KR101161007B1 - 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치 - Google Patents

코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개시한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치는 코팅 영역의 부상 유닛 상에서 기판을 이송하기 위한 이송 플레이트; 상기 이송 플레이트의 전방 및 후방 양측면에 제공되며, 상기 이송 플레이트를 이송하기 위한 한 쌍의 제 1 및 제 2 슬라이더; 상기 이송 플레이트와 상기 한 쌍의 제 1 슬라이더를 연결하는 한 쌍의 제 1 연결 부재; 상기 이송 플레이트와 상기 한 쌍의 제 2 슬라이더를 연결하는 한 쌍의 제 2 연결 부재; 및 상기 한 쌍의 제 1 및 제 2 슬라이더가 상기 코팅 영역의 부상 유닛을 따라 왕복 방식으로 슬라이딩하도록 제공되는 한 쌍의 리니어 모션 가이드를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치{A Substrate Transferring Device in Coating Region and A Coating Apparatus Having the Same}
본 발명은 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 PDP 패널 또는 LCD 패널 등과 같은 평판 패널 디스플레이(Flat Panel Display: 이하 "FPD"라 합니다) 제조용 기판과 같은 전자소자를 형성하기 위해 평면의 형태를 갖는 기판을 부상하여 이송하면서 그 상부에 코팅액을 도포할 경우 코팅 영역에서 소프트 재질의 이송 유연 기재 또는 경질 재질의 이송 플레이트를 구비한 기판 이송 장치를 사용하여, 기판 부상 유닛의 사용에 따른 코팅액 얼룩 방지를 포함한 다수의 문제점을 해결할 수 있는 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치에 관한 것이다.
일반적으로 FPD와 같은 전자소자를 제조하기 위해서는 글래스 기판(이하 "기판"이라 합니다)과 같은 작업물(work piece) 상에 코팅액의 도포가 요구되며, 이를 위해 노즐 디스펜서(nozzle dispenser) 또는 슬릿 다이(이하 노즐 디스펜서 및 슬릿 다이를 통칭하여 "노즐 장치"라 합니다)를 구비한 코팅 장치가 사용된다. 이러한 코팅 장치는 기판을 스테이지 상에 위치시킨 후 갠트리(gantry)에 부착된 노즐 장치를 수평방향으로 이동시키면서 다양한 코팅액의 도포 동작을 수행한다. 이러한 코팅액의 도포 동작의 예로는, LCD 패널을 제조하는 경우 LCD 패널 기판 상에 포토레지스트(photoresist: PR), 블랙 매트릭스(Black Matrix: B.M), 컬럼 스페이스(column space: C.S) 등을 형성하기 위해 감광성 코팅액을 도포할 수 있다. 또한, PDP 패널을 제조하는 경우 PDP 패널 기판 상에 상유전체, 하유전체, 격벽을 형성하기 위해 코팅액 또는 감광성 코팅액을 도포할 수 있다.
그러나, 상술한 종래 기술에서는 기판을 스테이지 상에 위치시킨 후 스테이지를 코팅 위치로 이동한 상태에서 기판의 상부에 설치되는 노즐 장치 및 노즐 장치가 부착되는 갠트리가 기판 상에서 이동하는 노즐 이동 방식 구조이기 때문에 코팅 장치의 정밀 구동이 어려워지며 또한 복잡하다. 좀 더 구체적으로, 큰 중량의 대형 노즐 장치, 갠트리 및 스테이지의 이동을 위해서는 막대한 에너지가 필요하다. 또한, 코팅액 도포 후에는 원래의 위치로 복귀하여 상술한 동작을 반복하여야 하므로 코팅액 도포 동작의 효율성이 저하된다는 문제가 발생한다. 또한, 대면적 FPD의 요구에 따라 노즐 장치 및 갠트리도 대형화되어야 한다. 대형화된 갠트리의 중량은 대략 1톤 내지 2톤에 달하여, 이러한 거대 중량의 갠트리를 이동시키면서 정밀하게 가속시키거나 감속시키는 구동장치의 구현이 어려워진다.
상술한 종래 기술의 노즐 이동 방식의 코팅 장치의 문제점을 해소하기 위한 방안의 하나로 에어의 분사 또는 분사 및 흡인을 통해 기판을 부상시켜 이송하면서 기판의 표면에 코팅액을 도포하는 부상방식의 기판 이송 장치가 제안되었다.
도 1a는 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 사시도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이다. 이러한 도 1a 및 도 1b에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치는 예를 들어 2006년 3월 20일자에 도쿄 엘렉트론 주식회사에 의해 "도포방법 및 도포장치"라는 발명의 명칭으로 일본 특허출원 제 2006-76815호로 출원되어, 2007년 10월 4일자에 공개된 일본 특허출원공개번호 특개 2007-252971호에 상세히 개시되어 있다.
다시 도 1a 및 도 1b를 참조하면, 종래 기술에 따른 도포장치(40)는 부상방식의 기판 이송 장치(84)를 구비한다. 기판(G)은 예를 들어 이송 암(transfer arm: 미도시)에 의해 스테이지(76)의 로딩 영역(도 1b의 M1 영역) 상으로 이송된다. 그 후, 스테이지(76)의 로딩 영역(M1 영역)의 하부에 제공되는 리프트 장치(미도시)에 의해 복수개의 리프트핀(lift pin: 86)이 상승하여 기판(G)을 지지한다. 그 후, 복수개의 리프트핀(86)이 하강하면 기판(G)은 한 쌍의 리니어 모션 가이드(96) 상에서 이동 가능한 한 쌍의 슬라이더(98)에 제공되는 지지부(102) 상의 흡착 패드(104) 상에 진공 흡착 방식으로 장착된다. 로딩 영역(M1 영역) 상에는 복수개의 에어 분출구(88)만이 제공된다. 로딩 영역(M1 영역) 상에서 자중(self-weight)에 의해 아래로 휘어진 기판(G)은 에어 분출구(88)를 통해 분출되는 에어에 의해 대략 250 내지 350㎛ 범위의 부상 높이(Ha)로 부상한 상태에서 부상방식의 기판 이송 장치(84)에 의해 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)을 거쳐 코팅 영역(도 1b에 도시된 M3 영역) 상으로(즉, X 방향으로) 이송된다. 제 1 인터페이스 영역(M2 영역) 내에는 진공 펌핑 장치(미도시)와 연결된 에어 흡입구(90)가 부분적으로 설치되어 있다. 기판(G)이 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)으로 진입하면, 에어 분출구(88)의 분출력이 에어 흡입구(90)의 흡입력에 의해 일부 상쇄되어 기판(G)은 그 부상 높이가 점차 낮아지면서 코팅 영역(M3 영역)으로 진입한다. 코팅 영역(M3 영역)에서는 에어 흡입구(90)의 수가 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)에 비해 더 많이 제공되어 기판(G)이 대략 50㎛의 코팅 높이(Hb)로 부상한 상태를 유지하면서 X축 방향으로 이송한다. 이러한 코팅 영역(M3 영역)에서는 노즐 장치(78)가 코팅액(R: 예를 들어 레지스트액)을 공급관(94)을 통해 공급받아 기판(G) 상에 도포한다.
그 후, 코팅액이 도포된 기판(G)은 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)으로 이송된다. 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)은 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)과 마찬가지로 진공 펌핑 장치(미도시)와 연결된 에어 흡입구(90)가 부분적으로 설치되어 있다(도 1a 참조). 기판(G)이 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)으로 진입하면, 에어 분출구(88)의 분출력이 에어 흡입구(90)의 흡입력에 의해 일부만 상쇄되어 기판(G)은 그 부상 높이가 점차 높아진다. 그 후, 기판(G)은 언로딩 영역(M5 영역)으로 진입하고, 언로딩 영역(M5 영역)은 로딩 영역(M1 영역)과 마찬가지로 복수개의 에어 분출구(88)만이 제공된다. 따라서, 기판(G)은 언로딩 영역(M5 영역)에 제공된 복수개의 에어 분출구(88)를 통해 분출되는 에어에 의해 대략 250 내지 350㎛ 범위의 부상 높이(Hc)로 부상한 상태에서 기판(G)은 흡착 패드(104)로부터 제공되는 진공 흡착이 해제된다. 그 후, 언로딩 영역(M5 영역)의 스테이지(76) 하부에 제공되는 리프팅 장치(미도시)에 의해 복수개의 리프트핀(86)이 상승하여 기판(G)을 상승시킨 후, 로봇 암(미도시)에 의해 다음 공정 위치로 이송된다.
상술한 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치(84) 및 이를 구비한 도포 장치(40)는 기판(G)을 부상 방식으로 이동시킨다는 점에서 노즐 이동 방식의 코팅 장치의 단점을 대부분 해소할 수 있다는 장점이 달성되지만, 여전히 다음과 같은 문제를 갖는다.
1. 예를 들어 리니어 모션 가이드 및 리니어 모터, 또는 리니어 모션 가이드 및 볼 스크루를 사용하는 종래 기계적인 이송 장치에서는 이송 동작시 댐핑이 발생할 수 있다. 이러한 댐핑 효과에 의해 기판에 진동 및 쇼크가 전달되고 또한 기판을 부상시키는 부상 유닛도 언듈레이션이 발생할 수 있다. 그 결과, 기판 상에 도포되는 코팅액의 두께가 일정하게 도포되지 못한다.
2. 특히 기판의 진행 방향으로 유동이 발생하여 기판 이송 속도가 불안정해질 수 있다.
3. 하부에 고정된 복수의 에어 분출구 및 복수의 에어 흡입구의 사용에 따라 기판 상에 온도 편차가 발생할 수 있으며 그에 따라 기판 상에 도포된 코팅액의 건조 조건이 달라져서 얼룩이 발생할 수 있다. 또한, 복수의 에어 분출구의 부상력과 복수의 에어 흡입구의 흡입력이 교반됨으로 이로 인해 기판이 국소적으로 휘어지는 변형이 발생할 수 있으며, 이러한 기판의 변형이 발생하는 경우에도 코팅액의 두께가 일정하게 도포되지 못한다.
4. 복수의 에어 분출구 및 복수의 에어 흡입구의 사용에 따라 기판과 부상 유닛 사이에 이물이 유입될 수 있다. 또한, 코팅 장치의 예측하지 못한 오동작이 발생하는 경우 기판과 부상 유닛 간의 접촉 또는 충돌이 발생할 수 있다. 이러한 이물 유입 또는 기판과 부상 유닛 간의 접촉 또는 충돌이 발생하는 경우, 기판의 하부에 스크래치의 발생 및 그에 따른 미세 입자(fine particles)의 발생에 의한 기판의 2차 오염이 발생할 수 있다.
5. 코팅 영역의 부상 유닛이 복수개의 플레이트로 구성되는 경우, 복수개의 플레이트 간의 미세 단차 발생시 그에 따른 대응성 또는 응답성이 불량하다.
6. 코팅 장치의 오작동 등으로 인하여 코팅액이 코팅 영역의 기판 부상 유닛 상에 떨어지는 경우, 미세한 사이즈의 복수의 에어 분출구 및 복수의 에어 흡입구가 막혀서 부상력 또는 흡입력이 불안정해지고, 세정이 어려우며, 미세 입자 발생에 따른 코팅 장치 전체가 오염되고, 에어 분출구 또는 에어 흡입구의 막힘이 심한 경우 코팅 영역의 기판 부상 유닛에 고장이 발생한다.
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.
일본 공개특허 특개 2007-252971호
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 평판 패널 디스플레이(FPD) 제조용 기판을 부상하여 이송하면서 그 상부에 코팅액을 도포할 경우 코팅 영역에서 소프트 재질의 이송 유연 기재 또는 경질 재질의 이송 플레이트를 구비한 기판 이송 장치를 사용하여, 기판 부상 유닛의 사용에 따른 코팅액 얼룩 방지를 포함한 다수의 문제점을 해결할 수 있는 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치는 코팅 영역의 부상 유닛 상에서 기판을 이송하기 위한 이송 플레이트; 상기 이송 플레이트의 전방 및 후방 양측면에 제공되며, 상기 이송 플레이트를 이송하기 위한 한 쌍의 제 1 및 제 2 슬라이더; 상기 이송 플레이트와 상기 한 쌍의 제 1 슬라이더를 연결하는 한 쌍의 제 1 연결 부재; 상기 이송 플레이트와 상기 한 쌍의 제 2 슬라이더를 연결하는 한 쌍의 제 2 연결 부재; 및 상기 한 쌍의 제 1 및 제 2 슬라이더가 상기 코팅 영역의 부상 유닛을 따라 왕복 방식으로 슬라이딩하도록 제공되는 한 쌍의 리니어 모션 가이드를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 특징에 따른 코팅장치는 로딩 영역을 제공하는 로딩 영역의 부상 유닛, 코팅 영역을 제공하는 코팅 영역의 부상 유닛, 및 언로딩 영역을 제공하는 언로딩 영역의 부상 유닛으로 구성되는 기판 부상 유닛; 상기 로딩 영역에서 기판을 이송하는 제 1 기판 이송 장치; 상기 코팅 영역의 부상 유닛 상에서 상기 기판을 이송하기 위한 이송 플레이트를 구비한 기판 이송 장치; 상기 언로딩 영역에서 상기 기판을 이송하는 제 2 기판 이송 장치; 상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치; 및 상기 노즐 장치가 장착되는 갠트리를 포함하고, 상기 기판 이송 장치는 상기 이송 플레이트의 전방 및 후방 양측면에 제공되며, 상기 이송 플레이트를 이송하기 위한 한 쌍의 제 1 및 제 2 슬라이더; 상기 이송 플레이트와 상기 한 쌍의 제 1 슬라이더를 연결하는 한 쌍의 제 1 연결 부재; 상기 이송 플레이트와 상기 한 쌍의 제 2 슬라이더를 연결하는 한 쌍의 제 2 연결 부재; 및 상기 한 쌍의 제 1 및 제 2 슬라이더가 상기 코팅 영역의 부상 유닛을 따라 왕복 방식으로 슬라이딩하도록 제공되는 한 쌍의 리니어 모션 가이드를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치에서는 다음과 같은 장점이 달성된다.
1. 기판이 코팅 영역에서 이송 플레이트를 구비한 기판 이송 장치에 의해 이송되므로, 이송 동작시 댐핑 발생이 방지된다. 따라서, 종래 기술과는 달리 기판에 진동 및 쇼크 전달 및 기판 부상 유닛의 언듈레이션의 발생이 방지되어, 기판 상에 도포되는 코팅액의 두께가 일정하게 도포된다.
2. 기판의 길이 방향으로의 유동 발생이 방지되므로 기판의 이송 속도가 일정하게 유지될 수 있다.
3. 복수의 에어 분출구 및 복수의 에어 흡입구를 사용하더라도 이송 플레이트에 의해 기판 상의 온도 편차 발생이 최소화되거나 방지된다. 또한, 복수의 에어 분출구의 부상력과 복수의 에어 흡입구의 흡입력에 의한 영향이 이송 플레이트에 의해 최소화되거나 방지되므로 기판의 국소적 휘어짐 변형의 발생도 최소화되거나 방지된다. 그 결과, 기판 상에 도포되는 코팅액의 두께가 일정하게 도포된다.
4. 부상력과 흡입력에 의한 영향을 줄이기 위해 종래 에어 분출구 및 에어 흡입구에 대한 특정한 구성(분출구 및 흡입구의 미세한 사이즈 및 특정한 배열)에 대한 요구조건이 상대적으로 용이하거나 불필요하며, 그에 따라 코팅 장치의 제조 비용이 절감된다.
5. 이송 플레이트에 의해 기판과 부상 유닛 사이에 이물 유입 가능성이 실질적으로 제거된다. 또한, 코팅 장치의 예측하지 못한 오동작에 의해 기판과 부상 유닛 간의 접촉 또는 충돌이 발생할 경우에도, 이송 플레이트가 완충 및 저항 작용을 할 수 있다. 따라서, 기판의 하부에 스크래치의 발생 및 그에 따른 2차 오염 발생의 가능성도 최소화되거나 완전히 제거된다.
6. 기판 부상 유닛을 구성하는 복수개의 플레이트 간에 발생하는 미세 단차가 기판 부상 높이에 미치는 영향이 이송 플레이트에 의해 실질적으로 차단된다. 따라서, 복수개의 플레이트 간에 발생하는 미세 단차에 따른 기판 높이의 대응성 또는 응답성이 양호하다.
7. 이송 플레이트에 의해 코팅 장치의 오작동 등으로 인하여 코팅액이 코팅 영역의 기판 부상 유닛 상에 도포되는 경우 발생하는 문제점(미세한 사이즈의 복수의 에어 분출구 및 복수의 에어 흡입구의 막힘에 따른 부상력 또는 흡입력이 불안정해지고, 세정이 어려우며, 미세 입자 발생에 따른 코팅 장치 전체가 오염되고, 에어 분출구 또는 에어 흡입구의 막힘이 심한 경우 코팅 영역의 기판 부상 유닛의 고장 발생 등)이 최소화되거나 완전히 방지된다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
도 1a는 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 사시도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 측단면도이다.
도 2b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 측단면도이다.
도 2c는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 측단면도이다.
도 2d는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 측단면도 및 사시도이다.
도 2e는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 측단면도 및 사시도이다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
본 발명은 기본적으로 코팅 영역에서 소프트 재질의 이송 유연 기재 또는 경질 재질의 이송 플레이트를 구비한 기판 이송 장치를 사용하는 것을 특징으로 한다.
좀 더 구체적으로, 본 발명의 코팅 영역의 기판 이송 장치는 코팅 영역의 부상 유닛 상에서 기판을 이송하기 위한 이송 유연 기재; 및 상기 이송 유연 기재를 연속적으로 또는 왕복 방식으로 공급하기 위한 공급 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이 경우 이송 유연 기재의 공급 장치는 후술하는 바와 같이, 복수의 롤로 구현되거나 또는 복수의 롤, 한 쌍의 슬라이더 및 한 쌍의 리니어 모션 가이드로 구현될 수 있다.
또한, 본 발명의 코팅 영역의 기판 이송 장치는 코팅 영역의 부상 유닛 상에서 기판을 이송하기 위한 이송 플레이트; 및 상기 이송 플레이트를 왕복 방식으로 공급하기 위한 공급 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이 경우 이송 플레이트의 공급 장치는 후술하는 바와 같이, 한 쌍의 제 1 및 제 2 슬라이더 및 한 쌍의 리니어 모션 가이드로 구현될 수 있다.
한편, 상술한 소프트 재질의 이송 유연 기재는 예를 들어 내마모성, 치수 안정성 및 유연성을 구비한, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene Terephthalate: PET) 재질 또는 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylene Naphthalate: PEN) 재질의 플렉시블 필름(flexible film) 또는 유연성 박막 글래스(flexible thin film glass)로 구현될 수 있다. 이러한 소프트 재질의 이송 유연 기재는 코팅 영역의 부상 유닛으로부터 공급되는 에어의 투과가 불가능한 불투과 재료로 구현되거나 또는 에어의 투과가 가능한 통기성 재료로 구현될 수 있다. 또한, 경질 재질의 이송 플레이트는 예를 들어 플라스틱 플레이트(plastic plate) 또는 글래스 플레이트(glass plate)가 사용될 수 있다. 즉, 후술하는 본 발명의 모든 실시예에서 이송 유연 기재는 상술한 바와 같이 PET 재질 또는 PEN 재질의 플렉시블 필름 또는 유연성 박막 글래스로 구현되고, 또한 이송 플레이트는 상술한 바와 같은 플라스틱 플레이트 또는 글래스 플레이트로 구현될 수 있다.
또한, 후술하는 본 발명의 모든 실시예에서, 코팅 영역의 부상 유닛(276b)은 복수의 에어 분출구(미도시) 및 복수의 에어 흡입구(미도시)를 구비하고 있으며, 이들의 동작은 도 1a 및 도 1b를 참조하면 상세히 기술한 종래 기술의 경우와 동일 또는 유사하므로 이들에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 2a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 측단면도이다.
도 2a를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)는 코팅 영역의 부상 유닛(276b) 상에서 기판(G)을 이송하기 위한 이송 유연 기재(220); 상기 이송 유연 기재(220)를 연속적으로 공급하기 위한 공급 롤(222a); 상기 이송 유연 기재(220)를 회수하기 위한 회수 롤(222b); 및 상기 공급 롤(222a)과 상기 회수 롤(222b) 사이에서, 상기 이송 유연 기재(220)를 상기 코팅 영역 상에서 상기 기판(G)의 부상 높이로 공급하도록 제공되는 제 1 및 제 2 롤(224a,224b)을 포함한다. 여기서, 상술한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)는 상기 이송 유연 기재(220)에서 발생하는 정전기를 제거하기 위한 제전(除電) 장치(226); 및 상기 이송 유연 기재(220) 상의 이물이나 오염 물질을 제거하기 위한 세정 장치(228)를 추가로 구비할 수 있다. 또한, 상술한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)는 이송 유연 기재(220)의 온도를 일정하게 유지하기 위한 온도 조절 장치(미도시) 및 이송 유연 기재(220)의 습도를 일정하게 유지하기 위한 습도 조절 장치(미도시) 중 어느 하나 또는 양자를 추가로 포함할 수 있다.
상술한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)에서는, 기판(G)이 로딩 영역의 부상 유닛(276a) 상에서 별도의 기판 이송 장치(미도시)에 의해 이송 유연 기재(220) 상으로 이송된다. 별도의 기판 이송 장치는 도 1a에 도시된 바와 같이 기판(G)이 진공 흡착 방식으로 장착되어 이송되는 부상 방식의 종래 기판 이송 장치(84)(도 1a 참조)로 구현될 수 있다. 그 후, 기판(G)은 공급 롤(222a), 제 1 및 제 2 롤(224a,224b), 및 상기 회수 롤(222b)의 회전 동작에 의해 코팅 영역의 부상 유닛(276b)의 거쳐 언로딩 영역의 부상 유닛(276c) 상으로 이송된다. 여기서, 기판(G)이 이송 유연 기재(220) 상에 안착되어 일정한 부상 높이를 유지한 상태로 이송되면서, 노즐 장치(278)는 기판(G) 상에 코팅액을 도포한다.
또한, 상술한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)에서는 이송 유연 기재(220)가 공급 롤(222a)로부터 회수 롤(222b)로 모두 공급된 경우, 이송 유연 기재(220)를 회수 롤(222b)로부터 공급 롤(222a)로 리와인딩(rewinding)하여 반복적으로 사용될 수 있다. 대안적으로, 이송 유연 기재(220)가 공급 롤(222a)로부터 회수 롤(222b)로 모두 공급된 경우, 사용된 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)를 별도로 제공되는 새로운 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)로 교체하여 사용하는 것도 가능하다.
한편, 도 2a의 실시예에서는 제전 장치(226)가 공급 롤(222a)과 제 1 롤(224a) 사이에 제공되고 또한 세정 장치(228)가 제 2 롤(224b)과 회수 롤(222b) 사이에 제공되는 것으로 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 제전 장치(226)와 세정 장치(228)가 이송 유연 기재(220)의 제전 동작 및 세정 동작이 이루어질 수 있는 공급 롤(222a), 제 1 롤(224a), 제 2 롤(224b), 및 회수 롤(222b)로 이루어진 복수의 롤 사이의 임의의 위치에 배치될 수 있다(예를 들어 제전 장치(226)가 제 2 롤(224b)과 회수 롤(222b) 사이에 제공되고 또한 세정 장치(228)가 공급 롤(222a)과 제 1 롤(224a) 사이에 제공되는 경우)는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 또한, 제전 장치(226)와 세정 장치(228)의 제전 동작 및 세정 동작은 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)가 사용되는 도중에 함께 이루어지는 것이 바람직하다. 대안적으로, 제전 장치(226)와 세정 장치(228)의 제전 동작 및 세정 동작은 이송 유연 기재(220)가 회수 롤(222b)로부터 공급 롤(222a)로 리와인딩되는 동안 이루어질 수도 있다.
도 2b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 측단면도이다.
도 2b를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)는 코팅 영역의 부상 유닛(276b) 상에서 기판(G)을 이송하기 위한 이송 유연 기재(220); 상기 이송 유연 기재(220)를 상기 코팅 영역 상에서 상기 기판(G)의 부상 높이로 공급하도록 제공되는 제 1 및 제 2 롤(224a,224b); 및 상기 제 1 및 제 2 롤(224a,224b) 사이에 제공되며, 상기 이송 유연 기재(220)의 장력을 조절하고 또한 상기 이송 유연 기재(220)를 순환 방식으로 공급하기 위한 복수의 보조 롤(225)을 포함한다. 여기서, 상술한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)는 상기 이송 유연 기재(220)에서 발생하는 정전기를 제거하기 위한 제전 장치(226); 및 상기 이송 유연 기재(220) 상의 이물이나 오염 물질을 제거하기 위한 세정 장치(228)를 추가로 구비할 수 있다. 또한, 상술한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)는 이송 유연 기재(220)의 온도를 일정하게 유지하기 위한 온도 조절 장치(미도시) 및 이송 유연 기재(220)의 습도를 일정하게 유지하기 위한 습도 조절 장치(미도시) 중 어느 하나 또는 양자를 추가로 포함할 수 있다.
상술한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)에서는, 기판(G)이 로딩 영역의 부상 유닛(276a) 상에서 별도의 기판 이송 장치(미도시)에 의해 이송 유연 기재(220) 상으로 이송된다. 별도의 기판 이송 장치는 도 1a에 도시된 바와 같이 기판(G)이 진공 흡착 방식으로 장착되어 이송되는 부상 방식의 종래 기판 이송 장치(84)(도 1a 참조)로 구현될 수 있다. 그 후, 기판(G)은 제 1 및 제 2 롤(224a,224b) 및 복수의 보조 롤(225)의 회전 동작에 의해 코팅 영역의 부상 유닛(276b)을 거쳐 언로딩 영역의 부상 유닛(276c) 상으로 이송된다. 여기서, 기판(G)이 이송 유연 기재(220) 상에 안착되어 일정한 부상 높이를 유지한 상태로 이송되면서, 노즐 장치(278)는 기판(G) 상에 코팅액을 도포한다.
또한, 상술한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)에서는 이송 유연 기재(220)가 제 1 롤(224a), 제 2 롤(224b), 및 복수의 보조 롤(225)에 의해 지속적으로 순환 방식으로 공급되면서 기판(G)을 이송시킬 수 있다.
한편, 도 2b의 실시예에서는 제전 장치(226)가 복수의 보조 롤(225) 사이에 제공되고 또한 세정 장치(228)가 제 2 롤(224b)과 하나의 보조 롤(225) 사이에 제공되는 것으로 예시적으로 도시되어 있다. 그러나, 당업자라면 제전 장치(226)와 세정 장치(228)는 이송 유연 기재(220)의 제전 동작 및 세정 동작이 이루어질 수 있는 제 1 롤(224a), 제 2 롤(224b), 및 복수의 보조 롤(225)로 이루어진 복수의 롤 사이의 임의의 위치에 배치될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
도 2c는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 측단면도이다.
도 2c를 참조하면, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)는 코팅 영역의 부상 유닛(276b) 상에서 상기 기판(G)을 이송하기 위한 이송 유연 기재(220); 및 상기 이송 유연 기재(220)를 상기 코팅 영역 상에서 상기 기판(G)의 부상 높이로 공급하도록 제공되는 제 1 및 제 2 롤(224a,224b)을 포함하고, 상기 코팅 영역 상에서 상기 기판(G)의 이송이 완료되면 상기 이송 유연 기재(220)는 상기 제 1 및 제 2 롤(224a,224b)에 의해 리와인딩되는 것을 특징으로 한다. 또한, 상술한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)는 상기 이송 유연 기재(220)에서 발생하는 정전기를 제거하기 위한 제전 장치(미도시); 및 상기 이송 유연 기재(220) 상의 이물이나 오염 물질을 제거하기 위한 세정 장치(미도시)를 추가로 구비할 수 있다.
상술한 본 발명의 제 3 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)에서는, 기판(G)이 로딩 영역의 부상 유닛(276a) 상에서 별도의 기판 이송 장치(미도시)에 의해 이송 유연 기재(220) 상으로 이송된다. 별도의 기판 이송 장치는 도 1a에 도시된 바와 같이 기판(G)이 진공 흡착 방식으로 장착되어 이송되는 부상 방식의 종래 기판 이송 장치(84)(도 1a 참조)로 구현될 수 있다. 그 후, 기판(G)은 제 1 및 제 2 롤(224a,224b)의 회전 동작에 의해 코팅 영역의 부상 유닛(276b)을 거쳐 언로딩 영역의 부상 유닛(276c) 상으로 이송된다. 그 후, 이송 유연 기재(220)는 제 1 및 제 2 롤(224a,224b)의 역회전 동작에 의해 원래 상태로 복귀된다. 그 후, 로딩 영역의 부상 유닛(276a) 상에서 후속적으로 공급되는 기판(G)에 대해 상술한 바와 동일한 방식으로 코팅 영역의 부상 유닛(276b)을 거쳐 언로딩 영역의 부상 유닛(276c) 상으로 이송된다. 여기서, 기판(G)이 이송 유연 기재(220) 상에 안착되어 일정한 부상 높이를 유지한 상태로 이송되면서, 노즐 장치(278)는 기판(G) 상에 코팅액을 도포한다.
상술한 본 발명의 제 3 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)에서는 이송 유연 기재(220)가 제 1 롤(224a) 및 제 2 롤(224b)의 회전 동작 및 역회전 동작에 의해 기판(G)을 이송시키는 것으로, 상술한 도 2a 및 도 2b에 도시된 제 1 및 제 2 실시예와 비교해 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)의 구성이 간단하다는 장점을 갖는다. 또한, 상술한 본 발명의 제 3 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)에서는 이송 유연 기재(220)의 일부 영역이 기판(G)의 이송 중에 오염되거나 파손되어 해당 영역이 사용이 어렵거나 불가능한 경우에는 별도의 교체 작업 없이 이송 유연 부재(220)의 오염 또는 파손된 영역에 해당되는 길이만큼 시프트시켜, 미사용된 새로운 영역의 이송 유연 기재(220)를 사용할 수 있다. 따라서, 이송 유연 기재(220)의 효율적인 사용이 가능하며, 교환이 불필요하므로 생산 중단 시간이 감소될 수 있다.
한편, 도 2c에 도시된 본 발명의 제 3 실시예에서는 제전 장치 및 세정 장치가 미도시되어 있다. 그러나, 당업자라면, 예를 들어 이송 유연 기재(220)가 복수 회 사용된 후, 이송 유연 기재(220) 상에 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같은 제전 장치(226) 및 세정 장치(228)를 위치시켜 제정 동작 및 세정 동작이 행해질 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 아울러, 상술한 본 발명의 제 3 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)는 이송 유연 기재(220)의 온도를 일정하게 유지하기 위한 온도 조절 장치(미도시) 및 이송 장치(220)의 습도를 일정하게 유지하기 위한 습도 조절 장치(미도시) 중 어느 하나 또는 양자를 추가로 포함할 수 있다.
도 2d는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 측단면도 및 사시도이다.
도 2d를 참조하면, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)는 코팅 영역의 부상 유닛(276b) 상에서 기판(G)을 이송하기 위한 이송 유연 기재(220); 상기 이송 유연 기재(220)를 공급하기 위한 공급 롤(222a); 상기 이송 유연 기재(220)의 전방 양측면에 제공되며, 상기 이송 유연 기재(220)를 이송하기 위한 한 쌍의 슬라이더(284); 상기 이송 유연 기재(220)와 상기 한 쌍의 슬라이더(284)를 연결하는 한 쌍의 연결 부재(202); 상기 공급 롤(222a)과 상기 한 쌍의 슬라이더(284) 사이에서, 상기 이송 유연 기재(220)를 상기 코팅 영역 상에서 상기 기판(G)의 부상 높이로 공급하도록 제공되는 제 1 롤(224a); 및 상기 한 쌍의 슬라이더(284)가 상기 코팅 영역의 부상 유닛(276b)을 따라 왕복 방식으로 슬라이딩하도록 제공되는 한 쌍의 리니어 모션 가이드(296)를 포함한다. 또한, 상술한 본 발명의 제 4 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)는 상기 이송 유연 기재(220)에서 발생하는 정전기를 제거하기 위한 제전 장치(미도시); 및 상기 이송 유연 기재(220) 상의 이물이나 오염 물질을 제거하기 위한 세정 장치(미도시)를 추가로 구비할 수 있다. 여기서, 한 쌍의 리니어 모션 가이드(296)는 언로딩 영역의 부상 유닛(276c)을 따라 연장되고, 한 쌍의 슬라이더(284)는 코팅 영역의 부상 유닛(276b) 및 언로딩 영역의 부상 유닛(276c)을 따라 한 쌍의 리니어 모션 가이드(296) 상에서 슬라이딩할 수도 있다.
상술한 본 발명의 제 4 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)에서는, 기판(G)이 로딩 영역의 부상 유닛(276a) 상에서 별도의 기판 이송 장치(미도시)에 의해 이송 유연 기재(220) 상으로 이송된다. 별도의 기판 이송 장치는 도 1a에 도시된 바와 같이 기판(G)을 진공 흡착 방식으로 장착하여 이송하는 부상 방식의 종래 기판 이송 장치(84)(도 1a 참조)로 구현될 수 있다. 그 후, 기판(G)은 공급 롤(222a) 및 제 1 롤(224a)의 회전 동작과 한 쌍의 슬라이더(284)의 수평 방향 이송 동작에 의해 코팅 영역의 부상 유닛(276b)을 거쳐 언로딩 영역의 부상 유닛(276c) 상으로 이송된다. 여기서, 기판(G)이 이송 유연 기재(220) 상에 안착되어 일정한 부상 높이를 유지한 상태로 이송되면서, 노즐 장치(278)는 기판(G) 상에 코팅액을 도포한다.
또한, 상술한 본 발명의 제 4 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)에서는 기판(G)이 언로딩 영역의 부상 유닛(276c) 상으로 이송된 후, 공급 롤(222a)이 역회전 또는 리와인딩(rewinding)하여 한 쌍의 슬라이더(284)가 원래 위치로 복귀된다. 그 후, 별도의 제 1 기판 이송 장치(미도시)에 의해 후속적으로 공급되는 기판(G)이 로딩 영역의 부상 유닛(276a) 상에서 이송 유연 기재(220) 상으로 이송되고, 상술한 바와 같은 동작이 반복된다. 따라서, 이송 유연 기재(220)는 공급 롤(222a)의 리와인딩 동작에 의해 왕복 이동이 가능하므로 반복적으로 사용될 수 있다.
한편, 도 2d에 도시된 본 발명의 제 4 실시예에서는 제전 장치 및 세정 장치가 미도시되어 있다. 그러나, 당업자라면, 예를 들어 이송 유연 기재(220)가 복수 회 사용된 후, 이송 유연 기재(220) 상에 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같은 제전 장치(226) 및 세정 장치(228)를 위치시켜 제정 동작 및 세정 동작이 행해질 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 또한, 일정 횟수 이상 사용된 이송 유연 기재(220)의 사용된 부분을 커팅 및 제거한 후, 미사용된 이송 유연 기재(220)를 다시 한 쌍의 슬라이더(284)에 연결하여 사용할 수 있다. 아울러, 상술한 본 발명의 제 4 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)는 이송 유연 기재(220)의 온도를 일정하게 유지하기 위한 온도 조절 장치(미도시) 및 이송 장치(220)의 습도를 일정하게 유지하기 위한 습도 조절 장치(미도시) 중 어느 하나 또는 양자를 추가로 포함할 수 있다.
도 2e는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 측단면도 및 사시도이다.
도 2e를 참조하면, 본 발명의 제 5 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)는 코팅 영역의 부상 유닛(276b) 상에서 기판(G)을 이송하기 위한 이송 플레이트(220); 상기 이송 플레이트(220)의 전방 및 후방 양측면에 제공되며, 상기 이송 플레이트(220)를 이송하기 위한 한 쌍의 제 1 및 제 2 슬라이더(284a,284b); 상기 이송 플레이트(220)와 상기 한 쌍의 제 1 슬라이더(284a)를 연결하는 한 쌍의 제 1 연결 부재(202a); 상기 이송 플레이트(220)와 상기 한 쌍의 제 2 슬라이더(284b)를 연결하는 한 쌍의 제 2 연결 부재(202b); 및 상기 한 쌍의 제 1 및 제 2 슬라이더(284a,284b)가 상기 코팅 영역의 부상 유닛(276b)을 따라 왕복 방식으로 슬라이딩하도록 제공되는 한 쌍의 리니어 모션 가이드(296)를 포함한다. 여기서, 한 쌍의 리니어 모션 가이드(296)는 로딩 영역의 부상 유닛(276a) 및 언로딩 영역의 부상 유닛(276c)을 따라 연장되고, 한 쌍의 제 1 및 제 2 슬라이더(284a,284b)는 로딩 영역의 부상 유닛(276a), 코팅 영역의 부상 유닛(276b) 및 언로딩 영역의 부상 유닛(276c)을 따라 한 쌍의 리니어 모션 가이드(296) 상에서 슬라이딩할 수도 있다.
상술한 본 발명의 제 5 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)에서는, 기판(G)이 로딩 영역의 부상 유닛(276a) 상에서 별도의 제 1 기판 이송 장치(미도시)에 의해 이송 플레이트(220) 상으로 이송된다. 별도의 제 1 기판 이송 장치는 도 1a에 도시된 바와 같이 기판(G)이 진공 흡착 방식으로 장착되어 이송되는 부상 방식의 종래 기판 이송 장치(84)(도 1a 참조)로 구현될 수 있다. 그 후, 기판(G)은 이송 플레이트(220) 상에 장착된 상태로 한 쌍의 제 1 슬라이더(284a) 및 한 쌍의 제 2 슬라이더(284b)에 의해 코팅 영역의 부상 유닛(276b)을 거쳐 언로딩 영역의 부상 유닛(276c) 상으로 이송된다. 여기서, 기판(G)은 이송 플레이트(220) 상에 장착되어 일정한 부상 높이를 유지한 상태로 이송되면서, 노즐 장치(278)는 기판(G) 상에 코팅액을 도포한다. 기판(G)이 언로딩 영역의 부상 유닛(276c) 상의 별도의 제 2 기판 이송 장치(미도시)로 이송이 완료되면, 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)는 원래 위치로 복귀한다. 별도의 제 2 기판 이송 장치도 도 1a에 도시된 바와 같이 기판(G)이 진공 흡착 방식으로 장착되어 이송되는 부상 방식의 종래 기판 이송 장치(84)(도 1a 참조)로 구현될 수 있다. 그 후, 별도의 제 1 기판 이송 장치(미도시)에 의해 후속적으로 공급되는 기판(G)이 로딩 영역의 부상 유닛(276a) 상에서 이송 플레이트(220) 상으로 이송되고, 상술한 바와 같은 동작이 반복된다. 여기서 상술한 별도의 제 1 및 제 2 기판 이송 장치(미도시)로 도 2e에 도시된 본 발명의 제 5 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)가 사용될 수도 있다.
상술한 도 2a 내지 도 2d에 도시된 실시예에서, 기판(G)의 일정한 부상 높이는 코팅 영역의 부상 유닛(276b)에 의해 제공되는 부상력과 흡입력의 차이, 및 기판(G)의 자중에 의해 이송 유연 기재(220) 상에 걸리는 장력(tension)을 고려하여 용이하게 조절될 수 있다. 또한, 도 2e에 도시된 실시예에서, 기판(G)의 일정한 부상 높이는 코팅 영역의 부상 유닛(276b)에 의해 제공되는 부상력과 흡입력의 차이, 및 기판(G)과 이송 플레이트(220)의 자중을 고려하여 용이하게 조절될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 코팅장치의 구성 및 동작에 대해 기술하기로 한다.
다시 도 2a 내지 도 2e를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 코팅장치(200)는 로딩 영역을 제공하는 로딩 영역의 부상 유닛(276a), 코팅 영역을 제공하는 코팅 영역의 부상 유닛(276b), 및 언로딩 영역을 제공하는 언로딩 영역의 부상 유닛(276c)으로 구성되는 기판 부상 유닛; 상기 로딩 영역에서 기판(G)을 이송하는 제 1 기판 이송 장치(미도시); 상기 코팅 영역의 부상 유닛(276b) 상에서 상기 기판(G)을 이송하기 위한 이송 유연 기재 또는 이송 플레이트를 구비한 기판 이송 장치(201); 상기 언로딩 영역에서 상기 기판(G)을 이송하는 제 2 기판 이송 장치(미도시); 상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판(G) 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치(278); 및 상기 노즐 장치(278)가 장착되는 갠트리(미도시)를 포함한다. 여기서, 제 1 및 제 2 기판 이송 장치는 각각 기판(G)을 진공 흡착 방식으로 장착하여 이송하는 부상 방식의 종래 기판 이송 장치(84)(도 1a 참조)로 구현될 수 있다.
상술한 본 발명의 실시예에 따른 코팅장치(200)에 사용되는 이송 유연 기재(220) 또는 이송 플레이트(220)를 구비한 기판 이송 장치(201)는 도 2a 내지 도 2e에 도시된 본 발명의 제 1 내지 제 5 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)로 구현될 수 있다. 본 발명의 제 1 내지 제 5 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 장치(201)의 구성 및 동작은 도 2a 내지 도 2e를 참조하여 이미 상세히 기술하였으므로 그 구체적인 구성 및 동작에 대한 설명은 생략하기로 한다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
40: 도포장치 76: 스테이지 78,278: 노즐 장치
84,201: 기판 이송 장치 86: 리프트핀 88: 에어 분출구
90: 에어 흡입구 96,296: 리니어 모션 가이드
98,284,284a,284b: 슬라이더 102: 지지부 104: 흡착 패드
202,202a,202b: 연결 부재 220: 이송 유연 기재/이송 플레이트
222a: 공급 롤 222b: 회수 롤 224a,224b: 롤 225: 보조 롤
226: 제전 장치 228: 세정 장치 276a,276b,276c: 부상 유닛

Claims (4)

  1. 코팅 영역의 기판 이송 장치에 있어서,
    코팅 영역의 부상 유닛 상에서 기판을 이송하기 위한 이송 플레이트;
    상기 이송 플레이트의 전방 및 후방 양측면에 제공되며, 상기 이송 플레이트를 이송하기 위한 한 쌍의 제 1 및 제 2 슬라이더;
    상기 이송 플레이트와 상기 한 쌍의 제 1 슬라이더를 연결하는 한 쌍의 제 1 연결 부재;
    상기 이송 플레이트와 상기 한 쌍의 제 2 슬라이더를 연결하는 한 쌍의 제 2 연결 부재; 및
    상기 한 쌍의 제 1 및 제 2 슬라이더가 상기 코팅 영역의 부상 유닛을 따라 왕복 방식으로 슬라이딩하도록 제공되는 한 쌍의 리니어 모션 가이드
    를 포함하는 코팅 영역의 기판 이송 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 리니어 모션 가이드는 로딩 영역의 부상 유닛 및 언로딩 영역의 부상 유닛을 따라 연장되고,
    한 쌍의 제 1 및 제 2 슬라이더는 상기 로딩 영역의 부상 유닛, 상기 코팅 영역의 부상 유닛 및 상기 언로딩 영역의 부상 유닛을 따라 상기 한 쌍의 리니어 모션 가이드 상에서 슬라이딩하는
    코팅 영역의 기판 이송 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 이송 플레이트는 플라스틱 플레이트 또는 글래스 플레이트로 구현되는 코팅 영역의 기판 이송 장치.
  4. 코팅장치에 있어서,
    로딩 영역을 제공하는 로딩 영역의 부상 유닛, 코팅 영역을 제공하는 코팅 영역의 부상 유닛, 및 언로딩 영역을 제공하는 언로딩 영역의 부상 유닛으로 구성되는 기판 부상 유닛;
    상기 로딩 영역에서 기판을 이송하는 제 1 기판 이송 장치;
    상기 코팅 영역의 부상 유닛 상에서 상기 기판을 이송하기 위한 이송 플레이트를 구비한 기판 이송 장치;
    상기 언로딩 영역에서 상기 기판을 이송하는 제 2 기판 이송 장치;
    상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치; 및
    상기 노즐 장치가 장착되는 갠트리
    를 포함하고,
    상기 기판 이송 장치는
    상기 이송 플레이트의 전방 및 후방 양측면에 제공되며, 상기 이송 플레이트를 이송하기 위한 한 쌍의 제 1 및 제 2 슬라이더;
    상기 이송 플레이트와 상기 한 쌍의 제 1 슬라이더를 연결하는 한 쌍의 제 1 연결 부재;
    상기 이송 플레이트와 상기 한 쌍의 제 2 슬라이더를 연결하는 한 쌍의 제 2 연결 부재; 및
    상기 한 쌍의 제 1 및 제 2 슬라이더가 상기 코팅 영역의 부상 유닛을 따라 왕복 방식으로 슬라이딩하도록 제공되는 한 쌍의 리니어 모션 가이드
    를 포함하는
    코팅장치.
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