CN106468566B

CN106468566B - 气浮载台

Info

Publication number: CN106468566B
Application number: CN201510747205.0A
Authority: CN
Inventors: 祁树泰
Original assignee: Utechzone Co Ltd
Current assignee: Utechzone Co Ltd
Priority date: 2015-08-18
Filing date: 2015-11-06
Publication date: 2020-02-07
Anticipated expiration: 2035-11-06
Also published as: TWI582896B; CN106468566A; TW201709397A

Abstract

本发明提供一种气浮载台，包括底层、顶层以及气室。底层具有进气口。顶层配置于底层上方，并具有2ⁿ个出气口。气室位于顶层与底层之间，并具有2ⁿ个气流路径，其中n为正整数。气流路径与出气口各自对称地配置在进气口的相对两侧。进气口通过气流路径对应连接至出气口，且气流路径的长度相等。本发明提供的气浮载台，适于提供具有均一流量的气流承载基板，并使基板维持水平效果。

Description

气浮载台

技术领域

本发明是有关于一种用于检测的载台，且特别是有关于一种用于检测的气浮载台。

背景技术

近年来，随着科技产业日益发达，电子产品已频繁地出现在日常生活中。其中，电子产品所用零件的精密度也为主要考量点。因此，相关的检测仪器便相应产生。举例而言，用于检测基板(例如是玻璃)或其他待检测物品的检测仪器通常需配置有载台，以将基板配置于载台上进行相关检测。然而，若将基板直接放置在载台上使其直接接触，则基板容易造成损伤。因此，目前部分作法是将载台制作成气浮载台，使基板悬浮于其上。

更进一步地说，所述气浮载台适于提供气流用于承载基板或其他待检测物品。其中，气浮载台的进气口连接至供气装置。供气装置提供的气流从进气口进入气浮载台内部的气室，并从出气口流出，使基板通过流出出气口的气流悬浮于气浮载台上。然而，目前业界所使用的气浮载台多需通过多个进气口搭配多个节流阀控制各出气口的流量，且目前的气浮载台多有出气口流量不均的问题，使基板难以维持水平效果来进行精密检测。

发明内容

本发明提供一种气浮载台，适于提供具有均一流量的气流承载基板，并使基板维持水平效果。

本发明的气浮载台包括底层、顶层以及气室。底层具有进气口。顶层配置于底层上方，并具有2ⁿ个出气口。气室位于顶层与底层之间，并具有2ⁿ个气流路径，其中n为正整数。气流路径与出气口各自对称地配置在进气口的相对两侧。进气口通过气流路径对应连接至出气口，且气流路径的长度相等。

基于上述，在本发明的气浮载台中，单一进气口通过多个气流路径连通至出气口，其中气流路径与出气口各自对称地配置在进气口的相对两侧，且其数量各自为2ⁿ个，而n为正整数，且每一气流路径的长度相等。如此，在气流从进气口流入气室后，由于气流可在气流路径内流动，且每一气流路径的长度相等，故气流可在流经气流路径时等量均分，而后等量地从出气口流出。藉此，气浮载台适于提供具有均一流量的气流承载基板，并使基板维持水平效果。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1是依照本发明的一实施例的一种气浮载台的示意图；

图2是图1的气浮载台的局部示意图；

图3是图1的气浮载台的俯视示意图；

图4是图3的气浮载台沿I-I’线的剖视示意图；

图5至图7是本发明其他实施例的气浮载台的俯视示意图。

附图标记说明：

100、100a至100c：气浮载台；

110：底层；

112：进气口；

120、120a至120c：顶层；

122：出气口；

130、130a至130c：气室；

132、132a至132g：子区段；

134、134a至134f：转折点；

140：负压孔；

P、P1、P2：气流路径；

d1至d5：宽度。

具体实施方式

图1是依照本发明的一实施例的一种气浮载台的示意图。图2是图1的气浮载台的局部示意图。请参考图1与图2，在本实施例中，气浮载台100包括底层110、顶层120以及气室130。底层110具有进气口112。顶层120配置于底层110上方，并具有多个出气口122。气室130位于顶层120与底层110之间，并连通位于底层110的进气口112与位在顶层120的出气口122。举例而言，本实施例将气室130制作于底层110上(如图2所示)，但在其他未示出的实施例中，气室130也可制作于顶层120上，或者制作为位于顶层120与底层110之间的另一层构件中。此外，为了维持气室130的密封效果(仅通过进气口112与出气口122连通外界)，气浮载台100于底层110与顶层120之间也可配置其他未示出的密封件，例如是环绕在气室130外围以填补顶层120与底层110间空隙的密封胶条，但本发明并不以此为限制。

在本实施例中，所述气浮载台100适于提供气流用于承载基板，例如是玻璃或其他待检测物品。其中，气室130具有多个气流路径P。气流路径P与出气口122各自对称地配置在进气口112的相对两侧，且进气口112通过气流路径P对应连接至出气口122，使得气流可从进气口112通过气流路径P后流出出气口122。换言之，气浮载台100以进气口112作为中心，在气流从进气口112进入气室130后，气流通过对称设置的气流路径P与出气口122均匀流出。藉此，所述基板适于配置在气浮载台100的顶层120上并对应于出气口122，以通过由出气口122流出的气流悬浮于气浮载台100上。在此情况下，气浮载台100所提供的气流的流量均匀度将影响配置于气浮载台100上的基板的水平效果，而基板在气浮载台100上的水平度将影响基板的检测结果。

基于上述目的，气浮载台100较佳地需提供具有均一流量的气流，以使基板维持水平效果。藉此，本实施例的气室130具有特殊设计。气流适于从进气口112流入气室130，并在流经气流路径P时等量均分，而后等量地从出气口122流出。即，气室130的设计可使气流等量地流出出气口122，使气浮载台100提供具有均一流量的气流。

图3是图1的气浮载台的俯视示意图。图4是图3的气浮载台沿I-I’线的剖视示意图。请参考图1至图4，在本实施例中，顶层120具有2ⁿ个出气口122，而气室130具有2ⁿ个气流路径P。其中，n为正整数，且较佳地是大于2的正整数，而本实施例以5为例作说明。换言之，本实施例的出气口122有32个，而气流路径P也有32条，但本发明不以此为限制，其可依据需求调整。其中，出气口122对称设置于进气口112的相对两侧。更进一步地说，本实施例的32个出气口122排列成4x8的阵列。再者，进气口112位于所述阵列的中心，且通过气流路径P连通至出气口122，而所述气流路径P的长度相等。藉此，本实施例的气室130通过特定设计达成使与进气口112之间的直线距离不同的各出气口122可通过长度相同的气流路径P连通至进气口112。

具体而言，在本实施例中，气室130包括多个子区段132与多个转折点134。子区段132通过对应的转折点134彼此连接，使子区段132与转折点134对应构成气流路径P，并对应连通进气口112与出气口122。以气流路径P1为例，气流路径P1由n个子区段132与n-1个转折点134连接而成，即5个子区段132与4个转折点134。其中，子区段132a、转折点134a、子区段132b、转折点134b、子区段132c、转折点134c、子区段132d、转折点134d、子区段132e依序连接，以构成气流路径P1，并连通进气口112与对应的出气口122。此外，气流路径P1中的子区段132a至132e的任相邻两者彼此垂直，并以对应的转折点134a至134d，但本发明不以此为限制，其可依据需求调整。

再者，以气流路径P1与P2为例，在本实施例中，各气流路径P1与P2所含的子区段132的数量相等(均为5个)，且各气流路径P1与P2中所含的转折点134的数量相等(均为4个)。如此，气流路径P1与P2的长度(即子区段132的数量与总长度)相等，且其转折数(即转折点134的数量)也相等。在气流从进气口112进入气室130并在子区段132与转折点134分流后，从各出气口122流出的气流具有均一流量。换言之，从各出气口122流出的气流流经相同长度与相同转折的气流路径P，故其流出出气口122的流量一致。

更进一步地说，在本实施例中，子区段132的其中两者，如图3所示的子区段132a，连接于进气口112的相对两侧且彼此对称，使气流从进气口112均分成两等分后流至连接进气口112的两子区段132a。再者，各转折点134对应连接子区段132的其中三者。以转折点134b为例，转折点134b连接子区段132b与两个子区段132c。其中，气流路径P1与P2共用同一子区段132a、转折点134a、子区段132b，直至转折点134b后分成两个不同的子区段132c。其中，连接同一转折点134b的三子区段132中远离进气口的两者(即子区段132c)彼此平行，且垂直于三子区段132中邻近进气口者(即子区段132b)，使三子区段132中邻近进气口112者(即子区段132b)分别与三子区段132中远离进气口112的两者(即子区段132c)构成对应的两气流路径(即气流路径P1与P2)，而从进气口112流入三子区段132中邻近进气口112者(即子区段132b)的气流在转折点134b均分成两等分后流至三子区段132中远离进气口112的两者(即子区段132c)。

由此可知，在气流从进气口112流入气室130后，首先通过连接至进气口112的两个子区段132a均分成两等分。之后，流入子区段132a的气流又通过连接至子区段132a与转折点134a的两个子区段132b均分成两等分。同理，流入子区段132b的气流又通过连接至子区段132b与转折点134b的两个子区段132c均分成两等分，而流入子区段132c的气流又通过连接至子区段132c与转折点134c的两个子区段132d均分成两等分。最后，流入子区段132d的气流又通过连接至子区段132d与转折点134d的两个子区段132e均分成两等分，而流入子区段132e的气流从出气口122流出。即，流入每一气流路径P的气流均类似于流入气流路径P1的气流依次经过子区段132a至132e，并在对应的转折点134a至134d分流，而后等量地从出气口122流出。

另一方面，在本实施例中，由于气流在各气流路径P中依次经过子区段132a至132e，并在对应的转折点134a至134d分流，故气流的流量从子区段132a朝子区段132e递减，即每通过一次转折点134a至134d，气流的流量便减半。如此，在本实施例中，各气流路径P中的子区段132a至132e的宽度，即宽度d1至d5，从邻近进气口112(即宽度d1)朝邻近对应的出气口112(即宽度d5)递减。换言之，以气流路径P1为例，子区段132a的宽度d1大于子区段132b的宽度d2，子区段132b的宽度d2大于子区段132c的宽度d3，子区段132c的宽度d3大于子区段132d的宽度d4，而子区段132d的宽度d4大于子区段132e的宽度d5。然而，本发明不以此为限制，其可依据需求调整。

基于上述，本实施例的气室130的空气流量采用二分法原理，使气流在每一转折点134a至134d等量分流，且各气流路径P的长度(即子区段132的数量与总长度)与转折数(即转折点134的数量)相等，使得每一出气口122的流量、流速与压力(推动基板的推力)一致。换言之，本实施例关于气室130的设计可有效地使气浮载台100通过出气口122提供流量一致的气流(仅因钻孔公差造成些微误差)。如此，气浮载台100适用于提供气流承载基板(未示出)，并使基板保持平稳，以便进行精密的检验或量测。

另一方面，在本实施例中，流出各出气口122的气流是由同一进气口112流入，故气浮载台100可仅采用一个节流阀(未示出)来调整供入气浮载台100的气流，且可使所有出气口122的流量与流速达到一致。再者，若使用一对二转接头或一对四转接头(未示出)，同一节流阀还可同时调整2组或4组气浮载台100，而同样也可提供均一流量的气流。如此，本实施例的气浮载台100可减少节流阀、气管、分岐块、快速接头等连接构件的使用数量，且可通过单一节流阀简单调整各出气口122的流量一致，故本实施例的气浮载台100可有效降低使用成本，并具有简易且精准的控制方式。

图5至图7是本发明其他实施例的气浮载台的俯视示意图。请先参考图5，在本实施例中，气浮载台100a类似于前述气浮载台100，也包括底层110、顶层120a以及气室130a，其主要差异在于，本实施例的顶层120a具有2ⁿ个出气口122，而气室130a具有2ⁿ个气流路径P，其中n为1。换言之，本实施例的出气口122有2个，而气流路径P也有2条，但本发明不以此为限制，其可依据需求调整。

具体而言，在本实施例中，气室130a包括2个子区段132，且气室130a不包括前述转折点134，使进气口112直接通过子区段132连接至对应的出气口122，并对应构成气流路径P。换言之，以气流路径P1为例，气流路径P1由1个子区段132构成，并连通进气口112与对应的出气口122。再者，各气流路径P1与P2所含的子区段132的数量相等(均为1个)。如此，气流路径P1与P2的长度(即子区段132的数量与总长度)相等。当气流从进气口112进入气室130a并分流后，从各出气口122流出的气流具有均一流量。

类似地，请参考图6，在本实施例中，气浮载台100b类似于前述气浮载台100，也包括底层110、顶层120b以及气室130b，其主要差异在于，本实施例的顶层120b具有2ⁿ个出气口122，而气室130b具有2ⁿ个气流路径P，其中n为2。换言之，本实施例的出气口122有4个，而气流路径P也有4条，但本发明不以此为限制，其可依据需求调整。其中，出气口122对称设置于进气口112的相对两侧，例如是排列成2x2的阵列，而进气口112位于所述阵列的中心，且通过气流路径P连通至出气口122，而所述气流路径P的长度相等。

具体而言，在本实施例中，气室130b包括多个子区段132与多个转折点134，使进气口112通过子区段132与转折点134连接至对应的出气口122，并对应构成气流路径P。换言之，以气流路径P1为例，气流路径P1由n个子区段132与n-1个转折点134连接而成，即2个子区段132与1个转折点134。其中，子区段132a、转折点134a、子区段132b依序连接，以构成气流路径P1，并连通进气口112与对应的出气口122。再者，以气流路径P1与P2为例，各气流路径P1与P2所含的子区段132的数量相等(均为2个)，且各气流路径P1与P2中所含的转折点134的数量相等(均为1个)。如此，气流路径P1与P2的长度(即子区段132的数量与总长度)相等，且其转折数(即转折点134的数量)也相等。当气流从进气口112进入气室130b并在子区段132与转折点134分流后，从各出气口122流出的气流具有均一流量。

类似地，请参考图7，在本实施例中，气浮载台100c类似于前述气浮载台100，也包括底层110、顶层120c以及气室130c，其主要差异在于，本实施例的顶层120c具有2ⁿ个出气口122，而气室130c具有2ⁿ个气流路径P，其中n为7。换言之，本实施例的出气口122有128个，而气流路径P也有128条，但本发明不以此为限制，其可依据需求调整。其中，出气口122对称设置于进气口112的相对两侧，例如是排列成8x16的阵列，而进气口112位于所述阵列的中心，且通过气流路径P连通至出气口122，而所述气流路径P的长度相等。

具体而言，在本实施例中，气室130c包括多个子区段132与多个转折点134，使进气口112通过彼此连接的子区段132与转折点134连接至对应的出气口122，并对应构成气流路径P。换言之，以气流路径P1为例，气流路径P1由n个子区段132与n-1个转折点134连接而成，即7个子区段132与6个转折点134。其中，子区段132a、转折点134a、子区段132b、转折点134b、子区段132c、转折点134c、子区段132d、转折点134d、子区段132e、转折点134e、子区段132f、转折点134f、子区段132g依序连接，以构成气流路径P1，并连通进气口112与对应的出气口122。再者，以气流路径P1与P2为例，各气流路径P1与P2所含的子区段132的数量相等(均为7个)，且各气流路径P1与P2中所含的转折点134的数量相等(均为6个)。如此，气流路径P1与P2的长度(即子区段132的数量与总长度)相等，且其转折数(即转折点134的数量)也相等。藉此，在气流从进气口112流入气室130c后，气流依序经过子区段132a至132g，并在对应的转折点134a至134f分流，而后等量地从出气口122流出。即，当气流从进气口112进入气室130c并在子区段132与转折点134分流后，从各出气口122流出的气流具有均一流量。

另外，在本实施例中，气浮载台100c还包括多个负压孔140，贯穿顶层120c与底层110(底层110示于图1)，使从出气口122流出的气流适于从负压孔140流至气浮载台100c相对于出气口122的另一侧。具体而言，在本实施例中，气浮载台100c适于经由出气口122提供气流承载基板，使基板悬浮于顶层120c上。然而，虽然从出气口122流出的气流具有均一流量，但从位于周边区域(远离进气口112处)的出气口122流出的气流较容易从基板与顶层120c之间散逸，而从位于中间区域(邻近进气口112处)的出气口122流出的气流较不易散逸，而容易聚集在中间区域，并使基板的中间区域产生弯曲。

为了改善此现象，在本实施例中，负压孔140贯穿顶层120c与底层110，且较佳地配置在邻近进气口112处，而其数量与位置可依据需求调整。藉此，在气流从位于中间区域的出气口122流出后，气流可通过负压孔140散逸至气浮载台100c相对于出气口122的另一侧(即底层110)。换言之，负压孔140的设计有助于使流出出气口122的气流顺利散逸，使位于气浮载台100c与基板之间的气流均匀分布，并使基板维持水平效果。类似地，上述负压孔140也可应用于前述的气浮载台100至100b。此外，在其他未示出的实施例中，气浮载台也可采用连接至气室的负压装置来调整气流从气室流至出气口的流量。即，负压装置与负压孔的概念类似，而可用于调整流至出气口的气流流量，而使基板维持水平效果。然而，本发明并不限制负压孔与负压装置的配置与否，其可依据需求调整。

由此可知，在上述技术概念下(即气流以二分法分流，且各气流路径的长度与转折数相等)，本发明并不限制气室130至130c的具体实施方式，其子区段与转折点的数量可依据需求调整。

综上所述，在本发明的气浮载台中，单一进气口通过多个气流路径连通至出气口，其中气流路径与出气口各自对称地配置在进气口的相对两侧，且其数量各自为2ⁿ个，而n为正整数。如此，气室采用空气流量二分法原理，使气流等量分流，且每一气流路径的长度与转折数相等。如此，在气流从进气口流入气室后，由于气流可在气流路径内流动，且每一气流路径的长度相等，故气流可在流经气流路径时等量均分，而后等量地从出气口流出。换言之，每一出气口的流量、流速与压力(推动基板的推力)一致。此外，气浮载台可通过单一节流阀简单调整各出气口的流量一致。藉此，气浮载台适于提供具有均一流量的气流承载基板，并使基板维持水平效果，也可有效降低使用成本，并具有简易且精准的控制方式。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims

1.一种气浮载台，其特征在于，包括：

底层，具有进气口；

顶层，配置于所述底层上方，并具有2ⁿ个出气口；以及

气室，位于所述顶层与所述底层之间，并具有2ⁿ个气流路径，其中n为大于2的正整数，所述气室包括多个子区段以及多个转折点，所述子区段通过对应的所述转折点彼此连接，所述子区段与所述转折点对应构成所述气流路径，气流适于在所述转折点均分后流入对应的所述子区段并等量地从所述出气口流出，所述气流路径与所述出气口各自对称地配置在所述进气口的相对两侧，所述进气口通过所述气流路径对应连接至所述出气口，且各所述气流路径的长度皆为相等。

2.根据权利要求1所述的气浮载台，其特征在于，所述子区段的其中两者连接于所述进气口的相对两侧且彼此对称。

3.根据权利要求2所述的气浮载台，其特征在于，各所述气流路径由n个所述子区段连接而成。

4.根据权利要求2所述的气浮载台，其特征在于，各所述气流路径中的所述子区段的宽度从邻近所述进气口朝向邻近对应的所述出气口递减。

5.根据权利要求2所述的气浮载台，其特征在于，各所述气流路径中的所述子区段的任相邻两者彼此垂直。

6.根据权利要求2所述的气浮载台，其特征在于，所述子区段与所述转折点对应连通所述进气口与所述出气口。

7.根据权利要求6所述的气浮载台，其特征在于，各所述气流路径由n个所述子区段与n-1个所述转折点连接而成。

8.根据权利要求6所述的气浮载台，其特征在于，各所述转折点对应连接所述子区段的其中三者，连接同一转折点的三个所述子区段中远离所述进气口的两者彼此平行，且垂直于三个所述子区段中邻近所述进气口者，使三个所述子区段中邻近所述进气口者分别与三个所述子区段中远离所述进气口的两者构成对应的两个所述气流路径，而从所述进气口流入三个所述子区段中邻近所述进气口者的气流在所述转折点均分成两等分后流至三个所述子区段中远离所述进气口的两者，而后等量地从所述出气口流出。

9.根据权利要求1所述的气浮载台，还包括多个负压孔，贯穿所述顶层与所述底层，使从所述出气口流出的所述气流适于从所述负压孔流至所述气浮载台相对于所述出气口的另一侧。

10.根据权利要求1所述的气浮载台，还包括负压装置，连接至所述气室，以调整所述气流从所述气室流至所述出气口的流量。