CN206059364U - 一种基板支撑装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及显示技术领域,公开一种基板支撑装置,包括升降机构,还包括至少一个导向机构以及供气机构,其中:每个导向机构包括一个导柱和一个套筒,导柱沿导柱的延伸方向上的一端安装于升降机构,套筒活动套设于导柱每个导向机构内形成有导气通道;供气机构包括至少一个供气管道和与每个供气管道连通的气源。该基板支撑装置可减少基板对机台的吸附力,减小了基板支撑装置在顶起基板时造成基板碎裂的概率,提高了显示面板产品的生产良率。
Description
技术领域
本实用新型涉及显示技术领域,特别涉及一种基板支撑装置。
背景技术
在显示面板的生产过程中,显示面板的玻璃基板在进行一些生产工序时,例如涂胶、烘烤、检测等工序,需将玻璃基板放置于机台上,在玻璃基板需要从机台上转移时,一般通过安装在玻璃基板上的基板支撑将玻璃基板由机台表面顶起,使玻璃基板与机台分离。
常用的基板支撑装置包括设置在机台上远离用于放置玻璃基板的表面的一侧的升降机构和导向机构,导向机构包括安装在升降机构上的至少一个导柱,每个导柱的一端安装于升降机构,导向机构还包括与每个导柱一一对应套设在导柱上的套筒,每个套筒可沿与其对应的导柱的延伸方向滑动且安装与机台上,机台用于放置玻璃基板的表面设有供导柱伸出的开口,在升降机构带动导柱在套筒内滑动、并且伸出机台上用于放置玻璃基板的表面时,导柱背离升降机构的一端由开口伸出,将放置在机台上的玻璃基板顶起,以进行玻璃基板的转移。
目前在显示面板的生产过程中,在机台表面光滑度较高、或玻璃基板处于高温环境时,玻璃基板与机台用于放置玻璃基板的表面之间的空气减少,导致二者之间气压降低,在外界气压作用下,玻璃基板吸附于机台用于放置玻璃基板的表面上且不易分离。因此,在采用基板支撑装置顶起玻璃基板时,在玻璃基板对机台的吸附力较大的情况下,基板不易被顶起且易产生碎裂,降低了显示面板产品的生产良率。
实用新型内容
本实用新型提供了一种基板支撑装置及机台,该基板支撑装置可减少基板对机台的吸附力,减小了基板支撑装置在顶起基板时造成基板碎裂的概率,提高了显示面板产品的生产良率。
为实现上述目的,本实用新型提供如下的技术方案:
一种基板支撑装置,包括升降机构,还包括至少一个导向机构以及供气机构,其中:
每个导向机构包括一个导柱和一个套筒,所述导柱沿所述导柱的延伸方向上的一端安装于所述升降机构,所述套筒活动套设于所述导柱,且可相对于所述导柱沿所述导柱的延伸方向滑动;
每个导向机构内形成有导气通道,所述导气通道包括至少一个设置于所述导向机构靠近所述升降机构一端的第一导气口、和至少一个与每个第一导气口连通且设置于所述导向机构远离所述升降机构一端的第二导气口;
所述供气机构包括至少一个供气管道和与每个供气管道连通的气源,每个导向机构中的每个第一导气口与所述气源通过一个供气管道连通。
本实用新型提供的基板支撑装置中在使用过程中,导向机构中的套筒安装于机台上,通过升降机构带动导向机构中的导柱在套筒内滑动并伸出机台用于防止基板的表面,以顶起机台上放置的基板;因导向机构中形成有导气通道,导气通道在靠近于升降机构的一端的第一导气口与通过供气管道与气源连通,导气通道在远离于升降机构的一端的第二导气口与第一导气口连通,则气源提供的空气可由第二导气口输出,在基板支撑装置的工作过程中,气源提供的空气由导向机构远离升降机构的一侧输出并进入基板和机台上用于放置基板的表面之间,可增大基板和机台上用于放置基板的表面之间的气压,从而减少了基板对机台的吸附力,使基板易于被顶起,进而减小了基板在被顶起的过程中产生碎裂的概率,提高了显示面板产品的生产良率。
优选地,每个导向机构内的导气通道形成于所述导向机构中的导柱内部,和/或,套筒内部。
进一步地,每个导向机构中的导柱的内部中空以形成所述导气通道;
所述导气通道中的第一导气口设置于所述导柱靠近所述升降机构一端的端面,和/或,侧壁;
所述导气通道中的第二导气口设置于所述导柱远离所述升降机构一端的端面或侧壁。
进一步地,每个导向机构中的套筒的内部中空以形成所述导气通道;
所述导气通道中的第一导气口设置于所述套筒靠近所述升降机构一端的端面,和/或,外侧壁;
所述导气通道中的第二导气口设置于所述套筒远离所述升降机构一端的端面。
优选地,导向机构为多个,且所述供气管道为多个,每个供气管道与每个导向机构中的每个第一导气口一一对应连接。
优选地导向机构为多个,且所述供气管道为一个,所述供气机构还包括多个连接管道;
所述多个导向机构中,每个导向机构中的一个第一导气口与相邻的导向机构中的一个第一导气口之间通过一个连接管道连通。
优选地,还包括设置于每个导向机构中的导柱沿所述导柱的延伸方向上的至少一端的压力传感器和与每个压力传感器信号连接的压力警报装置。
本实用新型还提供了一种机台,包括用于承载基板的承载平面,所述承载平面上形成有至少一个用于使基板支撑机构中的导柱伸出所述承载平面的通孔,还包括如上所述的基板支撑装置,所述基板支撑装置设置于所述机台上远离所述承载平面的一侧,每个导向机构中的导柱与每个通孔一一对应设置,每个导向机构中的套筒固定于所述机台。
附图说明
图1是本实用新型实施例提供的一种机台的结构示意图;
图2a是本实用新型实施例提供导向机构的结构示意图;
图2b是本实用新型实施例提供导向机构的另一种结构示意图;
图3a是套筒的结构示意图;
图3b是导柱的结构示意图。
附图标记:
01,基板;10,承载台;11,承载平面;111,通孔;20,基板支撑机构;
21,升降机构;22,导向机构;221,导柱;2211,第一导气口;
2212,第二导气口;222,套筒;2221,第一导气口;2222,第二导气口;
223,压力传感器;224,底座;23,供气机构;231,供气管道;
232,连接管道。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型实施例提供了一种基板支撑装置和具有该基板支撑装置的机台,为描述方便,本实施例对基板支撑装置进行描述时引入了机台的概念,并结合机台的结构对基板支撑装置的原理进行描述。
参见图1所示,图1是本实用新型实施例提供的一种机台的结构示意图,包括承载台10,承载台10上具有承载平面11,承载台10上具有贯穿承载平面11的通孔111,还包括基板支撑装置20,基板支撑装置20包括升降机构21,至少一个导向机构22以及供气机构23,其中:
参见图2a和图2b所示,图2a是本实用新型实施例提供导向机构22的结构示意图,图2b是本实用新型实施例提供导向机构22的另一种结构示意图,每个导向机构22包括一个导柱221和一个套筒222,导柱221沿导柱221的延伸方向上的一端安装于升降机构21,具体地,导柱221在实施过程中可通过底座224安装于升降机构21,套筒222活动套设于导柱221,且可相对于导柱221沿导柱221的延伸方向滑动,参见图1所示,每个套筒222对应安装于一个通孔111中;
每个导向机构22内形成有导气通道,导气通道包括至少一个设置于导向机构22靠近升降机构21一端的第一导气口、和至少一个与每个第一导气口连通且设置于导向机构22远离升降机构21一端的第二导气口;
供气机构23包括至少一个供气管道231,例如图2a和图2b中所示的供气管道231,还包括与每个供气管道231连通的气源(图中未示出),每个导向机构22中的每个第一导气口与气源通过一个供气管道231连通,具体实施中,气源可采用空气压缩机或压缩空气瓶。
气源通过供气管道231向导气通道内输送空气,空气由第一导气口进入导气通道,并由第二导气口流出导气通道;具体实施中,每个导向机构22内的导气通道可形成于导向机构22中的导柱221内部,也可形成于导向机构22中的套筒222内部,也可同时形成于导向机构22中的导柱221内部和套筒222内部。
以下结合图2a-图3b说明导气通道的具体实现方式:
实现方式一:
参见图2a和图3a所示,图3a是套筒222的结构示意图,导向机构22内的导气通道形成于导向机构22中的套筒222内部,具体地,参见图3a所示,每个导向机构22中的套筒222的内部中空以形成导气通道,套筒222分为内外两层,为提高套筒222的使用强度,两层之间可设置支撑肋板等结构以支撑套筒222的内外两层;
参见图3a所示,导气通道中的第一导气口2221设置于套筒222靠近升降机构21一端的外侧壁,此外,第一导气口2221也可设置于套筒222靠近升降机构21一端的端面,还可同时设置于套筒222靠近升降机构21一端的外侧壁和端面;导气通道中的第二导气口2222设置于套筒222远离升降机构21一端的端面。
参见图2a所示,导气通道内的空气流动方向如图中的箭头A、B所示,空气由第一导气口2221进入导气通道,流经套筒222内部并由第二导气口2222流出导气通道。
实现方式二:
参见图2b和图3b所示,图3b是导柱221的结构示意图,导向机构22内的导气通道形成于导向机构22中的导柱221内部,具体地,参见图3b所示,每个导向机构22中的导柱221的内部中空以形成导气通道;
参见图3b所示,导气通道中的第一导气口2211设置于导柱221靠近升降机构21一端的侧壁,此外,第一导气口2211也可设置于导柱221靠近升降机构21一端的端面,还可同时设置于导柱221靠近升降机构21一端的外侧壁和端面;导气通道中的第二导气口2212设置于导柱221远离升降机构21一端的端面和侧壁。
参见图2b所示,导气通道内的空气流动方向如图中的箭头A、B所示,空气由第一导气口进入导气通道,流经导柱221内部并由第二导气口流出导气通道。
实现方式三:
该实现方式中导气通道同时形成于导向机构22中的导柱221内部和套筒222内部,具体结构参见上述实现方式一和实现方式二,不再赘述。
本实用新型提供的机台在使用过程中,基板支撑装置20中的导向机构22中的套筒222安装于机台上,通过升降机构21带动导向机构22中的导柱221在套筒222内滑动并伸出机台的承载平面11,以顶起机台上放置的基板01;因导向机构22中形成有导气通道,导气通道在靠近于升降机构21的一端的第一导气口与通过供气管道231与气源连通,导气通道在远离于升降机构21的一端的第二导气口与第一导气口连通,则气源提供的空气可由第二导气口输出,在基板支撑装置20的工作过程中,气源提供的空气由导向机构22远离升降机构21的一侧输出并进入基板01和机台上的承载平面11之间,可增大基板01和承载平面11之间的气压,从而减少了基板01对机台的吸附力,使基板01易于被顶起,进而减小了基板01在被顶起的过程中产生碎裂的概率,提高了显示面板产品的生产良率。
一种优选方式中,为提高基板支撑装置20对基板支撑的稳定性,导向机构22为多个,多个导向机构22优选为阵列分布;供气管道231与多个导向结构的连接可采用下列方式:
方式一:
供气管道231为多个且数量与导向机构22相等,每个供气管道231与每个导向机构22中的每个第一导气口一一对应连接,即并联的连接方式。
方式二:
参见图2a和图2b所示,供气管道231为一个且与一个导向机构22中的第一导气口连通,供气机构23还包括多个连接管道232;
多个导向机构22中,每个导向机构22中的一个第一导气口与相邻的导向机构22中的一个第一导气口之间通过一个连接管道232连通,连接管道232中的空气流向如图中的箭头C所示,相邻两个导向机构22之间通过连接管道232进行供气。
一种优选方式中,为进一步降低基板支撑装置20在顶起基板时造成基板碎裂的概率,参见图2a和图2b所示基板支撑装置20还包括设置于每个导向机构22中的导柱221沿导柱221的延伸方向上的至少一端的压力传感器223,以及与每个压力传感器223信号连接的压力警报装置(图中未示出),在基板被顶起的过程中,压力传感器223检测基板所受压力,如该压力超出使基板不产生碎裂的最小压力时,压力报警装置产生警告信号,同时还可产生停止信号以控制基板支撑装置20停止工作,防止基板产生碎裂。
参见图1所示,本实用新型实施例还提供了一种机台,包括用于承载基板的承载平面11,承载平面11上形成有至少一个用于使基板支撑装置20中的导柱221伸出承载平面11的通孔111,还包括如上所述的基板支撑装置20,基板支撑装置20设置于机台上远离承载平面11的一侧,每个导向机构22中的导柱221与每个通孔111一一对应设置,每个导向机构22中的套筒222固定于机台。
基于上述的基板支撑装置20的优点,该机台可减少基板对机台的吸附力,减小了基板支撑装置在顶起基板时造成基板碎裂的概率,提高了显示面板产品的生产良率。
显然,本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样,倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内,则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (8)
1.一种基板支撑装置,包括升降机构,其特征在于,还包括至少一个导向机构以及供气机构,其中:
每个导向机构包括一个导柱和一个套筒,所述导柱沿所述导柱的延伸方向上的一端安装于所述升降机构,所述套筒活动套设于所述导柱,且可相对于所述导柱沿所述导柱的延伸方向滑动;
每个导向机构内形成有导气通道,所述导气通道包括至少一个设置于所述导向机构靠近所述升降机构一端的第一导气口、和至少一个与每个第一导气口连通且设置于所述导向机构远离所述升降机构一端的第二导气口;
所述供气机构包括至少一个供气管道和与每个供气管道连通的气源,每个导向机构中的每个第一导气口与所述气源通过一个供气管道连通。
2.根据权利要求1所述的基板支撑装置,其特征在于,每个导向机构内的导气通道形成于所述导向机构中的导柱内部,和/或,套筒内部。
3.根据权利要求2所述的基板支撑装置,其特征在于,每个导向机构中的导柱的内部中空以形成所述导气通道;
所述导气通道中的第一导气口设置于所述导柱靠近所述升降机构一端的端面,和/或,侧壁;
所述导气通道中的第二导气口设置于所述导柱远离所述升降机构一端的端面或侧壁。
4.根据权利要求2所述的基板支撑装置,其特征在于,每个导向机构中的套筒的内部中空以形成所述导气通道;
所述导气通道中的第一导气口设置于所述套筒靠近所述升降机构一端的端面,和/或,外侧壁;
所述导气通道中的第二导气口设置于所述套筒远离所述升降机构一端的端面。
5.根据权利要求1所述的基板支撑装置,其特征在于,导向机构为多个,且所述供气管道为多个,每个供气管道与每个导向机构中的每个第一导气口一一对应连接。
6.根据权利要求1所述的基板支撑装置,其特征在于,导向机构为多个,且所述供气管道为一个,所述供气机构还包括多个连接管道;
所述多个导向机构中,每个导向机构中的一个第一导气口与相邻的导向机构中的一个第一导气口之间通过一个连接管道连通。
7.根据权利要求1-6任一项所述的基板支撑装置,其特征在于,还包括设置于每个导向机构中的导柱沿所述导柱的延伸方向上的至少一端的压力传感器和与每个压力传感器信号连接的压力警报装置。
8.一种机台,包括用于承载基板的承载平面,所述承载平面上形成有至少一个用于使基板支撑机构中的导柱伸出所述承载平面的通孔,其特征在于,还包括如权利要求1-7任一项所述的基板支撑装置,所述基板支撑装置设置于所述机台上远离所述承载平面的一侧,每个导向机构中的导柱与每个通孔一一对应设置,每个导向机构中的套筒固定于所述机台。
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CN110828342A (zh) * | 2019-10-25 | 2020-02-21 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 烘烤装置及基板烘烤方法 |
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