CN101133488A - 搬运物浮起组件、搬运物浮起装置及载物台装置 - Google Patents

Abstract

本发明的搬运物浮起组件(50)包括从设置在上面(52)侧的吹气口(54)吹出空气的吹气流路(66)、及从设置在上面(52)侧的吸气口(56)吸引空气的吸气流路(64)。吹气流路(66)具有流路截面积不同的大流路(70)和小流路(68)，并具有流路截面积不连续变化的部分。这样，在流路截面积不连续变化的部分产生压力损失，可以提高作为搬运物的玻璃基板的保持刚性。

Description

搬运物浮起组件、搬运物浮起装置及载物台装置

技术领域

本发明涉及以非接触方式使玻璃基板等搬运物浮起的搬运物浮起组件、搬运物浮起装置、及具有它的载物台装置。

背景技术

过去，已知通过空气以非接触方式使玻璃基板等搬运物浮起的技术。例如在专利文献1中公开了如下技术：通过吹气流路从移动台的下面吹出空气使其浮起，并且通过吸气流路吸引空气，提高平面移动刚性(即，保持刚性)的技术。

专利文献1：(日本)特开平6-56234号公报

但是，由于从移动台的下面只是吹出空气且进行吸引，不能得到基板的充分的保持刚性，所以在搬运基板并进行处理时，会以较大的振幅振动，不能充分满足处理的要求精度。具体地说，在用摄像机检查基板上时，有可能出现焦点模糊、或在基板上涂敷涂敷液时产生涂敷不匀的情况。

发明内容

本发明是鉴于以上情况而提出的，将提高使搬运物浮起时的保持刚性作为课题。

发明者为了解决上述课题而锐意探讨的结果发现，若使吹气流路的孔径比吸气流路的孔径小，则从吹气流路吹出的空气产生压力损失，由此提高基板的保持刚性，可以降低振动。但是，问题在于若这时吹气流路的孔径过小，则孔容易堵塞，另一方面，若使吸气流路的孔径过大，则需要很大的吸气泵。为此，发现在吹气流路上设置流路截面积不连续变化的部分，使空气产生压力损失，可以在不产生上述问题而提高基板的保持刚性并降低振动，从而完成了本发明。

本发明所涉及的搬运物浮起组件，包括从设置在一个主面侧的吹气口吹出空气的吹气流路、及从设置在一个主面侧的吸气口吸引空气的吸气流路，其特征在于，吹气流路具有流路截面积不连续变化的部分。

通过该搬运物浮起组件，可以在流路截面积不连续变化的部分使空气产生压力损失。从而，可以提高基板的保持刚性。

吹气流路最好具有小流路及流路截面积比小流路大的大流路。这样，由于流路截面积在小流路和大流路的边界不连续变化，所以可以在该部分使空气产生压力损失。

吹气流路最好交替配置多个小流路和多个大流路而构成。这样，通过交替配置小流路和大流路，可以充分利用压力损失。

吹气流路最好在沿着一个主面的方向上延伸。这样，既利用压力损失，又可以较薄地构成搬运物浮起组件。

吹气流路最好具有大体弯曲成直角的弯曲部，在该弯曲部设的大流路。这样，可以将大流路和小流路有效配置在有限的空间中，并且可以利用压力损失。

吸气流路最好沿着与一个主面大体垂直的方向延伸，除了该吸气流路的部分实质上由吹气流路占据。这样，可以在有限的空间内充分利用压力损失。

在与一个主面相对的另一个主面上最好设有多个用于向吹气流路导入空气的导入口，多个导入口在不同的位置与吹气流路连通。这样，通过选择一个导入口而堵塞其他导入口，可以调整吹气流路的长度，可以进行压力损失的微调整。

多个大流路中的至少某一个最好内壁面构成立方体或长方体，流入侧和流出侧的小流路分别与该大流路的相互对置的第1及第2的内壁面相连接；流入侧的小流路与第1内壁面的一个角部相连接，流出侧的小流路与位于距离一个角部最远的位置的第2内壁面的一个角部相连接。这样，可以利用压力损失。

另外，多个大流路中的至少某一个，最好内壁面构成立方体或长方体，流入侧和流出侧的小流路分别与该大流路的相邻的第1及第2的内壁面相连接；流入侧及流出侧中的一个小流路与第1内壁面的一个角部相连接，与一个小流路不同的另一个小流路，同和在第1内壁上的位于一个角部的对角线上的角部一起形成一个顶部的第2内壁面的一个角部相连接。这样，可以利用压力损失。

另外，最好是多个大流路中的至少某一个的内壁面构成立方体或长方体，流入侧和流出侧的小流路分别与该大流路的相邻的第1及第2的内壁面相连接；流入侧及流出侧中的一个小流路与第1内壁面的中央部相连接，与一个小流路不同的另一个小流路，与位于距离一个小流路连接位置最远的位置的第2内壁面的角部相连接。这样，可以利用压力损失。

最好具有多个上述的搬运物浮起组件，多个搬运物浮起组件层叠与一个主面垂直的方向上。这样，可以由有限的设置面积，利用更大的压力损失。

本发明所涉及的搬运物浮起装置，其特征在于，具有多个上述的搬运物浮起组件，多个搬运物浮起组件沿着一个主面的方向配置成二维状。

在该搬运物浮起装置中，由于与吹气流路连通的吹气口和与吸气流路连通的吸气口在一个主面侧配置成二维状，所以能够以较高的保持刚性使在沿着一个主面的方向上延伸的搬运物浮起。

搬运物浮起装置最好包括多个具有贯通孔的定板，定板放置在二维配置的多个搬运物浮起组件的一个主面上，多个贯通孔与吹气口及吸气口进行气密连通。这样，由于能够以不同于与搬运物浮起组件面相侧的一侧的定板主面为基准面，所以可以提高进行空气吹出和吸引的面的平面度

本发明所涉及的载物台装置，其特征在于，包括：上述的搬运物浮起装置；及夹持搬运物并通过搬运物浮起装置上的搬运装置。

通过该载物台装置，可以通过搬运装置夹持搬运物进行搬运。特别是当经过搬运物浮起装置上时，由于能以足够的保持刚性使搬运物浮起，所以可以充分降低振动。

本发明可通过以下的详细说明及附图进一步充分理解。这些都只不过是个举例，不应认为是限定本发明。

根据本发明，可以提高使搬运物浮起时的保持刚性。

附图说明

图1是表示实施方式所涉及的基板检查系统的构成的立体图。

图2是表示实施方式所涉及的基板检查系统的构成的俯视图(龙门(gantry)由点划线表示)。

图3是表示搬运装置的构成的部分放大部。

图4是表示基板浮起组件的构成的图。

图5是对于基板浮起装置具有的定板的多个孔，说明吸气用贯通孔(用白圈表示)和吹气用贯通孔(用黑圈表示)二维排列的状态的图。

图6是表示基板浮起装置的定板和基板浮起组件的配置关系的截面图。

图7是表示基板浮起组件的变形例的图。

图8是表示基板浮起组件的另一变形例的图。

图9是基板浮起组件的另一变形例，只抽出吹气流路及吸气流路来表示的立体图。

图10是图9中所示的变形例中，只抽出吹气流路及吸气流路来表示的俯视图、侧视图、及从A-A线到E-E线的向视图。

图11是表示大流路和小流路的一个连接方式的立体图。

图12是表示大流路和小流路的另一个连接形式的立体图。

图13是表示大流路和小流路的另一个连接形式的立体图。

图14是表示作为大流路和小流路的比较例的连接方式的立体图。

符号说明

10基板检查系统

11载物台装置

12搬运装置

14检查装置

26基板浮起装置

28玻璃基板

50、100基板浮起组件

52上面

54吹气口

56吸气口

58下面

60导入孔

64吸气流路

66吹气流路

68小流路

70大流路

80定板

80a贯通孔

200、202、204、206、208、210内壁面

R弯曲部

X搬运方向

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。在附图的说明中，同一组件加相同标号，其重复说明予以省略。

图1是表示实施方式所涉及的基板检查系统10的构成的立体图。图2是表示该基板检查系统10的构成的俯视图。在图2中龙门40由点划线表示。

如图1及图2中所示，本实施方式所涉及的基板检查系统10包括载物台装置11、及检查装置14。载物台装置11包括搬运装置12、及基板浮起装置(搬运物浮起装置)26。

搬运装置12包括基座16、1对导轨18、4个滑块20、驱动机构22、及4个保持构件24。

基座16的外形呈长方体状，放置在地面等水平面上。该基座16的上面16a向规定方向延伸。该基座16的上面16a的延伸方向是玻璃基板(搬运物)28的搬运方向。基座16的宽度比玻璃基板28的宽度宽。在以下的说明中，如图1中所示，将基座16的上面16a的延伸方向称为搬运方向X，基座16的上面16a的法线方向称为垂直方向Z，与搬运方向X及垂直方向Z双方垂直的方向称为宽度方向Y。

一对导轨18设置在基座16的上面16a，沿搬运方向X延伸。这一对导轨18隔开得比玻璃基板28的宽度稍大，相互平行地配置。

滑块20在1对导轨18上各设置2个。各滑块20由导轨18引导，可以在搬运方向X上移动。也可以是设置成玻璃基板28的宽度比基座16的宽度宽的结构、及玻璃基板28宽度比一对导轨18大的结构。

驱动机构22如图3中所示由包含定子30和可动件32的线性电机机构构成。定子30分别在一对导轨18的外侧沿着导轨18设置在基座16上。可动件32如图1至图3中所示包括：与定子30作用而被驱动的驱动体33；及从驱动体33的两端沿搬运方向X延伸设置，连接驱动体33和滑块20的连结构件37。连结构件37分别固定在滑块20的外侧面。这样，在各导轨18上设置的2个滑块20，在保持一定距离的情况下同步移动。

保持构件24分别固定在4个滑块20的内侧面上。保持构件24如图3中所示包括吸附部34和弹簧板部36。该保持构件24通过吸附部34的空气吸引，吸附玻璃基板28的侧缘部而可靠地保持。通过这些保持构件24，玻璃基板28以离开基座16的上面16a的状态进行保持。

弹簧板部36包括沿着垂直方向Z延伸的基部36a和沿着宽度Y延伸的弯曲部36b。吸附部34。固定在弯曲部36b上。

此处，弹簧板部36的弯曲部36b如图3中所示，最好在垂直方向Z上有弹性。这样，保持构件24在垂直方向Z上有弹性，对于垂直方向Z，可以对玻璃基板28的高度位置进行微调整。这样，可以减少玻璃基板28接触基板浮起装置26等不良情况的发生。

另外，对于在一个导轨18上设置的2个滑块20上固定的保持构件24，弹簧板部36的根部36a如图3所示最好在宽度Y上具有弹性。这样，保持构件24在宽度方向Y上具有弹性。结果，在导轨18歪曲时，可以以另一个导轨18侧为基准，校正玻璃基板28宽度方向Y的偏差及平行于基座16的上面16a的面内的玻璃基板28的旋转。

基板浮起装置26设置在基座16上的下述检查装置14下方的检查区域。该基板浮起装置26如图3中所示，在玻璃基板28的下面28a侧吹出及吸引空气。

基板浮起装置26的宽度方向Y的长度，设置成大体与玻璃基板28的宽度相同。基板浮起装置26的搬运方向X的长度最好在检查装置14的前后有足够的长度。例如当对搬运方向X的长度为2300mm、宽度方向Y的长度为2000mm、厚度为0.6mm的玻璃基板28以250mm/sec进行搬运时，基板浮起装置26的搬运方向X的长度为400mm～500mm程度。

该基板浮起装置26具有多个基板浮起组件50及定板80。图4(a)是基板浮起组件50的俯视图，图4(b)是图4(a)中所示的B-B线截面图。

基板浮起组件50如图4中所示，具有大体为长方体状的外形，由SUS等金属或树脂等形成块状。基板浮起组件50的典型尺寸是纵向为15mm左右、横向为30mm左右、厚度为10mm左右。在基板浮起组件50的上面(一个主面)52设置有吹出空气的吹气口54、及吸引空气的吸气口56。另外，在基板浮起组件50的下面(另一主面)58设有导入空气的导入口60、及排出空气的排气口62。吸气口56和排气口62设置在上下面52、58的相对的位置，通过吸气流路64进行连通。从而吸气流路64在与上下面52、58垂直的方向延伸。

另一方面，导入口60和吹气口54设置在上下面52、58的相互离开的位置。而且，这些导入口60和吹气口54通过吹气流路66连通。该吹气流路66具有多个小流路68、及流路截面积比小流路68大的多个大流路70。在本实施方式中，大流路70构成大体为立方体状的空间部，小流路68构成截面大体为正方形状的空间部。

多个大流路70和多个小流路68，在吹气流路66上交替配置。这样，由于流路截面积在小流路68和大流路70的交界面上不连续变化，所以在该部分可使空气产生压力损失。另外，通过产生多个流路截面积不连续变化的部分，可以利用压力损失。这种结构的吹气流路66沿着上面52(或下面58)的方向延伸。这样，通过在沿着上面52的方向延伸吹气流路66，既可利用压力损失，又可使基板浮起组件50构成得很薄。

另外，吹气流路66具有大体弯曲成直角的弯曲部R，在该弯曲部R上设有大流路70。这样，使大流路70和小流路68在有限的空间有效配置，并利用压力损失。该吹气流路66由多个弯曲部R弯曲，在组件内无遗漏地布满全部，除去吸气流路64之外的部分实质上由该吹气流路66占据。这样，在有限的空间内充分利用了压力损失。

该基板浮起组件50例如可以对上半部分和下半部分分别进行加工叠合形成。

基板浮起装置26具有多个上述构成的基板浮起组件50(例如数百～数千个)，这些多个基板浮起组件50的上面52(及下面58)构成一个面，以相互接触的状态配置成二维状。

如图5中所示，定板80具有通过空气的多个贯通孔80a，这些多个贯通孔80a，在搬运方向X及宽度方向Y规则排列。该贯通孔80a的数量仅设有二维配置的多个基板浮起组件50的吹气口54及吸气口56的数量。在图5中，白圈表示吸气用的贯通孔80a，黑圈表示吹气用的贯通孔80a。定板80的上面82加工成平面度较高，具有相对于玻璃基板28的基准面的功能。

图6是表示基板浮起装置26的定板80和基板浮起组件50的配置关系的截面图。如图6中所示，定板80放置在二维配置的多个基板浮起组件50上，多个贯通孔80a通过密封件等与吹气口54及吸气口56气密连通。设置在基板浮起组件50的下面的导入孔60，通过导入管90与图中未画出的压缩机相连接，而排气口62通过吸气管92与图中未画出的吸气泵相连接。这样，从吹气口54通过定板80的贯通孔80a吹出空气，同时通过相同定板80的贯通孔80a从吸气口56吸引空气，可以以足够的保持刚性使玻璃基板26浮起。

在此，对于由基板浮起组件50浮起玻璃基板28，参照图4及图6进行详细说明。

首先，如图6中所示，来自图中未画出的压缩机的空气，通过导入管90从导入口60导入基板浮起组件50的吹气流路66。所导入的空气如图4中所示，按箭头a～d的顺序在吹气流路66内流动，从吹气口54吹出。从吹气口54(再从贯通孔80a)吹出的空气，通过玻璃基板28和定板80的间隙，从吸气口56(通过贯通孔80a)吸气。在这一流动中，吹气流路66在“大流路70→小流路68”或“小流路68→大流路70”的流路截面积不连续变化的部分，产生压力损失。通过该压力损失，提高使玻璃基板28浮起时的保持刚性。

关于该作用，设空气供给压为恒定进行说明。当玻璃基板28和基板浮起装置26的间隙量h比平均位置大时，则间隙内的流路截面积增加，空气的流量增加。假设将间隙内的压力以玻璃基板28的面积进行积分的量为W时，随着间隙量h的增大，间隙内的平均压力减少，负荷容量W减小。在该状态，由于负荷容量W比平衡状态小，所以不能支撑玻璃基板28的重量，返回原来的平衡位置。同样，当间隙量h变小时，也返回原来的平衡位置。

该间隙量h的变化对负荷容量W变化赋予的灵敏度(dW/dh)相当于玻璃基板28的保持刚性。即，当因间隙量h的微小变化而使负荷容量W变化很大时(当保持刚性大时)，由于力的平衡大为破坏，所以立刻返回原来的平衡位置(间隙量)。反之，当该灵敏度低时(当保持刚性小时)，即使间隙量h变化大，负荷容量W也几乎不变化，所以向原来的平衡位置返回也变得迟钝。这样，间隙内的空气具有虚拟弹簧的作用。

从而，在本实施方式中，通过大流路70和小流路68的组合紧缩，而产生压力损失，通过变更间隙内的压力和空气流量之间的关系，调整负荷容量W和间隙量h的关系，提高弹簧刚性。即，即使间隙量h要增大，由于紧缩造成的压力损失的影响使空气的流量难以增加，负荷容量W变大，所以立刻返回到平衡位置，保持刚性提高。另一方面，即使间隙量h减小，由于紧缩造成的压力损失的影响使空气的流量难以减小，负荷容量W变大，所以立刻返回到平衡位置，保持刚性提高。

基于大流路70和小流路68的组合的吹气流路66的设计，可以按下述进行。

如上所述，只要知道间隙量h和负荷容量W间的关系就可以计算保持刚性。从而，首先以数值计算改变紧缩的参数(压力损失)，求出对各间隙量h的负荷容量。这样，可以求出所给出的间隙量和满足保持刚性的紧缩的参数。如果决定了紧缩的参数，就决定了在该状态下的压力-流量的关系，所以用数值流体计算等设计吹气流路66的几何形状，使之满足其特性。根据这一结果，成形基板浮起组件50。

再返回基板检查系统10的说明。检查装置14从上面28b一侧检查玻璃基板28。作为检查装置14例举出CCD摄像机等摄像装置、及照射激光而接收该反射光的激光测量装置。通过摄像装置，例如可得到玻璃基极28上形成的电路图形等光学像，这样可进行不良品等的检查。另外，通过激光测量装置检查激光的反射率，可进行不良品等的检查。检查装置14并不限定于这些CCD摄像机及激光测量装置，而是包括所有可以用非接触方式检查玻璃基板28状态的现有装置。

该检查装置14通过滑动构件44安装在基座16上所设置的龙门40上。滑动构件44可以沿着龙门40在宽度方向Y上移动。从而，安装在滑动构件44上的检查装置14可以在宽度方向Y上移动，可以进行玻璃基板28的宽度方向Y的扫描。另外，检查装置14本身也可以对滑动构件44在垂直方向Z移动，这样，可以在基座16上的规定高度位置支撑检查装置14。从而，在摄像装置上得到聚焦的光学像，并在激光测量仪上提高数据的精度，实现检查精度的提高。

下面，对利用上述基板检查系统10的玻璃基板28的检查方法进行说明。

首先，在基座16上的检查装置14的前级，通过4个保持构件24，在宽度方向Y的边缘部吸附保持玻璃基板28。这时，玻璃基板28以离开基座16的上面16a的状态被保持。

然后，通过驱动机构22移动滑块20，在搬运方向X以规定速度搬运玻璃基板28。当玻璃基板28到达检查区域时，通过基板浮起装置26在玻璃基板28的下面28a进行空气的吹出及吸引。这时，由于在吹气流路66内产生了空气的压力损失，所以玻璃基板28在基板浮起装置26上，在离开定板80的上面82有50μm左右的高度位置以很高的保持刚性进行保持。玻璃基板28的上浮量，通过导入管90由与基板浮起组件50的导入口60连接的图中未画出的压缩机的压力进行控制。

接着，如上所述，在检查区域，在玻璃基板28的下面28a进行空气的吹出及吸引，同时停止向搬运方向X搬运玻璃基板28。然后，使滑动构件44在宽度方向Y上滑动，通过检查装置14对玻璃基板28上进行扫描。这时最好根据需要对检查装置14的垂直方向的位置进行微调整。当扫描结束时，在搬运方向X使玻璃基板28移动规定距离，再次停止搬运后，进行第2次扫描。这样，通过进行多次的扫描，由检查装置14从上面28b检查玻璃基板28。这时，由于提高了玻璃基板28的保持刚性，所以抑制了振动，可提高玻璃基板28的检查精度。

然后，对经过检查区域搬运到基座16的后级的已结束检查的玻璃基板28，解除保持构件24的吸附。而且，将玻璃基板28搬出系统外，并且为了对下一个玻璃基板28进行检查，将保持构件24返回基座16的前级。

如以上的详细叙述，在本实施例中，在通过基板浮起装置28对玻璃基板28进行空气的吹出及吸引时，由于在吹气流路66上可以产生压力损失，所以可以提高玻璃基板28的保持刚性。其结果，在由检查装置14的检查区域，可以抑制玻璃基板28的振动，可以提高检查精度。

本发明并不限于上述的实施方式，也可以进行各种变形。例如，如图7中所示，基板浮起组件100也可以将各组件102、104在垂直于上下面的方向层叠而构成。图7(a)是变形例所涉及的第二级基板浮起组件102的俯视图，图7(b)是变形例所涉及的第一级基板浮起组件104的俯视图，图7(c)是图7(a)及图7(b)中所示的C-C线截面图(对各组件进行积层的状态)。

各基板浮起组件102、104如图7中所示，具有大体为长方体状的外形。在基板浮起组件102、104的上面，设置有吹出空气的吹气口54、及吸引空气的吸气口56。并且，在基板浮起组件102、104的下面，设置有导入空气的导入口60、及排出空气的排气口62。吸气口56和排气口62设置在上下面的相对的位置，通过吸气流路64进行连通。从而，吸气流路64在垂直于上下面的方向延伸。

另一方面，导入口60和吹气口54设置在上下面的相互离开的位置。而且，这些导入口60和吹气口54通过吹气流路66连通。该吹气流路66包括多个小流路68、及流路截面积比小流路68大的多个大流路70。另外，吹气流路66具有大体弯曲成直角的弯曲部R，在该弯曲部R上设有大流路70。

此处，第一级的基板浮起组件104的吸气口56，设置在与第二级基板浮起组件102的排气口62对应的位置，第一级的基板浮起组件104的吹气口54，设置在与第二级基板浮起组件102的导入口60对应的位置。

而且，在第一级基板浮起组件104上层叠第二级基板浮起组件102，吸气流路62之间进行气密连接，吹气流路66之间进行气密连接。

当采用这种层叠式基板浮起组件100时，由于在有限的设置空间内较长地利用吹气流路66，所以可以充分利用压力损失。

另外，在上述实施方式所涉及的基板浮起组件50中，如图8中所示，也可以在下面58设置多个用于导入空气的导入口60，使这些多个导入口60-1至60-3对吹气流路66在不同位置连通。这里，图8(a)是变形例所涉及的基板浮起组件50的俯视图，图8(b)是图8(a)中所示的B-B线截面图。这样，例如选择一个导入口60-2并堵住其他的导入口60-1及60-3，可以将吹气流路66的长度调整为比图4中说明的情况更短。这样，可以进行压力损失的微调整。

另外，在上述实施方式所涉及的基板浮起组件50中，也可以如下地构成吹气流路66。图9是从基板浮起组件50只抽出吹气流路66和吸气流路64来表示的立体图。图10是只抽出吹气流路66及吸气流路64来表示的俯视图、侧视图，及从A-A线到E-E线向视图。

如图9及图10中所示，交替配置大流路70和小流路68而构成吹气流路66。因此，在内壁面构成立方体或长方体的大流路70上，连接流入侧和流出侧的小流路68。大流路70和小流路68间的连接形式大体有3种模式，在适当位置分别使用这3种模式的连接方式。

即，如图11所示，一种形式是流入侧和流出侧的小流路68分别与大流路70的相互邻接的内壁面200、202连接。而且，流入侧及流出侧中的一个小流路68连接在内壁面200的中央部，另一个小流路68连接在距上述一个小流路68连接位置最远位置的内壁面202的角部。小流路68的截面为矩形或圆形，其流路的截面积为大流路70的流路截面积的1/16～1/4，最好为9分之1左右。图11(a)和图11(b)表示连接小流路68的角部不同的情况。在图9及图10中所示的吹气流路66中，在I所示的大流路70上利用了图11(b)的连接形式，而在XVII所示的大流路70中利用了图11(a)的连接形式。

另外，如图12中所示，一种形式是流入侧和流出侧的小流路68，分别连接在大流路70相互邻接的内壁面204、206上。另外，流入侧及流出侧中的一个小流路68连接在内壁面204的一个角部，另一个小流路68与内壁面206的一个角部连接，该内壁面206的一个角部和内壁面204上的位于上述一个角部的对角线上的角部一起形成一个顶部P。小流路68的截面为矩形或圆形，其流路的截面积为大流路70的流路截面积的1/16～1/4，最好为9分之1左右。并且，图12(a)和图12(b)表示小流路68连接的角部不同的情况。在图9及图10中所示的吹气流路66中，在用II、IV、VII、VIII、XI、XIV所示的大流路70上利用了图12(a)的连接形式，而在V、VI、IX、XII、XV所示的大流路70中利用了图12(b)的连接形式。

另外，如图13中所示，一种形式是流入侧和流出侧的小流路68分别连接在大流路70相对的内壁面208、210上。而且，流入侧的小流路68连接在内壁面208的一个角部，而流出侧的小流路68连接在位于离上述一个角部最远的位置的内壁面210的角部上。小流路68的截面为矩形或圆形，其流路截面积为大流路70的流路截面积的1/16～1/4，最好为9分之1左右。在图9及图10中所示的吹气流路66中，在III、X、XIII、XVI所示的大流路70上利用了图13的连接形式。

通过从图11至图13中所示的连接形式，可以利用更大的压力损失，可以实现基板浮组件50的小型化。图14作为一个比较例，表示了流入侧和流出侧的小流路68分别连接在大流路70相对的内壁面220、222中央部上的连接形式。实际上在测量从图11到图13中所示的连接形式和图14中所示的连接形式所得到的压力损失时，可以确认在从图11到图13中所示的连接形式中，可得到在图14中所示的连接形式所得到的值的5倍左右的压力损失。

另外，在上述实施方式中，多个基板浮起组件50配置成二维状，在其上放置定板80构成基板浮起装置26，但是多个基板浮起组件50也可以不进行组件化而构成为二维展开的一体物。这时，相当于一个组件的部分构成基板浮起组件50。但是，当像基板浮起组件50那样进行组件化时，可以灵活对应搬运物的多种尺寸，所以是所希望的。

另外，在上述的基板检查系统10中，做成通过滑动构件44使检查装置14在宽度方向Y上滑动来扫描玻璃基板28的结构，但是也可以利用将检查装置14在宽度方向Y排列成阵列状的检查装置阵列，构成基板检查系统。这样，则不需要在宽度方向Y扫描玻璃基板28，可提高检查效率。

另外，在上述的实施方式中，对于在基板检查系统10中使用包括基板浮起装置26的载物台装置11的例子进行了说明，但是在玻璃基板28的上面28b，涂敷光致抗蚀剂液或层叠形成滤色片时的墨水等涂敷液的涂敷系统中也可以使用本发明。在这样的涂敷系统中，由于可以提高玻璃基板28的保持刚性，抑制振动，所以也可以进行涂敷液的均匀涂敷。

另外，在上述的实施方式中，对作为搬运物搬运玻璃基板28进行了说明，但是搬运物也可以是胶片及半导体基板等其他构件。

另外，本发明也可以适用于例如制造等离子显示屏(PDP)的PDP制造装置、及进行半导体基板的缺陷等检查的半导体检查装置等其他系统中。

Claims (14)

1.一种搬运物浮起组件，包括从设置在一个主面侧的吹气口吹出空气的吹气流路、及从设置在上述一个主面侧的吸气口吸引空气的吸气流路，其特征在于，

上述吹气流路具有流路截面积不连续变化的部分。

2.如权利要求1所述的搬运物浮起组件，其特征在于，

上述吹气流路具有小流路、及流路截面积比该小流路大的大流路。

3.如权利要求2所述的搬运物浮起组件，其特征在于，

上述吹气流路是交替配置多个上述小流路和多个上述大流路而构成的。

4.如权利要求3所述的搬运物浮起组件，其特征在于，

上述吹气流路在沿着上述一个主面的方向延伸。

5.如权利要求4所述的搬运物浮起组件，其特征在于，

上述吹气流路具有大体弯曲成直角的弯曲部，在该弯曲部设有上述大流路。

6.如权利要求3～5中的任一项所述的搬运物浮起组件，其特征在于，

上述吸气流路沿着与上述一个主面大体垂直的方向延伸，除了上述吸气流路的部分实质上由上述吹气流路占据。

7.如权利要求3～6中的任一项所述的搬运物浮起组件，其特征在于，

在与上述一个主面相对的另一个主面侧设有多个用于向上述吹气流路导入空气的导入口。

多个上述导入口在不同的位置与上述吹气流路连通。

8.如权利要求3所述的搬运物浮起组件，其特征在于，

上述多个大流路中的至少某一个内壁面构成立方体或长方体，流入侧和流出侧的上述小流路分别与该大流路的相互对置的第1及第2的内壁面相连接；

流入侧的上述小流路与上述第1内壁面的一个角部相连接，流出侧的上述小流路与位于距离上述一个角部最远的位置的上述第2内壁面的一个角部相连接。

9.如权利要求3或8所述的搬运物浮起组件，其特征在于，

上述多个大流路中的至少某一个内壁面构成立方体或长方体，流入侧和流出侧的上述小流路分别与该大流路的相互邻接的第1及第2的内壁面相连接；

流入侧及流出侧中的一个上述小流路与上述第1内壁面的一个角部相连接，不同于上述一个小流路的另一个上述小流路与上述第2内壁面的一个角部相连接，该第2内壁面的一个角部与在上述第1内壁上的位于上述一个角部的对角线上的角部一起形成一个顶部。

10.如权利要求3、8或9所述的搬运物浮起组件，其特征在于，

上述多个大流路中的至少某一个的内壁面构成立方体或长方体，流入侧和流出侧的上述小流路分别与该大流路的相互邻接的第1及第2的内壁面相连接；

流入侧及流出侧中的一个上述小流路与上述第1内壁面的中央部相连接，不同于上述一个小流路的另一个上述小流路，与位于距离上述一个小流路的连接位置最远的位置的上述第2内壁面的角部相连接。

11.一种搬运物浮起组件，其特征在于，

具有多个如权利要求1～10中的任一项所述的搬运物浮起组件；

多个上述搬运物浮起组件层叠在与上述一个主面垂直的方向上。

12.一种搬运物浮起装置，其特征在于，

具有多个如权利要求1～11中的任一项所述的搬运物浮起组件，

多个上述搬运物浮起组件在沿着上述一个主面的方向上配置成二维状。

13.如权利要求12所述的搬运物浮起装置，其特征在于，

包括具有多个贯通孔的定板，

上述定板被放置在二维配置的多个上述搬运物浮起组件的上述一个主面上，上述多个贯通孔与上述吹气口及上述吸气口气密连通。

14.一种载物台装置，其特征在于，包括：

如权利要求12或13中所述的搬运物浮起装置；及

夹持搬运物并通过上述搬运物浮起装置上的搬运装置。

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