KR102451501B1

KR102451501B1 - 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치

Info

Publication number: KR102451501B1
Application number: KR1020220029839A
Authority: KR
Inventors: 황희진; 박희준
Original assignee: 황희진
Priority date: 2022-03-10
Filing date: 2022-03-10
Publication date: 2022-10-06

Abstract

본 발명은 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치에 관한 것으로, 이를 위해 디스플레이 패널을 안정적으로 부상시키기 위해 다수의 급기홀과 진공홀이 교번하는 패턴으로 다수 형성되는 탑플레이트;와, 상기 탑플레이트의 저면에 결합되고 상기 각 급기홀과 진공홀이 상통되는 다수의 채널이 형성되는 진공동기플레이트;와, 상기 진공동기플레이트의 저면에 결합되어 각각의 채널과 상통되는 압력유지홀이 형성되는 복수의 압력유지플레이트;와, 상기 압력유지플레이트의 저면에 결합되어 상기 각 진공홀과 상통되는 압력유지홀에 진공압을 분기하는 제1바텀플레이트;와, 상기 제1바텀플레이트의 저면에 결합되어 상기 각 급기홀에 상통되는 압력유지홀에 급기압을 분기하는 제2바텀플레이트;와, 상기 제2바텀플레이트의 저면에 결합되어 제1바텀플레이트 또는 제2바텀플레이트로 진공압과 급기압을 공급하는 매니폴드;를 포함하여 이루어지되, 상기 진공동기플레이트는 복수개의 진공홀을 하나로 동기시킴으로써, 진공홀과 상통되는 압력유지플레이트와, 제1,2바텀플레이트의 홀가공 개수를 1/2 이상으로 줄일 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치{DISPLAY PANEL FLOATING STAGE DEVICE HAVING VACUUM SYNCHRONIZATION LINE}

본 발명은 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 복수개의 진공홀을 동기라인을 통해 하나로 동기화시켜 진공홀과 상통되는 홀가공 개수를 1/2 이상으로 줄일 수 있고, 또한 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시키는 한편, 처짐이 발생되는 디스플레이 패널 양측 사이드에는 진공압 없이 급기압만이 분사되도록 하여 디스플레이 패널의 평탄도를 안정적으로 유지할 수 있도록 한 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치에 관한 것이다.

일반적으로, TV, 모니터, 휴대폰 등에 사용되는 평판 표시 장치의 구성을 보면, 투명한 디스플레이 패널 위에 격자 패턴이 형성되어 있고, 그 뒤에는 백라이트가 있으며, 이들 사이에는 액정이 있고, 디스플레이 패널 앞에는 칼라 필터가 배치된다.

상기 격자 패턴에 인가된 전기신호에 의해 액정은 특정 위치의 빛을 차단하거나 통과 시킬 수 있으며, 이러한 방식의 디스플레이 장치를‘LCD’라 한다. 액정 대신 유기물을 사용하기도 하는데 이 유기물은 전기신호를 받으면 자체 발광하므로 백라이트는 필요가 없으며, 이러한 방식의 디스플레이 장치를‘OLED’라고 한다.

위와 같은 평판표시장치(FPD)가 만들어지기까지는 많은 공정을 거치게 되는데 이 과정에서 디스플레이 패널은 반복적으로 이동과 검사가 이루어 진다. 디스플레이 패널을 이동하는 방법은 공정 특성에 따라 다른 데 단순이동(Transfer)에는 롤러(Roller)나 인덱스(Index) 혹은 로봇 팔을 이용하기도 하지만, 검사공정에서는 정밀반송이 요구되므로 비접촉으로 반송을 하는 것이 일반적이며, 비접촉식 반송장치에는 공압 및 부상 스테이지가 포함된다.

상기 부상 스테이지가 갖추어야 할 몇 가지 특성을 보면, 적정한 압력이 있는 상태에서 가능한 소량의 공기가 일정하게 흘러나와야 하고 흘러나온 공기는 막힘 없이 흡기가 이루어져야 한다.

근래 들어 디스플레이의 크기가 커지면서 해당 정밀도 또한 높아지면서 이에 따라 패널의 이송 정밀도 또한 높은 수준을 요구 받고 있다.

이 때 디스플레이 패널이 이동할 때 흔들리게 되면 카메라로 들어오는 영상이 좋지 않아서 결함검사 품질을 떨어뜨리게 된다.

즉, 디스플레이 패널의 상하 떨림이 발생할 경우 피사체인 디스플레이 패널이 렌즈의 초점을 벗어나므로 만족스러운 검사 이미지를 얻을 수 없어 검사 능력을 저하시키는 원인이 된다.

여기서 디스플레이 패널이 이동할 때 상하의 떨림정도와 가장 밀접하게 연관 된 것이 부상 스테이지이다. 부상 스테이지를 통해서 나오는 공기 량이 일정하지 않거나 공기의 흐름이 원활하지 않으면 디스플레이 패널을 흔들리게 된다.

그 이유는 부상 스테이지와 디스플레이 패널 사이의 압력 및 체적 변화로 볼 수 있다.

따라서 부상 스테이지에서는 적정한 압력을 유지하면서 공기 량을 최소화하고, 공기가 잘 빠져 나가도록 하는 것이 가장 중요하다.

전술한 적정압력이라는 것은 디스플레이 패널이 부상 스테이지에 접촉하지 않을 정도의 저항력을 갖는 압력이다. 압력이 낮으면 이송 정밀도는 좋아지지만 부상 스테이지와 접촉될 가능성이 높고, 압력이 높으면 접촉 가능성은 낮아지나 부상 안정성이 떨어 진다.

또한 압력이 너무 높으면 설계에 따라서는 장기적으로 부상 스테이지의 변형을 가져오기도 한다. 그러므로 디스플레이 패널과 검사 정밀도 그리고 공정을 잘 분석하여 적정한 압력을 유지하는 것이 중요하다.

또한, 적정압력이 되었다 하더라도 공기유량이 많으면 공기 분출 시 난기류의 영향이 커지면서 디스플레이 패널이 흔들릴 수 있다. 또한 많은 공기가 빨리 빠져 나가지 못함에 따라 부분적으로 공기 정체가 발생하여 디스플레이 패널과 부상 스테이지의 간격 변화를 가져오게 된다. 이러한 현상 또한 부상의 안정성을 떨어뜨리게 되므로 좋은 검사 이미지 획득이 어렵다.

공기 흐름을 작게 하려면 저항체가 필요하다. 상기 저항체는 압력이 형성되게 하고 공기 량을 조절하는 기능을 동시 하게 된다. 따라서 저항체는 부상 스테이지에서 가장 중요한 기술적 요소라고 할 수 있다.

나아가, 적정한 압력이 형성되었고 공기 유량이 작다 하더라도 흡기가 안되면 디스플레이 패널을 안정적으로 반송시키기 어렵다.

부상 스테이지를 설계함에 있어서 일반적으로 무시되는 부분이 바로 흡기 부분이다. 흡기는 저항체 못지 않게 중요하다.

아무리 소량의 공기가 나온다고 하더라도 시간이 지나면 부상 스테이지 위에 누적 된다. 흡기가 안되면 디스플레이 패널은 우산 모양으로 휘어진 체 이동하게 되므로 고품질의 검가 이미지 획득이 어렵게 된다. 그러므로 부상 스테이지 바닥에서 흘러 나오는 공기를 빠른 시간에 흡기 할 수 있는 유로의 확보는 필수적이다.

한편 디스플레이 패널은 포토레지스트(photoresist: PR), 블랙 매트릭스(Black Matrix: BM), 컬럼 스페이스(column space: CS) 등을 형성하기 위해 감광성 코팅액을 도포할 수 있다.

또한, PDP 패널을 제조하는 경우 PDP 패널 기판 상에 상유전체, 하유전체, 격벽을 형성하기 위해 코팅액 또는 감광성 코팅액을 도포할 수 있다.

하지만 이러한 감광성 코팅액은 부상 스테이지의 진공홀의 내부에 점착되어 막힘 현상이 발생되는 문제점이 있었다.

이러한 문제점으로 인해 새로운 부상 스테이지를 교환시킨 후, 레벨링 및 부상량을 측정하여 생산 라인을 재가동해야 하는데, 이 때 걸리는 기간이 대략 2일 정도 소요되는 문제점이 있었다.

대한민국 등록특허 제10-1179736호

본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 본 발명의 제1목적은, 복수개의 진공홀을 동기라인을 통해 하나로 동기화시켜 진공홀과 상통되는 홀가공 개수를 1/2 이상으로 줄일 수 있도록 한 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 제2목적은, 처짐이 발생되는 디스플레이 패널 양측 사이드에는 진공압 없이 급기압만이 분사되도록 하여 디스플레이 패널의 평탄도를 안정적으로 유지하는 것은 물론, 탑플레이트의 사이드 양측에 높이가 점차적으로 낮아지는 테이퍼면을 형성하여 휨이 있는 디스플레이 패널의 컨택을 방지할 수 있도록 한 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 특징에 따르면, 제 1발명은, 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치에 관한 것으로, 이를 위해 디스플레이 패널을 안정적으로 부상시키기 위해 다수의 급기홀과 진공홀이 교번하는 패턴으로 다수 형성되는 탑플레이트;와, 상기 탑플레이트의 저면에 결합되고 상기 각 급기홀과 진공홀이 상통되는 다수의 채널이 형성되는 진공동기플레이트;와, 상기 진공동기플레이트의 저면에 결합되어 각각의 채널과 상통되는 압력유지홀이 형성되는 복수의 압력유지플레이트;와, 상기 압력유지플레이트의 저면에 결합되어 상기 각 진공홀과 상통되는 압력유지홀에 진공압을 분기하는 제1바텀플레이트;와, 상기 제1바텀플레이트의 저면에 결합되어 상기 각 급기홀에 상통되는 압력유지홀에 급기압을 분기하는 제2바텀플레이트;와, 상기 제2바텀플레이트의 저면에 결합되어 제1바텀플레이트 또는 제2바텀플레이트로 진공압과 급기압을 공급하는 매니폴드;를 포함하여 이루어지되, 상기 진공동기플레이트는 복수개의 진공홀을 하나로 동기시킴으로써, 진공홀과 상통되는 압력유지플레이트와, 제1,2바텀플레이트의 홀가공 개수를 진공홀의 홀가공 개수에 비해 1/2이상으로 줄일 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.

제2발명은, 제1발명에서, 상기 진공동기플레이트의 각 채널은 복수개의 진공홀을 하나로 동기시키는 다수의 동기라인과, 상기 급기홀과 상통되는 급기압력유지홀로 구성되되, 상기 동기라인은 대각선 방향으로 상호 간 인접한 복수개의 진공홀을 동기시킬 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.

제3발명은, 제2발명에서, 상기 압력유지플레이트의 각 압력유지홀은 진공동기플레이트의 동기라인과 급기압력유지홀에 상통되는 것을 특징으로 한다.

제4발명은, 제3발명에서, 상기 압력유지플레이트의 압력유지홀은 압력유지실과, 상기 압력유지실 보다 상대적으로 내경이 작게 구성되는 통로로 구성되고, 상기 진공동기플레이트의 급기압력유지홀은 급기압력유지실과, 상기 급기압력유지실 보다 상대적으로 내경이 작게 구성되는 급기통로로 구성되는 것을 특징으로 한다.

제5발명은, 제4발명에서, 상기 각 압력유지플레이트 중 어느 하나는 진공홀과 상통되는 압력유지실이 통로 없이 길게 확장되어 구성되는 것을 특징으로 한다.

제6발명은, 제1발명에서, 상기 제1바텀플레이트는 상기 각 진공홀로 진공압을 공급하기 위해 일정간격을 두고 병렬 형성되는 진공로와, 상기 각 진공로의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되어 상기 진공홀과 상통되는 제1분기로가 형성되는 특징으로 한다.

제7발명은, 제1발명에서, 상기 제2바텀플레이트는 급기홀로 급기압을 공급하기 위해 일정간격을 두고 병렬 형성되는 급기로와, 상기 각 급기로의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되어 상기 급기홀과 상통되는 제2분기로가 형성되는 것을 특징으로 한다.

제8발명은, 제1발명에서, 상기 탑플레이트는 사이드 양측 1열 횡대를 따라 진공홀 없이 급기홀만이 일정간격을 두고 배치되는 것을 특징으로 한다.

제9발명은, 제8발명에서, 상기 탑플레이트는 급기홀만이 형성된 사이드 양측이 높이가 점차적으로 낮아지는 테이퍼면을 형성하여 휨이 있는 디스플레이 패널의 컨택을 방지할 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치.

본 발명의 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치에 따르면, 복수개의 진공홀을 동기라인을 통해 하나로 동기화시켜 진공홀과 상통되는 압력유지플레이트와 제1,2바텀플레이트의 진공라인 홀가공 개수를 1/2 이상으로 줄일 수 있어 제조비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

또한 동기라인을 통해 파티클이나 약액과 같은 이물질을 저장하는 저장공간으로 활용하여 진공홀의 음압이 저하되는 것을 방지할 수 있어 진공라인의 세척으로 인한 휴지시간 없이 장시간에 걸쳐 설비를 유지할 수 있는 효과가 있다.

또한 부상되는 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시킬 수 있는 효과가 있다.

또한 처짐이 발생되는 디스플레이 패널 양측 사이드에는 진공압 없이 급기압만이 분사되도록 하여 디스플레이 패널의 평탄도를 안정적으로 유지할 수 있는 효과가 있다.

또한 탑플레이트의 사이드 양측에 높이가 점차적으로 낮아지는 테이퍼면을 형성하여 휨이 있는 디스플레이 패널의 컨택을 방지할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치의 사시도,
도 2는 도 1의 저면사시도,
도 3은 본 발명에 따른 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치의 분해사시도,
도 4는 도 3에서 발췌된 진공동기플레이트의 평면도,
도 5는 도 3에서 발췌된 제1바텀플레이트를 나타내는 평면도,
도 6은 도 3에서 발췌된 제2바텀플레이트를 나타내는 평면도,
도 7은 도 3에서 발췌된 매니폴드를 나타내는 사시도,
도 8은 본 발명에 따른 제1,2바텀플레이트와, 매니폴드 및 소켓블럭의 연결상태를 나타내는 투영도,
도 9는 본 발명의 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치의 급기압과 진공압의 작동상태를 나타내는 편집된 단면도,
도 10은 도 9에서 발췌된 진공압의 이동상태를 나타내는 확대도,
도 11은 도 9에서 발췌된 급기압의 이동상태를 나타내는 확대도,
도 12는 다른 실시예에 따른 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치의 사시도이다.

이하의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다.

오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.

여기에 설명되고 예시되는 실시예들은 그것의 상보적인 실시예들도 포함한다.

본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprise)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소는 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다. 아래의 특정 실시예들을 기술하는데 있어서, 여러가지의 특정적인 내용들은 발명을 더 구체적으로 설명하고 이해를 돕기 위해 작성되었다. 하지만 본 발명을 이해할 수 있을 정도로 이 분야의 지식을 갖고 있는 독자는 이러한 여러 가지의 특정적인 내용들이 없어도 사용될수 있다는 것을 인지할 수 있다. 어떤 경우에는, 발명을 기술하는 데 있어서 흔히 알려졌으면서 발명과 크게 관련 없는 부분들은 본 발명을 설명하는 데 있어 혼돈을 막기 위해 기술하지 않음을 미리 언급해 둔다.

이하에서는 본 발명에 따른 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치에 장치에 관하여 첨부되어진 도면과 함께 더불어 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 저면사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치의 분해사시도이고, 도 4는 도 3에서 발췌된 진공동기플레이트의 평면도이고, 도 5는 도 3에서 발췌된 제1바텀플레이트를 나타내는 평면도이고, 도 6은 도 3에서 발췌된 제2바텀플레이트를 나타내는 평면도이고, 도 7은 도 3에서 발췌된 매니폴드를 나타내는 사시도이고, 도 8은 본 발명에 따른 제1,2바텀플레이트와, 매니폴드 및 소켓블럭의 연결상태를 나타내는 투영도이고, 도 9는 본 발명에 따른 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치의 급기압과 진공압의 작동상태를 나타내는 편집된 단면도이고, 도 10은 도 9에서 발췌된 진공압의 이동상태를 나타내는 확대도이고, 도 11은 도 9에서 발췌된 급기압의 이동상태를 나타내는 확대도이고, 도 12는 다른 실시예에 따른 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치의 사시도이다.

도 1 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명은 복수개의 진공홀을 동기라인을 통해 하나로 동기화시켜 진공홀과 상통되는 진공라인의 홀가공 개수를 1/2 이상으로 줄일 수 있고, 또한 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시키는 한편, 처짐이 발생되는 디스플레이 패널 양측 사이드에는 진공압 없이 급기압만이 분사되도록 하여 디스플레이 패널의 평탄도를 안정적으로 유지할 수 있도록 한 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치(100)에 관한 것이다.

본 발명의 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치(100)는 크게 6개 부분으로 구성되는데, 이는 탑플레이트(10)와, 진공동기플레이트(20)와, 압력유지플레이트(30)와, 제1,2바텀플레이트(40,50) 및 매니폴드(60)가 순차적으로 적층결합되어 구성된다.

상기 탑플레이트(10)는 도 1과 같이, 디스플레이 패널(200)을 안정적으로 부상시키기 위해 다수의 급기홀(11)과 진공홀(12)이 교번하는 패턴으로 다수 형성되는 구조이다.

이 때 상기 급기홀(11)에서 발생되는 급기압은 상기 진공홀(12)에 발생되는 진공압 보다 상대적으로 커 디스플레이 패널(200)이 부상될 수 있도록 하는 것이 선행되어야 한다.

상기 진공동기플레이트(20)는 도 4와, 도 9 및 도 10과 같이,상기 탑플레이트(10)의 저면에 결합되어 급기홀(11)과 진공홀(12)이 상통되는 다수의 채널(21)이 다수 형성되는 구조이다.

여기서 상기 진공동기플레이트(20)는 복수개의 진공홀(12)을 하나로 동기시키는 동기라인(211)이 더 형성되는 구조이다.

보다 상세하게는 상기 진공동기플레이트(20)의 각 채널(21)은 2개의 진공홀(12)을 하나로 동기시키는 다수의 동기라인(211)과, 상기 급기홀(11)과 상통되는 급기압력유지홀(212)로 구성된다.

여기서 상기 동기라인(211)은 탑플레이트(10)에 형성된 진공홀(12)이 급기홀(11)과 교번되는 패턴으로 형성되기 때문에 대각선 방향으로 상호 간 인접한 2개의 진공홀(12)을 동기시킬 수 있도록 이루어진다.

이 때 상기 동기라인(211)은 다른 실시예로 3개 또는 4개 또는 5개 또는 6개의 진공홀(12)을 하나로 동기시킬 수 있게 구성할 수 있다.

즉, 상기 동기라인(211)은 급기홀(11)과 교번되는 진공홀(12)을 동기화시키기 위해 대각선 방향으로 홀가공하여 형성되는 것으로, 이를 통해 진공홀(12)과 상통되는 압력유지플레이트(30)와 제1,2바텀플레이트(40,50)의 진공라인 홀가공 개수를 1/2 이상으로 줄일 수 있어 제조비용을 절감할 수 있는 구조가 마련된다.

또한 상기 진공동기플레이트(20)의 동기라인(211)은 파티클이나 약액과 같은 이물질을 저장하는 수용공간으로 활용하여 진공홀(12)의 음압이 저하되는 것을 방지할 수 있는 부가적인 기능을 갖을 수 있다.

또한 상기 동기라인(211)은 파티클이나 약액과 같은 이물질에 의해 진공홀(12)의 음압이 저하되어 디스플레이 패널(200)의 부상량이 불균형되는 것을 방지하고, 또한 진공라인의 세척으로 인해 설비의 중단을 지연시킬 수 있는 부가적인 기능을 갖을 수 있다.

또한 상기 동기라인(211)을 통해 진공라인의 홀가공 개수가 1/2 감소되기 때문에 상기 급기홀(11)에서 발생되는 급기압이 상기 진공홀(12)에 발생되는 진공압 보다 상대적으로 커 디스플레이 패널(200)이 부상될 수 있는 구조를 마련할 수 있다.

아울러 상기 급기압력유지홀은 급기홀과 상통되는 것으로, 급기압력유지실(212a)과, 상기 급기압력유지실(212a) 보다 상대적으로 내경이 작게 구성되는 급기통로(212b)로 구성되어 급기압력을 일정하게 유지시키는 기능을 한다.

이러한 상기 급기압력유지홀(212)은 후술되는 압력유지플레이트(30)의 압력유지홀(31)과 동일한 기능을 한다.

상기 압력유지플레이트(30)는 도 9 내지 도 11과 같이, 상기 진공동기플레이트(20)의 저면에 결합되어 각각의 채널(21)과 상통되는 압력유지홀(31)이 형성된다.

보다 상세하게는 상기 압력유지플레이트(30)의 각 압력유지홀(31)은 진공동기플레이트(20)의 동기라인(211)과 급기압력유지홀(212)에 상통되는 구조이다.

이러한 상기 압력유지플레이트(30)는 탑플레이트(10)의 급기홀(11)에서 분사되는 급기압과, 진공홀(12)에서 흡입되는 진공 음압을 일정하게 유지하는 기능을 한다.

여기서 압력유지플레이트(30)의 압력유지홀(31)은 압력유지실(311)과, 상기 압력유지실(311) 보다 상대적으로 내경이 작게 구성되는 통로(312)로 구성된다.

상기에서 급기홀(11) 및 급기압력유지홀(212)과 상통되는 압력유지실(311)은 급기되는 공기에 와류를 발생시켜 압력을 낮추는 소위 저항체의 기능을 하게 된다.

그리고 통로(312)는 압력유지실(311)에 의해 압력이 낮아진 공기의 유량을 저감시킬 수 있도록 기능한다.

따라서 상기 급기홀(11)을 통해 배출되는 공기의 급기량과, 급기압은 압력유지플레이트(30)의 압력유지홀(31)을 다단으로 거치면서 일정하게 유지될 수 있게 된다.

한편 동기라인(211)과 연결되는 상기 압력유지홀(31)은 압력유지실(311)을 통해 진공압력이 높아지는 것을 방지할 수 있고, 상기 통로(312)는 흡기량을 급기량 만큼 조절될 수 있게 한다.

이 때 상기 진공홀(12)과 상통되는 압력유지홀(31)의 통로(312)는 급기압력유지홀(212)에 연결되는 압력유지홀(31)의 통로(312) 보다 내경이 더 확장되어 급기량 대비 흡입량의 균형을 맞출수 있게 이루어진다.

또한 상기 각 압력유지플레이트(30) 중 어느 하나는 진공홀(12)과 상통되는 압력유지실(311)이 통로(312) 없이 길게 확장되어 구성될 수 있다. 이는 진공압의 저항이 더 크게 발생되는 바, 진공에 의해 흡기되는 공기량을 증대시켜 급기량 대비 흡입량의 균형을 맞추기 위함이다.

이에 따라 상기 진공홀(12)을 통해 흡입되는 진공압과 흡기량은 체적이 확장되어 1/2 이상으로 줄어드는 진공라인을 보상할 수 있고, 또한 진공압과 흡기량 역시 압력유지홀(31)을 다단으로 거치면서 일정하게 유지될 수 있게 된다.

때문에 상기 탑플레이트(10)는 압력유지플레이트(30)를 통해 디스플레이 패널(200)의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위 곳에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널(200)을 흔들림 없이 안정적으로 부상시킬 수 있게 된다.

상기 제1바텀플레이트(40)는 도 5와, 도 9 및 도 10과 같이, 상기 압력유지플레이트(30)의 저면에 결합되어 상기 각 진공홀(12)과 상통되는 압력유지홀(31)에 진공압을 선별적으로 공급하는 기능을 한다.

이러한 제1바텀플레이트(40)는 상기 각 진공홀(12)로 진공압을 공급하기 위해 일정간격을 두고 병렬 형성되는 진공로(41)와, 상기 각 진공로(41)의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되어 상기 진공홀(12)과 상통되는 제1분기로(411)가 형성되는 구조이다.

여기서 상기 각 제1분기로(411)는 진공홀(12)과 상통되는 압력유지홀(31)의 압력유지실(311)과 선별적으로 상통되어 공기를 진공 음압에 의해 흡입시킬 수 있도록 구성된다.

이러한 상기 제1바텀플레이트(40)의 각 진공로(41)에는 제1분기로(411)와 별개로 복수의 제1연결로(412)가 형성되는데, 이러한 제1연결로(412)에는 진공압을 공급받기 위한 제1통공(413)이 더 형성된다.

이 때 상기 제1통공(413)은 도 10과 같이, 제2바텀플레이트(50)까지 연장되어 제2바텀플레이트(50)의 간섭없이 흡기를 위한 진공 음압을 압력유지플레이트(30)로 전달할 수 있도록 이루어진다.

아울러 상기 제2바텀플레이트(50)는 도 6과, 도 9 및 도 11과 같이, 급기홀(11)로 공기를 공급하기 위해 상기 제1바텀플레이트(40)의 저면에 고정되고, 일정간격을 두고 병렬 형성되는 급기로(51)와, 상기 급기로(51)의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되는 제2분기로(511)를 포함하는 구성이다.

여기서 상기 각 제2분기로(511)는 급기홀(11)과 상통되는 압력유지홀(31)의 압력유지실(311)과 선별적으로 상통되어 급기를 위한 공기가 공급될 수 있도록 구성된다.

또한 상기 제2바텀플레이트(50)의 각 급기로(51)에는 제2분기로(511)와 별개로 복수의 제2연결로(512)가 형성되는데, 이러한 제2연결로(512)에는 급기압을 공급받기 위한 제2통공(513)이 더 형성될 수 있다.

상기 매니폴드(60)는 도 7과 같이, 상기 제2바텀플레이트(50)와 결합되어 제1바텀플레이트(40) 또는 제2바텀플레이트(50)로 진공압과 급기압을 공급하는 기능을 한다.

이러한 상기 매니폴드(60)는 한개 또는 복수개가 결합될 수 있으며, 도 7과 같이, 상기 제2바텀플레이트(50)의 저면에 고정되고, 제1바텀플레이트(40)의 급기로(51)와, 제2바텀플레이트(50)의 진공로(41)에 개별적으로 연통되는 급기공급로(61)와, 진공공급로(62)가 병렬로 나란히 형성되는 구조이다.

여기서 도 11과 같이, 상기 급기공급로(61)는 상기 제2바텀플레이트(50)의 각 제2연결로(512)에 형성된 제2통공(513)과 연통시켜 상기 각 급기로(51)로 급기압이 공급되도록 기능한다.

그리고 상기 진공공급로(62)는 상기 제1바텀플레이트(40)의 각 제1연결로(412)에 형성된 제1통공(413)과 연통시켜 상기 각 진공로(41)로 진공압이 공급되도록 기능한다.

또한 상기 매니폴드(60)의 저면에는 상기 급기공급로(61)와 상통되는 급기단자홀(611)과, 상기 진공공급로(62)와 상통되는 진공단자홀(621)을 더 포함한다.

이 때 상기 매니폴드(60)는 상기 진공단자홀(621)과, 급기단자홀(611)에는 진공호스(71)와 급기호스(72)를 연결시키기 위한 소켓블럭(70)이 결합되어 구성될 수 있다.

한편 본 발명의 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치(100)는 처짐이 발생되는 디스플레이 패널(200)의 사이드 양측으로 진공압 없이 급기압만 발생되도록 하여 디스플레이 패널(200)의 평탄도를 유지할 수 있도록 구성된다.

이를 위해 상기 탑플레이트(10)는 도 1과 같이, 사이드 양측 1열 횡대를 따라 급기홀(11)만이 일정간격을 두고 배치된다.

그리고 상기 제2바텀플레이트(50)의 급기로(51) 중 사이드 양측에 배치된 급기로(51)는 보조급기로(52)가 상기 각 급기홀(11)과 상통되게 이루어진다.

이러한 상기 제2바텀플레이트(50)의 보조급기로(52)에는 공기를 공급받기 위한 제3통공(521)이 형성될 수 있다.

그리고 상기 매니폴드(60)는 2개의 보조급기로(52)에 개별적으로 공기를 공급하는 보조공급로(63)가 더 형성될 수 있다.

아울러 상기 매니폴드(60)의 상면 역시 상기 보조공급로(63)와 상통되는 2개의 보조단자홀(631)이 형성되고, 이러한 2개의 보조단자홀(631)에는 각각 단독으로 급기압을 공급할 수 있는 보조소켓블럭(80)이 결합되어 구성된다.

이를 통해 상기 탑플레이트(10)의 사이드 양측 1열 횡대에 배치된 급기홀(11)은 개별적으로 별도의 급기압을 제공할 수 있어 디스플레이 패널(200)의 평탄도와 더불어, 디스플레이 패널(200)의 크기에 따라 디스플레이 패널(200)이 직진 이송되게 에어펜스의 기능을 겸할 수 있다.

한편 도 12와 같이, 상기 탑플레이트(10)는 사이드 양측 1열 횡대에 배치된 급기홀(11) 영역에 높이가 점차적으로 낮아지는 테이퍼면(13)을 더 형성하여 구성될 수 있다.

이러한 상기 테이퍼면(13)은 휨이 있는 디스플레이 패널(200)의 컨택을 줄여주는 기능을 한다.

이상에서와 같이 설명된 본 발명의 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치의 급기라인과 진공라인의 경로는 다음과 같다.

도 11 및 도 12를 참고하면,

진공라인: 진공탱크(미도시) ← 소켓블럭 ← 매니폴드(진공단자홀 ← 진공공급로) ← 제1바텀플레이트(제1연결로←제1통공←제1분기로←진공로) ← 복수의 압력유지플레이트(압력유지홀:압력유지실←통로) ← 진공동기플레이트(채널: 동기라인) ← 탑플레이트(진공홀)

급기라인: 압축탱크(미도시) → 소켓블럭 → 매니폴드(급기단자홀 → 급기공급로) → 제2바텀플레이트(제2연결로→제2통공→제2분기로-급기로) → 복수의 압력유지플레이트(압력유지실→통로) → 진공동기플레이트(채널: 급기압력유지홀: 급기압력유지실→급기통로) → 탑플레이트(급기홀)

탑플레이트의 외각 가장자리 급기라인: 압축탱크(미도시) → 보조소켓블럭 → 매니폴드(보조단자홀 → 보조공급로) → 제2바텀플레이트(제3통공→보조급기로) → 복수의 압력유지플레이트(압력유지실→통로) → 진공동기플레이트(채널: 급기압력유지홀: 급기압력유지실→급기통로) → 탑플레이트(사이드 외각 급기홀)

본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

10: 탑플레이트
11: 급기홀 12: 진공홀
13: 테이퍼면
20: 진공동기플레이트
21: 채널 211: 동기라인
212: 급기압력유지홀 212a: 급기압력유지실
212b: 급기통로
30: 압력유지플레이트
31: 압력유지홀 311: 압력유지실
312: 통로
40: 제1바텀플레이트
41: 진공로 411: 제1분기로
412: 제1연결로 413: 제1통공
50: 제2바텀플레이트
51: 급기로 511: 제2분기로
512: 제2연결로 513: 제2통공
52: 보조급기로 521: 제3통공
60: 매니폴드 61: 급기공급로 611: 급기단자홀
62: 진공공급로 621: 진공단자홀
63: 보조공급로 631: 보조단자홀
70: 소켓블럭 71: 진공호스 72: 급기호스
80: 보조소켓블럭
100: 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치
200: 디스플레이 패널

Claims

디스플레이 패널(200)을 안정적으로 부상시키기 위해 다수의 급기홀(11)과 진공홀(12)이 교번하는 패턴으로 다수 형성되는 탑플레이트(10);
상기 탑플레이트(10)의 저면에 결합되고 상기 각 급기홀(11)과 진공홀(12)이 상통되는 다수의 채널(21)이 형성되는 진공동기플레이트(20);
상기 진공동기플레이트(20)의 저면에 결합되어 각각의 채널(21)과 상통되는 압력유지홀(31)이 형성되는 복수의 압력유지플레이트(30);
상기 압력유지플레이트(30)의 저면에 결합되어 상기 각 진공홀(12)과 상통되는 압력유지홀(31)에 진공압을 분기하는 제1바텀플레이트(40);
상기 제1바텀플레이트(40)의 저면에 결합되어 상기 각 급기홀(11)에 상통되는 압력유지홀(31)에 급기압을 분기하는 제2바텀플레이트(50);
상기 제2바텀플레이트(50)의 저면에 결합되어 제1바텀플레이트(40) 또는 제2바텀플레이트(50)로 진공압과 급기압을 공급하는 매니폴드(60);를 포함하여 이루어지되,
상기 진공동기플레이트(20)는 복수개의 진공홀(12)을 하나로 동기시킴으로써, 진공홀(12)과 상통되는 압력유지플레이트(30)와, 제1,2바텀플레이트(40,50)의 홀가공 개수를 진공홀(12)의 홀가공 개수에 비해 1/2 이상으로 줄일 수 있도록 구성되고,
상기 진공동기플레이트(20)의 각 채널(21)은 복수개의 진공홀(12)을 하나로 동기시키는 다수의 동기라인(211)과, 상기 급기홀(11)과 상통되는 급기압력유지홀(212)로 구성되되,
상기 동기라인(211)은 대각선 방향으로 상호 간 인접한 복수개의 진공홀(12)을 동기시킬 수 있도록 구성되고,
상기 압력유지플레이트(30)의 각 압력유지홀(31)은 진공동기플레이트(20)의 동기라인(211)과 급기압력유지홀(212)에 상통되고,
상기 압력유지플레이트(30)의 압력유지홀(31)은 압력유지실(311)과, 상기 압력유지실(311) 보다 상대적으로 내경이 작게 구성되는 통로(312)로 구성되고,
상기 진공동기플레이트(20)의 급기압력유지홀(212)은 급기압력유지실(212a)과, 상기 급기압력유지실(212a) 보다 상대적으로 내경이 작게 구성되는 급기통로(212b)로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치.
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제1항에 있어서,
상기 각 압력유지플레이트(30) 중 어느 하나는 진공홀(12)과 상통되는 압력유지실(311)이 통로(312) 없이 길게 확장되어 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치.
제1항에 있어서,
상기 제1바텀플레이트(40)는 상기 각 진공홀(12)로 진공압을 공급하기 위해 일정간격을 두고 병렬 형성되는 진공로(41)와, 상기 각 진공로(41)의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되어 상기 진공홀(12)과 상통되는 제1분기로(411)가 형성되는 특징으로 하는 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치.
제1항에 있어서,
상기 제2바텀플레이트(50)는 급기홀(11)로 급기압을 공급하기 위해 일정간격을 두고 병렬 형성되는 급기로(51)와, 상기 각 급기로(51)의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되어 상기 급기홀(11)과 상통되는 제2분기로(511)가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치.
제1항에 있어서,
상기 탑플레이트(10)는 사이드 양측 1열 횡대를 따라 진공홀 없이 급기홀(11)만이 일정간격을 두고 배치되는 것을 특징으로 하는 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치.
제8항에 있어서,
상기 탑플레이트(10)는 급기홀(11)만이 형성된 사이드 양측으로 높이가 점차적으로 낮아지는 테이퍼면(13)을 형성하여 휨이 있는 디스플레이 패널(200)의 컨택을 방지할 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공 동기라인을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지장치.