KR101074169B1 - 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 방법, 및 이를 구비한 코팅 장치 - Google Patents

코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 방법, 및 이를 구비한 코팅 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 방법, 및 이를 구비한 코팅 장치를 개시한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치는 노즐 장치의 전방에 고정 장착되며, 스테이지 상에 위치되는 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서; 상기 한 쌍의 센서와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 제어장치; 및 상기 노즐 장치의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치로부터 상기 한 쌍의 차이값을 전송받아 상기 노즐 장치를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
코팅 장치, 코팅 높이 조정 장치, 센서, 제어장치, 미세 높이 조정 부재

Description

코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 방법, 및 이를 구비한 코팅 장치{A Device and Method for Adjusting Height of Coating Apparatus and A Coating Apparatus Having the Same}
본 발명은 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 방법, 및 이를 구비한 코팅 장치에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 PDP 패널 또는 LCD 패널 등의 평판 패널 디스플레이(Flat Panel Display: 이하 "FPD"라 합니다) 제조 시 노즐 장치의 전방에 부착된 한 쌍의 센서를 이용하여 기판과 노즐 장치 간의 코팅 높이를 실시간으로 측정하고, 측정된 코팅 높이를 한 쌍의 미세 높이 조정 부재로 피드백하여 노즐 장치 또는 스테이지를 기준 코팅 높이로 조정함으로써, 코팅액이 기준 코팅 높이에서 도포되어 현저하게 개선된 코팅 품질을 보장할 수 있는 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 방법, 및 이를 구비한 코팅 장치에 관한 것이다.
일반적으로 FPD를 제조하기 위해서는 글래스 기판(이하 "기판"이라 합니다)과 같은 작업물(work piece) 상에 코팅액의 도포가 요구되며, 이를 위해 노즐 디스펜서(nozzle dispenser) 또는 슬릿 다이(이하 노즐 디스펜서 및 슬릿 다이를 통칭하여 "노즐 장치"라 합니다)를 구비한 코팅 장치가 사용된다.
도 1a는 종래 기술에 따른 코팅 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 코팅 장치(40)는 기판(G)을 스테이지(76) 상에 위치시킨 후 갠트리(gantry: 130)에 부착된 노즐 장치(78)를 리니어 모션(Linear Motion: LM) 가이드(96)를 따라 수평방향으로 이동시키면서 다양한 코팅액의 도포 동작을 수행한다. 이러한 코팅액의 도포 동작의 예로는, LCD 패널을 제조하는 경우 LCD 패널 기판 상에 포토레지스트(photoresist: PR), 블랙 매트릭스(Black Matrix: B.M), 컬럼 스페이스(column space: C.S) 등을 형성하기 위해 코팅액을 도포할 수 있다. 또한, PDP 패널을 제조하는 경우 PDP 패널 기판 상에 상유전체, 하유전체, 격벽을 형성하기 위해 코팅액을 도포할 수 있다.
그러나, 상술한 종래 기술에서는 기판(G)을 스테이지(76) 상에 위치시킨 후 스테이지(76)를 코팅 위치로 이동한 상태에서 기판(G)의 상부에 설치되는 노즐 장치(78) 및 노즐 장치(78)가 부착되는 갠트리(130)가 기판(G) 상에서 이동하는 노즐 이동 방식 구조이기 때문에 코팅 장치(40)의 정밀 구동이 어려워지며 또한 복잡하다. 좀 더 구체적으로, 큰 중량의 대형 노즐 장치(78), 갠트리(130) 및 스테이지(76)의 이동을 위해서는 막대한 에너지가 필요하다. 또한, 코팅액 도포 후에는 노즐 장치(78)가 부착된 갠트리(130)가 원래의 위치로 복귀하여 상술한 동작을 반복하여야 하므로 코팅액 도포 동작의 효율성이 저하된다는 문제가 발생한다. 또한, 대면적 FPD의 요구에 따라 노즐 장치(78) 및 갠트리(130)도 대형화되어야 한다. 대형화된 갠트리(130)의 중량은 대략 1톤 내지 2톤에 달하여, 이러한 거대 중량의 갠트리(130)를 이동시키면서 정밀하게 가속시키거나 감속시키는 구동장치의 구현이 어려워진다.
상술한 종래 기술의 노즐 이동 방식의 코팅 장치의 문제점을 해소하기 위한 방안의 하나로 에어의 분사 또는 분사 및 흡인을 통해 기판을 부상시켜 이송하면서 기판의 표면에 코팅액을 도포하는 부상방식의 기판 이송 장치가 제안되었다.
도 1b는 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 사시도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 1c는 도 1b에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이며, 도 1d는 종래 기술의 부상방식의 기판 이송 장치의 로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역에서의 에어 분출구 및 에어 흡입구의 배열 패턴의 일부를 도시한 도면이다. 이러한 도 1b 내지 도 1d에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치는 예를 들어 2006년 3월 20일자에 도쿄 엘렉트론 주식회사에 의해 "도포방법 및 도포장치"라는 발명의 명칭으로 일본 특허출원 제 2006-76815호로 출원되어, 2007년 10월 4일자에 공개된 일본 특허출원공개번호 특개 2007-252971호에 상세히 개시되어 있다.
다시 도 1b 내지 도 1d를 참조하면, 종래 기술에 따른 도포장치(40)는 부상방식의 기판 이송 장치(84)를 구비한다. 기판(G)은 복수의 리프트핀(lift pin: 86)에 의해 한 쌍의 리니어 모션 가이드(96) 상에서 이동 가능한 한 쌍의 슬라이더(98)에 제공되는 지지부(102) 상의 흡착 패드(104) 상에 진공 흡착 방식으로 장착된다. 로딩 영역(M1 영역) 상에는 복수의 에어 분출구(88)만이 제공된다. 기판(G)은 로딩 영역(M1 영역) 상에서 대략 250 내지 350㎛ 범위의 부상 높이(Ha)로 부상한 상태에서 부상방식의 기판 이송 장치(84)에 의해 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)을 거쳐 코팅 영역(도 1b에 도시된 M3 영역) 상으로(즉, X 방향으로) 이송된다. 그 후, 기판(G)이 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)으로 진입하면서 그 부상 높이가 점차 낮아지고, 이어서 코팅 영역(M3 영역)으로 진입한다. 코팅 영역(M3 영역)에서는 기판(G)이 대략 50㎛의 코팅 높이(Hb)로 부상한 상태를 유지하면서 X축 방향으로 이송한다. 이러한 코팅 영역(M3 영역)에서는 노즐 장치(78)가 코팅액(R: 예를 들어 레지스트액)을 공급관(94)을 통해 공급받아 기판(G) 상에 도포한다. 그 후, 코팅액이 도포된 기판(G)은 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)으로 이송되며, 그 부상 높이가 점차 높아진다. 그 후, 기판(G)은 언로딩 영역(M5 영역)으로 진입하여, 대략 250 내지 350㎛ 범위의 부상 높이(Hc)로 부상한 상태에서 기판(G)은 흡착 패드(104)로부터 제공되는 진공 흡착이 해제된다. 그 후, 기판(G)은 언로딩 영역(M5 영역)의 스테이지(76) 하부에 제공되는 복수의 리프트핀(86)에 의해 상승된 후 로봇 암(미도시)에 의해 다음 공정 위치로 이송된다.
도 1e 및 도 1f는 각각 복수개의 플레이트가 연결된 코팅 영역 스테이지의 사시도를 도시하고 있다.
도 1e 및 도 1f를 참조하면, 종래 기술에 따른 코팅 영역 스테이지(176b)는 복수개의 플레이트(P1,P2,P3)가 기판(G)이 가로질러 이송되는 방향과 수직한 방향으로 1열로 연결되어 있거나(도 1e의 경우), 또는 복수개의 제 1 플레이트(P11,P21,P31) 및 복수개의 제 2 플레이트(P12,P22,P32)가 서로 이격된 상태로 기판(G)이 가로질러 이송되는 방향과 수직한 방향으로 2열로 연결되어 있다(도 1f 의 경우). 도 1f의 경우는 실제 코팅액이 도포되는 영역(C 영역)에서는 복수의 에어 분출구(188) 및 복수의 에어 흡입구(190)가 제공되어 있지 않는다는 점에 유의하여야 한다.
상술한 복수개의 플레이트(P1,P2,P3) 또는 복수개의 제 1 플레이트(P11,P21,P31) 및 복수개의 제 2 플레이트(P12,P22,P32)로 이루어진 코팅 영역 스테이지(176b)를 사용하는 경우, 종래 기술에 비해 미세한 사이즈의 복수의 에어 분출구(188) 및 복수의 에어 흡입구(190)를 정밀하게 가공 및 형성하는 것이 용이하다는 장점이 달성된다.
그러나, 상술한 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치(40)에서는 노즐 장치(78)가 부착된 갠트리(130)가 LM 가이드(96)를 따라 스테이지(76) 상에 고정 장착된 기판(G) 상을 이동하는 동안, 구동 장치(미도시)의 진동 등과 같은 외부적 원인에 의해 상하로 진동하여 노즐 장치(78)와 기판(G) 간의 코팅 높이가 일정하게 유지되지 않는다는 문제가 발생한다. 또한, 상술한 도 1b 내지 도 1f에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 코팅 장치(40)에서는 코팅 영역 스테이지(176b) 상에서 에어의 공급력 및 에어의 흡입력이 항상 일정하게 제공되는 것이 아니어서, 기판(G)의 상하 진동이 발생하여 노즐 장치(78)와 기판(G) 간의 코팅 높이가 일정하게 유지되지 않는다는 문제가 발생한다.
상술한 바와 같이 노즐 장치(78)와 기판(G) 간의 코팅 높이가 일정하게 유지되지 않는 경우, 기판(G) 상에 도포된 코팅액의 높이 차이 및 그에 따른 얼룩이 발생한다.
좀 더 구체적으로, 도 1g는 기판(G)과 노즐 장치 간의 코팅 높이에 따른 코팅액의 도포 상태 간의 관계를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1g를 참조하면, 기판(G)과 노즐 장치(78) 간의 코팅 높이가 낮은 경우(ha)에는 노즐 장치(78)로부터 기판(G) 상으로 토출되는 코팅액의 양이 적다. 반면에, 기판(G)과 노즐 장치(78) 간의 코팅 높이가 높은 경우(hb)에는 노즐 장치(78)로부터 기판(G)상으로 토출되는 코팅액의 양이 많다. 따라서, 복수개의 플레이트(P1,P2,P3) 또는 복수개의 제 1 플레이트(P11,P21,P31) 및 복수개의 제 2 플레이트(P12,P22,P32)의 높이 차이에 의해 기판(G)과 노즐 장치(78) 간의 코팅 높이가 균일하지 않으면, 기판(G) 상에 도포된 코팅액의 양이 달라져 코팅액의 두께의 균일성(uniformity)을 유지하는 것이 불가능하여 상술한 바와 같은 얼룩(즉, 코팅액의 도포 두께 차이)이 발생한다.
상술한 바와 같이 얼룩 발생으로 인하여 최종 제품의 코팅 품질이 저하되거나 또는 최종 제품의 불량 발생 가능성이 높아진다. 그 결과, 최종 제품의 제조 비용 및 시간이 증가되며, 생산성이 낮아진다.
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 평판 패널 디스플레이(FPD) 제조시 노즐 장치의 전방에 부착된 한 쌍의 센서를 이용하여 기판과 노즐 장치 간의 코팅 높이를 실시간으로 측정하고, 측정된 코팅 높이를 한 쌍의 미세 높이 조정 부재로 피드백하여 노즐 장치 또는 스테이지를 기준 코팅 높이로 조정함으로써, 코팅액이 기준 코팅 높이에서 도포되어 현저하게 개선된 코팅 품질을 보장할 수 있는 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 방법, 및 이를 구비한 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따르면, 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치에 있어서, 노즐 장치의 전방에 고정 장착되며, 스테이지 상에 위치되는 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서; 상기 한 쌍의 센서와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 제어장치; 및 상기 노즐 장치의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치로부터 상기 한 쌍의 차이값을 전송받아 상기 노즐 장치를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 특징에 따르면, 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치에 있어서, 노즐 장치의 전방에 고정 장착되며, 스테이지 상에 위치되는 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서; 상기 한 쌍의 센서와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차 이값을 산출하는 제어장치; 및 상기 스테이지의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치로부터 상기 한 쌍의 차이값을 전송받아 상기 스테이지를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 3 특징에 따르면, 코팅 장치에 있어서, 베이스 부재 상에 이동 가능하게 장착되는 스테이지; 상기 스테이지 상에 위치되는 기판 상에서 이동 가능하게 제공되는 갠트리; 상기 갠트리에 고정 장착되는 노즐 장치; 상기 노즐 장치의 전방에 고정 장착되며, 상기 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서; 상기 한 쌍의 센서와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 제어장치; 및 상기 노즐 장치의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치로부터 상기 한 쌍의 차이값을 전송받아 상기 노즐 장치를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 4 특징에 따르면, 코팅 장치에 있어서, 베이스 부재 상에 이동 가능하게 장착되는 스테이지; 상기 스테이지 상에 위치되는 기판 상에서 이동 가능하게 제공되는 갠트리; 상기 갠트리에 고정 장착되는 노즐 장치; 상기 노즐 장치의 전방에 고정 장착되며, 상기 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실 시간으로 측정하는 한 쌍의 센서; 상기 한 쌍의 센서와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 제어장치; 및 상기 스테이지의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치로부터 상기 한 쌍의 차이값을 전송받아 상기 스테이지를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 5 특징에 따르면, 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치에 있어서, 노즐 장치의 전방에 고정 장착되며, 코팅 영역 스테이지를 구성하는 복수개의 플레이트 상에 또는 복수개의 제 1 플레이트 및 복수개의 제 2 플레이트 상에 부상된 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서; 상기 한 쌍의 센서와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 제어장치; 및 상기 노즐 장치의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치로부터 상기 한 쌍의 차이값을 전송받아 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 6 특징에 따르면, 코팅 장치에 있어서, 베이스 부재에 의해 지지되며, 코팅 영역을 제공하는 코팅 영역 스테이지; 기판을 진공 흡착 방식으로 장 착으로 장착하여 이송하는 기판 이송 유닛; 상기 코팅 영역 스테이지 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치; 상기 노즐 장치가 장착되는 갠트리; 상기 노즐 장치의 전방에 고정 장착되며, 상기 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서; 상기 한 쌍의 센서와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 제어장치; 및 상기 노즐 장치의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치로부터 상기 한 쌍의 차이값을 전송받아 상기 노즐 장치를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 7 특징에 따르면, 코팅 장치의 코팅 높이 조정 방법에 있어서, a) 노즐 장치의 전방에 고정 장착되는 한 쌍의 센서를 이용하여 스테이지 상에 위치되는 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 단계; b) 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 제어장치로 전송하는 단계; c) 상기 제어장치가 상기 한 쌍의 코팅 높이와 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 단계; d) 상기 제어장치가 상기 한 쌍의 차이값을 상기 노즐 장치 또는 상기 스테이지의 측면에 장착되는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재로 전송하는 단계; 및 e) 상기 한 쌍의 미세 높이 조정 부재가 상기 노즐 장치 또는 상기 스테이지를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 8 특징에 따르면, 코팅 장치의 코팅 높이 조정 방법에 있어서, a) 노즐 장치의 전방에 고정 장착되는 한 쌍의 센서를 이용하여 코팅 영역 스테이지를 구성하는 복수개의 플레이트 상에 또는 복수개의 제 1 플레이트 및 복수개의 제 2 플레이트 상에 부상된 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 단계; b) 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 제어장치로 전송하는 단계; c) 상기 제어장치가 상기 한 쌍의 코팅 높이와 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 단계; d) 상기 제어장치가 상기 한 쌍의 차이값을 상기 노즐 장치의 측면에 장착되는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재로 전송하는 단계; 및 e) 상기 한 쌍의 미세 높이 조정 부재가 상기 노즐 장치를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 방법, 및 이를 구비한 코팅 장치에서는 다음과 같은 장점이 달성된다.
1. 기판(G)과 노즐 장치 간의 코팅 높이가 일정하게 유지되므로, 코팅액의 도포량도 일정하게 유지되어 코팅 품질이 현저하게 개선된다.
2. 코팅 장치의 종류(즉, 도 1a에 도시된 종래 기술의 코팅 장치(40) 및 도 1b 내지 도 1f에 도시된 종래 기술의 부상 방식의 코팅 장치(40))에 무관하게 모두 적용이 가능하므로, 응용 범위(application range)가 넓다.
3. 코팅액의 도포 두께 차이(즉, 얼룩 발생)가 최소화되므로 최종 제품의 불량 발생 가능성도 최소화된다.
4. 최종 제품의 제조 비용 및 시간이 상당히 감소되므로 생산성이 높아진다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
도 2a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 측면도이고, 도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치는 노즐 장치(278)의 전방에 고정 장착되며, 스테이지(276) 상에 위치되는 기판(G)과 상기 노즐 장치(278) 간의 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서(220); 상기 한 쌍의 센서(220)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서(220)에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이(H) 간의 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 산출하는 제어장치(224); 및 상기 노즐 장치(278)의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치(224)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치(224)로부터 상기 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 전송받아 상기 노즐 장치(278)를 상 하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 상기 기준 코팅 높이(H)로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)를 포함한다.
또한, 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예의 의 대안적인 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치는 노즐 장치(278)의 전방에 고정 장착되며, 스테이지(276) 상에 위치되는 기판(G)과 상기 노즐 장치(278) 간의 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서(220); 상기 한 쌍의 센서(220)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서(220)에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이(H) 간의 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 산출하는 제어장치(224); 및 상기 스테이지(276)의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치(224)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치(224)로부터 상기 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 전송받아 상기 스테이지(276)를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 상기 기준 코팅 높이(H)로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)를 포함한다. 도 2b에는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)가 노즐 장치(278)의 측면에 장착되는 것으로 도시되어 있지만, 당업자라면 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)가 스테이지(276)의 측면에 장착될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
한편, 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치(240)는 베이스 부재(B) 상에 이동 가능하게 장착되는 스테이지(276); 상기 스테이지(276) 상에 위치되는 기판(G) 상에서 이동 가능하게 제공되는 갠트리(230); 상기 갠트리(230)에 고정 장착되는 노즐 장치(278); 상기 노즐 장치(278)의 전방에 고정 장착되며, 상기 기판(G)과 상기 노즐 장치(278) 간의 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서(220); 상기 한 쌍의 센서(220)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서(220)에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이(H) 간의 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 산출하는 제어장치(224); 및 상기 노즐 장치(278)의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치(224)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치(224)로부터 상기 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 전송받아 상기 노즐 장치(278)를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 상기 기준 코팅 높이(H)로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)를 포함한다.
또한, 도 2a를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예의 대안적인 실시예에 따른 코팅 장치(240)는 베이스 부재(B) 상에 이동 가능하게 장착되는 스테이지(276); 상기 스테이지(276) 상에 위치되는 기판(G) 상에서 이동 가능하게 제공되는 갠트리(230); 상기 갠트리(230)에 고정 장착되는 노즐 장치(278); 상기 노즐 장치(278)의 전방에 고정 장착되며, 상기 기판(G)과 상기 노즐 장치(278) 간의 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서(220); 상기 한 쌍의 센서(220)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서(220)에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이(H) 간의 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 산출하는 제어장치(224); 및 상기 스테이지(276)의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치(224)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치(224)로부터 상기 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 전송받아 상기 스테이지(276) 를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 상기 기준 코팅 높이(H)로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)를 포함한다.
상기 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 이를 구비한 코팅 장치(240), 및 그 대안적인 실시예에서, 코팅 높이 조정 장치 및 코팅 장치(240)는 각각 상기 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 단독으로 디스플레이하거나 또는 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2), 상기 기준 코팅 높이(H), 및 상기 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 동시에 디스플레이하는 모니터링 장치(226)를 추가로 포함할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 도 2a 및 도 2b에 도시된 제 1 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 각 구성요소 및 동작을 상세히 기술한다.
다시 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치는 한 쌍의 센서(220), 제어장치(224); 및 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)로 구성된다. 한 쌍의 센서(220)는 노즐 장치(278)의 전방에 고정 장착되며, 스테이지(276) 상에 위치되는 기판(G)과 상기 노즐 장치(278) 간의 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 실시간으로 측정한다. 측정된 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)는 제어장치(224)로 전송된다. 한 쌍의 센서(220)와 제어장치(224)는 상호 유선 또는 무선 방식으로 연결되어 있다. 제어장치(224)는 예를 들어 마이크로프로세서(microprocessor) 또는 퍼스널 컴퓨터(PC)로 구현될 수 있다. 또한, 모니터링 장치(226)는 예를 들어 스크린 또는 터치스크린(touch screen) 등과 같은 디 스플레이 장치로 구현될 수 있다.
한편, 제어장치(224)는 한 쌍의 센서(220)에 의해 측정된 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)와 기준 코팅 높이(H) 간의 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 산출한다. 여기서, 차이값(A1) = 기준 코팅 높이(H) - 코팅 높이(h1)이고, 차이값(A2) = 기준 코팅 높이(H) - 코팅 높이(h2)이다. 이를 위해 제어장치(224) 내에는 기준 코팅 높이(H)가 미리 프로그래밍되어 있다. 제어장치(224)에 의해 산출된 한 쌍의 차이값(A1/A2)은 각각 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)로 전송(또는 피드백)된다. 이를 위해, 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)는 제어장치(224)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되어 있다. 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)는 각각 예를 들어 피에조 액추에이터(piezo actuator)로 구현될 수 있다. 이러한 피에조 액추에이터(piezo actuator)는 압전 세라믹을 이용하는 것으로 압전 세라믹은 인가된 전류 또는 전압에 따라 수축 및 팽창하는 성질을 이용한 장치이다. 피에조 액추에이터(piezo actuator)로 구현되는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)는 각각 서브 미크론(submicron)(미크론 이하를 의미하는 것으로, 예를 들어, 대략 0.01 내지 0.1㎛ = 10 내지 100 나노미터) 정도의 정밀도로 미세한 높이 조정이 가능하다. 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)는 노즐 장치(278)가 장착된 갠트리(230)의 측면 또는 기판(G)이 위치된 스테이지(276)의 측면에 장착될 수 있다. 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)가 노즐 장치(278)의 측면에 장착되는 경우, 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)는 상술한 한 쌍의 차이값(A1/A2)에 기초하여 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)가 기준 코팅 높이(H)와 일치하도록 노즐 장치(278)의 높이를 실시간으로 상하로 이동시킨다. 또한, 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)가 스테이지(276)의 측면에 장착되는 경우, 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)는 상술한 한 쌍의 차이값(A1/A2)에 기초하여 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)가 기준 코팅 높이(H)와 일치하도록 스테이지(276)의 높이를 실시간으로 상하로 이동시킨다. 이러한 방식으로 기판(G)과 노즐 장치(278) 간의 코팅 높이가 일정하게 유지될 수 있다.
도 2c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 측면도이고, 도 2d는 도 2c에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 높이 조정 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 일 실시예에서 코팅 영역 스테이지가 평면도로 도시된 도면이며, 도 2e는 도 2c에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 높이 조정 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 또 다른 실시예에서 코팅 영역 스테이지가 평면도로 도시된 도면이다.
도 2c 내지 도 2e를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치는 노즐 장치(278)의 전방에 고정 장착되며, 코팅 영역 스테이지(276b)를 구성하는 복수개의 플레이트(P1,P2,P3) 상에(도 2d의 경우) 또는 복수개의 제 1 플레이트(P11,P21,P31) 및 복수개의 제 2 플레이트(P12,P22,P32) 상에(도 2e의 경우) 부상된 기판(G)과 상기 노즐 장치(278) 간의 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서(220); 상기 한 쌍의 센서(220)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서(220)에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이(H) 간의 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 산출하는 제어장치(224); 및 상기 노즐 장치(278)의 측면 에 장착되고 또한 상기 제어장치(224)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치(224)로부터 상기 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 전송받아 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 상기 기준 코팅 높이(H)로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)를 포함한다.
한편, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 장치(240)는 베이스 부재(B)에 의해 지지되며, 코팅 영역을 제공하는 코팅 영역 스테이지(276b); 기판(G)을 진공 흡착 방식으로 장착으로 장착하여 이송하는 기판 이송 유닛(미도시); 상기 코팅 영역 스테이지(276b) 상에 제공되며, 상기 기판(G) 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치(278); 상기 노즐 장치(278)가 장착되는 갠트리(230); 상기 노즐 장치(278)의 전방에 고정 장착되며, 상기 기판(G)과 상기 노즐 장치(278) 간의 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서(220); 상기 한 쌍의 센서(220)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서(220)에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이(H) 간의 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 산출하는 제어장치(224); 및 상기 노즐 장치(278)의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치(224)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치(224)로부터 상기 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 전송받아 상기 노즐 장치(278)를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 상기 기준 코팅 높이(H)로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)를 포함한다.
상술한 도 2c 내지 도 2e의 실시예에서, 참조부호 221은 코팅 영역 스테이지(276b)를 구성하는 복수개의 플레이트(P1,P2,P3), 또는 복수개의 제 1 플레이 트(P11,P21,P31) 및 복수개의 제 2 플레이트(P21,P22,P23) 각각의 하부에 장착되며, 복수개의 플레이트(P1,P2,P3), 또는 복수개의 제 1 플레이트(P11,P21,P31) 및 상기 복수개의 제 2 플레이트(P21,P22,P23)의 높이를 조정하는 복수개의 플레이트 높이 조정 부재를 나타낸다. 복수개의 플레이트(P1,P2,P3), 또는 복수개의 제 1 플레이트(P11,P21,P31) 및 복수개의 제 2 플레이트(P21,P22,P23)의 높이 조정은 상술한 복수개의 플레이트 높이 조정 부재(221)를 각각 수동 방식으로 조절함으로써 이루어진다.
상기 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 이를 구비한 코팅 장치(240), 및 그 대안적인 실시예에서, 코팅 높이 조정 장치 및 코팅 장치(240)는 각각 상기 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 단독으로 디스플레이하거나 또는 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2), 상기 기준 코팅 높이(H), 및 상기 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 동시에 디스플레이하는 모니터링 장치(226)를 추가로 포함할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 도 2c 내지 도 2e에 도시된 제 2 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 각 구성요소 및 동작을 상세히 기술한다.
다시 도 2c 내지 도 2e를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치는 한 쌍의 센서(220), 제어장치(224); 및 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)로 구성된다. 한 쌍의 센서(220)는 노즐 장치(278)의 측면에 고정 장착되며, 코팅 영역 스테이지(276b)를 구성하는 복수개의 플레이 트(P1,P2,P3) 상에(도 2d의 경우) 또는 복수개의 제 1 플레이트(P11,P21,P31) 및 복수개의 제 2 플레이트(P12,P22,P32) 상에(도 2e의 경우) 부상된 기판(G)과 노즐 장치(278) 간의 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 실시간으로 측정한다. 측정된 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)는 제어장치(224)로 전송된다. 한 쌍의 센서(220)와 제어장치(224)는 상호 유선 또는 무선 방식으로 연결되어 있다. 제어장치(224)는 예를 들어 마이크로프로세서(microprocessor) 또는 퍼스널 컴퓨터(PC)로 구현될 수 있다. 또한, 모니터링 장치(226)는 예를 들어 스크린 또는 터치스크린(touch screen) 등과 같은 디스플레이 장치로 구현될 수 있다.
한편, 제어장치(224)는 한 쌍의 센서(220)에 의해 측정된 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)와 기준 코팅 높이(H) 간의 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 산출한다. 이를 위해 제어장치(224) 내에는 기준 코팅 높이(H)가 미리 프로그래밍되어 있다. 제어장치(224)에 의해 산출된 한 쌍의 차이값(A1/A2)은 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)로 전송(또는 피드백)된다. 이를 위해, 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)는 제어장치(224)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되어 있다. 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)는 각각 예를 들어 피에조 액추에이터(piezo actuator)로 구현될 수 있다. 본 발명의 제 2 실시예에서 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)는 노즐 장치(278)의 측면에 장착된다. 따라서, 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)는 상술한 한 쌍의 차이값(A1/A2)에 기초하여 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)가 기준 코팅 높이(H)와 일치하도록 노즐 장치(278)의 높이를 실시간으로 상하로 이동시킨다. 이러한 방식으로 기판(G)과 노즐 장치 간의 코팅 높이가 일정하게 유지될 수 있다.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 3a를 도 2a와 함께 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 방법(300)은 a) 노즐 장치(278)의 전방에 고정 장착되는 한 쌍의 센서(220)를 이용하여 스테이지(276) 상에 위치되는 기판(G)과 상기 노즐 장치(278) 간의 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 실시간으로 측정하는 단계(310); b) 상기 한 쌍의 센서(220)에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 제어장치(224)로 전송하는 단계(320); c) 상기 제어장치(224)가 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)와 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이(H) 간의 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 산출하는 단계(330); d) 상기 제어장치(224)가 상기 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 상기 노즐 장치(278) 또는 상기 스테이지(276)의 측면에 장착되는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)로 전송하는 단계(340); 및 e) 상기 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)가 상기 노즐 장치(278) 또는 상기 스테이지(276)를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 상기 기준 코팅 높이(H)로 실시간으로 조정하는 단계(350)를 포함한다.
도 3b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 3b를 도 2b 내지 도 2d와 함께 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 방법(300)은 a) 노즐 장치(278)의 전방에 고정 장착되는 한 쌍의 센서(220)를 이용하여 코팅 영역 스테이지(276b)를 구성하는 복수개의 플레이트(P1,P2,P3) 상에 또는 복수개의 제 1 플레이트(P11,P21,P31) 및 복수개의 제 2 플레이트(P12,P22,P32) 상에 부상된 기판(G)과 상기 노즐 장치(278) 간의 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 실시간으로 측정하는 단계(310); b) 상기 한 쌍의 센서(220)에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 제어장치(224)로 전송하는 단계(320); c) 상기 제어장치(224)가 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)와 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이(H) 간의 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 산출하는 단계(330); d) 상기 제어장치(224)가 상기 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 상기 노즐 장치(230)의 측면에 장착되는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)로 전송하는 단계(340); 및 e) 상기 한 쌍의 미세 높이 조정 부재(222)가 상기 노즐 장치(278)를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2)를 상기 기준 코팅 높이(H)로 실시간으로 조정하는 단계(350)를 포함한다.
상술한 도 3a 및 도 3b의 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 방법(300)은 f) 상기 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 단독으로 디스플레이하거나 또는 상기 한 쌍의 코팅 높이(h1/h2), 상기 기준 코팅 높이(H), 및 상기 한 쌍의 차이값(A1/A2)을 동시에 디스플레이하는 단계(360)를 추가로 포함할 수 있다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
도 1a는 종래 기술에 따른 코팅 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 1b는 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 사시도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1c는 도 1b에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1d는 종래 기술의 부상방식의 기판 이송 장치의 로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역에서의 에어 분출구 및 에어 흡입구의 배열 패턴의 일부를 도시한 도면이다.
도 1e 및 도 1f는 각각 복수개의 플레이트가 연결된 코팅 영역 스테이지의 사시도를 도시한 도면이다.
도 1g는 기판(G)과 노즐 장치 간의 코팅 높이에 따른 코팅액의 도포 상태 간의 관계를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치 및 이를 구비한 코팅 장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 2d는 도 2c에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 높이 조정 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 일 실시예에서 코팅 영역 스테이지가 평면도로 도시된 도면이다.
도 2e는 도 2c에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 높이 조정 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 또 다른 실시예에서 코팅 영역 스테이지가 평면도로 도시된 도면이다.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 3b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 코팅 장치의 코팅 높이 조정 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.

Claims (25)

  1. 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치에 있어서,
    노즐 장치의 전방에 고정 장착되며, 스테이지 상에 위치되는 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서;
    상기 한 쌍의 센서와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 제어장치; 및
    상기 노즐 장치의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치로부터 상기 한 쌍의 차이값을 전송받아 상기 노즐 장치를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재
    를 포함하는 코팅 높이 조정 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 코팅 높이 조정 장치는 상기 한 쌍의 차이값을 단독으로 디스플레이하거나 또는 상기 한 쌍의 코팅 높이, 상기 기준 코팅 높이, 및 상기 한 쌍의 차이값을 동시에 디스플레이하는 모니터링 장치를 추가로 포함하는 코팅 높이 조정 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 미세 높이 조정 부재는 각각 피에조 액추에이터(piezo actuator)로 구현되는 코팅 높이 조정 장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어장치는 마이크로프로세서(microprocessor) 또는 퍼스널 컴퓨터(PC)로 구현되는
    코팅 높이 조정 장치.
  5. 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치에 있어서,
    노즐 장치의 전방에 고정 장착되며, 스테이지 상에 위치되는 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서;
    상기 한 쌍의 센서와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 제어장치; 및
    상기 스테이지의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치로부터 상기 한 쌍의 차이값을 전송받아 상기 스테이지를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재
    를 포함하는 코팅 높이 조정 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 코팅 높이 조정 장치는 상기 한 쌍의 차이값을 단독으로 디스플레이하거나 또는 상기 한 쌍의 코팅 높이, 상기 기준 코팅 높이, 및 상기 한 쌍의 차이값을 동시에 디스플레이하는 모니터링 장치를 추가로 포함하는 코팅 높이 조정 장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 한 쌍의 미세 높이 조정 부재는 각각 피에조 액추에이터(piezo actuator)로 구현되는 코팅 높이 조정 장치.
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 한 쌍의 미세 높이 조정 부재는 서브 미크론(submicron) 정도의 정밀도로 미세한 높이 조정이 가능한 코팅 높이 조정 장치.
  9. 제 5항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어장치는 마이크로프로세서(microprocessor) 또는 퍼스널 컴퓨터(PC)로 구현되는
    코팅 높이 조정 장치.
  10. 코팅 장치에 있어서,
    베이스 부재 상에 이동 가능하게 장착되는 스테이지;
    상기 스테이지 상에 위치되는 기판 상에서 이동 가능하게 제공되는 갠트리;
    상기 갠트리에 고정 장착되는 노즐 장치;
    상기 노즐 장치의 전방에 고정 장착되며, 상기 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서;
    상기 한 쌍의 센서와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 제어장치; 및
    상기 노즐 장치의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치로부터 상기 한 쌍의 차이값을 전송받아 상기 노즐 장치를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재
    를 포함하는 코팅 장치.
  11. 코팅 장치에 있어서,
    베이스 부재 상에 이동 가능하게 장착되는 스테이지;
    상기 스테이지 상에 위치되는 기판 상에서 이동 가능하게 제공되는 갠트리;
    상기 갠트리에 고정 장착되는 노즐 장치;
    상기 노즐 장치의 전방에 고정 장착되며, 상기 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서;
    상기 한 쌍의 센서와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 제어장치; 및
    상기 스테이지의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치로부터 상기 한 쌍의 차이값을 전송받아 상기 스테이지를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재
    를 포함하는 코팅 장치.
  12. 제 10항 또는 제 11항에 있어서,
    상기 코팅 높이 조정 장치는 상기 한 쌍의 차이값을 단독으로 디스플레이하거나 또는 상기 한 쌍의 코팅 높이, 상기 기준 코팅 높이, 및 상기 한 쌍의 차이값을 동시에 디스플레이하는 모니터링 장치를 추가로 포함하는 코팅 장치.
  13. 제 10항 또는 제 11항에 있어서,
    상기 한 쌍의 미세 높이 조정 부재는 각각 피에조 액추에이터(piezo actuator)로 구현되는 코팅 장치.
  14. 제 10항 또는 제 11항에 있어서,
    상기 제어장치는 마이크로프로세서(microprocessor) 또는 퍼스널 컴퓨터(PC)로 구현되는
    코팅 장치.
  15. 코팅 장치의 코팅 높이 조정 장치에 있어서,
    노즐 장치의 전방에 고정 장착되며, 코팅 영역 스테이지를 구성하는 복수개의 플레이트 상에 또는 복수개의 제 1 플레이트 및 복수개의 제 2 플레이트 상에 부상된 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서;
    상기 한 쌍의 센서와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 제어장치; 및
    상기 노즐 장치의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치로부터 상기 한 쌍의 차이값을 전송받아 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재
    를 포함하는 코팅 높이 조정 장치.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 코팅 높이 조정 장치는 상기 한 쌍의 차이값을 단독으로 디스플레이하거나 또는 상기 한 쌍의 코팅 높이, 상기 기준 코팅 높이, 및 상기 한 쌍의 차이값을 동시에 디스플레이하는 모니터링 장치를 추가로 포함하는 코팅 높이 조정 장치.
  17. 제 15항에 있어서,
    상기 한 쌍의 미세 높이 조정 부재는 각각 피에조 액추에이터(piezo actuator)로 구현되는 코팅 높이 조정 장치.
  18. 제 15항 내지 제 17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어장치는 마이크로프로세서(microprocessor) 또는 퍼스널 컴퓨터(PC)로 구현되는
    코팅 높이 조정 장치.
  19. 코팅 장치에 있어서,
    베이스 부재에 의해 지지되며, 코팅 영역을 제공하는 코팅 영역 스테이지;
    기판을 진공 흡착 방식으로 장착으로 장착하여 이송하는 기판 이송 유닛;
    상기 코팅 영역 스테이지 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치;
    상기 노즐 장치가 장착되는 갠트리;
    상기 노즐 장치의 전방에 고정 장착되며, 상기 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 한 쌍의 센서;
    상기 한 쌍의 센서와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 수신하여 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 제어장치; 및
    상기 노즐 장치의 측면에 장착되고 또한 상기 제어장치와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 제어장치로부터 상기 한 쌍의 차이값을 전송받아 상기 노즐 장치를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재
    를 포함하는 코팅 장치.
  20. 제 19항에 있어서,
    상기 코팅 높이 조정 장치는 상기 한 쌍의 차이값을 단독으로 디스플레이하거나 또는 상기 한 쌍의 코팅 높이, 상기 기준 코팅 높이, 및 상기 한 쌍의 차이값을 동시에 디스플레이하는 모니터링 장치를 추가로 포함하는 코팅 장치.
  21. 제 19항에 있어서,
    상기 한 쌍의 미세 높이 조정 부재는 각각 피에조 액추에이터(piezo actuator)로 구현되는 코팅 장치.
  22. 제 19항 내지 제 21항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어장치는 마이크로프로세서(microprocessor) 또는 퍼스널 컴퓨터(PC)로 구현되는
    코팅 장치.
  23. 코팅 장치의 코팅 높이 조정 방법에 있어서,
    a) 노즐 장치의 전방에 고정 장착되는 한 쌍의 센서를 이용하여 스테이지 상에 위치되는 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 단계;
    b) 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 제어장치로 전송하는 단계;
    c) 상기 제어장치가 상기 한 쌍의 코팅 높이와 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 단계;
    d) 상기 제어장치가 상기 한 쌍의 차이값을 상기 노즐 장치 또는 상기 스테 이지의 측면에 장착되는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재로 전송하는 단계; 및
    e) 상기 한 쌍의 미세 높이 조정 부재가 상기 노즐 장치 또는 상기 스테이지를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 단계
    를 포함하는 코팅 장치의 코팅 높이 조정 방법.
  24. 코팅 장치의 코팅 높이 조정 방법에 있어서,
    a) 노즐 장치의 전방에 고정 장착되는 한 쌍의 센서를 이용하여 코팅 영역 스테이지를 구성하는 복수개의 플레이트 상에 또는 복수개의 제 1 플레이트 및 복수개의 제 2 플레이트 상에 부상된 기판과 상기 노즐 장치 간의 한 쌍의 코팅 높이를 실시간으로 측정하는 단계;
    b) 상기 한 쌍의 센서에 의해 측정된 상기 한 쌍의 코팅 높이를 제어장치로 전송하는 단계;
    c) 상기 제어장치가 상기 한 쌍의 코팅 높이와 미리 프로그래밍된 기준 코팅 높이 간의 한 쌍의 차이값을 산출하는 단계;
    d) 상기 제어장치가 상기 한 쌍의 차이값을 상기 노즐 장치의 측면에 장착되는 한 쌍의 미세 높이 조정 부재로 전송하는 단계; 및
    e) 상기 한 쌍의 미세 높이 조정 부재가 상기 노즐 장치를 상하로 이동하여 상기 한 쌍의 코팅 높이를 상기 기준 코팅 높이로 실시간으로 조정하는 단계
    를 포함하는 코팅 장치의 코팅 높이 조정 방법.
  25. 제 23항 또는 제 24항에 있어서,
    상기 코팅 장치의 코팅 높이 조정 방법이 f) 상기 한 쌍의 차이값을 단독으로 디스플레이하거나 또는 상기 한 쌍의 코팅 높이, 상기 기준 코팅 높이, 및 상기 한 쌍의 차이값을 동시에 디스플레이하는 단계를 추가로 포함하는 코팅 장치의 코팅 높이 조정 방법.
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