使用可能である。光源２１から照射された光ＥＬは、ミラー２２により曲げられ、下方（−ｚ方向）に向けて照射される。

マスク保持部３０は、主として、複数のマスクＭをそれぞれ保持するマスク保持部材３１と、マスク保持部材３１を駆動するマスク駆動部３２と、を有する。

マスク保持部材３１は、マスクＭを支持部材１１の上面１１ａと平行に保持する。マスク駆動部３２は、マスク保持部材３１をｘ方向に沿って駆動するｘ方向駆動部３３と、マスク保持部材３１をｙ方向に沿って駆動するｙ方向駆動部３４と、マスク保持部材３１をθ方向（ｘｙ平面の法線回り）に回転駆動するθ方向駆動部３５と、マスク保持部材３１をｚ方向に沿って駆動するｚ方向駆動部３６と、を有する。これにより、マスク保持部材３１は、マスク駆動部３２によってｘ方向、ｙ方向、ｚ方向、θ方向にそれぞれ駆動可能である。また、マスク駆動部３２は、ｚ方向のチルト機構をさらに有してもよい。

なお、露光装置１は、露光部２０、マスク保持部３０等を制御する制御部（図示せず）を有するが、公知の様々な技術を用いることができるため、説明を省略する。

次に、このように構成された露光装置１の動作について説明する。
正圧溝１３から吹き出された空気と負圧孔１５からは吸引された空気により、板状体Ｗが支持部材１１から浮上する。板状体Ｗの移動に伴い、板状体Ｗが正圧溝１３及び負圧孔１５を次第に覆っていく。負圧孔１５内部の圧力の低下を圧力センサ１８ａ、１８ｂ、１８ｃで検出し、その出力が演算部１９ｂに送られる。演算部１９ｂでは、圧力センサ１８ａ、１８ｂ、１８ｃの検出値と外気圧とを比較して差圧を求め、これに基づいて駆動部１９ｃを駆動してバルブ１７ａ、１７ｂ、１７ｃを開閉する。これにより、負圧孔１５ａ、１５ｂ、１５ｃ内部と外気との差圧が一定に保たれ、板状体Ｗの高さは均一又は略均一に保たれる。

板状体ＷがマスクＭの下を通過するときには、光源２１からの光ＥＬが、マスクＭを介して照射される。これにより、マスクＭのパターンが、板状体Ｗ表面に塗布された感光性物質に転写される。

板状体Ｗが搬送方向に搬送されると、板状体Ｗが支持部材１１と支持部材１１との間隙を通過する。このとき、下方（−ｚ方向）からカメラ（図示せず）により板状体Ｗを観察する。また、このとき、変位センサ等により、支持部材１１の上面１１ａと板状体Ｗとの間隔が測定される。

なお、本実施の形態においては、板状体Ｗが上面１１ａから浮上する高さＨ１が略３０μｍである（図１参照）のに対し、上面１１ａの高さ方向（ｚ方向）の誤差Ｈ２は±略１０μｍ程度、最大略２０μｍ程度である（図２（Ｂ）参照）。そのため、板状体搬送機構１０は、ある支持部材１１の上から他の支持部材１１の上へと板状体Ｗが搬送されていくときに、板状体Ｗと上面１１ａとの距離を調整する。

図６は、上面１１ａの高さ方向がばらついたときの、板状体Ｗの挙動を説明するための図である。図６（Ａ）は、移動元の支持部材１１αの上面１１ａより移動先の支持部材１１βの上面１１ａが高い場合を示し、図６（Ｂ）は、移動元の支持部材１１αの上面１１ａより移動先の支持部材１１βの上面１１ａが低い場合を示す。

図６（Ａ）に示すように、支持部材１１βの上面１１ａが高い場合には、支持部材１１αと支持部材１１βとの略中間における測定値ｈは、板状体Ｗが上面１１ａから浮上する高さＨ１より小さい。したがって、演算部１９ｂは、支持部材１１βの負圧孔１５ａの圧力が、支持部材１１α及び支持部材１１βの負圧孔１５ｂの圧力より小さくなるように、バルブ１７ａ、１７ｂ、１７ｃの開閉のタイミング及び開閉量を決定する。

これにより、支持部材１１βの領域１１ｆにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側（下向き、−ｚ方向）に引っ張る力は、支持部材１１α及び支持部材１１βの領域１１ｈにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側に引っ張る力より小さくなる。

また、この場合には、支持部材１１αの負圧孔１５ｃの圧力が、支持部材１１α及び支持部材１１βの負圧孔１５ｂの圧力より小さくなるように、バルブ１７ａ、１７ｂ、１７ｃの開閉のタイミング及び開閉量を決定する。

これにより、支持部材１１αの領域１１ｇにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側に引っ張る力は、支持部材１１α及び支持部材１１βの領域１１ｈにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側に引っ張る力より小さくなる。

その結果、板状体Ｗは、図６（Ａ）に一点鎖線で示すように、支持部材１１βの領域１１ｆにおいて、上面１１ａと板状体Ｗの先端Ｗａ（搬送方向先方側の端）との距離は測定値ｈより大きくなる。そして、先端Ｗａが、板状体Ｗのその他の部分より高い（＋ｚ方向にある）姿勢で、支持部材１１αから支持部材１１βに向けて搬送される。

なお、図６（Ａ）に示す場合において、支持部材１１βの領域１１ｆにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側に引っ張る力を、支持部材１１α及び支持部材１１βの領域１１ｈにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側に引っ張る力より小さくすること、及び支持部材１１αの領域１１ｇにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側に引っ張る力を、支持部材１１α及び支持部材１１βの領域１１ｈにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側に引っ張る力より小さくすることは、必ずしも両方を行う必要は無く、どちらかのみを行ってもよい。

図６（Ｂ）に示すように、支持部材１１αの上面１１ａが高い場合には、支持部材１１αと支持部材１１βとの略中間における測定値ｈは、板状体Ｗが上面１１ａから浮上する高さＨ１より大きい。したがって、演算部１９ｂは、支持部材１１βの負圧孔１５ａの圧力が、支持部材１１α、及び支持部材１１βの負圧孔１５ｂの圧力より大きくなるように、バルブ１７ａ、１７ｂ、１７ｃの開閉のタイミング及び開閉量を決定する。

これにより、支持部材１１βの領域１１ｆにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側に引っ張る力は、支持部材１１αの領域１１ｈ、１１ｇ及び支持部材１１βの領域１１ｈにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側に引っ張る力より大きくなる。その結果、板状体Ｗは、図６（Ｂ）に一点鎖線で示すように、支持部材１１βの領域１１ｆにおいて、上面１１ａと板状体Ｗの先端Ｗａ（搬送方向先方側の端）との距離は測定値ｈより小さくなる。そして、先端Ｗａが、板状体Ｗのその他の部分より低い（−ｚ方向にある）姿勢で、支持部材１１αから支持部材１１βに向けて搬送される。

なお、領域１１ｆ、１１ｇは、板状体Ｗの浮上高さが安定する最低限の列Ｌの数を含むため、板状体Ｗの先端Ｗａが支持部材１１βの領域１１ｈに到達するときには、図６（Ａ）、（Ｂ）に２点鎖線で示すように、測定値ｈは高さＨ１と略同一となる。したがって、演算部１９ｂは、支持部材１１αの負圧孔１５ｂの圧力と、支持部材１１βの負圧孔１５ｂの圧力とが略同じとなるように、バルブ１７ｂの開閉のタイミング及び開閉量を決定する。

本実施の形態によれば、支持部材１１の搬送方向に直交する２つの辺に沿った領域（領域１１ｆ、１１ｇ）において板状体Ｗが支持部材１１の方へ吸引される力と、支持部材１１の領域１１ｆ、１１ｇ以外の領域（領域１１ｈ）において板状体Ｗが支持部材１１の方へ吸引される力とが異なることができる。これにより、支持部材の組み立て誤差等により支持部材の高さにばらつきがあったとしても、安定して薄い板状体を搬送することができる。

また、本実施の形態によれば、支持部材１１の搬送方向に直交する辺（１１ｃ、１１ｄ）と略平行な列Ｌのうちの支持部材１１の搬送方向に直交する辺に最も近い列（本実施の形態では、Ｌ１、Ｌ２７）には、溝１３ａと負圧孔１５とが両方設けられているため、板状体Ｗの先端Ｗａが支持部材１１から出て行くとき（又は、先端Ｗａが支持部材１１に乗り上げるとき）に、板状体Ｗには、板状体Ｗを上向き（＋ｚ方向）に押し上げる力と、下向き（−ｚ方向）に引っ張る力の両方の力を加えることができる。これにより、先端Ｗａが浮き上がったり沈み込んだりすることを防止し、板状体Ｗの高さ（ｚ方向）の変動を抑えることができる。

例えば、従来例のように、Ｌ１、Ｌ２７に正圧溝１３又は負圧孔１５のみが設けられているとすると、板状体Ｗの先端Ｗａが支持部材１１から出て行くとき（又は、先端Ｗａが支持部材１１に乗り上げるとき）に、先端Ｗａが支持部材１１から浮き上がる又は沈み込む。したがって、支持部材１１と支持部材１１との間で測定値ｈが大きく変動してしまうおそれがある。しかしながら、本実施の形態では、このような測定値ｈの変動を抑え、板状体Ｗを安定して搬送することができる。

なお、本実施の形態では、本実施の形態では、列Ｌ１、Ｌ２７等において、−ｙ方向方＋ｙ方向に向かって溝１３ａ、負圧孔１５、負圧孔１５、溝１３ａの順に並んでいるが、溝１３ａ及び負圧孔１５の配置はこれに限定されない。例えば、図７に示す支持部材１１Ａのように、列Ｌ１、Ｌ２７等において、溝１３ａと負圧孔１５とが交互に配置されていてもよい。

また、本実施の形態では、列Ｌが２７列、列Ｋが４列であったが、列Ｌ及び列Ｋの数はこれに限定されない。ただし、板状体Ｗの変動を抑えるためには、列Ｋの数を偶数にして、列Ｌにおける溝１３ａの数と負圧孔１５の数とを同数にすることが好ましい。

＜第２の実施の形態＞
第１の実施の形態では、負圧孔１５ａ、１５ｂ、１５ｃをそれぞれ異なる吸気ブロワに接続し、別々に制御することで、領域１１ｆ、１１ｇ、１１ｈが空気を吸引する圧力を異ならせたが、領域１１ｆ、１１ｇ、１１ｈが空気を吸引する圧力を異ならせる形態はこれに限られない。

第２の実施の形態は、正圧溝１３と負圧孔１５との数の比を異ならせることで、領域１１ｆ、１１ｇ、１１ｈが空気を吸引する圧力を異ならせる形態である。以下、第２の実施の形態に係る露光装置２について説明する。なお、第１の実施の形態に係る露光装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。

図８は、支持部材１１Ｂ及び搬送部１２Ａの詳細を示す模式図である。搬送部１２Ａは、主として、支持部材に設けられた正圧溝１３と、正圧溝１３から支持部材１１Ｂの上面に向けて空気を吹き出す吹出部１４と、支持部材１１Ｂに設けられた複数の負圧孔１５Ａと、負圧孔１５Ａを介して支持部材１１の上面１１ａの空気を支持部材１１Ｂの下面に向けて吸引する吸引部１６Ａと、を有する。負圧孔１５と負圧孔１５Ａとは、数及び配置位置のみが異なる。また、吸引部１６と吸引部１６Ａとは、数及び配置位置のみが異なる。

吸引部１６Ａは、主として、排気管１６ｄと、図示しない吸気ブロワと、を１組有する。負圧孔１５Ａには、排気管１６ｄの一端が接続されている。排気管１６ｄの他端は、吸気ブロワに接続されている。排気管１６ｄの途中には、バルブ１７ｄが設けられる。排気管１６ｄの内部には、排気管１６ｄの内部の圧力を検出する圧力センサ１８ｄが設けられる。

図９は、支持部材１１Ｂにおける正圧溝１３及び負圧孔１５Ａの配置を示す模式図である。領域１１ｆ及び領域１１ｇにおいては、溝１３ａの数に対して、負圧孔１５Ａの数が少ない。例えば、列Ｌ２、Ｌ２６には、負圧孔１５Ａが設けられていない。これにより、領域１１ｆ及び領域１１ｇにおける溝１３ａの数に対する負圧孔１５Ｂの数の比を、領域１１ｈにおける溝１３ａの数に対する負圧孔１５Ｂの数の比より小さくすることができる。

このため、領域１１ｆにおける溝１３ａの数に対する負圧孔１５Ａの数の比、及び領域１１ｇにおける溝１３ａの数に対する負圧孔１５Ａの数の比と、領域１１ｈにおける溝１３ａの数に対する負圧孔１５Ａの数の比とが異なる。その結果、領域１１ｆ及び領域１１ｇにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側に引っ張る力と、領域１１ｈにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側に引っ張る力とを異ならせることができる。

また、図１０に示す支持部材１１Ｃのように、溝１３ａの数を減らして溝１３Ａを形成することにより、領域１１ｆ及び領域１１ｇにおける溝１３ａの数に対する負圧孔１５Ｂの数の比を、領域１１ｈにおける溝１３ａの数に対する負圧孔１５Ｂの数の比より大きくすることもできる。なお、負圧孔１５Ａと負圧孔１５Ｂとは、数及び配置位置のみが異なる。

さらに、図１１に示すように、支持部材１１Ｄを上（＋ｚ方向）から見たときの溝１３Ｂや負圧孔１５Ａの面積を変えることで、領域１１ｆ及び領域１１ｇにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側に引っ張る力と、領域１１ｈにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側に引っ張る力と、を異ならせることができる。

例えば、図１１に示す支持部材１１Ｄは、支持部材１１Ｄを上から見たときにおける、領域１１ｆ及び領域１１ｇにおける溝１３ａの面積に対する負圧孔１５Ｂの面積の比を、領域１１ｈにおける溝１３ａの面積に対する負圧孔１５Ｂの面積の比より小さくした形態である。支持部材１１Ｂと、支持部材１１Ｄとは、列Ｌ１、Ｌ２７の構成のみが異なる。

溝１３Ｂは、溝１３ａと、溝１３ｂと、溝１３ｃとを有する。溝１３ｃは、溝１３ｃの面積が２本の溝１３ａの面積と略同じとなるように、すなわち支持部材１１Ｄを上から見たときの溝１３ａの面積と、支持部材１１Ｄを上から見たときの溝１３ｃの面積とが略同一となるように、溝１３ａの略半分の細さでかつ溝１３ａの略４倍の長さで形成される。このように、支持部材１１Ｄを上から見たときにおける、領域１１ｆにおける溝１３ａの面積に対する負圧孔１５Ｂの面積の比、及び支持部材１１Ｄを上から見たときにおける、領域１１ｇにおける溝１３ａの面積に対する負圧孔１５Ｂの面積の比を、支持部材１１Ｄを上から見たときにおける、領域１１ｈにおける溝１３ａの面積に対する負圧孔１５Ｂの面積の比と異ならせることにより、領域１１ｆ及び領域１１ｇにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側に引っ張る力と、領域１１ｈにおいて板状体Ｗを上面１１ａ側に引っ張る力とを異ならせることができる。

以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。

また、本発明において、「略」とは、厳密に同一である場合のみでなく、同一性を失わない程度の誤差や変形を含む概念である。例えば、略平行、略直交とは、厳密に平行、直交の場合には限られない。また、例えば、単に平行、直交等と表現する場合においても、厳密に平行、直交等の場合のみでなく、略平行、略直交等の場合を含むものとする。また、本発明において「近傍」とは、例えばＡの近傍であるときに、Ａの近くであって、Ａを含んでも含まなくてもよいことを示す概念である。

１、２：露光装置
１０：板状体搬送機構
１１、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ：支持部材
１２、１２Ａ：搬送部
１３、１３Ａ：正圧溝
１４：吹出部
１４ａ：供給管
１５、１５Ａ、１５Ｂ：負圧孔
１６、１６Ａ：吸引部
１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ：排気管
１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ：バルブ
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ：圧力センサ
１９：圧力調整ユニット
１９ａ：メモリ
１９ｂ：演算部
１９ｃ：駆動部
２０：露光部
２１：光源
２２：ミラー
３０：マスク保持部
３１：マスク保持部材
３２：マスク駆動部
３３：ｘ方向駆動部
３４：ｙ方向駆動部
３５：θ方向駆動部
３６：ｚ方向駆動部

Claims

略矩形形状の板状の支持部材が搬送方向に沿って複数設けられた搬送装置であって、
前記支持部材の上面から板状体を浮上させて前記搬送方向に沿って前記板状体を搬送させる搬送部であって、前記支持部材に設けられた複数の吹出構造と、前記吹出構造を介して前記支持部材の下面から上面に向けて空気を吹き出す吹出部と、前記支持部材に設けられた複数の吸引孔と、前記吸引孔を介して前記支持部材の上面の空気を前記支持部材の下面に向けて吸引する吸引部と、を有する搬送部を備え、
前記支持部材は、多数の微細な空孔を有する焼結体により形成され、
前記吹出構造は、前記搬送方向に略平行な複数の第１溝であって、そのうちの両端の２本が前記支持部材の搬送方向と略平行な辺にそれぞれ略沿って延設されている第１溝と、前記搬送方向と略直交する複数の第２溝とを有する正圧溝を有し、
前記第１溝と前記第２溝とが連結されることで、前記正圧溝は、前記支持部材を上から見たときに前記支持部材の略全面に張り巡らされており、
前記正圧溝から吹き出した空気は、前記空孔を通って前記支持部材全体に広がり、
前記支持部材の前記搬送方向に略直交する辺である第１の辺の近傍の領域である第１の領域又は前記第１の辺と略平行な第２の辺の近傍の領域である第２の領域において前記板状体が前記支持部材の方へ吸引される力と、前記支持部材の前記第１の領域及び前記第２の領域以外の領域である第３の領域において前記板状体が前記支持部材の方へ吸引される力とが異なる
ことを特徴とする搬送装置。
前記吸引孔は、前記第１の領域に形成された第１の吸引孔と、前記第２の領域に形成された第２の吸引孔と、前記第３の領域に形成された第３の吸引孔と、を有し、
前記吸引部は、前記第１の吸引孔を介して空気を吸引する第１の吸引部と、前記第２の吸引孔を介して空気を吸引する第２の吸引部と、前記第３の吸引孔を介して空気を吸引する第３の吸引部と、を有し、
前記第１の吸引部が空気を吸引する吸引力又は前記第２の吸引部が空気を吸引する吸引力と、前記第３の吸引部が空気を吸引する吸引力と、が異なる
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
前記吹出構造は、前記第１の領域に形成された第１の吹出構造と、前記第２の領域に形成された第２の吹出構造と、前記第３の領域に形成された第３の吹出構造と、を有し、
前記吸引孔は、前記第１の領域に形成された第１の吸引孔と、前記第２の領域に形成された第２の吸引孔と、前記第３の領域に形成された第３の吸引孔と、を有し、
前記第１の吹出構造の数に対する前記第１の吸引孔の数の比又は前記第２の吹出構造の数に対する前記第２の吸引孔の数の比と、前記第３の吹出構造の数に対する前記第３の吸引孔の数の比とが異なる、又は前記支持部材を上から見たときの前記第１の吹出構造の面積に対する前記第１の吸引孔の面積の比又は前記支持部材を上から見たときの前記第２の吹出構造の面積に対する前記第２の吸引孔の面積の比と、前記支持部材を上から見たときの前記第３の吹出構造の面積に対する前記第３の吸引孔の面積の比とが異なる
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
前記吸引孔又は前記吹出構造は、前記支持部材の前記搬送方向に直交する複数の第１列にそれぞれ設けられ、
前記第１列のうちの前記支持部材の前記搬送方向に直交する辺に最も近い２つの第２列には、それぞれ、前記搬送方向と略直交する第３溝がそれぞれ１本ずつ設けられ、
前記第１列のうちの前記第２列以外の複数の第３列には、それぞれ、前記第２溝及び前記吸引孔が設けられ、
前記支持部材を上から見たときに、２本の前記第３溝と、複数の前記第１溝のうちの両端の２本の溝は、前記支持部材の４つの辺に沿った略矩形形状をなし、
１本の前記第３溝の面積は、任意の前記第３列上に設けられた前記第２溝の面積と略同じである
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。