JP4474206B2 - 基板保持装置 - Google Patents
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Description
2…ブロック
2a…吸気口
2b…内部空間
2c…リング溝
2d…丸穴
2e…長穴
2f…長穴溝
3…端部固定板
4…Oリング
10…基板搬送装置
12…レールガイド
14…シャフトサポート
16…搬送レール
18…シャフト
20…搬送ベルト
22…基板ガイドプレート
30…バックアップテーブル
32…レールガイドシャフト
34…バックアップピン
36…マグネット
Claims (2)
- 基板の上面に部品を搭載する際に、該基板の下面を支持する載置面を有する基板保持装置において、
基板の面積より小さい平坦な上面を有する直方体形状のブロックを単位とし、
複数の前記ブロックを、隣接するブロック間で互いに一側面を当接させて各上面が面方向に並ぶように組み合わせ、該複数のブロックの上面により前記載置面を形成すると共に、
前記各ブロックには、上面に開口した吸気口と、隣接するブロック間で互いに一致する周囲四側面の各位置にそれぞれ開口した連結部と、該吸気口及び前記各連結部に連通した減圧可能な内部空間とが形成され、
前記各ブロックが、隣接するブロック間で互いに一致する位置の前記連結部の周囲に配されたOリングを介して、互いに連通された前記内部空間の気密状態を維持していることを特徴とする基板保持装置。 - 前記各ブロックが、隣接するブロックとの間で、互いに連通された前記内部空間の気密状態を維持した上で、上面の高さを変更可能な連結手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の基板保持装置。
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WO2021014702A1 (ja) * | 2019-07-19 | 2021-01-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電子部品搭載装置 |
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- 2004-06-09 JP JP2004171438A patent/JP4474206B2/ja not_active Expired - Lifetime
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