JP4621136B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
この露光装置で取り扱われる電子回路基板の回路は、基板の厚みが薄くなることと、回路パターンが精細になることが同時に進行している。そのために、露光工程においては、0.05mmの極薄い基板を載置テーブル上面に設置した上で、マスクフィルムを確実に基板に密着することが難しくなってきている。
また、特許文献2あるいは特許文献3では、マスクフィルムの周縁を金具で挟持する構成としているため、マスクフィルムと透光板の間に空気を挿入排気する動作を繰り返し行うことで、マスクフィルムの固定位置がずれる可能性があった。
このように構成した露光装置は、マスクフィルムと基板とが加圧密着しているときに、マスク保持溝に押圧するシール部材が、押圧する力で扁平して接触面積が大きくなる。
このように構成した露光装置は、マスクフィルムと基板とが加圧密着したときに、マスク保持溝に対面する位置のマスクフィルムに、シール部材の平面の部分が当接してマスクフィルムをマスク保持溝に押圧する状態となる。
露光装置は、マスク保持溝を介してマスクフィルムを吸着して保持するマスク吸着手段による吸着力と、載置テーブルのシール部材による押圧力で、強固にマスクフィルムが透光板に固定されるので、マスクフィルムの固定位置がずれることがない。また、露光装置は、気体供給排気手段により当該マスクフィルムと透光板の間に気体を供給してマスクフィルムを基板に加圧密着させ、排気手段によりシール部材の内側の空間を排気すると、マスクフィルムと基板が全面的に均等に密着することができる。したがって、露光装置は、高解像度を有するパターンを露光することができる。
図1は、露光装置の支持枠および載置テーブルの一部を切欠いて模式的に示す側断面図、図2は、露光装置の全体を模式的に示す模式図、図3(a)は、露光装置における支持枠を載置テーブル側から見上げた状態の正面図、(b)は、露光装置における載置テーブルを支持枠側から見下ろして示す平面図、図4は、露光装置の支持枠を分解して載置テーブルの一部を合わせて示す分解斜視図、図5(a)、(b)、(c)、(d)は、露光装置における支持枠のマスクフィルムおよび載置テーブルのシール部材の状態を示す断面図、図6は基板およびマスクフィルムの整合マークの状態を模式的に示す平面図である。
シール設置面板22は、載置面板21の周縁に所定間隔をあけて取り付けられており、シール部材23を設置するためのものである。
なお、基板Wは、マスクフィルムMより面積が小さく形成されており、0.05〜3.0mmの厚みの範囲が主流として使用されている。
図2に示すように、マスクフィルムMは、はじめに支持枠10に支持された透光板15に沿って設置されている。つまり、図5(a)に示すように、支持枠10の透光板15が第3真空ポンプ18により枠体11に吸着された状態で、かつ、当該透光板15のマスク保持溝15aにマスクフィルムMが第2真空ポンプ17により吸着保持されている。
図7に示すように、シール部材53は、マスクフィルムMとの接触する接触面53bが平面に形成されると共に、内部を中空部53aとするチューブ状に形成されている。そして、シール部材53は、曲面がない多角形に形成されている。また、シール部材53の接触面53bは、マスク保持溝15aより幅広に形成されていることが望ましい。
M マスクフィルム
W 基板
Mm 整合マーク
Wm 整合マーク
10 支持枠
11 枠体
11a 枠開口部
11b 枠面板
12 第1貫通孔(貫通孔)
13 第2貫通孔
14 第3貫通孔
14a 透光板保持溝
15 透光板
15a マスク保持溝
16 第1送風ポンプ(気体供給排気手段)
16a 接続ホース(気体供給排気手段)
16b 三方弁(気体供給排気手段)
17 第2真空ポンプ(マスク吸着手段)
18 第3真空ポンプ
20 載置テーブル
21 載置面板
22 シール設置面板
23 シール部材
24 基台
25 真空密着用孔
26 整合移動機構
27 Z軸移動機構
28 基板用真空ポンプ(基板吸着手段)
29 真空密着用ポンプ(排気手段)
30 予備位置決め機構
31 搬送ローラ
32 端面押動機構
33 押動ピン
34 移動手段
40 光学系
41 ランプ
42 楕円反射鏡
43 第1反射鏡
44 第2反射鏡
45 シャッタ機構
46 フライアイレンズ
47 曲面反射鏡
48 撮像手段
Claims (3)
- マスクフィルムのパターンが露光される基板を基板吸着手段より吸着して載置し、かつ前記マスクフィルムに当接あるいは近接するように移動可能な載置テーブルと、
前記基板に対面するように、前記マスクフィルムの周縁部を保持するマスク保持溝を有する透光板を支持する支持枠と、
前記マスクフィルムの周縁部を前記透光板のマスク保持溝より吸着するマスク吸着手段と、
前記マスクフィルムの周縁部の内側で前記透光板に設けた貫通孔から、当該マスクフィルムと前記透光板の間に気体の供給および排気を行う気体供給排気手段とを備えた露光装置において、
前記マスクフィルムのマスク保持溝に対面する位置で、前記載置テーブルの周縁に設けられ、前記マスクフィルムと前記基板とを真空密着させる空間を形成するためのシール部材と、
このシール部材の内側となる前記空間の空気を前記載置テーブルに設けた真空密着用孔から排気する排気手段とを備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記シール部材は、中空状に形成されていることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記シール部材は、前記マスクフィルムの前記マスク保持溝位置に対面する側が平面に形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
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