KR102390540B1 - 디스플레이 패널용 비접촉 이송장치 - Google Patents

디스플레이 패널용 비접촉 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널용 비접촉 이송장치는 패널이 안착되는 스테이지 모듈; 상기 스테이지 모듈을 선형 이동 가능하게 지지하는 지지 플레이트; 및 상기 스테이지 모듈에 고압의 압축공기를 공급하여 상기 패널과 상기 스테이지 모듈 사이에 공기층을 형성하는 공기제어 모듈;을 포함할 수 있다.

Description

디스플레이 패널용 비접촉 이송장치{Non-Contact Transfer device for Display panel}
본 발명은 비접촉 이송장치에 관한 것으로, 평판 디스플레이 패널의 손상 방지 패널의 균일한 평탄도 유지를 위해 디스플레이 패널을 비접촉 방식으로 이송할 수 있는 디스플레이 패널용 비접촉 이송장치에 관한 것이다.
휴대폰, LCD/LED TV, 노트북 PC, PDP 등은 목적하는 내용을 시각적으로 표시하기 위한 평판 디스플레이 장치가 구비되어 구성되며, 특히, 평판 디스플레이 장치는 제품의 경량화를 추구하기 위해 중량과 두께를 감소시키기 위한 연구를 진행하고 있음은 주지된 것과 같다.
평판 디스플레이 장치의 전면이나 전후면에는 표시내용이 투영되기 위한 디스플레이 패널이 장착되며, 평판 디스플레이 장치의 중량과 두께를 감소시키기 위한 기술로 디스플레이 패널을 최대한 얇은 두께로 제작하기 위한 기술이 중요시되고 있다. 이를 위해, 디스플레이 패널은 특정한 식각액에 의해 표면을 식각되거나, 미세입자의 연마제를 디스플레이 패널에 분사하여 목적하는 최소한의 두께로 제작하게 되며, 이와 같이 식각되거나 연마되어 목적하는 두께로 제작된 디스플레이 패널은 다양한 처리를 위해 이송되게 된다.
이와 같이, 디스플레이 패널은 별도 이송장치에 고정되어 이동되게 되는데, 이때 디스플레이 패널과 이송장치 사이의 접촉에 의해 디스플레이 패널이 손상되는 경우가 많이 발생되게 되었다.
또한, 이송장치에 결합된 디스플레이 패널의 표면 처리 과정에서 디스플레이 패널의 수평 또는 평탄도가 맞지 않음에 따라 불량품이 발생하는 문제점도 있었다.
한국공개특허 제10-2016-0109719호(출원일: 2015.03.12)
본 발명은 디스플레이 패널을 비접촉 방식으로 고정 체결하여 이송시킬 수 있는 디스플레이 패널용 비접촉 이송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 디스플레이 패널의 이송시 디스플레이 패널의 평탄도를 허용오차 내에서 균일하게 유지할 수 있는 디스플레이 패널용 비접촉 이송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널용 비접촉 이송장치는 패널이 안착되는 스테이지 모듈; 상기 스테이지 모듈을 선형 이동 가능하게 지지하는 지지 플레이트; 및 상기 스테이지 모듈에 고압의 압축공기를 공급하여 상기 패널과 상기 스테이지 모듈 사이에 공기층을 형성하는 공기제어 모듈;을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 스테이지 모듈은, 상기 스테이지 모듈의 외관을 형성하는 홀더; 상기 공기제어 모듈의 압축공기를 전달받아 분사하는 제트기류 분사부를 포함하는 이송 플레이트;를 포함하며, 상기 이송 플레이트는 상기 홀더 내에 복수개가 고정 설치될 수 있다.
또한, 상기 제트기류 분사부는 상기 이송 플레이트의 상면에 대해 하측으로 단차지게 형성되어 단면이 접시형태를 가지고, 중앙부위에 고압의 압축공기를 분사하는 분사 노즐이 구비되고, 상기 중앙부위부터 상기 이송 플레이트의 상면까지 경사면이 형성되며, 상기 고압의 압축공기는 상기 경사면을 향해 분사될 수 있다.
또한, 상기 이송 플레이트는 상기 제트기류 분사부에 인접하여 상기 압축공기의 일부를 자연적으로 배기하도록 상기 이송 플레이트를 관통하여 형성된 자연 배기공과 상기 자연 배기공과 인접하여 상기 압축공기의 일부를 강제로 흡입하여 배기하는 강제 배기공이 복수개가 형성될 수 있다.
또한, 상기 이송 플레이트는 그 내부에 상기 이송 플레이트와 평행하게 관통 형성되며 상기 복수개의 강제 배기공 중 하나의 열을 구성하는 강제 배기공들과 연통되는 배기 관로를 포함하고, 상기 배기 관로는 상기 이송 플레이트에 복수개의 열로 구비되며, 상기 배기 관로는 일측은 상기 공기 제어 모듈의 진공 흡기부에 연결되고 타측은 폐쇄되게 형성될 수 있다.
또한, 상기 이송 플레이트는 4개의 코너 부위에 인접하게 4개의 제1제트기류 분사부가 형성되는 제1이송 플레이트와, 4개의 모서리 부위에 인접하게 4개의 제2제트기류 분사부가 형성되는 제2이송 플레이트로 구성되며, 상기 제1이송 플레이트와 상기 제2이송 플레이트는 상기 홀더 내에 복수개가 서로 교대로 고정 설치될 수 있다.
또한, 복수개의 상기 제트기류 분사부는 상기 이송 플레이트에 평행하게 전방향으로 상기 압축공기를 분사하여 상기 패널에 부양력을 인가하며, 상기 제트기류 분사부의 중앙부위는 대기압보다 낮은 음압 또는 진공이 형성되어 상기 패널에 흡입력을 인가할 수 있다.
또한, 복수개의 상기 제트기류 분사부 사이에서 발생되는 불안정 기류는 상기 강제 배기공 및 상기 자연 배기공을 통한 상기 압축공기의 배기를 통해 제거될 수 있다.
또한, 상기 지지플레이트는 장방형 패널 형태를 가지며, 그 내부에 상기 스테이지 모듈을 이동시키기 위한 구동모터, 상기 구동모터의 구동력을 선형 구동력으로 전환하는 선형 가이드가 구비될 수 있다.
또한, 상기 공기제어 모듈은, 상기 제트기류 분사부로 고압의 압축공기를 공급하는 압축공기 공급부; 및 상기 강제 배기공으로부터 공기를 흡입하여 배출하는 진공 흡기부;를 포함하며, 상기 공기제어 모듈은 각각의 이송 플레이트에 각각 연결되게 구비될 수 있다.
본 발명의 디스플레이 패널용 비접촉 이송장치에 따르면, 디스플레이 패널과 이송장치 사이에 얇은 공기층이 형성되어 디스플레이 패널이 이송장치에 비접촉으로 고정 체결됨에 따라, 디스플레이 패널의 손상이 방지될 수 있다.
또한, 본 발명의 디스플레이 패널용 비접촉 이송장치에 따르면, 제트기류 분사부에서 디스플레이 패널에 흡입력을 인가함으로써, 제트기류 분사부들 사이의 패널의 부위와 흡입력이 인가되는 패널의 부위가 미세 곡면을 형성함으로써 디스플레이 패널에 허용오차 범위 내에서 균일한 평탄도를 유지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널용 비접촉 이송장치의 개략적인 사시도이다.
도 2는 스테이지 모듈의 개략적인 사시도이다.
도 3은 이송 플레이트의 개략도이다.
도 4는 제1이송 플레이트와 제2이송 플레이트의 개략도이다.
도 5는 디스플레이 패널이 장착된 스테이지 모듈의 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참고부호를 붙였다.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널용 비접촉 이송장치의 개략적인 사시도이고, 도 2는 이송장치의 스테이지 모듈의 개략적인 사시도이다. 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널(2)용 비접촉 이송장치(1)는 디스플레이 패널(2)을 고정하는 스테이지 모듈(10), 지지 플레이트(20), 이송 모듈(30) 및 공기제어 모듈을 포함할 수 있다.
스테이지 모듈(10)은 디스플레이 패널(2)이나 유리 패널과 같은 판재를 비접촉 방식으로 고정 지지하기 위한 것으로, 홀더(140)의 내부에 복수개의 이송 플레이트가 고정되게 설치되고, 장방형 또는 정방형 홀더(140)의 네 코너 부위 및 모서리 부위에 복수개의 고정패드(130)가 고정되게 설치된다. 고정패드(130)는 판재의 코너 부위 및 모서리 부위를 XY방향으로 지지한다. 즉, 고정패드(130)는 디스플레이 패널(2)의 패턴이 형성되지 않는 코너 및 테두리 부위를 지지함으로써 이송 플레이트에 대해 미세하게 부상되어 있는 디스플레이 패널(2)이 XY방향으로 이동되지 않게 할 수 있다. 홀더(140)의 내부에는 복수개의 이송 플레이트가 고정되게 설치되며, 이송 플레이트는 제트기류 분사부, 강제 배기부 및 자연 배기공의 형상 및 위치에 따라 제1이송 플레이트(110)와 제2이송 플레이트(120)로 구분될 수 있다. 여기서 제1이송 플레이트(110)와 제2이송 플레이트(120)는 서로 비연속적으로 교대로 배치되어 설치될 수 있다. 이송 플레이트는 고정볼트에 의해 홀더(140)에 고정되게 지지되되, 고정볼트는 이송 플레이트를 고정함과 동시에 이송 플레이트의 수평도를 조절할 수 있다. 즉, 홀더(140)에 설치되는 이송 플레이트들은 각각 고정볼트의 조절에 의해 수평도가 정밀 조정될 수 있다. 이송 플레이트의 세부 구성은 이하 다른 도면을 참조로 더 구체적으로 설명하기로 한다.
지지 플레이트(20)는 스테이지 모듈(10)을 선형 이동가능하게 지지하기 위한 것으로, 지지 플레이트(20)보다 크게 장방형 판 형태로 제작되며, 그 내부에 스테이지 모듈(10)을 선형 이동시키는 구동력을 생성하기 위한 이송 모듈(30)이 포함될 수 있다. 이송 모듈(30)은 스테이지 모듈(10)의 선형 이동을 안내하기 위하여 지지 플레이트(20)에 형성되는 가이드 슬릿(31)과 스테이지 모듈(10)을 선형으로 이동시키도록 구동력을 생성하는 구동모터 및 구동모터의 회전 구동력을 스테이지 모듈(10)을 선형 이동시키는 선형 구동력으로 전환하는 선형 가이드를 포함할 수 있다. 이와 같은 선형 가이드는 구동모터의 회전 스크류에 결합되어 선형 이동되는 회전 너트로 구성되는 리드 스크류가 적용될 수 있다.
공기 제어 모듈은 스테이지 모듈(10)의 이송 플레이트에 고압의 압축공기를 공급하는 압축공기 공급부, 이송 플레이트와 디스플레이 패널(2) 사이의 공기를 흡기하여 강제 배기하도록 이송 플레이트의 진공 배기를 구성하는 진공 흡기부 및 압축공기 공급부와 진공 흡기부를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다. 공기 제어 모듈의 압축공기 공급부와 진공 흡기부는 이송 플레이트에 하나의 세트로 연결될 수 있다. 즉, 본 실시예에서 하나의 예시로 제시한 바에 따라, 홀더(140)에 모두 9개의 이송 플레이트가 설치된 경우, 압축공기 공급부와 진공 흡기부는 모두 9개가 구비되어, 각 이송 플레이트에 연결될 수 있다. 제어부는 복수개의 압축공기 공급부와 진공 흡기부를 개별적으로 제어할 수 있다.
상술한 바와 같은, 본 실시예의 비접촉 이송장치(1)는 복수개가 서로 교대로 배치된 제1이송 플레이트(110) 및 제2이송 플레이트(120)의 제1제트기류 분사부(111) 및 제2제트기류 분사부(121)를 통해 고압의 압축공기를 디스플레이 패널(2)과의 사이에 공급함으로써 디스플레이 패널(2)에 부양력을 인가한다. 또한, 제1제트기류 분사부(111) 및 제2제트기류 분사부(121)는 대기압보다 압력이 낮아 진공 또는 음압이 발생하여 디스플레이 패널(2)에 흡입력이 인가될 수 있다. 즉, 제1제트기류 분사부(111) 및 제2제트기류 분사부(121)에 의해 디스플레이 패널(2)의 바닥부위에 공기층이 형성됨으로써 디스플레이 패널(2)을 Z방향에서 비접촉 방식으로 고정 지지할 수 있다. 홀더(140)에 설치된 복수개의 고정패드(130)는 디스플레이 패널(2)의 코너 부위와 모서리 부위를 지지하여 디스플레이 패널(2)의 XY방향으로의 이동을 방지할 수 있다. 이와 같이, 스테이지 모듈(10)에 비접촉 방식으로 고정 지지된 디스플레이 패널(2)은 이송 모듈(30)에 의해 지지 플레이트(20)에서 선형으로 정밀하게 이동될 수 있으며, 이동시 디스플레이 패널(2)과 스테이지 모듈(10) 사이에 형성된 공기층에 의해 디스플레이 패널(2)의 손상이나 파손이 방지될 수 있고, 제어부에 의한 공기제어 모듈의 정밀 제어를 통해 디스플레이 패널(2)의 수평도가 정밀하게 유지 및 제어될 수 있다. 또한, 제1제트기류 분사부(111) 및 제2제트기류 분사부(121)에서 발생하는 흡입력이 디스플레이 패널(2)에 인가됨에 따라, 흡입력이 인가되는 디스플레이 패널(2)의 부위와 흡입력이 인가되지 않는 다른 부위 사이에서 미세한 곡면이 형성된다. 이때 디스플레이 패널(2)의 탄성변형으로 인해 디스플레이 패널(2)의 평탄도가 10 내지 15마이크로미터 미만에서 균일한 평탄도를 유지할 수 있게 된다.
도 2는 스테이지 모듈(10)에 설치된 제1이송 플레이트(110)를 확대하여 도시한 것으로, 도 2에 도시한 바와 같이, 제1이송 플레이트(110)의 네 개의 코너에 인접하게 4개의 제1제트기류 분사부(111)가 형성되고, 제1제트기류 분사부(111)들의 안쪽 영역, 즉 제1이송 플레이트(110)의 중앙부위에는 복수개의 제1강제 배기부(114)의 제1강제 배기공(115)이 형성되며, 제1이송 플레이트(110)의 중심을 가로질러 모두 3개의 제1자연 배기공(117)이 형성된다. 제1제트기류 분사부(111)는 도 5를 참조로 단면이 접시 모양으로 형성되어 중앙부위부터 테두리 부위까지 경사져 경사면을 형성할 수 있다. 즉, 제1제트기류 분사부(111)는 제1이송 플레이트(110)의 상면을 기준으로 중앙부위가 가장 깊게 형성되고 이 중앙부위로부터 제1이송 플레이트(110)의 상면까지 경사면이 형성된다. 또한, 제1제트기류 분사부(111)는 중앙부위에 고압공기를 분사하는 제1분사 노즐(112)이 구비되고, 제1분사 노즐(112)에는 제1이송 플레이트(110)의 상면에 평행하면서 사방으로 고압공기를 분사하는 제1분사공(113)이 복수개 형성될 수 있다. 제1자연 배기공(117)은 제1이송 플레이트(110)를 관통하도록 형성되며 별도의 흡기설비 없이 제1제트기류 분사부(111)로부터 유동되는 고압 공기를 자연적으로 배기할 수 있다. 제1강제 배기부(114)의 제1강제 배기공(115)은 제1자연 배기공(117)에 비해 작은 직경을 가지며 도 3을 참조로 제1이송 플레이트(110)의 내부에 형성된 제1배기 관로(116)로 연통되도록 형성되어 있다. 본 실시예에서 제1강제 배기공(115)은 제1이송 플레이트(110)의 세로방향으로 10 내지 13개가 형성되고 가로방향으로 6열이 형성되며, 각 열은 제1배기 관로(116)를 통해 서로 연통될 수 있다. 즉, 제1이송 플레이트(110)의 내부에는 모두 6열의 제1배기 관로(116)가 형성되고 이들 제1배기 관로(116)는 제1이송 플레이트(110)의 가로방향으로 형성된 제1배기 관로(116)를 통해 서로 연통될 수 있다. 여기서, 제1배기 관로(116)은 일측은 공기제어 모듈의 진공 흡기부에 연결되고, 타측은 폐쇄되게 형성된다. 도 2 및 도 3에서 제1이송 플레이트(110)에 대해 구체적으로 설명하였으나, 제2이송 플레이트(120)는 제2제트기류 분사부(121), 제2강제 배기공(125) 및 제2자연 배기공(127)의 위치만 상이할 뿐 전체적인 형상 및 구조는 제1이송 플레이트(110)와 동일할 수 있다.
도 4는 이송장치의 제1이송 플레이트와 제2이송 플레이트의 개략도이다. 도 4에 도시한 바와 같이, 제1이송 플레이트(110)와 제2이송 플레이트(120)는 제트기류 분사부, 강제 배기공 및 자연 배기공의 위치가 서로 상이할 수 있다. 제1이송 플레이트(110)는 코너 부위에 인접하게 모두 4개의 제1제트기류 분사부(111)가 형성되는데 반해, 제2이송 플레이트(120)는 모서리 부위에 인접하게 모두 4개의 제2제트기류 분사부(121)가 형성된다. 또한, 제1이송 플레이트(110)는 가로방향으로 모두 3개의 제1자연 배기공(117)이 등간격으로 형성되는데 반해, 제2이송 플레이트(120)는 코너 부위에 인접하게 모두 4개의 제2자연 배기공(127)이 형성될 수 있다. 본 실시예의 비접촉 이송장치(1)의 홀더(140)에는 제1이송 플레이트(110)와 제2이송 플레이트(120)가 서로 교대로 배치되어 결합될 수 있다. 제2이송 플레이트(120)에 형성되는 제2강제 배기공(125)은 도 3의 제1배기 관로(116)와 유사하게 형성된 제2배기 관로를 통해 서로 연통될 수 있다. 즉, 제2이송 플레이트(120)의 내부에 제2강제 배기공(125)의 열을 서로 연통시키는 6개의 제2배기 관로가 형성되고, 이 6개의 제2배기 관로를 서로 연통시키도록 제2이송 플레이트(120)의 가로방향으로 1개의 제2배기 관로가 형성될 수 있다.
제1이송 플레이트(110)와 제2이송 플레이트(120)는 각각 공기제어 모듈과 연결된다. 제1제트기류 분사부(111)의 제1분사 노즐(112)과 제2제트기류 분사부(121)의 제2분사 노즐(122)은 각각 공기제어 모듈의 압축공기 공급부에 연결되어 고압의 압축공기를 공급받아 제1분사공(113)과 제2분사공(123)을 통해 압축공기를 분사함으로써, 디스플레이 패널(2)과의 사이에 제트기류를 형성할 수 있고, 이를 통해 디스플레이 패널(2)에 부양력을 인가할 수 있게 된다. 또한, 제1제트기류 분사부(111) 및 제2제트기류 분사부(121)의 접시모양과 같은 경사면으로 인해 제1제트기류 분사부(111) 및 제2제트기류 분사부(121)의 중앙부위에 진공이 형성됨에 따라 디스플레이 패널(2)에 흡입력이 인가될 수 있게 된다. 한편, 디스플레이 패널(2)과 이송 플레이트 사이를 유동하는 제트기류는 불안정한 기류를 발생시킬 수 있게 되며, 이러한 불안정 기류는 디스플레이 패널(2)의 정밀한 평탄도를 유지하는 데 어려움을 유발할 수 있다. 디스플레이 패널(2)과 이송플레이트 사이의 공기층에서 불안정 기류의 발생을 방지하기 위해 공기층의 공기를 강제로 또는 자연적으로 배기할 필요가 있다. 이를 위해, 제1강제 배기공(115)과 제2강제 배기공(125)은 공기제어 모듈의 진공 흡기부와 연결되어 디스플레이 패널(2)과의 사이 공간의 공기를 흡입하여 배출할 수 있다. 제1강제 배기공(115)과 제2강제 배기공(125)을 통한 공기의 강제 배기 및 제1자연 배기공(117)과 제2자연 배기공(127)을 통한 공기의 자연 배기를 통해, 디스플레이 패널(2)과 이송 플레이트 사이의 불안정 기류의 발생이 원천 차단될 수 있으며, 이로 인해 디스플레이 패널(2)의 정밀한 평탄도가 유지될 수 있다.
도 5는 디스플레이 패널(2)이 장착된 스테이지 모듈의 단면도이다. 도 5에 도시한 바와 같이, 제1이송 플레이트(110)의 상부에 디스플레이 패널(2)이 비접촉 방식으로 고정 체결되어 있다. 제1제트기류 분사부(111)의 제1분사 노즐(112)은 제1이송 플레이트(110)의 가로방향으로 제1분사공(113)을 통해 고압의 압축공기를 분사하게 된다. 제1분사공(113)을 통해 분사되는 압축공기는 좁은 유로를 통하여 제1제트기류 분사부(111)의 경사면을 따라 유동하여 디스플레이 패널(2)과의 사이에 공기층을 형성하게 된다. 이로 인해, 디스플레이 패널은 제1이송 플레이트의 상면으로부터 100마이크로미터 정도 부양하게 된다. 한편, 제1제트기류 분사부(111)의 중앙부위는 압축공기의 분사에 따라 대기압 보다 낮은 음압 또는 진공이 발생하게 되며, 이로 인해 디스플레이 패널(2)에는 제1이송 플레이트(110)의 상면 쪽으로 향하는 흡입력이 인가되게 된다.
좌측의 제1제트기류 분사부(111)를 통해 분사된 고압 공기의 일부는 제1이송 플레이트(110)의 상면과 디스플레이 패널(2) 사이를 통해 우측 방향으로 유동하면서 공기층을 형성하고, 다른 일부는 제1제트기류 분사부(111)의 좌측으로 유동하여 자연 배기되게 된다. 마찬가지로 우측의 제1제트기류 분사부(111)를 통해 분사된 고압 공기의 일부는 제1이송 플레이트(110)의 상면과 디스플레이 패널(2) 사이를 통해 좌측 방향으로 유동하면서 공기층을 형성하고, 다른 일부는 제1제트기류 분사부(111)의 우측으로 유동하여 자연 배기되게 된다. 양측의 제1제트기류 분사부(111)를 통해 분사된 고압공기가 서로 만나는 부위 또는 제1이송 플레이트(110)의 상면과 디스플레이 패널(2)의 하면 사이의 불규칙한 위치에서 불안정 기류가 발생할 수 있으며, 이러한 불안정 기류는 디스플레이 패널(2)의 평탄도를 저해하게 된다. 이를 방지하기 위해 제1배기 관로(116)를 통해 서로 연통되는 복수개의 제1강제 배기공(115) 및 제1이송 플레이트(110)를 관통하여 형성된 제1자연 배기공(117)을 통해 공기층의 공기를 배기함으로써 불안정 기류의 발생을 방지할 수 있다. 제1강제 배기공(115)은 공기층의 공기를 흡기하도록 진공을 생성하는 진공 흡기부에 연결되며, 진공 흡기부는 제1강제 배기공(115)을 통해 공기층의 공기를 흡기하여 외부로 배출할 수 있다. 디스플레이 패널(2)에는 이송 플레이트로부터 부양되도록 하는 부양력과 이송 플레이트에 비접촉식으로 고정되게 하는 흡입력이 서로 다른 부위에 인가된다. 디스플레이 패널(2)의 부양력은 제트기류 분사부로부터 분사되는 고압공기에 의한 공기층으로부터 형성되고, 디스플레이 패널(2)의 흡입력은 제트기류 분사부로부터 분사되는 고압공기로 인해 제트기류 분사부 상측의 대기압보다 낮은 음압 또는 진공으로부터 형성된다. 이와 같은 부양력과 흡입력으로 인해 디스플레이 패널(2)은 흡입력이 인가되는 부위와 부양력이 인가되는 부위가 허용오차 미만의 미세한 곡면을 형성하게 되고, 이때 디스플레이 패널(2)의 탄성변형으로 인해 디스플레이 패널(2)의 균일한 평탄도가 유지될 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
1: 비접촉 이송장치 2: 디스플레이 패널
10: 스테이지 모듈 20: 지지 플레이트
30: 이송 모듈 110: 제1이송 플레이트
111: 제1제트기류 분사부 115: 제1강제 배기공
120: 제2이송 플레이트 121: 제2제트기류 분사부
125: 제2강제 배기공 130: 고정 패드
140: 홀더

Claims (10)

  1. 패널이 안착되는 스테이지 모듈;
    상기 스테이지 모듈을 선형 이동 가능하게 지지하는 지지 플레이트; 및
    상기 스테이지 모듈에 고압의 압축공기를 공급하여 상기 패널과 상기 스테이지 모듈 사이에 공기층을 형성하는 공기제어 모듈;을 포함하고,
    상기 스테이지 모듈은
    상기 스테이지 모듈의 외관을 형성하는 홀더;
    상기 공기제어 모듈의 압축공기를 전달받아 분사하는 제트기류 분사부를 포함하는 이송 플레이트;를 포함하며, 상기 이송 플레이트는 상기 홀더 내에 복수개가 고정 설치되고,
    상기 이송 플레이트는 상기 제트기류 분사부에 인접하여 상기 압축공기의 일부를 자연적으로 배기하도록 상기 이송 플레이트를 관통하여 형성된 자연 배기공과 상기 자연 배기공과 인접하여 상기 압축공기의 일부를 강제로 흡입하여 배기하는 강제 배기공이 복수개가 형성되며,
    상기 강제 배기공은 상기 자연 배기공에 비하여 작은 직경을 가지며,
    상기 이송 플레이트는 그 내부에 상기 이송 플레이트와 평행하게 관통 형성되며 상기 복수개의 강제 배기공 중 하나의 열을 구성하는 강제 배기공들과 연통되는 배기 관로를 포함하고, 상기 배기 관로는 상기 이송 플레이트에 복수개의 열로 구비되며, 상기 배기 관로는 일측은 상기 공기 제어 모듈의 진공 흡기부에 연결되고 타측은 폐쇄되게 형성되며,
    상기 패널과 상기 이송 플레이트 사이에서 발생되는 불안정 기류는 상기 강제 배기공 및 상기 자연 배기공을 통한 상기 압축공기의 배기를 통해 제거되고,
    상기 이송 플레이트는 4개의 코너 부위에 인접하게 4개의 제1제트기류 분사부가 형성되고 중앙에 일 방향으로 등간격으로 제1자연 배기공이 형성되는 제1이송 플레이트와, 4개의 모서리 부위에 인접하게 4개의 제2제트기류 분사부가 형성되고 4개의 코너 부위에 인접하게 4개의 제2자연 배기공이 형성되는 제2이송 플레이트로 구성되며,
    상기 제1이송 플레이트와 상기 제2이송 플레이트는 상기 홀더 내에 복수개가 서로 비연속적으로 교대로 고정 설치되는 디스플레이 패널용 비접촉 이송장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제트기류 분사부는 상기 이송 플레이트의 상면에 대해 하측으로 단차지게 형성되어 단면이 접시형태를 가지고, 중앙부위에 고압의 압축공기를 분사하는 분사 노즐이 구비되고, 상기 중앙부위부터 상기 이송 플레이트의 상면까지 경사면이 형성되며, 상기 고압의 압축공기는 상기 경사면을 향해 분사되는 디스플레이 패널용 비접촉 이송장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 청구항 1에 있어서,
    복수개의 상기 제트기류 분사부는 상기 이송 플레이트에 평행하게 전방향으로 상기 압축공기를 분사하여 상기 패널에 부양력을 인가하며, 상기 제트기류 분사부의 중앙부위는 대기압보다 낮은 음압 또는 진공이 형성되어 상기 패널에 흡입력을 인가하는 디스플레이 패널용 비접촉 이송장치.
  8. 삭제
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 지지플레이트는 장방형 패널 형태를 가지며, 그 내부에 상기 스테이지 모듈을 이동시키기 위한 구동모터, 상기 구동모터의 구동력을 선형 구동력으로 전환하는 선형 가이드가 구비되는 디스플레이 패널용 비접촉 이송장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 공기제어 모듈은, 상기 제트기류 분사부로 고압의 압축공기를 공급하는 압축공기 공급부; 및 상기 강제 배기공으로부터 공기를 흡입하여 배출하는 진공 흡기부;를 포함하며, 상기 공기제어 모듈은 각각의 이송 플레이트에 각각 연결되게 구비되는 디스플레이 패널용 비접촉 이송장치.
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