CN116330859A - 引导装置、工件输送工作台及喷墨印刷装置 - Google Patents

Abstract

提高可动部行进精度、实现轻量化的引导装置、工件输送工作台及喷墨印刷装置。引导装置具备基台、配置于基台上的第一、第二引导构件、沿着第一、第二引导构件移动的可动部、将可动部支承为能够移动的空气轴承部，可动部具备可动体、从可动体向下方延伸且将第一引导构件在该第一引导构件的宽度方向上夹着的第一、第二轴承支承构件，空气轴承部包括将可动部在宽度方向上支承于第一引导构件且配置于第一、第二轴承支承构件的第一、第二宽度方向空气轴承部、以及将可动部在上下方向上支承于第一引导构件且配置于可动体的第一上浮空气轴承部，可动体形成为包含第一、第二轴承支承构件及第一上浮空气轴承部的配置位置在内的厚壁部的厚度比其他部位厚。

Description

引导装置、工件输送工作台及喷墨印刷装置

技术领域

本公开涉及引导装置、工件输送工作台及喷墨印刷装置。

背景技术

近年来，使用喷墨印刷装置来制造器件的方法受到注目。喷墨印刷装置具有进行液滴喷出的多个喷嘴，一边控制喷嘴与印刷对象物之间的位置关系一边从喷嘴喷出液滴，由此向印刷对象物涂布液滴。

作为这种喷墨印刷装置之一，已知有具备多个行式头的印刷装置。各行式头具备沿着印刷对象物的宽度方向并列设置的多个喷墨头。各喷墨头是具有多个喷出口的液滴喷头。通过将这样的多个行式头沿着与主扫描方向在同一水平面内正交的方向即副扫描方向上排列配置，能够对于宽度大的印刷对象物通过1次的输送工序而总体涂布墨。而且，通过将在副扫描方向上并列设置有多个喷墨头的多个行式头也在主扫描方向上排列配置，能够将例如颜色不同等的多种墨在1次的输送工序的期间总体地向印刷对象物涂布。根据这样的结构，例如对于G4尺寸(680mm×880mm)以上的大型的印刷对象物，也能够通过1次的输送工序来总体地涂布多种墨，因此能够减少向印刷对象物涂布墨的生产节拍。而且，存在为了容易使墨涂布后的干燥条件等均匀而例如能够对墨膜厚均匀地进行控制等印刷工艺上的优点。

然而，近年来，为了生产率的提高，要求印刷对象物的进一步的大型化。另一方面，也强烈要求显示器面板的高精细化，其结果是，要求的印刷位置的精度日益提高。因此，需要大型且行进精度高的工件输送工作台。作为响应该要求的一个结构，存在使用了具有空气轴承的引导装置的工件输送工作台。如图17所示那样，引导装置900具备基台901、引导构件902及可动部903。在基台901的左右方向(图17中的左右方向)两侧分别固定有沿着可动部903的引导方向(图17中的前后方向)延伸的引导构件902。在构成可动部903的可动体904的左右方向两侧，分别固定有轴承支承构件905。各轴承支承构件905构成为支承位于各引导构件902的外侧(右侧的引导构件902的右侧、左侧的引导构件902的左侧)的水平方向静压空气轴承906、以及位于各引导构件902的下侧的下侧静压空气轴承907。在可动部903中的与各下侧静压空气轴承907对应的位置，分别配置有上侧静压空气轴承908。

然而，在图17所示那样的引导装置900中，为了提高可动部903的行进再现性，需要提高各静压空气轴承906、907、908的轴承刚性。为了提高这样的轴承刚性，需要将静压空气轴承的轴承间隙(各静压空气轴承906、907、908和引导构件902中的与各静压空气轴承906、907、908对置的部位之间的间隙)保持为几微米～十几微米程度。另一方面，当可动部903变大而2根引导构件902的距离变远时，由于引导构件902的热膨胀等的影响，有可能难以精密地保持与各引导构件902的侧面对置配置的水平方向静压空气轴承906的轴承间隙。例如，有可能轴承间隙消失、水平方向静压空气轴承906破损。于是，研究解决这样的问题的方法(例如专利文献1)。

在专利文献1所述的引导装置中，在基台上的基准面固定有沿着可动部的引导方向延伸的1根引导构件。在可动部的可动体的下侧，固定有与引导构件的两侧面分别对置的2个对置部。在2个对置部中的与引导构件的各侧面对置的位置配置有水平方向静压空气轴承。而且，在可动体的下侧，以与2个对置部排列的方式固定有第二对置部。在2个对置部中的外侧的对置部(距第二对置部远的一侧的对置部)的下表面、以及第二对置部的下表面，分别配置有上下方向静压空气轴承。而且，在外侧的对置部的外侧(不存在另一个对置部(内侧的对置部)的一侧)和第二对置部的外侧(不存在内侧的对置部的一侧)，分别配置有以非接触状态将可动体朝向基台吸引的吸引力产生机构。根据这样的结构，能够将与引导构件的两侧面分别对置的水平方向静压空气轴承的距离保持得小，因此不容易受到引导构件的热膨胀的影响，即便工件输送工作台大型化，也能够精密地保持轴承间隙。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：专利第4270192号公报

发明内容

本公开的一方案的引导装置具备基台、在所述基台上沿着引导方向延伸的第一引导构件及第二引导构件、沿着所述第一引导构件及所述第二引导构件移动的可动部、以及将所述可动部支承为能够移动的空气轴承部，所述可动部具备位于所述第一引导构件及第二引导构件上的板状的可动体、以及从所述可动体向下方延伸且将所述第一引导构件在宽度方向上夹着的第一轴承支承构件及第二轴承支承构件，所述空气轴承部包括：第一宽度方向空气轴承部及第二宽度方向空气轴承部，它们将所述可动部在所述宽度方向上支承于所述第一引导构件，且分别配置于所述第一轴承支承构件及所述第二轴承支承构件；以及第一上浮空气轴承部，其将所述可动部在上下方向上支承于所述第一引导构件，且配置于所述可动体，所述可动体形成为，包含所述第一轴承支承构件、所述第二轴承支承构件及所述第一上浮空气轴承部的配置位置在内的厚壁部的厚度比其他部位的厚度厚。

附图说明

图1是第一实施方式的引导装置的主视图。

图2是沿着图1的A-A线的剖视图。

图3是构成第一实施方式的引导装置的可动部的侧视图。

图4是从斜下方观察第一实施方式的可动部时的立体图。

图5是第一实施方式的引导装置的侧视图。

图6是第一实施方式的引导装置的俯视图。

图7是从斜下方观察构成第一实施方式的可动部的可动体时的立体图。

图8是说明比较例的可动部中的可动体的厚度均匀且薄的情况下的变形状态的图。

图9是第二实施方式的喷墨印刷装置的侧视图。

图10是第二实施方式的喷墨印刷装置的主视图。

图11是第二实施方式的喷墨印刷装置的俯视图。

图12是沿着图9的B-B线的剖视图。

图13是第二实施方式的显示器面板的俯视图。

图14是表示第二实施方式的喷墨印刷装置和用于对喷墨印刷装置进行温度控制的调温室的俯视图。

图15是表示第二实施方式的喷墨印刷装置和用于对喷墨印刷装置进行温度控制的调温室的侧视图。

图16是变形例的引导装置的主视图。

图17是以往的引导装置的说明图。

附图标记说明：

1喷墨印刷装置

2架台

3、901基台

3A基台穿孔

4线性马达固定杆

5校平块

6、902引导构件

6L左引导构件(第一引导构件)

6R右引导构件(第二引导构件)

6LP左引导突出部(第一突出部)

6RP右引导突出部(第二突出部)

7显示器面板

7B蓝色像素

7P基板

7G绿色像素

7L墨槽

7m对准标记

7R红色像素

8调整底脚

10基板对准机构

12第一微动机构

13第二微动机构

14第三微动机构

15工件保持台

20、90、903可动部

21、91、904可动体

21A厚壁部

21Aa左厚壁部(第一厚壁部)

21Ab右厚壁部(第二厚壁部)

21 B薄壁部

21 C凹部

21D可动体穿孔

22L左空气轴承支承构件(第一轴承支承构件)

22R右空气轴承支承构件(第三轴承支承构件)

23内侧空气轴承支承构件(第二轴承支承构件)

24空气轴承部

25L左宽度方向空气轴承部(第一宽度方向空气轴承部)

25R右宽度方向空气轴承部(第二宽度方向空气轴承部)

26上浮空气轴承部

26L左上浮空气轴承部(第一上浮空气轴承部)

26R右上浮空气轴承部(第二上浮空气轴承部)

27L左上下方向空气轴承部(第一上下方向空气轴承部)

27La上侧的左上下方向空气轴承部(第一上下方向空气轴承部)

27Lb下侧的左上下方向空气轴承部(第一上下方向空气轴承部)

27R右上下方向空气轴承部(第二上下方向空气轴承部)

27Ra上侧的右上下方向空气轴承部(第二上下方向空气轴承部)

27Rb下侧的右上下方向空气轴承部(第二上下方向空气轴承部)

30工件输送工作台

30a工件送入位置

30b印刷待机位置

40B第三头设备

40G第二头设备

40R第一头设备

41a第一台架

41b第二台架

42台架基座

43液滴位置计测相机

50线性马达

51线性马达定子

52线性马达转子

60线性标尺

61线性标尺主体

62线性标尺读取头

63读取头托架

71屋室

72a第一调温区域

72b第二调温区域

72c第三调温区域

73a第一空调机

73b第二空调机

73c第三空调机

100、900引导装置

221L左垂直部

222L左水平部

221R右垂直部

222R右水平部

905轴承支承构件

906水平方向静压空气轴承

907下侧静压空气轴承

908上侧静压空气轴承。

具体实施方式

根据专利文献1所记载那样的结构，除了基台的基准面中的安装引导构件的部位以外，关于与上下方向静压空气轴承对置的部位，为了上下方向静压空气轴承在该部位上通过而也需要高精度的平面，不能在基台形成轻量化用的穿孔。而且，需要在基台的两侧设置吸引力产生机构的空间，因此俯视下的基台的面积变大。

另外，在可动体薄的情况下，在可动体被施加了绕垂线的力矩时，有可能可动体中的固定有对置部的部位变形，可动部的行进精度变低。为了解决这样的问题，考虑加厚可动体而提高该可动体的力矩刚性，但可动部变重，为了支承该重量需要也加厚基台。

在专利文献1所记载那样的结构中，配合如上述那样难以在基台形成穿孔、基台的面积变大而引导装置整体变重，伴随于此需要提高设置场所的耐载荷，存在引起建筑房屋的成本上升这样的问题。

本公开的目的在于，提供能够提高可动部的行进精度、且能够实现装置整体的轻量化的引导装置、工件输送工作台及喷墨印刷装置。

[实施方式]

以下，关于本公开的实施方式，一边参照附图一边进行说明。

＜第一实施方式>

首先，说明第一实施方式。图1是引导装置的主视图。图2是沿着图1的A-A线的剖视图。图3是构成引导装置的可动部的侧视图。图4是从斜下方观察可动部时的立体图。图5是引导装置的侧视图。图6是引导装置的俯视图。图7是从斜下方观察构成可动部的可动体时的立体图。图8是说明比较例的可动部中的可动体的厚度均匀且薄的情况下的变形状态的图。

如图1所示那样，引导装置100具备基台3、左引导构件6L及右引导构件6R、可动部20、空气轴承部24。左引导构件6L及右引导构件6R分别是本公开的第一引导构件及第二引导构件的一例。左引导构件6L及右引导构件6R配置为在基台3上沿着引导方向延伸。可动部20沿着左引导构件6L及右引导构件6R移动。空气轴承部24将可动部20支承为能够移动。需要说明的是，上述的引导方向是可动部20移动的方向且是图1～图8所示的X轴的正负向。以下说明的宽度方向是与引导方向正交、且与水平面平行的方向、并且是图1～图8所示的Y轴的正负向。上方向是铅垂上方向且是图1～图8所示的Z轴的正向。下方向是上方向的相反方向且是Z轴的负向。左方向是从引导方向的一方向侧(X轴的负向侧)观察引导装置100时的左方向、且是Y轴的正向。右方向是左方向的相反方向且是Y轴的负向。以下，说明引导装置100的各结构的详细情况。

基台3形成为沿着长边的方向与引导方向平行的长方形板状(参照图5)。在基台3的上表面固定有左引导构件6L及右引导构件6R。左引导构件6L固定于基台3上表面的左端部，右引导构件6R固定于基台3上表面的右端部。左引导构件6L及右引导构件6R分别包括朝向宽度方向的外侧彼此分离开地延伸的左引导突出部6LP及右引导突出部6RP。左引导突出部6LP及右引导突出部6RP分别是本公开的第一突出部及第二突出部的一例。左引导突出部6LP形成于左引导构件6L的左侧面的上部。右引导突出部6RP形成于右引导构件6R的右侧面的上部。

如图1～图4所示那样，可动部20具备四角板状的可动体21。在可动体21的下表面(下侧的主面)固定有分别各2个的左空气轴承支承构件22L、内侧空气轴承支承构件23、以及右空气轴承支承构件22R。左空气轴承支承构件22L、内侧空气轴承支承构件23及右空气轴承支承构件22R分别是本公开的第一轴承支承构件、第二轴承支承构件及第三轴承支承构件的一例。左空气轴承支承构件22L、内侧空气轴承支承构件23及右空气轴承支承构件22R在将分别各一个的左空气轴承支承构件22L、内侧空气轴承支承构件23及右空气轴承支承构件22R设为一个组的情况下，2个组以沿着引导方向排列的方式固定。该2个组以分别在可动体21中的引导方向的两端部各配置1组的方式固定。左空气轴承支承构件22L位于左引导构件6L的左侧。左空气轴承支承构件22L具备从可动体21的左端部向下方延伸的左垂直部221L和从左垂直部221L的下端向右方延伸的左水平部222L。内侧空气轴承支承构件23位于左引导构件6L的右侧。内侧空气轴承支承构件23形成为向下方延伸。右空气轴承支承构件22R位于右引导构件6R的右侧。右空气轴承支承构件22R具备从可动体21的右端部向下方延伸的右垂直部221R和从右垂直部221R的下端向左方延伸的右水平部222R。

空气轴承部24将可动部20支承为能够移动。空气轴承部24具备分别各2个的左宽度方向空气轴承部25L、右宽度方向空气轴承部25R、左上浮空气轴承部26L、以及右上浮空气轴承部26R。空气轴承部24还具备分别各2组的一对左上下方向空气轴承部27L、以及一对右上下方向空气轴承部27R。左宽度方向空气轴承部25L、右宽度方向空气轴承部25R、左上浮空气轴承部26L、右上浮空气轴承部26R、左上下方向空气轴承部27L及右上下方向空气轴承部27R分别由静压空气轴承构成。左宽度方向空气轴承部25L及右宽度方向空气轴承部25R分别是本公开的第一宽度方向空气轴承部及第二宽度方向空气轴承部的一例。左上浮空气轴承部26L及右上浮空气轴承部26R分别是本公开的第一上浮空气轴承部及第二上浮空气轴承部的一例。左上下方向空气轴承部27L及右上下方向空气轴承部27R分别是本公开的第一上下方向空气轴承部及第二上下方向空气轴承部的一例。左宽度方向空气轴承部25L、右宽度方向空气轴承部25R、左上浮空气轴承部26L、右上浮空气轴承部26R、左上下方向空气轴承部27L及右上下方向空气轴承部27R在将分别各一个的左宽度方向空气轴承部25L、右宽度方向空气轴承部25R、左上浮空气轴承部26L及右上浮空气轴承部26R与分别各一对的左上下方向空气轴承部27L及右上下方向空气轴承部27R设为一个组的情况下，以2个组沿着引导方向排列的方式配置。

左宽度方向空气轴承部25L及右宽度方向空气轴承部25R分别配置于左空气轴承支承构件22L及内侧空气轴承支承构件23中的与左引导构件6L的两侧面分别对置的部位。具体而言，左宽度方向空气轴承部25L以与左引导突出部6LP的左侧面对置的方式配置于左空气轴承支承构件22L的左垂直部221L。右宽度方向空气轴承部25R以与左引导构件6L的右侧面对置的方式配置于内侧空气轴承支承构件23。左宽度方向空气轴承部25L及右宽度方向空气轴承部25R配置为与左引导构件6L的左右两侧面之间的间隙(轴承间隙)成为几微米～十几微米。左宽度方向空气轴承部25L及右宽度方向空气轴承部25R不承受可动部20的重量而将可动部20以非接触的方式在宽度方向上支承于左引导构件6L。左宽度方向空气轴承部25L及右宽度方向空气轴承部25R调整可动部20相对于左引导构件6L在宽度方向上的位置。

左上浮空气轴承部26L及右上浮空气轴承部26R配置于可动体21的下表面。左上浮空气轴承部26L及右上浮空气轴承部26R配置于与左引导构件6L及右引导构件6R各自的上表面对置的部位。左上浮空气轴承部26L及右上浮空气轴承部26R配置为与左引导构件6L及右引导构件6R各自的上表面之间的间隙(轴承间隙)成为几微米～十几微米，将可动体21分别在上下方向上支承于左引导构件6L及右引导构件6R。左上浮空气轴承部26L及右上浮空气轴承部26R承受可动体21的重量。需要说明的是，在以下的说明中，有时将分别各2个的左上浮空气轴承部26L及右上浮空气轴承部26R汇总称作上浮空气轴承部26。

一对左上下方向空气轴承部27L中的一方的左上下方向空气轴承部27L配置于可动体21的下表面，另一方的左上下方向空气轴承部27L配置于左空气轴承支承构件22L的左水平部222L的上表面。一对左上下方向空气轴承部27L配置为分别与左引导突出部6LP的上表面及下表面之间的间隙(轴承间隙)成为几微米～十几微米。一对左上下方向空气轴承部27L不承受可动部20的重量而将可动部20以非接触的方式在上下方向上支承于左引导突出部6LP。一对左上下方向空气轴承部27L调整可动部20相对于左引导突出部6LP在上下方向上的位置。需要说明的是，在以下的说明中，有时将位于左引导突出部6LP的上侧的左上下方向空气轴承部27L称作上侧的左上下方向空气轴承部27La，将位于左引导突出部6LP的下侧的左上下方向空气轴承部27L称作下侧的左上下方向空气轴承部27Lb。

一对右上下方向空气轴承部27R中的一方的右上下方向空气轴承部27R配置于可动体21的下表面，另一方的右上下方向空气轴承部27R配置于右空气轴承支承构件22R的右水平部222R的上表面。一对右上下方向空气轴承部27R配置为分别与右引导突出部6RP的上表面及下表面之间的间隙(轴承间隙)成为几微米～十几微米。一对右上下方向空气轴承部27R不承受可动部20的重量而将可动部20以非接触的方式在上下方向上支承于右引导突出部6RP。一对右上下方向空气轴承部27R调整可动部20相对于右引导突出部6RP在上下方向上的位置。需要说明的是，在以下的说明中，有时将位于右引导突出部6RP的上侧的右上下方向空气轴承部27R称作上侧的右上下方向空气轴承部27Ra，将位于右引导突出部6RP的下侧的右上下方向空气轴承部27R称作下侧的右上下方向空气轴承部27Rb。

需要说明的是，作为可动体21的材料，为了加工时的精度的实现容易性和轻量化而使用花岗岩(granite)，作为上述的静压空气轴承，优选使用不锈钢制的多孔质类型的静压空气轴承。

如图2～图4所示那样，在可动体21的下表面中的四角板状的四角配置有构成空气轴承部24的静压空气轴承。沿着引导方向排列的左上浮空气轴承部26L、右上浮空气轴承部26R、左上下方向空气轴承部27L及右上下方向空气轴承部27R具有提高可动部20的引导方向的俯仰刚性的功能。沿着引导方向排列的左宽度方向空气轴承部25L及右宽度方向空气轴承部25R具有提高可动部20的引导方向的横摆刚性的功能。

可动体21形成为与配置有各静压空气轴承的四角对应的部位的板厚比四角以外的大致十字状的部位的板厚厚。可动体21也可以说具备配置有静压空气轴承的厚壁部21A和比厚壁部21A薄的薄壁部21B。在以下的说明中，有时将四角的厚壁部21A中的位于左侧的2个厚壁部21A称作左厚壁部21Aa，将位于右侧的2个厚壁部21A称作右厚壁部21Ab。左厚壁部21Aa及右厚壁部21Ab分别为本公开的第一厚壁部及第二厚壁部的一例。在2个左厚壁部21Aa配置有分别各一个的左空气轴承支承构件22L、内侧空气轴承支承构件23、左上浮空气轴承部26L及上侧的左上下方向空气轴承部27La。在2个右厚壁部21Ab配置有分别各一个的右空气轴承支承构件22R、右上浮空气轴承部26R及上侧的右上下方向空气轴承部27Ra。这样，通过在可动体21设置比厚壁部21A薄的薄壁部21B，能够实现可动体21的轻量化。

在可动体21中的与四角板状的四边分别对应的部位，形成有在可动体21的XY平面上朝向中心凹陷的凹部21C。凹部21C形成于与各边对应的部位的中央。这样，通过在可动体21形成凹部21C，能够实现可动体21的进一步的轻量化。即，在可动体21中，配置有厚壁部的X轴及Y轴上的长度比仅配置有薄壁部的X轴及Y轴上的长度长。

在薄壁部21B中的2个左厚壁部21Aa之间的部位及2个右厚壁部21Ab之间的部位，分别形成有贯通可动体21的可动体穿孔21D。这样，通过在可动体21形成可动体穿孔21D，能够实现可动体21的进一步的轻量化。需要说明的是，可动体穿孔21D的形状及个数不限于图2所示的形状及个数，任意设计即可。

接着，说明引导装置100整体的结构。如图5及图6所示那样，引导构件6在其全长的范围支承于基台3。在本公开的引导装置100中，作为全部的静压空气轴承的引导面，使用引导构件6的表面，不使用基台3的表面。因此，在基台3中需要平面性的部位仅为对引导构件6进行支承的部位。因此，能够在基台3的对引导构件6进行支承的部位以外的部位，形成用于引导装置100的轻量化的基台穿孔3A。需要说明的是，基台穿孔3A的形状及个数不限于图6所示的形状及个数，任意设计即可。

根据以上的结构，通过由空气轴承部24将可动部20相对于引导构件6进行支承，能够以非接触的方式使可动部20滑动。需要说明的是，作为引导构件6、基台3的材料，为了加工精度的实现容易性和轻量化而优选使用花岗岩。

接着，说明可动体21的结构的一例。如图7所示那样，可动体21具备配置有静压空气轴承的厚壁部21A和未配置静压空气轴承的薄的薄壁部21B。可动体21还具备4个凹部21C。使可动体21的主面的最大尺寸为2200mm(左右方向)×2140mm(引导方向)，使厚壁部21A的板厚为185mm，使薄壁部21B的板厚为150mm。通过使沿着左右方向排列的2个凹部21C的底部间的长度为2000mm，且使沿着引导方向排列的2个凹部21C的底部间的长度为1940mm，能够实现可动体21的轻量化。而且，通过φ310mm的可动体穿孔21D形成于2个部位，能够实现可动体21的进一步的轻量化。通过这些轻量化对策，与主面的尺寸为2200mm×2140mm、且整面均匀的板厚150mm的可动体相比，能够实现可动体21的轻量化。

接着，说明仅在可动体21中的配置静压空气轴承的部位设置厚壁部21A的理由。图8中示出了比较例的可动部90。比较例的可动部90仅可动体91的形状与第一实施方式的可动部20不同。具体而言，可动体91形成为整体均匀的板厚的四角板状。可动体91的主面的尺寸是与第一实施方式的可动体21相同的2200mm×2140mm。可动体91的板厚是与第一实施方式的可动体21的薄壁部21B相同的150mm。即，可动体91在未形成厚壁部21A、凹部21C及可动体穿孔21D这点上与第一实施方式的可动体21的形状不同。

另一方面，配置于可动体91的构成要素与第一实施方式的可动体21相同。在可动体91的下表面固定有左空气轴承支承构件22L、内侧空气轴承支承构件23及右空气轴承支承构件22R。在可动体91的下表面、左空气轴承支承构件22L、内侧空气轴承支承构件23及右空气轴承支承构件22R，在与第一实施方式相同的位置配置有上述的左宽度方向空气轴承部25L、右宽度方向空气轴承部25R、左上浮空气轴承部26L、右上浮空气轴承部26R、左上下方向空气轴承部27L及右上下方向空气轴承部27R。

在具有以上的结构的第一实施方式及比较例的可动部90中，与各静压空气轴承中的对置的平面之间的间隙(轴承间隙)被调整为几微米～十几微米，关于由轴承产生的静压力，例如在左宽度方向空气轴承部25L及右宽度方向空气轴承部25R中，每一个成为约8000N。因此，当如图8所示的比较例的可动体91那样静压空气轴承的配置部位变薄时(当成为了与未配置静压空气轴承的部位相同的厚度时)，在左宽度方向空气轴承部25L及右宽度方向空气轴承部25R的静压力的作用下，有可能以左空气轴承支承构件22L及内侧空气轴承支承构件23的下端彼此分离的方式可动体91发生变形。由于该变形，左宽度方向空气轴承部25L及右宽度方向空气轴承部25R与左引导构件6L之间的轴承间隙扩展到未变形的情况下的轴承间隙的约2倍的大小，导致轴承刚性因该轴承间隙的扩大而降低。

作为防止轴承间隙的扩大的方法，考虑在对静压空气轴承施加静压之前的状态下，预先将轴承间隙调整为较小的方法。然而，即便采用这样的方法，在可动体91被施加了横摆方向的负荷时，伴随可动体91的刚性低所引起的变形，可动体91也沿着横摆方向旋转微小量。即，因施加于可动体91的横摆方向的力矩产生的横摆方向的旋转量取决于由左宽度方向空气轴承部25L及右宽度方向空气轴承部25R的刚性决定的旋转量、以及由可动体91的刚性决定的旋转量这两方。

为了将上述的旋转量抑制得小而提高可动体的行进再现性，考虑加厚可动体的板厚而减小可动体的变形量的方法。然而，在这样的方法中，可动体自身的重量增加。另外，需要加粗用于支承可动体的重量的引导构件6而提高刚性，因此引导构件6的重量增加。而且，为了支承重量增加了的可动体及引导构件6这两方，基台3也需要加厚而提高刚性。其结果是，引导装置整体的重量增加，设置引导装置的地板的耐载荷也需要增加，从而建筑房屋的建设成本增加。

针对这样的课题，第一实施方式的可动体21中，配置静压空气轴承的厚壁部21A厚、除了厚壁部21A以外的薄壁部21B薄，因此能够实现可动体21自身的轻量化。此外，分别配置有左宽度方向空气轴承部25L及右宽度方向空气轴承部25R的左空气轴承支承构件22L及内侧空气轴承支承构件23固定于左厚壁部21Aa，因此左宽度方向空气轴承部25L及右宽度方向空气轴承部25R的支承构造的刚性提高，能够提高针对可动体21的横摆方向的力矩而言的横摆刚性。因此，能够提高可动部20的行进精度，另外，能够使可动体21轻量化，因此无需增加引导构件6及基台3的重量，能够抑制引导装置100整体的重量的增加，能够也将设置引导装置100的地板的耐载荷抑制得低。

另外，使可动体21的静压空气轴承的配置部位以外的部位为薄壁部21B还存在别的效果。对于由引导构件6的平坦的上表面构成的轨道面，即便进行各构件的精密的加工和调整，也残留有些许的平面偏差。针对该残留有平面偏差的轨道面，为了将配置于可动体21的下表面的左宽度方向空气轴承部25L、右宽度方向空气轴承部25R、左上浮空气轴承部26L、右上浮空气轴承部26R、左上下方向空气轴承部27L及右上下方向空气轴承部27R按照设计设置几微米～十几微米的轴承间隙而与引导构件6对置，优选可动体21的静压空气轴承的配置部位以外的部位灵活地变形。当加厚可动体整体的板厚而提高可动体的刚性时，可动体的下表面不再能够追随轨道面的平面偏差。在该情况下，一部分的静压空气轴承与引导构件6之间的轴承间隙不再能够维持设计尺寸，不再能够实现按照设计的轴承性能。由于在第一实施方式的可动体21设置有与厚壁部21A相比容易变形的薄壁部21B，从而即便发生了上述的平面偏差，也能够通过薄壁部21B的变形而使可动体21的下表面追随轨道面的平面偏差，无论是哪个静压空气轴承，均能够发挥出按照设计的性能。

<第二实施方式>

接着，说明第二实施方式。图9是喷墨印刷装置的侧视图。图10是喷墨印刷装置的主视图。图11是喷墨印刷装置的俯视图。图12是沿着图9的B-B线的剖视图。图13是显示器面板的俯视图。图14是表示喷墨印刷装置和用于对喷墨印刷装置进行温度控制的调温室的俯视图。图15是表示喷墨印刷装置和用于对喷墨印刷装置进行温度控制的调温室的侧视图。

首先，说明具备本公开的引导装置100的喷墨印刷装置1的结构。如图9～图11所示那样，设置于喷墨印刷装置1的引导装置100具有与第一实施方式的引导装置100同样的结构，具备基台3、引导构件6及可动部20。

喷墨印刷装置1具备从下方支承基台3的架台2。在可动体21的上表面搭载有2台第一微动机构12、2台第二微动机构13、以及1台第三微动机构14。2台的第一微动机构12搭载于俯视的可动体21中的2条对角线中的一方的对角线上。2台的第二微动机构13搭载于上述2条对角线中的另一方的对角线上。各第一微动机构12及各第二微动机构13分别搭载于引导构件6和左上浮空气轴承部26L的正上方或引导构件6和右上浮空气轴承部26R的正上方。第三微动机构14搭载于可动体21的上表面中央。在第一微动机构12、第二微动机构13及第三微动机构14之上搭载有工件保持台15。工件保持台15构成为能够在该工件保持台15的上表面吸附保持印刷对象物的显示器面板7。

各第一微动机构12具备沿着Y轴方向(左右方向)驱动的未图示的驱动机构。该驱动机构由未图示的基板对准控制部进行定位控制。而且，第一微动机构12具备能够沿着X轴方向(引导方向)移动的未图示的滑动机构和能够绕Z轴旋转的未图示的旋转滑动机构。各第二微动机构13具备能够沿着X轴方向及Y轴方向自由移动的未图示的滑动机构和能够绕Z轴旋转的未图示的旋转滑动机构。第三微动机构14具备仅能够沿着Y轴方向移动的滑动机构、以及能够绕Z轴旋转的未图示的旋转滑动机构。

第一微动机构12、基板对准控制部、第二微动机构13、第三微动机构14及工件保持台15构成基板对准机构10。基板对准机构10将工件保持台15在Y轴方向及绕Z轴的旋转方向上定位。可动部20和基板对准机构10构成工件输送工作台30。

在可动体21的下表面固定有线性马达转子52。在基台3的上表面固定有沿着引导方向延伸的线性马达固定杆4。线性马达固定杆4形成为与引导构件6平行。在线性马达固定杆4之上固定有沿着引导方向延伸的线性马达定子51。线性马达定子51和线性马达转子52构成线性马达50。线性马达50使可动部20相对于基台3沿着引导方向移动。

在线性马达固定杆4的侧面固定有线性标尺主体61。在可动体21的下表面经由读取头托架63而固定有线性标尺读取头62。线性标尺主体61和线性标尺读取头62构成线性标尺60。线性标尺60检测可动部20在基台3上的位置。

线性马达50和线性标尺60由未图示的工作台控制部进行反馈控制。

需要说明的是，线性马达50的Y轴方向的固定位置优选使工件输送工作台30的重心与线性马达转子52的驱动点一致。根据这样的结构，能够消除在工件输送工作台30的加减速时施加于该工件输送工作台30的绕Z轴的力矩。线性马达50的Z轴方向的固定位置优选使工件输送工作台30的重心与线性马达转子52的驱动点尽可能接近。根据这样的结构，能够抑制在工件输送工作台30加减速时施加于该工件输送工作台30的绕Y轴的力矩。

如图10～图12所示那样，在基台3中的引导方向的中央，设置有2个台架基座42。各台架基座42设置于与引导方向平行的两侧部。在2个台架基座42之上，以将该台架基座42相连的方式搭载有第一台架(gantry)41a和第二台架41b。

在第一台架41a中的引导方向的一方侧的侧面搭载有液滴位置计测相机43，在相反侧的侧面搭载有喷出红墨的第一头设备40R。在第二台架中的所述一方侧的侧面搭载有喷出绿墨的第二头设备40G，在相反侧的侧面搭载有喷出蓝墨的第三头设备40B。在第一头设备40R、第二头设备40G、第三头设备40B分别搭载有多个未图示的喷墨头。各喷墨头由未图示的喷出控制部根据线性标尺60的位置来控制液滴的喷出。喷出控制部构成为能够按各喷墨头的每个喷嘴来调整喷出时机。根据这样的结构，能够按每个喷嘴来调整液滴向显示器面板7上的滴下位置。

需要说明的是，搭载于第一台架41a或第二台架41b的第一头设备40R、第二头设备40G、第三头设备40B及液滴位置计测相机43分别重达数百kg～千kg程度。因此，在工件输送工作台30加减速时，加减速时的反作用力施加于喷墨印刷装置1整体，喷墨印刷装置1整体沿着X轴方向微小地振动。明确了如下情况：由于该微小的振动，第一台架41a及第二台架41b沿着X轴方向摆动几微米而印刷位置精度降低。于是，在第二实施方式的喷墨印刷装置1中，使第一台架41a及第二台架41b的腿部形成为随着趋向下方而X轴方向的宽度变大，由此解决了上述问题。

接着，说明印刷对象物的显示器面板7。如图13所示那样，在显示器面板7的基板7P上的四角，形成有用于定位涂布位置的对准标记7m。在基板7P上的中央形成有分隔像素的隔壁的墨槽(bank)7L。对准标记7m及墨槽7L由形成拒水性的隔壁的材料形成。墨槽7L形成红色像素7R、绿色像素7G及蓝色像素7B。作为基板7P，可以例示主面的尺寸为2200mm×2300mm、厚度为0.5mm的玻璃板。

接着，说明以上那样构成的喷墨印刷装置1的动作。首先，工作台控制部将工件输送工作台30定位于图9中实线所示的工件送入位置30a。之后，使用未图示的工件输送机构将显示器面板7载置于工件保持台15之上，并利用工件保持台15来吸附并固定显示器面板7。

接着，利用未图示的对准相机来观察固定了的显示器面板7的四角的对准标记7m而计测从预先设定的目标位置的偏差量。基于该计测结果，基板对准控制部使基板对准机构10进行动作而将显示器面板7定位于目标位置。当显示器面板7的定位完成时，工作台控制部使工件输送工作台30向图9中由双点划线所示的印刷待机位置30b移动并定位。

之后，工作台控制部使工件输送工作台30以恒定速度(第二实施方式中，300mm/秒)向工件送入位置30a移动。以恒定速度移动中的线性标尺60的计测结果向未图示的喷出控制部发送。喷出控制部向第一头设备40R、第二头设备40G及第三头设备40B上分别搭载的未图示的喷墨头输出喷出信号，使液滴向所目标的位置滴下。其结果是，向显示器面板7的红色像素7R滴下红墨，向绿色像素7G滴下绿墨，向蓝色像素7B滴下蓝墨。

需要说明的是，根据喷墨头的各喷嘴的喷出角度打弯等，存在不能使液滴滴下到所目标的位置的情况。在该情况下，代替显示器面板7而对未图示的滴下位置计测用玻璃基板印刷滴下位置计测图案，利用液滴位置计测相机43来计测从滴下位置的目标位置偏出的偏差量。将其计测结果向喷出控制部发送，按每个喷嘴来修正喷出时机，由此修正印刷方向(X方向)的位置偏差。这样，能够对显示器面板7的各像素准确地滴下液滴。

需要说明的是，在可动体21上，施加有5台微动机构(2台第一微动机构12、2台第二微动机构13及1台第三微动机构14)的重量、以及工件保持台15的重量。该施加的重量在第二实施方式的情况下，相当于约1300kg。在施加于可动体21的约1300kg的重量中，在四角的微动机构(2台第一微动机构12及2台第二微动机构13)的位置施加的重量成为约1100kg，相当于施加的总重量的约85％。剩余的15％的重量施加于可动体21的中央的第三微动机构的位置。

如上所述那样，第一微动机构12及第二微动机构13位于引导构件6和左上浮空气轴承部26L的正上方或引导构件6和右上浮空气轴承部26R的正上方。因此，工件输送工作台30构成为，搭载于可动体21的构件的总重量的85％直接施加于上浮空气轴承部26，剩余的15％经由可动体21而间接性地施加于上浮空气轴承部26。

另外，可动体21的仅四角的静压空气轴承的配置部位附近的板厚厚、除此以外的板厚薄，因此四角的上浮空气轴承部26容易追随2根引导构件6的上表面所形成的平面。

而且，可动体21上的构件的几乎全部重量施加于上浮空气轴承部26的正上方这4个地方，因此上浮空气轴承部26容易与引导构件6的上表面平行对置，能够发挥上浮空气轴承部26所具有的最大限度的性能。

另外，上浮空气轴承部26由引导构件6支承。引导构件6构成为，经由基台3而由分别配置于该引导构件6的正下方的校平块5、架台2及调整底脚8支承，在该引导构件6的正下方能够进行引导构件6的校平调整。根据这样的结构，能够容易实现引导构件6的上表面的平面，同时在基台3中的引导构件6的正下方以外的部位形成许多基台穿孔3A。而且，能够在架台2中的引导构件6的正下方以外的部位不通过钢管而形成空间。通过这样形成基台穿孔3A及空间，能够实现喷墨印刷装置1整体的轻量化。另外，通过在引导构件6的周边部分形成从上向下通过基台穿孔3A的净化后的空气的流动(下降气流)，能够提高喷墨印刷装置1整体的清洁度，能够抑制微粒所引起的印刷不良的发生。而且，通过形成从上向下通过基台穿孔3A的进行了温度控制的空气的流动，能够将喷墨印刷装置1整体的温度保持为恒定，能够抑制热膨胀所引起的印刷位置的偏差。

说明上述的能够抑制热膨胀所引起的印刷位置的偏差的具体的喷墨印刷装置1的结构。如图14及图15所示那样，喷墨印刷装置1的周围由屋室(booth)71包围。在屋室71的顶棚固定有第一空调机73a、第二空调机73b及第三空调机73c。第一空调机73a配置于工件送入位置30a的上方。第三空调机73c配置于印刷待机位置30b的上方。第二空调机73b配置于第一空调机73a与第三空调机73c之间的位置且第一台架41a及第二台架41b的上方。

通过在屋室71配置3台空调机73a、73b、73c，能够将屋室71内分为第一调温区域72a、第二调温区域72b、第三调温区域72c这3个区域而分别向调温区域72a、72b、72c独立地吹下温度设定后的空气。吹下之后的空气通过喷墨印刷装置1的周围及基台3的基台穿孔3A和架台2的间隙，并由未图示的返回通道回收而再次返回各空调机73a、73b、73c。返回通道是本公开的回收部的一例。需要说明的是，也可以在架台2的框架设置吸入口而用作返回通道。

接着，说明将屋室71内分为3个调温区域72a、72b、72c的理由。在喷墨印刷装置1存在多个发热地方。多个发热地方中的发热量最大的地方是头设备。头设备内的喷墨头控制构件发热。因此，喷墨印刷装置1的第一台架41a、第二台架41b的周围与其他地方相比温度容易上升。因此，当使向喷墨印刷装置1吹下的空气的温度在整个区域一律相同时，发热量大的第一台架41a、第二台架41b的周边的温度与其他地方相比变高。其结果是，通过第一台架41a、第二台架41b之下的工件保持台15的温度也根据通过的频率而变化。例如，与工件保持台15刚在工件送入位置30a持续停止之后的工件保持台15的温度相比，常态地通过第一台架41a、第二台架41b之下而反复印刷时的工件保持台15的温度变高。当工件保持台15的温度上升时，在其上吸附着的显示器面板7的温度也上升而显示器面板7在热膨胀的作用下延伸。当显示器面板7延伸时，不再能够向目标的像素的位置印刷。

在第二实施方式中，通过使第二空调机73b的温度设定比第一空调机73a、第三空调机73c低，将喷墨印刷装置1的第一台架41a和第二台架41b的周边的温度调整为与工件送入位置30a、印刷待机位置30b的温度同等程度。根据这样的结构，能够与印刷频率的多少无关而将工件保持台15的温度保持为恒定温度。因此，能够不受印刷频率影响而总是向显示器面板7的目标的像素的位置进行印刷。

另外，在第二实施方式中，在工件送入位置30a和印刷待机位置30b各自的上方配置有第一空调机73a和第三空调机73c。根据喷墨印刷装置1的周边的设备配置等，存在即便在将第一空调机73a与第三空调机73c设定为同一温度的情况下在屋室71中也发生温度不均的情况。在这样的情况下，通过使第一空调机73a与第三空调机73c为不同的温度设定，能够消除该温度不均。

如以上那样，通过使可动体21的静压空气轴承附近的板厚厚且使除此以外的部位的板厚薄、以及使搭载于可动体21上的构件的重量的大半施加于在引导构件6的正上方配置的4个上浮空气轴承部26，能够发挥各静压空气轴承的最大限度的性能。而且，根据这样的结构，能够在基台3的广范围形成基台穿孔3A，能够使喷墨印刷装置1轻量化，此外也能够在支承基台3的架台2中在引导构件6的正下方以外的部位形成大的空间，能够不仅使喷墨印刷装置1的周边的空气的流动良好，而且还使内部的空气的流动良好。其结果是，能够提高喷墨印刷装置1的清洁度和温度调整的精度。而且，能够提供如下喷墨印刷装置1：其能够实现通过提高横摆刚性而带来的行进精度的高精度化，并且对于轻量且是印刷对象物的显示器面板7总是能够进行位置精度高的印刷。

[实施方式的变形例]

本公开当然不限定于目前说明的实施方式所示的内容，在不脱离其主旨的范围内能够施加各种变形。另外，上述实施方式及以下所示的变形例只要正常地发挥功能，就也可以任意组合。

例如，在第一实施方式中，在可动体21配置有分别各一对的左上下方向空气轴承部27L及右上下方向空气轴承部27R，但在可动体21自身大型且自重重的情况下，仅凭借其自重与上浮空气轴承部26之间的平衡就能够确保静压空气轴承的刚性，因此也可以如图16所示那样不配置左上下方向空气轴承部27L及右上下方向空气轴承部27R。同样地，在第二实施方式中也是，在工件输送工作台30自身大型且自重重的情况下，仅凭借其自重与上浮空气轴承部26之间的平衡就能够确保静压空气轴承的刚性，因此也可以不配置左上下方向空气轴承部27L及右上下方向空气轴承部27R。

另外，关于右厚壁部21Ab也可以不形成为与左厚壁部21Aa同样的厚度，例如也可以与薄壁部21B相同。在如第一实施方式、第二实施方式那样使右厚壁部21Ab为与左厚壁部21Aa相同的厚度的优点在于，能够通过对左上浮空气轴承部26L的安装面和右上浮空气轴承部26R的安装面同时进行磨削加工来准确地对齐到同一平面，其结果是，对置的左引导构件6L和右引导构件6R也设为同一高度即可，关于左引导构件6L和右引导构件6R也能够通过同时进行磨削加工来准确地加工为同一高度。

在第一实施方式和第二实施方式中，在可动体21的下表面配置有分别独立地构成的左上浮空气轴承部26L、右上浮空气轴承部26R、上侧的左上下方向空气轴承部27La及上侧的右上下方向空气轴承部27Ra，但也可以配置具有左上浮空气轴承部26L及上侧的左上下方向空气轴承部27La的轴承性能的一个静压空气轴承、和具有右上浮空气轴承部26R及上侧的右上下方向空气轴承部27Ra的轴承性能的一个静压空气轴承。另外，也可以使各静压空气轴承分别由各多个的静压空气轴承构成。

在第二实施方式中，使第一微动机构12及第二微动机构13为能够沿着X轴方向、Y轴方向及绕Z轴的旋转方向移动的机构，并且使第三微动机构14为能够沿着Y轴方向及绕Z轴的旋转方向移动的机构，但也可以将第一微动机构12、第二微动机构13、第三微动机构14配置为分别绕Z轴旋转了45°的状态。

在第二实施方式中，通过消除例如2台第一微动机构12中的1台第一微动机构12的X轴方向的滑动机构，能够使工件保持台15沿着Y轴方向及绕Z轴移动。在该情况下，也可以不在可动体21的中央配置第三微动机构14。

在第二实施方式中，以1次的扫描来印刷，但也可以根据需要而通过反复进行多次扫描来印刷。

根据本公开的引导装置、工件输送工作台及喷墨印刷装置，能够提高可动部的行进精度，且能够实现装置整体的轻量化。

产业上的可利用性

本公开的引导装置、工件输送工作台及喷墨印刷装置对于向大型的印刷对象物涂布墨等的装置有效，能够适用于向有机EL的发光体、空穴输送层、或电子输送层的印刷、或者滤色器的印刷等中的大型的印刷对象物效率良好地涂布墨等材料的装置。

Claims (9)

1.一种引导装置，其中，

所述引导装置具备：

基台；

第一引导构件及第二引导构件，它们在所述基台上沿着引导方向延伸；

可动部，其沿着所述第一引导构件及所述第二引导构件移动；以及

空气轴承部，其将所述可动部支承为能够移动，

所述可动部具备：

板状的可动体，其位于所述第一引导构件及第二引导构件上；以及

第一轴承支承构件及第二轴承支承构件，它们从所述可动体向下方延伸，且在宽度方向夹着所述第一引导构件，

所述空气轴承部包括：

第一宽度方向空气轴承部及第二宽度方向空气轴承部，它们将所述可动部在所述宽度方向上支承于所述第一引导构件，且分别配置于所述第一轴承支承构件及所述第二轴承支承构件；以及

第一上浮空气轴承部，其将所述可动部在上下方向上支承于所述第一引导构件，且配置于所述可动体，

所述可动体形成为包括所述第一轴承支承构件、所述第二轴承支承构件及所述第一上浮空气轴承部的配置位置在内的厚壁部的厚度比其他部位的厚度厚。

2.根据权利要求1所述的引导装置，其中，

所述可动部具备第三轴承支承构件，该第三轴承支承构件从所述可动体向下方延伸，且配置为相对于所述第二引导构件位于所述第一引导构件的相反侧，

所述第一轴承支承构件配置为相对于所述第一引导构件位于所述第二引导构件的相反侧，

所述第一引导构件及所述第二引导构件分别包括以朝向所述宽度方向的外侧彼此分离的方式延伸的第一突出部及第二突出部，

所述空气轴承部具备：

第二上浮空气轴承部，其将所述可动部在上下方向上支承于所述第二引导构件，且配置于所述可动体；

一对第一上下方向空气轴承部，它们将所述可动部在上下方向上支承于所述第一突出部，且在所述可动体及所述第一轴承支承构件分别各配置有一个；以及

一对第二上下方向空气轴承部，它们将所述可动部在上下方向上支承于所述第二突出部，且在所述可动体及所述第三轴承支承构件分别各配置有一个，

所述厚壁部包括：

第一厚壁部，其包含所述第一轴承支承构件、所述第二轴承支承构件、所述第一上浮空气轴承部及一方的所述第一上下方向空气轴承部的配置位置；以及

第二厚壁部，其包含所述第三轴承支承构件、所述第二上浮空气轴承部及一方的所述第二上下方向空气轴承部的配置位置。

3.根据权利要求1或2所述的引导装置，其中，

在所述可动体中的所述其他部位形成有贯通所述可动体的可动体穿孔。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的引导装置，其中，

在所述基台中的未配置所述第一引导构件及所述第二引导构件的部位形成有贯通所述基台的基台穿孔。

5.一种工件输送工作台，其中，

所述工件输送工作台具备：

权利要求1至3中任一项所述的引导装置；

微动机构，其配置于所述可动体的所述厚壁部上；以及

工件保持台，其配置于所述微动机构上。

6.一种工件输送工作台，其中，

所述工件输送工作台具备：

权利要求4所述的引导装置；

微动机构，其配置于所述可动体的所述厚壁部上；以及

工件保持台，其配置于所述微动机构上。

7.一种喷墨印刷装置，其中，

所述喷墨印刷装置具备：

权利要求5所述的工件输送工作台；

台架，其配置于所述基台上；以及

喷墨头，其配置于所述台架，用于向保持于所述工件保持台的印刷对象物喷出墨。

8.一种喷墨印刷装置，其具备：

权利要求6所述的工件输送工作台；

台架，其配置于所述基台上；以及

喷墨头，其配置于所述台架，用于向保持于所述工件保持台的印刷对象物喷出墨，其中，

所述喷墨印刷装置还具备：

屋室，其包围所述喷墨印刷装置整体；

空调机，其使温度调节后的气体从由所述屋室包围的区域内的上方向下方流动；以及

回收部，其经由所述基台穿孔而回收借助所述空调机流动的气体。

9.根据权利要求8所述的喷墨印刷装置，其中，

能够彼此独立地设定所述气体的温度的多个所述空调机沿着所述引导方向排列配置。

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