CN108198781A - 蓝宝石衬底摆放架 - Google Patents

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CN108198781A CN201810033408.7A CN201810033408A CN108198781A CN 108198781 A CN108198781 A CN 108198781A CN 201810033408 A CN201810033408 A CN 201810033408A CN 108198781 A CN108198781 A CN 108198781A
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肖森
黄玲玲
王忠辉
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Jiangsu Datong Electronic Technology Co Ltd Crown
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Jiangsu Datong Electronic Technology Co Ltd Crown
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    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68785—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by the mechanical construction of the susceptor, stage or support

Abstract

本发明公开了一种蓝宝石衬底摆放架，包括架体，所述架体为规则形状，在所述架体上呈直线型或环形设有若干个向上凸起的挡块，相邻两个所述挡块之间的间隔相同，且所述挡块为直线型设置时，最外侧的两个所述挡块位于所述架体的侧边，相邻两个所述挡块之间的所述架体正面均设有至少两个出气管，每个所述出气管均与导气管相连通，所述导气管的一端或两端连接有进气源。本发明采用与气源相连通的出气管可以向架体正面正上方出气，通过气体将蓝宝石衬底吹浮起来，防止蓝宝石衬底与架体的直接接触，防止宝石衬底与架体碰撞与摩擦造成损伤。

Description

蓝宝石衬底摆放架
技术领域
本发明涉及蓝宝石衬底生产配套设备领域，尤其涉及一种蓝宝石衬底摆放架。
背景技术
目前，在蓝宝石生产加工过程中面对与蓝宝石衬底的摆放一般都是放置在摆放架上，层叠放置，这样容易造成蓝宝石衬底之间容易吸附，造成后续加工过程中难以分开，影响正常加工，降低加工效率，而且在分开过程中容易造成蓝宝石衬底受损。
又如中国专利文献CN204118052U中公开了一种蓝宝石衬底摆放架，它包括架体，所述架体为规则形状；在架体上呈直线型或环型设有若干个向上凸起的挡块，挡块之间的间隔相同；且挡块为直线型设置时，最外侧的两块挡块位于架体的侧边。蓝宝石衬底很薄且很脆，在拿取时要很小心且要防止颠簸。而该装置由于在挡块中设置导气管，所以在放置蓝宝石衬底时，若是放置宽度小于两个挡块的蓝宝石衬底，则该蓝宝石衬底就会搁置在架体上，会与架体磕碰到，且若是移动的话会很颠簸，会与架体摩擦进而形成损坏。
发明内容
为克服上述缺点，本发明的目的在于提供一种不会与架体碰撞与摩擦的蓝宝石衬底摆放架。
为了达到以上目的，本发明采用的技术方案是：一种蓝宝石衬底摆放架，包括架体，所述架体为规则形状，在所述架体上呈直线型或环形设有若干个向上凸起的挡块，相邻两个所述挡块之间的间隔相同，且所述挡块为直线型设置时，最外侧的两个所述挡块位于所述架体的侧边，相邻两个所述挡块之间的所述架体正面均设有至少两个出气管，每个所述出气管均与导气管相连通，所述导气管的一端或两端连接有进气源。本发明的有益效果：采用与气源相连通的出气管可以向架体正面正上方出气，通过气体将蓝宝石衬底吹浮起来，防止蓝宝石衬底与架体的直接接触，防止宝石衬底与架体碰撞与摩擦造成损伤。
优选地，相邻两个所述挡块之间的所述架体正面设有三个出气管，三个所述出气管均与水平方向呈一定夹角设置。采用倾斜设置的三个出气管可以吹出倾斜的风，使得风能与蓝宝石衬底尽可能多的接触，且三点确定一个平面，能增加稳定性的同时减少成本。
优选地，三个所述出气管环形阵列设置，所述夹角为25°-65°。通过采用环形阵列设置的出气管能够增加蓝宝石衬底的稳定性。
优选地，所述架体正面的两个挡块之间设有弧形内凹结构。采用弧形内凹结构能够更好的契合圆形的蓝宝石玻璃衬底，也增加了在拿取放置时的便捷性。
优选地，所述挡块的两侧面向中心内凹。采用两侧面向中心内凹的挡块，能够更好的契合圆形的蓝宝石玻璃衬底，也增加了在拿取放置时的便捷性。
优选地，所述架体内部为中空管状结构，所述中空管状结构即为导气管，在所述架体的中空管状结构的端部设有导气管的副管，所述导气管的副管与所述进气源相连。
优选地，所述导气管的两端的副管上设置有流量控制阀，控制空气的进入量。
优选地，所述副管的端部设有快接接口，所述副管通过所述快接接口与进气源相连。
附图说明
图1为本发明的剖视图；
图2为本发明的俯视图。
图中：
1-架体；2-挡块；3-蓝宝石衬底；4-弧形内凹结构；5-导气管；6-出气管；7-副管；8-快接接口；9-进气源；10-流量控制阀。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
参见附图1、图2所示，本实施例中的一种蓝宝石衬底摆放架，包括架体1，所述架体1为条状结构，在所述架体1上呈直线型(或环形)设有若干个向上凸起的挡块2，所述挡块2的两侧面向中心内凹。相邻两个所述挡块2之间的间隔相同，且最外侧的两个所述挡块2位于所述架体1的侧边，所述架体1正面的两个挡块2之间设有弧形内凹结构4。相邻两个所述挡块2之间的所述架体1正面均设有三个出气管6(或多个出气管6环绕设置，但是至少两个出气管6)，三个所述出气管6均与水平方向呈一定夹角设置。三个所述出气管6环形阵列设置，所述夹角范围为25°-65°，以45°时为最佳。每个所述出气管6均与导气管5相连通，所述导气管5的一端或两端连接有进气源9。通过出气管6出气使得蓝宝石衬底3浮在弧形内凹结构4上方，与架体1无直接接触，从而不磨损、碰伤蓝宝石衬底3。与蓝宝石衬底3会直接接触的架体1上可包覆有柔性材料，防止磨损蓝宝石衬底3。
所述架体1内部为中空管状结构，所述中空管状结构即为导气管5，在所述架体1的中空管状结构的端部设有导气管5的副管7，所述导气管5的副管7与所述进气源9相连。所述导气管5的两端的副管7上设置有流量控制阀10，控制空气的进入量。所述副管7的端部设有快接接口8，所述副管通过所述快接接口8与进气源9相连。
以上实施方式只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。

Claims (8)

1.一种蓝宝石衬底摆放架，包括架体，所述架体为规则形状，在所述架体上呈直线型或环形设有若干个向上凸起的挡块，相邻两个所述挡块之间的间隔相同，且所述挡块为直线型设置时，最外侧的两个所述挡块位于所述架体的侧边，其特征在于：相邻两个所述挡块之间的所述架体正面均设有至少两个出气管，每个所述出气管均与导气管相连通，所述导气管的一端或两端连接有进气源。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底摆放架，其特征在于：相邻两个所述挡块之间的所述架体正面设有三个出气管，三个所述出气管均与水平方向呈一定夹角设置。
3.根据权利要求2所述的蓝宝石衬底摆放架，其特征在于：三个所述出气管环形阵列设置，所述夹角为25°-65°。
4.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底摆放架，其特征在于：所述架体正面的两个挡块之间设有弧形内凹结构。
5.根据权利要求1或2或4所述的蓝宝石衬底摆放架，其特征在于：所述挡块的两侧面向中心内凹。
6.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底摆放架，其特征在于：所述架体内部为中空管状结构，所述中空管状结构即为导气管，在所述架体的中空管状结构的端部设有导气管的副管，所述导气管的副管与所述进气源相连。
7.根据权利要求6所述的蓝宝石衬底摆放架，其特征在于：所述导气管的两端的副管上设置有流量控制阀，控制空气的进入量。
8.根据权利要求6所述的蓝宝石衬底摆放架，其特征在于：所述副管的端部设有快接接口，所述副管通过所述快接接口与进气源相连。
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