WO2013150894A1 - 浮上用エアプレート - Google Patents

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WO2013150894A1
WO2013150894A1 PCT/JP2013/057967 JP2013057967W WO2013150894A1 WO 2013150894 A1 WO2013150894 A1 WO 2013150894A1 JP 2013057967 W JP2013057967 W JP 2013057967W WO 2013150894 A1 WO2013150894 A1 WO 2013150894A1
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WO
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air
suction
plate
holes
hole
Prior art date
Application number
PCT/JP2013/057967
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English (en)
French (fr)
Inventor
角田　耕一
伊藤　彰彦
貴裕 安田
秀夫 小澤
Original Assignee
オイレス工業株式会社
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Publication date
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Priority to US15/210,642 priority patent/US9550633B2/en

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    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
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    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • B65G2249/045—Details of suction cups suction cups

Definitions

  • the present invention relates to a floating air plate, and more particularly to a non-contact transfer device that produces a flat panel display (FPD) such as a large liquid crystal display (LCD) or a plasma display (PDP), a solar cell panel (solar panel), or the like.
  • FPD flat panel display
  • LCD liquid crystal display
  • PDP plasma display
  • solar panel solar panel
  • the present invention relates to a floating air plate used.
  • air is generally ejected from a plate-shaped plate when a conveyed object such as glass is levitated.
  • a form of ejecting air there are a method of ejecting from a porous material such as carbon through fine pores, and a method of processing a large number of small-diameter holes in a thick plate material having high rigidity and ejecting from these holes.
  • the present invention has been made in view of the problems in the above conventional levitation air plate, and can be easily manufactured, and the object to be conveyed such as glass is levitated with high rigidity, and the amount of levitation is increased.
  • An object of the present invention is to provide a flying air plate that can control the airflow with high accuracy.
  • the present invention is a floating air plate, wherein a plurality of air ejection holes and suction holes penetrating from the upper surface to the lower surface are alternately arranged in a top view, and the plurality of air ejections
  • a top plate having a counterbore portion on the lower surface side of each of the holes; a plurality of first orifices penetrating from the upper surface to the lower surface at a position corresponding to the counterbore portion of the top plate;
  • An orifice sheet having a one-to-one communication with the suction hole and having a communication hole penetrating from the upper surface to the lower surface, and an air supply path for supplying air to all the first orifices formed in the orifice sheet
  • a bottom plate having a suction hole and suction holes for sucking air from all the communication holes communicating with the suction holes.
  • the air jetted from the first orifice drilled in the orifice sheet collides with the counterbore part of the top plate and jets upward from the air jet hole in a state where the speed is reduced, Glass or the like positioned above can be levitated with high rigidity without contact.
  • the balance between the pressure of the blown air and the pressure of the sucked air can be adjusted tightly, and the flying height of the conveyed object can be increased. It becomes possible to control with high accuracy.
  • the bottom side plate is composed of an air path plate and a bottom plate, and air communicates with all of the first orifices formed in the orifice sheet on the upper surface of the air path plate.
  • a suction groove that forms a one-to-one communication with the ejection groove and the through hole of the orifice sheet, and communicates with all of the communication holes that communicate with the suction opening on the lower surface of the air path plate.
  • a communication hole that opens to the lower surface and communicates with the air ejection groove, forms an air supply hole and a suction hole that penetrates from the upper surface of the bottom plate to the lower surface, and an upper surface side opening of the air supply hole Communicates with the communication hole communicating with the air ejection groove of the air path plate, and the upper surface side opening of the suction hole communicates with the suction groove of the air path plate. It can be configured sea urchin. Thereby, the production of the air ejection path and the air suction path is facilitated, and the manufacturing cost can be further reduced.
  • a plurality of second orifices penetrating from the upper surface to the lower surface can be provided at positions corresponding to the suction holes of the top plate.
  • the present invention is a floating air plate, wherein a plurality of air ejection holes and suction holes penetrating from the upper surface to the lower surface are alternately arranged in a top view, and the air ejection holes of the top plate And a seat surface sheet having a communication hole having a diameter larger than the diameter of the air ejection hole and the suction hole, and communicating with the air ejection hole of the top plate.
  • an orifice sheet having a plurality of second orifices penetrating from the upper surface to the lower surface, and a space for supplying air to all the first orifices formed in the orifice sheet.
  • Supply path and air supply hole and characterized in that it comprises a bottom plate having an air suction passage and the suction hole for sucking the air from all of the second orifice drilled in the said orifice seat.
  • a counterbore is formed by the communication hole provided in the seating surface, and this counterbore is provided on the seating surface sheet, which is a sheet different from the top plate. The depth can be obtained and the spot facing can be easily performed.
  • the bottom side plate is composed of an air path plate and a bottom plate, and air communicates with all of the first orifices formed in the orifice sheet on the upper surface of the air path plate.
  • a suction opening communicating with all of the ejection groove and the second orifice formed in the orifice sheet is formed, and communicated with all of the communication holes communicating with the suction opening on the lower surface of the air path plate.
  • the upper surface side opening portion communicates with a communication hole communicating with the air ejection groove portion of the air path plate, and the upper surface side opening portion of the suction hole is the suction hole of the air path plate. It may be configured to communicate with the groove. Thereby, the production of the air ejection path and the air suction path is facilitated, and the manufacturing cost can be further reduced.
  • the air ejection holes and suction holes of the top plate are alternately arranged on a plurality of straight lines parallel to each other in a top view of the top plate, and the plurality of straight lines and the levitation
  • the angle formed with the conveyance direction by the air plate can be an angle other than 0 °, 45 °, and 90 °. Accordingly, the air ejection holes and the suction holes are uniformly arranged in the transport direction regardless of the position in the direction perpendicular to the transport direction, so that the object to be transported can be transported in a non-contact manner in a stable state.
  • the dead zone having no jet outlet is reduced when the non-conveyed object moves, so that the non-conveyed object can be uniformly cooled. Can be preferably performed.
  • each of the plurality of orifices of the orifice sheet can be formed by fine hole processing using a laser. Thereby, an orifice can be drilled efficiently in a short time, and the manufacturing cost can be further reduced.
  • the present invention it is possible to provide a levitating air plate that is low in manufacturing cost, can levitate a conveyed object such as glass with high rigidity, and can control the flying height with high accuracy.
  • FIG. 3 is a top view illustrating an arrangement design example of air ejection holes and suction holes of the top plate of FIG. 2.
  • FIG. 1 It is a figure which shows the orifice sheet
  • 2A and 2B are diagrams illustrating a bottom plate of the flying air plate of FIG. 1, in which FIG. 1A is a top view and FIG.
  • FIG. 10A is a top view of the top plate of the flying air plate of FIG. 9, and FIG.
  • FIGS. 10A and 10B are views showing a seating sheet of the flying air plate of FIG. 9, wherein FIG. 10A is a top view and FIG. It is a figure which shows the orifice sheet
  • FIG. 10 is a view showing a bottom plate of the flying air plate of FIG. 9, wherein (a) is a top view, (b) is a cross-sectional view taken along line EE of (a), and (c) is a FF of (a). It is line sectional drawing. It is sectional drawing of the air plate for levitation
  • FIG. 1 shows a first embodiment of a levitation air plate according to the present invention.
  • the levitation air plate 1 has air ejection holes 2c (indicated by white circles) and suction holes 2d (indicated by black circles) on the upper surface.
  • the bottom plate 5 has pores 5c and suction holes 5d.
  • the top plate 2 is subjected to surface grinding with high accuracy, and as shown in FIG. 2, a plurality of air ejection holes 2c and suction holes 2d penetrating from the upper surface 2a to the lower surface 2b are alternately arranged. Counterbore portions 2e are formed on the lower surface 2b side of each air ejection hole 2c.
  • the air ejection hole 2c is about ⁇ 2.5 mm, and the spot facing portion 2e is about ⁇ 8 at a depth of 0.1 to 0.2 mm.
  • the suction holes 2d are formed with the same inner diameter over the entire length.
  • FIG. 3 shows an arrangement design example of the air ejection holes 2c and the suction holes 2d.
  • air ejection holes 2c and suction holes 2d are alternately arranged at the intersections of the lattice.
  • the pitch between the air ejection holes 2c and the suction holes 2d is set according to the thickness of the glass to be transported, and it is economical to design a thin pitch when transporting thin glass or the like, and a sparse pitch for thick glass. Is preferable.
  • the orifice sheet 3 has one set (16 in the present embodiment) of orifices 3c penetrating from the upper surface 3a to the lower surface 3b at a position corresponding to the spot facing portion 2e of the top plate 2.
  • the orifice 3c is a fine hole having a diameter of about 0.03 to 0.05 mm as an air restricting hole.
  • the orifice 3c is formed on a stainless steel sheet having a diameter of about 0.3 mm on the circumference of ⁇ 6 by laser processing or the like in an island shape. A plurality are provided. The air that has passed through the orifice sheet 3 exerts a throttling effect and gives rigidity to the floating glass.
  • the air path plate 4 includes an air ejection groove 4c on the upper surface 4a, and a suction groove 4d on the lower surface 4b.
  • the air ejection groove 4c is an air ejection opening through the communication hole 4e.
  • the suction groove 4d communicates with the suction opening 4h through the communication hole 4f.
  • FIG. 7 when the orifice sheet 3 is positioned on the upper surface 4a of the air path plate 4, the air ejection groove 4c communicates with all the orifices 3c of the orifice sheet 3, and each of the suction openings 4h
  • the orifice sheet 3 communicates with each communicating hole 3d on a one-to-one basis. Further, all the suction openings 4h communicate with the suction groove 4d.
  • the bottom plate 5 has an air supply hole 5 c and a suction hole 5 d that penetrate from the upper surface 5 a to the lower surface 5 b, and the upper surface side opening 5 e of the air supply hole 5 c is an air ejection groove portion of the air path plate 4.
  • the upper surface side opening 5f of the suction hole 5d communicates with the suction groove 4d of the air path plate 4 and communicates with the communication hole 4e communicating with 4c.
  • the bottom plate 5 serves as a lid for the suction groove 4d of the air path plate 4.
  • the lower surface side opening 5g of the air supply hole 5c of the bottom plate 5 and the lower surface side opening 5h of the suction hole 5d are connected to an air supply pipe, a vacuum suction pipe and a vacuum pump, respectively.
  • the top plate 2 to the bottom plate 5 are stacked as shown in FIG.
  • Compressed air entering from the air supply port 5c of the bottom plate 5 enters the air ejection groove 4c of the air path plate 4 and reaches the plurality of orifices 3c scattered in the island shape of the orifice sheet 3 to exert a throttling effect. Then, the air jetted from the orifice 3c collides with the counterbore part 2e of the top plate 2, and the speed is reduced from the air jet hole 2c of about 2.5 mm toward the glass or the like through the gap with the seat surface. Blown out. Thereby, glass etc. can be levitated above the upper surface 2a without contact and with high rigidity.
  • the air sucked from the suction hole 2d of the top plate 2 passes through the communication hole 3d having a diameter of about 2.5 mm in the orifice sheet 3 and passes through the suction groove 4d processed into a lattice shape on the lower surface of the air path plate 4. After that, it passes through the suction hole 5d of the bottom plate 5 and is finally exhausted to the vacuum pump.
  • FIG. 8 is a diagram for explaining a procedure for conveying glass or the like using a floating air plate.
  • the air ejection hole 12c and the suction hole 12d intersect each other vertically. Since they are alternately arranged at the intersections of the straight lines, in the transport line L1, glass or the like is not located immediately above the air ejection holes 12c or the suction holes 12d, and in the transport line L2, glass or the like is not located in the air ejection holes 12c or 12c. It will be located directly above the suction hole 12d.
  • the levitation force and suction force for the glass or the like are greatly different between the conveyance lines L1 and L2, and the glass or the like cannot be conveyed in a non-contact manner in a stable temperature state.
  • an angle ⁇ formed by a plurality of straight lines passing through the air ejection holes 2c and the suction holes 2d and the conveying direction T by the flying air plate is 30. 8 (b), as shown in FIG. 8 (b), no matter what line the glass passes through, such as the transfer lines L3 and L4, the glass etc. is evenly placed directly above the air ejection holes 2c and the suction holes 2d. Since it is positioned and the levitation force and the suction force can be uniformly applied to the glass or the like, the glass or the like can be conveyed in a non-contact manner in a stable state.
  • the flying air plate 1 has a plurality of air ejection holes 2c and suction holes 2d penetrating from the upper surface 2a to the lower surface 2b alternately in a top view.
  • the top plate 2 is disposed and has a counterbore 2e on the lower surface side of each of the plurality of air ejection holes 2c, and corresponds to the counterbore 2e of the top plate 2 as shown in FIGS.
  • a plurality of orifices 3c penetrating from the upper surface 3a to the lower surface 3b are provided at a position, and the orifice sheet 3 having one-to-one communication with the suction holes 2d of the top plate 2 and penetrating from the upper surface 3a to the lower surface 3b is provided.
  • the first feature is that the use of the air path plate 4 and the bottom plate 5 having the above-mentioned configuration is preferable because of various advantages, but is limited to these configurations. Rather, air can be supplied to all the orifices 3c formed in the orifice sheet 3 on the bottom side, and air can be sucked from the communication holes of all the orifice sheets 3 communicating with the suction holes 2d. Any configuration of plates can be used.
  • the air ejection holes 2c (see FIG. 2) having the orifice 3c (see FIG. 4) having a throttling effect on the lower side and the suction holes 2d are alternately arranged. It is necessary to give a high rigidity to the floating glass by arranging a plurality. For example, in the case of G8 size glass (2,200 ⁇ 2,500 ⁇ t), about 60,000 orifices 3c ( ⁇ 0.05 mm) and about 3,000 air ejection holes 2c ( ⁇ 2.5 mm) are provided. , About 3,000 suction holes 2d ( ⁇ 2.5 mm) are arranged and designed.
  • the orifice 3c for giving a squeezing effect is formed by drilling 60,000 holes of ⁇ 0.05mm in a stainless steel sheet having a thickness of 0.3mm. At this time, the time required for processing can be reduced by using laser processing or the like. It can be shortened significantly.
  • the processing time required to process 60,000 holes with a diameter of about 0.05 mm on a stainless steel plate having a thickness of about 10 mm using a drill is 60,000 minutes (1 hole 1 minute or more), that is, 40 days or more. It will be. Considering the life of the drill, this is almost impossible.
  • a large number of fine holes are processed in a thin (for example, 0.3 mm) orifice sheet 3 to form a fine hole (for example, 0. 05mm) can be processed with a process of about ⁇ 2.5mm.
  • the speed of the ejection air is estimated to be 76.8 m / sec under the conditions of the supply air pressure of 10 kPa and the flying height of 0.25 mm.
  • the velocity of the air that collides with the air ejection hole 2c provided on the lower surface 2b of the top plate 2 and passes through the gap and is blown out from the air ejection hole 2c is reduced to about 20 m / sec, and glass or the like.
  • the generation of static electricity due to air hitting is extremely small.
  • the speed when the flying height is 20 mm, the speed is 1 m / sec or less, and does not cause disturbance disturbance of the downflow airflow from the ceiling of the clean room.
  • the diameter of the air ejection hole is ⁇ 0.1 mm
  • the supply air pressure is 10 kPa
  • the flying height of the glass is 0.25 mm
  • the speed is 95 m / sec
  • static electricity is generated.
  • FIG. 9 shows a second embodiment of the levitation air plate according to the present invention.
  • the levitation air plate 21 has an air ejection hole 22c (indicated by a white circle) and a suction hole 22d (indicated by a black circle) on the upper surface.
  • the plate 24 and the bottom plate 25 located below the air path plate 24 and having the air supply holes 25c and the suction holes 25d are configured.
  • the top plate 22 is provided with a plurality of air ejection holes 22c and suction holes 22d alternately penetrating from the upper surface 22a to the lower surface 22b, similarly to the top plate 2 according to the first embodiment.
  • the arrangement of the air ejection holes 22c and the suction holes 22d is the same as that of the first embodiment shown in FIG. 3.
  • the air ejection holes 22c are about ⁇ 2.5 mm, and the suction holes 22d are about ⁇ 4.0 mm.
  • the seat surface sheet 26 is provided with a communication hole 26c penetrating from the upper surface 26a to the lower surface 26b at a position corresponding to the air ejection hole 22c and the suction hole 22d.
  • the communication hole 26c is for guiding the air ejected from an air ejection orifice portion 23d of the orifice sheet 23, which will be described later, in the horizontal direction, and has a larger diameter than the air ejection hole 22c and the suction hole 22d.
  • the diameter of the communication hole 26c is about ⁇ 8 mm.
  • the counterbore part 2e provided in the top plate 2 by 1 embodiment can be formed.
  • an LCD panel for TV can improve the precision of counterbore processing for a large top plate having a side exceeding 2500 mm, and a uniform counterbore depth can be obtained. Processing can be performed easily.
  • the orifice sheet 23 includes a set (eight in the present embodiment) of orifices 23c penetrating from the upper surface 23a to the lower surface 23b at positions corresponding to the air ejection holes 22c of the top plate 22.
  • the orifice 23c is a fine hole of about 0.03 to 0.10 mm as a throttle hole for air.
  • the orifice 23c is formed into a predetermined shape by laser processing or the like in an island shape on a stainless steel sheet of about 0.15 to 0.3 mm.
  • a plurality are provided on a circumference having a diameter.
  • 4 to 8 orifices 23c are provided on the circumference of about ⁇ 6.0 mm, and in the suction orifice portion 23e, 3 to 6 orifices are provided on the circumference of about ⁇ 3.0 mm.
  • the orifice 23c is provided.
  • the air that has passed through the orifice sheet 23 exerts a throttling effect and gives rigidity to the floating glass. Further, by providing the orifice 23c also on the suction side, it is possible to exert a throttling effect on the sucked air and suppress a change in suction force.
  • the air path plate 24 is provided with an air ejection groove 24c on the upper surface 24a and a suction groove 24d on the lower surface 24b, similar to the air path plate 4 according to the first embodiment.
  • the groove 24c communicates with the air ejection opening 24g through the communication hole 24e, and the suction groove 24d communicates with the suction opening 24h through the communication hole 24f.
  • the air ejection groove 24 c communicates with all the orifices 23 c of the air ejection orifice 23 d in the orifice sheet 23 and is suctioned.
  • Each of the opening portions 24h communicates with all of the orifices 23c of the suction orifice portion 23e in the orifice sheet 23. Further, all the suction openings 24h communicate with the suction groove 24d.
  • the suction groove 24d is divided into three so that the air paths are independent from each other in the conveyance direction of glass or the like. Show. Further, the suction groove 24d is not limited to this, and may be divided into, for example, three or more, or may be configured not to divide the suction groove 24d as in the first embodiment.
  • the bottom plate 25 has an air supply hole 25c and a suction hole 25d penetrating from the upper surface 25a to the lower surface 25b, like the bottom plate 5 according to the first embodiment.
  • the upper surface side opening 25e of the air supply hole 25c communicates with the communication hole 24e communicating with the air ejection groove 24c of the air path plate 24, and the upper surface side opening 25f of the suction hole 25d is the suction groove of the air path plate 24. It communicates with 24d.
  • the bottom plate 25 serves as a lid for the suction groove 24d of the air path plate 24.
  • the lower surface side opening 25g of the air supply hole 25c of the bottom plate 25 and the lower surface side opening 25h of the suction hole 25d are connected to an air supply pipe, a vacuum suction pipe and a vacuum pump, respectively.
  • the top plate 22 to the bottom plate 25 are stacked as shown in FIG.
  • the compressed air that has entered from the air supply port 25c of the bottom plate 25 enters the air ejection groove 24c of the air path plate 24, and a plurality of orifices 23c (air ejection orifices 23d) that are scattered in an island shape of the orifice sheet 23.
  • the air that has passed through the communication hole 26c of the seat surface sheet 26 collides with the bottom surface of the top plate 22 and passes through the gap with the seat surface from the air ejection hole 22c of about 2.5 mm. It blows off at a reduced speed toward glass. Thereby, glass etc. can be levitated with high rigidity above the upper surface 22a without contact.
  • the air sucked from the suction holes 22d of the top plate 22 passes through the communication holes 26c of the seat surface sheet 26, and a plurality of orifices 23c (suction orifice portions 23e) scattered in the island shape of the orifice sheet 23.
  • the diaphragm effect is exhibited, passes through the suction holes 25d of the bottom plate 25 through the suction grooves 24d processed in a lattice shape on the lower surface of the air path plate 24, and is finally exhausted to the vacuum pump.
  • the top plate 22 provided with the air ejection holes 22c and the suction holes 22d and the communication holes 26c having a diameter larger than the diameters of the air ejection holes 22c and the suction holes 22d are provided.
  • the counterbore 2 e provided on the top plate 2 according to the first embodiment is used as the seating sheet 26.
  • the communication hole 3d for sucking air to the orifice sheet 3 is provided.
  • the present invention is not limited to this, and it is arranged in an island shape as in the second embodiment.
  • a set of orifices 3c may be provided.
  • a communication hole may be provided in the same manner as in the first embodiment.
  • the suction groove 4d provided on the lower surface 4b of the air path plate 4 is divided and provided in the conveyance direction of glass or the like, as in the second embodiment. Also good.

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Abstract

　上面（２ａ）から下面（２ｂ）に貫通する空気噴出孔（２ｃ）及び吸引孔（２ｄ）が、上面視で交互に複数配設されると共に、複数の空気噴出孔の各々の下面側に座ぐり部（２ｅ）を有するトッププレート（２）と、トッププレートの座ぐり部に対応する位置に、上面（３ａ）から下面（３ｂ）に貫通する複数のオリフィス（３ｃ）を有すると共に、トッププレートの吸引孔に一対一で連通し、上面から下面に貫通する連通孔（３ｄ）を有するオリフィスシート（３）と、オリフィスシートに穿設されたすべてのオリフィスに空気を供給するための空気供給経路（４ｃ）及び給気孔（５ｃ）、並びに吸引孔に連通するすべての連通孔から空気を吸引する空気吸引経路（４ｄ）及び吸引孔（５ｄ）を有するボトム側プレート（４）、（５）とを備える浮上用エアプレート（１）。

Description

浮上用エアプレート
　本発明は、浮上用エアプレートに関し、特に、大型の液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）や太陽電池パネル（ソーラーパネル）等を生産する非接触搬送装置に用いられる浮上用エアプレートに関する。
　ＦＰＤやソーラーパネル等の生産に際し、１枚のパネルを大型化することで生産効率を向上させる方法が採用されている。そのため、ＦＰＤの搬送方法として従来のソロバン型ローラー等を用いた接触型の搬送装置では、ガラスの薄肉化、大型化、高速化、ストレスフリー化、浮上量を高精度に維持した状態での搬送等で不利であることから、非接触空気浮上搬送が求められている。
　この非接触空気浮上搬送では、ガラス等の被搬送物を浮上させるにあたって、プレート形状の板から空気を噴出させることが一般的である。空気を噴出させる形態として、カーボン等の多孔質材料から微細気孔を通して噴出させる方法と、高剛性を有する厚板材に小径孔を多数加工し、この孔から噴出させる方法がある。
　搬送されるガラスに描かれた回路パターンの検査や、コーティングの工程では、ガラスの浮上精度を高精度に維持する必要がある。そのため、ガラスを高剛性で浮上させ、ガラスの反りを矯正する方法が必要とされる。
　従来、ガラス等を高剛性で浮上保持するため、多孔質絞りの静圧気体軸受と吸引孔とを組み合わせることが提唱されている。しかし、高精度で大型の多孔質絞り構造を製作するのは困難であり、２ｍ×２ｍレベルの大型製品は実現していない。また、高剛性を有する厚板材に小径孔を多数加工する形式のエアベアリングを製作するには、膨大な時間と費用がかかるという問題があった。
　そこで、本発明は、上記従来の浮上用エアプレートにおける問題点に鑑みてなされたものであって、容易に製造することができると共に、ガラス等の被搬送物を高剛性で浮上させ、浮上量を高精度に制御することのできる浮上用エアプレートを提供することを目的とする。
　上記目的を達成するため、本発明は、浮上用エアプレートであって、上面から下面に貫通する空気噴出孔及び吸引孔が、上面視で交互に複数配設されると共に、前記複数の空気噴出孔の各々の下面側に座ぐり部を有するトッププレートと、該トッププレートの前記座ぐり部に対応する位置に、上面から下面に貫通する複数の第１のオリフィスを有すると共に、前記トッププレートの前記吸引孔に一対一で連通し、上面から下面に貫通する連通孔を有するオリフィスシートと、該オリフィスシートに穿設されたすべての第１のオリフィスに空気を供給するための空気供給経路及び給気孔、並びに前記吸引孔に連通するすべての連通孔から空気を吸引する空気吸引経路及び吸引孔を有するボトム側プレートとを備えることを特徴とする。
　そして、本発明によれば、オリフィスシートに穿設した第１のオリフィスから噴き出された空気がトッププレートの座ぐり部に衝突し、速度を落とした状態で空気噴出孔から上方に噴出し、上方に位置するガラス等を非接触で高剛性で浮上させることができる。また、空気噴出孔及び吸引孔を交互に複数配設することで、吹き出される空気の圧力と、吸引される空気の圧力のバランスをち密に調整することができ、被搬送物の浮上量を高精度に制御することが可能となる。
　上記浮上用エアプレートにおいて、前記ボトム側プレートを空気経路プレートと、ボトムプレートとで構成し、該空気経路プレートの上面に、前記オリフィスシートに穿設された第１のオリフィスのすべてに連通する空気噴出用溝部と、前記オリフィスシートの前記貫通孔に一対一で連通する吸引用開口を形成し、該空気経路プレートの下面に、前記吸引用開口に連通する連通孔のすべてに連通する吸引用溝部と、該下面に開口して前記空気噴出用溝部に連通する連通孔とを形成し、前記ボトムプレートの上面から下面に貫通する給気孔及び吸引孔を形成し、該給気孔の上面側開口部が前記空気経路プレートの前記空気噴出用溝部に連通する連通孔に連通し、前記吸引孔の上面側開口部が前記空気経路プレートの前記吸引用溝部に連通するように構成することができる。これにより、空気噴出経路と空気吸引経路の作製が容易となり、製造コストをより低減することができる。
　上記浮上用エアプレートにおいて、前記オリフィスシートの前記連通孔に代えて、前記トッププレートの前記吸引孔に対応する位置に、上面から下面に貫通する複数の第２のオリフィスとすることができる。これにより、吸引される空気に対しても絞り効果を発揮し、吸引力の変化を抑制することができる。
　また、本発明は、浮上用エアプレートであって、上面から下面に貫通する空気噴出孔及び吸引孔が、上面視で交互に複数配設されるトッププレートと、該トッププレートの前記空気噴出孔及び吸引孔に一対一で連通し、上面から下面に貫通する、前記空気噴出孔及び吸引孔の径より大きい径の連通孔を有する座面シートと、前記トッププレートの前記空気噴出孔に連通する前記座面シートの連通孔に対応する位置に、上面から下面に貫通する複数の第１のオリフィスを有すると共に、前記トッププレートの前記吸引孔に連通する前記座面シートの連通孔に対応する位置に、上面から下面に貫通する複数の第２のオリフィスを有するオリフィスシートと、該オリフィスシートに穿設されたすべての第１のオリフィスに空気を供給するための空気供給経路及び給気孔、並びに該オリフィスシートに穿設されたすべての第２のオリフィスから空気を吸引する空気吸引経路及び吸引孔を有するボトム側プレートとを備えることを特徴とする。本発明によれば、前記発明と同様に、上方に位置するガラス等を非接触で高剛性で浮上させることができると共に、被搬送物の浮上量を高精度に制御することができる。
　また、座面シートに設けられた連通孔によって座ぐり部が形成され、この座ぐり部をトッププレートと異なるシートである座面シートに設けるため、座ぐり加工の精度を高め、均一な座ぐり深さを得ることができると共に、座ぐり加工を容易に行うことができる。
　上記浮上用エアプレートにおいて、前記ボトム側プレートを空気経路プレートと、ボトムプレートとで構成し、該空気経路プレートの上面に、前記オリフィスシートに穿設された第１のオリフィスのすべてに連通する空気噴出用溝部と、前記オリフィスシートに穿設された第２のオリフィスのすべてに連通する吸引用開口を形成し、該空気経路プレートの下面に、前記吸引用開口に連通する連通孔のすべてに連通する吸引用溝部と、該下面に開口して前記空気噴出用溝部に連通する連通孔とを形成し、前記ボトムプレートの上面から下面に貫通する給気孔及び吸引孔を形成し、該給気孔の上面側開口部が前記空気経路プレートの前記空気噴出用溝部に連通する連通孔に連通し、前記吸引孔の上面側開口部が前記空気経路プレートの前記吸引用溝部に連通するように構成することができる。これにより、空気噴出経路と空気吸引経路の作製が容易となり、製造コストをより低減することができる。
　上記浮上用エアプレートにおいて、前記トッププレートの前記空気噴出孔と吸引孔とを、該トッププレートの上面視で互いに並行な複数の直線上に交互に配置すると共に、該複数の直線と、該浮上用エアプレートによる搬送方向とのなす角度を０°、４５°及び９０°以外の角度とすることができる。これにより、搬送方向に対して垂直な方向の位置に関わらず、空気噴出孔と吸引孔が搬送方向に均一に配列されるため、安定した状態で被搬送物を非接触搬送することができる。さらに、ガラス等の非搬送物がコーティング等により温度が高い状態で搬送される場合においては、非搬送物が移動する際に噴出口がないデッドゾーンが少なくなるため、非搬送物の均一な冷却を好ましく行うことができる。
　上記浮上用エアプレートにおいて、前記オリフィスシートの前記複数のオリフィスの各々をレーザーを用いた微細孔加工により穿設することができる。これにより、オリフィスを短時間で効率よく穿設することができ、製造コストをさらに低減することができる。
　以上のように、本発明によれば、製造コストが低く、ガラス等の被搬送物を高剛性で浮上させ、浮上量を高精度に制御することのできる浮上用エアプレートを提供することができる。
本発明に係る浮上用エアプレートの第１の実施形態を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は上面図、（ｃ）は下面図である。 図１の浮上用エアプレートのトッププレートを示す図であって、（ａ）は上面図、（ｂ）は（ａ）のＡ－Ａ線断面図、（ｃ）は下面図、（ｄ）は座ぐり部及びその周辺を示す拡大断面図である。 図２のトッププレートの空気噴出孔及び吸引孔の配列設計例を示す上面図である。 図１の浮上用エアプレートのオリフィスシートを示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は上面図である。 図１の浮上用エアプレートの空気経路プレートを示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は上面図（ｃ）は下面図、（ｄ）は空気噴出用溝部及び吸引用溝部、並びにその周辺を示す拡大断面図である。 図１の浮上用エアプレートのボトムプレートを示す図であって、（ａ）は上面図、（ｂ）は（ａ）のＢ－Ｂ線断面図である。 図１の浮上用エアプレートの断面図である。 浮上用エアプレートを用いてガラス等を搬送する要領を説明するための上面図であって、（ａ）は従来例を、（ｂ）は本発明の第１の実施形態の場合を示す。 本発明に係る浮上用エアプレートの第２の実施形態を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は上面図、（ｃ）は下面図である。 図９の浮上用エアプレートのトッププレートを示す図であって、（ａ）は上面図、（ｂ）は（ａ）のＣ－Ｃ線断面図である。 図９の浮上用エアプレートの座面シートを示す図であって、（ａ）は上面図、（ｂ）は（ａ）のＤ－Ｄ線断面図である。 図９の浮上用エアプレートのオリフィスシートを示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は上面図である。 図９の浮上用エアプレートの空気経路プレートを示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は上面図、（ｃ）は下面図、（ｄ）は空気噴出用溝部及び吸引用溝部、並びにその周辺を示す拡大断面図である。 図９の浮上用エアプレートのボトムプレートを示す図であって、（ａ）は上面図、（ｂ）は（ａ）のＥ－Ｅ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＦ－Ｆ線断面図である。 図９の浮上用エアプレートの断面図である。
  次に、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。
　図１は、本発明に係る浮上用エアプレートの第１の実施形態を示し、この浮上用エアプレート１は、上面に空気噴出孔２ｃ（白丸で表示）及び吸引孔２ｄ（黒丸で表示）が交互に複数配設されたトッププレート２と、トッププレート２の下方に位置するオリフィスシート３と、オリフィスシート３の下方に位置する空気経路プレート４と、空気経路プレート４の下方に位置し、給気孔５ｃ及び吸引孔５ｄを有するボトムプレート５とで構成される。
　トッププレート２は、高精度に平面研削加工され、図２に示すように、上面２ａから下面２ｂに貫通する空気噴出孔２ｃ及び吸引孔２ｄが交互に複数配設される。各々の空気噴出孔２ｃの下面２ｂ側には、座ぐり部２ｅが形成される。空気噴出孔２ｃはφ２．５ｍｍ程度とし、座ぐり部２ｅは、０．１～０．２ｍｍの深さで約φ８である。吸引孔２ｄは、全長にわたって同一内径で形成される。
　図３は、空気噴出孔２ｃ及び吸引孔２ｄの配列設計例を示す。同図に示すように、格子目の交点に交互に空気噴出孔２ｃと吸引孔２ｄとを配置する。空気噴出孔２ｃと吸引孔２ｄの位置は、プレートの呼び寸法により決定されるが、０．７ｍｍ厚さのガラスの場合には、約１０ｍｍで略々ｘ＝ｙの関係とする。空気噴出孔２ｃと吸引孔２ｄのピッチは、搬送されるガラス等の厚みにより設定され、薄いガラス等を搬送する場合にはち密なピッチとし、厚いガラスには疎なピッチに設計することが経済的に好ましい。
　図４に示すように、オリフィスシート３は、トッププレート２の座ぐり部２ｅに対応する位置に、上面３ａから下面３ｂに貫通する１組（本実施の形態では１６個）のオリフィス３ｃを有すると共に、トッププレート２の吸引孔２ｄに連通し、上面３ａから下面３ｂに貫通する連通孔３ｄを有する。
　オリフィス３ｃは、空気の絞り孔として０．０３～０．０５ｍｍ程度の微細孔であって、例えば、０．３ｍｍ程度のステンレス鋼製のシートに島状にレーザー加工等によりφ６の円周上に複数個設けたものである。このオリフィスシート３を通過した空気は、絞り効果を発揮し、浮上ガラスに剛性を与える。
　図５に示すように、空気経路プレート４は、上面４ａに空気噴出用溝部４ｃを、下面４ｂに吸引用溝部４ｄを備え、空気噴出用溝部４ｃは連通孔４ｅを介して空気噴出用開口部４ｇに連通し、吸引用溝部４ｄは連通孔４ｆを介して吸引用開口部４ｈに連通する。図７に示すように、空気経路プレート４の上面４ａにオリフィスシート３が位置すると、空気噴出用溝部４ｃは、オリフィスシート３のオリフィス３ｃのすべてに連通すると共に、吸引用開口部４ｈの各々は、オリフィスシート３の各々の連通孔３ｄに一対一で連通する。また、すべての吸引用開口部４ｈは、吸引用溝部４ｄに連通する。
　図６に示すように、ボトムプレート５は、上面５ａから下面５ｂに貫通する給気孔５ｃ及び吸引孔５ｄを有し、給気孔５ｃの上面側開口部５ｅが空気経路プレート４の空気噴出用溝部４ｃに連通する連通孔４ｅに連通し、吸引孔５ｄの上面側開口部５ｆが空気経路プレート４の吸引用溝部４ｄに連通する。このように、ボトムプレート５は、空気経路プレート４の吸引用溝部４ｄの蓋の役割を果たす。ボトムプレート５の給気孔５ｃの下面側開口部５ｇ及び吸引孔５ｄの下面側開口部５ｈは、各々給気用配管並びに真空吸引用配管及び真空ポンプに接続される。
　上記トッププレート２～ボトムプレート５は、図７に示すように重ねられ、組立用ボルト７によって一体化される。
　次に、上記構成を有する浮上用エアプレート１の動作について、図７を中心に参照しながら説明する。
　ボトムプレート５の給気口５ｃから入った圧縮空気が空気経路プレート４の空気噴出用溝部４ｃに入り、オリフィスシート３の島状に点在する複数個のオリフィス３ｃに到達して絞り効果を発揮し、トッププレート２の座ぐり部２ｅにオリフィス３ｃから噴き出された空気が衝突し、座面との隙間を通って２．５ｍｍ程度の空気噴出孔２ｃからガラス等に向かって速度を落として吹き出される。これにより、ガラス等を上面２ａの上方に非接触で高剛性で浮上させることができる。
　また、トッププレート２の吸引孔２ｄから吸い込まれた空気は、オリフィスシート３のφ２．５ｍｍ程度の連通孔３ｄを通過し、空気経路プレート４の下面に格子状に加工された吸引用溝部４ｄを経てボトムプレート５の吸引孔５ｄを通過し、最終的に真空ポンプに排気される。
　図８は、浮上用エアプレートを用いてガラス等を搬送する要領を説明するための図であって、（ａ）に示す従来例では、空気噴出孔１２ｃと、吸引孔１２ｄとを垂直に交わる直線の交点に交互に配置しているため、搬送ラインＬ１では、ガラス等が空気噴出孔１２ｃや吸引孔１２ｄの直上に位置することがなく、搬送ラインＬ２では、ガラス等が空気噴出孔１２ｃや吸引孔１２ｄの直上に位置することとなる。このように、搬送ラインＬ１、Ｌ２とでガラス等に対する浮上力と吸引力とが大きく異なり、安定した温度状態でガラス等を非接触搬送することができない。
　一方、本発明の第１の実施形態では、図３に示すように、空気噴出孔２ｃ及び吸引孔２ｄを通過する複数の直線と、浮上用エアプレートによる搬送方向Ｔとのなす角度θを３０°程度としたため、図８（ｂ）に示すように、搬送ラインＬ３、Ｌ４のように、ガラス等がどのラインを通過しても、ガラス等が空気噴出孔２ｃや吸引孔２ｄの直上に満遍なく位置することとなり、ガラス等に対して浮上力と吸引力とが均一に付与できるため、安定した状態でガラス等を非接触搬送することができる。尚、図３における空気噴出孔２ｃ及び吸引孔２ｄを通過する複数の直線と、浮上用エアプレートによる搬送方向Ｔとのなす角度θは、３０°程度に限定されず、０°、４５°及び９０°以外の角度であれば、上述のように、ガラス等が空気噴出孔２ｃや吸引孔２ｄの直上に満遍なく位置し、安定した状態で非接触搬送することができる。
　尚、本発明の第１の実施形態に係る浮上用エアプレート１は、図２に示すように、上面２ａから下面２ｂに貫通する空気噴出孔２ｃ及び吸引孔２ｄが、上面視で交互に複数配設されると共に、複数の空気噴出孔２ｃの各々の下面側に座ぐり部２ｅを有するトッププレート２と、図４及び図７に示すように、トッププレート２の座ぐり部２ｅに対応する位置に、上面３ａから下面３ｂに貫通する複数のオリフィス３ｃを有すると共に、トッププレート２の吸引孔２ｄに一対一で連通し、上面３ａから下面３ｂに貫通する連通孔を有するオリフィスシート３を備えることを第１の特徴とするのであって、上記構成を有する空気経路プレート４及びボトムプレート５を用いることが種々の利点があって好ましいが、これらの構成に限定されるものではなく、ボトム側に、オリフィスシート３に穿設されたすべてのオリフィス３ｃに空気を供給することができ、吸引孔２ｄに連通するすべてのオリフィスシート３の連通孔から空気を吸引することのできるプレートであれば、いかなる構成のものも使用することができる。
　次に、本発明の第１の実施形態に係る浮上用エアプレートの実施例について説明する。
　上述のように、空気浮上するガラスを高精度に保持するため、絞り効果を持ったオリフィス３ｃ（図４参照）を下方に備える空気噴出孔２ｃ（図２参照）と、吸引孔２ｄとを交互に複数個配列して浮上ガラスに高剛性を与える必要がある。例えば、Ｇ８サイズのガラス（２，２００×２，５００×ｔ）の場合では、オリフィス３ｃ（φ０．０５ｍｍ）を約６０，０００個、空気噴出孔２ｃ（φ２．５ｍｍ）を約３，０００個、吸引孔２ｄ（φ２．５ｍｍ）を約３，０００個配列設計する。
　絞り効果を持たせるオリフィス３ｃは、板厚が０．３ｍｍのステンレス鋼製のシートにφ０．０５ｍｍ孔を６０，０００個穿設するが、この際レーザー加工等を用いることで加工に要する時間を顕著に短縮させることができる。
　これに対し、板厚１０ｍｍ程度のステンレス鋼板にφ０．０５の孔をドリルを用いて６００００個加工するのに要する加工時間は、６０，０００分（１孔１分以上）、すなわち４０日以上かかることになる。ドリルの寿命を考慮すると不可能に近い加工といえる。
　本発明の第１の実施形態では、薄い（例えば０．３ｍｍ）のオリフィスシート３に微細孔を多数加工することで、トッププレート２のように厚い（例えば１０ｍｍ）板材に微細孔（例えば０．０５ｍｍ）の加工をせずにφ２．５ｍｍ程度の加工で済ませることができる。
　空気噴出孔の径がφ０．０５ｍｍの場合には、給気圧が１０ｋＰａ、浮上高さ０．２５ｍｍの条件では、噴出空気の速度が７６．８ｍ／ｓｅｃと試算されるが、本発明の第１の実施形態では、トッププレート２の下面２ｂに設けられた空気噴出孔２ｃに衝突し、隙間を通過して空気噴出孔２ｃから吹き出される空気の速度は約２０ｍ／ｓｅｃに低下し、ガラス等に当る空気による静電気の発生は極めて小さくなる。
　また、本発明の第１の実施形態では、浮上高さ２０ｍｍでは速度は１ｍ／ｓｅｃ以下となり、クリーンルームの天井からのダウンフローの気流の外乱障害にはならない。これが、空気噴出孔の径がφ０．１ｍｍで給気圧が１０ｋＰａ、ガラスの浮上高さ０．２５ｍｍの条件では、速度が９５ｍ／ｓｅｃとなり、静電気が発生するため、その対策が必要となる。また、クリーンルームのダウンフローの気流の外乱要因にもなる。
  次に、本発明を実施するための第２の実施形態について図面を参照しながら説明する。
　図９は、本発明に係る浮上用エアプレートの第２の実施形態を示し、この浮上用エアプレート２１は、上面に空気噴出孔２２ｃ（白丸で表示）及び吸引孔２２ｄ（黒丸で表示）が交互に複数配設されたトッププレート２２と、トッププレート２２の下方に位置する座面シート２６と、座面シート２６の下方に位置するオリフィスシート２３と、オリフィスシート２３の下方に位置する空気経路プレート２４と、空気経路プレート２４の下方に位置し、給気孔２５ｃ及び吸引孔２５ｄを有するボトムプレート２５とで構成される。
　図１０に示すように、トッププレート２２は、第１の実施形態によるトッププレート２と同様に、上面２２ａから下面２２ｂに貫通する空気噴出孔２２ｃ及び吸引孔２２ｄが交互に複数配設される。空気噴出孔２２ｃ及び吸引孔２２ｄの配列については、図３に示す第１の実施形態と同様であり、空気噴出孔２２ｃはφ２．５ｍｍ程度とし、吸引孔２２ｄはφ４．０ｍｍ程度とする。
　図１１に示すように、座面シート２６は、空気噴出孔２２ｃ及び吸引孔２２ｄに対応する位置に、上面２６ａから下面２６ｂに貫通する連通孔２６ｃが配設される。連通孔２６ｃは、後述するオリフィスシート２３の空気噴出用オリフィス部２３ｄから噴出する空気を水平方向に案内するためのものであり、空気噴出孔２２ｃ及び吸引孔２２ｄよりも大きい径とされる。例えば、座面シート２６の厚みが０．１５～０．３ｍｍ程度である場合、連通孔２６ｃの径は、φ８ｍｍ程度である。このように連通孔２６ｃの径を設定することにより、空気に対する絞り効果と空気の噴出速度を抑える効果を持たせることができる。
　このように、座面シート２６に配設された連通孔２６ｃの径を空気噴出孔２２ｃ及び吸引孔２２ｄの径より大きくすることにより、トッププレート２２及び座面シート２６を積層した際に、第１の実施形態によるトッププレート２に設けられた座ぐり部２ｅを形成することができる。
　これによって、例えば、ＴＶ（TeleVision）用のＬＣＤパネル等の、一辺が２５００ｍｍを超えるような大きなトッププレートに対する座ぐり加工の精度を高め、均一な座ぐり深さを得ることができると共に、座ぐり加工を容易に行うことができる。
　図１２に示すように、オリフィスシート２３は、トッププレート２２の空気噴出孔２２ｃに対応する位置に、上面２３ａから下面２３ｂに貫通する１組（本実施の形態では８個）のオリフィス２３ｃからなる空気噴出用オリフィス部２３ｄを有すると共に、トッププレート２２の吸引孔２２ｄに対応する位置に、上面２３ａから下面２３ｂに貫通する１組（本実施の形態では４個）のオリフィス２３ｃからなる吸引用オリフィス部２３ｅを有する。
　オリフィス２３ｃは、空気の絞り孔として０．０３～０．１０ｍｍ程度の微細孔であって、例えば、０．１５～０．３ｍｍ程度のステンレス鋼製のシートに島状にレーザー加工等により所定の径を有する円周上に複数個設けたものである。例えば、空気噴出用オリフィス部２３ｄでは、φ６．０ｍｍ程度の円周上に４～８個のオリフィス２３ｃが設けられ、吸引用オリフィス部２３ｅでは、φ３．０ｍｍ程度の円周上に３～６個のオリフィス２３ｃが設けられる。
　このオリフィスシート２３を通過した空気は、絞り効果を発揮し、浮上ガラスに剛性を与える。また、吸引側にもオリフィス２３ｃを設けることにより、吸引される空気に対する絞り効果を発揮し、吸引力の変化を抑制することができる。
　図１３に示すように、空気経路プレート２４は、第１の実施形態による空気経路プレート４と同様に、上面２４ａに空気噴出用溝部２４ｃを、下面２４ｂに吸引用溝部２４ｄを備え、空気噴出用溝部２４ｃは連通孔２４ｅを介して空気噴出用開口部２４ｇに連通し、吸引用溝部２４ｄは連通孔２４ｆを介して吸引用開口部２４ｈに連通する。
　図１５に示すように、空気経路プレート２４の上面２４ａにオリフィスシート２３が位置すると、空気噴出用溝部２４ｃは、オリフィスシート２３における空気噴出用オリフィス部２３ｄのオリフィス２３ｃのすべてに連通すると共に、吸引用開口部２４ｈの各々は、オリフィスシート２３における吸引用オリフィス部２３ｅのオリフィス２３ｃのすべてに連通する。また、すべての吸引用開口部２４ｈは、吸引用溝部２４ｄに連通する。
　尚、この例では、ガラス等を搬送する際の浮上量の変化を抑制するために、吸引用溝部２４ｄを、ガラス等の搬送方向に対して空気経路が互いに独立するように３分割した場合を示す。また、吸引用溝部２４ｄは、これに限られず、例えば、３分割以上としてもよいし、第１の実施形態と同様に吸引用溝部２４ｄを分割しないように構成してもよい。
　図１４に示すように、ボトムプレート２５は、第１の実施形態によるボトムプレート５と同様に、上面２５ａから下面２５ｂに貫通する給気孔２５ｃ及び吸引孔２５ｄを有する。給気孔２５ｃの上面側開口部２５ｅは、空気経路プレート２４の空気噴出用溝部２４ｃに連通する連通孔２４ｅに連通し、吸引孔２５ｄの上面側開口部２５ｆは、空気経路プレート２４の吸引用溝部２４ｄに連通する。このように、ボトムプレート２５は、空気経路プレート２４の吸引用溝部２４ｄの蓋の役割を果たす。
　ボトムプレート２５の給気孔２５ｃの下面側開口部２５ｇ及び吸引孔２５ｄの下面側開口部２５ｈは、各々給気用配管並びに真空吸引用配管及び真空ポンプに接続される。
　上記トッププレート２２～ボトムプレート２５は、図１５に示すように重ねられ、組立用ボルト２７によって一体化される。
　次に、上記構成を有する浮上用エアプレート２１の動作について、図１５を中心に参照しながら説明する。
　ボトムプレート２５の給気口２５ｃから入った圧縮空気が空気経路プレート２４の空気噴出用溝部２４ｃに入り、オリフィスシート２３の島状に点在する複数個のオリフィス２３ｃ（空気噴出用オリフィス部２３ｄ）に到達して絞り効果を発揮し、座面シート２６の連通孔２６ｃを通過した空気がトッププレート２２の底面に衝突し、座面との隙間を通って２．５ｍｍ程度の空気噴出孔２２ｃからガラス等に向かって速度を落として吹き出される。これにより、ガラス等を上面２２ａの上方に非接触で高剛性で浮上させることができる。
　また、トッププレート２２の吸引孔２２ｄから吸い込まれた空気は、座面シート２６の連通孔２６ｃを通過し、オリフィスシート２３の島状に点在する複数個のオリフィス２３ｃ（吸引用オリフィス部２３ｅ）に到達して絞り効果を発揮し、空気経路プレート２４の下面に格子状に加工された吸引用溝部２４ｄを経てボトムプレート２５の吸引孔２５ｄを通過し、最終的に真空ポンプに排気される。
　このように浮上用エアプレート２１が動作することにより、第１の実施形態と同様に、安定した状態でガラス等を非接触搬送することができる。
　以上のように、第２の実施形態では、空気噴出孔２２ｃ及び吸引孔２２ｄが配設されたトッププレート２２と、空気噴出孔２２ｃ及び吸引孔２２ｄの径よりも大きい径を有する連通孔２６ｃが配設された座面シート２６とを積層して、第１の実施形態によるトッププレート２を形成するため、第１の実施形態によるトッププレート２に設けられた座ぐり部２ｅを座面シート２６に独立して形成することができる。これにより、座ぐり加工の精度を高め、均一な座ぐり深さを得ることができると共に、座ぐり加工を容易に行うことができる。
　以上、本発明の第１及び第２の実施形態について説明したが、本発明は、上述した本発明の第１及び第２の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。例えば、第１の実施形態では、オリフィスシート３に対して空気を吸引するための連通孔３ｄを設けたが、これに限られず、第２の実施形態と同様に、島状に配設された１組のオリフィス３ｃを設けてもよい。また、例えば、第２の実施形態では、吸引用オリフィス部２３ｅに代えて、第１の実施形態と同様に、連通孔を設けてもよい。
　さらに、例えば、第１の実施形態において、空気経路プレート４の下面４ｂに設けられた吸引用溝部４ｄを、第２の実施形態と同様に、ガラス等の搬送方向に対して分割して設けてもよい。
１、２１　浮上用エアプレート
２、２２　トッププレート
２ａ、２２ａ　上面
２ｂ、２２ｂ　下面
２ｃ、２２ｃ　空気噴出孔
２ｄ、２２ｄ　吸引孔
２ｅ　座ぐり部
３、２３　オリフィスシート
３ａ、２３ａ　上面
３ｂ、２３ｂ　下面
３ｃ、２３ｃ　オリフィス
３ｄ　連通孔
４、２４　空気経路プレート
４ａ、２４ａ　上面
４ｂ、２４ｂ　下面
４ｃ、２４ｃ　空気噴出用溝部
４ｄ、２４ｄ　吸引用溝部
４ｅ、２４ｅ　連通孔
４ｆ、２４ｆ　連通孔
４ｇ、２４ｇ　空気噴出用開口部
４ｈ、２４ｈ　吸引用開口部
５、２５　ボトムプレート
５ａ、２５ａ　上面
５ｂ、２５ｂ　下面
５ｃ、２５ｃ　給気孔
５ｄ、２５ｄ　吸引孔
５ｅ、２５ｅ　上面側開口部
５ｆ、２５ｆ　上面側開口部
５ｇ、２５ｇ　下面側開口部
５ｈ、２５ｈ　下面側開口部
７、２７　組立用ボルト
２３ｄ　空気噴出用オリフィス部
２３ｅ　吸引用オリフィス部
２６　座面シート
２６ａ　上面
２６ｂ　下面
２６ｃ　連通孔

Claims (7)

  1. 　上面から下面に貫通する空気噴出孔及び吸引孔が、上面視で交互に複数配設されると共に、前記複数の空気噴出孔の各々の下面側に座ぐり部を有するトッププレートと、
    　該トッププレートの前記座ぐり部に対応する位置に、上面から下面に貫通する複数の第１のオリフィスを有すると共に、前記トッププレートの前記吸引孔に一対一で連通し、上面から下面に貫通する連通孔を有するオリフィスシートと、
    　該オリフィスシートに穿設されたすべての第１のオリフィスに空気を供給するための空気供給経路及び給気孔、並びに前記吸引孔に連通するすべての連通孔から空気を吸引する空気吸引経路及び吸引孔を有するボトム側プレートとを備えることを特徴とする浮上用エアプレート。
  2. 　前記ボトム側プレートは、
    　上面に、前記オリフィスシートに穿設された第１のオリフィスのすべてに連通する空気噴出用溝部と、前記オリフィスシートの前記貫通孔に一対一で連通する吸引用開口を有すると共に、下面に、前記吸引用開口に連通する連通孔のすべてに連通する吸引用溝部と、該下面に開口して前記空気噴出用溝部に連通する連通孔とを有する空気経路プレートと、
      上面から下面に貫通する給気孔及び吸引孔を有し、該給気孔の上面側開口部が前記空気経路プレートの前記空気噴出用溝部に連通する連通孔に連通し、前記吸引孔の上面側開口部が前記空気経路プレートの前記吸引用溝部に連通するボトムプレートとで構成されることを特徴とする請求項１に記載の浮上用エアプレート。
  3. 　前記オリフィスシートは、前記連通孔に代えて、前記トッププレートの前記吸引孔に対応する位置に、上面から下面に貫通する複数の第２のオリフィスを有することを特徴とする請求項１又は２に記載の浮上用エアプレート。
  4. 　上面から下面に貫通する空気噴出孔及び吸引孔が、上面視で交互に複数配設されるトッププレートと、
    　該トッププレートの前記空気噴出孔及び吸引孔に一対一で連通し、上面から下面に貫通する、前記空気噴出孔及び吸引孔の径より大きい径の連通孔を有する座面シートと、
    　前記トッププレートの前記空気噴出孔に連通する前記座面シートの連通孔に対応する位置に、上面から下面に貫通する複数の第１のオリフィスを有すると共に、前記トッププレートの前記吸引孔に連通する前記座面シートの連通孔に対応する位置に、上面から下面に貫通する複数の第２のオリフィスを有するオリフィスシートと、
    　該オリフィスシートに穿設されたすべての第１のオリフィスに空気を供給するための空気供給経路及び給気孔、並びに該オリフィスシートに穿設されたすべての第２のオリフィスから空気を吸引する空気吸引経路及び吸引孔を有するボトム側プレートとを備えることを特徴とする浮上用エアプレート。
  5. 　前記ボトム側プレートは、
    　上面に、前記オリフィスシートに穿設された前記第１のオリフィスのすべてに連通する空気噴出用溝部と、前記オリフィスシートに穿設された前記第２のオリフィスのすべてに連通する吸引用開口を有すると共に、下面に、前記吸引用開口に連通する連通孔のすべてに連通する吸引用溝部と、該下面に開口して前記空気噴出用溝部に連通する連通孔とを有する空気経路プレートと、
    　上面から下面に貫通する給気孔及び吸引孔を有し、該給気孔の上面側開口部が前記空気経路プレートの前記空気噴出用溝部に連通する連通孔に連通し、前記吸引孔の上面側開口部が前記空気経路プレートの前記吸引用溝部に連通するボトムプレートとで構成されることを特徴とする請求項４に記載の浮上用エアプレート。
  6. 　前記トッププレートの前記空気噴出孔と吸引孔とを、該トッププレートの上面視で互いに並行な複数の直線上に交互に配置すると共に、該複数の直線と、該浮上用エアプレートによる搬送方向とのなす角度が０°、４５°及び９０°以外の角度であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の浮上用エアプレート。
  7. 　前記オリフィスシートの前記複数のオリフィスの各々をレーザーを用いた微細孔加工により穿設することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の浮上用エアプレート。
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