KR102396243B1 - 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지 및 이의 세척방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지 및 이의 세척방법에 관한 것으로, 특히 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시키는 것은 물론, 세척수단을 구비하여 진공홀 및 진공홀과 상통되는 진공라인에 점착된 이물질을 손쉽게 제거할 수 있는 특징이 있다.

Description

세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지 및 이의 세척방법{DISPLAY PANEL FLOATING STAGE HAVING WASHING MEANS AND WASHING METHOD THEREOF}

본 발명은 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지 및 이의 세척방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시키는 것은 물론, 세척수단을 구비하여 진공홀 및 진공홀과 상통되는 진공라인에 점착된 이물질을 손쉽게 제거할 수 있도록 한 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지 및 이의 세척방법에 관한 것이다.

일반적으로, TV, 모니터, 휴대폰 등에 사용되는 평판 표시 장치의 구성을 보면, 투명한 글래스 패널 위에 격자 패턴이 형성되어 있고, 그 뒤에는 백라이트가 있으며, 이들 사이에는 액정이 있고, 글래스 패널 앞에는 칼라 필터가 배치된다.

상기 격자 패턴에 인가된 전기신호에 의해 액정은 특정 위치의 빛을 차단하거나 통과 시킬 수 있으며, 이러한 방식의 디스플레이 장치를‘LCD’라 한다. 액정 대신 유기물을 사용하기도 하는데 이 유기물은 전기신호를 받으면 자체 발광하므로 백라이트는 필요가 없으며, 이러한 방식의 디스플레이 장치를‘OLED’라고 한다.

위와 같은 평판표시장치(FPD)가 만들어지기까지는 많은 공정을 거치게 되는데 이 과정에서 글래스 패널은 반복적으로 이동과 검사가 이루어 진다. 글래스 패널을 이동하는 방법은 공정 특성에 따라 다른 데 단순이동(Transfer)에는 롤러(Roller)나 인덱스(Index) 혹은 로봇 팔을 이용하기도 하지만, 검사공정에서는 정밀반송이 요구되므로 비접촉으로 반송을 하는 것이 일반적이며, 비접촉식 반송장치에는 공압 및 부상 스테이지가 포함된다.

상기 부상 스테이지가 갖추어야 할 몇 가지 특성을 보면, 적정한 압력이 있는 상태에서 가능한 소량의 공기가 일정하게 흘러나와야 하고 흘러나온 공기는 막힘 없이 흡기가 이루어져야 한다.

근래 들어 디스플레이의 크기가 커지면서 해당 정밀도 또한 높아지면서 이에 따라 패널의 이송 정밀도 또한 높은 수준을 요구 받고 있다.

글래스 패널(디스플레이)이 이동할 때 흔들리게 되면 카메라로 들어오는 영상이 좋지 않아서 결함검사 품질을 떨어뜨리게 된다.

즉, 글래스 패널의 상하 떨림이 발생할 경우 피사체인 글래스 패널이 렌즈의 초점을 벗어나므로 만족스러운 검사 이미지를 얻을 수 없어 검사 능력을 저하시키는 원인이 된다.

여기서 글래스 패널이 이동할 때 상하의 떨림정도와 가장 밀접하게 연관 된 것이 부상 스테이지이다. 부상 스테이지를 통해서 나오는 공기 량이 일정하지 않거나 공기의 흐름이 원활하지 않으면 글래스 패널을 흔들리게 된다.

그 이유는 부상 스테이지와 글래스 패널 사이의 압력 및 체적 변화로 볼 수 있다.

따라서 부상 스테이지에서는 적정한 압력을 유지하면서 공기 량을 최소화하고, 공기가 잘 빠져 나가도록 하는 것이 가장 중요하다.

전술한 적정압력이라는 것은 글래스 패널이 부상 스테이지에 접촉하지 않을 정도의 저항력을 갖는 압력이다. 압력이 낮으면 이송 정밀도는 좋아지지만 부상 스테이지와 접촉될 가능성이 높고, 압력이 높으면 접촉 가능성은 낮아지나 부상 안정성이 떨어 진다.

또한 압력이 너무 높으면 설계에 따라서는 장기적으로 부상 스테이지의 변형을 가져오기도 한다. 그러므로 글래스 패널과 검사 정밀도 그리고 공정을 잘 분석하여 적정한 압력을 유지하는 것이 중요하다.

또한, 적정압력이 되었다 하더라도 공기유량이 많으면 공기 분출 시 난기류의 영향이 커지면서 글래스 패널이 흔들릴 수 있다. 또한 많은 공기가 빨리 빠져 나가지 못함에 따라 부분적으로 공기 정체가 발생하여 글래스 패널과 부상 스테이지의 간격 변화를 가져오게 된다. 이러한 현상 또한 부상의 안정성을 떨어뜨리게 되므로 좋은 검사 이미지 획득이 어렵다.

공기 흐름을 작게 하려면 저항체가 필요하다. 상기 저항체는 압력이 형성되게 하고 공기 량을 조절하는 기능을 동시 하게 된다. 따라서 저항체는 부상 스테이지에서 가장 중요한 기술적 요소라고 할 수 있다.

나아가, 적정한 압력이 형성되었고 공기 유량이 작다 하더라도 흡기가 안되면 글래스 패널을 안정적으로 반송시키기 어렵다.

부상 스테이지를 설계함에 있어서 일반적으로 무시되는 부분이 바로 흡기 부분이다. 흡기는 저항체 못지 않게 중요하다.

아무리 소량의 공기가 나온다고 하더라도 시간이 지나면 부상 스테이지 위에 누적 된다. 흡기가 안되면 글래스 패널은 우산 모양으로 휘어진 체 이동하게 되므로 고품질의 검가 이미지 획득이 어렵게 된다. 그러므로 부상 스테이지 바닥에서 흘러 나오는 공기를 빠른 시간에 흡기 할 수 있는 유로의 확보는 필수적이다.

한편 글라스 패널은 포토레지스트(photoresist: PR), 블랙 매트릭스(Black Matrix: BM), 컬럼 스페이스(column space: CS) 등을 형성하기 위해 감광성 코팅액을 도포할 수 있다.

또한, PDP 패널을 제조하는 경우 PDP 패널 기판 상에 상유전체, 하유전체, 격벽을 형성하기 위해 코팅액 또는 감광성 코팅액을 도포할 수 있다.

하지만 이러한 감광성 코팅액은 부상 스테이지의 진공홀의 내부에 점착되어 막힘 현상이 발생되는 문제점이 있었다.

이러한 문제점으로 인해 새로운 부상 스테이지를 교환시킨 후, 레벨링 및 부상량을 측정하여 생산 라인을 재가동해야 하는데, 이 때 걸리는 기간이 대략 2일 정도 소요되는 문제점이 있었다.

따라서 부상 스테이지를 해체하지 않고, 주기적으로 세척하여 사용할 수 있는 장치가 요구되고 있는 실정이다.

대한민국 등록특허 제10-1179736호

본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 본 발명의 제1목적은, 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시킬 수 있는 것은 물론, 세척수단을 구비하여 진공홀 및 진공홀과 상통되는 진공라인에 점착된 이물질을 손쉽게 제거할 수 있도록 한 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지를 제공하는데 있다.

본 발명의 제2목적은, 진공홀 및 진공홀과 상통되는 진공라인에 점착된 이물질의 제거는 물론, 진공홀로 분사되는 압축공기의 압력을 측정하여 막힘이나 디스플레이 패널의 부상량 감소여부까지 일괄적으로 처리할 수 있도록 한 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지의 세척방법을 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 제1목적을 달성하기 위한 특징에 따르면, 제 1발명은, 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지에 관한 것으로, 이를 위해 디스플레이 패널을 안정적으로 부상시키기 위해 다수의 급기홀과 진공홀이 교번되게 다수 형성되는 탑플레이트;와, 탑플레이트의 급기홀에서 분사되는 급기압과, 진공홀에서 흡입되는 진공압이 일정하게 유지할 수 있도록 상기 각 급기홀과 진공홀에 상통되는 다수의 압력유지홀이 형성된 상태로 다수 중첩된 압력유지플레이트;와, 상기 진공홀로 진공압을 공급하기 위해 상기 압력유지플레이트의 저면에 고정되되, 일정간격을 두고 병렬 형성되는 진공로와, 상기 각 진공로의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되어 상기 진공홀과 상통되는 제1분기로가 형성되는 제1바텀플레이트;와, 상기 급기홀로 급기압을 공급하기 위해 상기 제1바텀플레이트의 저면에 고정되되, 일정간격을 두고 병렬 형성되는 급기로와, 상기 각 급기로의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되어 상기 급기홀과 상통되는 제2분기로가 형성되는 제2바텀플레이트; 및 상기 제2바텀플레이트의 저면에 고정되되, 상기 제1바텀플레이트의 각 진공로에 연통되는 진공공급로와, 상기 제2바텀플레이트의 각 급기로와 연통되는 급기공급로가 병렬로 나란히 형성되는 다수의 매니폴드;와, 상기 각 매니폴드에 형성된 급기공급로와 진공공급에 진공호스와 급기호스를 연결하기 위해 매니폴드에 결합되는 다수의 소켓블럭; 및 상기 진공홀과 상통되는 압력유지홀과, 진공로와, 제1분기로와, 진공공급로을 세척하기 위해 진공호스에 연통되는 세척수단;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

제2발명은, 제1발명에서, 상기 세척수단은 압축공기를 공급하기 위해 진공호스와 제1밸브를 매개로 연결되는 압축공기탱크와, 세정액을 공급하기 위해 진공호스와 제2밸브를 매개로 연결되는 세정액탱크와, 세정액을 회수하기 위해 제3밸브를 매개로 진공호스와 연결되는 회수탱크로 구성되되, 상기 제1,2,3밸브는 3방향 밸브인 것을 특징으로 한다.

제3발명은, 제1발명에서, 상기 각 압력유지플레이트의 압력유지홀은 하부에 형성되는 압력유지실과, 상기 압력유지실의 상부에 편심되게 연통되는 통로로 이루어지고, 상기 각 통로는 상기 압력유지실 보다 상대적으로 내경이 작게 형성되는 것을 특징으로 한다.

제4발명은, 제3발명에서, 상기 각 압력유지플레이트의 압력유지홀에 형성된 통로는 중첩된 압력유지플레이트의 통로와 편심위치가 지그재그로 배치될 수 있도록 좌측 또는 우측으로 편심되게 형성되는 것을 특징으로 한다.

제5발명은, 제3발명에서, 상기 진공홀과 상통되는 압력유지홀의 통로는 흡기되는 공기량을 증대시키기 위해 상기 급기홀과 상통되는 압력유지홀의 통로 보다 상대적으로 내경이 크게 형성되는 특징으로 한다.

상기한 바와 같은 제2목적을 달성하기 위한 특징에 따르면, 제6발명은, 제1발명 내지 제5발명 중 어느 하나의 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지의 세척방법에 있어서, 제1밸브의 개도를 조절하여 진공탱크 내 진공압은 차단하고, 압축공기탱크 내 압축공기를 진공호스을 통해 2 ~ 3분 동안, 3 ~ 4회 반복하여 1차 주입하는 S10단계;와, 탑플레이트의 진공홀을 통해 배출된 이물질을 외부 집진기를 이용하여 1차 제거하는 S20단계;와, 제2밸브의 개도를 조절하여 진공탱크 내 진공압은 차단하고, 세정액탱크 내 세정액을 진공호스를 통해 10분 내지 15분 동안 주입하는 S30단계;와, 상기 탑플레이트의 진공홀로 분출된 세정액을 증발시킨 후, 부직포로 이물질을 제거하는 S40단계;와, 제3밸브의 개도를 조절하여 진공탱크 내 진공압을 차단하고, 디스플레이 부상 스테이지의 내부에 남아있는 세정액을 회수탱크로 회수하는 S50단계;와, 제1밸브의 개도를 조절하여 진공탱크 내 진공압은 차단하고, 압축공기탱크 내 압축공기를 진공호스을 통해 2 ~ 3분 동안, 3 ~ 4회 반복하여 2차 주입하는 S60단계; 및 탑플레이트의 진공홀을 통해 배출된 이물질을 외부 집진기를 이용하여 2차 제거하는 S70단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

제7발명은, 제6발명에서, S70단계 이후, 진공호스에 압축공기를 공급하고, 탑플레이트의 진공홀로 분사되는 압축공기의 압력을 게이지로 측정하여 막힘이나 디스플레이 패널의 부상량 감소여부를 확인하는 S80단계가 더 포함되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지 및 이의 세척방법에 따르면, 부상되는 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시킬 수 있는 효과가 있다.

또한 처짐이 발생되는 디스플레이 패널 양측 사이드에는 진공압 없이 급기압만이 분사되도록 하여 디스플레이 패널의 평탄도를 안정적으로 유지할 수 있는 효과가 있다.

또한 압력유지플레이트에 형성된 압력유지홀을 압력유지실과, 상기 압력유지실 보다 내경이 작은 통로로 분리 구성하되, 상기 통로는 압력유지실에 편심되게 연통시킴으로써, 압력유지실 내에서 발생되는 와류 또는 체적 증가에 따른 급기압과 진공압을 일정하게 유지할 수 있는 효과가 있다.

또한 세척수단을 구비하여 디스플레이 패널 부상 스테이지의 해체 없이 진공홀 및 진공홀과 상통되는 진공라인에 점착된 이물질을 손쉽게 제거할 수 있는 효과가 있다.

또한 진공홀 및 진공홀과 상통되는 진공라인에 점착된 이물질의 제거는 물론, 진공홀로 분사되는 압축공기의 압력을 측정하여 막힘이나 디스플레이 패널의 부상량 감소여부까지 일괄적으로 처리할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 사시도,
도 2는 도 1의 저면 사시도,
도 3은 도 1의 분해사시도,
도 4는 도 3에서 발췌된 압력유지플레이트를 나타내는 단면도,
도 5는 도 3에서 발췌된 제1바텀플레이트를 나타내는 평면도,
도 6은 도 3에서 발췌된 제2바텀플레이트를 나타내는 평면도,
도 7은 도 3에서 발췌된 매니폴드를 나타내는 사시도,
도 8은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 저면을 나타내는 투영도,
도 9는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 단면을 나타내는 단면도,
도 10은 본 발명에 따른 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지의 단면을 나타내는 단면도 구성도,
도 11 내지 13은 본 발명의 세척수단의 작동을 나타내는 작동도,
도 14는 본 발명에 따른 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지의 세척방법의 순서도이다.

이하의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다.

오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.

여기에 설명되고 예시되는 실시예들은 그것의 상보적인 실시예들도 포함한다.

본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprise)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소는 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다. 아래의 특정 실시예들을 기술하는데 있어서, 여러가지의 특정적인 내용들은 발명을 더 구체적으로 설명하고 이해를 돕기 위해 작성되었다. 하지만 본 발명을 이해할 수 있을 정도로 이 분야의 지식을 갖고 있는 독자는 이러한 여러 가지의 특정적인 내용들이 없어도 사용될수 있다는 것을 인지할 수 있다. 어떤 경우에는, 발명을 기술하는 데 있어서 흔히 알려졌으면서 발명과 크게 관련 없는 부분들은 본 발명을 설명하는 데 있어 혼돈을 막기 위해 기술하지 않음을 미리 언급해 둔다.

도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 사시도이고, 도 2는 도 1의 저면 사시도이고, 도 3은 도 1의 분해사시도이고, 도 4는 도 3에서 발췌된 압력유지플레이트를 나타내는 단면도이고, 도 5는 도 3에서 발췌된 제1바텀플레이트를 나타내는 평면도이고, 도 6은 도 3에서 발췌된 제2바텀플레이트를 나타내는 평면도이고, 도 7은 도 3에서 발췌된 매니폴드를 나타내는 사시도이고, 도 8은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 저면을 나타내는 투영도이고, 도 9는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 단면을 나타내는 단면도이고, 도 10은 본 발명에 따른 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지의 단면을 나타내는 단면도 구성도이고, 도 11 내지 13은 본 발명의 세척수단의 작동을 나타내는 작동도이다.

도 1 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명은 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시키는 것은 물론, 세척수단을 구비하여 진공홀 및 진공홀과 상통되는 진공라인에 점착된 이물질을 손쉽게 제거할 수 있도록 한 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지(100)에 관한 것이다.

이러한 본 발명의 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지(100)는 크게 5개 부분으로 구성되는데, 이는 탑플레이트(10)와, 압력유지플레이트(20)와, 제1바텀플레이트(30)와, 제2바텀플레이트(40)와, 매니폴드(50) 및 소켓블럭과, 세척수단으로 구성된다.

상기 탑플레이트(10)는 도 1과 같이, 디스플레이 패널(200)을 안정적으로 부상시키기 위해 다수의 급기홀(11)과 진공홀(12)이 교번되게 다수 형성되는 구조이다.

여기서 상기 급기홀(11)과 진공홀(12)은 실시예로 격자구조로 배치되는 구조이지만, 일정한 패턴 형태로도 배치되어 구성될 수 있다.

이 때 상기 급기홀(11)에서 발생되는 급기압은 상기 진공홀(12)에 발생되는 진공압 보다 상대적으로 커 디스플레이 패널(200)이 부상될 수 있도록 하는 것이 선행되어야 한다.

상기 압력유지플레이트(20)는 상기 탑플레이트(10)의 저면에 볼팅 결합에 의해 고정된다.

이러한 상기 압력유지플레이트(20)는 도 4와 같이, 탑플레이트(10)의 급기홀(11)에서 분사되는 급기압과, 진공홀(12)에서 흡입되는 진공압이 일정하게 유지할 수 있도록 상기 각 급기홀(11)과 진공홀(12)에 상통되는 다수의 압력유지홀(21)이 형성된 구조이다.

상기 압력유지플레이트(20)의 압력유지홀(21)은 하부에 형성되는 압력유지실(211)과, 상기 압력유지실(211)의 상부에 편심되게 연통되는 통로(212)로 구성된다. 이 때 상기 통로(212)는 상기 압력유지실(211) 보다 상대적으로 내경이 작게 형성되는 구조이다.

상기에서 급기홀(11)과 연결되는 상기 압력유지홀(21)은 압력유지실(211)을 통해 급기되는 공기에 와류를 발생시켜 압력을 낮추는 소위 저항체의 기능을 하게 된다.

그리고 상기 압력유지실(211)에 편심되게 형성된 통로(212)는 압력이 낮아진 공기의 유량을 저감시킬 수 있도록 기능한다.

이러한 압력유지실(211)과 통로(212)의 내경 크기는 디스플레이 패널(200)의 크기와 무게에 따라 달리될 수 있다.

또한 상기 진공홀(12)과 연결되는 상기 압력유지홀(21)은 압력유지실을 통해 진공압력이 높아지는 것을 방지할 수 있고, 상기 통로(212)는 흡기량을 급기량 만큼 조절할 수 있게 된다.

이러한 상기 압력유지플레이트(20)는 도 4 및 도 9와 같이, 안정적인 급기압과 진공압을 유지하기 위해 적어도 2개 이상 중첩 결합되어 구성되며, 본 발명에서는 3개의 압력유지플레이트(20)가 중첩된 구조이다.

상기 압력유지플레이트(20)는 요구되는 진공압과 급기압에 따라 그 중첩 갯수가 달리될 수 있음은 물론이다.

또한 상기 각 압력유지플레이트(20)의 압력유지홀(21)에 형성된 통로(212)는 중첩된 압력유지플레이트(20)의 통로(212)와 편심위치가 지그재그로 배치될 수 있도록 좌측 또는 우측으로 편심되게 형성되는 구조이다.

따라서 급기홀(11)을 통해 배출되는 공기의 급기량과, 급기압은 압력유지홀(21)을 다단으로 거치면서 일정하게 유지될 수 있게 된다.

또한 진공홀(12)을 통해 흡입되는 진공압과 흡기량 역시 압력유지홀(21)을 다단으로 거치면서 일정하게 유지될 수 있게 된다.

한편 도 4와 같이, 상기 각 압력유지플레이트(20) 중 어느 하나는 진공홀(12)과 연통되는 압력유지홀(21)의 형태가 통로(212) 없이 단일 압력유지실(211)로만 구성될 수 있다. 이러한 구조는 진공압의 저항이 더 크게 발생되는 바, 진공에 의해 흡기되는 공기의 체적을 넓혀 급기량 대비 흡입량의 균형을 맞추기 위함이다.

여기서 상기 진공홀(12)과 상통되는 압력유지홀(21)의 통로(212)는 흡기되는 공기량을 증대시키기 위해 상기 급기홀(11)과 상통되는 압력유지홀(21)의 통로(212) 보다 상대적으로 내경을 크게 형성하여 구성될 수 있다

때문에 상기 탑플레이트(10)는 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위 곳에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널(200)을 흔들림 없이 안정적으로 부상시킬 수 있게 된다.

아울러 상기 탑플레이트(10)의 저면에 배치되는 압력유지플레이트(20)의 압력유지홀(21)은 통로(212)가 상기 급기홀(11) 또는 진공홀(12)에 연결되어 급기 또는 흡입되는 구조이고, 상기 압력유지실(211)은 하부에 중첩된 또는 압력유지플레이트(20)의 통로(212)와 상통되는 구조이다.

또한 최하층에 배치된 압력유지플레이트(20)의 압력유지홀(21)은 제1바텀플레이트(30) 및 제2바텀플레이트(40)와 상통되어 급기를 위한 급기압과, 흡입을 위한 진공압을 각각 개별적으로 공급 받을 수 있도록 구성된다.

여기서 상기 제1바텀플레이트(30)는 도 5와 같이, 진공홀(12)로 음압에 의해 공기를 흡입하기 위해 압력유지플레이트(20)의 저면에 고정되고, 일정간격을 두고 병렬 형성되는 진공로(31)와, 상기 진공로(31)의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되는 제1분기로(311)가 형성되는 구조이다.

여기서 상기 각 제1분기로(311)는 진공홀(12)과 상통되는 압력유지플레이트(20)의 압력유지실(211)와 개별적으로 연통되어 통해 공기를 음압에 의해 흡입시킬 수 있도록 구성된다.

이러한 상기 제1바텀플레이트(30)의 각 진공로(31)에는 제1분기로(311)와 별개로 복수의 제1연결로(312)가 형성되는데, 이러한 제1연결로(312)에는 진공압을 공급받기 위한 제1통공(313)이 더 형성된다.

이 때 상기 제1통공(313)은 도 6과 같이, 제2바텀플레이트(40)까지 연장되어 제2바텀플레이트(40)의 간섭없이 흡기를 위한 흡기압을 공급할 수 있도록 이루어진다.

아우러 상기 제2바텀플레이트(40)는 급기홀(11)로 공기를 공급하기 위해 상기 제1바텀플레이트(30)의 저면에 고정되고, 일정간격을 두고 병렬 형성되는 급기로(41)와, 상기 급기로(41)의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되는 제2분기로(411)를 포함하는 구성이다.

여기서 상기 각 제2분기로(411)는 급기홀(11)과 상통되는 압력유지실(211)과 개별적으로 연통되어 급기를 위한 공기가 공급될 수 있도록 구성된다.

보다 상세하게는 상기 제2바텀플레이트(40)의 각 급기로(41)에는 제2분기로(411)와 별개로 복수의 제2연결로(412)가 형성되는데, 이러한 제2연결로(412)에는 급기압를 공급받기 위한 제2통공(413)이 더 형성된다.

상기 매니폴드(50)는 한개 또는 복수개가 결합될 수 있으며, 도 7과 같이, 상기 제2바텀플레이트(40)의 저면에 고정되고, 제1바텀플레이트(30)의 급기로(41)와, 제2바텀플레이트(40)의 진공로(31)에 개별적으로 연통되는 급기공급로(51)와, 진공공급로(52)가 병렬로 나란히 형성되는 구조이다.

여기서 도 8과 같이, 상기 급기공급로(51)는 상기 제2바텀플레이트(40)의 각 제2연결로(412)에 형성된 제2통공(413)과 연통시켜 상기 각 급기로(41)로 급기압이 공급되도록 기능한다.

그리고 상기 진공공급로(52)는 상기 제1바텀플레이트(30)의 각 제1연결로(312)에 형성된 제1통공(313)과 연통시켜 상기 각 진공로(31)로 진공압이 공급되도록 기능한다.

또한 상기 매니폴드(50)의 저면에는 상기 급기공급로(51)와 상통되는 급기단자홀(511)과, 상기 진공공급로(52)와 상통되는 진공단자홀(521)을 더 포함한다.

이 때 상기 매니폴드(50)는 상기 진공단자홀(521)과, 급기단자홀(511)에는 진공호스(61)와 급기호스(62)를 연결시키기 위한 소켓블럭(60)이 결합되어 구성될 수 있다.

여기서 급기호스(62)는 급기탱크(92)와 연결되고, 진공호스(61)는 진공탱크(91)와 연결된다.

한편 본 발병의 디스플레이 패널 부상 스테이지(100)는 처짐이 발생되는 디스플레이 패널(200)의 사이드 양측으로 진공압 없이 급기압만 발생되도록 하여 디스플레이 패널(200)의 평탄도를 유지할 수 있도록 구성된다.

이를 위해 상기 탑플레이트(10)는 사이드 양측 1열 횡대를 따라 진공홀 없이 급기홀(11)만이 일정간격을 두고 배치된다.

그리고 상기 제2바텀플레이트(40)의 급기로(41) 중 사이드 양측에 배치된 급기로(41)는 제2분기로(411)가 없는 보조급기로(42)가 상기 각 급기홀(11)과 상통되게 이루어진다.

이러한 상기 제2바텀플레이트(40)의 보조급기로(42)에는 공기를 공급받기 위한 제3통공(421)이 형성될 수 있다.

그리고 상기 매니폴드(50)는 2개의 보조급기로(32)에 개별적으로 공기를 공급하는 보조공급로(53)가 더 형성될 수 있다.

아울러 상기 매드폴드(60)의 상면 역시 상기 보조공급로(53)와 상통되는 2개의 보조단자홀(531)이 형성되고, 이러한 2개의 보조단자홀(531)에는 각각 단독으로 급기압을 공급할 수 있는 보조소켓블럭(70)이 결합되어 구성된다.

이를 통해 상기 탑플레이트(10)의 사이드 양측 1열 횡대에 배치된 급기홀(11)은 개별적으로 별도의 급기압을 제공할 수 있어 디스플레이 패널(200)의 평탄도와 더불어, 디스플레이 패널(200)의 크기에 따라 디스플레이 패널(200)이 직진 이송되게 에어펜스의 기능을 겸할 수 있다.

한편 디스플레이 패널(200)은 표면에 감광성 코팅액이 분사되어 코팅되는 바, 이러한 감광성 코팅액이 진공홀(12)을 내부로 흡입되어 진공홀(12)과 상통되는 진공라인(압력유지홀(21)과, 진공로(31)와, 제1분기로(311)와, 진공공급로(52))에 감광성 코팅액이 점착되는 막힘 현상이 발생되는 문제점이 있었다.

상기 세척수단(80)는 도 10과 같이, 진공홀(12)과 상통되는 압력유지홀(21)과, 진공로(31)와, 제1분기로(311)와, 진공공급로(52)의 점착되는 감광성 코팅액과 먼지와 같은 이물질을 세척하기 위한 것으로, 상기 진공호스(61)에 연통되는 구조이다.

이러한 상기 세척수단(80)은 압축공기를 공급하기 위해 진공호스(61)와 제1밸브(811)를 매개로 연결되는 압축공기탱크(81)와, 세정액을 공급하기 위해 진공호스(61)와 제2밸브(821)를 매개로 연결되는 세정액탱크(82)와, 세정액을 회수하기 위해 제3밸브(831)를 매개로 진공호스(61)와 연결되는 회수탱크(83)로 구성된다.

이 때 상기 제1,2,3밸브(811,821,831)는 3방향 밸브로 이루어지는 것이 바람직하다.

이러한 세척수단(80)은 먼저 압축공기를 진공호스(61)를 통해 공급하고, 진공라인(압력유지홀(21) ← 진공로(31) ← 제1분기로(311) ← 진공공급로(52))을 거쳐 진공홀(12)로 이물질 배출되도록 하고, 이 후 세정액을 진공라인으로 공급하여 진공라인에 점착된 감광성 코팅액까지 완벽히 제거할 수 있도록 한 구조이다.

여기서 압축공기탱크(81)의 압축공기를 공급할 경우에는 도 11과 같이, 제1밸브(811)의 개도를 조절하여 진공탱크(91)에서 공급되는 진공압을 차단시키고, 압축공기탱크(81)의 압축공기를 진공호스(61)로 공급하여 압축공기에 의해 먼지와 같은 이물질을 제거할 수 있다.

그리고 세정액탱크(82)의 세정액을 공급할 경우에는 도 12과 같이, 제2밸브(821)의 개도를 조절하여 진공탱크(91)에서 공급되는 진공압을 차단시키고, 세정액탱크(82)의 세정액을 진공호스(61)로 공급하여 세정액에 의해 진공라인에 점착된 감광성 코팅액을 진공홀(12)을 통해 외부로 배출시켜 제거할 수 있다.

그리고 진공라인 내에 남은 잔여 세정액을 회수할 경우에는 도 13과 같이, 제3밸브(831)의 개도를 조절하여 진공탱크(91)에서 공급되는 진공압을 차단시키고, 회수탱크(83)로 세정액을 회수하여 제거할 수 있다.

이러한 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지의 세척방법은 하기에서 상세히 설명하기로 한다.

도 14는 본 발명에 따른 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지의 세척방법의 순서도이다.

도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지의 세척방법은 S10 내지 S70단계로 이루어진다.

S10단계에는 제1밸브의 개도를 조절하여 진공탱크 내 진공압은 차단하고, 압축공기탱크 내 압축공기를 진공호스을 통해 2 ~ 3분 동안, 3 ~ 4회 반복하여 공급한다.

그러면 압축공기는 5BAR ~ 7BAR의 압력으로 공급되며, 매니폴드(진공단자홀 → 진공공급로) → 제2바텀플레이트(제2연결로→제2통공→제2분기로-진공로) → 압력유지플레이트(압력유지홀(압력유지실→통로) → 탑플레이트(진공홀)의 경로로 이동하면서 진공라인 내 먼지와 같은 이물질을 탑플레이트의 진공홀로 배출된다.

S20단계에서는 탑플레이트의 진공홀을 통해 배출된 이물질을 외부 집진기를 이용하여 1차 제거한다.

S30단계에서는 제2밸브의 개도를 조절하여 진공탱크 내 진공압은 차단하고, 세정액탱크 내 세정액을 진공호스를 통해 10분 내지 15분 동안 주입한다.

세정액탱크의 압력은 3 ~ 5BAR 정도로 하는 것이 바람직하다. 여기서 압력이 3BAR 이하일 경우에는 압력이 낮아 세정액이 진공라인을 통과하지 못하기 때문에 바람직하지 않고, 5BAR 이상일 경우에는 진공홀로 배출되는 세정액이 비산되기 때문에 바람직하지 않다.

S40단계에서는 상기 탑플레이트의 진공홀로 분출된 세정액을 증발시킨 후, 부직포로 이물질을 제거한다.

S50단계에서는 제3밸브의 개도를 조절하여 진공탱크 내 진공압을 차단하고, 디스플레이 부상 스테이지의 내부에 남아있는 세정액을 회수탱크로 회수한다.

S60단계에서는 5BAR ~ 7BAR의 압력으로 압축공기탱크 내 압축공기를 진공호스을 통해 2 ~ 3분 동안, 1 ~ 2회 반복하여 2차 주입한다. 이러한 S60단계는 에어샤워의 목적으로 하는 것으로, 잔여 세정액과 이물질을 반복하여 제거할 수 있게 된다.

S70단계에서는 탑플레이트의 진공홀을 통해 배출된 이물질을 외부 집진기에 의해 2차 제거한다.

한편 S70단계 이후, 진공호스에 압축공기를 공급하고, 탑플레이트의 진공홀로 분사되는 압축공기의 압력을 게이지로 측정하여 막힘이나 디스플레이 패널의 부상량 감소여부를 확인하는 S80단계가 더 포함되어 구성될 수 있다.

본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

10: 탑플레이트
11: 급기홀 12: 진공홀
20: 압력유지플레이트
21: 압력유지홀 211: 압력유지실
212: 통로
30: 제1바텀플레이트
31: 진공로 311: 제1분기로
312: 제1연결로 313: 제1통공
40: 제2바텀플레이트
41: 급기로 411: 제2분기로
412: 제2연결로 413: 제2통공
42: 보조급기로 421: 제3통공
50: 매니폴드 51: 급기공급로 511: 급기단자홀
52: 진공공급로 521: 진공단자홀
53: 보조공급로 531: 보조단자홀
60: 소켓블럭 61: 진공호스 62: 급기호스
70: 보조소켓블럭
80: 세척수단 81: 압축공기탱크 811: 제1밸브
82: 세정액탱크 821: 제2밸브
83: 회수탱크 831: 제3밸브
91: 진공탱크 92: 급기탱크
100: 디스플레이 패널 부상 스테이지
200: 디스플레이 패널

Claims (7)

1. 디스플레이 패널(200)을 안정적으로 부상시키기 위해 다수의 급기홀(11)과 진공홀(12)이 교번되게 다수 형성되는 탑플레이트(10);
   탑플레이트(10)의 급기홀(11)에서 분사되는 급기압과, 진공홀(12)에서 흡입되는 진공압이 일정하게 유지할 수 있도록 상기 각 급기홀(11)과 진공홀(12)에 상통되는 다수의 압력유지홀(21)이 형성된 상태로 다수 중첩된 압력유지플레이트(20);
   상기 진공홀(12)로 진공압을 공급하기 위해 상기 압력유지플레이트(20)의 저면에 고정되되, 일정간격을 두고 병렬 형성되는 진공로(31)와, 상기 각 진공로(31)의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되어 상기 진공홀(12)과 상통되는 제1분기로(311)가 형성되는 제1바텀플레이트(30);
   상기 급기홀(11)로 급기압을 공급하기 위해 상기 제1바텀플레이트(30)의 저면에 고정되되, 일정간격을 두고 병렬 형성되는 급기로(41)와, 상기 각 급기로(41)의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되어 상기 급기홀(11)과 상통되는 제2분기로(411)가 형성되는 제2바텀플레이트(40);
   상기 제2바텀플레이트(40)의 저면에 고정되되, 상기 제1바텀플레이트(30)의 각 진공로(31)에 연통되는 진공공급로(52)와, 상기 제2바텀플레이트(40)의 각 급기로(41)와 연통되는 급기공급로(51)가 병렬로 나란히 형성되는 다수의 매니폴드(50); 및
   상기 매니폴드(50)의 형성된 급기공급로(51)와 진공공급로(52)에 진공호스(61)와 급기호스(62)를 연결하기 위해 매니폴드(50)에 결합되는 다수의 소켓블럭(60); 및
   상기 진공홀(12)과 상통되는 압력유지홀(21)과, 진공로(31)와, 제1분기로(311)와, 진공공급로(52)을 세척하기 위해 진공호스(61)에 연통되는 세척수단(80);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 세척수단(80)은 압축공기를 공급하기 위해 진공호스(61)와 제1밸브(811)를 매개로 연결되는 압축공기탱크(81)와, 세정액을 공급하기 위해 진공호스(61)와 제2밸브(821)를 매개로 연결되는 세정액탱크(82)와, 세정액을 회수하기 위해 제3밸브(831)를 매개로 진공호스(61)와 연결되는 회수탱크(83)로 구성되되,
   상기 제1,2,3밸브(811,821,831)는 3방향 밸브인 것을 특징으로 하는 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 압력유지홀(21)은 하부에 형성되는 압력유지실(211)과, 상기 압력유지실(211)의 상부에 편심되게 연통되는 통로(212)로 이루어지고,
   상기 통로(212)는 상기 압력유지실(211) 보다 상대적으로 내경이 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지.
   
4. 제3항에 있어서,
   상기 각 압력유지플레이트(20)의 압력유지홀(21)에 형성된 통로(212)는 중첩된 압력유지플레이트(20)의 통로(212)와 편심위치가 지그재그로 배치될 수 있도록 좌측 또는 우측으로 편심되게 형성되게 것을 특징으로 하는 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지.
   
5. 제3항에 있어서,
   상기 진공홀(12)과 상통되는 압력유지홀(21)의 통로(212)는 흡기되는 공기량을 증대시키기 위해 상기 급기홀(11)과 상통되는 압력유지홀(21)의 통로(212) 보다 상대적으로 내경이 크게 형성되는 특징으로 하는 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지.
   
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지의 세척방법에 있어서,
   제1밸브의 개도를 조절하여 진공탱크 내 진공압은 차단하고, 압축공기탱크 내 압축공기를 진공호스을 통해 2 ~ 3분 동안, 3 ~ 4회 반복하여 1차 주입하는 S10단계;
   탑플레이트의 진공홀을 통해 배출된 이물질을 외부 집진기를 이용하여 1차 제거하는 S20단계;
   제2밸브의 개도를 조절하여 진공탱크 내 진공압은 차단하고, 세정액탱크 내 세정액을 진공호스를 통해 10분 내지 15분 동안 주입하는 S30단계;
   상기 탑플레이트의 진공홀로 분출된 세정액을 증발시킨 후, 부직포로 이물질을 제거하는 S40단계;
   제3밸브의 개도를 조절하여 진공탱크 내 진공압을 차단하고, 디스플레이 부상 스테이지의 내부에 남아있는 세정액을 회수탱크로 회수하는 S50단계;
   제1밸브의 개도를 조절하여 진공탱크 내 진공압은 차단하고, 압축공기탱크 내 압축공기를 진공호스을 통해 2 ~ 3분 동안, 3 ~ 4회 반복하여 2차 주입하는 S60단계;
   탑플레이트의 진공홀을 통해 배출된 이물질을 외부 집진기를 이용하여 2차 제거하는 S70단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지의 세척방법.
   
7. 제6항에 있어서,
   S70단계 이후, 진공호스에 압축공기를 공급하고, 탑플레이트의 진공홀로 분사되는 압축공기의 압력을 게이지로 측정하여 막힘이나 디스플레이 패널의 부상량 감소여부를 확인하는 S80단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 세척수단을 갖는 디스플레이 패널 부상 스테이지의 세척방법.

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