JP6775127B2 - 搬送ステージとそれを使用したインクジェット装置 - Google Patents

Description

本発明は、搬送ステージとそれを使用したインクジェット装置に関する。特に、本発明は、大型搬送ステージとそれを使用したインクジェット装置に関する。

近年、インクジェット装置を用いてデバイスを製造する方法が注目されている。インクジェット装置は、液滴吐出を行う複数のノズルを有し、ノズルと印刷対象物との位置関係を制御しながらノズルから液滴を吐出することで、印刷対象物に液滴を塗布するものである。

この種のインクジェット装置の１つとして、ラインヘッドと呼ばれる、印刷対象物の幅方向に並設された複数のモジュールヘッド（言い換えれば、複数の吐出口を有する液滴吐出ヘッド）を備えているものがある。このラインヘッドを、主走査方向と同一水平面内で直交する方向である副走査方向に並べて配置することで、幅の大きい印刷対象物に対して、１度の搬送工程で、インクを一括で塗布することができる。

更に、副走査方向にモジュールヘッドを並設されたラインヘッドを主走査方向にも複数個搭載することで、例えば色が異なるなどの複数種のインクを、１度の搬送工程の間に一括で印刷対象物に塗布することができる。

この構成によれば、例えば、Ｇ４サイズ（６８０ｍｍ ｘ ８８０ｍｍ）以上の大型の印刷対象物に対しても１度の搬送工程で複数種のインクを一括で塗布できるので、印刷対象物にインクを塗布するタクトの低減が可能になると共に、インク塗布後の乾燥条件等を均一にしやすいために、例えばインク膜厚を均一に制御できるなどの印刷プロセス上の利点がある。

しかしながら、近年、生産性の向上のため、印刷対象物の更なる大型化が求められている。印刷対象物が大きくなると、その分、搬送距離が長くなり、必然的に、印刷対象物を搭載して主走査方向に走るガイドも長くする必要がある。このため、１つの部材では必要とされる精度での加工及び製作できないという問題が生じる。同様に、ガイドを支持する基台についても必要サイズが大きくなり、１つの部材では加工及び製作できないという問題が生じる。また、仮に１つの部材で加工及び製作が可能な場合であっても、サイズが大きくなると、調達コストが非常に高くなること、又は、各国の交通法によっては搬送出来ない等の問題が生じるため、それぞれの部材のサイズを小さくすることが求められる。

すなわち、高い平面度が求められるガイド及び基台は、高精度な加工がしやすく熱変形も少ない石部材を用いることが望ましい。が、昨今、印刷対象物の更なる大型化が求められる一方で、資源枯渇の観点からも大型の石部材の調達は難易度が増している。よって、仮に調達及び加工が可能であったとしても、コスト及び調達納期の観点からは大きなデメリットとなる。また、装置重量も重くなるため、装置を設置する工場の補強等が必要になることも考えられ、更にコストがかさむという問題も生じる。

そのため、ガイドレール及びそれを支持する架台は、それぞれ、複数の部材から成る構成として、位置決め基準面を設けて結合できる構成とする方法が開示されている（例えば、特許文献１）。

特開平７―１２４８３１号公報

しかしながら、前記方法によれば、搬送テーブルが振動することなく高い走行精度で走査することを求められる場合、ガイドレールを支持する複数の基台の高さ方向の平面度を確保することが困難となり、その影響によりガイドレールの高さ方向の平面度を確保することが困難であることから、走行精度が悪化する。また、その影響により、複数のガイドレールが連結される継目部において段差等が生じやすく、継目部を搬送テーブルが通過する際に振動が生じやすいという問題が生じる。

そのため、例えばインクジェット装置のように、搬送テーブルが振動することなく高精度に走行することが求められる装置において、搬送テーブルの振動等に起因してインクジェットヘッドから吐出するインクの着弾する位置がばらつく等の問題が生じ、高分解能の印刷対象物を製作できない等の問題が生じる。

すなわち、本発明の課題は、処理部で処理を実施する領域の基台のサイズを必要最小限に抑制しつつ、処理範囲における移動精度を担保する、搬送ステージと、それを使用したインクジェット装置とを提供することである。

本発明の１つの態様によれば、第１分割基台と、第１走査方向沿いに前記第１分割基台の両側に隣接配置される第２分割基台とで構成されて前記第１走査方向沿いに延在する基台部と、
前記基台部上に前記第１走査方向に沿って延在するように配置され、前記第１分割基台と同一材料の複数のガイド部材を有するガイドと、
前記ガイドに沿って移動する搬送テーブルと、
前記ガイドと前記搬送テーブルとの間に配置されて前記搬送テーブルを前記ガイドに沿って移動自在に支持する軸受部と、
前記搬送テーブルに連結されて前記搬送テーブルを移動させる駆動部と、を含み、
前記ガイドの前記第１走査方向における前記第１分割基台の鉛直方向の上方の領域を第１領域とし、前記ガイドが前記両側の前記第２分割基台に支持されかつ前記ガイドの前記第１走査方向における前記第１領域以外の領域をそれぞれ第２領域とするとき、前記搬送テーブルが、一方の前記第２領域から前記第１領域、前記第１領域の更に反対側の他方の前記第２領域に亘って走行し、かつ、前記搬送テーブルの前記第１走査方向と平行な方向に対する曲げ剛性が、前記搬送テーブルの表面と平行な面内で、かつ、前記搬送テーブルの前記第１走査方向と垂直な方向に対する曲げ剛性より小さい、搬送ステージを提供する。

本発明の前記態様によれば、処理部で処理を実施する領域の基台のサイズを必要最小限に抑制しつつ、処理範囲における移動精度を担保することができる。

実施の形態において、インクジェット装置を上面から見た模式図 インクジェット装置を正面から見た模式図 インクジェット装置の軸受部の配置を示す模式図 軸受部の配置を示す斜視図 回転軸受部の配置を示す説明図 インクジェット装置を側面から見た模式図 インクジェット装置の基台とガイドの位置関係を示す模式図 実施の形態において、準基準基台が補助基台の上に配置された状態で、基台先端部が中央部より上がった場合の、基台と、ガイドと、搬送テーブルと、ラインヘッドとの位置関係を示す概念図 実施の形態において、準基準基台が補助基台の上に配置された状態で、基台先端部が中央部より下がった場合の、基台と、ガイドと、搬送テーブルと、ラインヘッドとの位置関係を示す概念図 軸受け部の第２の配置を示す図 軸受け部の第３の配置を示す図 軸受け部の第４の配置を示す図 搬送テーブルの鉛直方向の下向きにガイドの変曲点がある場合において、搬送テーブルの湾曲を示す概念図 搬送テーブルの鉛直方向の下向きにガイドの変曲点がない場合において、搬送テーブルの湾曲を示す概念図 比較例として、厚さが一定な搬送テーブルの場合で、ガイドが上方向に湾曲している状態で軸受部にかかる反力の解析結果を示したグラフ 比較例として、厚さが一定な搬送テーブルの場合で、ガイドが下方向に湾曲している状態で軸受部にかかる反力の解析結果を示した比較グラフ 比較例として、搬送テーブルを一定厚のまま薄くした場合のインクジェット装置を正面から見た模式図 比較例として、搬送テーブルを一定厚のまま薄くした場合のインクジェット装置の搬送テーブルの変形状態を説明するための模式図 搬送テーブルを一定厚のまま薄くした場合の搬送テーブルの変形を抑えるための軸受け部の配置を示す図 本実施の形態のガイドが下方向に湾曲している状態で軸受部にかかる反力の解析結果を示したグラフ 高さ調整部の詳細図

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

（実施の形態）
図１Ａは、実施の形態にかかるインクジェット装置１０を印刷対象物６の主面方向から表した平面図である。図１Ａにより、インクジェット装置１０の全体像について説明する。

図１Ａに示すように、インクジェット装置１０は、少なくとも、搬送ステージ２０と、支持部材の一例としての門型形状のガントリー４と、印刷ヘッドの一例としてのラインヘッド５とを備えている。

搬送ステージ２０は、少なくとも、基台部１と、ガイド２と、搬送テーブル３と、軸受部１２と、駆動部９とを備えている。

基台部１は、主走査方向（例えば、第１走査方向の一例）４１に長尺な長方形の平面形状を有する直方体で構成している。

ガントリー４は、主走査方向４１から見た正面形状が門型形状であり、平面的に見て基台部１の幅方向４２に跨るように基台部１の所定位置、例えば、主走査方向４１の中間位置に固定されている。

ガイド２は、基台部１の長手方向すなわち主走査方向４１沿いに、基台部１の上面に固定されている。一例として、ガイド２は、主走査方向４１に直交する方向沿いの断面が矩形の直方体形状の部材で構成されている。ガイド２は、基台部１上に第１走査方向４１に沿って延在するように配置された、複数の分割ガイド部材２ａ，２ｂを連結した少なくとも１個、好ましくは複数個のレール状のガイド部材２ｃで構成されている（図３Ｂ参照）。

矩形の搬送テーブル３は、下面がガイド２でガイドされつつ基台部１の主走査方向４１に搬送可能となっている。搬送テーブル３の上面には、基板などの印刷対象物６が保持可能となっている。搬送テーブル３は、詳しくは後述するが、搬送テーブル３の厚みが主走査方向４１に薄くなっている部分３ｂが複数個所存在するような形状に構成するとともに、搬送テーブル３の表面と平行で、かつ、搬送テーブル３の第１走査方向４１及び鉛直方向と垂直な方向４２の厚さは一定であるような形状に構成している。

ラインヘッド５は、基台部１に連結されているガントリー４に支持されている。ラインヘッド５は、搬送テーブル３がラインヘッド５の下を主走査方向４１に通過するタイミングに合わせて、搬送テーブル３に向けてインクを吐出する。すなわち、ラインヘッド５の下を、搬送テーブル３が、主走査方向４１沿いに図１Ａの左側から右側に移動すると同時に、ラインヘッド５からインクが吐出され、搬送テーブル３の上面にて保持される印刷対象物６の塗布領域に、インクが塗布される。

なお、本構成においては、ラインヘッド５は、図１Ａに示すように、２種類のラインヘッド５がガントリー４の両面（すなわち、図１Ａではガントリー４の左右面）にそれぞれ配置される構成としたが、ラインヘッド５は、１個のみがガントリー４に配置されていても良いし、ガントリー４が２個配置され、それぞれのガントリー４の両面に合計４個のラインヘッド５が配置されていても良い。ラインヘッド５の個数及び配置などの構成については、印刷対象物６に対して、ラインヘッド５で行いたい処理によって決めれば良い。

なお、以後の説明では、印刷対象物６を搬送する方向を主走査方向４１とし、主走査方向４１と同一水平面内で主走査方向４１と直交する方向を副走査方向（例えば、第２走査方向の一例）（又は幅方向）４２とし、印刷対象物６の主面方向、すなわち一般的には鉛直方向、を上下方向４３（図１Ｂを参照）とする。

なお、搬送テーブル３を主走査方向４１に駆動させるため、少なくとも一つ以上の駆動部９が、基台部１に主走査方向４１沿いに配置され搬送テーブル３に連結されて、搬送テーブル３を主走査方向４１に搬送駆動可能としている。駆動部９の一例として、図１Ａ及び図１Ｂでは、幅方向の両端部近傍に主走査方向４１沿いに２個の駆動部９が基台部１に配置されている。各駆動部９は、リニアモータであっても良いし、又は、回転モータに連結されたボールねじ等であっても良いが、本実施の形態の構成では、長尺の構成としやすいリニアモータを用いている。

図１Ｂは、インクジェット装置１０を、図１ＡのＹ−Ｙ線の断面から見た断面図である。

図１Ｂに示すように、ガイド２は基台部１上に固定されている。基台部１は、床面２１の不陸すなわち凹凸等の影響を直接受けないために、基台部１を保持するフレーム部７を介して設置されている。

なお、フレーム部７と床面２１との間、及び、フレーム部７と基台部１との間には、高さ方向の調整をそれぞれ独立して行うことができる複数の高さ調整部８に支持させるのが良い。そのように構成することで、インクジェット装置１０の基台部１を設置する床面２１に応じて、基台部１の上面の平面度を出すために、複数の高さ調整部８で基台部１の上面を高さ調整することが出来る。

なお、フレーム部７を用いずに、高さ調整部８を介して基台部１を直接保持する構成としても良い。

高さ調整部８は、例えば、いわゆるレベリングブロックであり、図１１に示すように、くさび機構１８を用いた場合、取付台１８ｅ上の複数のブロック１８ａ，１８ｂ間に対して、横方向に取り付けられたボルト１８ｃの正逆回転によりくさび１８ｄを横方向に押し引きすることで、ブロック１８ａ，１８ｂの高さが変動する機構で構成することができる。

ガイド２と搬送テーブル３との間には、少なくとも一つ以上の軸受部１２が連結されている。詳しくは、ガイド２の上面と搬送テーブル３の下面との間の例えば搬送テーブル３に軸受部１２を配置して、搬送テーブル３は、軸受部１２を介してガイド２上で摺動自在に支持されている。

軸受部１２は、搬送テーブル３の自重を支持するとともに、副走査方向４２を軸とした回転方向（ピッチング方向）の回転を防止するために、ガイド２の上面と搬送テーブル３の下面との両方に支持される軸受部１２Ａと、搬送テーブル３の水平方向の蛇行を防止するために、ガイド２の側面で支持される軸受部１２Ｂとの両方で構成することができる。

なお、軸受部１２は、搬送テーブル３の自重支持するため及びピッチング方向の回転を防止するために、ガイド２の上方だけに配置され摺動自在に支持されても良い。本構成では、搬送テーブル３の自重支持するため及びピッチング方向の回転を防止するためにガイド２の上面を摺動自在に支持し、搬送テーブル３の水平方向の蛇行を防止するために、ガイド２の副走査方向４２の両側面を摺動自在に支持する構成とするが、詳細については後述する。

なお、軸受部１２の形式は、高精度で振動が少ない搬送を実現するために、軸受部１２から空気などの気体をガイド２に向けて噴出することで、軸受部１２とガイド２とが非接触で対向する静圧軸受を用いるのが望ましい。なお、軸受部１２を静圧軸受とした場合、自成絞り又はオリフィス絞りのパッドを用いても良いし、搬送テーブル３の裏面に溝を切って表面絞りの形式としても良い。が、本構成では、より振動が生じにくくするため、多孔質絞りのパッドを用いている。

なお、軸受部１２を静圧軸受とした場合、軸受部１２から噴出された空気によるガイド２からの浮上量により軸受剛性は変化するため、軸受剛性が最も強くなる浮上量となるように設計するのが望ましい。本構成では、一例として、狙いとする浮上量を、軸受部１２の剛性が最も高くなる１０μｍとしている。

図２Ａは、搬送テーブル３を図１ＢのＺ−Ｚ矢視から見た図である。図２Ｂは、搬送テーブルを下側から見た場合の斜視図である。図２Ａ、図２Ｂを用いて、本構成における搬送テーブル３と、軸受部１２の配置構成を示す。なお、図２Ａにおいて、実際は断面図には出てこないが、説明を容易とするために、ガイド部材２ｃについても仮想的に破線で示している。

本構成では、搬送テーブル３を走査方向４１に沿って、板厚の厚い部分３ａと板厚の薄い部分３ｂとが交互に配置されるように、そして、副走査方向４２に沿っては、一定厚になるように構成している。

軸受部１２については、本構成では、搬送テーブル３の自重支持及びピッチング方向の回転を防止するために、ガイド部材２ｃの上面で摺動自在に支持する軸受部１２Ａを搬送テーブル３の板厚の厚い部分３ａに配置している。また、搬送テーブル３の水平方向の蛇行を防止するために、中央のガイド部材２ｃの両側面を支持する軸受部１２Ｂを有している。

なお、軸受部１２Ａの合計受圧面積は、軸受部１２Ａの負荷容量と搬送テーブル３の重量とによって決められる。

本構成では、一例として、搬送テーブル３は、主走査方向４１の寸法が３．２ｍで、副走査方向４２の寸法が３．２ｍで、厚さの厚い部分（例えばＴ２＝６０ｍｍ）３ａを複数ヶ所（例えば５ヶ所）設けている。隣接する厚さの厚い部分３ａと厚さの厚い部分３ａとの間に、厚さの薄い部分（例えばＴ１＝４０ｍｍ）３ｂを（例えば４か所）設けている。その厚さの薄い部分３ｂは、図２Ｂに示すように、外側よりの部分の長さＬ２（例えば３１０ｍｍ）を、中心よりの部分の長さＬ１（例えば２４０ｍｍ）より長くしている。このように構成することで、搬送テーブル３のピッチング方向における曲げ剛性を中央部よりも外側が小さくなるようにしている。

ここで、厚さの薄い部分３ｂを搬送テーブル３の平面に対する溝形状と定義すると、搬送テーブル３の表面に副走査方向４２に沿って、搬送テーブル３の副走査方向４２の長さと同じ長さで溝形状を構成していることになる。そして、板厚の厚い部分３ａに、受圧面を例えば１２０ｍｍ角とする平面が正方形の軸受部１２Ａを各ガイド部材２ｃの主走査方向４１の複数点（例えば５点）で受ける構成としている。なお、本構成では、また副走査方向４２においても、複数点（例えば３点）で受ける構成としている。すなわち、図２Ａに示すように、軸受部１２Ａは、一例として、主走査方向４１に５列、副走査方向４２に３列の計１５個が搬送テーブル３の裏面に配置される構成としている。

なお、一例として、軸受部１２Ａの配置に合わせ、ガイド部材２ｃの上面における副走査方向４２の幅は１５０ｍｍとして、副走査方向４２に等間隔に３列並べる配置としている。

なお、後述のように、本構成では、搬送テーブル３の厚みが主走査方向４１に薄くなっている部分３ｂが複数個所存在しかつ搬送テーブル３の第１走査方向４１及び鉛直方向と垂直な方向（すなわち副走査方向）４２の厚さは一定であるように構成することにより、ピッチング方向における曲げ剛性が搬送テーブル３のローリング方向における曲げ剛性よりも小さくなり、搬送テーブル３にたわみが生じやすいため、ガイド部材２ｃの主走査方向４１の撓みに対して追従しやすくなる。

また、軸受部１２Ｂについては、一例として、受圧面を９０ｍｍ角とする平面が正方形の軸受部とし、搬送テーブル３の中心部のみにおいてガイド部材２ｃの両側面を支持する構成としている。なお、軸受部１２Ｂの配置に合わせて、一例として、ガイド部材２ｃの高さは１２０ｍｍとする。

なお、本構成では、駆動部９を、搬送テーブル３の副走査方向４２における両端付近に２列配置して、２軸駆動させている。また、図示は省略しているが、走行中及び停止中において、２軸を個別に微動させることで、ヨーイング方向の位置補正ができる制御構成としている。そのように構成することで、搬送テーブル３のヨーイング方向の回転を抑制する構成としている。その際に、ガイド部材２ｃに非接触で対向する静圧軸受の軸受部１２Ｂが、駆動部９の駆動力によってガイド部材２ｃに接触することを防止するために、搬送テーブル３の中心部に回転軸受部１３を設けた。

回転軸受部１３は、図２Ｃに示すように、搬送テーブル３の中心部の下面に配置されてリング状の軸受け部材で構成された回転軸受本体部１３ｂと、搬送テーブル３の中心部の下面に配置された回転軸受本体部１３ｂと軸受部１２Ａとの間に配置され縦断面Ｕ字状の回転軸受支持部１３ａとで構成されている。回転軸受本体部１３ｂに対して搬送テーブル３は、回転軸受支持部１３ａにより、回転軸受本体部１３ｂの回転軸周りに自在に回転可能となっている。このような構成により、ヨーイング方向の位置補正のために、中央のガイド２に対して搬送テーブル３が回転しても、その回転を回転軸受部１３により吸収することができて、軸受部１２Ｂは影響を受けないようにすることができる。

なお、駆動部９はリニアスケール等の自己位置把握機能を有するのが良いが、リニアスケール等の自己位置把握機能が温度変化によって伸縮する恐れがある場合は、それぞれのリニアスケール値を正確に校正できるように各リニアスケール近傍にレーザ測長器を設置しておき、走査の度にレーザ測長の測定結果と照合し、測定結果に基づいて、自己位置補正を行うのが良い。

なお、その場合、走査時にリアルタイムで補正するのでも良いが、熱変形が、時間的に緩やかにしか変化しない場合は、１回前の走査時の測定結果に基づいて次の走査時の補正を行うのでも良い。

次に、図３Ａ及び図３Ｂを用いて、主に基台部１とガイド２との構成について説明する。

図３Ａは図１ＡのＸ―Ｘ線の矢視から見た断面図である。図３Ａに示すように、基台部１は、ガイド２の主走査方向４１における所定位置、例えば中央部に位置する。基台部１は、主基準基台１ａと、補助基台１ｂとで少なくとも構成され、好ましくは、主基準基台１ａと、補助基台１ｂと、少なくとも一つ以上の準基準基台１ｃとで構成される。一例として、図３Ａでは、主走査方向４１において、主基準基台１ａの両側に補助基台１ｂが隙間を挟んで隣接して配置されている。各補助基台１ｂには、主基準基台１ａとは反対側の端部側に、上面から下向きにくぼんだ凹部１ｄを有して、凹部１ｄ内に準基準基台１ｃが配置されている。一例として、主基準基台１ａは第１分割基台として機能し、補助基台１ｂは第２分割基台として機能する。

主基準基台１ａは、ガイド２と同一材料で構成される。補助基台１ｂは、主基準基台１ａの材料とは異なる材料で形成され、主基準基台１ａの主走査方向４１における両端に連結するように配置される。

準基準基台１ｃは、主基準基台１ａと同一材料で構成され、主基準基台１ａとは接触せずに主基準基台１ａから離れて、補助基台１ｂの主基準基台１ａとは反対側の端部側に配置された凹部１ｄ内に配置されている。準基準基台１ｃは、その側面が補助基台１ｂから離れて凹部１ｄ内に配置されている。

本構成においては、一例として、主基準基台１ａ及び準基準基台１ｃはそれぞれ石材料で構成する。石材料の例としては御影石である。

補助基台１ｂは、一例として、石材料よりも熱膨張係数が大きいため熱変形も生じやすく、かつ加工精度が出しづらいが、軽量化が容易でかつ安価である鉄系材料、すなわち鋼材とする。

なお、主基準基台１ａ及び準基準基台１ｃは、それぞれ、概略直方体から成る構成として、軽量化のために所望の空洞部を設ける一方、補助基台１ｂはフレーム構造とする。準基準基台１ｃは、一例として、副走査方向４２に細長い概略直方体としている。

なお、補助基台１ｂも、主基準基台１ａ及び準基準基台１ｃと同様に石材料で構成する方が高精度な加工及び調整が行いやすいが、重量及びコストが上昇する。本構成では、後述のように、補助基台１ｂにおいて精度は重要でないため、一例として、前記のように主基準基台１ａ及び準基準基台１ｃは石材料で構成し、補助基台１ｂは鉄系材料で構成する。なお、一例として、平面度が要求されるガイド２についても、石材料を用いる構成とする。

主基準基台１ａの上面でガイド２を直接的に支持するとともに、準基準基台１ｃの上面でも、ガイド２を直接的に支持している。

なお、補助基台１ｂは、補助基台１ｂの上面でガイド２を直接的に支持するのでなく、高さ調整部８ａを介してガイド２を間接的に支持する構成とする。後述するが、本構成において、補助基台１ｂ上におけるガイド２の上面は、主基準基台１ａの上部におけるガイド２の上面と比較して、高い平面度が必要ないが、設置時にガイド２の平面度を調整しやすいよう、補助基台１ｂの上部では、高さ調整部８ａを介して、主走査方向４１において不連続にガイド２を支持する構成とする。高さ調整部８ａは、図１１に示すように高さ調整部８と同様な部材である。

よって、ガイド２、例えば、複数の分割ガイド部材２ａ，２ｂのそれぞれは、主基準基台１ａの上面と、準基準基台１ｃの上面と、複数個の高さ調整部８ａの上面とで支持されている。なお、準基準基台１ｃの上面で分割ガイド部材２ａ又は２ｂを支持するとき、図３Ａに示すように主走査方向４１沿いの両側に高さ調整部８ａが配置されて、高さ調整部８ａの上面で分割ガイド部材２ａ又は２ｂを支持することにより、より安定して精度良く支持できるように構成している。

なお、ガイド２を、高さ調整部８ａを介さずに、補助基台１ｂの上面で直接支持する構成としても良い。なお、以下の説明において、高さ調整部８ａは、補助基台１ｂを構成する部材の一部であるとして説明する場合もある。

なお、補助基台１ｂとガイド２とでは構成材料が互いに異なることから、補助基台１ｂは、ガイド２よりも熱膨張率が大きい。このため、補助基台１ｂとガイド２とを、ねじ等を用いて移動不可に固定して完全拘束すると、補助基台１ｂの熱膨張によりガイド２にひずみが生じる恐れがある。そこで、補助基台１ｂとガイド２とは、ねじ等を用いて相対移動不可に固定する完全拘束を行うのでなく、ガイド２の自重のみを補助基台１ｂで支持して相対移動可能とする滑り拘束とするのが良い。すなわち、補助基台１ｂとガイド２とは、ねじ等で締結して全方向を拘束するのでなく、例えば高さ調整部８ａを補助基台１ｂにねじで互いに直交する主走査方向４１と副走査方向４２と鉛直方向４３との３方向の全方向を拘束して、ガイド２は、高さ調整部８ａの上にねじ等を介さずに、ガイド２の自重を高さ調整部８ａで単に支持するだけで主走査方向４１沿いには相対移動可能な状態とすることにより、高さ調整部８ａとガイド２との接触面同士は、互いにスライドが可能な状態としている。

そのように構成することで、周囲の温度変化によって補助基台１ｂが伸縮した場合においても、補助基台１ｂとガイド２とが相対移動可能ゆえにガイド２にひずみが生じることを防止し、補助基台１ｂ側からガイド２にかかる負荷を軽減している。なお、補助基台１ｂの伸縮によってガイド２の上面の平面度が悪化することも考えられるが、後述のように、補助基台１ｂの上部においてガイド２の上面の平面度は重要でないため、前記構成とする。なお、高さ調整部８ａにパッシブの受動型回転機構を持たせても良い。そのように構成することで、主に補助基台１ｂの熱変形によって補助基台１ｂとガイド２との対向面の角度が変わった場合でも、パッシブの回転機構により補助基台１ｂとガイド２との対向面の角度を変化させて追随させて、ガイド２にひずみが生じにくくすることができる。

一方、主基準基台１ａとガイド２とについては、同じ石材料を用いているため、熱変形によってひずみが生じる恐れも少なく、また、平面が高精度に担保された主基準基台１ａに、ガイド２を強固に締結させることでガイド２の平面度も高精度に保つために、主基準基台１ａとガイド２とは一例としてねじを介して締結する。なお、準基準基台１ｃとガイド２とについても、ガイド２の副走査方向４２への蛇行を防止し、かつ高さ方向（すなわち、鉛直方向）の調整を行いやすくするため、準基準基台１ｃとガイド２とは一例としてねじを介して締結する構成とする。

図３Ｂは、基台１とガイド２とについて、印刷対象物６の主面方向から表した平面図、すなわち鉛直方向の下向きに見た図である。

ガイド２は、主走査方向４１沿いに主基準基台１ａと準基準基台１ｃとを跨ぐように設置され、ガイド２の自重は、主基準基台１ａと、準基準基台１ｃとに支持されている。一例として、ガイド２は、主走査方向４１沿いに主基準基台１ａと準基準基台１ｃとを跨ぐように延在しかつ互いに平行な複数個のレール状のガイド部材２ｃで構成することができる。また、ガイド２の自重は、主基準基台１ａで支持する以外に、準基準基台１ｃ、及び、高さ調整部８ａを介して補助基台１ｂによっても補助的に支持されている。なお、この実施の形態では、補助基台１ｂとガイド２とは直接接触しておらず、基台１として主基準基台１ａと準基準基台１ｃとのみによって直接支持される構成としている。

なお、以下の説明において、図３Ｂに示すように、主基準基台１ａの鉛直方向の上方の領域を第１領域Ａとし、第１領域Ａ以外の領域、すなわち準基準基台１ｃ又は補助基台１ｂ又はその両方の鉛直方向の上方の領域を第２領域Ｂとする。

なお、本構成では、ガイド２は、副走査方向４２において間隔をあけて３列、互いに平行に並べるガイド部材２ｃで構成している。これらの３列のガイド部材２ｃの上面高さは、少なくとも第１領域Ａ内においては極力同一とするのが望ましい。そのように構成することで、主走査方向４１を軸とした回転方向（ローリング方向）の回転を抑制することが出来る。このとき、主基準基台１ａと補助基台１ｂとのみの構成だと、３列のガイド部材２ｃの上面高さを同一に調整する作業の難易度が上昇する。

よって、本構成では、主基準基台１ａから離れた位置に準基準基台１ｃを設ける構成としている。なお、一例として、主基準基台１ａの主走査方向４１の長さを４ｍ、主基準基台１ａ〜１ｃを含む基台１の主走査方向４１の長さを１３ｍ、基台１ｃの主走査方向４１の長さは０．３ｍとする。

なお、主基準基台１ａと補助基台１ｂとのみでもガイド部材２ｃの高さ調整が可能な場合は、準基準基台１ｃを用いずに、ガイド部材２ｃは主に主基準基台１ａと補助基台１ｂとのみから支持される構成としても良い。

なお、前述の説明について、準基準基台１ｃは補助基台１ｂに含まれ、準基準基台１ｃは、補助基台１ｂを合わせて補助基台１ｂと捉えても同様の意味となる。

なお、各ガイド部材２ｃは、主走査方向４１において一つの部材で構成されるのが望ましいが、例えば、印刷対象物のサイズがＧ８（すなわち、２２００ｍｍ ｘ ２４００ｍｍ）以上のように印刷対象物のサイズが大きい場合、ガイド部材２ｃが長尺となるために材料調達及び加工が困難となる。このため、ガイド部材２ｃとしては、複数のレール状の分割ガイド部材２ａ，２ｂを主走査方向４１沿いに連結して用いるのが良い。

本構成では、一例として、ガイド部材２ｃの必要長さが１２．５ｍであり、１つの部材で加工することが困難なため、３本のガイド部材２ｃは、それぞれ主走査方向４１において２つの分割ガイド部材２ａ，２ｂで構成されるとしている。

その際、分割ガイド部材２ａ，２ｂの継目１４が生じるが、継目１４は、第１領域Ａ内にあるのが望ましい。そのように構成することで、継目１４において段差が生じにくい構成とすることができる。すなわち、ガイド部材２ａ，２ｂは、同時加工等で概略同一高さに加工できるため、継目１４で段差が生じやすいか否かは、ガイド部材２ａ，２ｂを受ける基台１の平面度により大きな影響を受ける。第１領域Ａ内では、基台１の平面度が高くできるので、継目１４で段差が生じにくくなる。

なお、複数の継目１４の主走査方向４１における位置座標は、主走査方向４１において互いに異なる位置に配置するのが良い。そのように構成することで、複数の軸受部１２が主走査方向４１沿いに同時に継目１４を通過することを避けて、搬送テーブル３の振動を抑制することができる。

なお、継目１４は、ガイド２の材料よりも縦弾性係数の小さい封入材の材料により主走査方向４１の隙間が埋められており、封入材は、継目１４におけるガイド部材２ｃの上面よりも低い位置に配置されることが望ましい。そのように構成することで、軸受部１２から噴出された空気が、継目１４における隙間より漏れて、搬送テーブル３の振動源になることを防止することが出来る。封入材の一例としてはワックスである。

図４Ａ及び図４Ｂは、基台１と、ガイド２と、搬送テーブル３と、ラインヘッド５との位置関係を示す概念図である。なお、図４Ａ及び図４Ｂは本実施の形態であり、図４Ａは、ガイド２が鉛直方向の下向き凸に湾曲している構成であるのに対して、図４Ｂは、ガイド２が鉛直方向の上向き凸に湾曲している構成である。図４Ａ、図４Ｂともに、準基準基台１ｃの下部は、高さ調整部８を介して補助基台１ｂで支持されている構成である。

前述のように、主基準基台１ａ及び準基準基台１ｃは石材料で構成されるが、補助基台１ｂは、石材料よりも熱膨張係数が大きいため熱変形も生じやすく、加工精度も比較的出しづらい鉄系材料を用いている。このため、第１領域Ａ内ではガイド２の上面の平面度を高精度に出すことができても、第２領域Ｂまで同様に、ガイド２の上面の平面度を出すことは困難となる。また、第２領域Ｂにおいては、周囲の温度変化によっても補助基台１ｂが変形しやすいため、それによっても、第２領域Ｂまで、第１領域Ａと同様にガイド２の上面の平面度を出すことは困難となる。すなわち、第２領域Ｂにおけるガイド２の上面の高さＴｒ２と第１領域Ａにおけるガイド２の上面の高さＴｒ１との高低差ΔＴｒ（＝Ｔｒ２−Ｔｒ１）が生じやすい。そのために、例えば、図４Ａに示すように、ガイド２が下向きに凸の方向で湾曲したり、図４Ｂに示すように、ガイド２が上向きに凸の方向で湾曲したり、又はその両方が混在しているような状態になる。

しかしながら、本構成では、搬送テーブル３のピッチング方向における曲げ剛性値は、搬送テーブル３のローリング方向における曲げ剛性値よりも小さくすることで、搬送テーブル３はガイド２に沿うように変形する構成としている。このように構成することで、ガイド２が第２領域Ｂで湾曲していても、ラインヘッド５が配置される下部の範囲、すなわち、第１領域Ａにおいては、搬送テーブル３は、ガイド２の上面の平面度を確保できる構成となる。

すなわち、搬送テーブル３の鉛直方向の上向き又は下向きに湾曲したガイド２の変曲点１５が存在する場合における搬送テーブル３のたわみ量は、ガイド２が変形していない場合における搬送テーブル３のたわみ量よりも大きくなる構成とする。

なお、たわみ量について、図６Ａに示すように、湾曲したガイド２上に軸受部１２を介して支持される搬送テーブル３を主走査方向４１及び上下方向の軸を含む断面で見たときに、搬送テーブル３の主走査方向４１における両端を直線３ｘで結び、その直線３ｘから搬送テーブル３の上面までの最大長さをたわみ量ΔＴとしている。図６Ａに示すように、搬送テーブル３のピッチング方向における曲げ剛性値は、搬送テーブル３のローリング方向における曲げ剛性値よりも小さいため、湾曲したガイド２の変曲点１５が、搬送テーブル３の鉛直方向の下向きに存在する場合は、搬送テーブル３がガイド２に沿って湾曲しており、たわみ量ΔＴが大きくなる。

しかしながら、図６Ｂに示すように、搬送テーブル３の鉛直方向の下向きに湾曲したガイド２の変曲点１５が存在しない場合（例えば、図６Ｂでは、搬送テーブル３が変曲点１５よりも左側に位置する場合）、軸受部１２の存在しない部分で僅かにたわみは生じるものの、そのたわみ量は、搬送テーブル３の鉛直方向の下向きに湾曲したガイド２の変曲点１５が存在する場合のたわみ量ΔＴと比較して非常に小さくなる。

前記構成とすることで、ガイド２が第２領域Ｂで湾曲していても、ラインヘッド５が配置される下部の範囲、すなわち、第１領域Ａにおいては、搬送テーブル３はガイド２の上面に沿う形となるため、搬送テーブル３の上面は高精度な平面度を保つことが出来る。このため、第２領域Ｂの補助基台１ｂにおいての精度は重要でなく、主基準基台１ａを高精度に加工調整することが重要となる。よって、前述のように、軽量化及びコストダウンを目的として、例えば主基準基台１ａは高精度な加工が行いやすい石材料を用いる構成とし、補助基台１ｂには軽量化及びコストダウンが行いやすい鉄系材料を用いる構成としつつ、前述のように、第１領域Ａ内においては、搬送テーブル３の上面の平面度を高精度に保つことができる。

なお、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、ラインヘッド５は、第１領域Ａ内に配置するのが良い。そのように構成することで、上面が高精度な平面度を保たれている状態の搬送テーブル３に、ラインヘッド５からインクを吐出することができ、インクを、搬送テーブル３上の印刷対象物６の狙った位置に正確に吐出することが可能である。

なお、本構成において、ラインヘッド５はガントリー４に固定される構成とするが、ガントリー４ではなく例えば片持ちのアームでもよく、ガイド２とラインヘッド５との間に、搬送テーブル３が通過する空間を有していればよい。

また、ラインヘッド５は処理部の一例であるが、このラインヘッド５の代わりに、印刷以外の所定の処理を行う処理部を用いても良い。

なお、準基準基台１ｃは、図４Ａに示すように、補助基台１ｂの上部に設置されていても良いが、補助基台１ｂを貫通して高さ調整部８上に直接設置されていても良い。後者のように構成することで、準基準基台１ｃを高精度に加工調整しやすくなるが、その分、重量及びコストも上昇する。本構成では、図４Ａ又は図４Ｂに示すように、準基準基台１ｃは、補助基台１ｂの上部に設置される構成とする。

これまで述べたように、本構成では、ガイド２は湾曲していても良いが、その湾曲する量について、適正の範囲内に収めることが望ましい。

以下、図７Ａ〜図１０を用いて、ガイド２が湾曲する量における適正の範囲について説明する。

なお、ガイド２の湾曲量は、第１領域Ａにおけるガイド２の上面の高さＴｒ１と第２領域Ｂにおけるガイド２上面の高さＴｒ２との高低差の最大値ΔＴｒ（図４Ａ及び図４Ｂ参照）によって定まる。よって、高低差の最大値ΔＴｒを所望の値に設計することで、ガイド２の湾曲量を所望の値とすることができる。

図７Ａ及び図７Ｂは、比較例として、搬送テーブル６３が、溝形状が無く、均一の厚さ（例えば６０ｍｍ）の場合についての説明図である。これらの比較例では、ガイド２の一方の先端部（すなわち、図７Ａ及び図７Ｂでは右端部）をガイド２の中央部よりも例えば±１００μｍ高い位置又は低い位置となるように湾曲させたガイド２上で、搬送テーブル６３は、主走査方向４１沿いの長さの半分に相当する部分が第１領域Ａ内にあり、残りの半分に相当する部分が第２領域Ｂ内にあるときを仮定する。このような場合の、軸受部１２にかかる反力を、有限要素法を用いて解析した結果を図７Ａ及び図７Ｂに示している。

なお、軸受部１２にかかる反力にばらつきがある状態、例えば一つの軸受部１２に反力が集中している状態では、該当の軸受部１２の浮上量が減少する方向に変動することにつながり、それが搬送テーブル６３の振動につながる。以下に、その理由を説明する。

ガイド２と搬送テーブル３との間に何も介在しなければ、基本的に、搬送テーブル６３は、ガイド２に沿うように変形しようとする。しかしながら、ガイド２と搬送テーブル６３との間には軸受部１２を介しているため、軸受部１２にかかる反力が均一でない場合、それぞれの軸受部１２における浮上量が変化することで力の釣り合いを保つ。このため、それぞれの軸受部１２における浮上量が動的に変化することとなり、搬送テーブル６３の振動につながる。そのため、搬送テーブル６３がガイド２に沿って変形した状態で、軸受部１２にかかる反力が均一になっていることが望ましい。

図７Ａに示すように、ガイド２が主走査方向４１の先端（例えば図７Ａでは右端）に向けて鉛直方向の上向きに反っている場合、すなわち、ガイド２が、鉛直方向の下向きに凸となる方向で湾曲している場合、５個の第１〜第５軸受部１２ａ〜１２ｅにかかる反力は、第２軸受部１２ｂで最も大きく、第３軸受部１２ｃで最も小さくなっているが、その差は約５％である。

それに対して、図７Ｂに示すように、ガイド２が主走査方向４１の先端（例えば図７Ａでは右端）に向けて鉛直方向の下向きに垂れている場合、すなわち、ガイド２が鉛直方向の上向きに凸となる方向で湾曲している場合、５個の第１〜第５軸受部１２ａ〜１２ｅにかかる反力は、第３軸受部１２ｃで最も大きく、第２軸受部１２ｂで最も小さくなっており、その差は約１０％である。すなわち、ガイド２の上面が上向きに凸の方向で湾曲している図７Ｂの場合は、ガイド２の上面が下向きに凸の方向で湾曲している図７Ａの場合と比較して、２倍以上、反力のばらつきが大きくなっている。

その理由は、ガイド２の上面が下向きに凸の方向で湾曲している場合、搬送テーブル６３は、まず、主走査方向４１の両端の２点で支持された上で、自重によって搬送テーブル６３の中心部が垂れる自重分を他の軸受部１２で支持するような状態になる。これに対して、ガイド２が上向きに凸の方向で湾曲している場合、搬送テーブル６３は、上向きに凸に湾曲しているガイド２の変曲点１５の１点でまず支持しようとして、変曲点１５付近の軸受部１２に荷重が集中しやすくなるためである。

一方、図１０は、搬送テーブル３が、溝形状有りの本実施の形態の構成の場合の解析結果を示す図である。

本実施の形態にかかる搬送テーブル３は、主走査方向４１に厚さの厚い部分３ａと薄い部分（すなわち、溝形状の部分）３ｂとが交互に配置するように構成されており、薄い部分３ｂの幅を、搬送テーブル３の中央部より前後両端部（すなわち、図１０では左右の両端部）の方を大きくすることにより、ピッチング方向における曲げ剛性は、中央部より前後両端部の方が小さくなる。このため、搬送テーブル３がガイド２の湾曲に対して沿いやすくなり、図７Ｂと同様に、ガイド２の上面が上向きに凸の方向に例えば１００μｍ湾曲している場合であっても、第３軸受部１２ｃと第２軸受部１２ｂとに掛かる反力の差を５％以下に抑えることが出来る。

以上のように、搬送テーブル３の板厚を主走査方向４１に厚い部分３ａと薄い部分３ｂとを交互に配置するように構成し、その薄い部分３ｂの幅を、搬送テーブル３の中央部に位置する薄い部分３ｂの幅よりも、前後両端部に位置する薄い部分３ｂの幅の方を大きくすることと、ガイド２の高低差を１００μｍ以内に抑えることで、軸受部１２にかかる荷重のバランスが良くなり、搬送テーブル３の振動を生じにくくすることが出来る。

なお、ピッチング方向についての搬送テーブル３の曲げ剛性を下げるためには、図８Ａのように、搬送テーブル３の厚さを均一なまま薄くする方法もある。が、その場合、図８Ｂのように、副走査方向４２の３ヶ所の軸受部１２Ａの間で、搬送テーブル７３が垂れ下がって平面度が悪くなってしまう。平面度の低下は、インクジェット印刷時の着弾精度の低下に繋がり、更には振動発生にも繋がる。それを解消するために、図９のように軸受部１２Ａを図８Ｂよりも多く（例えば５個）配置する方法がある。が、その場合、ガイド２の本数を増やす必要があり、コスト面、重量面、及び組立調整面で好ましくない。

これに対して、本実施の形態のように、搬送テーブル３の厚さを副走査方向４２には一定厚にすることで、ローリング方向における曲げ剛性の低下を抑えつつ、搬送テーブル３の板厚を主走査方向４１に厚い部分３ａと薄い部分３ｂとを交互に構成することによりピッチング方向における曲げ剛性をローリング方向における曲げ剛性よりも下げることで、軸受部１２Ａの配置位置を増やすことなく、ガイド２の湾曲に追従することができる。

本実施の形態では、図２Ｂに示すように、搬送テーブル３の厚さの薄い部分３ｂの幅を、テーブル中央部に比べて、テーブル先端部で大きくしているが、これは、テーブル中央部をピッチング方向に湾曲させる場合は、テーブル３の自重もしくは反力が変曲点の進行方向の前後に加わるが、テーブル先端部では、先端部側の自重が小さいために湾曲しにくくなるのに対して、その場合でも湾曲しやすくするためである。

なお、本実施の態様では、軸受部１２Ａを３列×５列の１５ヶ所に配置する構成とし、搬送テーブル３の薄い部分３ｂを３ヶ所に配置する構成としているが、要求される平面度のレベルによっては、図５Ａのように３列×３列の９ヶ所に配置する構成にしても良い。更に、搬送テーブル３の厚い部分３ａの厚さを更に厚くすることで、ローリング方向における曲げ剛性を高くすれば、図５Ｂ及び図５Ｃのように、副走査方向４２の軸受箇所を２ヶ所にして、中央のガイド２は、左右方向をガイドする軸受部１２Ｂ専用にしても良い。その場合は、中央のガイド２の上面の平面度は必要なくなるので、コストを下げることが出来き、組立時の調整が容易になる。ここで、「搬送テーブル３の厚い部分３ａの厚さを更に厚くする」とは、図１Ｂの実施形態において、中央と左右との３本のガイドレール２ｃの３本それぞれの上面を静圧軸受で浮上させるとき、その場合の搬送テーブル３の厚さ（厚い部分）に対して、更に厚くすることを意味する。このように構成することで、前記したように、搬送テーブル３のローリング方向の曲げ剛性が高くなり、中央のガイドレール２ｃの上面の静圧軸受を無くして、左右のガイドレール２ｃの上面２ヶ所だけでもローリング方向に搬送テーブル３が撓まないようにすることが出来る。

以上の構成によって、基台１を構成する部材のうち、石材料等の高精度な加工を行いやすい材料を用いることが望ましい主基準基台１ａのサイズを最小限に抑制しつつ、インクジェット等でプロセス処理を行うために走行精度が必要な範囲においては、印刷対象物６を高精度で搬送することができる。そのため、重量、コスト、及び搬送等についての問題を解消することができる。

なお、インクジェット装置１０に限らず、大型の処理対象物に何らかのプロセス処理を行う装置において、本実施の形態の搬送ステージを活用することで、インクジェット装置の場合と同様の効果が得られる。

従って、前記実施の形態によれば、例えば搬送テーブル３の厚みが主走査方向４１に薄くなっている部分３ｂが複数個所存在しかつ搬送テーブル３の第１走査方向４１及び鉛直方向と垂直な方向（すなわち副走査方向）４２の厚さは一定であるように構成して、搬送テーブル３の第１走査方向４１と平行な方向に対する曲げ剛性が、搬送テーブル３の表面と平行な面内で、かつ、搬送テーブル３の第１走査方向４１と垂直な方向に対する曲げ剛性より小さくなるように構成している。言い換えれば、前記構成により、ピッチング方向における曲げ剛性が搬送テーブル３のローリング方向における曲げ剛性よりも小さくなって、搬送テーブル３にたわみが生じやすくなるため、ガイド部材２ｃの主走査方向４１の撓みに対して追従しやすくなる。よって、ラインヘッド５などの処理部で所定の処理を実施する第１領域Ａの主基準基台１ａのサイズを必要最小限に抑制しつつ、処理範囲における移動精度を担保することができる。

すなわち、長尺で高精度な搬送を要求される搬送ステージ２０において、石材料等の同一材料で構成される主基準基台１ａを含む、複数個の基台１ａ，１ｂ，１ｃに基台部１を分割することによる基台間の高さの差の影響を大幅に軽減した状態で小型化することができ、装置のコストダウン及び調達容易化及び軽量化を実現することができる。そのため、例えば、大型の印刷対象物に対して一度の搬送でラインヘッド５からインクを高精度に塗布するインクジェット装置１０のコストダウンを図ることができ、それにより、印刷対象物６の生産効率を向上させることができる。

なお、前記様々な実施の形態又は変形例のうちの任意の実施の形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施の形態同士の組み合わせ又は実施例同士の組み合わせ又は実施の形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施の形態又は実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。

本発明の前記態様にかかる搬送ステージとそれを使用したインクジェット装置は、大型の印刷対象物にインク等を塗布する装置に有効であり、有機ＥＬの発光体、ホール輸送層、又は電子輸送層の印刷、又は、カラーフィルターの印刷等で、大型の印刷対象物に効率良くインク等の材料を塗布する装置に適用することができる。

１ 基台部
１ａ 主基準基台
１ｂ 補助基台
１ｃ 準基準基台
１ｄ 凹部
２ ガイド
２Ａ 変形したガイド
２ａ、２ｂ レール状の分割ガイド部材
２ｃ レール状のガイド部材
３ 搬送テーブル
３ａ 板厚の厚い部分
３ｂ 板厚の薄い部分（すなわち、溝形状の部分）
３ｘ 直線
４ ガントリー
５ ラインヘッド
６ 印刷対象物
７ フレーム部
８ 高さ調整部
８ａ ガイドを支持する高さ調整部
９ 駆動部
１０ インクジェット装置
１１ 隙間
１２、１２ａ〜１２ｅ 軸受部
１２Ａ ガイド２の上面で支持する軸受部
１２Ｂ ガイド２の側面で支持する軸受部
１３ 回転軸受部
１３ａ 回転軸受支持部
１３ｂ 回転軸受本体部
１４ 継目
１５ 湾曲したガイドの変曲点
１８ くさび機構
２０ 搬送ステージ
２１ 床面
４１ 主走査方向
４２ 副走査方向
４３ 上下方向
６３ 搬送テーブル
Ａ 第１領域
Ｂ 第２領域

Claims (9)

1. 第１分割基台と、第１走査方向沿いに前記第１分割基台の両側に隣接配置される第２分割基台とで構成されて前記第１走査方向沿いに延在する基台部と、
   前記基台部上に前記第１走査方向に沿って延在するように配置され、前記第１分割基台と同一材料の複数のガイド部材を有するガイドと、
   前記ガイドに沿って移動する搬送テーブルと、
   前記ガイドと前記搬送テーブルとの間に配置されて前記搬送テーブルを前記ガイドに沿って移動自在に支持する軸受部と、
   前記搬送テーブルに連結されて前記搬送テーブルを移動させる駆動部と、を含み、
   前記ガイドの前記第１走査方向における前記第１分割基台の鉛直方向の上方の領域を第１領域とし、前記ガイドが前記両側の前記第２分割基台に支持されかつ前記ガイドの前記第１走査方向における前記第１領域以外の領域をそれぞれ第２領域とするとき、前記搬送テーブルが、一方の前記第２領域から前記第１領域、前記第１領域の更に反対側の他方の前記第２領域に亘って走行し、かつ、前記搬送テーブルの前記第１走査方向と平行な方向に対する曲げ剛性が、前記搬送テーブルの表面と平行な面内で、かつ、前記搬送テーブルの前記第１走査方向と垂直な方向に対する曲げ剛性より小さい、搬送ステージ。
2. 前記搬送テーブルの前記第１走査方向と平行な方向に対する曲げ剛性が、前記搬送テーブルの前記第１走査方向の中央部より、前記搬送テーブルの前端部および後端部の方が小さくなるように前記搬送テーブルが構成されている、
   請求項１に記載の搬送ステージ。
3. 前記搬送テーブルの厚さを、前記第１走査方向と平行な方向に沿って、厚い部分と、前記厚い部分よりも厚さが薄い部分とを設け、前記搬送テーブルの表面と平行で、かつ、前記搬送テーブルの前記第１走査方向及び前記鉛直方向と垂直な方向の厚さは一定である、請求項１又は２に記載の搬送ステージ。
4. 前記第１分割基台は石材料で構成され、前記第２分割基台は鉄系材料で構成されている、
   請求項１〜３のいずれか１つに記載の搬送ステージ。
5. 前記搬送テーブル上の処理対象物に対して所定の処理を行い、前記ガイドとの間に前記搬送テーブルが通過する空間を有するように配置される処理部を有し、
   前記処理部の処理位置は、前記第１領域内に含まれる、
   請求項１〜４のいずれか１つに記載の搬送ステージ。
6. 前記搬送テーブルの前記第１走査方向及び前記鉛直方向と直交する方向を第２走査方向とするとき、前記ガイドは、前記第２走査方向の座標が互いに異なる位置に、間隔をあけて、少なくとも３つ以上配置されている、
   請求項１〜５のいずれか１つに記載の搬送ステージ。
7. 前記第１走査方向沿いの前記複数のガイド部材の端部同士が対向する継目は、前記第１領域の領域内に位置する、
   請求項１〜６のいずれか１つに記載の搬送ステージ。
8. 前記第２領域における前記ガイドと前記第２分割基台との間に複数個配置されかつ高さを調整可能な高さ調整部をさらに備え、
   前記第２分割基台を構成する少なくとも１つ以上の材料のうち、最も占有体積の大きい材料の熱膨張係数は、前記第１分割基台を構成する材料の熱膨張係数よりも大きく、前記第２領域における前記ガイドは、前記高さ調整部により、対向面が互いにスライドできる滑り拘束により、不連続に支持されている、
   請求項１〜７のいずれか１つに記載の搬送ステージ。
9. 請求項５に記載の搬送ステージと、
   前記処理部は、前記ガイド部材を跨ぐように配置された支持部材に支持され、前記搬送テーブル上の印刷対象物に、インクを吐出する少なくとも一つ以上の印刷ヘッドとを有し、
   前記印刷ヘッドは、前記第１領域内に配置される、
   インクジェット装置。

Images