CN104203780A - 上浮用空气板 - Google Patents

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Abstract

一种上浮用空气板(1)，其具备：顶板(2)，其以俯视时交替的方式配设有多个从上表面(2a)贯通至下表面(2b)的空气喷出孔(2c)及吸引孔(2d)，并且在多个空气喷出孔的各自的下表面侧具有锪孔部(2e)；节流孔片(3)，其在对应于顶板的锪孔部的位置，具有多个从上表面(3a)贯通至下表面(3b)的节流孔(3c)，并且具有以一对一的方式与顶板的吸引孔连通的、从上表面贯通至下表面的连通孔(3d)；以及底侧板(4)、(5)，其具有用于对贯穿设置于节流孔片的所有节流孔供给空气的空气供给路径(4c)和供气孔(5c)、以及从连通于上述吸引孔的所有连通孔吸引空气的空气吸引路径(4d)和吸引孔(5d)。

Description

上浮用空气板
技术领域
本发明涉及一种上浮用空气板，尤其涉及用于生产大型的液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)等平板显示器(FPD)和/或太阳能电池板(Solar Panel)等的非接触搬运装置的上浮用空气板。
背景技术
在生产FPD和/或太阳电池板等时，采用将1片面板大型化来提高生产效率的方法。然而，在使用以往的算盘式滚筒等作为FPD的搬运方法的接触型搬运装置中，在玻璃的薄型化、大型化、高速化、无应力化且高精度地维持其上浮量的状态下的搬运等存有不利的情形，因此要求非接触空气上浮搬运。
在该非接触空气上浮搬运中，当使玻璃等搬运物上浮时，通常由板(plate)形状的板喷出空气。作为喷出的方式，有以下方法：从碳等多孔质材料经微细气孔喷出空气的方法，以及在具有高刚性的厚板材上加工许多小径孔、从这些孔喷出空气的方法。
在对描绘于被搬运的玻璃上的电路图案进行检查和/或涂层的工序中，需要高精度地维持玻璃的上浮精度。所以，需要实施以高刚性使玻璃上浮来矫正玻璃的弯曲的方法。
发明内容
发明要解决的问题
以往，为了以高刚性使玻璃等上浮并进行保持，提倡将多孔质节流件的静压力气体轴承和吸引孔组合。但是，很难以高精度来制作大型的多孔质节流结构，未能实现2m×2m等级的大型产品。另外，在具有高刚性的厚板材上加工许多小径孔的形式的空气轴承的制作过程中，存在耗费庞大的时间和费用的问题。
因此，本发明是鉴于上述以往的上浮用空气板的问题点而完成的，其目的在于提供一种上浮用空气板，该上浮用空气板能够容易地制造，并且能够以高刚性使玻璃等被搬运物上浮，高精度地控制上浮量。
用于解决问题的手段
为了达到上述目的，本发明是一种上浮用空气板，其特征在于，具备：顶板，其以俯视时交替的方式配设有多个从上表面贯通至下表面的空气喷出孔及吸引孔，并且在上述多个空气喷出孔的各自的下表面侧具有锪孔部；节流孔片，其在与该顶板的上述锪孔部对应的位置，具有多个从上表面贯通至下表面的第1节流孔，并且具有以一对一的方式与上述顶板的上述吸引孔连通的、从上表面贯通至下表面的连通孔；以及底侧板，其具有用于对贯穿设置于该节流孔片的所有第1节流孔供给空气的空气供给路径和供气孔，以及从连通于上述吸引孔的所有连通孔吸引空气的空气吸引路径和吸引孔。
并且，根据本发明，从贯穿设置于节流孔片的第1节流孔喷出的空气碰撞于顶板的锪孔部，在速度降低了的状态下从空气喷出孔朝向上方喷出，能够以非接触的方式、高刚性地使位于上方的玻璃等上浮。另外，通过交替地配设多个空气喷出孔及吸引孔，能够致密地调整喷出的空气的压力与被吸引的空气的压力的平衡，能够高精度地控制被搬运物的上浮量。
在上述上浮用空气板中，可以构成为，上述底侧板包括空气路径板和底板，在该空气路径板的上表面，形成有与贯穿设置于上述节流孔片的所有第1节流孔连通的空气喷出用槽部、以及以一对一的方式与上述节流孔片的上述贯通孔连通的吸引用开口，在该空气路径板的下表面，形成有与连通于上述吸引用开口的所有连通孔连通的吸引用槽部、以及开口于该下表面且与上述空气喷出用槽部连通的连通孔，形成从上述底板的上表面贯通至下表面的供气孔和吸引孔，该供气孔的上表面侧开口部连通于与上述空气路径板的上述空气喷出用槽部连通的连通孔，上述吸引孔的上表面侧开口部连通于上述空气路径板的上述吸引用槽部。由此，空气喷出路径与空气吸引路径的制作变得容易，能够进一步降低制造成本。
在上述上浮用空气板中，可以代替上述节流孔片的上述连通孔，而在与上述顶板的上述吸引孔对应的位置形成多个从上表面贯通至下表面的第2节流孔。由此，对于被吸引的空气也能够发挥节流作用，能够抑制吸引力的变化。
另外，本发明是一种上浮用空气板，其特征在于，具备：顶板，其以俯视时交替的方式配设有从上表面贯通至下表面的空气喷出孔及吸引孔；接触面片，其具有如下的连通孔，该连通孔以一对一的方式与该顶板的上述空气喷出孔及吸引孔连通，从该接触面片的上表面贯通至下表面，直径大于上述空气喷出孔及吸引孔的直径；节流孔片，其在对应于与上述顶板的上述空气喷出孔连通的上述底面片的连通孔的位置，具有多个从上表面贯通至下表面的第1节流孔，并且，在对应于与上述顶板的上述吸引孔连通的上述接触面片的连通孔的位置，具有多个从上表面贯通至下表面的第2节流孔；以及底侧板，其具有用于对贯穿设置于该节流孔片的所有第1节流孔供给空气的空气供给路径和供气孔，以及用于从贯穿设置于该节流孔片的所有第2节流孔吸引空气的空气吸引路径和吸引孔。根据本发明，与上述发明同样，能够以非接触的方式高刚性地使位于上方的玻璃等上浮，并且能够高精度地控制被搬运物的上浮量。
另外，由于通过设置在接触面片的连通孔形成锪孔部、将该锪孔部设置在作为不同于顶板的片的接触面片，因此能够提高锪孔加工的精度，能够得到均匀的锪孔深度，并且能够容易地进行锪孔加工。
在上述上浮用空气板中，可以构成为，上述底侧板包括空气路径板和底板，在该空气路径板的上表面，形成有与贯穿设置于上述节流孔片的所有第1节流孔连通的空气喷出用槽部、和与贯穿设置于上述节流孔片的所有第2节流孔连通的吸引用开口，并且，在该空气路径板的下表面，形成有与连通于上述吸引用开口的所有连通孔连通的吸引用槽部、和开口于该下表面且与上述空气喷出用槽部连通的连通孔，形成从上述底板的上表面贯通至下表面的供气孔和吸引孔，该供气孔的上表面侧开口部连通于与上述空气路径板的上述空气喷出用槽部连通的连通孔，上述吸引孔的上表面侧开口部连通于上述空气路径板的上述吸引用槽部。由此，空气喷出路径与空气吸引路径的制作变得容易，能够进一步降低制造成本。
在上述上浮用空气板中，上述顶板的上述空气喷出孔及吸引孔能够被配置成在俯视该顶板时交替地配置于互相平行的多条直线上，并且该多条直线与用该上浮用空气板进行搬运的搬运方向所成的角为0°、45°和90°以外的角度。由此，能够与垂直于搬运方向的方向上的位置无关地，将空气喷出孔及吸引孔均匀地排列于搬运方向，因此能够在稳定的状态下以非接触的方式搬运被搬运物。进而，当玻璃等被搬运物由于涂层等而在高温状态下被搬运时，被搬运物移动时无喷出口的死区减少，所以能够较理想地进行被搬运物的均匀冷却。
在上述上浮用空气板中，能够通过使用激光的微细孔加工贯穿设置上述节流孔片的上述多个节流孔的每一个。由此，能够在短时间内有效地贯穿设置节流孔，能够进一步降低制造成本。
发明的效果
如上所述，根据本发明，能够提供一种上浮用空气板，该上浮用空气板的制造成本低，能够以高刚性使玻璃等被搬运物上浮，且能够高精度地控制上浮量。
附图说明
图1是表示本发明的上浮用空气板的第1实施方式的图，图1(a)是主视图，图1(b)是俯视图，图1(c)是仰视图。
图2是表示图1的上浮用空气板的顶板的图，图2(a)是俯视图，图2(b)是图2(a)的A-A线剖视图，图2(c)是仰视图，图2(d)是锪孔部及其周边的放大剖视图。
图3是表示图2的顶板的空气喷出孔及吸引孔排列设计例的俯视图。
图4是表示图1的上浮用空气板的节流孔片的图，图4(a)是主视图，图4(b)是俯视图。
图5是表示图1的上浮用空气板的空气路径板的图，图5(a)是主视图，图5(b)是俯视图，图5(c)是仰视图，图5(d)是空气喷出用槽部和吸引用槽部以及其周边的放大剖视图。
图6是表示图1的上浮用空气板的底板的图，图6(a)是俯视图，图6(b)是图6(a)的B-B线剖视图。
图7是图1的上浮用空气板的剖视图。
图8是用于说明使用上浮用空气板来搬运玻璃等的要领的俯视图，图8(a)表示以往例的情况，图8(b)表示本发明第1实施方式的情况。
图9是表示本发明的上浮用空气板的第2实施方式的图，图9(a)是主视图，图9(b)是俯视图，图9(c)是仰视图。
图10是表示图9的上浮用空气板的顶板的图，图10(a)是俯视图，图10(b)是图10(a)的C-C线剖视图。
图11是表示图9的上浮用空气板的接触面片的图，图11(a)是俯视图，图11(b)是图11(a)的D-D线剖视图。
图12是表示图9的上浮用空气板的节流孔片的图，图12(a)是主视图，图12(b)是俯视图。
图13是表示图9的上浮用空气板的空气路径板的图，图13(a)是主视图，图13(b)是俯视图，图13(c)是仰视图，图13(d)是空气喷出用槽部和吸引用槽部以及其周边的放大剖视图。
图14是表示图9的上浮用空气板的底板的图，图14(a)是俯视图，图14(b)是图14(a)的E-E线剖视图，图14(c)是图14(a)的F-F线剖视图。
图15是图9的上浮用空气板的剖视图。
具体实施方式
以下，一边参照附图一边对用于实施本发明的方式进行说明。
图1表示本发明的上浮用空气板的第1实施方式，该上浮用空气板1包括顶板2、节流孔片3、空气路径板4以及底板5，顶板2在上表面交替地配设有多个空气喷出孔2c(以白色圆圈表示)及吸引孔2d(以黑色圆圈表示)，节流孔片3位于顶板2的下方，空气路径板4位于节流孔片3的下方，底板5位于空气路径板4的下方且具有供气孔5c和吸引孔5d。
顶板2被高精度地进行了平面磨削加工，如图2所示，交替地配设有多个从上表面2a贯通至下表面的空气喷出孔2c及吸引孔2d。在各该空气喷出孔2c的下表面2b侧，形成锪孔部2e。空气喷出孔2c为φ2.5mm左右，锪孔部为0.1～0.2mm的深度且大约φ8mm。吸引孔2d全长范围内以同一内径形成。
图3表示空气喷出孔2c及吸引孔2d的排列设计例。如该图所示，在格子的交点交替地配置空气喷出孔2c及吸引孔2d。空气喷出孔2c及吸引孔2d的位置由板的公称尺寸决定，在厚度为0.7mm的玻璃的情况下，则以大约10mm成为大致x＝y的关系。空气喷出孔2c及吸引孔2d的间距根据被搬运的玻璃等的厚度设定，在搬运薄玻璃等时做成致密的间距，而在厚玻璃的情况下设计成稀疏的间距，这在经济方面优选。
如图4所示，节流孔片3在对应于顶板2的锪孔部2e的位置具有从上表面3a贯通至下表面3b的1组(在本实施方式是16个)节流孔3c，并且具有与顶板2的吸引孔2d连通的、从上表面3a贯通至下表面3b的连通孔3d。
节流孔3c作为空气的节流孔是0.03～0.05mm左右的微细孔，例如，在0.3mm左右的不锈钢制的片上通过激光加工等呈岛状地在φ6的圆周上设置有多个。通过该节流孔片3的空气，可以发挥节流效果，对上浮玻璃予以刚性。
如图5所示，空气路径板4在上表面4a具备空气喷出用槽部4c，在下表面4b具备吸引用槽部4d。空气喷出用槽部4c经由连通孔4e连通于空气喷出用开口部4g，吸引用槽部4d经由连通孔4f连通于吸引用开口部4h。如图7所示，当节流孔片3位于空气路径板4的上表面4a时，空气喷出用槽部4c连通于节流孔片3的所有节流孔3c，并且各个吸引用开口部4h以一对一的方式连通于节流孔片3的各个连通孔3d。另外，所有吸引用开口部4h连通于吸引用槽部4d。
如图6所示，底板5具有从上表面5a贯通至下表面5b的供气孔5c及吸引孔5d，供气孔5c的上表面侧开口部5e连通于与空气路径板4的空气喷出用槽部4c连通的连通孔4e，吸引孔5d的上表面的侧开口部5f连通于空气路径板4的吸引用槽部4d。如此，底板5能够起到相当于空气路径板4的吸引用槽部4d的盖的作用。底板5的供气孔5c的下表面侧开口部5g及吸引孔5d的下表面侧开口部5h分别连接于供气用配管、以及真空吸引用配管和真空泵。
上述顶板2～底板5，如图7所示重叠，由装配用螺栓7一体化。
以下，一边以图7为中心进行参照一边对具有上述结构的上浮用空气板1的动作进行说明。
从底板5的供气孔5c进入的压缩空气进入到空气路径板4的空气喷出用槽部4c，到达节流孔片3的呈岛状地散布的多个节流孔3c从而发挥节流效果，从节流孔3c喷出的空气碰撞于顶板2的锪孔部2e，经过与接触面的间隙而从2.5mm左右的空气喷出孔2c朝向玻璃等降低速度并喷出。由此，能够以非接触的方式高刚性地使玻璃等上浮于上表面2a的上方。
另外，从顶板2的吸引孔2d吸入的空气通过节流孔片3的φ2.5mm左右的连通孔3d，经呈格子状加工于空气路径板4的下表面的吸引用槽部4d而通过底板5的吸引孔5d，最终被排到真空泵。
图8是用于对使用上浮用空气板来搬运玻璃等的要领进行说明的图。在(a)所示的以往例中，将空气喷出孔12c与吸引孔12d交替地配置于垂直相交的直线的交点，因此，在搬运线L1上，玻璃等不会位于空气喷出孔12c和/或吸引孔12d的正上方，在搬运线L2上，玻璃等位于空气喷出孔12c和/或吸引孔12d的正上方。如此，在搬运线L1、L2上对玻璃等的上浮力与吸引力有很大的不同，而无法在稳定的温度状态下以非接触的方式搬运玻璃等。
另一方面，在本发明的第1实施方式中，如图3所示，将通过空气喷出孔2c及吸引孔2d的多条直线与用上浮用空气板进行搬运的搬运方向T所成的角θ设为30°左右，因此，如图8(b)所示，如搬运线L3、L4，无论玻璃等通过哪一条线，玻璃等会普遍地位于空气喷出孔2c和/或吸引孔2d的正上方，能够均匀地对玻璃等施加上浮力与吸引力，因此，能够在稳定状态下以非接触的方式搬运玻璃等。此外，通过图3的空气喷出孔2c及吸引孔2d的多个直线与用上浮用空气板进行搬运的搬运方向T所成的角θ不限于30°左右，若为0°、45°和90°以外的角度，则如上所述，玻璃等普遍地位于空气喷出孔2c和/或吸引孔2d的正上方，能够在稳定状态下以非接触的方式进行搬运。
此外，本发明的第1实施方式的上浮用空气板1的第1特征在于，具备顶板2及节流孔片3，该顶板2如图2所示，以俯视时交替的方式配设有多个从上表面2a贯通至下表面2b的空气喷出孔2c和吸引孔2d，并且在多个空气喷出孔2c的各自的下表面侧具有锪孔部2e，该节流孔片3如图4及图7所示，在对应于该顶板2的锪孔部2e的位置，具有多个从上表面3a贯通至下表面3b的节流孔3c，并且具有多个以一对一的方式与顶板2的吸引孔2d连通的、从上表面3a贯通至下表面3b的连通孔，使用具有上述结构的空气路径板4及底板5有很多益处，是优选的，但不限于这些结构，若处于底侧的是能够向贯穿设置于节流孔片3的所有节流孔3c供给空气、且能够从连通于吸引孔2d的所有节流孔片3的连通孔吸引空气的板，则也可以使用任意结构的板。
以下，对本发明的第1实施方式的上浮用空气板的实施例进行说明。
如上所述，为了高精度地保持空气上浮的玻璃，需要交替地排列多个在下方具备具有节流效果的节流孔3c(参照图4)的空气喷出孔2c(参照图2)和吸引孔2d，给上浮玻璃提供高刚性。例如，在G8尺寸的玻璃(2,200×2,500×t)的情况下，排列设计大约6000个节流孔3c(φ0.05mm)、大约3000个空气喷出孔2c(φ2.5mm)以及大约3000个吸引孔2d(φ2.5mm)。
具有节流效果的节流孔3c在厚度为0.3mm的不锈钢的片贯穿设置60,000个φ0.05mm的孔而成，此时能够通过使用激光加工等来显著地缩短加工所需的时间。
相对于此，在板厚度10mm的不锈钢板使用钻头加工60000个φ0.05的孔的加工时间为60,000分钟(1孔1分钟以上)，即需要40天以上。若考虑钻头的寿命则可以说是几乎不可能实现的加工。
在本发明的第1实施方式中，通过在薄(例如0.3mm)的节流孔片3加工许多微细孔，可以不在像顶板2那样厚(例如10mm)的板材进行微细孔(例如0.05mm)的加工，进行φ2.5mm左右的加工即可。
在空气喷出孔的直径为φ0.05mm的情况下，在供气压力为10kPa、上浮高度为0.25mm的条件下，喷出空气的速度估算为76.8m/sec，而在本发明的第1实施方式中，碰撞于在顶板2的下表面2b设置的空气喷出孔2c、通过间隙后从空气喷出孔2c喷出的空气的速度降低到大约20m/sec，由与玻璃等碰撞的空气引起的静电的产生变得极小。
另外，在本发明的第1实施方式中，在上浮高度20mm时速度成为1m/sec以下，不会成为来自清洁室天花板的垂直层流(down flow)的气流的干扰障碍。但是，在空气喷出孔的直径为φ0.1mm且供气压力为10kPa、玻璃的上浮高度为0.25mm的条件下，速度成为95m/sec，并且产生静电，因此，需要与其相应的对策。另外，也成为清洁室的垂直层流的气流的干扰的主要原因。
以下，一边参照附图，一边对用于实施本发明的第2实施方式进行说明。
图9表示本发明的上浮用空气板的第2实施方式，该上浮用空气板21包括顶板22、接触面片26、节流孔片23、空气路径板24以及底板25，顶板22在上表面交替地配设有多个空气喷出孔22c(以白色圆圈表示)及吸引孔22d(以黑色圆圈表示)，接触面片26位于顶板22的下方，节流孔片23位于接触面片26的下方，空气路径板24位于节流孔片23的下方，底板25位于该空气路径板24的下方且具有供气孔25c及吸引孔25d。
如图10所示，顶板22与第1实施方式的顶板2同样，交替地配设有多个从上表面22a贯通至下表面22b的空气喷出孔22c及吸引孔22d。关于空气喷出孔22c及吸引孔22d的排列，与图3所示的第1实施方式同样，空气喷出孔22c为φ2.5mm左右，吸引孔22d为φ4.0mm左右。
如图11所示，接触面片26在对应于空气喷出孔22c及吸引孔22d的位置，配设有从上表面26a贯通至下表面26b的连通孔26c。连通孔26c用于将从后述的节流孔片23的空气喷出用节流孔部23d喷出的空气朝向水平方向引导，直径大于空气喷出孔22c及吸引孔22d的直径。例如，在接触面片26的厚度为0.15～0.3mm左右的情况下，连通孔26c的直径为φ8mm左右。通过这样设定连通孔26c的直径，能够具有对空气的节流效果和抑制空气的喷出速度的效果。
通过这样将配设于接触面片26的连通孔26c的直径设为比空气喷出孔22c及吸引孔22d的直径大，在将顶板22及接触面片26层叠时，能够形成在第1实施方式的顶板2设置的锪孔部2e。
由此，例如，能够提高对如电视机(TV，TeleVision)用的LCD面板等的、一边超过2500mm那样的大的顶板的锪孔加工的精度，能够得到均匀的锪孔深度，并且能够容易地进行锪孔加工。
如图12所示，节流孔片23在对应于顶板22的空气喷出孔22c的位置具有空气喷出用节流孔部23d，并且在对应于顶板22的吸引孔22d的位置具有吸引用节流孔部23e，该空气喷出用节流孔部23d包括从上表面23a贯通至下表面23b的1组(在本实施方式中为8个)节流孔23c，该吸引用节流孔部23e包括从上边面23a贯通至下表面23b的1组(在本实施方式中为4个)节流孔23c。
节流孔23c作为空气的节流孔是0.03～0.10mm左右的微细孔，例如，在0.15～0.3mm左右的不锈钢制的片上通过激光加工等呈岛状地在具有预定直径的圆周上设置有多个。例如，在空气喷出用节流孔部23d，在φ6.0mm左右的圆周上设置4～8个节流孔23c，在吸引用节流孔部23e，在φ3.0mm左右的圆周上设置3～6个节流孔23c。
通过该节流孔片23的空气，发挥节流的效果，对上浮玻璃予以刚性。另外，通过在吸引侧也设置节流孔23c，能够发挥对被吸引空气的节流效果，能够抑制吸引力的变化。
如图13所示，空气路径板24与第1实施方式的空气路径板4同样，在上表面24a具备空气喷出用槽部24c，在下表面24b具备吸引用槽部24d，空气喷出用槽部24c经由连通孔24e连通于空气喷出用开口部24g，吸引用槽部24d经由连通孔24f连通于吸引用开口部24h。
如图15所示，当节流孔片23位于空气路径板24的上表面24a时，空气喷出用槽部24c连通于节流孔片23的空气喷出用节流孔部23d的所有节流孔23c，并且各个吸引用开口部24h分别连通于节流孔片23的吸引用节流孔部23e的所有节流孔23c。另外，所有吸引用开口部24h连通于吸引用槽部24d。
此外，在此例中，示出为了抑制搬运玻璃等时的上浮量的变化而以空气路径互相独立的方式将吸引用槽部24d关于玻璃等的搬运方向分割为三个部分的情况。另外，吸引用槽部24d不限于此，例如，既可以分割成三个部分以上，也可以构成为与第1实施方式同样地不分割吸引用槽部24d。
如图14所示，底板25与第1实施方式的底板5同样，具有从上表面25a贯通至下表面25b的供气孔25c及吸引孔25d。供气孔25c的上表面侧开口部25e连通于与空气路径板24的空气喷出用槽部24c连通的连通孔24e，吸引孔25d的上表面侧开口部25f连通于空气路径板24的吸引用槽部24d。如此，底板25起到相当于空气路径板24的吸引用槽部24d的盖子的作用。
底板25的供气孔25c的下表面侧开口部25g及吸引孔25d的下表面侧开口部25h分别连接于供气用配管、以及真空吸引用配管和真空泵。
上述顶板22～底板25，如图15所示重叠，由装配用螺栓27一体化。
接着，一边以图15为中心进行参照一边对具有上述结构的上浮用空气板21的动作进行说明。
从底板25的供气孔25c进入的压缩空气进入到空气路径板24的空气喷出用槽部24c，到达节流孔片23的呈岛状散布的多个节流孔23c(空气喷出用槽部23d)而发挥节流效果，通过接触面片26的连通孔26c的空气碰撞于顶板22的底面，经过与接触面的间隙而从2.5mm左右的空气喷出孔22c朝向玻璃等降低速度而喷出。由此，能够以非接触的方式高刚性地使玻璃等上浮于上表面22a的上方。
另外，从顶板22的吸引孔22d吸入的空气通过接触面片26的连通孔26c，到达节流孔片23的呈岛状散布的多个节流孔23c(吸引用节流孔部23e)而发挥节流作用，经过呈格子状加工于空气路径板24的下表面的吸引用槽部24d而通过底板25的吸引孔25d，最终被排到真空泵。
通过上浮用空气板21如此动作，与第1实施方式同样地，能够在稳定的状态下以非接触的方式搬运玻璃等。
如上所述，在第2实施方式中，将配设有空气喷出孔22c及吸引孔22d的顶板22、以及配设有具有比空气喷出孔22c及吸引孔22d的直径大的直径的连通孔26c的接触面片26层叠，形成第1实施方式的顶板2，因此，能够将在第1实施方式的顶板2设置的锪孔部2e独立地形成于接触面片26。由此，能够提高锪孔孔加工的精度，能够得到均匀的锪孔深度，并且能够容易地进行锪孔加工。
以上，对本发明的第1及第2实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述的第1及第2实施方式，还能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变形和/或应用。例如，在第1实施方式中，在节流孔片3设置了用于吸引空气的连通孔3d，但并不限于此，也可以与第2实施方式同样地，设置呈岛状配设的1组节流孔3c。另外，例如，在第2实施方式中，也可以代替吸引用节流孔部23e而与第1实施方式同样地设置连通孔。
进而，例如，在第1实施方式中，也可以与第2实施方式同样地关于玻璃等的搬运方向将设置于空气路径板4的下表面4b的吸引用槽部4d进行分割而设置。
标号说明
1、21 上浮用空气板
2、22 顶板
2a、22a 上表面
2b、22b 下表面
2c、22c 空气喷出孔
2d、22d 吸引孔
2e 锪孔部
3、23 节流孔片
3a、23a 上表面
3b、23b 下表面
3c、23c 节流孔
3d 连通孔
4、24 空气路径板
4a、24a 上表面
4b、24b 下表面
4c、24c 空气喷出用槽部
4d、24d 吸引用槽部
4e、24e 连通孔
4f、24f 连通孔
4g、24g 空气喷出用开口部
4h、24h 吸引用开口部
5、25 底板
5a、25a 上表面
5b、25b 下表面
5c、25c 供气孔
5d、25d 吸引孔
5e、25e 上表面侧开口部
5f、25f 上表面侧开口部
5g、25g 下表面侧开口部
5h、25h 下表面侧开口部
7、27 装配用螺栓
23d 空气喷出用节流孔部
23e 吸引用节流孔部
26 接触面片
26a 上表面
26b 下表面
26c 连通孔

Claims (7)

1.一种上浮用空气板，其特征在于，具备：
顶板，其以俯视时交替的方式配设有多个从上表面贯通至下表面的空气喷出孔及吸引孔，并且在上述多个空气喷出孔的各自的下表面侧具有锪孔部；
节流孔片，其在对应于该顶板的上述锪孔部的位置，具有多个从上表面贯通至下表面的第1节流孔，并且具有以一对一的方式与上述顶板的上述吸引孔连通的、从上表面贯通至下表面的连通孔；以及
底侧板，其具有用于对贯穿设置于该节流孔片的所有第1节流孔供给空气的空气供给路径和供气孔，以及从连通于上述吸引孔的所有连通孔吸引空气的空气吸引路径和吸引孔。
2.根据权利要求1所述的上浮用空气板，其特征在于，
上述底侧板包括空气路径板和底板，
上述空气路径板，在上表面具有与贯穿设置于上述节流孔片的所有第1节流孔连通的空气喷出用槽部、和以一对一的方式连通于上述节流孔片的上述贯通孔的吸引用开口，并且，在下表面具有与连通于上述吸引用开口的所有连通孔连通的吸引用槽部、和开口于该下表面且连通于上述空气喷出用槽部的连通孔；
上述底板，具有从上表面贯通至下表面的供气孔及吸引孔，该供气孔的上表面侧开口部连通于与上述空气路径板的上述空气喷出用槽部连通的连通孔，上述吸引孔的上表面侧开口部连通于上述空气路径板的上述吸引用槽部。
3.根据权利要求1或2所述的上浮用空气板，其特征在于，
上述节流孔片在对应于上述顶板的上述吸引孔的位置具有多个从上表面贯通至下表面的第2节流孔来代替上述连通孔。
4.一种上浮用空气板，其特征在于，具备：
顶板，其以俯视时交替的方式配设有多个从上表面贯通至下表面的空气喷出孔及吸引孔；
接触面片，其具有如下的连通孔，该连通孔以一对一的方式连通于该顶板的上述空气喷出孔及吸引孔，从该接触面片的上表面贯通至下表面，直径大于上述空气喷出孔及吸引孔的直径；
节流孔片，其在对应于与上述顶板的上述空气喷出孔连通的上述接触面片的连通孔的位置，具有多个从上表面贯通至下表面的第1节流孔，并且，在对应于与上述顶板的上述吸引孔连通的上述接触面片的连通孔的位置，具有多个从上表面贯通至下表面的第2节流孔；以及
底侧板，其具有用于对贯穿设置于该节流孔片的所有第1节流孔供给空气的空气供给路径和供气孔，以及用于从贯穿设置于该节流孔片的所有第2节流孔吸引空气的空气吸引路径和吸引孔。
5.根据权利要求4所述的上浮用空气板，其特征在于，
上述底侧板包括空气路径板和底板，
上述空气路径板，在上表面具有与贯穿设置于上述节流孔片的所有上述第1节流孔连通的空气喷出用槽部、和与贯穿设置于上述节流孔片的所有上述第2节流孔连通的吸引用开口，并且，在下表面具有与连通于上述吸引用开口的所有连通孔连通的吸引用槽部、和开口于该下表面且连通于上述空气喷出用槽部的连通孔；
上述底板，具有从上表面贯通至下表面的供气孔和吸引孔，该供气孔的上表面侧开口部连通于与上述空气路径板的上述空气喷出用槽部连通的连通孔，上述吸引孔的上表面侧开口部连通于上述空气路径板的上述吸引用槽部。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的上浮用空气板，其特征在于，
上述顶板的上述空气喷出孔及吸引孔被配置成在俯视该顶板时交替地配置于平行的多条直线上，并且该多条直线与用该上浮用空气板进行搬运的搬运方向所成的角度为0°、45°和90°以外的角度。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的上浮用空气板，其特征在于，
通过使用激光的微细孔加工来贯穿设置上述节流孔片的上述多个节流孔的每一个。
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