KR101179736B1 - 개선된 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛 및 코팅 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 개선된 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛 및 코팅 장치를 개시한다.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛 및 코팅 장치는 각각 로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 각각 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구 및 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구가 형성된 플레이트; 및 상기 플레이트가 고정 장착되는 베이스 부재를 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛 및 코팅 장치는 각각 로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 1 에어 분출구 및 복수개의 제 1 에어 흡입구가 형성된 제 1 플레이트; 코팅 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 2 에어 분출구 및 복수개의 제 2 에어 흡입구가 형성된 제 2 플레이트; 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 3 에어 분출구 및 복수개의 제 3 에어 흡입구가 형성된 제 3 플레이트; 및 상기 제 1 내지 제 3 플레이트가 각각 고정 장착되는 제 1 내지 제 3 베이스 부재를 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.

Description

개선된 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛 및 코팅 장치{An Improved Floating Stage and A Substrate Floating Unit and A Coating Apparatus Having the Same}
본 발명은 개선된 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛 및 코팅 장치에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 PDP 패널 또는 LCD 패널 등과 같은 평판 패널 디스플레이(Flat Panel Display: 이하 "FPD"라 합니다) 제조용 기판을 부상시키기 위한 부상 스테이지를 그 하부에 제공되는 베이스 부재에 고정시켜, 에어 분출 및 흡입 시 부상 스테이지의 진동이 방지되고, 부상 스테이지의 높이 조절이 불필요하며, 코팅액의 도포 높이가 균일하게 유지되어 얼룩 발생이 최소화되는 개선된 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛 및 코팅 장치에 관한 것이다.
일반적으로 FPD와 같은 전자소자를 제조하기 위해서는 글래스 기판(이하 "기판"이라 합니다)과 같은 작업물(work piece) 상에 코팅액의 도포가 요구되며, 이를 위해 노즐 디스펜서(nozzle dispenser) 또는 슬릿 다이(이하 노즐 디스펜서 및 슬릿 다이를 통칭하여 "노즐 장치"라 합니다)를 구비한 코팅 장치가 사용된다. 이러한 코팅 장치는 기판을 스테이지 상에 위치시킨 후 갠트리(gantry)에 부착된 노즐 장치를 수평방향으로 이동시키면서 다양한 코팅액의 도포 동작을 수행한다. 이러한 코팅액의 도포 동작의 예로는, LCD 패널을 제조하는 경우 LCD 패널 기판 상에 포토레지스트(photoresist: PR), 블랙 매트릭스(Black Matrix: B.M), 컬럼 스페이스(column space: C.S) 등을 형성하기 위해 감광성 코팅액을 도포할 수 있다. 또한, PDP 패널을 제조하는 경우 PDP 패널 기판 상에 상유전체, 하유전체, 격벽을 형성하기 위해 코팅액 또는 감광성 코팅액을 도포할 수 있다.
그러나, 상술한 종래 기술에서는 기판을 스테이지 상에 위치시킨 후 스테이지를 코팅 위치로 이동한 상태에서 기판의 상부에 설치되는 노즐 장치 및 노즐 장치가 부착되는 갠트리가 기판 상에서 이동하는 노즐 이동 방식 구조이기 때문에 코팅 장치의 정밀 구동이 어려워지며 또한 복잡하다. 좀 더 구체적으로, 큰 중량의 대형 노즐 장치, 갠트리 및 스테이지의 이동을 위해서는 막대한 에너지가 필요하다. 또한, 코팅액 도포 후에는 원래의 위치로 복귀하여 상술한 동작을 반복하여야 하므로 코팅액 도포 동작의 효율성이 저하된다는 문제가 발생한다. 또한, 대면적 FPD의 요구에 따라 노즐 장치 및 갠트리도 대형화되어야 한다. 대형화된 갠트리의 중량은 대략 1톤 내지 2톤에 달하여, 이러한 거대 중량의 갠트리를 이동시키면서 정밀하게 가속시키거나 감속시키는 피딩 장치의 구현이 어려워진다.
상술한 종래 기술의 노즐 이동 방식의 코팅 장치의 문제점을 해소하기 위한 방안의 하나로 에어의 분사 또는 분사 및 흡인을 통해 기판을 부상시켜 이송하면서 기판의 표면에 코팅액을 도포하는 부상방식의 기판 이송 장치가 제안되었다.
도 1a는 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 사시도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이다. 이러한 도 1a 및 도 1b에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치는 예를 들어 2007년 5월 25일자에 동경 엘렉트론 주식회사에 의해 "도포방법 및 도포장치"라는 발명의 명칭으로 한국 특허출원 제 2007-50812호로 출원되어, 2007년 11월 29일자에 공개된 대한민국 공개 특허 제 2007-114034호에 상세히 개시되어 있다.
다시 도 1a 및 도 1b를 참조하면, 종래 기술에 따른 도포장치(40)는 부상방식의 기판 이송 장치(84)를 구비한다. 기판(G)은 예를 들어 이송 암(transfer arm: 미도시)에 의해 스테이지(76)의 로딩 영역(도 1b의 M1 영역) 상으로 이송된다. 그 후, 이송된 기판(G)은 한 쌍의 리니어 모션 가이드(96) 상에서 이동 가능한 한 쌍의 슬라이더(98)에 제공되는 지지부(102) 상의 흡착 패드(104) 상에 진공 흡착 방식으로 장착된다. 로딩 영역(M1 영역) 상에서 자중(self-weight)에 의해 아래로 휘어진 기판(G)은 복수개의 에어 분출구(88)를 통해 분출되는 에어에 의해 대략 일정한 부상 높이(Ha)로 부상한 상태에서 부상방식의 기판 이송 장치(84)에 의해 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)을 거쳐 코팅 영역(M3 영역) 상으로 이송된다. 제 1 인터페이스 영역(M2 영역) 내에는 진공 펌핑 장치(미도시)와 연결된 에어 흡입구(90)가 부분적으로 설치되어 있다. 따라서, 에어 분출구(88)의 분출력이 에어 흡입구(90)의 흡입력에 의해 일부 상쇄되므로, 기판(G)은 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)에서 그 부상 높이가 점차 낮아지면서 코팅 영역(M3 영역)으로 진입한다. 코팅 영역(M3 영역)에서는 에어 흡입구(90)의 수가 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)에 비해 더 많이 제공되어 기판(G)이 코팅 높이(Hb)로 부상한 상태를 유지하면서 X축 방향으로 이송된다. 코팅 영역(M3 영역)에서는 노즐 장치(78)가 코팅액(R: 예를 들어 레지스트액)을 공급관(94)을 통해 공급받아 기판(G) 상에 도포한다.
그 후, 코팅액이 도포된 기판(G)은 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)으로 이송된다. 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)에도 진공 펌핑 장치(미도시)와 연결된 에어 흡입구(90)가 부분적으로 설치되어 있다. 따라서, 기판(G)이 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)으로 진입하면, 에어 분출구(88)의 분출력이 에어 흡입구(90)의 흡입력에 의해 일부만 상쇄되어 그 부상 높이가 점차 높아진다. 그 후, 기판(G)은 언로딩 영역(M5 영역)으로 진입하고, 복수개의 에어 분출구(88)를 통해 분출되는 에어에 의해 일정 부상 높이(Hc)로 부상한 상태에서 기판(G)은 흡착 패드(104)로부터 제공되는 진공 흡착이 해제된다. 그 후, 기판(G)을 상승시킨 후, 로봇 암(미도시)에 의해 다음 공정 위치로 이송된다.
상술한 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치(84) 및 이를 구비한 도포 장치(40)에서는 로딩 영역(제 1 인터페이스 영역을 포함), 코팅 영역 및 언로딩 영역(제 2 인터페이스 영역을 포함)에 대응되는 스테이지(76)가 하나의 플레이트 형상으로 제공되어 있다. 기판(G)을 부상시키기 위해서는 기판(G)의 하부에서 에어의 부상력 및 흡입력을 제공하여야 한다. 이 경우, 에어 공급 장치 및 진공 펌핑 장치에 의해 복수개의 에어 분출구(88) 및 복수개의 에어 흡입구(90)에 각각 에어 분출 및 에어 흡입이 이루어지면, 하나의 플레이트 형상의 스테이지(76)가 상하로 진동한다. 그 결과, 에어 부상력(에어 분출력과 에어 흡입력의 차이) 및 기판(G)의 부상 높이가 일정하게 유지되지 못하여 얼룩이 발생한다.
상술한 종래 기술의 하나의 플레이트 형상의 스테이지(76)의 문제점을 해결하기 위한 하나의 방안으로, 기판 부상 유닛(SFU: Substrate Floating Unit)으로 로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역의 하부에 각각 제 1 내지 제 3 부상 유닛(SFU1,SFU2,SFU3)을 개별적으로 형성하는 방법이 제안된 바 있다. 이 경우, 제 1 내지 제 3 부상 유닛(SFU1,SFU2,SFU3)은 각각 적어도 하나 이상의 부상 스테이지를 포함하고, 각각의 스테이지는 복수의 플레이트를 연결하여 형성된다.
좀 더 구체적으로, 도 1c는 각각 적어도 하나 이상의 부상 스테이지를 포함하는 기판 부상 유닛 및 복수개의 높이 조정 부재의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 1d 및 도 1e는 복수개의 플레이트가 연결된 스테이지의 사시도를 도시하고 있다. 도 1c 내지 도 1e에서는, 설명의 편의를 위해 제 1 내지 제 3 부상 유닛(SFU1,SFU2,SFU3)으로 구성되는 기판 부상 유닛(SFU)의 구성요소인 에어 공급 장치 및 진공 펌핑 장치는 도시되어 있지 않다는 점에 유의하여야 한다.
도 1c 내지 도 1e를 참조하면, 종래 기술에 따른 기판 부상 유닛(SFU)에서 로딩 영역에 대응되는 제 1 부상 유닛(SFU1)은 4개의 제 1 부상 스테이지(176a)로 구성되고, 코팅 영역에 대응되는 제 2 부상 유닛(SFU2)은 1개의 제 2 부상 스테이지(176b)로 구성되며, 언로딩 영역에 각각 대응되는 제 3 부상 유닛(SFU3)은 4개의 제 3 부상 스테이지(176c)로 구성되어 있다. 여기서 제 1 내지 제 3 부상 스테이지(176a,176b,176c)의 수는 예시적인 것으로, 필요에 따라 증가 또는 감소될 수 있다. 제 1 내지 제 3 부상 스테이지(176a,176b,176c)는 각각 복수개의 플레이트(P1,P2,P3)가 기판(G)이 가로질러 이송되는 방향과 수직한 방향으로 1열로 연결되어 있거나(도 1d의 경우), 또는 복수개의 제 1 플레이트(P11,P21,P31) 및 복수개의 제 2 플레이트(P12,P22,P32)가 서로 이격된 상태로 기판(G)이 가로질러 이송되는 방향과 수직한 방향으로 2열로 연결되어 있다(도 1e의 경우). 복수개의 플레이트(P1,P2,P3) 또는 복수개의 제 1 플레이트(P11,P21,P31) 및 복수개의 제 2 플레이트(P12,P22,P32)(이하 통칭하여 "복수개의 플레이트(P)"라 합니다) 상에는 각각 복수개의 에어 분출구(188) 및 복수개의 에어 흡입구(190)가 형성되어 있다.
다시 도 1c를 참조하면, 제 1 내지 제 3 부상 스테이지(176a,176b,176c)의 하부에 부착된 높이 조정 부재(122)는 베이스 부재(120) 상에 제공되며, 복수개의 플레이트(P)의 하부에 각각 제공된다. 이러한 복수개의 높이 조정 부재(122)는 예를 들어, 스크류(screw) 형태와 같은 높이 조절 나사로 구현될 수 있다. 따라서, 복수개의 플레이트(P)는 복수개의 높이 조정 부재(122)를 사용하여 각각의 높이 조절이 이루어진다.
상술한 바와 같은 제 1 내지 제 3 부상 스테이지(176a,176b,176c)를 사용하는 경우, 종래 기술에 비해 미세한 사이즈의 복수개의 에어 분출구(188) 및 복수개의 에어 흡입구(190)를 정밀하게 가공 및 형성하는 것이 용이하다는 장점이 달성된다.
그러나, 종래 기술에 따른 기판 부상 유닛(SFU)을 사용하는 경우, 복수개의 에어 분출구(188) 및 복수개의 에어 흡입구(190)를 통해 에어를 분출 및 흡입에 의해 발생하는 진동(fluctuation) 등과 같은 외부 환경의 변화로 인하여 복수개의 플레이트(P)는 사용 중에 높이 변화가 발생할 수 있다. 이러한 높이 변화는 복수개의 제 1 내지 제 3 스테이지(176a,176b,176c) 상의 기판(G)은 국부적으로(locally) 높이 변화(A)가 발생한다(도 1c 참조). 기판(G)의 국부적인 높이 변화(A)는 통상적으로 기판(G) 상에 코팅액을 도포한 다음, 도포된 코팅액 높이를 측정하여 확인된다. 도포된 코팅액 높이가 예를 들어 허용가능한 범위를 벗어나는 경우 얼룩이 발생한다.
상술한 바와 같이 얼룩이 발생하는 경우 해당 높이 차를 고려하여 복수개의 높이 조정 부재(122)를 이용하여 복수개의 플레이트(P)의 높이를 조정해 주어야 한다. 그러나, 복수개의 높이 조정 부재(122)를 이용한 높이 조정은 다음과 같은 문제가 발생한다.
1. 복수개의 높이 조정 부재(122)를 이용한 높이 조정은 통상적으로 수동 방식으로 이루어지므로 높이 조정에 요구되는 시간이 상당히 길어진다.
2. 수동 방식에 의한 복수개의 높이 조정 부재(122)를 이용한 높이 조정은 그 정밀도가 낮으므로 기판(G) 상에 도포된 코팅액의 높이 균일성(uniformity)을 유지하기 어려워 얼룩 발생 가능성이 높아진다. 그에 따라, 최종 제품의 불량 발생 가능성이 높아진다.
3. 복수개의 높이 조정 부재(122)를 이용한 높이 조정이 이루어지는 동안, 기판 부상 유닛, 및 이를 구비한 기판 부상 유닛, 기판 이송 장치 및 코팅 장치의 사용이 중단되어야 한다. 따라서, 기판(G)의 제조 시간(tack time)이 길어져 생산성이 낮아진다.
따라서, 도 1b에 도시된 하나의 플레이트 형상의 스테이지(76)로 구현되는 기판 부상 유닛의 문제점 및 도 1c 내지 도 1e에 도시된 복수개의 플레이트(P)로 구성된 기판 부상 유닛(SFU)의 문제점을 모두 해결할 수 있는 새로운 방안이 요구된다.
대한민국 공개 특허 제 2007-114034호
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 평판 패널 디스플레이(FPD) 제조용 기판을 부상시키기 위한 부상 스테이지를 그 하부에 제공되는 베이스 부재에 고정시켜, 에어 분출 및 흡입 시 부상 스테이지의 진동이 방지되고, 부상 스테이지의 높이 조절이 불필요하며, 코팅액의 도포 높이가 균일하게 유지되어 얼룩 발생이 최소화되는 개선된 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛 및 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따른 부상 스테이지는 로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 각각 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구 및 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구가 형성된 플레이트; 및 상기 플레이트가 고정 장착되는 베이스 부재를 포함하고, 상기 복수의 제 1 에어 흡입구 및 상기 복수의 제 3 에어 흡입구는 선택 사양인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 특징에 따른 부상 스테이지는 로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 1 에어 분출구 및 복수개의 제 1 에어 흡입구가 형성된 제 1 플레이트; 코팅 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 2 에어 분출구 및 복수개의 제 2 에어 흡입구가 형성된 제 2 플레이트; 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 3 에어 분출구 및 복수개의 제 3 에어 흡입구가 형성된 제 3 플레이트; 및 상기 제 1 내지 제 3 플레이트가 각각 고정 장착되는 제 1 내지 제 3 베이스 부재를 포함하고, 상기 복수의 제 1 에어 흡입구 및 상기 복수의 제 3 에어 흡입구는 선택 사양인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 3 특징에 따른 기판 부상 유닛은 로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 각각 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구 및 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구가 형성된 플레이트; 상기 플레이트가 고정 장착되는 베이스 부재; 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구와 연결되는 에어 공급로; 상기 에어 공급로와 연결되는 에어 공급 장치; 상기 복수의 제 2 에어 흡입구와 연결되는 에어 흡입로; 및 상기 에어 흡입로와 연결되는 진공 펌핑 장치를 포함하고, 상기 복수의 제 1 에어 흡입구 및 상기 복수의 제 3 에어 흡입구는 선택 사양인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 4 특징에 따른 기판 부상 유닛은 로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 1 에어 분출구 및 복수개의 제 1 에어 흡입구가 형성된 제 1 플레이트; 코팅 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 2 에어 분출구 및 복수개의 제 2 에어 흡입구가 형성된 제 2 플레이트; 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 3 에어 분출구 및 복수개의 제 3 에어 흡입구가 형성된 제 3 플레이트; 상기 제 1 내지 제 3 플레이트가 각각 고정 장착되는 제 1 내지 제 3 베이스 부재; 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구와 연결되는 에어 공급로; 상기 에어 공급로와 연결되는 에어 공급 장치; 상기 복수의 제 2 에어 흡입구와 연결되는 에어 흡입로; 및 상기 에어 흡입로와 연결되는 진공 펌핑 장치를 포함하고, 상기 복수의 제 1 에어 흡입구 및 상기 복수의 제 3 에어 흡입구는 선택 사양인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 5 특징에 따른 코팅 장치는 로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역 하부에 제공되며, 기판을 부상시키는 기판 부상 유닛; 상기 기판을 진공 흡착 방식으로 장착하여 이송하는 기판 이송 장치; 상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치; 및 상기 노즐 장치가 장착되는 갠트리를 포함하고, 상기 기판 부상 유닛은 상기 로딩 영역, 상기 코팅 영역, 및 상기 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 각각 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구 및 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구가 형성된 플레이트; 상기 플레이트가 고정 장착되는 베이스 부재; 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구와 연결되는 에어 공급로; 상기 에어 공급로와 연결되는 에어 공급 장치; 상기 복수의 제 2 에어 흡입구와 연결되는 에어 흡입로; 및 상기 에어 흡입로와 연결되는 진공 펌핑 장치를 포함하며, 상기 복수의 제 1 에어 흡입구 및 상기 복수의 제 3 에어 흡입구는 선택 사양인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 6 특징에 따른 코팅 장치는 로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역 하부에 제공되며, 기판을 부상시키는 기판 부상 유닛; 상기 기판을 진공 흡착 방식으로 장착하여 이송하는 기판 이송 장치; 상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치; 및 상기 노즐 장치가 장착되는 갠트리를 포함하고, 상기 기판 부상 유닛은 상기 로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 1 에어 분출구 및 복수개의 제 1 에어 흡입구가 형성된 제 1 플레이트; 상기 코팅 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 2 에어 분출구 및 복수개의 제 2 에어 흡입구가 형성된 제 2 플레이트; 상기 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 3 에어 분출구 및 복수개의 제 3 에어 흡입구가 형성된 제 3 플레이트; 상기 제 1 내지 제 3 플레이트가 각각 고정 장착되는 제 1 내지 제 3 베이스 부재; 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구와 연결되는 에어 공급로; 상기 에어 공급로와 연결되는 에어 공급 장치; 상기 복수의 제 2 에어 흡입구와 연결되는 에어 흡입로; 및 상기 에어 흡입로와 연결되는 진공 펌핑 장치를 포함하며, 상기 복수의 제 1 에어 흡입구 및 상기 복수의 제 3 에어 흡입구는 선택 사양인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 개선된 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛 및 코팅 장치에서는 다음과 같은 장점이 달성된다.
1. 부상 스테이지가 베이스 부재 상에 고정되므로, 종래와 복수개의 높이 조정 부재를 이용한 부상 스테이지의 높이 조정이 불필요하고, 그에 따라 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛 및 코팅 장치의 초기 세팅 시간이 현저하게 감소된다.
2. 부상 스테이지의 높이 조정이 불필요하므로, 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛 및 코팅 장치의 사용 도중에 동작을 중단시킬 필요가 없다. 따라서, 기판(G)의 제조 시간(tact time)이 상당히 감소되어 생산성이 높아진다.
3. 부상 스테이지가 베이스 부재 상에 고정되므로, 에어 분출 및 흡입 시 부상 스테이지의 진동이 방지된다. 그에 따라, 기판(G) 상에 도포된 코팅액의 높이 균일성(uniformity)을 유지하기가 용이하고, 얼룩 발생 가능성이 최소화된다.
4. 기판 및 최종 제품(PDP 또는 LCD 등)의 불량 발생이 최소화되어 전체 제조 비용 및 제조 시간이 현저하게 감소된다.
본 발명의 추가적인 장점은 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
도 1a는 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 사시도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1c는 각각 적어도 하나 이상의 부상 스테이지를 포함하는 기판 부상 유닛 및 복수개의 높이 조정 부재의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1d 및 도 1e는 복수개의 플레이트가 연결된 스테이지의 사시도를 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 부상 스테이지의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛의 단면도를 도시한 도면이다.
도 2c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2d는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 부상 스테이지의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.
도 2e는 도 2d에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛의 단면도를 도시한 도면이다.
도 2f는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 장치의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
도 2a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 부상 스테이지의 개략적인 사시도를 도시한 도면이고, 도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛의 단면도를 도시한 도면이며, 도 2c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다. 도 2c에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치(240)는 부상 스테이지(276) 및 이를 구비한 기판 부상 유닛(SFU)을 제외하고, 도 1a에 도시된 종래 코팅 장치(40)와 실질적으로 동일하다는 점에 유의하여야 한다.
도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 부상 스테이지(276)는 로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 각각 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구(288a,288b,288c) 및 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구(290a,290b,290c)가 형성된 플레이트(P); 및 상기 플레이트(P)가 고정 장착되는 베이스 부재(B)를 포함한다.
또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 부상 유닛(SFU)은 로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 각각 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구(288c) 및 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구(290a)가 형성된 플레이트(P); 상기 플레이트(P)가 고정 장착되는 베이스 부재(B); 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구(288a,288b,288c)와 연결되는 에어 공급로(255); 상기 에어 공급로(255)와 연결되는 에어 공급 장치(251); 상기 복수의 제 2 에어 흡입구(290b)와 연결되는 에어 흡입로(256); 및 상기 에어 흡입로(256)와 연결되는 진공 펌핑 장치(252)를 포함한다.
또한, 도 2a 내지 도 2c를 도 1a와 함께 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치(240)는 로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역 하부에 제공되며, 기판(G)을 부상시키는 기판 부상 유닛(SFU); 상기 기판(G)을 진공 흡착 방식으로 장착하여 이송하는 기판 이송 장치(84); 상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판(G) 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치(278); 및 상기 노즐 장치(278)가 장착되는 갠트리(미도시)를 포함한다. 여기서, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치(240)에 사용되는 기판 부상 유닛(SFU)은 도 2b에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 부상 유닛(SFU)으로 구현된다.
도 2a 내지 도 2c에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플레이트(P)의 상에 형성된 복수의 제 1 에어 흡입구(290a), 및 복수의 제 3 에어 흡입구(290c)는 선택 사양으로 필수적으로 사용되어야 하는 것은 아니라는 점에 유의하여야 한다.
상술한 본 발명의 제 1 실시예에서, 에어 공급 장치(251)는 제 1 피팅 부재(253: fitting member)에 의해 에어 공급로(255)와 연결되고, 에어 공급로(255)는 복수의 제 2 피팅 부재(257)에 의해 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구(288a,288b,288c)와 각각 연결된다. 또한, 진공 펌핑 장치(252)는 제 3 피팅 부재(254)에 의해 에어 흡입로(256)와 연결되고, 에어 흡입로(256)는 복수의 제 4 피팅 부재(258)에 의해 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구(290a,290b,290c)와 각각 연결된다. 이러한 제 1 내지 제 4 피팅 부재(253,257,254,258)에 의해 에어가 기밀상태로 공급 및 흡입된다. 에어 공급로(255) 및 에어 흡입로(256)는 각각 베이스 부재(B)의 상부에 형성된 내부의 공간(S) 내에 제공되거나 또는 내부의 공간(S)이 없이 베이스 부재(B) 상에 직접 형성될 수 있다.
또한, 본 발명의 제 1 실시예에서, 부상 스테이지(276) 및 기판 부상 유닛(SFU)에 사용되는 플레이트(P)는 알루미늄, 스테인리스 스틸, 철강 등의 재질로 구현되고, 베이스 부재(B)는 예를 들어 화강암(granite) 재질로 구현된다. 플레이트(P)는 베이스 부재(B) 상에 예를 들어 보울트 및 너트와 같은 체결부재(미도시)에 의해 고정 장착된다. 이 경우, 베이스 부재(B)는 상당히 무거운 화강암(granite) 재질이므로, 플레이트(P) 상에 형성된 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구(288a,288b,288c)와 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구(290a,290b,290c)를 통해 에어가 분출 및 흡입되더라도, 플레이트(P)의 상하 진동이 방지된다.
도 2d는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 부상 스테이지의 개략적인 사시도를 도시한 도면이고, 도 2e는 도 2d에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛의 단면도를 도시한 도면이며, 도 2f는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 장치의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다. 도 2d에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 장치(240)는 부상 스테이지(276) 및 이를 구비한 기판 부상 유닛(SFU)을 제외하고, 도 1a에 도시된 종래 코팅 장치(40)와 실질적으로 동일하다는 점에 유의하여야 한다.
도 2d 내지 도 2f를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 부상 스테이지(276)는 로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 1 에어 분출구(288a) 및 복수개의 제 1 에어 흡입구(290a)가 형성된 제 1 플레이트(P1); 코팅 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 2 에어 분출구(288b) 및 복수개의 제 2 에어 흡입구(290b)가 형성된 제 2 플레이트(P2); 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 3 에어 분출구(288c) 및 복수개의 제 3 에어 흡입구(290c)가 형성된 제 3 플레이트(P3); 및 상기 제 1 내지 제 3 플레이트(P1,P2,P3)가 각각 고정 장착되는 제 1 내지 제 3 베이스 부재(B1,B2,B3)를 포함한다.
또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 부상 유닛(SFU)은 로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 1 에어 분출구(288a) 및 복수개의 제 1 에어 흡입구(290a)가 형성된 제 1 플레이트(P1); 코팅 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 2 에어 분출구(288b) 및 복수개의 제 2 에어 흡입구(290b)가 형성된 제 2 플레이트(P2); 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 3 에어 분출구(288c) 및 복수개의 제 3 에어 흡입구(290c)가 형성된 제 3 플레이트(P3); 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구(288a,288b,288c)와 각각 연결되는 제 1 내지 제 3 에어 공급로(255a,255b,255c); 상기 제 1 내지 제 3 에어 공급로(255a255b,255c)와 각각 연결되는 제 1 내지 제 3 에어 공급 장치(251a,251b,251c); 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구(290a,290b,290c)와 각각 연결되는 제 1 내지 제 3 에어 흡입로(256a,256b,256c); 상기 제 1 내지 제 3 에어 흡입로(256a,256b,256c)와 각각 연결되는 제 1 내지 제 3 진공 펌핑 장치(252a,252b,252c); 및 상기 제 1 내지 제 3 플레이트(P1P2,P3)가 각각 고정 장착되는 제 1 내지 제 3 베이스 부재(B1,B2,B3)를 포함한다.
또한, 도 2d 내지 도 2f를 도 1a와 함께 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 장치(240)는 로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 기판(G)을 부상시키는 기판 부상 유닛(SFU); 상기 기판(G)을 진공 흡착 방식으로 장착하여 이송하는 기판 이송 장치(84); 상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판(G) 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치(278); 및 상기 노즐 장치(278)가 장착되는 갠트리(미도시)를 포함한다. 여기서, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 장치(240)에 사용되는 기판 부상 유닛(SFU)은 도 2e에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 부상 유닛(SFU)으로 구현된다.
도 2d 내지 도 2f에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 1 플레이트(P1) 상에 형성된 복수의 제 1 에어 흡입구(290a), 및 제 3 플레이트(P3) 상에 형성된 복수의 제 3 에어 흡입구(290c)는 선택 사양으로 필수적으로 사용되어야 하는 것은 아니라는 점에 유의하여야 한다.
상술한 본 발명의 제 2 실시예에서, 제 1 내지 제 3 에어 공급 장치(251a,251b,251c)는 각각의 제 1 피팅 부재(253a,253b,253c)에 의해 제 1 내지 제 3 에어 공급로(255a,255b,255c)와 연결되고, 제 1 내지 제 3 에어 공급로(255a,255b,255c)는 각각 복수의 제 2 피팅 부재(257a,257b,257c)에 의해 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구(288a,288b,288c)와 각각 연결된다. 또한, 제 1 내지 제 3 진공 펌핑 장치(252a,252b,252c)는 각각의 제 3 피팅 부재(254a,254b,254c)에 의해 제 1 내지 제 3 에어 흡입로(256a,256b,256c)와 연결되고, 제 1 내지 제 3 에어 흡입로(256a,256b,256c)는 각각 복수의 제 4 피팅 부재(258a,258b,258c)에 의해 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구(290a,290b,290c)와 각각 연결된다. 이러한 제 1 피팅 부재(253a,253b,253c), 제 2 피팅 부재(257a,257b,257c), 제 3 피팅 부재(254a,254b,254c), 및 제 4 피팅 부재(258a,258b,258c)에 의해 에어가 기밀상태로 공급 및 흡입된다. 제 1 내지 제 3 에어 공급로(255a,255b,255c) 및 제 1 내지 제 3 에어 흡입로(256a,256b,256c)는 각각 제 1 내지 제 3 베이스 부재(B1,B2,B3)의 상부에 형성된 내부의 제 1 내지 제 3 공간(S1,S2,S3) 내에 제공되거나 또는 내부의 제 1 내지 제 3 공간(S1,S2,S3)이 없이 제 1 내지 제 3 베이스 부재(B1,B2,B3) 상에 직접 형성될 수 있다.
또한, 본 발명의 제 2 실시예에서, 부상 스테이지(276) 및 기판 부상 유닛(SFU)에 사용되는 제 1 내지 제 3 플레이트(P1,P2,P3)는 각각 알루미늄, 스테인리스 스틸, 철강 등의 재질로 구현되고, 제 1 내지 제 3 베이스 부재(B1,B2,B3)는 각각 예를 들어 화강암(granite) 재질로 구현된다. 제 1 내지 제 3 플레이트(P1,P2,P3)는 각각 제 1 내지 제 3 베이스 부재(B1,B2,B3) 상에 예를 들어 보울트 및 너트와 같은 체결부재(미도시)에 의해 고정 장착된다. 이 경우, 제 1 내지 제 3 베이스 부재(B1,B2,B3)는 상당히 무거운 화강암(granite) 재질이므로, 제 1 내지 제 3 플레이트(P1,P2,P3) 상에 형성된 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구(288a,288b,288c)와 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구(290a,290b,290c)를 통해 에어가 분출 및 흡입되더라도, 제 1 내지 제 3 플레이트(P1,P2,P3)의 상하 진동이 방지된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 본 발명의 개선된 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛 및 코팅 장치를 사용하면, 에어 분출 및 흡입 시 부상 스테이지의 진동이 방지되어 균일한 도포 높이로 코팅액을 도포하는 것이 가능하여, 얼룩 발생 및 최종 제품의 불량 발생이 최소화되어 전체 제조 비용 및 제조 시간이 현저하게 감소된다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
40,240: 도포장치/코팅 장치 76,276: (부상) 스테이지
78,278: 노즐 장치 84: 기판 이송 장치
88,188,288a,288b,288c: 에어 분출구
90,190,290a,290b,290c: 에어 흡입구
96: 리니어 모션 가이드 98: 슬라이더 102: 지지부
104: 흡착 패드 122: 높이 조정 부재
176,176a,176b,176c,276: 부상 스테이지
251,251a,251b,251c: 에어 공급 장치
252,252a,252b,252c: 진공 펌핑 장치
253,253a,253b,253c: 제 1 피팅 부재 254,254a,254b,254c: 제 3 피팅 부재
257,257a,257b,257c: 제 2 피팅 부재 258,258a,258b,258c: 제 4 피팅 부재
255,255a,255b,255c: 에어 공급로 256,256a,256b,256c: 에어 흡입로
B,B1,B2,B3: 베이스 부재 SFU,SFU1,SFU2,SFU3: (기판) 부상 유닛
P,P1,P2,P3,P11,P21,P31,P12,P22,P32: 플레이트

Claims (20)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 기판 부상 유닛에 있어서,
    로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 각각 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구 및 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구가 형성된 플레이트;
    상기 플레이트가 고정 장착되는 베이스 부재;
    상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구와 연결되는 에어 공급로;
    상기 에어 공급로와 연결되는 에어 공급 장치;
    상기 복수의 제 2 에어 흡입구와 연결되는 에어 흡입로; 및
    상기 에어 흡입로와 연결되는 진공 펌핑 장치
    를 포함하고,
    상기 에어 공급 장치는 제 1 피팅 부재에 의해 상기 에어 공급로와 연결되고, 상기 에어 공급로는 복수의 제 2 피팅 부재에 의해 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구와 각각 연결되며,
    상기 진공 펌핑 장치는 제 3 피팅 부재에 의해 상기 에어 흡입로와 연결되고, 상기 에어 흡입로는 복수의 제 4 피팅 부재에 의해 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구와 각각 연결되는
    기판 부상 유닛.
  4. 삭제
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 에어 공급로 및 상기 에어 흡입로는 각각 상기 베이스 부재의 상부에 형성된 내부의 공간 내에 제공되거나 또는 상기 베이스 부재 상에 직접 형성되는 기판 부상 유닛.
  6. 제 3항 또는 제 5항에 있어서,
    상기 플레이트는 알루미늄, 스테인리스 스틸, 철강 중 어느 하나의 재질로 구현되고,
    상기 베이스 부재는 화강암(granite) 재질로 구현되는
    기판 부상 유닛.
  7. 코팅 장치에 있어서,
    로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역 하부에 제공되며, 기판을 부상시키는 기판 부상 유닛;
    상기 기판을 진공 흡착 방식으로 장착하여 이송하는 기판 이송 장치;
    상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치; 및
    상기 노즐 장치가 장착되는 갠트리
    를 포함하고,
    상기 기판 부상 유닛은
    상기 로딩 영역, 상기 코팅 영역, 및 상기 언로딩 영역의 하부에 제공되며,각각 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구 및 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구가 형성된 플레이트;
    상기 플레이트가 고정 장착되는 베이스 부재;
    상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구와 연결되는 에어 공급로;
    상기 에어 공급로와 연결되는 에어 공급 장치;
    상기 복수의 제 2 에어 흡입구와 연결되는 에어 흡입로; 및
    상기 에어 흡입로와 연결되는 진공 펌핑 장치
    를 포함하며,
    상기 에어 공급 장치는 제 1 피팅 부재에 의해 상기 에어 공급로와 연결되고, 상기 에어 공급로는 복수의 제 2 피팅 부재에 의해 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구와 각각 연결되며,
    상기 진공 펌핑 장치는 제 3 피팅 부재에 의해 상기 에어 흡입로와 연결되고, 상기 에어 흡입로는 복수의 제 4 피팅 부재에 의해 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구와 각각 연결되는
    코팅 장치.
  8. 삭제
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 에어 공급로 및 상기 에어 흡입로는 각각 상기 베이스 부재의 상부에 형성된 내부의 공간 내에 제공되거나 또는 상기 베이스 부재 상에 직접 형성되는 코팅 장치.
  10. 제 7항 또는 제 9항에 있어서,
    상기 플레이트는 알루미늄, 스테인리스 스틸, 철강 중 어느 하나의 재질로 구현되고,
    상기 베이스 부재는 화강암(granite) 재질로 구현되는
    코팅 장치.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 기판 부상 유닛에 있어서,
    로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 1 에어 분출구 및 복수개의 제 1 에어 흡입구가 형성된 제 1 플레이트;
    코팅 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 2 에어 분출구 및 복수개의 제 2 에어 흡입구가 형성된 제 2 플레이트;
    언로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 3 에어 분출구 및 복수개의 제 3 에어 흡입구가 형성된 제 3 플레이트;
    상기 제 1 내지 제 3 플레이트가 각각 고정 장착되는 제 1 내지 제 3 베이스 부재;
    상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구와 각각 연결되는 제 1 내지 제 3 에어 공급로;
    상기 제 1 내지 제 3 에어 공급로와 각각 연결되는 제 1 내지 제 3 에어 공급 장치;
    상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구와 각각 연결되는 제 1 내지 제 3 에어 흡입로; 및
    상기 제 1 내지 제 3 에어 흡입로와 각각 연결되는 제 1 내지 제 3 진공 펌핑 장치
    를 포함하고,
    상기 제 1 내지 제 3 에어 공급 장치는 각각의 제 1 피팅 부재에 의해 상기 제 1 내지 제 3 에어 공급로와 연결되고, 상기 제 1 내지 제 3 에어 공급로는 각각 복수의 제 2 피팅 부재에 의해 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구와 각각 연결되며,
    상기 제 1 내지 제 3 진공 펌핑 장치는 각각의 제 3 피팅 부재에 의해 상기 제 1 내지 제 3 에어 흡입로와 연결되고, 상기 제 1 내지 제 3 에어 흡입로는 각각 복수의 제 4 피팅 부재에 의해 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구와 각각 연결되는
    기판 부상 유닛.
  14. 삭제
  15. 제 13항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 3 에어 공급로 및 상기 제 1 내지 제 3 에어 흡입로는 각각 상기 제 1 내지 제 3 베이스 부재의 상부에 형성된 내부의 제 1 내지 제 3 공간 내에 제공되거나 또는 상기 제 1 내지 제 3 베이스 부재 상에 직접 형성되는 기판 부상 유닛.
  16. 제 13항 또는 제 15항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 3 플레이트는 각각 알루미늄, 스테인리스 스틸, 철강 중 어느 하나의 재질로 구현되고,
    상기 제 1 내지 제 3 베이스 부재는 각각 화강암(granite) 재질로 구현되는
    기판 부상 유닛.
  17. 코팅 장치에 있어서,
    로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역 하부에 제공되며, 기판을 부상시키는 기판 부상 유닛;
    상기 기판을 진공 흡착 방식으로 장착하여 이송하는 기판 이송 장치;
    상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치; 및
    상기 노즐 장치가 장착되는 갠트리
    를 포함하고,
    상기 기판 부상 유닛은
    상기 로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 1 에어 분출구 및 복수개의 제 1 에어 흡입구가 형성된 제 1 플레이트;
    상기 코팅 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 2 에어 분출구 및 복수개의 제 2 에어 흡입구가 형성된 제 2 플레이트;
    상기 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 복수의 제 3 에어 분출구 및 복수개의 제 3 에어 흡입구가 형성된 제 3 플레이트;
    상기 제 1 내지 제 3 플레이트가 각각 고정 장착되는 제 1 내지 제 3 베이스 부재;
    상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구와 각각 연결되는 제 1 내지 제 3 에어 공급로;
    상기 제 1 내지 제 3 에어 공급로와 각각 연결되는 제 1 내지 제 3 에어 공급 장치;
    상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구와 각각 연결되는 제 1 내지 제 3 에어 흡입로; 및
    상기 제 1 내지 제 3 에어 흡입로와 각각 연결되는 제 1 내지 제 3 진공 펌핑 장치
    를 포함하며,
    상기 제 1 내지 제 3 에어 공급 장치는 각각의 제 1 피팅 부재에 의해 상기 제 1 내지 제 3 에어 공급로와 연결되고, 상기 제 1 내지 제 3 에어 공급로는 각각 복수의 제 2 피팅 부재에 의해 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구와 각각 연결되며,
    상기 제 1 내지 제 3 진공 펌핑 장치는 각각의 제 3 피팅 부재에 의해 상기 제 1 내지 제 3 에어 흡입로와 연결되고, 상기 제 1 내지 제 3 에어 흡입로는 각각 복수의 제 4 피팅 부재에 의해 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구와 각각 연결되는
    코팅 장치.
  18. 삭제
  19. 제 17항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 3 에어 공급로 및 상기 제 1 내지 제 3 에어 흡입로는 각각 상기 제 1 내지 제 3 베이스 부재의 상부에 형성된 내부의 제 1 내지 제 3 공간 내에 제공되거나 또는 상기 제 1 내지 제 3 베이스 부재 상에 직접 형성되는 코팅 장치.
  20. 제 17항 또는 제 19항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 3 플레이트는 각각 알루미늄, 스테인리스 스틸, 철강 중 어느 하나의 재질로 구현되고,
    상기 제 1 내지 제 3 베이스 부재는 각각 화강암(granite) 재질로 구현되는
    코팅 장치.
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