TWI565643B - 上浮用空氣板 - Google Patents

上浮用空氣板 Download PDF

Info

Publication number
TWI565643B
TWI565643B TW102111551A TW102111551A TWI565643B TW I565643 B TWI565643 B TW I565643B TW 102111551 A TW102111551 A TW 102111551A TW 102111551 A TW102111551 A TW 102111551A TW I565643 B TWI565643 B TW I565643B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
air
hole
plate
suction
holes
Prior art date
Application number
TW102111551A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201410572A (zh
Inventor
角田耕一
伊藤彰彥
安田貴裕
小澤秀夫
Original Assignee
翁令司工業股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 翁令司工業股份有限公司 filed Critical 翁令司工業股份有限公司
Publication of TW201410572A publication Critical patent/TW201410572A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI565643B publication Critical patent/TWI565643B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
    • B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
    • B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • B65G2249/045—Details of suction cups suction cups

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

上浮用空氣板
本發明是關於一種上浮用空氣板，尤其是該上浮用空氣板，是被使用於生產大型的液晶顯示器(LCD)、電漿顯示器(PDP)等的平板顯示器(FPD)或太陽能電池面板(solar panel)等的非接觸搬運裝置。
在生產FPD或太陽能電池面板之際，將1片面板作成大型化以提高生產效率的方法被採用。所以，作為FPD的搬運方法，在使用習知的算盤型滾子等的接觸型搬運裝置中，因在玻璃的薄型化、大型化、高速化、無應力化、高精度地維持上浮量之狀態下的搬運等有不利情形，因此被要求非接觸空氣上浮搬運。
在該非接觸空氣上浮搬運中，當上浮玻璃等的被搬運物，通常由板形狀之板噴出空氣。作為噴出空氣之狀態，有以下方法：由碳等的多孔質材料經微細氣孔噴出的方法，及於具有高剛性的厚板材加工多數小徑孔，而由該孔噴出的方法。
在描繪於被搬運的玻璃的電路圖案之檢查，或是在包覆的工程中，必須高精度地維持玻璃的上浮精度。所以，必須實施以高剛性上浮玻璃，來矯正玻璃之彎曲的方法。
習知，為了以高剛性上浮保持玻璃等，搭配多孔質節流的靜壓氣體軸承與吸引孔的方式被提倡。但是，很難以高精度來製作大型之多孔質節流構造，而未能實現2m×2m等級的大型製品。又，欲製作在具有高剛性的厚板材加工成多數小徑孔之形式的空氣軸承，則有需費龐大之時間與費用的問題。
因此，本發明是鑒於上述習知的上浮用空氣板的問題處而創作者，其目的是在於提供一種上浮用空氣板，該上浮用空氣板，是能夠容易地製造，而且以高剛性上浮玻璃等的被搬運物，且高精度地能夠控制上浮量。
為了達成上述目的，本發明的一種上浮用空氣板，其特徵為具備：頂板、孔口片、以及底側板：該頂板，是由上表面貫通至下表面的空氣噴出孔及吸引孔，為俯視呈交互地配設複數，而且於上述複數空氣噴出孔的各個下表面側具有魚眼孔部，該孔口片，是於對應於該頂板的上述魚眼孔部之位置，具有由上表面貫通至下表面的複數第1孔口，而且於 上述頂板的上述吸引孔，具有以一對一方式連通，且由上表面貫通至下表面的連通孔， 該底側板是具有：用以對穿設於該孔口片的所有第1孔口供給空氣的空氣供給路徑及供氣孔，以及由連通於上述吸引孔的所有連通孔吸引空氣的空氣吸引路徑及吸引孔。
於是，依照本發明，由穿設於孔口片的第1孔口所噴出之空氣相撞於頂板的魚眼孔部，在降低速度之狀態下由空氣噴出孔朝上方噴出，而在非接觸以高剛性地能夠上浮位於上方的玻璃等。又，因將空氣噴出孔及吸引孔予以交互地配設複數，因此能夠緻密地調整被吹出之空氣的壓力，與被吸引的空氣的壓力之平衡，成為能夠高精度地控制被搬運物的上浮量。
在上述上浮用空氣板中，將上述底側板以空氣路徑板及底板所構成：在該空氣路徑板之上表面形成：與穿設於上述孔口片的所有第1孔口連通的空氣噴出用溝部，及以一對一方式連通於上述孔口片之上述連通孔的吸引用開口部，又在該空氣路徑板之下表面形成：與連通於上述吸引用開口部的所有連通孔相連通的吸引用溝部，及開口於該下表面且連通於上述空氣噴出用溝部的連通孔，形成由上述底板之上表面貫通至下表面的供氣孔及吸引孔，並連通於：用以使該供氣孔之上表面側開口部連通於上述空氣路徑板之上述空氣噴出用溝部的連通孔，且上述吸引孔之上表面側開口部連通於上述空氣路徑板的上述吸 引用溝部之方式能夠構成。藉由此，製作空氣噴出路徑與空氣吸引路徑成為容易，而能夠更減低製造成本。
在上述上浮用空氣板中，代替上述孔口片的上述連通孔，於對應於上述頂板的上述吸引孔之位置，能夠作成由上表面貫通至下表面的複數第2孔口。藉由此，對於被吸引的空氣也能夠發揮節流效果，又能夠抑制吸引力之變化。
又，本發明是一種上浮用空氣板，其特徵為具備：頂板、座面片、孔口片、以及底側板：該頂板，是由上表面貫通至下表面的空氣噴出孔及吸引孔，為俯視呈交互地配設複數，該座面片，是以一對一方式連通於該頂板的上述空氣噴出孔及吸引孔，且具有比由上表面貫通至下表面的上述空氣噴出孔及吸引孔之直徑還更大直徑的連通孔，該孔口片，是在對應於與上述頂板的上述空氣噴出孔連通的上述座面片的連通孔之位置，具有由上表面貫通至下表面的複數第1孔口，而且在對應於與上述頂板的上述吸引孔連通的上述座面片的連通孔之位置，具有由上表面貫通至下表面的複數第2孔口，該底側板是具有：用以對穿設於該孔口片的所有第1孔口供給空氣的空氣供給路徑及供氣孔，以及由穿設於該孔口片的所有第2孔口吸引空氣的空氣吸引路徑及吸引孔。
依照本發明，與上述發明同樣地，以非接觸高剛性地能夠上浮位於上方的玻璃等，而且能夠高精度地控制被搬運物的上浮量。
還有，藉由設置於座面板的連通孔形成有魚眼孔部，因將該魚眼孔部設置於與頂板不相同之片的座面片，因此能夠提高魚眼孔加工的精度，並能夠得到均勻的魚眼孔深度，而且能夠容易地進行魚眼孔加工。
在上述上浮用空氣板中，將上述底側板由空氣路徑板及底板所構成：該空氣路徑板之上表面形成：與穿設於上述孔口片的所有第1孔口連通的空氣噴出用溝部，及與穿設於上述孔口片的所有第2孔口連通的吸引用開口部，而且該空氣路徑板之下表面形成：與連通於上述吸引用開口部的所有連通孔相連通的吸引用溝部，及開口於該下表面且連通於上述空氣噴出用溝部的連通孔，形成由上述底板之上表面貫通至下表面的供氣孔及吸引孔，並連通於：用以使該供氣孔之上表面側開口部連通於上述空氣路徑板之上述空氣噴出用溝部的連通孔，且上述吸引孔之上表面側開口部連通於上述空氣路徑板的上述吸引用溝部之方式所構成。
藉由此，製作空氣噴出路徑與空氣吸引路徑成為容易，而能夠更減低製造成本。
在上述上浮用空氣板中，能夠將上述頂板的上述空氣噴出孔及吸引孔，交互地配置於以該頂板的俯視 互相地平行的複數直線上，而且該複數直線，與由該上浮用空氣板所進行之搬運方向所夾的角度作成0°、45°、及90°以外之角度。藉由此，雖然對於搬運方向垂直的方向之位置，但仍使得空氣噴出孔及吸引孔均勻地排列於搬運方向之故，因而在穩定的狀態下能夠將被搬運物予以非接觸搬運。又，在玻璃等的非搬運物藉由塗層等而在高溫狀態下被搬運時，當非搬運物還移動時，因無噴出口的不工作區變少，因此能夠較理想地進行非搬運物之均勻冷却。
在上述上浮用空氣板中，能夠將上述孔口片的上述複數孔口的各個，藉由使用雷射的微細孔加工進行穿設。藉由此，能夠將孔在短時間內有效率地進行穿設，並能夠更減低製造成本。
如上所述地，依照本發明，能夠提供一種上浮用空氣板，該上浮用空氣板，能夠減低製造成本，以高剛性上浮玻璃等的被搬運物，且高精度地能夠控制上浮量。
1、21‧‧‧上浮用空氣板
2、22‧‧‧頂板
2a、22a‧‧‧上表面
2b、22b‧‧‧下表面
2c、22c‧‧‧空氣噴出孔
2d、22d‧‧‧吸引孔
2e‧‧‧魚眼孔部
3、23‧‧‧孔口片
3a、23a‧‧‧上表面
3b、23b‧‧‧下表面
3c、23c‧‧‧孔口
3d‧‧‧連通孔
4、24‧‧‧空氣路徑板
4a、24a‧‧‧上表面
4b、24b‧‧‧下表面
4c、24c‧‧‧空氣噴出用溝部
4d、24d‧‧‧吸引用溝部
4e、24e‧‧‧連通孔
4f、24f‧‧‧連通孔
4g、24g‧‧‧空氣噴出用開口部
4h、24h‧‧‧吸引用開口部
5、25‧‧‧底板
5a、25a‧‧‧上表面
5b、25b‧‧‧下表面
5c、25c‧‧‧供氣孔
5d、25d‧‧‧吸引孔
5e、25e‧‧‧上表面側開口部
5f、25f‧‧‧上表面側開口部
5g、25g‧‧‧下表面側開口部
5h、25h‧‧‧下表面側開口部
7、27‧‧‧裝配用螺栓
23d‧‧‧空氣噴出用孔口部
23e‧‧‧吸引用孔口部
26‧‧‧座面片
26a‧‧‧上表面
26b‧‧‧下表面
26c‧‧‧連通孔
第1圖是表示本發明的上浮用空氣板之第1實施形態的圖式：第1(a)圖是前視圖、第1(b)圖是俯視圖、第1(c)圖是仰視圖。
第2圖是表示第1圖的上浮用空氣板之頂板的圖式：第2(a)圖是俯視圖、第2(b)圖是第2(a)圖的A-A 線斷面圖、第2(c)圖是仰視圖、第2(d)圖是表示魚眼孔部及其周邊的擴大斷面圖。
第3圖是表示第2圖的頂板之空氣噴出孔及吸引孔的排列設計例的俯視圖。
第4圖是表示第1圖的之上浮用空氣板的孔口片的圖式：第4(a)圖是前視圖、第4(b)圖是俯視圖。
第5圖是表示第1圖的上浮用空氣板之空氣路徑板的圖式：第5(a)圖是前視圖、第5(b)圖是俯視圖、第5(c)圖是仰視圖、第5(d)圖是表示空氣噴出用溝部及吸引用溝部以及其周邊的擴大斷面圖。
第6圖是表示第1圖的上浮用空氣板之底板的圖式：第6(a)圖是俯視圖、第6(b)圖是第6(a)圖的B-B線斷面圖。
第7圖是表示第1圖的上浮用空氣板的斷面圖。
第8圖是用以說明使用上浮用空氣板以搬運玻璃等之要領的俯視圖：第8(a)圖是表示習知例的情形、第8(b)圖是表示本發明之第1實施形態的情形。
第9圖是表示本發明的上浮用空氣板之第2實施形態的圖式：第9(a)圖是前視圖、第9(b)圖是俯視圖、第9(c)圖是仰視圖。
第10圖是表示第9圖的上浮用空氣板之頂板的圖式：第10(a)圖是俯視圖、第10(b)圖是第10(a)圖的C-C線斷面圖。
第11圖是表示第9圖的上浮用空氣板之座面板的圖 式：第11(a)圖是俯視圖、第11(b)圖是第11(a)圖的D-D線斷面圖。
第12圖是表示第9圖的上浮用空氣板之孔口片的圖式：第12(a)圖是前視圖、第12(b)圖是俯視圖。
第13圖是表示第9圖的上浮用空氣板之空氣路徑板的圖式：第13(a)圖是前視圖、第13(b)圖是俯視圖、第13(c)圖是仰視圖、第13(d)圖是表示空氣噴出用溝部及吸引用溝部以及其周邊的擴大斷面圖。
第14圖是表示第9圖的上浮用空氣板之底板的圖式：第14(a)圖是俯視圖、第14(b)圖是第14(a)圖的E-E線斷面圖、第14(c)圖是第14(a)圖的F-F線斷面圖。
第15圖是表示第9圖的上浮用空氣板的斷面圖。
以下，針對於實施本發明所用的形態一面參照圖式一面加以說明。
第1圖是表示本發明之上浮用空氣板的第1實施形態，該上浮用空氣板1是由：頂板2、孔口片3、空氣路徑板4、以及底板5所構成：該頂板2是在上表面交互地配設複數空氣噴出孔2c(以白色圓表示)及吸引孔2d(以黑色圓表示)，該孔口片3是位於頂板2之下方，該空氣路徑板4是位於孔口片3之下方，該底板5是位於空氣路徑板4之下方，且具有供氣孔5c及吸引孔 5d。
頂板2是高精度地被平面磨削加工，如第2圖所示地，由上表面2a貫通至下表面2b的空氣噴出孔2c及吸引孔2d為交互地配設複數。在各該空氣噴出孔2c之下表面2b側，形成有魚眼孔部2e。空氣噴出孔2c是作成2.5mm左右，而魚眼孔部2e是在0.1~0.2mm的深度大約8。吸引孔2d是全長全面地以同一內直徑所形成。
第3圖是表示空氣噴出孔2c及吸引孔2d的排列設計例。如同圖所示地，在格子目的交點交互地配置空氣噴出孔2c與吸引孔2d。空氣噴出孔2c與吸引孔2d之位置，是藉由板之公稱尺寸所決定，惟在厚度0.7mm之玻璃時，則以大致10mm作成大約x=y的關係。空氣噴出孔2c與吸引孔2d之節距，是藉由被搬運之玻璃等之厚度被設定，在搬運薄玻璃等時作成緻密之節距，而在厚玻璃時設計成稀疏之節距，則在經濟上較理想。
如第4圖所示地，孔口片3是在對應於頂板2的魚眼孔部2e之位置，具有由上表面3a貫通至下表面3b的1組(在本實施形態為16個)的孔口3c，而且在連通於頂板2的吸引孔2d，具有由上表面3a貫通至下表面3b的連通孔3d。
孔口3c，是作為空氣的節流孔為0.03~0.05mm左右的微細孔，例如，在0.3mm左右的不鏽鋼製的片，藉由雷射加工等島狀地設置複數個於6之圓周上者。通過該孔口片3的空氣，是發揮節流效果，而於上浮 玻璃給予剛性。
如第5圖所示地，空氣路徑板4，是在上表面4a具備空氣噴出用溝部4c，而在下表面4b具備吸引用溝部4d，空氣噴出用溝部4c是經由連通孔4e連通於空氣噴出用開口部4g，而吸引用溝部4d是經由連通孔4f連通於吸引用開口部4h。如第7圖所示地，當孔口片3位於空氣路徑板4之上表面4a時，則空氣噴出用溝部4c，是連通於孔口片3的所有孔口3c，而且吸引用開口部4h的各個，是以一對一方式連通於孔口片3的各個連通孔3。還有，所有吸引用開口部4h是連通於吸引用溝部4d。
如第6圖所示地，底板5，是具有由上表面5a貫通至下表面5b的供氣孔5c及吸引孔5d，並連通於：用以使供氣孔5c之上表面側開口部5e連通於空氣路徑板4之空氣噴出用溝部4c的連通孔4e，且吸引孔5d之上表面側開口部5f連通於空氣路徑板4的吸引用溝部4d。如此地，底板5，是能夠完成空氣路徑板4的吸引用溝部4d之蓋子的任務。底板5之供氣孔5c的下表面側開口部5g及吸引孔5d的下表面側開口部5h，是各別被連接於給氣用配管以及真空吸引用配管及真空泵。
上述頂板2~底板5，是如第7圖所示地被重疊，並藉由裝配用螺栓7被一體化。
以下，針對於具有上述構成之上浮用空氣板1的動作，一面主要參照第7圖一面加以說明。
由底板5之供氣口5c所進入的壓縮空氣進入 至空氣路徑板4的空氣噴出用溝部4c，之後到達至孔口片3之島狀地散佈的複數個孔口3c以發揮節流效果，使得由孔口3c所噴出的空氣相撞於頂板2的魚眼孔部2e，經與座面之間的間隙而由2.5mm左右的空氣噴出孔2c朝向玻璃等以降低速度被吹出。藉此，將玻璃等以非接觸又高剛性地能夠上浮於上表面2a之上方。
還有，由頂板2的吸引孔2d所吸入的空氣，是通過孔口片3之2.5mm左右的連通孔3d，經格子狀地被加工於空氣路徑板4之下面的吸引用溝部4d之後通過底板5之吸引孔5d，最後被排至真空泵。
第8圖是用以說明使用上浮用空氣板以搬運玻璃等之要領的圖式，在表示於第8(a)圖的習知例中，因將空氣噴出孔12c，與吸引孔12d交互地配置於垂直地相交的直線之交點，因此在搬運線L1上，不會使玻璃等位於空氣噴出孔12c或是吸引孔12d的正上方，而在搬運線L2上，會使玻璃等位於空氣噴出孔12c或是吸引孔12d的正上方。如此地，在搬運線L1、L2上對於玻璃等的上浮力與吸引力有很大不相同，而在穩定的溫度狀態下無法將玻璃等予以非接觸搬運。
另一方面，在本發明的第1實施形態中，如第3圖所示地，因將通過空氣噴出孔2c及吸引孔2d的複數直線，與由上浮用空氣板所進行之搬運方向T所夾的角度θ作成30°左右，因此如第8(b)圖所示地，如搬運線L3、L4地，即使玻璃等通過任一線，也成為玻璃等普遍 地位於空氣噴出孔2c或是吸引孔2d的正上方，因對於玻璃等能夠均勻地給予上浮力與吸引力，因此在穩定的狀態下能夠非接觸搬運玻璃等。又，通過第3圖的空氣噴出孔2c及吸引孔2d的複數直線，與由上浮用空氣板所進行之搬運方向T所夾的角度θ，是並不限定於30°左右，若為0°、45°、及90°以外之角度，如上所述地，成為玻璃等普遍地位於空氣噴出孔2c或是吸引孔2d的正上方，而在穩定的狀態下能夠進行非接觸搬運。
又，本發明之第1實施形態的上浮用空氣板1，是如第2圖所示地，其第1特徵為具備：頂板2、及孔口片3：該頂板2，是由上表面2a貫通至下表面2b的空氣噴出孔2c及吸引孔2d，為俯視呈交互地配設複數，而且於複數空氣噴出孔2c的各個下表面側具有魚眼孔部2e，如第4圖及第7圖所示地，該孔口片3，是於對應於頂板2的魚眼孔部2e之位置，具有由上表面3a貫通至下表面3b的複數孔口3c，而且於頂板2的吸引孔2d，具有以一對一方式連通，且由上表面3a貫通至下表面3b的連通孔，使用具有上述構成的空氣路徑板4及底板5有種種優點較理想，惟並不被限定於此些構成者，若於底側，能夠將空氣供應於被穿設於孔口片3的所有孔口3c，並由連通於吸引孔2d的所有孔口片3之連通孔能夠吸引空氣的板，則也能夠使用任何構成者。
以下，針對於本發明之第1實施形態的上浮用空氣板的實施例加以說明。
如上所述地，為了高精度地保持空氣上浮的玻璃，將具有節流效果的孔口3c(參照第4圖)具備於下方的空氣噴出孔2c(參照第2圖)，及吸引孔2d交互地排列複數個，而必須將高剛性給予上浮玻璃。例如，在G8尺寸的玻璃(2,200×2,500×t)的情形，將孔口3c(0.05mm)排列設計大約60,000個，並將空氣噴出孔2c(2.5mm)排列設計大約3,000個，且將吸引孔2d(2.5mm)排列設計大約3,000個。
具有節流效果的孔口3c，是於板厚度為0.3mm之不鏽鋼的片穿設60,000個0.05mm孔，這時候若使用雷射加工等就能夠顯著地縮短加工所需之時間。
對於此，於板厚度10mm左右的不鏽鋼板使用鑽頭加工60,000個0.05之孔所需的加工時間，是成為需費60,000分鐘(1孔1分鐘以上)，亦即需費40天以上。若考量鑽頭的壽命則可說幾乎是不可能的加工。
在本發明的第1實施形態中，於薄(例如0.3mm)的孔口片3加工多數微細孔，如頂板2地厚(例如10mm)板材不必施以微細孔(例如0.05mm)的加工，而能夠加工成2.5mm左右就可以。
在空氣噴出孔的直徑為0.05mm時，在供氣壓力10kPa、上浮高度0.25mm的條件下，噴出空氣的速度被試算為76.8m/sec，惟在本發明的第1實施形態中，相撞於設在頂板2的下表面2b的空氣噴出孔2c，並通過間隙之後由空氣噴出孔2c所吹出的空氣之速度是降低至 大約20m/sec，而由相撞至玻璃等的空氣所進行之靜電發生是變成極小。
又，在本發明的第1實施形態中，在上浮高度20mm時速度是成為1m/sec以下，並不會成為來自潔淨室之天花板的垂直層流的氣流之干擾障礙。此為，在空氣噴出孔的直徑為0.1mm時，在供氣壓力為10kPa、玻璃之上浮高度為0.25mm的條件下，速度成為95m/sec，並會發生靜電之故因而其對策成為必需。又，也成為潔淨室之垂直層流的氣流之干擾主要原因。
以下，針對於實施本發明所用的第2實施形態一面參照圖式一面加以說明。
第9圖是表示本發明之上浮用空氣板的第2實施形態，該上浮用空氣板21是由：頂板22、座面板26、孔口片23、空氣路徑板24、以及底板25所構成：該頂板22是於上表面交互地配設複數空氣噴出孔22c(以白色圓表示)及吸引孔22d(以黑色圓表示)，該座面板26是位於頂板22之下方，該孔口片23是位於座面板26之下方，該空氣路徑板24是位於孔口片23之下方，該底板25是位於空氣路徑板24之下方，並具有供氣孔25c及吸引孔25d。
如第10圖所示地，頂板22，是與由第1實施形態所進行之頂板2同樣地，由上表面22a貫通至下表面22b的空氣噴出孔22c及吸引孔22d為交互地配設複數。針對於空氣噴出孔22c及吸引孔22d之排列，是與表示於 第3圖的第1實施形態同樣，空氣噴出孔22c是作成2.5mm左右，而吸引孔22d是作成4.0mm左右。
如第11圖所示地，座面片26，是在對應於空氣噴出孔22c及吸引孔22d之位置，配設有由上表面26a貫通至下表面26b的連通孔26c。連通孔26c，是用以將由下述之孔口片23的空氣噴出用孔口部23d所噴出的空氣朝著水平方向引導者，並作成比空氣噴出孔22c及吸引孔22d還更大的直徑。例如，座面片26之厚度為0.15~0.3mm左右時，連通孔26c之直徑是8mm左右。如此地，藉由設定連通孔26c之直徑，就能夠具有對於空氣之節流效果與抑制空氣之噴出速度的效果。
如此地，藉由將配設於座面片26的連通孔26c之直徑作成比空氣噴出孔22c及吸引孔22d之直徑還更大，而在積層頂板22及座面片26之際，就能夠形成設置於依第1實施形態所為之頂板2的魚眼孔部2e。
藉由此，例如，提高對於如電視機(TV：TeleVisiom)用的LCD面板等的一邊超過2500mm的大頂板的魚眼孔加工之精度，並能夠得到均勻之魚眼孔深度，而且能夠容易地進行魚眼孔加工。
如第12圖所示地，孔口片23，是在對應於與頂板22的空氣噴出孔22c之位置，具有由上表面23a貫通至下表面23b的1組(在本實施形態中為8個)的孔口23c所成的空氣噴出用孔口部23d，而且在對應於與頂板22的吸引孔22d之位置，具有由上表面23a貫通至下表 面23b的1組(在本實施形態中為4個)的孔口23c所成的吸引用孔口部23e。
孔口23c，是作為空氣的節流孔為0.03~0.10mm左右的微細孔，例如，在0.15~0.3mm左右之不鏽鋼製的片，藉由雷射加工等島狀地設置複數個於具有預定直徑之圓周上者。例如，在空氣噴出用孔口部23d，在6.0mm左右之圓周上設置4~8個之孔口23c，而在吸引用孔口部23e，在3.0mm左右之圓周上設置3~6個之孔口23c。
通過該孔口片23的空氣，是發揮節流效果，而在上浮玻璃給予剛性。又，在吸引側也藉由設置孔口23c，能夠發揮對於被吸引之空氣的節流效果，並能夠抑制吸引力之變化。
如第13圖所示地，空氣路徑板24，是與由依第1實施形態所進行之空氣路徑板4同樣，在上表面24a具備空氣噴出用溝部24c，而在下表面24b具備吸引用溝部24d，空氣噴出用溝部24c是經由連通孔24e連通於空氣噴出用開口部24g，而吸引用溝部24d是經由連通孔24f連通於吸引用開口部24h。
如第15圖所示地，當孔口片23位於空氣路徑板24之上表面24a時，則空氣噴出用溝部24c，是連通於孔口片23的空氣噴出用孔口部23d的所有孔口23c，而且吸引用開口部24h的各個，是連通於孔口片23的吸引用孔口部23e的所有孔口23c。還有，所有吸引用開口 部24h是連通於吸引用溝部24d。
還有，在此例子中，為了抑制搬運玻璃等之際的上浮量之變化，表示將吸引用溝部24d，對於玻璃等之搬運方向使得空氣路徑互相獨立之方式作成3分割的情形。又，吸引用溝部24d，是並不被限定於此，例如作成3分割以上也可以，而與第1實施形態同樣地作成未分割吸引用溝部24d之方式所構成也可以。
如第14圖所示地，底板25，是與由第1實施形態所進行之底板5同樣地，具有由上表面25a貫通至下表面25b的供氣孔25c及吸引孔25d。供氣孔25c之上表面側開口部25e，是連通於空氣路徑板24之空氣噴出用溝部24c的連通孔24e，且吸引孔25d之上表面側開口部25f連通於空氣路徑板24的吸引用溝部24d。如此地，底板25，是能夠完成空氣路徑板24之吸引用溝部24d的蓋子之任務。
底板25之供氣孔25c的下表面側開口部25g及吸引孔25d的下表面側開口部25h，是各別被連接於供氣用配管以及真空吸引用配管及真空泵。
上述頂板22~底板25，是如第15圖所示地被重疊，且藉由裝配用螺栓27被一體化。
以下，針對於具有上述構成之上浮用空氣板21的動作，一面主要參照第15圖一面加以說明。
由底板25的供氣口25c所進入的壓縮空氣進入至空氣路徑板24的空氣噴出用溝部24c，之後到達至 孔口片23之島狀地散佈的複數個孔口23c(空氣噴出用孔口部23d)以發揮節流效果，使得通過座面片26的連通孔26c的空氣相撞於頂板22之底面，經與座面之間的間隙並由2.5mm左右的空氣噴出孔22c朝向玻璃等以降低速度被吹出。藉由此，將玻璃等以非接觸又高剛性地能夠上浮於上表面22a之上方。
還有，由頂板22的吸引孔22d所吸入的空氣，是通過座面片26的連通孔26c，之後到達至孔口片23之島狀地散佈的複數個孔口23c(吸引用孔口部23e)以發揮節流效果，經格子狀地被加工於空氣路徑板24之下面的吸引用溝部24d之後通過底板25的吸引孔25d，最後被排至真空泵。
如此地藉由使上浮用空氣板21動作，與第1實施形態同樣地，在穩定的狀態下能夠進行非接觸搬運玻璃等。
如上所述地，在第2實施形態中，將配設有空氣噴出孔22c及吸引孔22d之頂板22，及配設有具有比空氣噴出孔22c及吸引孔22d之直徑還更大之直徑的連通孔26c的座面片26予以積層，因形成由第1實施形態所進行之頂板2，因此能夠將設置於由第1實施形態所進行之頂板2的魚眼孔部2e獨立地形成於座面片26。藉由此，能夠提高魚眼孔加工之精度，並能夠得到均勻之魚眼孔深度，而且能夠容易地進行魚眼孔加工。
以上，針對於本發明的第1及第2實施形態 加以說明，惟本發明，是並不被限定於上述的本發明的第1及第2實施形態者，在未超越本發明的要旨的範圍內能夠做各種變形或是應用。例如，在第1實施形態中，設置對於孔口片3用以吸引空氣的連通孔3d，惟並不被限定於此，與第2實施形態同樣地，設置島狀地配置的1組的孔口3c也可以。又，例如，在第2實施形態中，代替吸引用孔口部23e，與第1實施形態同樣地，設置連通孔也可以。
還有，例如，在第1實施形態中，將設置於空氣路徑板4之下表面4b的吸引用溝部4d，與第2實施形態同樣地，對於玻璃等之搬運方向分割地設置也可以。
4c‧‧‧空氣噴出用溝部
3c‧‧‧孔口
2e‧‧‧魚眼孔部
2c‧‧‧空氣噴出孔
2d‧‧‧吸引孔
4h‧‧‧吸引用開口部
1‧‧‧上浮用空氣板
2a‧‧‧上表面
2‧‧‧頂板
4a‧‧‧上表面
3‧‧‧孔口片
4‧‧‧空氣路徑板
4b‧‧‧下表面
5‧‧‧底板
7‧‧‧裝配用螺栓
5d‧‧‧吸引孔
4d‧‧‧吸引用溝部
3d‧‧‧連通孔
4e‧‧‧連通孔
5c‧‧‧供氣孔

Claims (7)

  1. 一種上浮用空氣板，其特徵為具備：頂板、孔口片、以及底側板：該頂板，是由上表面貫通至下表面的空氣噴出孔及吸引孔，為俯視呈交互地配設複數，而且於上述複數空氣噴出孔的各個下表面側具有魚眼孔部，該孔口片，是於對應於該頂板的上述魚眼孔部之位置，具有由上表面貫通至下表面的複數第1孔口，而且於上述頂板的上述吸引孔，具有以一對一方式連通，且由上表面貫通至下表面的連通孔，該底側板是具有：用以對穿設於該孔口片的所有第1孔口供給空氣的空氣供給路徑及供氣孔，以及由連通於上述吸引孔的所有連通孔吸引空氣的空氣吸引路徑及吸引孔。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的上浮用空氣板，其中，上述底側板，是由空氣路徑板及底板所構成：該空氣路徑板，是於上表面具有：與穿設於上述孔口片的所有第1孔口連通的空氣噴出用溝部，及以一對一方式連通於上述孔口片之上述連通孔的吸引用開口部，而且於下表面具有：與連通於上述吸引用開口部的所有連通孔相連通的吸引用溝部，以及開口於該下表面且連通於上述空氣噴出用溝部的連通孔，該底板，是具有由上表面貫通至下表面的供氣孔及吸 引孔，並連通於：用以使該供氣孔之上表面側開口部連通於上述空氣路徑板之上述空氣噴出用溝部的連通孔，且上述吸引孔之上表面側開口部連通於上述空氣路徑板的上述吸引用溝部。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的上浮用空氣板，其中，上述孔口片是代替上述連通孔，於對應於上述頂板的上述吸引孔之位置，具有由上表面貫通至下表面的複數第2孔口。
  4. 一種上浮用空氣板，其特徵為具備：頂板、座面片、孔口片、以及底側板：該頂板，是由上表面貫通至下表面的空氣噴出孔及吸引孔，為俯視呈交互地配設複數，該座面片，是以一對一方式連通於該頂板的上述空氣噴出孔及吸引孔，且具有比由上表面貫通至下表面的上述空氣噴出孔及吸引孔之直徑還更大直徑的連通孔，該孔口片，是在對應於與上述頂板的上述空氣噴出孔連通的上述座面片的連通孔之位置，具有由上表面貫通至下表面的複數第1孔口，而且在對應於與上述頂板的上述吸引孔連通的上述座面片的連通孔之位置，具有由上表面貫通至下表面的複數第2孔口，該底側板是具有：用以對穿設於該孔口片的所有第1孔口供給空氣的空氣供給路徑及供氣孔，以及由穿設於該孔口片的所有第2孔口吸引空氣的空氣吸引路徑及吸引 孔。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的上浮用空氣板，其中，上述底側板，是由空氣路徑板及底板所構成：該空氣路徑板，是於上表面具有：與穿設於上述孔口片的所有上述第1孔口連通的空氣噴出用溝部，及與穿設於上述孔口片的所有上述第2孔口連通的吸引用開口部，而且於下表面具有：與連通於上述吸引用開口部的所有連通孔相連通的吸引用溝部，以及開口於該下表面且連通於上述空氣噴出用溝部的連通孔，該底板，是具有由上表面貫通至下表面的供氣孔及吸引孔，並連通於：用以使該供氣孔之上表面側開口部連通於上述空氣路徑板之上述空氣噴出用溝部的連通孔，且上述吸引孔之上表面側開口部連通於上述空氣路徑板的上述吸引用溝部。
  6. 如申請專利範圍第1、2、4或5項中任一項所述的上浮用空氣板，其中，將上述頂板的上述空氣噴出孔及吸引孔，交互地配置於以該頂板的俯視互相地平行的複數直線上，而且該複數直線，與由該上浮用空氣板所進行之搬運方向所夾的角度為0°、45°、及90°以外之角度。
  7. 如申請專利範圍第1、2、4或5項中任一項所述的上浮用空氣板，其中，將上述孔口片的上述複數孔口的各個，藉由使用雷射的微細孔加工進行穿設。
TW102111551A 2012-04-03 2013-03-29 上浮用空氣板 TWI565643B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012084409 2012-04-03
JP2013055853A JP5998086B2 (ja) 2012-04-03 2013-03-19 浮上用エアプレート

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201410572A TW201410572A (zh) 2014-03-16
TWI565643B true TWI565643B (zh) 2017-01-11

Family

ID=49300387

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102111551A TWI565643B (zh) 2012-04-03 2013-03-29 上浮用空氣板

Country Status (7)

Country Link
US (2) US9422120B2 (zh)
JP (1) JP5998086B2 (zh)
KR (1) KR20150000482A (zh)
CN (1) CN104203780B (zh)
HK (1) HK1205085A1 (zh)
TW (1) TWI565643B (zh)
WO (1) WO2013150894A1 (zh)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6287089B2 (ja) * 2013-11-13 2018-03-07 村田機械株式会社 基板浮上装置、基板移載装置、および基板搬送装置
TWI582896B (zh) * 2015-08-18 2017-05-11 由田新技股份有限公司 氣浮載台
US10807811B2 (en) 2016-03-07 2020-10-20 Purple Innovation, Llc Mattress toppers, air tables for making mattress toppers, and related methods
TWI577626B (zh) * 2016-06-04 2017-04-11 由田新技股份有限公司 氣浮載台
KR102300934B1 (ko) * 2016-06-21 2021-09-13 코아 플로우 리미티드 에지 리프팅을 동반한 비접촉 지지 플랫폼
JP6910518B2 (ja) * 2016-08-29 2021-07-28 株式会社日本製鋼所 レーザ照射装置
KR102632509B1 (ko) * 2016-09-13 2024-02-02 코닝 인코포레이티드 유리 기재 프로세싱 장치 및 방법
US9889995B1 (en) * 2017-03-15 2018-02-13 Core Flow Ltd. Noncontact support platform with blockage detection
US11214449B2 (en) 2017-07-11 2022-01-04 Corning Incorporated Glass processing apparatus and methods
US10513011B2 (en) * 2017-11-08 2019-12-24 Core Flow Ltd. Layered noncontact support platform
JP7161185B2 (ja) * 2018-10-23 2022-10-26 株式会社平安コーポレーション 木材加工機の吸着テーブル
US10745215B2 (en) * 2018-12-27 2020-08-18 Core Flow Ltd. Port arrangement for noncontact support platform
CN110124908B (zh) * 2019-06-21 2021-09-07 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） 晶片真空吸附装置
CN110980280A (zh) * 2019-11-28 2020-04-10 东莞理工学院 一种非接触多点式气浮抓取装置
JP7437187B2 (ja) * 2020-02-26 2024-02-22 Ｊｓｗアクティナシステム株式会社 浮上搬送装置、及びレーザ処理装置
JP7437186B2 (ja) * 2020-02-26 2024-02-22 Ｊｓｗアクティナシステム株式会社 浮上搬送装置、及びレーザ処理装置
KR102396243B1 (ko) * 2021-11-17 2022-05-09 황희진 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지 및 이의 세척방법
KR102396254B1 (ko) * 2021-11-17 2022-05-09 황희진 디스플레이 패널 부상 스테이지
CN114229471A (zh) * 2021-12-22 2022-03-25 中导光电设备股份有限公司 一种基于伯努利原理的气浮平台装置和气浮方法
KR102451485B1 (ko) * 2022-03-10 2022-10-06 황희진 흡기라인에 이물질 수용공간을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치
KR102451501B1 (ko) * 2022-03-10 2022-10-06 황희진 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치
KR102451491B1 (ko) * 2022-03-10 2022-10-06 황희진 이물질 수용공간을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005177560A (ja) * 2003-12-17 2005-07-07 Smc Corp 合成樹脂製多孔流路板及びその製造方法
TW200616878A (en) * 2004-11-29 2006-06-01 Smc Kk Non-contact transport apparatus
CN101081515A (zh) * 2006-06-02 2007-12-05 Smc株式会社 非接触输送装置
CN101133488A (zh) * 2005-03-03 2008-02-27 住友重机械工业株式会社 搬运物浮起组件、搬运物浮起装置及载物台装置
US20110023757A1 (en) * 2008-03-11 2011-02-03 Hilel Richman Method and system for locally controlling support of a flat object
TW201231370A (en) * 2011-01-14 2012-08-01 Oiles Industry Co Ltd Non-contact transfer device

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4299518A (en) * 1980-03-03 1981-11-10 Texas Instruments Incorporated Manufacturing work station
US5611648A (en) * 1996-01-26 1997-03-18 Simplimatic Engineering Company Air conveying support structure for conveying articles along an air conveyor
US7269475B1 (en) * 1998-03-02 2007-09-11 Xerox Corporation Distributed control system with global contraints for controlling object motion with smart matter
JP2001199528A (ja) * 2000-01-14 2001-07-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 気体浮揚手段を有するリフター、熱処理装置および熱処理方法
WO2002047155A1 (fr) * 2000-12-05 2002-06-13 Nippon Pneumatics/Fluidics System Co., Ltd. Support
TWI222423B (en) * 2001-12-27 2004-10-21 Orbotech Ltd System and methods for conveying and transporting levitated articles
KR100956348B1 (ko) * 2003-09-05 2010-05-06 삼성전자주식회사 인라인 반송 시스템
US6969224B2 (en) * 2003-12-01 2005-11-29 Smc Kabushiki Kaisha Workpiece levitating device
WO2005099350A2 (en) * 2004-04-14 2005-10-27 Coreflow Scientific Solutions Ltd. Non-contact support platforms for distance adjustment
JP4413789B2 (ja) * 2005-01-24 2010-02-10 東京エレクトロン株式会社 ステージ装置および塗布処理装置
JP4554397B2 (ja) * 2005-02-23 2010-09-29 東京エレクトロン株式会社 ステージ装置および塗布処理装置
KR101234475B1 (ko) * 2005-06-20 2013-02-18 엘지디스플레이 주식회사 비접촉 반송 장치에서의 지지플랫폼
JP4570545B2 (ja) * 2005-09-22 2010-10-27 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理方法
US7722256B2 (en) * 2006-11-17 2010-05-25 Corning Incorporated Flat surface air bearing assembly
JP5012651B2 (ja) * 2008-05-14 2012-08-29 東京エレクトロン株式会社 塗布装置、塗布方法、塗布、現像装置及び記憶媒体
JP5465595B2 (ja) * 2010-05-10 2014-04-09 オイレス工業株式会社 非接触搬送装置
US20130130510A1 (en) * 2010-05-18 2013-05-23 Edward Bok Semiconductor Substrate Transfer/Processing-tunnel -arrangement, with Successive Semiconductor Substrate - Sections
JP5822437B2 (ja) * 2010-06-16 2015-11-24 日本空圧システム株式会社 保持具
CN104822613A (zh) * 2013-02-26 2015-08-05 株式会社Ihi 搬运装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005177560A (ja) * 2003-12-17 2005-07-07 Smc Corp 合成樹脂製多孔流路板及びその製造方法
TW200616878A (en) * 2004-11-29 2006-06-01 Smc Kk Non-contact transport apparatus
CN101133488A (zh) * 2005-03-03 2008-02-27 住友重机械工业株式会社 搬运物浮起组件、搬运物浮起装置及载物台装置
CN101081515A (zh) * 2006-06-02 2007-12-05 Smc株式会社 非接触输送装置
US20110023757A1 (en) * 2008-03-11 2011-02-03 Hilel Richman Method and system for locally controlling support of a flat object
TW201231370A (en) * 2011-01-14 2012-08-01 Oiles Industry Co Ltd Non-contact transfer device

Also Published As

Publication number Publication date
CN104203780A (zh) 2014-12-10
US9422120B2 (en) 2016-08-23
JP5998086B2 (ja) 2016-09-28
HK1205085A1 (zh) 2015-12-11
US9550633B2 (en) 2017-01-24
WO2013150894A1 (ja) 2013-10-10
KR20150000482A (ko) 2015-01-02
TW201410572A (zh) 2014-03-16
US20150336751A1 (en) 2015-11-26
CN104203780B (zh) 2016-01-13
JP2013232631A (ja) 2013-11-14
US20160318719A1 (en) 2016-11-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI565643B (zh) 上浮用空氣板
JP5237357B2 (ja) 非接触搬送装置
KR101588440B1 (ko) 선회류 형성체 및 비접촉 반송 장치
JP5465595B2 (ja) 非接触搬送装置
JP2011225355A (ja) エア浮上ユニット、ステージ装置、検査システム、露光システム及び塗布システム
JP2018024014A (ja) レーザ剥離装置、レーザ剥離方法、及び有機ｅｌディスプレイの製造方法
KR20160078280A (ko) 비접촉 반송 장치 및 비접촉 흡착반
JP2003063643A (ja) 薄板の搬送方法及び装置
JPWO2010058689A1 (ja) 非接触搬送装置
TWI791553B (zh) 玻璃加工設備及方法
KR101093675B1 (ko) 글래스 이송장치
JP4229670B2 (ja) 薄板状材の搬送方法及び装置
JP6086476B2 (ja) 基板浮上装置
TWI543918B (zh) 用來運送平板構件之輸送載具
JP4171293B2 (ja) 薄板状材の搬送方法及び装置
JP5740394B2 (ja) 旋回流形成体及び非接触搬送装置
JP5536516B2 (ja) 非接触搬送装置
KR101136147B1 (ko) 기판의 부상반송 장치
JP6641663B2 (ja) ガラス板の製造方法及びその製造装置
JP2013245731A (ja) ワーク浮上装置
TWI449653B (zh) Non - contact delivery device
JP2018188243A (ja) フィルム状ワーク吸着装置
KR101084638B1 (ko) 기판의 부상반송 장치
JP2014133655A (ja) 非接触搬送装置
CN109318374A (zh) 断裂装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees